JPH06260123A - 多段加速方式電界放射形電子線加速装置 - Google Patents
多段加速方式電界放射形電子線加速装置Info
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- JPH06260123A JPH06260123A JP5227095A JP22709593A JPH06260123A JP H06260123 A JPH06260123 A JP H06260123A JP 5227095 A JP5227095 A JP 5227095A JP 22709593 A JP22709593 A JP 22709593A JP H06260123 A JPH06260123 A JP H06260123A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】多段加速方式電界放射形電子線加速装置におい
て、電界放射陰極より電子を引き出す電子引出電圧が変
化しても、電子ビームの加速電圧を一定に維持したま
ま、上記加速装置の電子光学特性をほぼ一定に保持でき
る装置を実現する。 【構成】多段加速管１の最上部に位置する電界放射陰極
１０に対して、加速電源２５及び初段加速電源２２を直
列に接続して加速電圧として印加する。電界放射陰極１
０のフラッシングに伴う電子引出電圧の変化に対して
は、これに比例して初段加速電極１２に印加する電圧を
電源２２により変化させるが、このとき生じる加速電圧
の変化は、基準抵抗２６及び安定化回路２７を介して加
速電源２５に負帰還して吸収し一定化する。
て、電界放射陰極より電子を引き出す電子引出電圧が変
化しても、電子ビームの加速電圧を一定に維持したま
ま、上記加速装置の電子光学特性をほぼ一定に保持でき
る装置を実現する。 【構成】多段加速管１の最上部に位置する電界放射陰極
１０に対して、加速電源２５及び初段加速電源２２を直
列に接続して加速電圧として印加する。電界放射陰極１
０のフラッシングに伴う電子引出電圧の変化に対して
は、これに比例して初段加速電極１２に印加する電圧を
電源２２により変化させるが、このとき生じる加速電圧
の変化は、基準抵抗２６及び安定化回路２７を介して加
速電源２５に負帰還して吸収し一定化する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は多段加速方式電界放射形
電子線加速装置に係り、特に、電子引出電圧や加速電圧
などの動作条件が変わっても電子光学特性がほぼ一定に
保たれ、明るさが保持される多段加速方式電界放射形電
子線加速装置に関するものである。
電子線加速装置に係り、特に、電子引出電圧や加速電圧
などの動作条件が変わっても電子光学特性がほぼ一定に
保たれ、明るさが保持される多段加速方式電界放射形電
子線加速装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来技術とその問題点を図３により説明
する。これは、３段加速方式電界放射形電子銃を備えた
例である（フィジカル レビュー Ｂ、２５巻、１１
号、１９８２年、６７９９頁、参照）。図３において、
１は多段加速管、２は電子銃部、３は中間室部、４はコ
ンデンサ部、５は偏向コイル、６はコンデンサレンズ、
７及び８はイオンポンプ、９はバルブ、１０は電界放射
陰極、１１は電子引出電極、１２〜１４は加速電極、１
５〜１７は外周保護電極、１８及び１９は差動排気絞
り、２０は高圧トランス、２１は電子引出電源、２３は
フラッシング電源、２４は中継トランス、２５は加速電
源、２６は基準抵抗、２７は加速電圧安定化回路、２８
及び２９は高圧ケーブル、３１〜３３は分割抵抗であ
る。電子銃部２に印加される高圧電源は、高圧トランス
２０、電子引出電源２１、フラッシング電源２３から成
り、高圧ケーブル２８及び２９を介して電子銃部に接続
される。電界放射陰極１０に印加される加速電圧Ｖ
0は、分割抵抗３１〜３３を通して接地されている。従
って、加速電極１２〜１４には各分割抵抗の比に応じて
分割された電圧が印加される。電子引出電極１１には電
子引出電源２１からの電子引出電圧Ｖ1が印加される。
する。これは、３段加速方式電界放射形電子銃を備えた
例である（フィジカル レビュー Ｂ、２５巻、１１
号、１９８２年、６７９９頁、参照）。図３において、
１は多段加速管、２は電子銃部、３は中間室部、４はコ
ンデンサ部、５は偏向コイル、６はコンデンサレンズ、
７及び８はイオンポンプ、９はバルブ、１０は電界放射
陰極、１１は電子引出電極、１２〜１４は加速電極、１
５〜１７は外周保護電極、１８及び１９は差動排気絞
り、２０は高圧トランス、２１は電子引出電源、２３は
フラッシング電源、２４は中継トランス、２５は加速電
源、２６は基準抵抗、２７は加速電圧安定化回路、２８
及び２９は高圧ケーブル、３１〜３３は分割抵抗であ
る。電子銃部２に印加される高圧電源は、高圧トランス
２０、電子引出電源２１、フラッシング電源２３から成
り、高圧ケーブル２８及び２９を介して電子銃部に接続
される。電界放射陰極１０に印加される加速電圧Ｖ
0は、分割抵抗３１〜３３を通して接地されている。従
って、加速電極１２〜１４には各分割抵抗の比に応じて
分割された電圧が印加される。電子引出電極１１には電
子引出電源２１からの電子引出電圧Ｖ1が印加される。
【０００３】このとき、多段加速管１内に形成される静
電レンズの特性は、全加速電圧が低い（１００ｋＶ〜２
００ｋＶ）場合は、電界放射陰極１０と初段の加速電極
１２の間にかかる初段加速電圧Ｖ2と電子引出電圧Ｖ1と
の比Ｖ2／Ｖ1でほぼ決定される。電界放射陰極１０は、
活性化のための熱処理を使用のたびにフラッシング電源
２３を用いて行う必要があるが、それによって僅かずつ
先端の曲率半径が大きくなる。このため、同じ総電界放
射電流を得るためには、電子引出電圧Ｖ1を少しずつ増
加させていく必要がある。また加速電圧Ｖ0は、電子線
装置の使用目的に応じて変わることがある。電子引出電
圧Ｖ1や加速電圧Ｖ0が変わると、静電レンズ特性を表す
パラメータＶ2／Ｖ1の値が変わり、仮想光源の位置や収
差の大きさなどの電子光学特性を一定に保つことができ
ないことになる。特に電子引出電圧Ｖ1が増加したり、
加速電圧Ｖ0が小さくなると、Ｖ2／Ｖ1の値が減少して
静電レンズ作用が弱まるため、多段加速管１内で電子ビ
ームが広がる。多段加速方式では、電子引出電極１１と
差動排気絞り１８、１９の間の距離が長いことから、電
子ビームを平行に近い状態で使用しないと、差動排気絞
り１８、１９を通過する電子線量が大幅に減少してしま
う。電子引出電圧Ｖ1の使用可能範囲は３ｋＶ〜７ｋＶ
であるが、平行に近い電子ビームが形成される範囲は
０．５ｋＶ程度に過ぎない。このため、電子引出電圧Ｖ
1が０．５ｋＶ変わるたびに電界放射陰極１０と電子引
出電極１１の距離を変えて、平行に近い電子ビームが得
られるように調整する必要がある。
電レンズの特性は、全加速電圧が低い（１００ｋＶ〜２
００ｋＶ）場合は、電界放射陰極１０と初段の加速電極
１２の間にかかる初段加速電圧Ｖ2と電子引出電圧Ｖ1と
の比Ｖ2／Ｖ1でほぼ決定される。電界放射陰極１０は、
活性化のための熱処理を使用のたびにフラッシング電源
２３を用いて行う必要があるが、それによって僅かずつ
先端の曲率半径が大きくなる。このため、同じ総電界放
射電流を得るためには、電子引出電圧Ｖ1を少しずつ増
加させていく必要がある。また加速電圧Ｖ0は、電子線
装置の使用目的に応じて変わることがある。電子引出電
圧Ｖ1や加速電圧Ｖ0が変わると、静電レンズ特性を表す
パラメータＶ2／Ｖ1の値が変わり、仮想光源の位置や収
差の大きさなどの電子光学特性を一定に保つことができ
ないことになる。特に電子引出電圧Ｖ1が増加したり、
加速電圧Ｖ0が小さくなると、Ｖ2／Ｖ1の値が減少して
静電レンズ作用が弱まるため、多段加速管１内で電子ビ
ームが広がる。多段加速方式では、電子引出電極１１と
差動排気絞り１８、１９の間の距離が長いことから、電
子ビームを平行に近い状態で使用しないと、差動排気絞
り１８、１９を通過する電子線量が大幅に減少してしま
う。電子引出電圧Ｖ1の使用可能範囲は３ｋＶ〜７ｋＶ
であるが、平行に近い電子ビームが形成される範囲は
０．５ｋＶ程度に過ぎない。このため、電子引出電圧Ｖ
1が０．５ｋＶ変わるたびに電界放射陰極１０と電子引
出電極１１の距離を変えて、平行に近い電子ビームが得
られるように調整する必要がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来の多段加速方式電
界放射形電子線加速装置には上述のような問題点があ
り、このため電子銃の電子光学系の調整をしばしば行う
必要があり、操作性及び性能の安定性の面で大きな問題
となっていた。
界放射形電子線加速装置には上述のような問題点があ
り、このため電子銃の電子光学系の調整をしばしば行う
必要があり、操作性及び性能の安定性の面で大きな問題
となっていた。
【０００５】本発明の目的は、上記した従来技術での問
題点を解決し、電子引出電圧や加速電圧などの電子銃動
作条件が変わっても電子光学特性をほぼ一定に保ち、明
るさを保持することのできる多段加速方式電界放射形電
子線加速装置を提供することにある。
題点を解決し、電子引出電圧や加速電圧などの電子銃動
作条件が変わっても電子光学特性をほぼ一定に保ち、明
るさを保持することのできる多段加速方式電界放射形電
子線加速装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明に係る多段加速方式電界放射形電子線加速装
置においては、電界放射陰極に印加する加速電圧を一定
に維持すると共に、電子引出電極に印加する電圧の変化
に応じて、各加速電極に印加する電圧を修正する。
に、本発明に係る多段加速方式電界放射形電子線加速装
置においては、電界放射陰極に印加する加速電圧を一定
に維持すると共に、電子引出電極に印加する電圧の変化
に応じて、各加速電極に印加する電圧を修正する。
【０００７】具体的には、加速電圧電源を少なくとも二
つに分割して直列に接続し、その和を上記電界放射陰極
に印加する加速電圧にすると共に、上記加速電圧電源の
一つにより、上記電子引出電極に印加する電圧の変化に
応じて、初段を含む上方の加速電極に印加する電圧を連
動して制御し、かつ、この制御によって生じた加速電圧
の変化を、上記加速電圧電源の他の一つにより吸収し修
正する。
つに分割して直列に接続し、その和を上記電界放射陰極
に印加する加速電圧にすると共に、上記加速電圧電源の
一つにより、上記電子引出電極に印加する電圧の変化に
応じて、初段を含む上方の加速電極に印加する電圧を連
動して制御し、かつ、この制御によって生じた加速電圧
の変化を、上記加速電圧電源の他の一つにより吸収し修
正する。
【０００８】
【作用】この多段加速方式電界放射形電子線加速装置に
おいては、まず、電界放射陰極に印加される加速電圧
は、電子線装置の使用目的に応じて、常に一定に維持す
ることができ、好適である。
おいては、まず、電界放射陰極に印加される加速電圧
は、電子線装置の使用目的に応じて、常に一定に維持す
ることができ、好適である。
【０００９】一方、電界放射陰極のフラッシングによる
電子引出電圧の上昇に伴う静電レンズ作用の変化による
電子ビーム収束点の位置の変化は、上記の初段を含む上
方の加速電極に印加する電圧を引出電圧に連動比例して
修正することによって一定化できる。しかし、この上方
の加速電極に印加する電圧を修正すると、上記電界放射
陰極に印加される加速電圧が変化するので、これを避け
るために、下方の加速電極に印加する電圧で吸収修正す
る。これにより、上記陰極に印加される加速電圧は常に
一定に維持される。このとき、下方の加速電極によって
形成される静電レンズの作用は弱いので、下方加速電極
に印加される電圧の変化による電子ビームの収束点の位
置の変化は、実用上無視できる程度に小さい。
電子引出電圧の上昇に伴う静電レンズ作用の変化による
電子ビーム収束点の位置の変化は、上記の初段を含む上
方の加速電極に印加する電圧を引出電圧に連動比例して
修正することによって一定化できる。しかし、この上方
の加速電極に印加する電圧を修正すると、上記電界放射
陰極に印加される加速電圧が変化するので、これを避け
るために、下方の加速電極に印加する電圧で吸収修正す
る。これにより、上記陰極に印加される加速電圧は常に
一定に維持される。このとき、下方の加速電極によって
形成される静電レンズの作用は弱いので、下方加速電極
に印加される電圧の変化による電子ビームの収束点の位
置の変化は、実用上無視できる程度に小さい。
【００１０】このようにして、本発明の多段加速方式電
界放射形電子線加速装置においては、電界放射陰極に印
加する加速電圧を常に一定に維持しながら、電子ビーム
の収束点の位置などの電子光学特性を、常に一定化する
ことができる。
界放射形電子線加速装置においては、電界放射陰極に印
加する加速電圧を常に一定に維持しながら、電子ビーム
の収束点の位置などの電子光学特性を、常に一定化する
ことができる。
【００１１】
【実施例】（実施例１）本発明の第１の実施例を図１に
示す。中継トランス２４内に初段加速電源２２が設置さ
れており、この２２と加速電源２５とを直列的に接続
し、両電源から供給される高電圧の和を加速電圧Ｖ0と
して電界放射陰極１０に印加する。装置の構成をさらに
詳細に説明する。照射系は、電子銃部２と中間室部３と
コンデンサ部４とから構成されており、それぞれ１０~8
Ｐａ、１０~6Ｐａ、１０~4Ｐａに、イオンポンプ７、８
等の真空ポンプで排気されている。多段加速管１は、円
筒状セラミック部材をコバール製スペーサを介して３段
に重ねた耐真空構造のもので、内側には電子引出電極１
１及び加速電極１２〜１４が、外側には外周保護電極１
５〜１７が、電極間には分割抵抗３２、３３が取り付け
られている。電界放射陰極１０は、多段加速管１の上端
のフランジに取り付けられている。また多段加速管１の
外側は、放電防止のため、フレオンなどの高絶縁ガス雰
囲気となっている。
示す。中継トランス２４内に初段加速電源２２が設置さ
れており、この２２と加速電源２５とを直列的に接続
し、両電源から供給される高電圧の和を加速電圧Ｖ0と
して電界放射陰極１０に印加する。装置の構成をさらに
詳細に説明する。照射系は、電子銃部２と中間室部３と
コンデンサ部４とから構成されており、それぞれ１０~8
Ｐａ、１０~6Ｐａ、１０~4Ｐａに、イオンポンプ７、８
等の真空ポンプで排気されている。多段加速管１は、円
筒状セラミック部材をコバール製スペーサを介して３段
に重ねた耐真空構造のもので、内側には電子引出電極１
１及び加速電極１２〜１４が、外側には外周保護電極１
５〜１７が、電極間には分割抵抗３２、３３が取り付け
られている。電界放射陰極１０は、多段加速管１の上端
のフランジに取り付けられている。また多段加速管１の
外側は、放電防止のため、フレオンなどの高絶縁ガス雰
囲気となっている。
【００１２】電源系は、電子線を加速するための負の高
電圧を発生させる高圧トランス２０と、電子引出電源２
１や初段加速電源２２などを浮かせるための中継トラン
ス２４とから成り立っている。加速電源２５及び初段加
速電源２２とで作られ、基準抵抗２６及び安定化回路２
７によって安定化された合計加速電圧Ｖ0は、高圧ケー
ブル２９を経て電界放射陰極１０に印加される。フラッ
シング電源２３は電界放射陰極１０のフィラメントの両
端に接続される。電子引出電源２１と初段加速電源２２
はそれぞれ電界放射陰極１０に対し正の高電圧Ｖ1（３
〜７ｋＶ）、Ｖ2（２０〜６０ｋＶ）を発生してそれぞ
れの電極１１、１２に印加される。加速電極１４は電子
線装置の鏡体を介して接地されており、加速電極１３に
は、（Ｖ0−Ｖ2）の電圧が分割抵抗３２、３３の抵抗比
に応じて分割されて印加される。
電圧を発生させる高圧トランス２０と、電子引出電源２
１や初段加速電源２２などを浮かせるための中継トラン
ス２４とから成り立っている。加速電源２５及び初段加
速電源２２とで作られ、基準抵抗２６及び安定化回路２
７によって安定化された合計加速電圧Ｖ0は、高圧ケー
ブル２９を経て電界放射陰極１０に印加される。フラッ
シング電源２３は電界放射陰極１０のフィラメントの両
端に接続される。電子引出電源２１と初段加速電源２２
はそれぞれ電界放射陰極１０に対し正の高電圧Ｖ1（３
〜７ｋＶ）、Ｖ2（２０〜６０ｋＶ）を発生してそれぞ
れの電極１１、１２に印加される。加速電極１４は電子
線装置の鏡体を介して接地されており、加速電極１３に
は、（Ｖ0−Ｖ2）の電圧が分割抵抗３２、３３の抵抗比
に応じて分割されて印加される。
【００１３】以上の構成において、電子引出電圧Ｖ1に
よって電界放射陰極１０から引き出された電子線は、電
子引出電極１１の電極孔を出て、加速電極１２〜１４で
所定のエネルギーまで加速される。差動排気絞り１８、
１９を通過した電子線は、偏向コイル５、コンデンサレ
ンズ６を通って試料を照射する。このとき、電子銃の電
子光学特性は、初段加速電圧Ｖ2と電子引出電圧Ｖ1の比
Ｖ2／Ｖ1でほぼ決められる。
よって電界放射陰極１０から引き出された電子線は、電
子引出電極１１の電極孔を出て、加速電極１２〜１４で
所定のエネルギーまで加速される。差動排気絞り１８、
１９を通過した電子線は、偏向コイル５、コンデンサレ
ンズ６を通って試料を照射する。このとき、電子銃の電
子光学特性は、初段加速電圧Ｖ2と電子引出電圧Ｖ1の比
Ｖ2／Ｖ1でほぼ決められる。
【００１４】そこで、本実施例では加速電源２５と初段
加速電源２２とを直列的に接続し、両電源から供給する
高電圧の和を加速電圧Ｖ0として電界放射陰極１０に印
加し、初段加速電極１２には加速電源２５から供給する
電圧（Ｖ0−Ｖ2）を印加する。また、加速電圧の安定化
は、電源２２と２５の合計電圧部に基準抵抗２６を接続
し、高電圧安定化回路２７の出力を加速電源２５に負帰
還することによって行われる。電子引出電源２１と初段
加速電源２２は、例えばそれぞれのトランスの１次側を
連動して制御する等の方法で連動可能に構成されている
ため、電子引出電圧Ｖ1の変化に応じて生じる初段加速
電圧Ｖ2の変化分は、加速電源２５の出力電圧の変化に
よって打ち消され、合計加速電圧Ｖ0は一定となり、も
ちろんＶ2／Ｖ1の比も一定となる。これにより、高い精
度で電子光学特性を一定に保つことが可能となる。
加速電源２２とを直列的に接続し、両電源から供給する
高電圧の和を加速電圧Ｖ0として電界放射陰極１０に印
加し、初段加速電極１２には加速電源２５から供給する
電圧（Ｖ0−Ｖ2）を印加する。また、加速電圧の安定化
は、電源２２と２５の合計電圧部に基準抵抗２６を接続
し、高電圧安定化回路２７の出力を加速電源２５に負帰
還することによって行われる。電子引出電源２１と初段
加速電源２２は、例えばそれぞれのトランスの１次側を
連動して制御する等の方法で連動可能に構成されている
ため、電子引出電圧Ｖ1の変化に応じて生じる初段加速
電圧Ｖ2の変化分は、加速電源２５の出力電圧の変化に
よって打ち消され、合計加速電圧Ｖ0は一定となり、も
ちろんＶ2／Ｖ1の比も一定となる。これにより、高い精
度で電子光学特性を一定に保つことが可能となる。
【００１５】（実施例２）本発明の第２の実施例を図２
により説明する。
により説明する。
【００１６】電源部の構成は、第１加速電源４５と第２
加速電源４２とを直列に配置し、合計電圧Ｖ0を電界放
射陰極１０に印加すると共に分割抵抗３１に接続する。
同時に、合計電圧部から基準抵抗２６、加速電圧安定化
回路２７を通して第１加速電源４５に負帰還する。第２
加速電圧Ｖ2ndは、電界放射陰極１０と第２加速電極１
３の間に印加され、初段加速電極１２には分割抵抗３
１、３２の抵抗の比に応じた電圧が分割印加される。第
２加速電源４２は第１の実施例と同様に電子引出電源２
１に連動しており、このため、電子引出電圧Ｖ1の変化
に応じて生じた第２加速電圧Ｖ2ndの変化分は、第１加
速電源４５に負帰還されて補償される。
加速電源４２とを直列に配置し、合計電圧Ｖ0を電界放
射陰極１０に印加すると共に分割抵抗３１に接続する。
同時に、合計電圧部から基準抵抗２６、加速電圧安定化
回路２７を通して第１加速電源４５に負帰還する。第２
加速電圧Ｖ2ndは、電界放射陰極１０と第２加速電極１
３の間に印加され、初段加速電極１２には分割抵抗３
１、３２の抵抗の比に応じた電圧が分割印加される。第
２加速電源４２は第１の実施例と同様に電子引出電源２
１に連動しており、このため、電子引出電圧Ｖ1の変化
に応じて生じた第２加速電圧Ｖ2ndの変化分は、第１加
速電源４５に負帰還されて補償される。
【００１７】このとき、初段加速電極１２に印加される
初段加速電圧Ｖ2は Ｖ2＝Ｖ2ndＲ31／（Ｒ31＋Ｒ32） となる。初段加速電圧Ｖ2の値、または第２加速電圧Ｖ
2ndの値のうち少なくとも一方は、電子引出電圧Ｖ1の６
〜１５倍であることが必要である。また、初段加速電極
１２が実質的にレンズ作用に寄与しない構造であれば、
第２加速電圧Ｖ2n dと電子引出電圧Ｖ1の比は Ｖ2nd／Ｖ1＝２×（６〜１５） とすればよいことは容易に類推できる。
初段加速電圧Ｖ2は Ｖ2＝Ｖ2ndＲ31／（Ｒ31＋Ｒ32） となる。初段加速電圧Ｖ2の値、または第２加速電圧Ｖ
2ndの値のうち少なくとも一方は、電子引出電圧Ｖ1の６
〜１５倍であることが必要である。また、初段加速電極
１２が実質的にレンズ作用に寄与しない構造であれば、
第２加速電圧Ｖ2n dと電子引出電圧Ｖ1の比は Ｖ2nd／Ｖ1＝２×（６〜１５） とすればよいことは容易に類推できる。
【００１８】図２の実施例によれば、２００ｋＶ以上の
高電圧電子線加速装置においても、電子銃の電子光学特
性を一定に保つことができる。
高電圧電子線加速装置においても、電子銃の電子光学特
性を一定に保つことができる。
【００１９】
【発明の効果】本発明によれば、多段加速方式電界放射
形電子銃の電子光学特性を、電子引出電圧や加速電圧な
どの動作条件が変わっても、高い精度で一定に保つこと
ができ、電子線装置の明るさや軸合わせなど最適の条件
を一度設定すれば、従来よりも広い範囲の電子引出電圧
において同じ条件を維持させることが可能となり、操作
性、性能安定性及び作業効率が飛躍的に向上する。
形電子銃の電子光学特性を、電子引出電圧や加速電圧な
どの動作条件が変わっても、高い精度で一定に保つこと
ができ、電子線装置の明るさや軸合わせなど最適の条件
を一度設定すれば、従来よりも広い範囲の電子引出電圧
において同じ条件を維持させることが可能となり、操作
性、性能安定性及び作業効率が飛躍的に向上する。
【図１】本発明に係る実施例１における多段加速方式電
界放射形電子線加速装置の断面と電源部の構成を示す図
である。
界放射形電子線加速装置の断面と電源部の構成を示す図
である。
【図２】実施例２における電子線加速装置の断面と電源
部の構成を示す図である。
部の構成を示す図である。
【図３】従来例における多段加速方式電界放射形電子線
加速装置の断面と電源部の構成を示す図である。
加速装置の断面と電源部の構成を示す図である。
１…多段加速管 ２…電子銃部 ３…中間室部 ４…コンデンサ部 ５…偏向コイル ６…コンデンサレンズ ７、８…イオンポンプ ９…バルブ １０…電界放射陰極 １１…電子引出電極 １２〜１４…加速電極 １５〜１７…外周保護電極 １８、１９…差動排気絞り ２０…高圧トランス ２１…電子引出電源 ２２…初段加速電源 ２３…フラッシング電源 ２４…中継トランス ２５、４２、４５…加速電源 ２６…基準抵抗 ２７…加速電圧安定化回路 ２８、２９…高圧ケーブル ３０〜３５…分割抵抗
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 松田 強 東京都国分寺市東恋ヶ窪１丁目280番地 株式会社日立製作所中央研究所内 (72)発明者 木村 力 茨城県勝田市市毛882番地 株式会社日立 製作所那珂工場内 (72)発明者 長我部 信行 東京都国分寺市東恋ヶ窪１丁目280番地 株式会社日立製作所中央研究所内
Claims (2)
- 【請求項１】電界放射陰極と、この陰極から電子を電界
放射させる電子引出電極と、この電子引出電極に設けら
れた小孔から出た電子線を加速する２段以上の加速電極
とを有する電子線加速装置において、上記電界放射陰極
に印加する電圧を一定に保持すると共に、上記電子引出
電極に印加する電圧の変化に応じて上記加速電極に印加
する電圧を修正することを特徴とする多段加速方式電界
放射形電子線加速装置。 - 【請求項２】加速電圧電源を少なくとも二つに分割して
直列に接続し、その和を上記電界放射陰極に印加する電
圧にすると共に、前記加速電圧電源の一つを上記電子引
出電極に印加する電圧の変化に応じて上記加速電極に印
加する電圧を修正するように連動制御し、かつ、この制
御による電圧変化を前記加速電圧電源の他の一つにより
吸収することを特徴とする請求項１に記載の多段加速方
式電界放射形電子線加速装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5227095A JPH06260123A (ja) | 1993-09-13 | 1993-09-13 | 多段加速方式電界放射形電子線加速装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5227095A JPH06260123A (ja) | 1993-09-13 | 1993-09-13 | 多段加速方式電界放射形電子線加速装置 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2325992A Division JP2501659B2 (ja) | 1990-11-29 | 1990-11-29 | 多段加速方式電界放射形電子顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06260123A true JPH06260123A (ja) | 1994-09-16 |
Family
ID=16855417
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5227095A Pending JPH06260123A (ja) | 1993-09-13 | 1993-09-13 | 多段加速方式電界放射形電子線加速装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06260123A (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4989097A (ja) * | 1972-12-29 | 1974-08-26 | ||
| JPS5011576A (ja) * | 1973-05-31 | 1975-02-06 | ||
| JPS60117534A (ja) * | 1983-11-30 | 1985-06-25 | Hitachi Ltd | 多段加速方式電界放射形電子顕微鏡 |
-
1993
- 1993-09-13 JP JP5227095A patent/JPH06260123A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4989097A (ja) * | 1972-12-29 | 1974-08-26 | ||
| JPS5011576A (ja) * | 1973-05-31 | 1975-02-06 | ||
| JPS60117534A (ja) * | 1983-11-30 | 1985-06-25 | Hitachi Ltd | 多段加速方式電界放射形電子顕微鏡 |
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