JPH06260091A

JPH06260091A - 陰極線管構成部材の検査方法及びその実施に使用する装置

Info

Publication number: JPH06260091A
Application number: JP5039892A
Authority: JP
Inventors: Yasushi Hisaoka; 靖久岡; Yoshio Yamane; 義雄山根; Eishin Murakami; 英信村上; Yoshimi Kinoshita; 儀美木之下; Hiroaki Tobuse; 広明戸伏; Kazuo Yoshida; 和夫吉田; Takashi Ishii; 隆石井; Hiroshi Koizumi; 浩小泉
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1993-03-01
Filing date: 1993-03-01
Publication date: 1994-09-16
Also published as: NL9400300A; KR940022633A; TW319444U; KR0128031B1; US5393255A

Abstract

(57)【要約】【目的】陰極線管構成部材であるパネルの蛍光面，電
子銃又はシャドウマスクの検査を、陰極線管の組立製造
前に、最終製品検査と同じく幅広い検査項目にわたって
実施する。【構成】被検査用のパネル１を装着する容器３と、容
器３内を排気する排気手段６と、電子線を形成する電子
銃８と、電子線を走査する偏向ヨーク９を設け、また電
子銃８を可動とする電子銃移動手段２１を設ける。また
パネル１と電子銃８の間を遮断する仕切り弁２７を設け
る。蛍光面２の形成工程を終えたパネル１を、シャドウ
マスク１５を取り付けたまま容器３の開口部に装着し、
電子銃８から引き出される３本の電子線を走査照射する
ことにより、完成球と同等の発光画像を形成し、検査を
行う。検査終了後は、電子銃８を退避し、仕切り弁２７
を閉じて、容器３内を大気開放し、パネル１を交換す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、陰極線管の製造工程に
おいて、陰極線管を構成する部材であるパネルの蛍光
面，電子銃又はシャドウマスクの検査方法及び検査装置
に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】陰極線管の蛍光面は、一般に、パネルガ
ラスの内表面に蛍光体の薄膜を形成し、さらにその上に
メタルバックと称する金属薄膜を形成することにより作
られる。メタルバックは、電子銃から発射される電子線
の照射により、蛍光面が帯電することを防止するととも
に、蛍光体から放出される光をパネルフェース前面に向
けて反射させ、輝度を向上させる役割を担っている。ま
た、メタルバックは、蛍光体の励起に十分な所定の電子
線量が透過し得るよう、典型的には数百ｎｍ程度の厚さ
に形成され、材質にはアルミニウムが多く用いられる。

【０００３】さて、陰極線管製造中に生じた不良品の不
良要因は、上記の蛍光面製造工程に起因するものが少な
くない。例えば、蛍光体膜やメタルバックに欠落が生じ
ると、これはそのまま画面の欠陥として現れる。たとえ
欠落までには至らなくとも、膜厚が適正さを欠き、又は
膜厚が不均一に形成されてしまうと、画面の輝度低下や
輝度むらの原因となる。また、蛍光体材料の調合に不備
があれば、所定の色度の発光が得られないことは無論で
ある。以上のように、蛍光面製造工程は細心の注意を要
する工程であり、できあがった蛍光面の良否を確実に検
査することは、品質管理の上で欠くことのできない工程
となっている。

【０００４】陰極線管のうち、特にカラー受像管では、
蛍光面検査工程の果たすべき役割は重大である。例えば
典型的な家庭用テレビジョン受信機のカラー受像管で
は、蛍光面には光の３原色である緑色、青色、赤色に発
光する３種類の蛍光体がストライプ状に配置されてお
り、夫々を３本の電子線で独立に衝撃することにより、
任意の色度・輝度の画像を形成する。３本の電子線の軌
道が交叉する位置にはシャドウマスクが配置される。シ
ャドウマスクは、蛍光体を構成するひとつひとつの蛍光
体画素に対応した多数の孔を有しており、蛍光体を衝撃
する電子銃から発射される電子線の広がりを制限し、孔
に入射する３本の電子線の夫々の入射角により色選別を
行う役割を担っている。さらに、隣接する蛍光体画素へ
の電子線入射を防ぎ、画像のコントラストを良くするた
めに、蛍光体画素の相互の間隙に光吸収性の黒体膜から
なるブラックマトリクスを設ける。ブラックマトリクス
は、レジスト塗布，露光，現像，グラファイト塗布，エ
ッチングそして現像の工程で形成される。また蛍光体膜
はスラリー塗布、露光、現像の工程を各色繰り返しなが
ら順次形成される。以上のように、カラー受像管の蛍光
面は、単色発光の陰極線管に比べて構造や製造工程が複
雑であることに加え、蛍光面パターンの寸法誤差などが
原因となる画面の混色といったカラー受像管特有の不良
現象も出現するため、適切な検査手法に基づく品質管理
が要求される。

【０００５】従来実施されている蛍光面の検査方法は２
種類に大別される。まず第一は最終製品の検査として行
うもので、全製造工程を経て、陰極線管を管球として完
成させた後、管球内に封入した電子銃より引き出した電
子線を蛍光面に走査照射し、その際の発光を観察する方
法である。

【０００６】そして第二は、パネルガラスの内表面に蛍
光面を形成する工程を終えた後、その蛍光面に光を照射
し、その際の蛍光体の発光や透過光を観察する方法であ
る。例えば、特開昭５８−３５４４５号公報に開示され
ている蛍光面の検査方法は、蛍光面の形成されたパネル
にブラックランプなどの紫外線を照射することにより、
蛍光体を発光せしめ、蛍光体の欠落の有無などを検出す
るものである。また、特開平１−２２７３３１号公報に
開示されている蛍光面検査方法は、蛍光面の形成された
パネルに高圧水銀灯の白色光を背面側から照射するもの
である。この方法では、蛍光体やメタルバックが欠落し
た部分では光の透過率が高くなるので、その透過光を観
察することにより不良を検出する。

【０００７】また、シャドウマスク又は電子銃の検査方
法は、部品単体の状態でその外観を黙視により検査し、
その真空封止して完成球としての総合的試験を実施して
いる。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】上記のような従来のパ
ネルの蛍光面，シャドウマスク又は電子銃のような陰極
線管構成部材の検査方法では、次に記載されるような問
題点があった。

【０００９】まず陰極線管を管球として完成させた後に
蛍光面を発光させて検査を行う方式では、パネルに蛍光
面を形成した後にも、パネルとファンネルの封着工程、
電子銃の封入工程、管内の排気工程、真空封止工程、陰
極のエージング工程など多くの後続工程を経なければ検
査を実施することができない。したがって、蛍光面形成
時に不慮の工程不良が発生した際、その不良が検査によ
り発覚するまでには上記のごとく長い時間を要するた
め、その間に製造ラインに投入された管球はすべて不合
格品として廃棄せざるを得ず、大きな損失を招くことが
あった。また、検査による不良発覚後も、その原因が蛍
光面形成工程によるものか、又は後続工程によるものか
を特定する作業が必要で、迅速に対策を講ずることが難
しかった。また、蛍光材料の仕様を変えて陰極線管を製
造しようとするとき、試験用パネルを製造ラインに投入
して蛍光材料仕様が適切であったか否かの判定結果を得
るまでに長い時間を費やし、製造能率の向上が妨げられ
るという問題もあった。

【００１０】一方、蛍光面を形成したパネルに光を照射
し、その際の発光あるいは透過光を観察する方法では、
蛍光面形成工程を終えれば直ちにその検査を実施するこ
とができるので、不良の早期発見という観点では上記の
検査方法に勝るものの、検査項目が極めて狭く限定され
てしまうという難点があった。つまり、部品単体での光
照射による外観検査方法は、実際に電子線を照射するわ
けではないので、完成球の定格動作条件における輝度、
色調、発光均一性などの良否を評価することが困難であ
り、例えば蛍光体の欠落など、限られた種類の欠陥の発
見に利用されるだけに止まり、検査できる項目が限られ
ていた。

【００１１】本発明は、かかる事情に鑑みてなされたも
のであり、陰極線管のパネルに形成された蛍光面，電子
銃又はシャドウマスクの検査を、陰極線管の組立製造以
前に、しかも最終製品検査と同じく幅広い検査項目にわ
たって実施できる検査装置及び検査方法を提供すること
を目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】第１発明に係る陰極線管
構成部材の検査方法は、パネルの装着により閉塞可能な
容器内に電子銃を配置し、検査対象のパネルを装着し
て、パネルの蛍光面に電子線を照射することを特徴とす
る。

【００１３】第２発明に係る陰極線管構成部材の検査方
法は、パネルの装着により閉塞可能な容器内に電子銃を
配置し、検査対象のパネルを装着して、電子銃を移動さ
せてパネルの蛍光面に電子線を照射することを特徴とす
る。

【００１４】第３発明に係る陰極線管構成部材の検査方
法は、パネルの装着により閉塞可能な容器内に検査対象
の電子銃を脱着可能に配置し、パネルを装着して、パネ
ルの蛍光面に電子線を照射することを特徴とする。

【００１５】第４発明に係る陰極線管構成部材の検査方
法は、パネルの装着により閉塞可能な容器内に電子銃を
配置し、検査対象のシャドウマスクを取着したパネルを
装着して、パネルの蛍光面に電子線を照射することを特
徴とする。

【００１６】第５発明に係る陰極線管構成部材の検査方
法は、パネルの装着により閉塞可能な容器内に電子銃を
配置し、検査対象のパネルを装着して、複数の電子線を
蛍光面へ照射すること、又は、パネルの装着により閉塞
可能な容器内に検査対象の電子銃を脱着可能に配置し、
パネルを装着して、複数の電子線を蛍光面へ照射するこ
と、又は、パネルの装着により閉塞可能な容器内に電子
銃を配置し、検査対象のシャドウマスクを取着したパネ
ルを装着して、複数の電子線を蛍光面へ照射することを
特徴とする。

【００１７】第６発明に係る陰極線管構成部材の検査装
置は、検査対象のパネルの装着により閉塞可能な容器
と、容器内に配置される電子銃と、容器内を排気する排
気手段と、パネルの蛍光面に電子線を照射せしめる偏向
ヨークとを備えることを特徴とする。

【００１８】第７発明に係る陰極線管構成部材の検査装
置は、パネルの装着により閉塞可能な容器と、容器内に
配置される電子銃と、該電子銃を移動せしめる手段と、
容器内を排気する排気手段と、パネルの蛍光面に電子線
を照射せしめる偏向ヨークとを備えることを特徴とす
る。

【００１９】第８発明に係る陰極線管構成部材の検査装
置は、蛍光面が形成されたパネルと、該パネルの装着に
より閉塞可能な容器と、偏向ヨークと排気手段とを備
え、検査対象の電子銃を容器内に脱着可能に配置してあ
ることを特徴とする。

【００２０】第９発明に係る陰極線管構成部材の検査装
置は、検査対象のパネルの装着により閉塞可能な容器
と、容器内に配置される電子銃と、容器内を排気する排
気手段と、パネルの蛍光面に電子線を照射せしめる偏向
ヨークとを備え、蛍光面が単色の蛍光体からなること、
又は単色の蛍光体からなる蛍光面が形成されたパネル
と、該パネルの装着により閉塞可能な容器と、偏向ヨー
クと排気手段とを備え、検査対象の電子銃を容器内に脱
着可能に配置してあることを特徴とする。

【００２１】第１０発明に係る陰極線管構成部材の検査
装置は、パネルと、該パネルの装着により閉塞可能な容
器と、容器内に配置される電子銃と、偏向ヨークと排気
手段とを備え、検査対象のシャドウマスクをパネルの容
器対向側に脱着可能に取着してあることを特徴とする。

【００２２】第１１発明に係る陰極線管構成部材の検査
装置は、検査対象のパネルの装着により閉塞可能な容器
と、容器内に配置される電子銃と、容器内を排気する排
気手段と、パネルの蛍光面に電子線を照射せしめる偏向
ヨークとを備え、電子銃を容器内で封閉すべく、仕切り
部材を電子銃及びパネル間に介在可能に備えること、又
は、蛍光面が形成されたパネルと、該パネルの装着によ
り閉塞可能な容器と、偏向ヨークと排気手段とを備え、
検査対象の電子銃を容器内に脱着可能に配置してあり、
電子銃を容器内で封閉すべく、仕切り部材を電子銃及び
パネル間に介在可能に備えること、又は、パネルと、該
パネルの装着により閉塞可能な容器と、容器内に配置さ
れる電子銃と、偏向ヨークと排気手段とを備え、検査対
象のシャドウマスクをパネルの容器対向側に脱着可能に
取着してあり、電子銃を容器内で封閉すべく、仕切り部
材を電子銃及びパネル間に介在可能に備えることを特徴
とする。

【００２３】

【作用】本発明による陰極線管構成部材の検査装置及び
検査方法では、パネルを検査対象とするときは容器にパ
ネルを装着し、電子銃を検査対象とするときは容器に電
子銃を脱着可能に装着して、電子線をパネルの蛍光面に
照射することにより、検査対象部材の検査を行う。例え
ばパネルが被検査部材である場合には、蛍光面形成工程
を終えたパネルを検査装置に装着し、検査装置内に配置
された電子銃から発射される電子線を蛍光面上に走査照
射することにより、陰極線管の完成球と同じく、電子線
を励起源として発光する画像状態が実現され、これを観
察して検査を行う。また、電子銃を検査対象部材として
検査する場合も同様である。

【００２４】また、被検査部材として単色の蛍光体から
なる蛍光面が形成されたパネルを用いることによりモノ
クローム受像管についての検査を行うことができ、複数
種の蛍光体からなる蛍光面側にシャドウマスクを装着
し、検査装置に備えられた電子銃から電子線を蛍光面上
に走査照射することにより、カラー受像管についての検
査を行うことができる。シャドウマスクにより、特定の
色の蛍光体だけに電子線が選択的に照射され、他の領域
には電子線が遮断されるので、特定の色の蛍光体だけが
発光する検査画像を映し出すことができる。また、シャ
ドウマスクを検査対象部材とする場合は、シャドウマス
クをパネルの容器対向側に脱着可能に取着して、電子線
をシャドウマスクを通してパネルの蛍光面に照射するこ
とにより、シャドウマスクの検査を行う。

【００２５】また、複数の電子線を電子銃から発射させ
ることにより、蛍光体を発光色ごとに独立に衝撃し、任
意の色度・輝度を呈する任意の模様の検査画像を映し出
すことができる。

【００２６】さらに、電子銃のパネルに対する相対位置
を調整することにより、蛍光面での電子線を照射する位
置を調整することができ、電子線が複数の場合に、電子
線の蛍光面上での到達位置の相互の間隔を変化させるこ
とができるので、蛍光体ピッチの異なる蛍光面に対して
も、混色のない検査画像を映し出すことができる。

【００２７】さらにまた、パネル又はシャドウマスクの
交換時に、仕切り部材にて容器内の電子銃配設領域を閉
鎖することにより、電子銃の大気との接触を遮断するこ
とができ、水分吸着や酸化などがもたらす電子銃の電子
放出能力の劣化を抑制することができる。

【００２８】

【実施例】以下、本発明をその第１実施例を示す図面に
基づき具体的に説明する。図１は本発明の実施例１であ
る検査装置の構成を示す模式的断面図である。図中１は
被検査用のパネルであり、該パネル１の内表面に蛍光面
２が形成されている。容器３は例えばステンレス鋼製で
あり、パネル１と略同寸法の開口部を有するパネル脱着
部と、該パネル脱着部の開口部と反対側に突設された円
筒形状をなす電子銃配設部とから構成されている。パネ
ル１は、容器３の開口部即ち前面に着設された例えばゴ
ム製のガスケット４を挟んで、蛍光面２を開口部に対向
させて、真空気密性を保つように容器３に装着されてい
る。パネル１及び容器３の装着部分には、蛍光面２を容
器３へ電気接地する短絡板５が取りつけられ、蛍光面２
へ入射する電子を接地側に流し、蛍光面２の帯電を防止
するようになっている。容器３に連結された排気手段６
はポンプ６ａ及びゲート弁６ｂで構成されており、容器
３内を排気する。そしてリーク弁７が排気手段６に設け
られており、リーム弁７の調整により大気を容器３内に
導入する。

【００２９】また、電子線を形成する電子銃８が、容器
３の電子銃配設部に固定された例えばセラミックのよう
な絶縁物からなるソケット１２に支持され、電子線をパ
ネル１側へ照射できる様態にて配設されている。電子銃
８は、電子線を放出する陰極と、電子線の電流量を制御
し電子線を集束させる電子レンズ部から構成される。そ
して、容器３に設けられた導入端子１３を介して、電子
銃電源１０から配線材１４にて電子銃８へ給電を行うよ
うになっており、電子銃電源１０は、電子線加速電源１
０ａとこの出力に浮動して接続された陰極・レンズ電源
１０ｂとから構成されている。また、偏向ヨーク９が容
器３の電子銃配設部の外側周囲に配設され、偏向ヨーク
電源１１からの給電により電子線を走査する。

【００３０】上記のように構成された蛍光面検査装置に
おいては、まず、蛍光面形成工程を終えた被検査用のパ
ネル１は容器３の開口部に装着される。次に、排気手段
６を動作させることにより、容器３内部を高真空に排気
する。電子銃８を動作させるのに十分な圧力に達したと
きに電子銃電源１０からの給電により、電子銃８から電
子を放出する。電子銃８の陰極から放出された電子は、
電子銃８の電子レンズにより加速・集束され、電子線を
形成する。電子線の電流やビーム径は、陰極・レンズ電
源１０ｂの出力電圧を調整することにより、所定の検査
条件に設定する。形成された電子線は偏向ヨーク９によ
り走査され、蛍光面２の有効画面領域全面を発光させる
ので、パネル前面からその発光画像を観察し、蛍光面の
良否を検査する。検査が終了すれば、電子銃電源１０か
らの給電を遮断して電子線の照射を停止し、ゲート弁６
ｂを閉じて排気手段６の動作を停止させたのち、リーク
弁７を開いて容器３内を大気圧に開放し、検査済みのパ
ネルを取り外して次の被検査用のパネルに交換する。

【００３１】なお、本実施例に示した装置を用いて、寸
法や形状の異なる複数種のパネルの蛍光面検査を行う必
要があるときには、容器３を構成している部材のうち、
開口部が設けられている板状部材を容器本体から取り外
しできる構造とする。これにより、パネルの種類が変わ
る度に、これに適合する開口を設けた板状部材と交換す
ることにより、寸法や形状の異なる複数種のパネルの蛍
光面検査を行うことができる。

【００３２】本実施例によれば、モノクローム受像管な
どのように単色発光で動作させる陰極線管の蛍光面につ
いては、蛍光面形成工程直後の検査においても、完成球
と同等の発光画像が得られる。

【００３３】なお、以上の説明においては、ガスケット
を挟んでパネルを容器の開口部に装着する例を採りあげ
たが、パネルの交換が容易でありさえすれば、その装着
方法は上記実施例に限定されるものではない。例えば、
容器に開閉自在の扉状のパネル搬入口とガラスなどから
なる覗き窓を設け、上記パネル搬入口からパネルを容器
の内部に収納し、前記覗き窓から蛍光面の発光画像を観
察する構成としてもよい。

【００３４】次に、本発明をその第２実施例を示す図面
に基づき具体的に説明する。上記実施例１に示した構成
のもとで、例えばカラー受像管の蛍光面検査を実施した
場合は、走査照射される電子線は緑色、青色、赤色の蛍
光体をすべて等しく衝撃し、蛍光面はほぼ白色に発光す
る。このために、１種類の蛍光体単独の発光特性を検査
する必要がある場合には、実際のカラー受像管と同様
に、検査パネルにシャドウマスクを装着し、他の色の蛍
光体を電子線が衝撃することを防ぐように検査を行う。
以下、その実施例を説明する。

【００３５】図２は本発明の実施例２である検査装置の
構成を示す模式的断面図である。図中１はカラー受像管
用に製造された被検査用のパネルであり、内表面に３種
類の蛍光体からなる複数の画素及びブラックマトリクス
から構成された蛍光面２が形成されている。蛍光面２の
さらに内側には、複数の孔が開口されたシャドウマスク
１５がパネルピン１６により固定されており、パネル１
及びシャドウマスク１５は、容器３の開口部に着設され
た例えばゴム製のガスケット４を挟んで、シャドウマス
ク１５を開口部に対向させて、真空気密性を保つように
容器３に装着されている。シャドウマスク１５はパネル
ピン１６を介して蛍光面２と電気的に接続され、さらに
短絡板５により容器３へ電気接地されている。なお、シ
ャドウマスク１５は実際のカラー受像管内に装着されて
いるものを用いる。

【００３６】そして偏向ヨーク９が、蛍光面２の各画素
の中心と、それに対応するシャドウマクス１５の孔の中
心を結ぶ複数の直線の交点が、偏向ヨーク９の光学的な
偏向中心に一致するように配置されている。複数個の永
久磁石あるいは多極電磁石で構成されたピュリティ補正
磁石１７が、偏向ヨーク９と同芯状でパネル１と反対側
に配設されている。ピュリティ補正磁石１７は、実際の
カラー受像管に設けられるピュリティ補正磁石と同様
に、磁界の双極子成分の作用により陰極から放出される
電子線の放出角度を補正する機能を担うものである。他
の構成要素及びその機能は前記実施例１と同様であり、
その説明を省略する。

【００３７】以上のように構成された装置を用いて、前
記実施例１と同様の手順に従って電子線を形成したと
き、電子線の一部はシャドウマスク１５により遮断さ
れ、孔を通過した電子線だけが蛍光面２に到達する。図
３はパネル１及びシャドウマスク１５に電子線が照射さ
れた様子示す模式図である。図中、１８は電子線であ
り、シャドウマスク１５の孔を通過した電子線が、パネ
ル１に形成された蛍光面２を照射している。蛍光面２は
上述したように、緑色発光蛍光体２ａ，青色発光蛍光体
２ｂ，赤色発光蛍光体２ｃ及びブラックマトリクス２ｄ
で構成されている。図３は、一例として、緑色発光蛍光
体２ａの上に電子線１８が到達すべくピュリティ補正磁
石１７で電子線１８の入射角を調整した場合を示したも
のである。蛍光面２に到達する電子線１８は、シャドウ
マスク１５によって広がりを制限されているために、隣
接する青色発光蛍光体２ｂ又は赤色発光蛍光体２ｃを衝
撃することはなく、緑色発光蛍光体２ａだけを衝撃す
る。さらに、偏向中心と各画素中心とシャドウマクス孔
の各孔の中心とが一直線上に並ぶように偏向ヨーク９を
配置しているので、電子線１８を走査した場合に、電子
線１８はシャドウマスク１５のどの孔を通過しても緑色
発光蛍光体２ａ上に到達するようになっている。

【００３８】以上のように、本実施例によれば、電子線
１８は蛍光面２への走査照射中に緑色発光蛍光体２ａの
みを衝撃するので、パネル面には緑色の発光画像が映し
出され、緑色発光蛍光体２ａの発光特性を単独に検査す
ることができる。

【００３９】なお、上述の第２実施例においては、一例
として緑色発光蛍光体２ａの検査方法について説明して
いるが、これに限るものではなく、ピュリティ補正磁石
１７の調整、又は被検査用のパネル１と電子銃８との相
対位置の調整により、電子線１８のシャドウマスク２へ
の入射角を変えれば、青色及び赤色に発光する蛍光体２
ｂ，２ｃについても同様の検査を行うことができる。

【００４０】次に、本発明をその第３実施例を示す図面
に基づき具体的に説明する。上記実施例２は、カラー受
像管の蛍光面の緑色、青色、赤色のいずれかの発光蛍光
体に１本の電子線を走査照射することにより、緑色、青
色、赤色のいずれかの単色に画面を発光させて、夫々の
蛍光体の発光特性を個別に検査する例であったが、例え
ば、画像の複合的な色調やコントラストなどを検査する
必要がある場合には、同時に３本の電子線で蛍光面上の
緑色、青色、赤色夫々の蛍光体を独立に衝撃し、実際の
カラー受像管の完成品と同等の形像機能を実現するよう
に検査を行う。以下、その実施例を説明する。

【００４１】図４は本発明の実施例３である装置の構成
を示す模式的断面図である。図中１はカラー受像管用に
製造された被検査用のパネルであり、内表面に３種類の
蛍光体からなる複数の画素及びブラックマトリクスから
構成された蛍光面２が形成されている。蛍光面２のさら
に内側には、複数の孔が開口されたシャドウマスク１５
が固定されており、パネル１及びシャドウマスク１５
は、シャドウマスク１５を開口部に対向させて真空気密
性を保つように容器３に装着されている。なお、シャド
ウマスク１５は実際のカラー受像管内に装着されている
ものを用いる。

【００４２】電子銃８は、実際のカラー受像管内に封入
する電子銃と同様の、３個の陰極８ａ，８ｂ，８ｃを備
えたものを用いる。複数個の永久磁石あるいは多極電磁
石で構成されたコンバーゼンス補正磁石１９が、ピュリ
ティ補正磁石１７と同芯状でパネル１と反対側に配設さ
れている。コンバーゼンス補正磁石１９は、実際のカラ
ー受像管に設けられるコンバーゼンス補正磁石と同様
に、ピュリティ補正磁石１７と組み合わせて用いられ、
磁界の双極子成分、四極子成分及び六極子成分の作用に
より３個の陰極から放出される３本の電子線の放出角度
を夫々独立に補正する機能を担うものである。他の構成
要素及びその機能は前記実施例１と同様であり、その説
明を省略する。

【００４３】以上のように構成された装置を用いて、前
記実施例２と同様の手順に従って電子線を形成したと
き、電子銃からは３本の電子線が引き出される。図５は
パネル１及びシャドウマスク１５に電子線が照射された
様子示す模式図である。図中、８ａ、８ｂ、８ｃは夫々
電子銃８が備える３個の陰極であり、３個の陰極８ａ、
８ｂ、８ｃからの電子線１８ａ、１８ｂ、１８ｃが放出
され、電子銃８の電子レンズ部８ｄにて集束される。こ
れらの電子線１８ａ、１８ｂ、１８ｃは、ピュリティ補
正磁石１７及びコンバーゼンス補正磁石１９を調整する
ことにより、シャドウマスク１５の孔の中心で交叉し、
夫々緑色、青色、赤色に発光する蛍光体２ａ、２ｂ、２
ｃを個別に衝撃する。この動作状態はまさに実際のカラ
ー受像管の動作中に実現されている状態と同等である。
従って、３本の電子線１８を偏向ヨーク９により一括走
査し、かつそれらの電流量を独立に制御すれば、その電
流量の組み合わせによって、任意の色度、輝度を呈する
任意の模様の画像をパネル面に映し出すことができる。
この画像を観察することにより、蛍光面の検査を行う。

【００４４】次に、本発明をその第４実施例を示す図面
に基づき具体的に説明する。上記実施例３において、実
際のカラー受像管と同等の形像機能を実現するために
は、図５に示したように、３本の電子線の主光線がシャ
ドウマスクの孔の中心で交叉し、かつそれらが緑色、青
色、赤色に発光する蛍光体を夫々個別に衝撃する、いわ
ゆる完全ランディングが実現されることが必要である。
ピュリティ補正磁石１７及びコンバーゼンス補正磁石１
９は、電子銃８の工作誤差などに起因する電子線軌道の
ずれを補償し、完全ランディングを実現する機能を担っ
ているが、場合によっては、被検査様のパネル１の交換
時に電子銃８と蛍光面２との相対位置関係が再現せず、
ピュリティ補正磁石１７及びコンバーゼンス補正磁石１
９による補償可能限界を超えてしまうことがあり得る。
このような場合、パネル１と電子銃８を正規の相対位置
に戻すために、電子銃８を移動させる機構が必要であ
る。

【００４５】また、被検査用のパネルと電子銃の相対位
置を調整することにより、蛍光体ピッチの異なる多くの
管種の蛍光面の検査を、単一の電子銃で実施できる。例
えば、電子銃の位置をパネルから遠ざけ、シャドウマス
ク孔の位置で３本の電子線が交叉するよう集束レンズの
強度を調整したときには、蛍光面上での３本の電子線の
到達点の間隔が縮まり、蛍光体ピッチの狭い蛍光面に適
合する完全ランディングが得られる。

【００４６】以下、電子銃を移動させる手段を備えた実
施例について説明する。図６は本発明の実施例４を示す
全体構成図である。容器３の電子銃配設部側の背面に電
子銃移動手段２１が設けられており、電子銃移動手段２
１には容器３内部側に円柱状のシャフト２０の一端を連
結させ、他端にソケット１２を固定して電子銃８をソケ
ット１２にて支持している。シャフト２０は電子線の照
射方向に伸退可能になっており、これにより電子銃８は
移動可能となっている。

【００４７】図７は電子銃移動手段２１の構造を示す模
式的拡大断面図である。容器３の背面には開口部が設け
られており、シャフト２０を通す軸受けフランジ２２を
背面外側に、その凸部分を開口部に係入せしめる様態に
て配置し、押え金２３を容器３にネジ止めすることによ
り、容器３及び押え金２３にて軸受けフランジ２２を挟
持している。容器３と軸受けフランジ２２との間にはガ
スケット２５が、また、軸受フランジ２２とシャフト２
０との間にはガスケット２４が、真空気密性を保つよう
に介在されている。このとき、容器３と軸受フランジ２
２の間に間隙を残しつつ、かつ、真空気密性を保つだけ
のガスケット２５の潰し代が得られるよう、各部材の寸
法を適切に選定する。押え金２３の周側面には４個程度
のねじ穴が設けられており、調整ねじ２６，２６…を廻
して軸受フランジ２１の周面を押圧し、軸受フランジ２
１の固定位置を調整できるようになっている。他の構成
要素及びその機能は前記実施例３と同様であり、その説
明を省略する。

【００４８】以上のように構成された装置を用いて、前
記実施例３と同様の手順に従って電子線を形成したと
き、シャフト２０に取り付けられた電子銃８は電子線照
射方向への移動が自在であるので、装置に装着された被
検査用のパネル１と電子銃８との距離を調整することが
でき、蛍光体ピッチの異なる多くの管種の蛍光面の検査
を、単一の電子銃で実施できる。また、軸受フランジ２
２の固定位置をパネル１の対向面内で調整できるので、
パネル１の中心と電子銃８の中心軸とを合致させること
ができ、電子銃８の工作誤差などに起因する電子線軌道
のずれを補償し、完全ランディングが実現できる。さら
に、軸回転も自在であるから、パネル１と電子銃８との
回転方向のずれも調整することができる。

【００４９】なお、上述の第４実施例においては、電子
銃を移動させる機構の一例を示したものであって、これ
に限るものではなく、パネル及び電子銃の相対位置を調
整できる移動機構であれば良い。

【００５０】ところで、上述の実施例１，２，３及び４
において、検査装置に備える電子銃８は、実際の陰極線
管と同等の性質を有する電子線を形成し得るものであれ
ば、この検査装置専用に新たに製作したものを用いても
何ら差し支えないが、実際の陰極線管に封入する電子銃
を流用するのが最も簡易である。

【００５１】陰極線管用電子銃の陰極は、通常酸化物陰
極を用いている。酸化物陰極は、ニッケルスリーブの表
面にアルカリ土類金属の酸化物被覆膜を施したもので、
電子顕微鏡などに用いられるタングステン熱陰極に比べ
て動作温度が低いことが特長である。例えば受像管用電
子銃の陰極材として最も一般的な酸化バリウムでは、真
空中で摂氏８００度程度に加熱すると酸化バリウムがバ
リウムと酸素に解離し、遊離バリウムが放射体となって
熱電子を放出する。酸化物陰極を使用する際に留意すべ
き点は、遊離金属が非常に活性であるため、水分や酸素
があると容易に反応し、電子放出能力が劣化してしまう
ことである。実際の陰極線管では、管球内を高真空に排
気した状態で封止するので、エージングを終えた酸化物
陰極が大気に曝されることはなく、この問題はさほど深
刻ではない。しかしながら、本発明実施例に示した蛍光
面検査装置においては、パネルの交換の度に容器内が大
気圧に開放されるので、大気中の水分による酸化物陰極
の劣化を防止する方法として、容器内に仕切り部材を設
けて検査を行うことが考えられる。

【００５２】また、検査装置に備える電子銃の陰極とし
て、酸化物陰極に比べて耐反応性の良好なタングステン
陰極を用いる場合もある。タングステン陰極を高温に加
熱して大気に曝した場合も、やはり陰極は容易に酸化す
る。酸化タングステンは単金属タングステンに比べて蒸
発しやすいので、陰極の消耗が促進され、検査終了後、
陰極温度が十分低下するのを待って大気開放を行う必要
がある。しかしながらこの方法では、１回の検査に要す
る時間が長くなり、検査能率が低下してしまう。従っ
て、タングステン陰極を用いる場合においても、陰極の
劣化を防止する方法として、容器内に仕切り部材を設け
る方法が有効であると考えられる。

【００５３】以下に、本発明をその第５実施例を示す図
面に基づき具体的に説明する。図８は本発明の実施例５
である装置の構成を示した模式的断面図である。容器３
は被検査用のパネル１の寸法に応じた開口部を形成した
パネル脱着部と、該パネル脱着部の開口部と反対側に突
設された円筒形状をなす電子銃配設部とから構成されて
おり、この境界部分に仕切り部材である仕切り弁２７が
設けられており、仕切り弁２７を閉じると、容器３内の
パネル側空間と電子銃側空間とは排気系統上ふたつに分
離される。容器のパネル側及び電子銃側には夫々個別に
排気手段６，２８が設けられている。他の構成要素及び
その機能は前記実施例３と同様であり、その説明を省略
する。

【００５４】以上のように構成された装置を用いて、前
記実施例３と同様の手順に従って電子線を形成すると
き、パネル１の蛍光面２の検査中は仕切り弁２７を開
き、電子銃８から引き出される電子線を蛍光面２に照射
する。検査終了後、パネル１を交換する際には、まず仕
切り弁２７及びゲート弁６ｂを閉じる。次いでリーク弁
７を開き、容器３内部を大気圧に開放する。そしてパネ
ル１を取り外す。この間、容器３の電子銃側空間は、仕
切り弁２７によりパネル側空間から遮断されているの
で、排気手段２８により高真空を保ち続け、電子銃８の
陰極は大気に曝されることがない。

【００５５】以上の説明から明らかなように、本実施例
によれば、検査終了後陰極の冷却を待つことなく速やか
にパネル１の交換を行うことができ、また、電子銃８の
陰極に酸化物陰極を用いた場合でも、電子放出能力の劣
化が抑止される。

【００５６】次に、本発明をその第６実施例を示す図面
に基づき具体的に説明する。図９は、本発明の実施例６
である装置の構成を示す模式的断面図である。容器３の
背面に電子銃移動手段２１を備え、電子銃８の電子線照
射位置よりも背面側に仕切り弁２７が設けられている。
仕切り弁２７を閉じると、容器３内は、排気系統上、仕
切り弁２７より背面空間とパネル側空間とのふたつに分
離されるようになっている。夫々の空間には個別に排気
手段６，２８が設けられている。他の構成要素及びその
機能は前記実施例４（図６）と同様であり、その説明を
省略する。

【００５７】以上のように構成された装置を用いて、前
記実施例４と同様の手順に従って電子線を形成すると
き、パネル１の蛍光面２の検査中は仕切り弁２７を開
き、電子銃８から引き出される電子線を蛍光面２に照射
する。検査終了後、パネル１を交換する際には、まず電
子銃移動手段２１により電子銃８を仕切り弁２７を設け
た方向へ退避させる。この後、仕切り弁２７を閉じる
と、電子銃８とパネル１とは排気系統上分離されるの
で、仕切り弁２７より背面空間は、仕切り弁２７により
パネル側空間から遮断されているので、排気手段２８に
より高真空を保ち続け、この空間に退避せしめた電子銃
８の陰極は大気に曝されることがない。

【００５８】このような構成は、上述の実施例５のよう
に容器内に仕切り部材を設けることに装置構成上の障害
がある場合に用いられる。電子銃移動手段２１は、上述
と同様、移動機能を有するものであれば良い。

【００５９】次に、本発明をその第７実施例を示す図面
に基づき具体的に説明する。図１０は本発明の実施例７
を示す全体構成図である。図中３２は実際の陰極線管の
構成部材であるファンネルであり、前部に開口部を有す
るファンネル３２の内表面には、例えばグラファイトな
どの導電膜３３が塗布されている。ファンネル３２の後
部であるネック部は、電子銃退避室３７の一端とガスケ
ット３８を介在させて真空気密性を保つように連結され
ている。電子銃退避室３７は、例えばステンレス鋼製の
略円筒形状をなしたものであり、他端には電子銃移動手
段２１を備えている。

【００６０】電子銃移動手段２１は、電子銃退避室３７
内部側に円柱状のシャフト２０の一端が連結され、他端
にソケット１２が固定されて、該ソケット１２により電
子銃８が電子線をパネル１側へ照射できる様態にて支持
されている。電子銃８は、電子線を放出する陰極と、電
子線の電流量を制御し電子線を集束させる電子レンズ部
から構成されている。そして、電子銃退避室３７に設け
られた導入端子１３を介して、電子銃電源１０の陰極・
レンズ電源１０ｂから配線材１４にて電子銃８へ給電を
行うようになっている。また、シャフト２０は電子線の
照射方向に伸退可能であり、これにより電子銃８は移動
可能となっている。また、電子銃退避室３７には、仕切
り弁２７が設けられており、電子銃８を電子銃退避室３
７へ退避せしめて仕切り弁２７を閉じることにより、電
子銃８とパネル側とを排気系統上分離できるようになっ
ている。なお、電子銃移動手段２１は、上述の図７に示
した構造のものとする。

【００６１】そして、ファンネル３２は上述したように
内表面に導電膜３３が塗布されており、ファンネル３２
周側面にアノードコンタクト３４が形成されて、電子線
加速電源１０ａからアノードコンタクト３４を介して導
電膜３３に給電するようになっている。ファンネル３２
のネック部の外側周囲に偏向ヨーク９が配設され、偏向
ヨーク電源１１からの給電により電子線を走査する。複
数個の永久磁石あるいは多極電磁石で構成されたピュリ
ティ補正磁石１７が、偏向ヨーク９と同芯状でパネル１
と反対側に配設され、複数個の永久磁石あるいは多極電
磁石で構成されたコンバーゼンス補正磁石１９が、ピュ
リティ補正磁石１７と同芯状でパネル１と反対側に配設
されている。ピュリティ補正磁石１７は、磁界の双極子
成分の作用により陰極から放出される電子線の放出角度
を補正する機能を担うものであり、コンバーゼンス補正
磁石１９は、ピュリティ補正磁石１７と組み合わせて用
いられ、磁界の双極子成分、四極子成分及び六極子成分
の作用により３個の陰極から放出される３本の電子線の
放出角度を夫々独立に補正する機能を担うものである。

【００６２】ファンネル３２の開口部には、被検査用の
パネル１の装着位置を固定するための絶縁物で構成され
た位置決め部材２９が、４箇所に固定されている。この
とき、予めファンネル３２のコーン側端面を位置決め部
材２９の厚さ分だけ削り、パネル１とファンネル３２の
配置が正規の完成管球と等しくなるようにする。位置決
め部材２９には押さえ板３６が着設されており、押さえ
板３６のファンネル３２側には、ファンネル押え板３５
が押さえ板３６間及びファンネル３２間に真空気密性を
保つためのガスケット３１を挟んで固定されており、押
さえ板３６のパネル１側には、パネル押え板３０が押さ
え板３６間に真空気密性を保つためのガスケット３１を
挟んで固定されている。そして、ファンネル３２の開口
部に位置決め部材２９を挟んでパネル１を装着する。こ
のとき、パネル押え板３０とパネル１とはガスケット３
１を挟んで固定される。

【００６３】パネル１の内表面には、３種類の蛍光体か
らなる複数の画素及びブラックマトリクスから構成され
た蛍光面２が形成されており、蛍光面２のさらに内側に
は、複数の孔が開口されたシャドウマスク１５がパネル
ピン１６により固定されている。パネル１内表面の蛍光
面２とファンネル３２内表面の導電膜３３は短絡板５に
より電気的に接続される。電子線加速電源１０ａからの
出力は、アノードコンタクト３４へ入力され、導電膜３
３、短絡板５を介して、蛍光面２及びシャドウマスク１
５へ入力されて電子線加速電圧を印加する。

【００６４】そして、容器３にポンプ６ａ及びゲート弁
６ｂで構成された排気手段６が連結され、容器３内を排
気しする。排気手段６にはリーク弁７が設けられてお
り、リーム弁７の調整により大気を容器３内に導入す
る。また、電子銃退避室３７にも排気手段２８が連結さ
れており、電子銃退避室３７の真空排気を調節するよう
になっている。なお、本実施例では４箇所に位置決め部
材２９を固定させているが、真空排気時にパネル１にか
かる圧力を支えられる程度の個数を設けるものとする。

【００６５】以上のように構成された陰極線管の蛍光面
検査装置を用いて、第６実施例と同様に被検査用のパネ
ル１について検査を行う。このような装置においては、
容器の一部をファンネル３２で構成し、またパネル１と
ファンネル３２との配置が正規の完成管球と等しくなる
よう構成しているので、電子銃８のみならず、偏向ヨー
ク９、ピュリティ補正磁石１６、コンバーゼンス補正磁
石１８が、実際の陰極線管に使用されるものとの間に寸
法互換性ならびに機能互換性がある。偏向ヨーク９に互
換性があることから、さらに偏向ヨーク電源１１にも互
換性がある。また、実際の陰極線管と同じく蛍光面２に
高電圧を印加する方式を採っているので、電子線加速電
源１０ａ及び陰極・レンズ電源１０ｂにも実際の陰極線
管用の電源をそのまま流用することができる。このよう
に、実際の陰極線管に用いられる部品を流用することに
より、本発明装置を簡易に製造することができる。

【００６６】なお、前記第１〜第７実施例において、パ
ネルの蛍光面を検査する場合について説明しているが、
これに限るものではなく、電子銃又はシャドウマスクを
検査対象として配置し、夫々他の構成部材に正常のもの
を用いて検査することができる。

【００６７】例えば、シャドウマスクを検査する場合に
は、予め正常であることが確認されている電子銃及び蛍
光面を有するパネルを本発明装置に用い、電子銃から発
した電子線をシャドウマスクを介して蛍光面に照射する
こと。このようにしてシャドウマスクの穴詰まり，穴径
及びピッチ等の‘むら’を、画面の明るさ又は色のむら
として観察する。このとき、蛍光面における蛍光体は、
赤・緑・青の３色であっても良いが、何れかの単色であ
る方が輝度（明るさ）のむらとして認識できるために判
定し易い。

【００６８】また、電子銃を検査する場合には、予め正
常であることが確認されているシャドウマスク及び蛍光
面を有するパネルを本発明装置に用い、電子線の収束状
態又は発光位置等から、電子銃の加工・組立時の寸法誤
差による不良を画面上で判定する。このとき、蛍光面は
単色であっても良い。

【００６９】

【発明の効果】以上の如く、本発明においては、陰極線
管構成部材を組立製造する前に、パネル，電子銃又はシ
ャドウマスクの何れかを被検査部材として、パネルの蛍
光面に電子線を走査照射し、発光画像を得て検査を行う
ので、後続工程前に検査結果を得ることができ、蛍光面
形成工程で発生した不良を早期に検知し、また、その改
善対策を速やかに講ずることができる。

【００７０】また、カラー受像管の如く完成球での動作
においてシャドウマスクを必要とする蛍光面に対して
は、検査においても同様にパネルにシャドウマスクを装
着したまま電子線を走査照射し、蛍光面の検査を行うの
で、特定の色の蛍光体だけが発光する画像を映し出すこ
とができ、１種類の蛍光体単独の発光特性の検査を行う
ことができる。

【００７１】加えて、同時に複数本の電子線で蛍光面上
の各色の蛍光体を独立に衝撃することにより、実際の陰
極線管の完成品と同等の形像機能を実現することがで
き、最終製品検査と同じく幅広い項目にわたる蛍光面の
検査を実施することができる。

【００７２】また、電子銃を移動させる手段を備えるこ
とにより、ランディング調整が容易になり、また、蛍光
体ピッチの異なる蛍光面の検査を、１台の装置で電子銃
を交換することなく実施することができる。

【００７３】そして、パネルと電子銃との間に仕切り部
材を設けることにより、検査終了後陰極の冷却を待つこ
となく、速やかにパネルを交換することができ、検査の
作業能率が向上する。また、陰極の電子放出能力の劣化
が防止できるので、電子銃の寿命が長くなり、電子銃の
交換頻度を低減できる等、本発明は優れた効果を奏する
ものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例１を示す模式的断面図である。

【図２】本発明の実施例２を示す模式的断面図である。

【図３】本発明の実施例２のパネル及びシャドウマスク
に電子線が照射された様子示す模式図である。

【図４】本発明の実施例３を示す模式的断面図である。

【図５】本発明の実施例３の電子線を照射した様子を示
す模式図である。

【図６】本発明の実施例４を示す模式的断面図である。

【図７】本発明の実施例４を示す電子銃移動手段の詳細
断面図である。

【図８】本発明の実施例５を示す模式的断面図である。

【図９】本発明の実施例６を示す模式的断面図である。

【図１０】本発明の実施例７を示す模式的断面図であ
る。

【符号の説明】

１パネル２蛍光面３容器６排気手段８電子銃９偏向ヨーク１５シャドウマスク１８電子線２１電子銃移動手段２７仕切り弁

【手続補正書】

【提出日】平成５年８月２６日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】全文

【補正方法】変更

【補正内容】

【書類名】明細書

【発明の名称】陰極線管構成部材の検査方法及びその
実施に使用する装置

【特許請求の範囲】

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【０００２】

【０００４】陰極線管のうち、特にカラー受像管では、
蛍光面検査工程の果たすべき役割は重大である。例えば
典型的な家庭用テレビジョン受信機のカラー受像管で
は、蛍光面には光の３原色である緑色、青色、赤色に発
光する３種類の蛍光体がストライプ状に配置されてお
り、夫々を３本の電子線で独立に衝撃することにより、
任意の色度・輝度の画像を形成する。３本の電子線の軌
道が交叉する位置にはシャドウマスクが配置される。シ
ャドウマスクは、蛍光面を構成するひとつひとつの蛍光
体画素に対応した多数の孔を有しており、電子銃から発
射され蛍光体を衝撃する電子線の広がりを制限し、孔に
入射する３本の電子線の夫々の入射角により色選別を行
う役割を担っている。さらに、隣接する蛍光体画素への
電子線入射を防ぎ、画像のコントラストを良くするため
に、蛍光体画素の相互の間隙に光吸収性の黒体膜からな
るブラックマトリクスを設ける。ブラックマトリクス
は、レジスト塗布，露光，現像，グラファイト塗布，エ
ッチングそして現像の工程で形成される。また蛍光体膜
はスラリー塗布、露光、現像の工程を各色繰り返しなが
ら順次形成される。以上のように、カラー受像管の蛍光
面は、単色発光の陰極線管に比べて構造や製造工程が複
雑であることに加え、蛍光面パターンの寸法誤差などが
原因となる画面の混色といったカラー受像管特有の不良
現象も出現するため、適切な検査手法に基づく品質管理
が要求される。

【０００７】以上に説明した蛍光面検査の他にも、シャ
ドウマスク又は電子銃の検査も陰極線管製造の品質管理
上欠くことのできない工程である。シャドウマスクは、
プレス成形の後、彎曲面の出来具合，むら又は外観など
を検査してパネルに装着される。また電子銃は、電極部
品単体の寸法精度を検査した後組み立てられ、電極間隔
などの組立精度を検査して、管内に封入する。シャドウ
マスク，電子銃の特性検査は、陰極線管を管球として完
成させた後、最終製品検査の一項目として実施してい
る。

【０００８】

【０００９】まず陰極線管を管球として完成させた後に
蛍光面を発光させて検査を行う方式では、パネルに蛍光
面を形成した後にも、パネルとファンネルの封着工程、
電子銃の封入工程、管内の排気工程、真空封止工程、陰
極のエージング工程など多くの後続工程を経なければ検
査を実施することができない。したがって、蛍光面形成
時に不慮の工程不良が発生した際、その不良が検査によ
り発覚するまでには上記のごとく長い時間を要するた
め、その間に製造ラインに投入された管球はすべて不合
格品として廃棄せざるを得ず、大きな損失を招くことが
あった。これは蛍光面に限らず、電子銃又はシャドウマ
スクの製造工程で不良が発生した際にも同様であって、
極めて深刻な問題となっていた。また、完成管球による
画面検査で不良が発覚したとしても、その原因となった
不良構成部材が何れであるかを特定する作業には長い時
間を費やし、迅速に対策を講ずることが難しいという問
題もあった。

【００１０】一方、蛍光面を形成したパネルに光を照射
し、その際の発光あるいは透過光を観察する方法では、
蛍光面形成工程を終えれば直ちにその検査を実施するこ
とができるので、不良の早期発見という観点では上記の
検査方法に勝るものの、検査項目が極めて狭く限定され
てしまうという難点があった。つまり、光照射による検
査方法は、実際に電子線を照射するわけではないので、
完成管球の定格動作条件における輝度、色調、発光均一
性などの良否を評価することが困難であり、例えば蛍光
体の欠落又はシャドウマスクの目詰まりなど、限られた
種類の欠陥の発見に利用されるだけに止まり、検査でき
る項目が限られていた。また、電子銃についても欠陥を
管球完成以前に察知するには外見検査の他に有効な手段
がなく、電子放出特性上の不良などの早期発見が難しか
った。

【００１１】本発明は、かかる事情に鑑みてなされたも
のであり、陰極線管のパネルに形成された蛍光面，電子
銃又はシャドウマスクの検査を、後続工程を経ることな
く、当該被検査部材単独で、しかも最終製品検査と同じ
く幅広い検査項目にわたって実施できる検査装置及び検
査方法を提供することを目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】第１発明に係る陰極線管
構成部材の検査方法は、パネルが脱着可能に装着される
閉塞可能な容器内に電子銃を配置し、検査対象のパネル
を装着して、パネルの蛍光面に電子線を照射することを
特徴とする。

【００１３】第２発明に係る陰極線管構成部材の検査方
法は、閉塞可能な容器内に検査対象の電子銃を脱着可能
に配置し、該電子銃から発射される電子線を、容器に備
えられたパネルの蛍光面に照射することを特徴とする。

【００１４】第３発明に係る陰極線管構成部材の検査方
法は、パネルが脱着可能に装着される閉塞可能な容器内
に電子銃を配置し、検査対象のシャドウマスクを取着し
たパネルを装着して、パネルの蛍光面に電子線を照射す
ることを特徴とする。

【００１５】第４発明に係る陰極線管構成部材の検査方
法は、第３発明において、パネルの蛍光面が単色の蛍光
体であることを特徴とする。

【００１６】第５発明に係る陰極線管構成部材の検査方
法は、第１，２又は３発明において、複数の電子線を蛍
光面へ照射することを特徴とする。

【００１７】第６発明に係る陰極線管構成部材の検査装
置は、検査対象のパネルが脱着可能に装着される閉塞可
能な容器と、容器内に配置される電子銃と、容器内を排
気する排気手段と、パネルの蛍光面に電子線を走査せし
める偏向ヨークとを備えることを特徴とする。

【００１８】第７発明に係る陰極線管構成部材の検査装
置は、蛍光面が形成されたパネルと、閉塞可能な容器
と、偏向ヨークと排気手段とを備え、検査対象の電子銃
を容器内に脱着可能に配置するようにしてあることを特
徴とする。

【００１９】第８発明に係る陰極線管構成部材の検査装
置は、パネルと、該パネルが脱着可能に装着される閉塞
可能な容器と、容器内に配置される電子銃と、偏向ヨー
クと排気手段とを備え、検査対象のシャドウマスクをパ
ネルの容器対向側に脱着可能に取着するようにしてある
ことを特徴とする。

【００２０】第９発明に係る陰極線管構成部材の検査装
置は、第６，７又は８発明において、電子銃を移動せし
める手段を備えることを特徴とする。

【００２１】第１０発明に係る陰極線管構成部材の検査
装置は、第６又は８発明において、電子銃を容器内で封
閉すべく、仕切り部材を電子銃及びパネル間に介在可能
に備えることを特徴とする。

【００２２】

【作用】本発明による陰極線管構成部材の検査装置及び
検査方法では、パネルを検査対象とするときは容器にパ
ネルを脱着可能に装着し、電子銃を検査対象とするとき
は容器に電子銃を脱着可能に装着して、電子線をパネル
の蛍光面に照射することにより、検査対象部材の検査を
行う。例えばパネルが被検査部材である場合には、蛍光
面形成工程を終えたパネルを検査装置に装着し、検査装
置内に配置された電子銃から発射される電子線を蛍光面
上に走査照射することにより、陰極線管の完成管球と同
じく、電子線を励起源として発光する画像状態が実現さ
れ、これを観察して検査を行う。また、電子銃を検査対
象部材として検査する場合も同様である。

【００２３】また、シャドウマスクを検査対象部材とす
る場合は、シャドウマスクをパネルの容器対向側に脱着
可能に取着して、電子線をシャドウマスクを通してパネ
ルの蛍光面に照射することにより、シャドウマスクの検
査を行う。

【００２４】また、シャドウマスクが被検査部材である
場合においては、検査画像を単種類の蛍光体で形成され
た蛍光面に映し出すことにより、シャドウマスクの欠陥
を検査画面の輝度むらとして表示させることができる。

【００２５】また、カラー受像管の如く完成管球での動
作において複数本の電子線を蛍光面に照射する陰極線管
の構成部材に対しては、検査においても同様に、複数本
の電子線を電子銃から発射させることにより、蛍光体を
発光色ごとに独立に衝撃し、任意の色度・輝度を呈する
任意の模様の検査画像を映し出すことができる。

【００２８】

【実施例】以下、本発明をその第１実施例を示す図面に
基づき具体的に説明する。図１は本発明の実施例１であ
る検査装置の構成を示す模式的断面図である。図中１は
被検査用のパネルであり、該パネル１の内表面に蛍光面
２が形成されている。容器３は例えばステンレス鋼製で
あり、パネル１と略同寸法の開口部を有するパネル脱着
部と、該パネル脱着部の開口部と反対側に突設された円
筒形状をなす電子銃配設部とから構成されている。パネ
ル１は、容器３の開口部即ち前面に着設された例えばゴ
ム製のガスケット４を挟んで、蛍光面２を開口部に対向
させて、真空気密性を保つように容器３に装着されてい
る。容器３の開口部には、板ばね状の短絡板５が取り付
けられており、パネル１装着時に蛍光面２と接触するよ
うになっている。短絡板５は蛍光面２へ入射する電子を
接地側に移動せしめ、蛍光面の帯電を防止するためのも
のである。容器３に連結された排気手段６はポンプ６ａ
及びゲート弁６ｂで構成されており、容器３内を排気す
る。容器３に連結して設けられているリーク弁７は、容
器３内を大気圧に開放する際に用いる。

【００３０】上記のように構成された蛍光面検査装置に
おいては、まず、蛍光面形成工程を終えた被検査用のパ
ネル１は容器３の開口部に装着される。次に、排気手段
６を動作させることにより、容器３内部を高真空に排気
する。電子銃８を動作させるのに十分な圧力に達したと
きに電子銃電源１０からの給電により、電子銃８から電
子を放出せしめる。電子銃８の陰極から放出された電子
は、電子銃８の電子レンズにより加速・集束され、電子
線を形成する。電子線の電流やビーム径は、陰極・レン
ズ電源１０ｂの出力電圧を調整することにより、所定の
検査条件に設定する。形成された電子線は偏向ヨーク９
により走査され、蛍光面２の有効画面領域全面を発光さ
せるので、パネル前面からその発光画像を観察し、蛍光
面の良否を検査する。検査が終了すれば、電子銃電源１
０からの給電を遮断して電子線の照射を停止し、ゲート
弁６ｂを閉じて排気手段６の動作を停止させたのち、リ
ーク弁７を開いて容器３内を大気圧に開放し、検査済み
のパネルを取り外して次の被検査用のパネルに交換す
る。

【００３２】本実施例によれば、モノクローム受像管な
どのように単色発光で動作させる陰極線管の蛍光面につ
いては、蛍光面形成工程直後の検査においても、完成管
球と同等の発光画像が得られる。

【００３５】図２は本発明の実施例２である検査装置の
構成を示す模式的断面図である。図中１はカラー受像管
用に製造された被検査用のパネルであり、内表面に３種
類の蛍光体及びブラックマトリクスからなる蛍光面２が
形成されている。パネル１の内側にはパネルピン１６を
用いてシャドウマスク１５が装着されており、パネル１
及びシャドウマスク１５は、容器３の開口部に着設され
た例えばゴム製のガスケット４を挟んで、シャドウマス
ク１５を開口部に対向させて、真空気密性を保つように
容器３に装着されている。シャドウマスク１５はパネル
ピン１６を介して蛍光面２と電気的に接続され、さらに
短絡板５により容器３へ電気接地されている。なお、シ
ャドウマスク１５は実際のカラー受像管内に装着されて
いるものを用いる。

【００３６】そして偏向ヨーク９が、蛍光面２の各画素
の中心と、それに対応するシャドウマクス１５の孔の中
心を結ぶ複数の直線群の交点の位置に、偏向ヨーク９の
光学的な偏向中心が一致するように配置されている。複
数個の永久磁石あるいは多極電磁石で構成されたピュリ
ティ補正磁石１７が、偏向ヨーク９と同芯状でパネル１
と反対側に配設されている。ピュリティ補正磁石１７
は、実際のカラー受像管に設けられるピュリティ補正磁
石と同様に、磁界の双極子成分の作用により陰極から放
出される電子線の放出角度を補正する機能を担うもので
ある。他の構成要素及びその機能は前記実施例１と同様
であり、その説明を省略する。

【００３７】以上のように構成された装置を用いて、前
記実施例１と同様の手順に従って電子線を形成したと
き、電子線の一部はシャドウマスク１５により遮断さ
れ、孔を通過した電子線だけが蛍光面２に到達する。図
３はパネル１及びシャドウマスク１５に電子線が照射さ
れた様子を示す模式図である。図中、１８は電子線であ
り、シャドウマスク１５の孔を通過した電子線が、パネ
ル１に形成された蛍光面２を照射している。蛍光面２は
上述したように、緑色発光蛍光体２ａ，青色発光蛍光体
２ｂ，赤色発光蛍光体２ｃ及びブラックマトリクス２ｄ
で構成されている。図３は、一例として、緑色発光蛍光
体２ａの上に電子線１８が到達すべくピュリティ補正磁
石１７で電子線１８の入射角を調整した場合を示したも
のである。蛍光面２に到達する電子線１８は、シャドウ
マスク１５によって広がりを制限されているために、隣
接する青色発光蛍光体２ｂ又は赤色発光蛍光体２ｃを衝
撃することはなく、緑色発光蛍光体２ａだけを衝撃す
る。さらに、偏向中心と各画素中心とシャドウマクス孔
の各孔の中心とが一直線上に並ぶように偏向ヨーク９を
配置しているので、電子線１８を走査した場合に、電子
線１８はシャドウマスク１５のどの孔を通過しても緑色
発光蛍光体２ａ上に到達するようになっている。

【００４１】図４は本発明の実施例３である装置の構成
を示す模式的断面図である。図中１はカラー受像管用に
製造された被検査用のパネルであり、内表面に３種類の
蛍光体及びブラックマトリクスからなる蛍光面２が形成
されている。パネル１の内側には、パネルピン１６を用
いてシャドウマスク１５が装着されており、パネル１及
びシャドウマスク１５は、シャドウマスク１５を開口部
に対向させて真空気密性を保つように容器３に装着され
ている。なお、シャドウマスク１５は実際のカラー受像
管内に装着されているものを用いる。

【００４３】以上のように構成された装置を用いて、前
記実施例２と同様の手順に従って電子線を形成したと
き、電子銃からは３本の電子線が引き出される。図５は
パネル１及びシャドウマスク１５に電子線が照射された
様子を示す模式図である。図中、８ａ、８ｂ、８ｃは夫
々電子銃８が備える３個の陰極であり、３個の陰極８
ａ、８ｂ、８ｃからの電子線１８ａ、１８ｂ、１８ｃが
放出され、電子銃８の電子レンズ部８ｄにて集束され
る。これらの電子線１８ａ、１８ｂ、１８ｃは、ピュリ
ティ補正磁石１７及びコンバーゼンス補正磁石１９を調
整することにより、シャドウマスク１５の孔の中心で交
叉し、夫々緑色、青色、赤色に発光する蛍光体２ａ、２
ｂ、２ｃを個別に衝撃する。この動作状態はまさに実際
のカラー受像管の動作中に実現されている状態と同等で
ある。従って、３本の電子線１８を偏向ヨーク９により
一括走査し、かつそれらの電流量を独立に制御すれば、
その電流量の組み合わせによって、任意の色度、輝度を
呈する任意の模様の画像をパネル面に映し出すことがで
きる。この画像を観察することにより、蛍光面の検査を
行う。

【００４４】次に、本発明をその第４実施例を示す図面
に基づき具体的に説明する。上記実施例３において、実
際のカラー受像管と同等の形像機能を実現するために
は、図５に示したように、３本の電子線の主光線がシャ
ドウマスクの孔の中心で交叉し、かつそれらが緑色、青
色、赤色に発光する蛍光体を夫々個別に衝撃する、いわ
ゆる完全ランディングが実現されることが必要である。
ピュリティ補正磁石１７及びコンバーゼンス補正磁石１
９は、電子銃８の工作誤差などに起因する電子線軌道の
ずれを補償し、完全ランディングを実現する機能を担っ
ているが、場合によっては、被検査用のパネル１の交換
時に電子銃８と蛍光面２との相対位置関係が再現せず、
ピュリティ補正磁石１７及びコンバーゼンス補正磁石１
９による補償可能限界を超えてしまうことがあり得る。
このような場合、パネル１と電子銃８を正規の相対位置
に戻すために、電子銃８を移動させる機構が必要であ
る。

【００４６】以下、電子銃を移動させる手段を備えた実
施例について説明する。図６は本発明の実施例４を示す
模式的断面図である。容器３の電子銃配設部側の背面に
電子銃移動手段２１が設けられており、電子銃移動手段
２１には容器３内部側に円柱状のシャフト２０の一端を
連結させ、該シャフト２０の他端にソケット１２を固定
して電子銃８をソケット１２にて支持している。シャフ
ト２０は電子線の照射方向に伸退可能になっており、こ
れにより電子銃８は移動可能となっている。

【００４７】図７は電子銃移動手段２１の構造を示す模
式的拡大断面図である。容器３の背面には開口部が設け
られており、シャフト２０を通す軸受けフランジ２２を
背面外側に、その凸部分を開口部に係入せしめる様態に
て配置し、押え金２３を容器３にネジ止めすることによ
り、容器３及び押え金２３にて軸受けフランジ２２を挟
持している。容器３と軸受けフランジ２２との間にはガ
スケット２５が、また、軸受フランジ２２とシャフト２
０との間にはガスケット２４が、真空気密性を保つよう
に介在されている。このとき、容器３と軸受フランジ２
２の間に間隙を残しつつ、かつ、真空気密性を保つだけ
のガスケット２５の潰し代が得られるよう、各部材の寸
法を適切に選定する。押え金２３の周側面には４個程度
のねじ穴が設けられており、調整ねじ２６を廻して軸受
フランジ２１の周面を押圧し、軸受フランジ２１の固定
位置を調整できるようになっている。他の構成要素及び
その機能は前記実施例３と同様であり、その説明を省略
する。

【００４８】以上のように構成された装置を用いて、前
記実施例３と同様の手順に従って電子線を形成したと
き、シャフト２０に取り付けられた電子銃８は電子線照
射方向への移動が自在であるので、装置に装着された被
検査用のパネル１と電子銃８との距離を調整することが
でき、蛍光体ピッチの異なる多くの管種の蛍光面の検査
を、単一の電子銃で実施できる。また、軸受フランジ２
２の固定位置をパネル１の対向面内で調整できるので、
パネル１の中心と電子銃８の中心軸とを合致させること
ができ、さらに、軸回転も自在であるから、パネル１と
電子銃８との回転方向のずれも調整することができる。
これにより被検査用のパネル１の装着時に生ずる位置ず
れを補償し、完全ランディングが実現できる。

【００５０】ところで、上述の実施例１，２，３及び４
において、蛍光面検査装置に備える電子銃８は、実際の
陰極線管と同等の性質を有する電子線を形成し得るもの
であれば、この検査装置専用に新たに製作したものを用
いても何ら差し支えないが、実際の陰極線管に封入する
電子銃を流用するのが最も簡易である。

【００５２】また、蛍光面検査装置に備える電子銃の陰
極として、酸化物陰極に比べて耐反応性の良好なタング
ステン陰極を用いる場合もある。タングステン陰極を高
温に加熱して大気に曝した場合も、やはり陰極は容易に
酸化する。酸化タングステンは単金属タングステンに比
べて蒸発しやすく、陰極の消耗が促進されるので、検査
終了後、陰極温度が十分低下するのを待って大気開放を
行う必要がある。しかしながらこの方法では、１回の検
査に要する時間が長くなり、検査能率が低下してしま
う。従って、タングステン陰極を用いる場合において
も、陰極の劣化を防止する方法として、容器内に仕切り
部材を設ける方法が有効であると考えられる。

【００５４】以上のように構成された装置を用いて、前
記実施例３と同様の手順に従って電子線を形成すると
き、パネル１の蛍光面２の検査中は仕切り弁２７を開
き、電子銃８から引き出される電子線を蛍光面２に照射
する。検査終了後、パネル１を交換する際には、まず仕
切り弁２７及びゲート弁６ｂを閉じる。次いでリーク弁
７を開き、容器３内のパネル１側空間を大気圧に開放す
る。そしてパネル１を取り外す。この間、容器３の電子
銃側空間は、仕切り弁２７によりパネル側空間から遮断
されているので、排気手段２８により高真空を保ち続
け、電子銃８の陰極は大気に曝されることがない。

【００５６】次に、本発明をその第６実施例を示す図面
に基づき具体的に説明する。図９は、本発明の実施例６
である装置の構成を示す模式的断面図である。容器３の
背面には電子銃移動手段２１を備え、電子銃８が電子線
の照射方向に進退自在となっている。検査時における電
子銃８の所定位置よりも背面側には仕切り弁２７が設け
られている。電子銃移動手段２１により電子銃８を仕切
り弁２７よりも背面側に後退せしめ、仕切り弁２７を閉
じると、容器３内は、排気系統上、仕切り弁２７より背
面空間とパネル側空間とのふたつに分離されるようにな
っている。夫々の空間には個別に排気手段６，２８が設
けられている。他の構成要素及びその機能は前記実施例
４（図６）と同様であり、その説明を省略する。

【００５７】以上のように構成された装置を用いて、前
記実施例４と同様の手順に従って電子線を形成すると
き、パネル１の蛍光面２の検査中は仕切り弁２７を開
き、電子銃移動手段２１により電子銃８を所定位置まで
前進せしめ、電子銃８から引き出される電子線を蛍光面
２に照射する。検査終了後、パネル１を交換する際に
は、まず電子銃移動手段２１により電子銃８を仕切り弁
２７を設けた方向へ退避させる。この後、仕切り弁２７
を閉じると、電子銃８とパネル１とは排気系統上分離さ
れ、仕切り弁２７より背面空間は、仕切り弁２７により
パネル側空間から遮断されているので、排気手段２８に
より高真空を保ち続け、この空間に退避せしめた電子銃
８の陰極は大気に曝されることがない。

【００５９】次に、本発明をその第７実施例を示す図面
に基づき具体的に説明する。図１０は本発明の実施例７
を示す模式的断面図である。図中１はカラー受像管用に
製造された被検査用のパネルであり、パネル１の内表面
には３種類の蛍光体及びブラックマトリクスからなる蛍
光面２が形成されている。パネル１の内側には、パネル
ピン１６を用いてシャドウマスク１５を装着する。ま
た、３６は例えば、ステンレス鋼製の略円筒形状をなし
た容器であり、容器３６の内周面には絶縁物で構成され
た位置決め部材２９が固定されている。

【００６０】パネル１は、端面を位置決め部材２９に押
し当てるように装着した後、開口を有するパネル押え板
３０でフェース面外周部を押さえ、該パネル押え板３０
を容器３６にねじ止めすることにより固定される。この
とき真空気密性を保つために、容器３６とパネル押え板
３０の間及びパネル１とパネル押え板３０の間には夫々
ゴム製のガスケット３１を挟む。なお、位置決め部材２
９の個数は、パネル１の端面を押し付けても、その圧力
を支えられる程度の個数を設けるものとする。

【００６１】容器３６のパネル装着側開口と反対側の開
口には、実際の陰極線管の構成部材であるファンネル３
２を、そのコーン側端面を位置決め部材２９に押し当て
て、パネル１と対向するように配設する。このとき、フ
ァンネル３２のコーン側端面を位置決め部材２９の厚さ
分だけ削るなどして、パネル１とファンネル３２の配置
が正規の完成管球と等しくなるようにしておく、ファン
ネル３２の固定は、パネル１の固定方法と同様に、開口
を有するファンネル押え板３５でガスケット３１を挟み
ながらファンネル３２のコーン外周部を押さえ、該ファ
ンネル押え板３５をガスケット３１を挟みながら容器３
６にねじ止めすることにより行う。ファンネル３２の内
表面には例えばグラファイトなどの導電膜３３が塗布さ
れている。また、シャドウマスク１５には板ばね状の短
絡板５が取り付けられており、パネル１の装着時には導
電膜３３とシャドウマスク１５とは電気的に短絡される
ようになっている。

【００６２】ファンネル３２の他端であるネック部は、
電子銃退避室３７の一端とガスケット３８を介在させて
真空気密性を保つよう連結されている。電子銃退避室３
７は、例えばステンレス鋼製の略円筒形状をなしたもの
であり、他端には電子銃移動手段２１を備えている。電
子銃移動手段２１は、上述の図７に示した構造と同様で
あり、その説明を省略する。電子銃移動手段２１には、
電子銃退避室３７内部側に円柱状のシャフト２０の一端
が連結され、該シャフト２０の他端にはソケット１２が
固定されて、該ソケット１２により電子銃８が電子線を
パネル１側へ照射できる態様にて支持されている。電子
銃８の構成及び機能は前述の実施例３で説明したものと
同様であり、その説明を省略する。シャフト２０は電子
線の照射方向に進退可能であり、これにより電子銃８も
移動可能となっている。

【００６３】容器３６及び電子銃退避室３７には夫々排
気手段６，２８が設けられている。容器３６に連結され
た排気手段６は、パネル１とファンネル３２の隙間から
電子線が走行する空間を排気する。電子銃退避室３７に
は仕切り弁２７が設けられている。パネル１交換時には
電子銃移動手段２１により電子銃８を電子銃退避室３７
へ退避せしめ、仕切り弁２７を閉じることにより、電子
銃８とパネル側とを排気系統上分類し、リーク弁７を開
いてパネル側空間だけを大気圧に開放する。

【００６４】ファンネル３２の外側周囲には偏向ヨーク
９、ピュリティ補正磁石１７、コンーゼンス補正磁石１
９が配設されている。偏向ヨーク９は偏向ヨーク電源１
１からの給電により電子線を走査する。ピュリティ補正
磁石１７及びコンバーゼンス補正磁石１９の構成及び機
能は前述の実施例３と同様であり、説明を省略する。電
子銃８には、陰極・レンズ電源１０ｂから、電子銃退避
室３７に設けられた導入端子１３を介して、配線材１４
にて給電を行う。また、電子線加速電源１０ａからは、
ファンネル周側面に設けられているアノードコンタクト
３４を介し、導電膜３３、短絡板５、シャドウマスク１
５及びパネルピン１６を経て蛍光面２へ電子線加速電圧
が印加されるようになっている。

【００６７】例えば、シャドウマスクを検査する場合に
は、予め正常であることが確認されている電子銃及び蛍
光面を有するパネルを本発明装置に用い、電子銃から発
した電子線を被検査用のシャドウマスクを介して蛍光面
に照射する。このときシャドウマスクに孔詰まり又は孔
径及びピッチの不均一などの欠陥がある場合は、映し出
される検査画像に明るさ又は色のむらが現れるので、こ
れを観察することによりシャドウマスクの不良を検知す
る。このとき、蛍光面における蛍光体は、赤・緑・青の
３色であっても良いが、何れか１種類の単色の蛍光体で
蛍光面を形成すると、シャドウマスクの欠陥が検査画面
の輝度むらとして認識できるために、不良を判定し易
い。

【００６８】また、電子銃を検査する場合には、予め正
常であることが確認されているシャドウマスク及び蛍光
面を有するパネルを本発明装置に用い、被検査用の電子
銃から引き出した電子線を上記の蛍光面に照射して検査
画像を映し出し、電子銃の加工・組立時の寸法誤差によ
る不良を画面上で判定する。

【００６９】

【００７０】また、シャドウマスクが被検査部材である
場合においては、検査画像を単種類の蛍光体で形成され
た蛍光面に映し出すことにより、シャドウマスクの欠陥
を検査画面の輝度むらとして表示させることができ、欠
陥の有無を判定し易くなる。

【００７１】また、カラー受像管の如く完成管球での動
作において同時に複数本の電子線を蛍光面に照射する陰
極線管の構成部材に対しては、検査においても同様に、
同時に複数本の電子線で蛍光面上の各色の蛍光体を独立
に衝撃することにより、実際の陰極線管の完成品と同等
の形像機能を実現することができ、最終製品検査と同じ
く幅広い項目にわたる蛍光面の検査を実施することがで
きる。

【００７３】そして、被検査部材がパネル又はシャドウ
マスクである場合には、パネルと電子銃との間に仕切り
部材を設けることにより、検査終了後、電子銃の陰極の
冷却を待つことなく、速やかに被検査部材を交換するこ
とができ、検査の作業能率が向上する。また、陰極の電
子放出能力の劣化が防止できるので、電子銃の寿命が長
くなり、電子銃の交換頻度を低減できる等、本発明は優
れた効果を奏するものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例１を示す模式的断面図である。

【図２】本発明の実施例２を示す模式的断面図である。

【図４】本発明の実施例３を示す模式的断面図である。

【図６】本発明の実施例４を示す模式的断面図である。

【図８】本発明の実施例５を示す模式的断面図である。

【図９】本発明の実施例６を示す模式的断面図である。

【図１０】本発明の実施例７を示す模式的断面図であ
る。

【符号の説明】１パネル２蛍光面３容器６排気手段８電子銃９偏向ヨーク１５シャドウマスク１８電子線２１電子銃移動手段２７仕切り弁

【手続補正２】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図２

【補正方法】変更

【補正内容】

【図２】

【手続補正３】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図３

【補正方法】変更

【補正内容】

【図３】

【手続補正４】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図５

【補正方法】変更

【補正内容】

【図５】

【手続補正５】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図１０

【補正方法】変更

【補正内容】

【図１０】

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者木之下儀美兵庫県尼崎市塚口本町８丁目１番１号三菱電機株式会社生産技術研究所内 (72)発明者戸伏広明兵庫県尼崎市塚口本町８丁目１番１号三菱電機株式会社生産技術研究所内 (72)発明者吉田和夫兵庫県尼崎市塚口本町８丁目１番１号三菱電機株式会社生産技術研究所内 (72)発明者石井隆京都府長岡京市馬場図所１番地三菱電機株式会社京都製作所内 (72)発明者小泉浩京都府長岡京市馬場図所１番地三菱電機株式会社京都製作所内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】蛍光面が形成されたパネルを備える陰極
線管を製造する前に、前記蛍光面の検査を行う陰極線管
構成部材の検査方法において、検査対象のパネルを装着することにより閉塞可能な容器
内に、電子線を発する電子銃を配置し、検査対象のパネ
ルを装着して、前記蛍光面に電子線を照射することを特
徴とする陰極線管構成部材の検査方法。
【請求項２】電子銃のパネルに対する相対位置を調整
すべく、電子銃を移動せしめて蛍光面に電子線を照射す
ることを特徴とする請求項１記載の陰極線管構成部材の
検査方法。
【請求項３】電子線を発する電子銃を備える陰極線管
を製造する前に、前記電子銃の検査を行う陰極線管構成
部材の検査方法において、蛍光面が形成されたパネルを装着することにより閉塞可
能な容器内に、検査対象の電子銃を脱着可能に配置し、
前記パネルを装着して、前記蛍光面に電子線を照射する
ことを特徴とする陰極線管構成部材の検査方法。
【請求項４】シャドウマスクを備える陰極線管を製造
する前に、前記シャドウマスクの検査を行う陰極線管構
成部材の検査方法において、蛍光面が形成されたパネルを装着することにより閉塞可
能な容器内に、電子線を発する電子銃を配置し、検査対
象のシャドウマスクを取着した前記パネルを装着して、
前記蛍光面に電子線を照射することを特徴とする陰極線
管構成部材の検査方法。
【請求項５】複数の電子線を照射することを特徴とす
る請求項１，３又は４記載の陰極線管構成部材の検査方
法。
【請求項６】蛍光面が形成されたパネルを備える陰極
線管を製造する前に、前記蛍光面の検査を行う陰極線管
構成部材の検査装置において、検査対象のパネルを装着することにより閉塞可能な容器
と、該容器内に配置され電子線を発射する電子銃と、前
記蛍光面に電子線を照射せしめる偏向ヨークと、容器内
を排気する排気手段とを備えることを特徴とする陰極線
管構成部材の検査装置。
【請求項７】電子銃のパネルに対する相対位置を調整
すべく、電子銃を移動せしめる手段を備えることを特徴
とする請求項６記載の陰極線管構成部材の検査装置。
【請求項８】電子線を発する電子銃を備える陰極線管
を製造する前に、前記電子銃の検査を行う陰極線管構成
部材の検査装置において、蛍光面が形成されたパネルと、該パネルを装着すること
により閉塞可能な容器と、前記蛍光面に電子線を照射せ
しめる偏向ヨークと、容器内を排気する排気手段とを備
え、検査対象の電子銃を容器内に脱着可能に配置すべく
構成してあることを特徴とする陰極線管構成部材の検査
装置。
【請求項９】パネルに形成された蛍光面が単色の蛍光
体からなることを特徴とする請求項６又は８記載の陰極
線管構成部材の検査方法。
【請求項１０】シャドウマスクを備える陰極線管を製
造する前に、前記シャドウマスクの検査を行う陰極線管
構成部材の検査装置において、蛍光面が形成されたパネルと、該パネルの装着により閉
塞される容器と、該容器内に配置され電子線を発射する
電子銃と、前記蛍光面に電子線を照射せしめる偏向ヨー
クと、容器内を排気する排気手段とを備え、検査対象の
シャドウマスクをパネルの容器対向側に脱着可能に取着
すべく構成してあることを特徴とする陰極線管構成部材
の検査装置。
【請求項１１】パネルを離脱する際に電子銃を容器内
で封閉すべく、仕切り部材を電子銃及びパネル間に介在
可能に備えることを特徴とする請求項６，８又は１０記
載の陰極線管構成部材の検査装置。