JPH0626263B2 - 高速軸流形気体レ−ザ発振器 - Google Patents

高速軸流形気体レ−ザ発振器

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JPH0626263B2
JPH0626263B2 JP59273495A JP27349584A JPH0626263B2 JP H0626263 B2 JPH0626263 B2 JP H0626263B2 JP 59273495 A JP59273495 A JP 59273495A JP 27349584 A JP27349584 A JP 27349584A JP H0626263 B2 JPH0626263 B2 JP H0626263B2
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gas
tubes
heat exchanger
support plate
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オサダ ヒデノリ
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Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の技術分野］ 本発明は、気体レーザ発振器に係るものであり、さらに
詳細には、レーザ気体の流れ方向とレーザビームの方向
とが同一な高速軸流形の気体レーザ発振器に関するもの
である。
［発明の技術的背景］ 気体レーザ発振器において、レーザの増幅作用を行なう
部分はレーザ管内のプラズマの生じている部分であり、
この部分を多くするためにレーザ管の長さを増大するこ
とによってレーザ出力を大きくできることが知られてい
る。したがって、レーザ出力をより大きくするには、気
体レーザ発振器のレーザ管をより長くすれば良いことと
なる。しかし、レーザ管をあまり長大にすることはスペ
ース的にも技術的にも問題がある。故に、一般的には、
複数本のレーザ管を互に平行に配設し、各レーザ管の接
続部分に反射鏡を配設した構成として、全体としてのレ
ーザ管を長くしている。
また、気体レーザ発振器においては、レーザ気体を冷却
することにり反転分布が促進され、レーザの発振効率が
向上することが知られている。したがって、一般には、
レーザ管を冷却したり、または、熱交換器において冷却
されたレーザ気体をレーザ管内へ高速に流し、放電によ
って加熱されたレーザ気体を前記熱交換器へ直ちに還流
して再び冷却することが行なわれている。さらに、気体
レーザ発振器において効率をよくするには、注入電力の
効率をよくすることも必要である。
［背景技術の問題点］ 従来の高速軸流形の気体レーザ発振器は、複数本のレー
ザ管内のレーザ気体を冷却し循環するために、冷却装置
または熱交換器およびブロワーを備えており、熱交換器
等において冷却されたレーザ気体はブロワーによってレ
ーザ管内へ高速で流入され、レーザ管から熱交換器等へ
再び還流するように構成されている。しかし、従来の気
体レーザ発振器においては、複数本のレーザ管から熱交
換器等へレーザ気体を還流する気体帰還路の長さが一定
でないので、気体帰還路の抵抗等のために、各レーザ管
内を流れるレーザ気体の流量がそれぞれ異なり、各レー
ザ管内においてレーザ気体の温度上昇が異なるという問
題があった。
すなわち、レーザ気体の流量が少ないレーザ管において
は、他のレーザ管に比してレーザ気体の温度が高くな
り、反転分布の割合が減少してレーザ出力が低下すると
共に、レーザビームのモードにも影響している。したが
って、複数本のレーザ管内を流れるレーザ気体の流量が
それぞれ異なることは、気体レーザ発振器の全体的な出
力の低下および出力変動をきたす原因となっている。
さらに、気体レーザ発振器における複数本のレーザ管か
ら熱交換器等へ還流されるレーザ気体は、レーザ管内の
放電によって電離された状態にあって一種のプラズマ状
態にある。ために上記レーザ気体は電気の導体として作
用することとなり、レーザ管の陰極と熱交換器等との間
で、レーザ気体のポンピングには全く寄与しない無駄な
放電が行なわれることがあり、注入電力の損失が大きな
ものとなっている。さらに、上記放電によりレーザ気体
の温度がより上昇して、熱交換器等へより大きな負荷を
かけることになっている。
また、従来の気体レーザ発振器においては、複数本のレ
ーザ管内に配設したそれぞれの陰極の着脱交換が極めて
厄介なものであった。すわなちレーザ管内の放電の安定
やレーザ気体の流れの状態などの条件により、陰極の形
状はリング状であることが要求されている。また陰極と
陰極ホルダーとの間の接触抵抗をより小さくするため
に、陰極はレーザ管に嵌合した陰極ホルダーに焼嵌めさ
れている。したがって、陰極の交換時には陰極ホルダー
ごとレーザ管から取外さなければならないために、レー
ザ管を軸方向にずらす必要があるという問題があった。
さらに従来の気体レーザ発振器においては、レーザ管を
支持した支持プレートがベースに対して固定的であるた
めに、支持プレート等の熱変形に対して対応が困難であ
る等の問題があった。
［発明の目的］ 本発明は、上述のごとき従来の問題に鑑みてなされたも
ので、従来の問題点を改善した高速軸流形の気体レーザ
発振器を提供しようとするものである。
［発明の概要］ 上記のごとき目的を達成するために、本発明に係るレー
ザ発振器においては、複数本のレーザ管を支承した支持
プレートをタイロッド等の膨脹収縮に対応して微動自在
に設けてある。また、各レーザ管内の陰極はホルダによ
って両側から着脱自在に挟持固定してある。
なお、本発明のその他の諸目的をおよび効果等は、図面
を参照しつつ本発明の好ましい実施例を詳細に説明する
ことにより、より明白になるであろう。
［発明の実施例］ 第１図は参照するに、総括的に符号１で示すものは一般
的なレーザ加工機で、レーザ発振器３を備えている。こ
のレーザ発振器３はレーザ加工機１の方向へレーザビー
ムＬＢを発振するように構成してあって、レーザ加工機
１の後部側に装着してある。なお、第１図には、レーザ
発振器３をレーザ加工機１に装着した場合を例示するけ
れども、レーザ発振器３はレーザ加工機に限ることな
く、その他の適宜の装置にも採用可能である。
レーザ加工装置１は、ベース５、ベース５から垂直に立
設したポスト７およびベース５の上方に水平にかつ片持
式にポスト７に支承されたオーバーヘッドビーム９より
構成してある。ベース５上にはワークテーブル１１が備
えられており、このワークテーブル１１の上面には加工
すべきシート状のワークピースＷを水平に支持する多数
のスライドボールが回転自在に装着してある。前記オー
バーヘッドビーム９の先端部には加工ヘッド組立体１３
が装着してあり、この加工ヘッド組立体１３内にはミラ
ー組立体１５と集光レンズ１７が内装してある。上記ミ
ラー組立体１５は、レーザ発振器３から発振されたレー
ザビームＬＢをワークピースＷの方向へ反射するように
構成してある。集光レンズ１７はレーザビームＬＢを集
光し、かつ酸素のごときアシストガスと共にワークピー
スＷへレーザビームＬＢを当てるように配設してある。
したがって、上記構成のレーザ加工機１は、レーザ発振
器３からのレーザビームＬＢを受け、加工ヘッド組立体
１３内の集光レンズ１７を介してワークピースＷへレー
ザビームＬＢを当てるよう構成してある。
加工すべきワークピースＷの移動、位置決めを行なうた
めに、レーザ加工機１は第１キャリッジ１９を水平に移
動自在に備えると共に、ワークピースＷをクランプする
ための複数のクランプ装置２３を保持した第２キャリッ
ジ２１を備えている。第１キャリッジ１９はベース５の
上部両側に互に平行に取付けた一対のレール２５に移動
自在に支承されており、駆動時における加工ヘッド組立
体１３の直下の加工領域に対し接近離反自在である。ク
ランプ装置２３を保持した第２キャリッジ２１は第１キ
ャリッジ１９上の摺動自在に支承されており、前記レー
ル２５に対し直交する方向へ駆動によって水平に移動自
在である。したがってクランプ装置２３に把持されたワ
ークピースＷは、第１、第２のキャリッジ１９，２１の
移動によりワークテーブル１１上において加工ヘッド組
立体１３の下方へ移送できるものである。
上記構成において、第１、第２キャリッジ１９，２１に
よりワークピースＷをワークテーブル１１上において加
工ヘッド組立体１３の直下に位置することにより、ワー
クピースＷはレーザビームＬＢによって加工される。勿
論、レーザ発振器３により発せられたレーザビームＬＢ
は、加工ヘッド組立体１３へ与えられ、矢印で示すよう
にミラー組立体１５によって下方向へ指向される。そし
て、集光レンズ１７により集光された後にワークピース
Ｗへ酸素のごときアシストガスと共に当てられる。
第２図〜第５図を参照するに、前記レーザ発振器３は、
全体を支持する支持架台２７と、支持架台２７上に支持
されたレーザ発振部２９と、レーザ発振部２９における
ミラー調整や前記レーザ加工機１の光学系の調整に使用
する調整アタッチメント部３１等よりなる。すなわち、
上記支持架台２７は複数本の角パイプ材を長方形状に枠
組してなり、この支持架台２７の左右両側部に立設した
箱状の支持台３３Ａ，３３Ｂに前記レーザ発振部２９が
支持されている。前記調整アタッチメント部３１は、レ
ーザ発振部２９の出力側において適宜一方の支持台３３
Ａに装着してある。
特に第５図より理解されるように、レーザ発振器３全体
を保護するために、前記支持架台２７にはレーザ発振部
２９や調整アタッチメント部３１等の全体を覆う保護カ
バー３５が設けてある。前記レーザ発振部２９や調整ア
タッチメント部３１等の保守管理を容易に行ない得るよ
うに、保護カバー３５におけるフロントカバー３５Ｆと
リアカバー３５Ｒは、ヒンジ部３７を介して上部カバー
３５Ｕに開閉自在に枢支してある。また、保護カバー３
５内部を冷却するために、上記フロントカバー３５Ｆと
リアカバー３５Ｒの複数箇所には送風ファンを備えた補
助熱交換器３９が装着してあり、さらに適数箇所にはア
クリル板等を設けた透明窓４１が設けてある。したがっ
て保護カバー３５内の空気は複数の補助熱交換器３９に
よって常に冷却循環されており、かつ透明窓４１から内
部を観察し得るものである。
第２図より明らかなように、前記レーザ発振部２９から
還流されるＨｅ，Ｎ２，ＣＯ２の混合気体よりなるレー
ザ気体を冷却するために、前記支持架台２７の中央部に
は比較的大きな主熱交換器４３が設けられている。この
主熱交換器４３は、冷却水等の冷媒を流入する屈曲管を
備えると共に多数の冷却ファン等を備えてなるものであ
る。上記主熱交換器４３の保守が容易に行ない得るよう
に、主熱交換器４３における底板４５はヒンジピン４７
を介して支持架台２７に下方向へ開閉可能に枢着してあ
る。したがって、主熱交換器４３の保守管理が容易なも
のである。
前記レーザ発振部２９は、励起光の共振、増幅を行なう
ための複数本のレーザ管４９Ａ，４９Ｂを並設してな
り、各レーザ管４９Ａ，４９Ｂは左右方向に延伸してお
り、その両端部は前記支持台３３Ａ，３３Ｂに支持され
た垂直な支持プレート５１Ａ，５１Ｂに支持されてい
る。上記支持プレート５１Ａ，５１Ｂはレーザ管４９
Ａ，４９Ｂの延伸方向に対して直交する前後方向に延伸
してあり、各支持プレート５１Ａ，５１Ｂは上下にそれ
ぞれ配設した複数本のタイロッド５３によって一体的に
連結してある。
前記保護カバー３５内の温度変化による支持プレート５
１Ａ，５１Ｂやタイロッド５３等の熱変形に対応するた
めに、支持プレート５１Ａ，５１Ｂは支持台３３Ａ，３
３Ｂに対して微動できるようになっている。すなわち、
第６図に最も良く示されるように、一方の支持プレート
５１Ａの一端部付近に螺着垂設した調節螺子５５は球面
座装置５７を介して支持台３３Ａに回動傾斜自在に支承
されている。また、支持プレート５１Ａの他端部付近
は、支持台３３Ａに設けたガイド部材５９にスライドブ
ロック６１を介して支持プレート５１Ａの長手方向へ移
動可能に支承されている。そして支持プレート５１Ａの
中部付近と支持台３３Ａとは可撓性を有する細いスタッ
ドボルト６３によって連結してある。また、他方の支持
プレート５１Ｂは、第２図に示されるように、支持台３
３Ｂ上に固定したガイド部材６５にスライドブロック６
７を介して左右方向へ移動可能に支承されている。
上記構成により、タイロッド５３の長手方向の熱変形に
対しては支持プレート５１Ｂが同方向へ微動することに
より吸収し、また、支持プレート５１Ａの長手方向への
熱変形や全体としての微少な回動等は、球面座装置５７
やガイド部材５９等の部分で吸収できる。したがって、
レーザ管４９Ａ，４９Ｂの両端部を支持した支持プレー
ト５１Ａ，５１Ｂが大きな熱変形を生じるようなことが
なく、精度維持がより向上する。
再び第２図〜第５図を参照するに、各レーザ管４９Ａ，
４９Ｂ内へレーザ気体を供給するために、各レーザ管４
９Ａ，４９Ｂは気体循環駆動装置６９と接続してあり、
かつレーザ管４９Ａ，４９Ｂ内の放電によって加熱され
たレーザ気体は冷却するために、各レーザ管４９Ａ，４
９Ｂは前記主熱交換器４３と接続してある。すなわち、
気体循環駆動装置６９は、主熱交換器４３内の冷却され
たレーザ気体を吸引して各レーザ管４９Ａ，４９Ｂへ供
給するもので、例えばルーツブロワ等よりなるもので、
複数の防振ゴム７１を介して主熱交換器４３の上面に支
承されている。
上記気体循環駆動装置６９の上部には、気体循環駆動装
置６９によりレーザ気体に受与された熱を除去して、レ
ーザ管４９Ａ，４９Ｂへ供給するレーザ気体をより確実
に冷却するための副熱交換器７３が設けてある。副熱交
換器７３は、例えば水冷式の熱交換器よりなるもので箱
状に形成してあり、その上面には複数の接続管７５が垂
直に取付けてあると共に、レーザ管を増加した場合に対
応し得るように設けた複数の孔に円板状の蓋７７がして
ある。また、副熱交換器７３の両側面には複数の連通管
７９の基部が水平に接続してあると共に、レーザ管の増
加に対応し得るように複数の孔に蓋８１が取付けてあ
る。上記各連通管７９の先端部は各レーザ管４９Ａ，４
９Ｂの両端部付近へ延伸しており、その先端部付近は防
振ゴム８３を介して前記支持台３３Ａ，３３Ｂに取付け
た支持ブロック８５に支持されている。したがって、気
体循環駆動装置６９の振動が支持架台２７や支持台３３
Ａ，３３Ｂへ伝達されるようなことがない。
前記気体循環駆動装置６９から送出されるレーザ気体を
レーザ管４９Ａ，４９Ｂへ供給するために、前記各接続
管７５はレーザ管４９Ａ，４９Ｂの中央部付近に接続し
てあり、各連通管７９の先端部は垂直に設けた接続管８
７を介してレーザ管４９Ａ，４９Ｂの両端部付近に接続
してある。より詳細には、前記各レーザ管４９Ａ，４９
Ｂは、中央管体８９と両側の端部管体９１，９３とに３
分割してあり、接続管７５は中央管体８９に、また連通
管７９はそれぞれ端部管体９１，９３にシリコンゴム等
よりなる円筒形状の可撓性の継手部材９５を介してそれ
ぞれ接続してある。したがって、気体循環駆動装置６９
の振動がレーザ管４９Ａ，４９Ｂに伝達されるようなこ
とがないと共に、各接続管７５，８７とレーザ管４９
Ａ，４９Ｂとあらゆる方向への微小な位置ずれを吸収し
得るものである。
レーザ管４９Ａ，４９Ｂ内において放電を生じせしめる
ために、レーザ管４９Ａ，４９Ｂの複数箇所には対をな
す陽極と陰極が配設してあり、かつ放電によって加熱さ
れレーザ管４９Ａ，４９Ｂ内のレーザ気体を冷却するた
めに、各レーザ管４９Ａ，４９Ｂは前記主熱交換器４３
と接続してある。すなわち、前記各継手部材９５内に
は、後述するようにそれぞれ陽極が配設してあり、レー
ザ管４９Ａ，４９Ｂにおける中央管体８９と両側の端部
管体９１，９３との間には、下端部を蛇腹を介して主熱
交換器４３に接続し上端部をＴ字形に形成した気体帰還
路９７が複数の陰極組立体９９を介して接続してある。
したがって、気体循環駆動装置６９から副熱交換器７３
を経てレーザ管４９Ａ，４９Ｂへ供給されたレーザ気体
は、気体帰還路９７を経て主熱交換器４３へ流入し、該
部において冷却された後、気体循環駆動装置６９へ吸入
され、副熱交換器７３においてより確実に冷却されて再
びレーザ管４９Ａ，４９Ｂへ供給されるものである。
第７図を参照するに、レーザ管４９Ａ，４９Ｂにおける
端部管体９１の端部は円筒形状の端部ホルダ１０１を介
して支持プレート５１Ａに支持されており、端部付近に
は下方向へ突出した円筒形状の突出部９１Ｐが形成して
ある。この突出部９１Ｐに前記継手部材９５が嵌合して
あり、この突出部９１Ｐの内部には針状の陽極１０３を
保持した円筒状の陽極ホルダ１０５が嵌入してある。陽
極ホルダ１０５には陽極１０３を囲繞した絶縁性の保護
筒１０７が螺着してあり、陽極１０３の上端部は保護筒
１０７の上端部に臨ませてある。上記突出部９１Ｐと対
向して継手部材９５に下方から嵌入した接続管８７の上
端部には環状のスプリング座１０９が取付けてあり、こ
のスプリング座１０９と陽極ホルダ１０５との間には導
電性のコイル１１１が弾装してある。
上記構成により、端部管体９１と接続管８７との位置ず
れ等を吸収することができ、かつ気体循環駆動装置６９
の振動をレーザ管４９Ａ，４９Ｂに伝達するようなこと
がないものである。
なお、レーザ管４９Ａ，４９Ｂにおける端部管体９３
は、端部管体９１と同様の構成によって支持プレート５
１Ｂに支持されているものであり、また各継手部材９５
の部分の接続構造は前述の構造と同様であるから、各部
の説明は省略する。
再び参照する第２図〜第５図より明らかなように、前記
陰極組立体９９は、左右の支持プレート５１Ａ，５１Ｂ
を連結したタイロッド５３に支承されたホルダプレート
１１３に支持されている。すなわち、ホルダプレート１
１３にはレーザ管の増加に対応すべく複数の支持孔１１
３Ｈが穿設してあり、陰極組立体９９は必要なだけ支持
孔１１３Ｈに嵌入支持されているものである。
第８図に最もよく示されているように、陰極組立体９９
は、リング状の陰極１１５の着脱交換を極めて容易に行
ない得るように構成してある。すなわち、陰極１１５の
両側には、レーザ管４９Ａ，４９Ｂにおける端部管体９
１を嵌入した第１ホルダリング１１７と気体帰還路９７
の上部一端を嵌入した第２ホルダリング１１９が配置し
てあり、陰極１１５と両ホルダリング１１７，１１９
は、接触抵抗を小さくするために、固定見としての複数
のボルト１２１によって互に強固に密着してある。また
両ホルダリング１１７，１１９の側部にはＯリング１２
３を保持するシールリング１２５がそれぞれ複数のボル
ト１２７によって取付けてある。したがって、ボルト１
２７，１２１を取り外すことにより陰極１１５の着脱交
換を容易に行なわれ得る。
既に明らかなように、レーザ管４９Ａ，４９Ｂ内には、
対をなす陽極１０３と陰極１１５による放電区域が複数
箇所設けてあり、放電によって加熱されたレーザ管４９
Ａ，４９Ｂ内のレーザ気体は前述の各気体帰還路９７を
経て主熱交換器４３へ還流される。レーザ管を増加した
場合であっても、各レーザ管４９Ａ，４９Ｂ内のレーザ
気体の流量がほぼ均一であるように、各気体帰還路９７
の長さはそれぞれほぼ同長に設けてある。さらに、レー
ザ管４９Ａ，４９Ｂ内の放電により電離した状態のレー
ザ気体を中和するために、各気体帰還器９７の途中には
適宜の触媒が設けてある。すなわち、各気体帰還路９７
の途中には拡大部１２９が形成してあり、この拡大部１
２９内には、例えば白金を担持したハニカム形状の活性
アルミナ触媒が内装してある。
上記構成により、各気体帰還路９７内の触媒はレーザ気
体によって加温されて触媒作用の効率が向上し、かつ触
媒の部分を通過するレーザ気体は触媒の作用によって中
和され、中性となって主熱交換器４３へ流入する。した
がって、陰極１１５と主熱交換器４３との間において生
じる傾向にある無駄な放電が抑制され、注入電力の効率
がより向上する。
前記レーザ管４９Ａ，４９Ｂ内の放電により励起された
励起光を共振増幅するために、出力ミラー組立体１３１
とリアミラー組立体１３５が設けてある。すなわち、レ
ーザ管４９Ａの一端部側には出力ミラーを内装した出力
ミラー組立体１３１が設けてあり、レーザ管４９Ｂの一
端部側には適宜に出力検出用センサー１３３を備えかつ
反射鏡を内装したリアミラー組立体１３５が設けてあ
る。そして、レーザ管４９Ａ，４９Ｂの他端部には励起
光を９０゜屈曲するベンドミラー組立体１３７がそれぞ
れ対向して設けてある。上記出力ミラー組立体１３１と
リアミラー組立体１３５はそれぞれ蛇腹を介して支持プ
レート５１Ａに姿勢調節自在に装着してあり、各ベンド
ミラー組立体１３７は蛇腹を介して支持プレート５１Ｂ
に姿勢調節自在に装着してあると共に、蛇腹を介して互
に接続してある。
再び第７図を参照するに、出力ミラー組立体１３１の姿
勢を制御するために、出力ミラー組立体１３１には適宜
のフランジ１３１Ｆが設けてあり、このフランジ１３１
Ｆの複数箇所を貫通した複数の調節螺子１３９と支持プ
レート５１Ａを貫通した複数の調節螺子１４１との間に
はテンションスプリング１４３がそれぞれ張設してあ
る。さらに前記フランジ１３１の複数箇所にはマイクロ
メータ１４５が装着してあり、各マイクロメータ１４５
の各スピンドル１４５Ｓは支持プレート５１Ａに螺着固
定した複数の台座ブロック１４７に当接してある。
上記構成により、出力ミラー組立体１３１は複数のテン
ションスプリング１４３の作用によって常に支持プレー
ト５１Ａ側へ付勢された状態にあって、各マイクロメー
タ１４５の各スピンドル１４５Ｓが各台座ブロック１４
７に当接しているので、各マイクロメータ１４５を適宜
に操作することにより、出力ミラー組立体１３１の姿勢
を調節でき、内部に備えたミラーの角度を微調整でき
る。
前記リアミラー組立体１３５およびベンドミラー組立体
１３７は、出力ミラー組立体１３１の取付構造と同一の
構成でもって支持プレート５１Ａ，５１Ｂに取付けてあ
り、レーザ管を増加するような場合には、レーザ管の増
加に応じてそれぞれ取付け位置を任意に変えることがで
きるように互換性を有するものである。
再度第２図〜第４図を参照するに、前記アタッチメント
部３１はＨｅ−Ｎｅレーザ発振器１４９とプリズム装置
１５１とビームダンパー１５３等より構成してある。Ｈ
ｅ−Ｎｅレーザ発振器１４９は、前記レーザ発振部２９
における出力ミラー組立体１３１、リアミラー組立体１
３５およびベンドミラー組立体１３７等のミラー調整や
前記レーザ加工機１における光学系の調整時に使用する
もので、第２図より明らかなように、支持台３３Ａに取
付けた支持ブラケット１５５に垂直に装着してある。プ
リズム装置１５１は、Ｈｅ−Ｎｅレーザ発振器１４９か
らのレーザビームを前記レーザ発振部２９におけるレー
ザ管４９Ａ，４９Ｂ内へ或いはレーザ加工機１方向へ選
択的に屈曲する作用をなすもので、本実施例においては
Ｈｅ−Ｎｅレーザ発振器１４９からのレーザビームとレ
ーザ発振部２９からのレーザビームＬＢとの交点位置に
対して進退自在に配置してある。前記ビームダンパー１
５３はレーザ発振部２９における出力ミラー組立体１３
１から出力されるレーザビームＬＢを遮断自在なもので
あり、出力ミラー組立体１３１とプリズム装置１５１と
の間においてレーザビームＬＢの通路に対して進退自在
に設けてある。
［発明の効果］ 以上のごとき実施例の説明より理解されるように、要す
るに本発明の要旨は特許請求の範囲に記載のとおりであ
り、第１発明においては、レーザ管４９Ａ，４９Ｂの一
端側を支持した一方の支持プレート５１Ａの一端側が球
面座装置５７を介して揺動可能に支持されており、他端
側はレーザ管４９Ａ，４９Ｂの長手方向に対し交差する
方向に微動可能に設けてある。そして、前記レーザ管４
９Ａ，４９Ｂの他端側を支持した他方の支持プレート５
１Ｂは、レーザ管４９Ａ，４９Ｂの長手方向へ微動可能
に設けてある。
したがって、レーザ管４９Ａ，４９Ｂの長手方向の熱変
形は他方の支持プレート５１Ｂが同方向へ微動すること
により吸収でき、また支持プレート５１Ａの長手方向へ
の熱変形や全体としての微少な回動等は球面座装置５７
の作用及びレーザ管４９Ａ，４９Ｂの長手方向に対して
交差する方向へ微動することにより吸収でき、レーザ管
４９Ａ，４９Ｂを支持する支持プレート５１Ａ，５１Ｂ
等の全体的な熱変形に対応して常に精度良くレーザ管４
９Ａ，４９Ｂを支持するものである。
さらに、第２発明においては、レーザ管４９Ａ，４９Ｂ
と気体帰還路９７との接続を陰極組立体９９によって行
なう構成であり、この陰極組立体９９は、レーザ管４９
Ａ，４９Ｂの端部を相対的に移動可能に嵌入した第１ホ
ルダリング１１７と前記気体帰還路９７の端部を相対的
に移動可能に嵌入した第２ホルダリング１１９との間
に、固定具を介してリング状の陰極１１５を着脱交換可
能に挾圧した構成である。
したがって、上記構成によれば、固定具を緩めて、第
１，第２リング１１７，１１９による陰極１１５の挾圧
を解除することにより、レーザ管４９Ａ，４９Ｂと直交
する方向への上記陰極１１５の着脱交換を容易に行なう
ことができるものである。すなわち、陰極１１５の交換
時に大掛りに分解する必要がなく、交換が容易なもので
ある。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明に係るレーザ発振器を備えてなるレーザ
加工機を示す正面図である。 第２図は本発明に係るレーザ発振器の正面図、 第３図は同上の平面図、 第４図は第２図の右側面図、 第５図は第２図におけるＶ−Ｖ線に沿った拡大断面図、 第６図は第２図におけるVI−VI線に沿った拡大断面図、 第７図は第３図におけるVII−VII線に沿った拡大断面
図、 第８図は第３図におけるVIII−VIII線に沿った拡大断面
図である。 ４３……主熱交換器、４９Ａ，４９Ｂ……レーザ管 ６９……気体循環駆動装置 ９７……気体帰還路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 7454−4Ｍ Ｈ０１Ｓ 3/03 Ｂ (56)参考文献 特開 昭54−78098（ＪＰ，Ａ) 特開 昭55−62790（ＪＰ，Ａ) 特開 昭56−81988（ＪＰ，Ａ) 特開 昭56−51885（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−102582（ＪＰ，Ａ) 特開 昭56−98885（ＪＰ，Ａ) 特公 昭58−40353（ＪＰ，Ｂ２)

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】互いに平行状に配設した複数本のレーザ管
    （４９Ａ，４９Ｂ）からのレーザ気体を冷却するための
    熱交換器（４３）を備えると共に熱交換器（４３）から
    のレーザ気体を前記各レーザ管（４９Ａ，４９Ｂ）に循
    環するための気体循環駆動装置（６９）を備え、かつ前
    記各レーザ管（４９Ａ，４９Ｂ）の一端側を支持した一
    方の支持プレート（５１Ａ）と上記各レーザ管（４９
    Ａ，４９Ｂ）の他端側を支持した他方の支持プレート
    （５１Ｂ）とをそれぞれ支持台（３３Ａ，３３Ｂ）上に
    取付けてなる高速軸流形気体発振器にして、前記一方の
    支持プレート（５１Ａ）の長手方向の一端側を球面座装
    置（５７）を介して前記支持台（３３Ａ）に揺動可能に
    支持して設け、この一方の支持プレート（５１Ａ）の他
    端側を、前記各レーザ管（４９Ａ，４９Ｂ）の長手方向
    に対して交差する方向へ微動可能に支持して設け、前記
    他方の支持プレート（５１Ｂ）を、前記支持台（３３
    Ｂ）に前記レーザ管（４９Ａ，４９Ｂ）の長手方向へ微
    動可能に支持してなることを特徴とする高速軸流形気体
    レーザ発振器。
  2. 【請求項２】レーザ気体を冷却するための熱交換器（４
    ３）と、熱交換器（４３）において冷却されたレーザ気
    体をレーザ管（４９Ａ，４９Ｂ）へ供給するための気体
    循環駆動装置（６９）と、前記レーザ管（４９Ａ，４９
    Ｂ）内のレーザ気体を前記熱交換器（４３）へ還流する
    気体循環路（９７）とを備えてなる高速軸流形気体レー
    ザ発振器にして、前記レーザ管と気体帰還路（９７）と
    を陰極組立体（９９）を介して接続してなり、上記陰極
    組立体（９９）は、レーザ管の端部を相対的に移動可能
    に嵌入した第１ホルダリング（１１７）と前記気体帰還
    路（９７）の端部を相対的に移動可能に嵌入した第２ホ
    ルダリング（１１９）との間に、固定具を介してリング
    状の陰極（１１５）を着脱交換可能に挾圧してなること
    を特徴とする高速軸流形気体レーザ発振器。
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