JPH0626523A - サーボシリンダ用静圧ラジアルポケット軸受 - Google Patents
サーボシリンダ用静圧ラジアルポケット軸受Info
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- JPH0626523A JPH0626523A JP4131858A JP13185892A JPH0626523A JP H0626523 A JPH0626523 A JP H0626523A JP 4131858 A JP4131858 A JP 4131858A JP 13185892 A JP13185892 A JP 13185892A JP H0626523 A JPH0626523 A JP H0626523A
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- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 64
- 230000002706 hydrostatic effect Effects 0.000 claims abstract description 40
- 238000011056 performance test Methods 0.000 claims abstract description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 6
- 230000003068 static effect Effects 0.000 claims description 27
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 1
- 238000004088 simulation Methods 0.000 abstract description 7
- 238000012360 testing method Methods 0.000 abstract description 4
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 5
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 4
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 3
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 2
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 2
- 229910000906 Bronze Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001361 White metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000004323 axial length Effects 0.000 description 1
- 239000010974 bronze Substances 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N copper tin Chemical compound [Cu].[Sn] KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 description 1
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 1
- 239000010969 white metal Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
- F16C32/0629—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a liquid cushion, e.g. oil cushion
- F16C32/064—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a liquid cushion, e.g. oil cushion the liquid being supplied under pressure
- F16C32/0644—Details of devices to control the supply of liquids to the bearings
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
- F16C32/0629—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a liquid cushion, e.g. oil cushion
- F16C32/064—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a liquid cushion, e.g. oil cushion the liquid being supplied under pressure
- F16C32/0651—Details of the bearing area per se
- F16C32/0659—Details of the bearing area per se of pockets or grooves
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 サーボシリンダ特に例えばテストスタンドや
シミュレーション技術に利用される高性能テストシリン
ダ用の静圧ラジアルポケット軸受を提供する。 【構成】 ラジアルポケット軸受はピストンの高精度制
御およびピストンロッド１２に作用する大きな横荷重の
支承に適している。それぞれ割り当てられた圧力供給に
接続された絞りおよび対応する接続通路５２を経て圧力
流体源から供給を受ける軸受間に均等に配分された偶数
個の軸受ポケット３４が設けられる。絞りは圧力流体供
給口４８と対向する軸受ポケット３４内にある少なくと
も一つの排出溝４４と間の軸受隙間５４により形成さ
れ、入りくいだ凹所３６である軸受ポケット３４は静止
軸受部分あるいは可動軸受部分に設けられる。漏洩によ
る損失仕事量を少なくし同時に軸受支持容量を大きくす
るために、軸受ポケット３４から軸方向の両側へ流出す
る圧力流体の排出流の圧力低下に差が生じる。
シミュレーション技術に利用される高性能テストシリン
ダ用の静圧ラジアルポケット軸受を提供する。 【構成】 ラジアルポケット軸受はピストンの高精度制
御およびピストンロッド１２に作用する大きな横荷重の
支承に適している。それぞれ割り当てられた圧力供給に
接続された絞りおよび対応する接続通路５２を経て圧力
流体源から供給を受ける軸受間に均等に配分された偶数
個の軸受ポケット３４が設けられる。絞りは圧力流体供
給口４８と対向する軸受ポケット３４内にある少なくと
も一つの排出溝４４と間の軸受隙間５４により形成さ
れ、入りくいだ凹所３６である軸受ポケット３４は静止
軸受部分あるいは可動軸受部分に設けられる。漏洩によ
る損失仕事量を少なくし同時に軸受支持容量を大きくす
るために、軸受ポケット３４から軸方向の両側へ流出す
る圧力流体の排出流の圧力低下に差が生じる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、サーボシリンダ用静圧
ラジアルポケット軸受に係り、詳しくは、高性能テスト
シリンダ用の静圧ラジアルポケット軸受に関するもので
ある。
ラジアルポケット軸受に係り、詳しくは、高性能テスト
シリンダ用の静圧ラジアルポケット軸受に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】例えばテストスタンドあるいはシミュレ
ーション技術に利用されるサーボシリンダは、とりわけ
高精度制御に支えられて、数Ｎから最高数万Ｎの範囲の
外力を、その大きさならびに時間的推移に応じて極めて
正確にシステムへ伝達できる特性をもっている。特に、
シミュレーション技術で利用される場合、突出したピス
トンには程度の差こそあれ大きいラジアル反力が作用
し、これがピストンロッドの領域内での静圧軸受支持の
採用を不可欠なものとしている。
ーション技術に利用されるサーボシリンダは、とりわけ
高精度制御に支えられて、数Ｎから最高数万Ｎの範囲の
外力を、その大きさならびに時間的推移に応じて極めて
正確にシステムへ伝達できる特性をもっている。特に、
シミュレーション技術で利用される場合、突出したピス
トンには程度の差こそあれ大きいラジアル反力が作用
し、これがピストンロッドの領域内での静圧軸受支持の
採用を不可欠なものとしている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】静圧ポケット軸受は、
すでに公知である。充分に高い精度で軸受隙間の制御が
できるために、ポケット圧と圧力媒体の流量との間に再
現性のある関係が成立するよう、それぞれ絞りを経て軸
受ポケットに圧力流体を供給する必要がある。公知の例
では、絞りは、長さが例えば約０．４ｍ、内径が約０．
６ｍｍの螺旋管体片形状の毛細管絞りで形成される。こ
のため、とりわけ製作コストが比較的高くなるが、これ
は、その後の開発を経て、毛細管体片の代わりに軸受ス
リーブへラジアル方向にねじ込むネジスピンドルを利用
することにより軽減されている。この解決法は確かに製
造の合理化に役立ったが、調整時の問題点を解決するこ
とができなかった。最初に述べた種類のサーボシリンダ
の静圧軸受支持の場合には、ピストンあるいはピストン
ロッドの負荷スペクトルが極端に広い範囲で分布し、し
たがって、漏洩損失を発生する圧力と関係なく制限でき
るよう配慮するしなければならない難点がある。本発明
は上述の問題に鑑みなされたもので、その目的は、負荷
容量が大きく、軸受隙間のすぐれた制御機能を発揮し、
また、漏洩による損失仕事量の少ないサーボシリンダ用
静圧ラジアルポケット軸受を提供することである。
すでに公知である。充分に高い精度で軸受隙間の制御が
できるために、ポケット圧と圧力媒体の流量との間に再
現性のある関係が成立するよう、それぞれ絞りを経て軸
受ポケットに圧力流体を供給する必要がある。公知の例
では、絞りは、長さが例えば約０．４ｍ、内径が約０．
６ｍｍの螺旋管体片形状の毛細管絞りで形成される。こ
のため、とりわけ製作コストが比較的高くなるが、これ
は、その後の開発を経て、毛細管体片の代わりに軸受ス
リーブへラジアル方向にねじ込むネジスピンドルを利用
することにより軽減されている。この解決法は確かに製
造の合理化に役立ったが、調整時の問題点を解決するこ
とができなかった。最初に述べた種類のサーボシリンダ
の静圧軸受支持の場合には、ピストンあるいはピストン
ロッドの負荷スペクトルが極端に広い範囲で分布し、し
たがって、漏洩損失を発生する圧力と関係なく制限でき
るよう配慮するしなければならない難点がある。本発明
は上述の問題に鑑みなされたもので、その目的は、負荷
容量が大きく、軸受隙間のすぐれた制御機能を発揮し、
また、漏洩による損失仕事量の少ないサーボシリンダ用
静圧ラジアルポケット軸受を提供することである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、作動シリンダ
から突出し作用した横外力を支承するピストンロッド
と、割り当てられたポンプ圧が導入される軸受周りに均
等に配置した偶数個の軸受ポケットと、圧力流体供給源
から供給を受けるべく並べられた絞りのための圧力供給
通路と、中間圧を導く接続通路とを備えたサーボシリン
ダ特に高性能テストシリンダ用の静圧ラジアルポケット
軸受に適用される。その特徴とするところは、例えば図
２を参照して、絞り４６が、圧力供給供給口４８と、入
りくんだ凹部として設けられた対向する軸受ポケット３
４の少なくとも一つの排出溝４４との間に存在する軸受
隙間により形成され、軸受ポケット３４から軸方向の両
側へ流出する排出流れの圧力低下に差が生じるようにな
っていることである。
から突出し作用した横外力を支承するピストンロッド
と、割り当てられたポンプ圧が導入される軸受周りに均
等に配置した偶数個の軸受ポケットと、圧力流体供給源
から供給を受けるべく並べられた絞りのための圧力供給
通路と、中間圧を導く接続通路とを備えたサーボシリン
ダ特に高性能テストシリンダ用の静圧ラジアルポケット
軸受に適用される。その特徴とするところは、例えば図
２を参照して、絞り４６が、圧力供給供給口４８と、入
りくんだ凹部として設けられた対向する軸受ポケット３
４の少なくとも一つの排出溝４４との間に存在する軸受
隙間により形成され、軸受ポケット３４から軸方向の両
側へ流出する排出流れの圧力低下に差が生じるようにな
っていることである。
【０００５】放出溝５８は、サーボシリンダ２（図１参
照）の少なくとも一つのガイド部１６の領域に形成さ
れ、かつ、シリンダ圧力室８の反対側の軸受ポケット縁
部４０から軸方向に距離Ａを隔てて設けられる。前記し
た軸受ポケット３４、圧力流体供給口４８および排出溝
４４が、静止した軸受部分に形成される。上記の放出溝
５８は、静止した軸受部分に形成される。前記軸方向距
離Ａが、シリンダ圧力室８の対面側の軸受隙間５４の軸
方向幅ＢＡより、小さくなっている。その軸方向幅の寸
法ＢＡは、軸方向距離Ａの略２倍ないし３倍としておく
とよい。組付状態において、軸受スリーブ３０が、ガイ
ド部１６の剛性の高いジャケットスリーブ６２（図４参
照）に着座して装着される。軸受部位への圧力流体が、
軸受スリーブ３０のシリンダ外面６４（図３参照）に延
びる相互にシールされた溝６８（図４参照）を介して供
給される。圧力供給用の溝６６または接続溝６８1 〜６
８4 が、軸受スリーブ３０のシリンダ外面６４に形成さ
れ、ジャケットスリーブ６２によって閉鎖されている。
照）の少なくとも一つのガイド部１６の領域に形成さ
れ、かつ、シリンダ圧力室８の反対側の軸受ポケット縁
部４０から軸方向に距離Ａを隔てて設けられる。前記し
た軸受ポケット３４、圧力流体供給口４８および排出溝
４４が、静止した軸受部分に形成される。上記の放出溝
５８は、静止した軸受部分に形成される。前記軸方向距
離Ａが、シリンダ圧力室８の対面側の軸受隙間５４の軸
方向幅ＢＡより、小さくなっている。その軸方向幅の寸
法ＢＡは、軸方向距離Ａの略２倍ないし３倍としておく
とよい。組付状態において、軸受スリーブ３０が、ガイ
ド部１６の剛性の高いジャケットスリーブ６２（図４参
照）に着座して装着される。軸受部位への圧力流体が、
軸受スリーブ３０のシリンダ外面６４（図３参照）に延
びる相互にシールされた溝６８（図４参照）を介して供
給される。圧力供給用の溝６６または接続溝６８1 〜６
８4 が、軸受スリーブ３０のシリンダ外面６４に形成さ
れ、ジャケットスリーブ６２によって閉鎖されている。
【０００６】図９および図１０を参照して、ポンプ圧を
導く溝３６６が設けられ、中間圧を導く溝が、周囲に配
置した接続溝３６８1 〜３６８4 により形成される。周
部で隣接した二つの接続溝３６８1 ，３６８3 および３
６８2 ，３６８4 の間隔が、可及的に大きく確保されて
いる。軸受領域に対して少なくとも一つの接続溝３６８
から出る流路３７２が、軸受直径ＤＬに対して実質的に
接線方向へ延びた部分を備えている。それぞれ二つの接
続溝３６８1 ，３６８3 が、共通のラジアル面内に存在
している。ポンプ圧を導く溝３６６が、軸方向に隣接し
た中間圧を導く接続溝３６８に近い軸方向距離にある。
ポンプ圧を導く溝３６６が、軸受ポケット３３４のラジ
アル方向外方に存在する。軸方向に隣接した溝３６６あ
るいは接続溝３６８の間、および、一つのリング溝３９
９の内方にシール３９７が設けられている。ポンプ圧を
導く溝３６６の中間圧を導く溝３６８の反対側に、軸方
向距離をおいて漏洩放出溝３９５が設けられる。ポンプ
圧を導く溝３６６または漏洩放出溝３９５の接続が、軸
受スリーブ３３０の正面３９０から軸方向の流路３９３
を経て行われる。軸受スリーブ３３０が、収縮結合され
たジャケットスリーブ３６２により取り囲まれている。
図７および図８を参照して、軸受ポケット２３４、圧力
流体供給口２４８および排出溝２４４が、ピストン６の
表面に設けられている。通路２２1 〜２２4 が、ピスト
ン６内部にある中央の圧力供給通路２０から始まってい
る。接続通路２５２1 〜２５２4 は、軸方向にずれた横
孔により形成される。図２を参照して、圧力流体供給口
が、周囲をとりまいた排出溝４４と同心に配置された円
形状の凹部４８により形成されている。図５を参照し
て、圧力流体供給口が、それぞれ一組の軸方向に整列さ
れた排出溝１４４の間で延びる軸方向溝１４８により形
成される。図２を参照して、軸受ポケット３４が、実質
的に矩形状に延びた偏平な溝で形成される。図７および
図８を参照して、軸受ポケット２３４の圧力流体通路２
８２，２８４が、両シリンダ圧力室８，１０に接続した
切換弁２８６を介して、導かれるようになっている。
導く溝３６６が設けられ、中間圧を導く溝が、周囲に配
置した接続溝３６８1 〜３６８4 により形成される。周
部で隣接した二つの接続溝３６８1 ，３６８3 および３
６８2 ，３６８4 の間隔が、可及的に大きく確保されて
いる。軸受領域に対して少なくとも一つの接続溝３６８
から出る流路３７２が、軸受直径ＤＬに対して実質的に
接線方向へ延びた部分を備えている。それぞれ二つの接
続溝３６８1 ，３６８3 が、共通のラジアル面内に存在
している。ポンプ圧を導く溝３６６が、軸方向に隣接し
た中間圧を導く接続溝３６８に近い軸方向距離にある。
ポンプ圧を導く溝３６６が、軸受ポケット３３４のラジ
アル方向外方に存在する。軸方向に隣接した溝３６６あ
るいは接続溝３６８の間、および、一つのリング溝３９
９の内方にシール３９７が設けられている。ポンプ圧を
導く溝３６６の中間圧を導く溝３６８の反対側に、軸方
向距離をおいて漏洩放出溝３９５が設けられる。ポンプ
圧を導く溝３６６または漏洩放出溝３９５の接続が、軸
受スリーブ３３０の正面３９０から軸方向の流路３９３
を経て行われる。軸受スリーブ３３０が、収縮結合され
たジャケットスリーブ３６２により取り囲まれている。
図７および図８を参照して、軸受ポケット２３４、圧力
流体供給口２４８および排出溝２４４が、ピストン６の
表面に設けられている。通路２２1 〜２２4 が、ピスト
ン６内部にある中央の圧力供給通路２０から始まってい
る。接続通路２５２1 〜２５２4 は、軸方向にずれた横
孔により形成される。図２を参照して、圧力流体供給口
が、周囲をとりまいた排出溝４４と同心に配置された円
形状の凹部４８により形成されている。図５を参照し
て、圧力流体供給口が、それぞれ一組の軸方向に整列さ
れた排出溝１４４の間で延びる軸方向溝１４８により形
成される。図２を参照して、軸受ポケット３４が、実質
的に矩形状に延びた偏平な溝で形成される。図７および
図８を参照して、軸受ポケット２３４の圧力流体通路２
８２，２８４が、両シリンダ圧力室８，１０に接続した
切換弁２８６を介して、導かれるようになっている。
【０００７】
【発明の効果】本発明によれば、絞りとして、いわゆる
ダイヤフラム絞りの原理で作動する絞りが利用される。
この場合、ダイヤフラム絞りのリング状絞り面は、ピス
トンロッドあるいはピストンとピストンガイド部あるい
はピストンロッドガイド部間の対向する軸受隙間により
形成される。ピストンあるいはピストンロッドの対応す
る軸受ポケットに対向する側へ絞り隙間を貫流すると、
圧力供給通路を経て供給された流体圧力、すなわち、ポ
ンプ圧はポケット圧へ低下し、中間圧の支配する対応す
る接続通路を経て軸受ポケットへ導かれる。したがっ
て、軸受ポケット側の負荷が増加すると、ピストンある
いはピストンロッドは絞り隙間幅を大きくする状態で案
内孔の対向する側へ変位する。このようにして、大きい
負荷を受けた軸受には絞りを通ってより多くの圧力流体
が流れ、ピストンの変位に対抗作用が生じる。この軸受
隙間の制御原理は、ＥＰ ０１０５０５０ Ｂ１ に記
載された静圧軸受の支承によって、すでに公知となって
いる。絞りのこのような配置と構成が動的に応答するた
め極めて敏感な制御システムになる点については、軸受
の制御機能を保証するために、軸受ポケットの自由縁部
分に同じ圧力低下を設けるように配慮することで、これ
まで対処されてきた。本発明は上記とは対照的に、軸受
ポケットからラジアル方向の両側へ排出される圧力流体
の流れの圧力低下に差がある場合でも、すぐれた動特性
を保持した状態で絞りの制御機能を維持できるという驚
くべき知見に基づくものである。このようにして、軸受
ポケットのシリンダ室側の縁部は、直接すなわち排出溝
を中間接続することなく、軸受隙間を経て圧力のかかっ
たシリンダ室を制限して制御した流通状態になるように
することができる。なお、軸受の負荷容量が著しく増加
し、また、漏洩損失が極小化する利点も生じる。
ダイヤフラム絞りの原理で作動する絞りが利用される。
この場合、ダイヤフラム絞りのリング状絞り面は、ピス
トンロッドあるいはピストンとピストンガイド部あるい
はピストンロッドガイド部間の対向する軸受隙間により
形成される。ピストンあるいはピストンロッドの対応す
る軸受ポケットに対向する側へ絞り隙間を貫流すると、
圧力供給通路を経て供給された流体圧力、すなわち、ポ
ンプ圧はポケット圧へ低下し、中間圧の支配する対応す
る接続通路を経て軸受ポケットへ導かれる。したがっ
て、軸受ポケット側の負荷が増加すると、ピストンある
いはピストンロッドは絞り隙間幅を大きくする状態で案
内孔の対向する側へ変位する。このようにして、大きい
負荷を受けた軸受には絞りを通ってより多くの圧力流体
が流れ、ピストンの変位に対抗作用が生じる。この軸受
隙間の制御原理は、ＥＰ ０１０５０５０ Ｂ１ に記
載された静圧軸受の支承によって、すでに公知となって
いる。絞りのこのような配置と構成が動的に応答するた
め極めて敏感な制御システムになる点については、軸受
の制御機能を保証するために、軸受ポケットの自由縁部
分に同じ圧力低下を設けるように配慮することで、これ
まで対処されてきた。本発明は上記とは対照的に、軸受
ポケットからラジアル方向の両側へ排出される圧力流体
の流れの圧力低下に差がある場合でも、すぐれた動特性
を保持した状態で絞りの制御機能を維持できるという驚
くべき知見に基づくものである。このようにして、軸受
ポケットのシリンダ室側の縁部は、直接すなわち排出溝
を中間接続することなく、軸受隙間を経て圧力のかかっ
たシリンダ室を制限して制御した流通状態になるように
することができる。なお、軸受の負荷容量が著しく増加
し、また、漏洩損失が極小化する利点も生じる。
【０００８】実際には、明細書 ＳＵ ６１６４５５
Ａと同様に、軸受ポケット用の絞りが対向する軸受ポケ
ットを形成した凹部の軸受隙間により形成され、軸受隙
間の絞りを形成する部分がそれぞれ流れ方向に、供給通
路を経て高圧流体源と、また排出通路を経て対向する軸
受ポケットと連通する供給溝および排出溝で制限され
る。軸方向運動をガイドする静圧ポケット軸受は公知で
ある。この場合にも、軸受ポケットの部分に、軸受ポケ
ットから流出する圧力流体が、軸受ポケットで取り囲ま
れる円状の排出溝により捕集され、両側に対称な流出状
態が生じる。圧力流体供給口は排出溝と軸受ポケットの
中央にある排出口の中間に設けられているので、最初に
述べた種類の高品質サーボシリンダへのこのような軸受
の利用が制約され、すなわち、特に著しい漏洩損失が見
られる。上記と対照的に、この発明に係る静圧ポケット
軸受の構成は、損失仕事量を増加させるおそれを招くこ
となく、供給圧したがってサーボシリンダの作動圧を最
高約２８０バールの圧力範囲まで昇圧させることができ
る。
Ａと同様に、軸受ポケット用の絞りが対向する軸受ポケ
ットを形成した凹部の軸受隙間により形成され、軸受隙
間の絞りを形成する部分がそれぞれ流れ方向に、供給通
路を経て高圧流体源と、また排出通路を経て対向する軸
受ポケットと連通する供給溝および排出溝で制限され
る。軸方向運動をガイドする静圧ポケット軸受は公知で
ある。この場合にも、軸受ポケットの部分に、軸受ポケ
ットから流出する圧力流体が、軸受ポケットで取り囲ま
れる円状の排出溝により捕集され、両側に対称な流出状
態が生じる。圧力流体供給口は排出溝と軸受ポケットの
中央にある排出口の中間に設けられているので、最初に
述べた種類の高品質サーボシリンダへのこのような軸受
の利用が制約され、すなわち、特に著しい漏洩損失が見
られる。上記と対照的に、この発明に係る静圧ポケット
軸受の構成は、損失仕事量を増加させるおそれを招くこ
となく、供給圧したがってサーボシリンダの作動圧を最
高約２８０バールの圧力範囲まで昇圧させることができ
る。
【０００９】この発明に係る対策によって、ポケット軸
受はピストンロッド用ガイド部およびピストン自体の部
分にも設けることができる。サーボシリンダのピストン
ロッド用ポケット軸受として、本発明を具体化する場
合、請求項２による改良が負荷容量の増大および漏洩損
失の減少に関して特に有利である。シリンダ室とは反対
側の軸受ポケットの境界と排出溝の軸方向間隔がシリン
ダ室の対面側の軸受隙間の軸方向幅よりも小さい場合、
ダイヤフラム絞りの制御機能を損なうことなく、シリン
ダ室内に作用する圧力をさらに増加させることができ
る。請求項６による形状の調整がなされると、極めて大
きい負荷容量値を実現できることになる。請求項７の改
良によって静圧ポケット軸受の製作が簡単になり、軸受
スリーブの外面が必要な接続および／または圧力供給通
路の構成に比較的広い自由空間を確保させることができ
る利点が得られる。請求項８ないし１９には、圧力流体
を供給する有利な形態が示されている。この改良によっ
て、時として発生する圧力供給口あるいは接続溝からの
漏洩が軸受の機能の信頼性を損なわないように保証する
ことができる。特に請求項１２による構成によって、ご
く簡単な対策で、中間圧が相互に重なりあわないことが
保証される。断続流路部の接線方向案内と配置によっ
て、直径方向に対向した軸受部分を連通する中間圧を導
く流路部分が延びている中心角がほぼ９０度に減少し、
実質的に共通なラジアル平面内にある接続溝も周方向に
同様にほぼ９０度の間隔をとることができるようにな
る。断続流路はラジアル面内にあるのが望ましい。この
場合には溝を請求項１４および／または請求項１５によ
り配置できる利点がある。少なくともポンプ圧を導く溝
と軸方向に隣接した中間圧溝との間に、漏洩油による中
間圧の影響を除くために、周囲をとりかこむあるいはリ
ング状に周囲をとりまくシールを設けることが望まし
い。請求項１７によって、漏洩油排出溝が設けられる場
合には、中間圧自体が極めて高いポンプ圧に対してより
効果的に遮断される。ピストン自体に請求項２０による
ポケット軸受を設ける場合には、ピストンの両側に作用
する圧力差によって、ポケット軸受の両側に異なった流
出状態が生じる。この構成では排出溝は完全になくな
る。この形態では漏洩損失はまったくとるに足らないほ
ど小さくなる。ポケット軸受の両側に設けるこの方式で
は、両シリンダ室内の圧力は安定化し、すなわち、軸受
のラジアル負荷容量の増加に対応させることができる。
請求項２６による改良で、静圧軸受の極めて簡単な圧力
流体供給シテスムが得られる。
受はピストンロッド用ガイド部およびピストン自体の部
分にも設けることができる。サーボシリンダのピストン
ロッド用ポケット軸受として、本発明を具体化する場
合、請求項２による改良が負荷容量の増大および漏洩損
失の減少に関して特に有利である。シリンダ室とは反対
側の軸受ポケットの境界と排出溝の軸方向間隔がシリン
ダ室の対面側の軸受隙間の軸方向幅よりも小さい場合、
ダイヤフラム絞りの制御機能を損なうことなく、シリン
ダ室内に作用する圧力をさらに増加させることができ
る。請求項６による形状の調整がなされると、極めて大
きい負荷容量値を実現できることになる。請求項７の改
良によって静圧ポケット軸受の製作が簡単になり、軸受
スリーブの外面が必要な接続および／または圧力供給通
路の構成に比較的広い自由空間を確保させることができ
る利点が得られる。請求項８ないし１９には、圧力流体
を供給する有利な形態が示されている。この改良によっ
て、時として発生する圧力供給口あるいは接続溝からの
漏洩が軸受の機能の信頼性を損なわないように保証する
ことができる。特に請求項１２による構成によって、ご
く簡単な対策で、中間圧が相互に重なりあわないことが
保証される。断続流路部の接線方向案内と配置によっ
て、直径方向に対向した軸受部分を連通する中間圧を導
く流路部分が延びている中心角がほぼ９０度に減少し、
実質的に共通なラジアル平面内にある接続溝も周方向に
同様にほぼ９０度の間隔をとることができるようにな
る。断続流路はラジアル面内にあるのが望ましい。この
場合には溝を請求項１４および／または請求項１５によ
り配置できる利点がある。少なくともポンプ圧を導く溝
と軸方向に隣接した中間圧溝との間に、漏洩油による中
間圧の影響を除くために、周囲をとりかこむあるいはリ
ング状に周囲をとりまくシールを設けることが望まし
い。請求項１７によって、漏洩油排出溝が設けられる場
合には、中間圧自体が極めて高いポンプ圧に対してより
効果的に遮断される。ピストン自体に請求項２０による
ポケット軸受を設ける場合には、ピストンの両側に作用
する圧力差によって、ポケット軸受の両側に異なった流
出状態が生じる。この構成では排出溝は完全になくな
る。この形態では漏洩損失はまったくとるに足らないほ
ど小さくなる。ポケット軸受の両側に設けるこの方式で
は、両シリンダ室内の圧力は安定化し、すなわち、軸受
のラジアル負荷容量の増加に対応させることができる。
請求項２６による改良で、静圧軸受の極めて簡単な圧力
流体供給シテスムが得られる。
【００１０】
【実施例】図１中の符号２は、例えばテストスタンドあ
るいはシミュレーションの技術分野に適用されるサーボ
シリンダであり、このサーボシリンダの例は、同一のス
トロークを有するシリンダとして構成された複動型シリ
ンダである。なお、本発明は、このような種類のシリン
ダに限定されるものではなく、差動シリンダにも適用す
ることができる。これには、その両側にはシリンダ圧力
室８，１０があり、ピストン６の両側にピストンロッド
１２，１４が設けられている。外方へ突出したピストン
ロッド１２により、サーボピストンの適用条件に応じて
予め定めた正確な制御力が、いわゆるシミュレーション
技術で見られる運動シミュレーションシステムなどに加
えられる。このようなサーボシリンダによれば、時間的
に極めて正確な運動を実現できるだけでなく、ピストン
によって加えられる力を極めて広範囲にわたって正確に
設定することができる。これらの力は単に軸方向に作用
するだけではなく、外方へガイドされたピストンロッド
にラジアル力を作用させる。その力が比較的大きい場合
でも、摩擦損失をできるだけ少なくするために、ピスト
ンロッドおよびピストンはラジアル方向に支承され、そ
れが高精度な軸受支持構造となっている。そうするため
に、サーボシリンダ２の少なくともガイド部１６のとこ
ろには、細部“II”を詳しく表した図２および図３に示
す静圧軸受が採用される。なお、図１に示した例では、
ピストン６のところにも同様な静圧軸受１８が採用され
ており、その詳細は、図７および図８を用いて後述す
る。
るいはシミュレーションの技術分野に適用されるサーボ
シリンダであり、このサーボシリンダの例は、同一のス
トロークを有するシリンダとして構成された複動型シリ
ンダである。なお、本発明は、このような種類のシリン
ダに限定されるものではなく、差動シリンダにも適用す
ることができる。これには、その両側にはシリンダ圧力
室８，１０があり、ピストン６の両側にピストンロッド
１２，１４が設けられている。外方へ突出したピストン
ロッド１２により、サーボピストンの適用条件に応じて
予め定めた正確な制御力が、いわゆるシミュレーション
技術で見られる運動シミュレーションシステムなどに加
えられる。このようなサーボシリンダによれば、時間的
に極めて正確な運動を実現できるだけでなく、ピストン
によって加えられる力を極めて広範囲にわたって正確に
設定することができる。これらの力は単に軸方向に作用
するだけではなく、外方へガイドされたピストンロッド
にラジアル力を作用させる。その力が比較的大きい場合
でも、摩擦損失をできるだけ少なくするために、ピスト
ンロッドおよびピストンはラジアル方向に支承され、そ
れが高精度な軸受支持構造となっている。そうするため
に、サーボシリンダ２の少なくともガイド部１６のとこ
ろには、細部“II”を詳しく表した図２および図３に示
す静圧軸受が採用される。なお、図１に示した例では、
ピストン６のところにも同様な静圧軸受１８が採用され
ており、その詳細は、図７および図８を用いて後述す
る。
【００１１】上記したシリンダ圧力室の制御は、構造を
個々に詳述するに及ばない油圧制御部４によってなされ
る。この制御部は、シリンダ圧力室８，１０に供給する
圧力流体を調節し、一つには、圧力供給通路２２へ供給
し、後述する他の静圧軸受のためには圧力供給通路２０
へ供給する。図２および図３は第一の実施例であり、ガ
イド部１６の領域にあるピストンロッド１２のための静
圧軸受を示している。このピストンロッド１２は、以下
に詳しく述べるとおりであるが、筒状部１６の領域にあ
る図示しないジャケットスリーブに固定した軸受スリー
ブ３０のガイド孔２８に収容されている。なお、図中の
１２1 はピストンロッド１２のシリンダ圧力室８の反対
側部分であり、１２2はピストンロッド１２のシリンダ
圧力室８の対面側部分である。図１に示した静圧ラジア
ルポケット軸受３２を構成させるために、軸受スリーブ
３０のガイド孔２８の内面に、図２に示すごとく周方向
に均等な間隔をあけて隣りあう偶数個の軸受ポケット３
４が設けられる。その軸受ポケットは、望ましくは、そ
の断面が図の上側あるいは下側から分かるような入りく
んだ凹部３６で形成される。これは例えば矩形状断面の
溝であり、軸受ポケット３４は全体として実質的に矩形
状の輪郭を有し、軸方向の境界線３８と周方向の境界線
４０で区画されている。各軸受ポケット３４では、リン
グ状のウエブ４６でもって圧力流体供給口４８をとりま
き、また、その圧力流体供給口４８から隔たったリング
状の排出溝４４が、他のリング状のウエブ４２によって
とりまかれている。その圧力流体供給口４８は、それぞ
れのラジアル孔５０からポンプ圧Ｐを導く圧力供給通路
２２を介して、圧力流体の供給を受けるようになってい
る。なお、動力供給源としてポンプ２４が設けられてい
る。
個々に詳述するに及ばない油圧制御部４によってなされ
る。この制御部は、シリンダ圧力室８，１０に供給する
圧力流体を調節し、一つには、圧力供給通路２２へ供給
し、後述する他の静圧軸受のためには圧力供給通路２０
へ供給する。図２および図３は第一の実施例であり、ガ
イド部１６の領域にあるピストンロッド１２のための静
圧軸受を示している。このピストンロッド１２は、以下
に詳しく述べるとおりであるが、筒状部１６の領域にあ
る図示しないジャケットスリーブに固定した軸受スリー
ブ３０のガイド孔２８に収容されている。なお、図中の
１２1 はピストンロッド１２のシリンダ圧力室８の反対
側部分であり、１２2はピストンロッド１２のシリンダ
圧力室８の対面側部分である。図１に示した静圧ラジア
ルポケット軸受３２を構成させるために、軸受スリーブ
３０のガイド孔２８の内面に、図２に示すごとく周方向
に均等な間隔をあけて隣りあう偶数個の軸受ポケット３
４が設けられる。その軸受ポケットは、望ましくは、そ
の断面が図の上側あるいは下側から分かるような入りく
んだ凹部３６で形成される。これは例えば矩形状断面の
溝であり、軸受ポケット３４は全体として実質的に矩形
状の輪郭を有し、軸方向の境界線３８と周方向の境界線
４０で区画されている。各軸受ポケット３４では、リン
グ状のウエブ４６でもって圧力流体供給口４８をとりま
き、また、その圧力流体供給口４８から隔たったリング
状の排出溝４４が、他のリング状のウエブ４２によって
とりまかれている。その圧力流体供給口４８は、それぞ
れのラジアル孔５０からポンプ圧Ｐを導く圧力供給通路
２２を介して、圧力流体の供給を受けるようになってい
る。なお、動力供給源としてポンプ２４が設けられてい
る。
【００１２】図２おいて、各軸受部位のリング状の排出
溝４４は、以下中間圧Ｚと呼ぶ圧力を導く接続通路５２
を介して、それぞれ直径方向に対向した軸受ポケット３
４と連通されている。このようにして、圧力流体供給口
４８と排出溝４４との間にあるリング状のウエブ４６
は、直径方向に対向した隙間絞りを形成する。このよう
な隙間絞りの構成によって、絞りでの流れは、軸受ポケ
ット３４内の圧力と圧力流動流体の流量との関係が実質
的にリニアーとなるように制御される。軸受ポケット相
互の上述した連通によって、ピストンロッド１２と軸受
スリーブ３０の相対変位に対して良好な動特性すなわち
応答性の高い制御回路が達成される。例えばガイド孔２
８に対して、ピストンロッド１２が図２の下方へ移動す
る場合、図２の上側の絞り隙間、すなわち、圧力流体供
給口４８からの圧力流体の流路内における排出溝４４に
対する圧力低下は絞りウエブ４６により減少し、したが
って、対向する軸受ポケットの領域に大きい復元力が生
じる。この復元力は、高い圧力流体が供給される軸受ポ
ケット側で排出隙間が小さくなるにつれて、より一層急
速に増大する。ピストンロッドが軸受ポケットから離
れ、対応する直径方向に対向する絞り隙間内の圧力低下
が大きくなって、軸受ポケット内の圧力が低くなり、ピ
ストンロッドが再び軸受ポケットへ向かう方向に進む場
合には、上記と逆の状態になる。
溝４４は、以下中間圧Ｚと呼ぶ圧力を導く接続通路５２
を介して、それぞれ直径方向に対向した軸受ポケット３
４と連通されている。このようにして、圧力流体供給口
４８と排出溝４４との間にあるリング状のウエブ４６
は、直径方向に対向した隙間絞りを形成する。このよう
な隙間絞りの構成によって、絞りでの流れは、軸受ポケ
ット３４内の圧力と圧力流動流体の流量との関係が実質
的にリニアーとなるように制御される。軸受ポケット相
互の上述した連通によって、ピストンロッド１２と軸受
スリーブ３０の相対変位に対して良好な動特性すなわち
応答性の高い制御回路が達成される。例えばガイド孔２
８に対して、ピストンロッド１２が図２の下方へ移動す
る場合、図２の上側の絞り隙間、すなわち、圧力流体供
給口４８からの圧力流体の流路内における排出溝４４に
対する圧力低下は絞りウエブ４６により減少し、したが
って、対向する軸受ポケットの領域に大きい復元力が生
じる。この復元力は、高い圧力流体が供給される軸受ポ
ケット側で排出隙間が小さくなるにつれて、より一層急
速に増大する。ピストンロッドが軸受ポケットから離
れ、対応する直径方向に対向する絞り隙間内の圧力低下
が大きくなって、軸受ポケット内の圧力が低くなり、ピ
ストンロッドが再び軸受ポケットへ向かう方向に進む場
合には、上記と逆の状態になる。
【００１３】上述のとおり、特に軸受ポケット３４から
軸方向の排出流れが静圧軸受の制御特性を決定する。前
述の静圧軸受の特徴は、軸受ポケットからの圧力流体の
排出流れが非対称な点である。これについては、排出流
れに非対称性があるにもかかわらず、軸受隙間の安定し
た制御が保証されるという知見に基づいている。同時
に、この方式によれば、横方向へ流出する圧力流体に対
して、同じ圧力勾配の同じ経路をたどるように、軸受ポ
ケットを配置する必要がなくなる。したがって、軸受ポ
ケット３４の両側の軸受隙間５４，５６は異なっていて
もよく、さらに異なった方向へも貫流させることができ
る。この発明に係る方式によって、シリンダ圧力室８と
の対面側の軸受隙間５４を、直接シリンダ圧力室へ開口
させることができる。これとは対照的に、軸受スリーブ
３０の軸受ポケット３４のシリンダ圧力室８とは反対側
の軸受隙間５６には、タンクＴへ流す放出溝５８が設け
られる。シリンダ圧力室８とは反対側のこのたった一つ
の放出溝により、約２８０バールの高いシステム圧に起
因して軸受ポケットが約１４０バールの高圧を受ける場
合でも、軸受の漏洩損失を非常に少なくすることができ
る。同時に、シリンダ圧力室８と軸受隙間５４との連な
りが、軸受スリーブ３０内で運動するピストンロッド１
２の一層の安定化に寄与し、ＥＰ ０１０５０５０ Ｂ
１による従来の静圧軸受に比較して、軸受のラジアル負
荷容量が２０％以上高められる。同時に軸受の損失仕事
量を５０％以上軽減でき、上述の静圧軸受は極めて高い
システム圧での利用にも適したものとなる。軸受隙間５
４および５６の軸方向長さの適切な選択により、すなわ
ち、軸受隙間５４の軸方向幅ＢＡに対して、放出溝５８
から軸受ポケット縁部４０までの軸方向間隔Ａを調整す
ることによって、漏洩および負荷容量に対する最適な状
態をつくりだすことができる。ＡとＢＡの比は、約３：
１の範囲にあるのが望ましい。したがって、軸方向幅の
寸法ＢＡが、軸方向距離Ａのほぼ２倍ないし３倍として
おけばよい。軸方向外側へ向う軸受隙間５６の内部の排
出流れによって、同時に、異物侵入に対する軸受の効果
的な保護が図られ、軸受の寿命も長くなる利点がある。
静圧ラジアルポケット軸受の製作を簡素化するために、
スチール製あるいは軸受用ブロンズ製などの軸受スリー
ブ３０に、軸受ポケット，圧力流体供給口，排出溝や接
続通路を形成するのが望ましい。軸受の運動応答性をあ
げるために、内部回転面に例えばホワイトメタルなどの
特殊な軸受層を設けておくとよい。この軸受スリーブ
は、シリンダ端部に固定した比較的強度の大きいすなわ
ち剛性の高いジャケットスリーブ６２（図４参照）に嵌
め込まれるが、とりわけ、圧入嵌合しておくのが望まし
い。この構造によって、圧力供給通路２２および排出溝
とこれに対応する単純な空所である軸受ポケット間の接
続通路５２を、シリンダ外面６４に形成しておくことが
できる。これを、図４を参照して以下に詳しく説明す
る。
軸方向の排出流れが静圧軸受の制御特性を決定する。前
述の静圧軸受の特徴は、軸受ポケットからの圧力流体の
排出流れが非対称な点である。これについては、排出流
れに非対称性があるにもかかわらず、軸受隙間の安定し
た制御が保証されるという知見に基づいている。同時
に、この方式によれば、横方向へ流出する圧力流体に対
して、同じ圧力勾配の同じ経路をたどるように、軸受ポ
ケットを配置する必要がなくなる。したがって、軸受ポ
ケット３４の両側の軸受隙間５４，５６は異なっていて
もよく、さらに異なった方向へも貫流させることができ
る。この発明に係る方式によって、シリンダ圧力室８と
の対面側の軸受隙間５４を、直接シリンダ圧力室へ開口
させることができる。これとは対照的に、軸受スリーブ
３０の軸受ポケット３４のシリンダ圧力室８とは反対側
の軸受隙間５６には、タンクＴへ流す放出溝５８が設け
られる。シリンダ圧力室８とは反対側のこのたった一つ
の放出溝により、約２８０バールの高いシステム圧に起
因して軸受ポケットが約１４０バールの高圧を受ける場
合でも、軸受の漏洩損失を非常に少なくすることができ
る。同時に、シリンダ圧力室８と軸受隙間５４との連な
りが、軸受スリーブ３０内で運動するピストンロッド１
２の一層の安定化に寄与し、ＥＰ ０１０５０５０ Ｂ
１による従来の静圧軸受に比較して、軸受のラジアル負
荷容量が２０％以上高められる。同時に軸受の損失仕事
量を５０％以上軽減でき、上述の静圧軸受は極めて高い
システム圧での利用にも適したものとなる。軸受隙間５
４および５６の軸方向長さの適切な選択により、すなわ
ち、軸受隙間５４の軸方向幅ＢＡに対して、放出溝５８
から軸受ポケット縁部４０までの軸方向間隔Ａを調整す
ることによって、漏洩および負荷容量に対する最適な状
態をつくりだすことができる。ＡとＢＡの比は、約３：
１の範囲にあるのが望ましい。したがって、軸方向幅の
寸法ＢＡが、軸方向距離Ａのほぼ２倍ないし３倍として
おけばよい。軸方向外側へ向う軸受隙間５６の内部の排
出流れによって、同時に、異物侵入に対する軸受の効果
的な保護が図られ、軸受の寿命も長くなる利点がある。
静圧ラジアルポケット軸受の製作を簡素化するために、
スチール製あるいは軸受用ブロンズ製などの軸受スリー
ブ３０に、軸受ポケット，圧力流体供給口，排出溝や接
続通路を形成するのが望ましい。軸受の運動応答性をあ
げるために、内部回転面に例えばホワイトメタルなどの
特殊な軸受層を設けておくとよい。この軸受スリーブ
は、シリンダ端部に固定した比較的強度の大きいすなわ
ち剛性の高いジャケットスリーブ６２（図４参照）に嵌
め込まれるが、とりわけ、圧入嵌合しておくのが望まし
い。この構造によって、圧力供給通路２２および排出溝
とこれに対応する単純な空所である軸受ポケット間の接
続通路５２を、シリンダ外面６４に形成しておくことが
できる。これを、図４を参照して以下に詳しく説明す
る。
【００１４】シリンダ外面６４に設けた第一の円形溝６
６は、それぞれ圧力流体供給口４８に連なる個々のラジ
アル孔５０へ供給する通路として機能する。詳しく図示
されていない供給孔を経て、円形溝６６は圧力供給通路
２２に接続されている。上述の接続通路５２を形成する
ように螺旋状に延びた接続溝は、６８1 ないし６８4で
表示され、これら接続溝はそれぞれ約１８０度の角度部
分にわたり、各排出溝と対向する側の対応した軸受ポケ
ット間の連通を図るラジアル孔７０ないし７３のところ
まで延びている。この要領で形成されるほぼ矩形断面の
通路は、シール処置が不要となるように、軸受スリーブ
３０を取り巻くジャケットスリーブ６２の内面７４によ
って液密に閉鎖されている。このような通路の形成原理
は、周囲に均等に配置した四つの軸受ポケットがある図
示の例と異なり、比較的大きい偶数個の軸受ポケットが
設けられる場合にも適用することができる。
６は、それぞれ圧力流体供給口４８に連なる個々のラジ
アル孔５０へ供給する通路として機能する。詳しく図示
されていない供給孔を経て、円形溝６６は圧力供給通路
２２に接続されている。上述の接続通路５２を形成する
ように螺旋状に延びた接続溝は、６８1 ないし６８4で
表示され、これら接続溝はそれぞれ約１８０度の角度部
分にわたり、各排出溝と対向する側の対応した軸受ポケ
ット間の連通を図るラジアル孔７０ないし７３のところ
まで延びている。この要領で形成されるほぼ矩形断面の
通路は、シール処置が不要となるように、軸受スリーブ
３０を取り巻くジャケットスリーブ６２の内面７４によ
って液密に閉鎖されている。このような通路の形成原理
は、周囲に均等に配置した四つの軸受ポケットがある図
示の例と異なり、比較的大きい偶数個の軸受ポケットが
設けられる場合にも適用することができる。
【００１５】図５および図６は、油圧制御される高性能
テストシリンダ用の静圧ラジアルポケット軸受の異なる
例である。説明を簡単にするため、前述の実施例の各要
素に対応する部分には、同じ符号を付している。軸受ポ
ケットおよび隙間絞りの形状についてのみ前述の例と相
違している。例えば軸受ポケット１３４は実質的に矩形
状の溝であり、この軸受ポケットは前述の例と同じく周
方向へ延びている。軸受隙間５４および５６の寸法およ
び配置も同様に実質的に同じであり、この例でも、軸受
隙間はピストンロッド径Ｄの１／１０００のオーダーと
なっている。前述の円い圧力流体供給口の代わりに、図
５と図６の例では、軸方向に延びる凹部１４８となって
おり、二つの軸方向に並行して延びる排出凹部１４４の
中央に配置されている。したがって、軸受隙間の制御に
必要な隙間絞りは、凹部１４８の両側に位置する表面部
分１４６1 ，１４６2 によって形成される。静圧軸受の
制御特性は、図中のＭ，Ｎ，Ｐの寸法を適切に選択する
ことにより調整される。両排出凹部は、対応するラジア
ル孔１５１1 および１５１2 および対応する通路部分に
よって、直径方向に対向した軸受ポケット１３４との連
通を図るために、共通した接続通路５２に連通されてい
る。接続通路５２およびこれに対応する中間通路部分
は、上述の通り、軸受スリーブ１３０の外面に加工され
る。凹部１４８による圧力流体の供給は、ポンプ２４か
ら供給される圧力供給通路２２を経て行われることは同
じである。図７および図８は、図１中の符号１８で示し
た静圧ポケット軸受の別の実施例である。前述の例とは
異なり、このラジアルポケット軸受はピストン６に設け
られ、ピストンロッド２１２がピストンから突き出た恰
好になっている。以下に詳しく説明する静圧ラジアルポ
ケット軸受が、差動シリンダあるいは同一のストローク
を有するシリンダにも同様に適用できることが理解され
る。なお、シリンダ圧力室８，１０はピストン６の両側
に位置している。
テストシリンダ用の静圧ラジアルポケット軸受の異なる
例である。説明を簡単にするため、前述の実施例の各要
素に対応する部分には、同じ符号を付している。軸受ポ
ケットおよび隙間絞りの形状についてのみ前述の例と相
違している。例えば軸受ポケット１３４は実質的に矩形
状の溝であり、この軸受ポケットは前述の例と同じく周
方向へ延びている。軸受隙間５４および５６の寸法およ
び配置も同様に実質的に同じであり、この例でも、軸受
隙間はピストンロッド径Ｄの１／１０００のオーダーと
なっている。前述の円い圧力流体供給口の代わりに、図
５と図６の例では、軸方向に延びる凹部１４８となって
おり、二つの軸方向に並行して延びる排出凹部１４４の
中央に配置されている。したがって、軸受隙間の制御に
必要な隙間絞りは、凹部１４８の両側に位置する表面部
分１４６1 ，１４６2 によって形成される。静圧軸受の
制御特性は、図中のＭ，Ｎ，Ｐの寸法を適切に選択する
ことにより調整される。両排出凹部は、対応するラジア
ル孔１５１1 および１５１2 および対応する通路部分に
よって、直径方向に対向した軸受ポケット１３４との連
通を図るために、共通した接続通路５２に連通されてい
る。接続通路５２およびこれに対応する中間通路部分
は、上述の通り、軸受スリーブ１３０の外面に加工され
る。凹部１４８による圧力流体の供給は、ポンプ２４か
ら供給される圧力供給通路２２を経て行われることは同
じである。図７および図８は、図１中の符号１８で示し
た静圧ポケット軸受の別の実施例である。前述の例とは
異なり、このラジアルポケット軸受はピストン６に設け
られ、ピストンロッド２１２がピストンから突き出た恰
好になっている。以下に詳しく説明する静圧ラジアルポ
ケット軸受が、差動シリンダあるいは同一のストローク
を有するシリンダにも同様に適用できることが理解され
る。なお、シリンダ圧力室８，１０はピストン６の両側
に位置している。
【００１６】図７の軸受ポケット２３４の形状は、図１
ないし図４の例と変わるところがない。隙間絞りすなわ
ちウエブ２４２，リング状の排出溝２４４，ウエブ２４
６および中央の圧力流体供給口２４８の配置や構成につ
いても同様である。これらの要素の構成に必要な凹部２
３４，２４４および圧力流体供給口２４８は、静止した
部品ではなく運動する軸受部品すなわちピストン６に形
成されている。したがって、静圧ラジアルポケット軸受
への圧力流体の供給も、ピストンの内部から行われる。
図示しないポンプからの圧力供給通路２０は、ピストン
ロッド２１２を縦通する中心孔として形成されている。
軸受内部で、圧力供給通路２０からそれぞれのラジアル
方向の圧力流体供給口２４８に導くために、軸受ポケッ
ト２３４に相当する数のラジアル通路２２1 ないし２２
4 が分岐して設けられている。リング状のウエブ２４６
によって軸受ポケットへの供給圧の絞り作用が行われ、
絞られた圧力流体は排出溝２４４から、直径方向に対向
した軸受ポケット２３４へ導かれる。そのために、接続
通路２５２1 ないし２５２4 が設けられている。このよ
うな変形例の静圧ラジアルポケット軸受１８の機能も、
前述の例と実質的に変わるところがない。この軸受の特
徴は、両シリンダ圧力室８，１０の内部の圧力レベルを
利用しており、独立して形成する必要のある前述した放
出溝を省くことができる。軸受ポケット２３４から軸方
向への非対称な流れは、サーボ油圧制御された高性能テ
ストシリンダが作動すると圧力室８，１０間に圧力勾配
を生じるが、この圧力勾配がポケット軸受の制御機能に
影響しないことによって達成される。この実施例でも、
圧力シリンダ室８，１０の内部の圧力を軸受の一層の安
定化に寄与させることができ、ピストン部でも軸受の負
荷容量を高めることが可能となる。
ないし図４の例と変わるところがない。隙間絞りすなわ
ちウエブ２４２，リング状の排出溝２４４，ウエブ２４
６および中央の圧力流体供給口２４８の配置や構成につ
いても同様である。これらの要素の構成に必要な凹部２
３４，２４４および圧力流体供給口２４８は、静止した
部品ではなく運動する軸受部品すなわちピストン６に形
成されている。したがって、静圧ラジアルポケット軸受
への圧力流体の供給も、ピストンの内部から行われる。
図示しないポンプからの圧力供給通路２０は、ピストン
ロッド２１２を縦通する中心孔として形成されている。
軸受内部で、圧力供給通路２０からそれぞれのラジアル
方向の圧力流体供給口２４８に導くために、軸受ポケッ
ト２３４に相当する数のラジアル通路２２1 ないし２２
4 が分岐して設けられている。リング状のウエブ２４６
によって軸受ポケットへの供給圧の絞り作用が行われ、
絞られた圧力流体は排出溝２４４から、直径方向に対向
した軸受ポケット２３４へ導かれる。そのために、接続
通路２５２1 ないし２５２4 が設けられている。このよ
うな変形例の静圧ラジアルポケット軸受１８の機能も、
前述の例と実質的に変わるところがない。この軸受の特
徴は、両シリンダ圧力室８，１０の内部の圧力レベルを
利用しており、独立して形成する必要のある前述した放
出溝を省くことができる。軸受ポケット２３４から軸方
向への非対称な流れは、サーボ油圧制御された高性能テ
ストシリンダが作動すると圧力室８，１０間に圧力勾配
を生じるが、この圧力勾配がポケット軸受の制御機能に
影響しないことによって達成される。この実施例でも、
圧力シリンダ室８，１０の内部の圧力を軸受の一層の安
定化に寄与させることができ、ピストン部でも軸受の負
荷容量を高めることが可能となる。
【００１７】図７の下側に一点鎖線で示したものは、圧
力流体を軸受ポケットへ簡単に供給できるようにした例
である。なお、この圧力流体供給装置２８０は、最初に
述べた例にも適用することができる。中央の圧力供給通
路２０の代わりに、シリンダ圧力室８と連通する第一の
圧力流体通路２８２と、シリンダ圧力室１０に接続する
第二の圧力流体通路２８４とが使用される。これらの両
圧力流体通路は２ウエイ式の切換弁２８６に導かれ、そ
の切換弁から圧力供給通路２２２が個々の通路２２1 な
いし２２4 につながっている。切換弁を経てそれぞれ両
方のシリンダ圧力室８，１０の内部に作用する比較的高
い圧力は、軸受部位である圧力流体供給口２４８に導入
され、独立した圧力供給ユニットすなわち軸受部位のた
めの独立したポンプを不要にすることができる。もちろ
ん、この実施例の静圧ラジアルポケット軸受に関連し
て、軸受の基本的構成および機能を全く変えることな
く、軸受ポケットの数を変更することができる。その接
続通路２５２1 ないし２５２4 は、簡単に製作できる貫
通孔にしておけばよい。図示の例と異なり、軸受ポケッ
ト，排出溝や圧力流体供給口を、ピストン本体に圧入す
る独立した軸受スリーブに形成するようにしてもよい。
なお、軸受ポケットは、図５および図６で説明した場合
と同様にして設けることもできる。
力流体を軸受ポケットへ簡単に供給できるようにした例
である。なお、この圧力流体供給装置２８０は、最初に
述べた例にも適用することができる。中央の圧力供給通
路２０の代わりに、シリンダ圧力室８と連通する第一の
圧力流体通路２８２と、シリンダ圧力室１０に接続する
第二の圧力流体通路２８４とが使用される。これらの両
圧力流体通路は２ウエイ式の切換弁２８６に導かれ、そ
の切換弁から圧力供給通路２２２が個々の通路２２1 な
いし２２4 につながっている。切換弁を経てそれぞれ両
方のシリンダ圧力室８，１０の内部に作用する比較的高
い圧力は、軸受部位である圧力流体供給口２４８に導入
され、独立した圧力供給ユニットすなわち軸受部位のた
めの独立したポンプを不要にすることができる。もちろ
ん、この実施例の静圧ラジアルポケット軸受に関連し
て、軸受の基本的構成および機能を全く変えることな
く、軸受ポケットの数を変更することができる。その接
続通路２５２1 ないし２５２4 は、簡単に製作できる貫
通孔にしておけばよい。図示の例と異なり、軸受ポケッ
ト，排出溝や圧力流体供給口を、ピストン本体に圧入す
る独立した軸受スリーブに形成するようにしてもよい。
なお、軸受ポケットは、図５および図６で説明した場合
と同様にして設けることもできる。
【００１８】最後に、図９および図１０は、さらに異な
る実施例を示している。これは、作動の信頼性が高くま
た簡単な構造となる静圧ラジアルポケット軸受である。
説明を簡単にするために、前述した部分と機能的に対応
する軸受の部分には、同一符号の頭に３を付している。
この実施例では、図４と同様に、軸受ポケット３３４が
一点鎖線で示すジャケットスリーブ３６２に嵌合した軸
受スリーブ３３０に設けられる。それゆえに、ジャケッ
トスリーブ３６２は、軸受スリーブ３３０に対して収縮
結合となっている。この構造でも、圧力流体は、周方向
に延びて相互にシールで隔絶されるシリンダ外面３６４
に設けた溝部を介して供給される。ポンプ圧Ｐは、正面
３９０もしくは正面３９２から軸方向へ圧力供給通路３
２２を介して供給される。各軸受ポケット３３４には、
軸方向へ延びる流路としての袋孔３９４に連なって軸受
へ至る流路３９６が配置されている。袋孔の一つには圧
力流体接続用のねじ孔があり、他の袋孔は栓で閉鎖され
ている。袋孔は相互にシリンダ外面３６４でリング状に
延びる溝３６６に連通し、その溝からそれぞれに対応す
る袋孔３９４へは孔３９８が設けられる。リング状のウ
エブ３４６は、ポンプ圧供給口３９６と、直径方向に対
向する軸受ポケットへ接続通路を経て供給される前述し
た中間圧Ｚの作用するリング状の排出溝３４４との間に
存在する。排出溝とこれにそれぞれ対向する軸受ポケッ
トとの間の接続通路は、シリンダ外面３６４に形成した
簡単な凹部あるいは接続溝３６８1 ないし３６８4 であ
り、軸受ポケット油は外方から供給される。シリンダ外
面３６４に設けた溝３６６はポンプ圧Ｐを配分するため
にリング状に延びており、接続溝３６８1 ないし３６８
4 は、１８０度未満の可及的に小さい中心角ＰＨＩの範
囲にわたる程度とされる。これらの接続溝は、該当する
排出溝３４４および直径方向に対向した軸受ポケット３
３４への連通を図る流路３７０および３７２のところま
で延びている。
る実施例を示している。これは、作動の信頼性が高くま
た簡単な構造となる静圧ラジアルポケット軸受である。
説明を簡単にするために、前述した部分と機能的に対応
する軸受の部分には、同一符号の頭に３を付している。
この実施例では、図４と同様に、軸受ポケット３３４が
一点鎖線で示すジャケットスリーブ３６２に嵌合した軸
受スリーブ３３０に設けられる。それゆえに、ジャケッ
トスリーブ３６２は、軸受スリーブ３３０に対して収縮
結合となっている。この構造でも、圧力流体は、周方向
に延びて相互にシールで隔絶されるシリンダ外面３６４
に設けた溝部を介して供給される。ポンプ圧Ｐは、正面
３９０もしくは正面３９２から軸方向へ圧力供給通路３
２２を介して供給される。各軸受ポケット３３４には、
軸方向へ延びる流路としての袋孔３９４に連なって軸受
へ至る流路３９６が配置されている。袋孔の一つには圧
力流体接続用のねじ孔があり、他の袋孔は栓で閉鎖され
ている。袋孔は相互にシリンダ外面３６４でリング状に
延びる溝３６６に連通し、その溝からそれぞれに対応す
る袋孔３９４へは孔３９８が設けられる。リング状のウ
エブ３４６は、ポンプ圧供給口３９６と、直径方向に対
向する軸受ポケットへ接続通路を経て供給される前述し
た中間圧Ｚの作用するリング状の排出溝３４４との間に
存在する。排出溝とこれにそれぞれ対向する軸受ポケッ
トとの間の接続通路は、シリンダ外面３６４に形成した
簡単な凹部あるいは接続溝３６８1 ないし３６８4 であ
り、軸受ポケット油は外方から供給される。シリンダ外
面３６４に設けた溝３６６はポンプ圧Ｐを配分するため
にリング状に延びており、接続溝３６８1 ないし３６８
4 は、１８０度未満の可及的に小さい中心角ＰＨＩの範
囲にわたる程度とされる。これらの接続溝は、該当する
排出溝３４４および直径方向に対向した軸受ポケット３
３４への連通を図る流路３７０および３７２のところま
で延びている。
【００１９】接続溝がそれぞれ二つ示された例では、そ
れぞれ対向する軸受部位に割り当てられた接続溝３６８
1 と３６８3 および接続溝３６８2 と３６８4 はラジア
ル面内に存在し、四つの軸受ポケットのある軸受では、
軸方向に並んだ接続溝列が二つ設けられる。接続溝列の
軸方向の間隔は、図９に示すようにＡＸであり、この間
隔を大きくしておくことが望ましく、流路が異なるラジ
アル面内にある場合には、排出溝３４４の直径と同じに
なるまで大きくすることができる。少なくとも一つの流
路、図示の例では流路３７２が、軸受スリーブの軸線に
対するラジアル方向でなく、軸受の内径ＤＬに対して実
質的に接線となる方向へ導かれ、短い孔３９８が流路３
７２と排出溝３４４とを連通することによって、中心角
ＰＨＩを可能な限り小さくしている。この構成によっ
て、二つの周上に隣接した接続溝間に可及的に小さな周
間隔（例えば、中心角９０度・ＰＨＩ）が得られ、ジャ
ケットスリーブ３６２を取り付けた状態で、接続溝から
微量の漏洩油が流出しても、中間圧Ｚの相互に影響を与
えるのは極めて少なくなる。ジャケットスリーブ３６２
のリング溝３９９の内部にはシール３９７が収容され、
軸方向に隣接した接続溝あるいは接続溝列間に存在して
いる。このようにして、個々の接続部に作用している圧
力の相互の影響がとり除かれ、特に、リング状の溝３６
６と軸方向に隣接した接続溝列３６８1 と３６８2 との
間のシールが達成される。ポンプ圧Ｐを導く溝３６６は
外側に、詳しくは特に軸受ポケットの外側にあるが、中
間圧Ｚを導く接続溝３６８1 ないし３６８4 の間には存
在しないので、中間圧Ｚに対してはポンプ圧Ｐを遮断す
るシールだけが必要となる。図９から分かるように、ポ
ンプ圧用の溝３６６の近傍で、軸方向へ詳しくは中間圧
溝とは反対側の流路３９３へ排出するため、別のシール
３９７によって遮断された漏洩放出溝３９５が設けられ
ている。
れぞれ対向する軸受部位に割り当てられた接続溝３６８
1 と３６８3 および接続溝３６８2 と３６８4 はラジア
ル面内に存在し、四つの軸受ポケットのある軸受では、
軸方向に並んだ接続溝列が二つ設けられる。接続溝列の
軸方向の間隔は、図９に示すようにＡＸであり、この間
隔を大きくしておくことが望ましく、流路が異なるラジ
アル面内にある場合には、排出溝３４４の直径と同じに
なるまで大きくすることができる。少なくとも一つの流
路、図示の例では流路３７２が、軸受スリーブの軸線に
対するラジアル方向でなく、軸受の内径ＤＬに対して実
質的に接線となる方向へ導かれ、短い孔３９８が流路３
７２と排出溝３４４とを連通することによって、中心角
ＰＨＩを可能な限り小さくしている。この構成によっ
て、二つの周上に隣接した接続溝間に可及的に小さな周
間隔（例えば、中心角９０度・ＰＨＩ）が得られ、ジャ
ケットスリーブ３６２を取り付けた状態で、接続溝から
微量の漏洩油が流出しても、中間圧Ｚの相互に影響を与
えるのは極めて少なくなる。ジャケットスリーブ３６２
のリング溝３９９の内部にはシール３９７が収容され、
軸方向に隣接した接続溝あるいは接続溝列間に存在して
いる。このようにして、個々の接続部に作用している圧
力の相互の影響がとり除かれ、特に、リング状の溝３６
６と軸方向に隣接した接続溝列３６８1 と３６８2 との
間のシールが達成される。ポンプ圧Ｐを導く溝３６６は
外側に、詳しくは特に軸受ポケットの外側にあるが、中
間圧Ｚを導く接続溝３６８1 ないし３６８4 の間には存
在しないので、中間圧Ｚに対してはポンプ圧Ｐを遮断す
るシールだけが必要となる。図９から分かるように、ポ
ンプ圧用の溝３６６の近傍で、軸方向へ詳しくは中間圧
溝とは反対側の流路３９３へ排出するため、別のシール
３９７によって遮断された漏洩放出溝３９５が設けられ
ている。
【００２０】流路を構成する上述した原理は、周上に均
等に配置された四つの軸受ポケットのある図示の実施例
と異なり、より多数の偶数個の軸受ポケットが設けられ
る場合にも適用することができる。したがって、本発明
は、サーボシリンダ特に例えばテストスタンドあるいは
シミュレーション技術に利用される高性能テストシリン
ダの静圧ラジアルポケット軸受を提供することができ
る。そのラジアルポケット軸受は、ピストンの高精度制
御およびピストンロッドに作用する大きい横力の支承に
適している。それぞれに割り当てられた圧力供給通路に
連通する絞りおよび対応した接続通路を経て、圧力流体
の供給される偶数個の軸受ポケットが設けられている。
絞りは、圧力流体供給口と対向する軸受ポケットの少な
くとも一つの排出溝との間にある軸受隙間によって形成
され、軸受ポケットは入りくんだ凹部として静止部分あ
るいは可動軸受部分に設けられる。漏洩に起因する仕事
損失量を低下させ、同時に軸受負荷容量を高めるため
に、軸受ポケットから軸方向の両側へ流出する圧力流体
の圧力低下は異なったものとなる。
等に配置された四つの軸受ポケットのある図示の実施例
と異なり、より多数の偶数個の軸受ポケットが設けられ
る場合にも適用することができる。したがって、本発明
は、サーボシリンダ特に例えばテストスタンドあるいは
シミュレーション技術に利用される高性能テストシリン
ダの静圧ラジアルポケット軸受を提供することができ
る。そのラジアルポケット軸受は、ピストンの高精度制
御およびピストンロッドに作用する大きい横力の支承に
適している。それぞれに割り当てられた圧力供給通路に
連通する絞りおよび対応した接続通路を経て、圧力流体
の供給される偶数個の軸受ポケットが設けられている。
絞りは、圧力流体供給口と対向する軸受ポケットの少な
くとも一つの排出溝との間にある軸受隙間によって形成
され、軸受ポケットは入りくんだ凹部として静止部分あ
るいは可動軸受部分に設けられる。漏洩に起因する仕事
損失量を低下させ、同時に軸受負荷容量を高めるため
に、軸受ポケットから軸方向の両側へ流出する圧力流体
の圧力低下は異なったものとなる。
【図１】 ピストンに静圧軸受が設けられたサーボシリ
ンダの部分的に断面で示された斜視図。
ンダの部分的に断面で示された斜視図。
【図２】 図１の細部II、すなわち、ピストンロッドガ
イド部分の静圧支承の第一実施例の概略図。
イド部分の静圧支承の第一実施例の概略図。
【図３】 図２の III−III 線矢視による断面図。
【図４】 静圧軸受の別の実施例の軸受スリーブの側面
図。
図。
【図５】 静圧軸受の第三実施例の図２と同様な側面
図。
図。
【図６】 図５のVI−VI線矢視による断面図。
【図７】 軸受ポケットがピストンに設けられた静圧軸
受の第四実施例の側面図。
受の第四実施例の側面図。
【図８】 図７のVIII〜VIII線矢視による断面図。
【図９】 軸受スリーブの別の実施例の軸方向断面であ
り、図１０のIX−IX線矢視図。
り、図１０のIX−IX線矢視図。
【図１０】 図９のＸ−Ｘ線による断面図。
２…サーボシリンダ、４…油圧制御部、６…ピストン、
８…シリンダ圧力室、１０…シリンダ圧力室、１２…ピ
ストンロッド、１２1 …ピストンロッドのシリンダ圧力
室の反対側部分、１２2 …ピストンロッドのシリンダ圧
力室の対面側部分、１４…ピストンロッド、１６…ガイ
ド部、１８…静圧軸受、２０…圧力供給通路、２２…圧
力供給通路、２４…ポンプ、３０…軸受スリーブ、３２
…静圧ラジアルポケット軸受、３４…軸受ポケット、３
６…凹部、４０…周方向の境界線（縁部）、４２…ウエ
ブ、４４…排出溝、４６…ウエブ、４８…圧力流体供給
口、５２…接続通路、５４，５６…軸受隙間、５８…放
出溝、６２…ジャケットスリーブ、６４…シリンダ外
面、６６…円形溝、６８，６８1〜６８4 …接続溝、１
３０…軸受スリーブ、１３４…軸受ポケット、１４４…
排出凹部、１４６1 ，１４６2 …表面部分、１４８…凹
部（圧力流体供給溝）、２１２…ピストンロッド、２２
２…圧力供給通路、２３４…軸受ポケット（凹部）、２
４２…ウエブ、２４４…排出溝（凹部）、２４６…ウエ
ブ、２４８…圧力流体供給口、２５２1 ，２５２4 …接
続通路、２８２…第一の圧力流体通路、２８４…第二の
圧力流体通路、２８６…切換弁、３３０…軸受スリー
ブ、３３４…軸受ポケット、３４４…排出溝、３４６…
ウエブ、３６２…ジャケットスリーブ、３６４…シリン
ダ外面、３６６…溝、３６８，３６８1 〜３６８4 …接
続溝（溝列）、３７２…流路、３９０，３９２…正面、
３９３…流路、３９４…袋孔（流路）、３９５…漏洩放
出溝、３９６…流路（ポンプ圧供給口）、３９７…シー
ル、３９９…リング溝、ＢＡ…軸受隙間の軸方向幅、Ａ
…排出溝から軸受ポケット縁部までの軸方向間隔、ＡＸ
…溝列の軸方向の間隔、ＤＬ…軸受の内径、Ｐ…ポンプ
圧、Ｚ…中間圧。
８…シリンダ圧力室、１０…シリンダ圧力室、１２…ピ
ストンロッド、１２1 …ピストンロッドのシリンダ圧力
室の反対側部分、１２2 …ピストンロッドのシリンダ圧
力室の対面側部分、１４…ピストンロッド、１６…ガイ
ド部、１８…静圧軸受、２０…圧力供給通路、２２…圧
力供給通路、２４…ポンプ、３０…軸受スリーブ、３２
…静圧ラジアルポケット軸受、３４…軸受ポケット、３
６…凹部、４０…周方向の境界線（縁部）、４２…ウエ
ブ、４４…排出溝、４６…ウエブ、４８…圧力流体供給
口、５２…接続通路、５４，５６…軸受隙間、５８…放
出溝、６２…ジャケットスリーブ、６４…シリンダ外
面、６６…円形溝、６８，６８1〜６８4 …接続溝、１
３０…軸受スリーブ、１３４…軸受ポケット、１４４…
排出凹部、１４６1 ，１４６2 …表面部分、１４８…凹
部（圧力流体供給溝）、２１２…ピストンロッド、２２
２…圧力供給通路、２３４…軸受ポケット（凹部）、２
４２…ウエブ、２４４…排出溝（凹部）、２４６…ウエ
ブ、２４８…圧力流体供給口、２５２1 ，２５２4 …接
続通路、２８２…第一の圧力流体通路、２８４…第二の
圧力流体通路、２８６…切換弁、３３０…軸受スリー
ブ、３３４…軸受ポケット、３４４…排出溝、３４６…
ウエブ、３６２…ジャケットスリーブ、３６４…シリン
ダ外面、３６６…溝、３６８，３６８1 〜３６８4 …接
続溝（溝列）、３７２…流路、３９０，３９２…正面、
３９３…流路、３９４…袋孔（流路）、３９５…漏洩放
出溝、３９６…流路（ポンプ圧供給口）、３９７…シー
ル、３９９…リング溝、ＢＡ…軸受隙間の軸方向幅、Ａ
…排出溝から軸受ポケット縁部までの軸方向間隔、ＡＸ
…溝列の軸方向の間隔、ＤＬ…軸受の内径、Ｐ…ポンプ
圧、Ｚ…中間圧。
Claims (26)
- 【請求項１】 作動シリンダから突出し作用した横外力
を支承するピストンロッドと、割り当てられたポンプ圧
が導入される軸受周りに均等に配置した偶数個の軸受ポ
ケットと、圧力流体供給源から供給を受けるべく並べら
れた絞りのための圧力供給通路と、中間圧を導く接続通
路とを備えたサーボシリンダ特に高性能テストシリンダ
用の静圧ラジアルポケット軸受において、 上記絞り（４６，１４６1 ，１４６2 ，２４６）が、圧
力供給供給口（４８，１４８，２４８，３９６）と、入
りくんだ凹部として設けられた対向する軸受ポケット
（３４，１３４，２３４，３３４）の少なくとも一つの
排出溝（４４，１４４，２４４，３４４）との間に存在
する軸受隙間により形成され、軸受ポケット（３４，１
３４，２３４，３３４）から軸方向の両側へ流出する排
出流れの圧力低下に差が生じるようになっていることを
特徴とするサーボシリンダ用静圧ラジアルポケット軸
受。 - 【請求項２】 放出溝（５８）が、サーボシリンダ
（２）の少なくとも一つのガイド部（１６）の領域に形
成され、かつ、シリンダ圧力室（８）の反対側の軸受ポ
ケット縁部（４０）から軸方向に距離（Ａ）を隔てて設
けられることを特徴とする請求項１に記載されたサーボ
シリンダ用静圧ラジアルポケット軸受。 - 【請求項３】 前記軸受ポケット（３４，３６）、圧力
流体供給口（４８，１４８）および排出溝（４４，１４
４）が、静止した軸受部分に形成されていることを特徴
とする請求項２に記載されたサーボシリンダ用静圧ラジ
アルポケット軸受。 - 【請求項４】 前記放出溝（５８）が静止した軸受部分
に形成されていることを特徴とする請求項２または請求
項３に記載されたサーボシリンダ用静圧ラジアルポケッ
ト軸受。 - 【請求項５】 前記軸方向距離（Ａ）が、シリンダ圧力
室（８）の対面側の軸受隙間（５４）の軸方向幅（Ｂ
Ａ）より、小さいことを特徴とする請求項２ないし請求
項４のいずれかに記載されたサーボシリンダ用静圧ラジ
アルポケット軸受。 - 【請求項６】 前記軸方向幅の寸法（ＢＡ）が、軸方向
距離（Ａ）の略２倍ないし３倍であることを特徴とする
請求項５に記載されたサーボシリンダ用静圧ラジアルポ
ケット軸受。 - 【請求項７】 組付状態において、前記軸受スリーブ
（３０，１３０，３３０）が、前記ガイド部（１６）の
剛性の高いジャケットスリーブ（６２，３６２）に着座
して装着されていることを特徴とする請求項３ないし請
求項６のいずれかに記載されたサーボシリンダ用静圧ラ
ジアルポケット軸受。 - 【請求項８】 軸受部位への圧力流体が、前記軸受スリ
ーブ（３０，３３０）のシリンダ外面（６４，３６４）
に延びる相互にシールされた溝（６８，６６，３６８1
ないし３６８4 ，３６６）を介して、供給されることを
特徴とする請求項７に記載されたサーボシリンダ用静圧
ラジアルポケット軸受。 - 【請求項９】 前記圧力供給用の溝（６６，３６６）ま
たは接続溝（６８1ないし６８4 ，３６８1 ないし３６
８4 ）が、軸受スリーブ（３０，３３０）のシリンダ外
面（６４，３６４）に形成され、ジャケットスリーブ
（６２，３６２）によって閉鎖されていることを特徴と
する請求項８に記載されたサーボシリンダ用静圧ラジア
ルポケット軸受。 - 【請求項１０】 ポンプ圧（Ｐ）を導く溝（３６６）が
設けられ、中間圧（Ｚ）を導く溝が、周囲に配置した接
続溝（３６８1 ないし３６８4 ）により形成されている
ことを特徴とする請求項８または請求項９に記載された
サーボシリンダ用静圧ラジアルポケット軸受。 - 【請求項１１】 周部で隣接した二つの接続溝（３６８
1 と３６８3 および３６８2 と３６８4 ）の間隔が、可
及的に大きく確保されていることを特徴とする請求項９
または請求項１０に記載されたサーボシリンダ用静圧ラ
ジアルポケット軸受。 - 【請求項１２】 軸受領域に対して少なくとも一つの接
続溝（３６８）から出る流路（３７２）が、軸受直径
（ＤＬ）に対して実質的に接線方向へ延びた部分を備え
ていることを特徴とする請求項１１に記載されたサーボ
シリンダ用静圧ラジアルポケット軸受。 - 【請求項１３】 それぞれ二つの接続溝（３６８1 およ
び３６８3 ）が、共通のラジアル面内に存在することを
特徴とする請求項１０ないし請求項１２のいずれかに記
載されたサーボシリンダ用静圧ラジアルポケット軸受。 - 【請求項１４】 ポンプ圧を導く溝（３６６）が、軸方
向に隣接した中間圧を導く接続溝（３６８）に近い軸方
向距離にあることを特徴とする請求項８ないし請求項１
３のいずれかに記載されたサーボシリンダ用静圧ラジア
ルポケット軸受。 - 【請求項１５】 ポンプ圧を導く溝（３６６）が、軸受
ポケット（３３４）のラジアル方向外方にあることを特
徴とする請求項８ないし請求項１４のいずれかに記載さ
れたサーボシリンダ用静圧ラジアルポケット軸受。 - 【請求項１６】 軸方向に隣接した溝（３６６）あるい
は接続溝（３６８）の間、および、一つのリング溝（３
９９）の内方にシール（３９７）が設けられていること
を特徴とする請求項１０ないし請求項１５のいずれかに
記載されたサーボシリンダ用静圧ラジアルポケット軸
受。 - 【請求項１７】 ポンプ圧を導く溝（３６６）の中間圧
を導く溝（３６８）の反対側に、軸方向距離をおいて漏
洩放出溝（３９５）が設けられることを特徴とする請求
項１４ないし請求項１６のいずれかに記載されたサーボ
シリンダ用静圧ラジアルポケット軸受。 - 【請求項１８】 ポンプ圧を導く溝（３６６）または漏
洩放出溝（３９５）の接続が、軸受スリーブ（３３０）
の正面（３９０，３９２）から軸方向の流路（３９４，
３９３）を経て行われることを特徴とする請求項８ない
し請求項１７のいずれかに記載されたサーボシリンダ用
静圧ラジアルポケット軸受。 - 【請求項１９】 軸受スリーブ（３０，３３０）が、収
縮結合されたジャケットスリーブ（３６２）により取り
囲まれていることを特徴とする請求項８ないし請求項１
８のいずれかに記載されたサーボシリンダ用静圧ラジア
ルポケット軸受。 - 【請求項２０】 前記軸受ポケット（２３４）、圧力流
体供給口（２４８）および排出溝（２４４）が、ピスト
ン（６）の表面に設けられていることを特徴とする請求
項１に記載されたサーボシリンダ用静圧ラジアルポケッ
ト軸受。 - 【請求項２１】 通路（２２1 ないし２２4 ）が、ピス
トン（６）内部にある中央の圧力供給通路（２０）から
始まっていることを特徴とする請求項２０に記載された
サーボシリンダ用静圧ラジアルポケット軸受。 - 【請求項２２】 接続通路（２５２1 ないし２５２4 ）
は、軸方向にずれた横孔により形成されていることを特
徴とする請求項９または請求項１０に記載されたサーボ
シリンダ用静圧ラジアルポケット軸受。 - 【請求項２３】 圧力流体供給口が、周囲をとりまいた
排出溝（４４，２４４）と同心に配置された円形状の凹
部（４８，２４８）により形成されていることを特徴と
する請求項１ないし請求項２２に記載されたサーボシリ
ンダ用静圧ラジアルポケット軸受。 - 【請求項２４】 圧力流体供給口が、それぞれ一組の軸
方向に整列された排出溝（１４４）の間で延びる軸方向
溝（１４８）により形成されていることを特徴とする請
求項１ないし請求項２３のいずれかに記載されたサーボ
シリンダ用静圧ラジアルポケット軸受。 - 【請求項２５】 軸受ポケット（３４，１３４，２３
４）が、実質的に矩形状に延びた偏平な溝で形成されて
いることを特徴とする請求項１ないし請求項２４のいず
れかに記載されたサーボシリンダ用静圧ラジアルポケッ
ト軸受。 - 【請求項２６】 軸受ポケット（２３４）の圧力流体通
路（２８２，２８４，２２２）が、両シリンダ圧力室
（８，１０）に接続した切換弁（２８６）を介して、導
かれることを特徴とする請求項１ないし請求項２５に記
載されたサーボシリンダ用静圧ラジアルポケット軸受。
Applications Claiming Priority (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19914113540 DE4113540C1 (ja) | 1991-04-25 | 1991-04-25 | |
| DE4212630.4 | 1992-04-15 | ||
| DE19924212630 DE4212630A1 (de) | 1991-04-25 | 1992-04-15 | Hydrostatisches radial-taschenlager fuer einen servozylinder |
| DE4113540.7 | 1992-04-15 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0626523A true JPH0626523A (ja) | 1994-02-01 |
Family
ID=25903144
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4131858A Pending JPH0626523A (ja) | 1991-04-25 | 1992-04-25 | サーボシリンダ用静圧ラジアルポケット軸受 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5391002A (ja) |
| JP (1) | JPH0626523A (ja) |
| CA (1) | CA2067073A1 (ja) |
| FR (1) | FR2675863B1 (ja) |
| GB (1) | GB2255139B (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012117659A (ja) * | 2010-12-03 | 2012-06-21 | Ind Technol Res Inst | 自動補償静圧ジャーナル軸受 |
| CN112123199A (zh) * | 2020-08-27 | 2020-12-25 | 森合(天津)科技有限公司 | 一种内反馈精密闭式静压转台 |
Families Citing this family (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2262318B (en) * | 1991-12-13 | 1995-01-11 | Eastman Machine Co | Slide assembly |
| US5769545A (en) * | 1996-12-04 | 1998-06-23 | Bently Nevada Corporation | Hydrostatic bearing for supporting rotating equipment, a fluid handling system associated therewith, a control system therefore, method and apparatus |
| US5971614A (en) * | 1997-09-08 | 1999-10-26 | Aesop, Inc. | Modular hydrostatic bearing with carriage form-fit to PR |
| US6126169A (en) * | 1998-01-23 | 2000-10-03 | Nikon Corporation | Air bearing operable in a vacuum region |
| US6033116A (en) * | 1998-02-20 | 2000-03-07 | Unova Ip Corp | Hydrostatic pre-load piston |
| US6142672A (en) * | 1998-06-22 | 2000-11-07 | Bently Nevada Corporation | Fluid flow and control system for a hydrostatic bearing supporting rotating equipment: method and apparatus |
| US5980110A (en) * | 1998-07-10 | 1999-11-09 | Thomson Industries, Inc. | Manifold for self-compensating hydrostatic bearing with integral compensators |
| US6086255A (en) * | 1998-07-28 | 2000-07-11 | Thompson Industries, Inc. | Hydrostatic bearing and fluid collection system |
| US20040042689A1 (en) * | 2002-08-30 | 2004-03-04 | Hardinge Inc. | Hydrostatic bearing for linear motion guidance |
| JP3825737B2 (ja) * | 2002-10-24 | 2006-09-27 | 住友重機械工業株式会社 | 精密位置決め装置及びこれを用いた加工機 |
| DE102005053801A1 (de) * | 2005-11-09 | 2007-05-10 | BSH Bosch und Siemens Hausgeräte GmbH | Gaslager |
| CN102797754A (zh) * | 2012-08-28 | 2012-11-28 | 天津市第二机床有限公司 | 内反馈静压轴承 |
| CN103195810B (zh) * | 2013-04-28 | 2015-04-01 | 昆明学院 | 一种中空轴式静压轴承的轴承体 |
| CN103195813B (zh) * | 2013-04-28 | 2015-05-20 | 昆明学院 | 中空轴式静压轴承的新型轴承体 |
| JP6559937B2 (ja) * | 2014-10-28 | 2019-08-14 | 東芝機械株式会社 | 油静圧案内機構および工作機械 |
| CN104500568A (zh) * | 2014-12-23 | 2015-04-08 | 天津尚吉液压设备有限公司 | 新型直线液压轴承 |
| CN105570301A (zh) * | 2016-02-19 | 2016-05-11 | 天津市第二机床有限公司 | 高精度静压主轴 |
| JP6775276B2 (ja) * | 2019-03-15 | 2020-10-28 | 株式会社ソディック | 静圧流体軸受装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5095644A (ja) * | 1973-12-26 | 1975-07-30 | ||
| JPS5214160A (en) * | 1975-07-23 | 1977-02-02 | Akashi Seisakusho Co Ltd | Static pressure bearing of pressure distribution adjusting type |
| JPS5247154A (en) * | 1975-10-09 | 1977-04-14 | Lindkoepings Mek Verk | Liquid controlling device for pocket at pressure reduction supporting section |
Family Cites Families (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE143297C (ja) * | ||||
| DE242456C (ja) * | ||||
| US2054055A (en) * | 1933-04-25 | 1936-09-08 | Percival Johanna Margaret | Apparatus for minimizing friction and vibration of rotor elements |
| US2449297A (en) * | 1941-03-26 | 1948-09-14 | James M Degnan | Automatic fluid pressure balancing system |
| SE366577B (ja) * | 1968-08-13 | 1974-04-29 | Konings Maschf Lizer En Metall | |
| SE353770B (ja) * | 1970-12-14 | 1973-02-12 | Lidkoepings Mekaniska Verkstad | |
| SU418114A1 (ru) * | 1972-06-06 | 1976-09-05 | Станкостроительный Завод "Комунарас" | Гидростатическа опора |
| DE2225360C2 (de) * | 1972-05-25 | 1982-09-23 | Heinz 4050 Mönchengladbach Beisemann | Hydrostatisches Radial-Lager |
| CA1096431A (en) * | 1978-07-03 | 1981-02-24 | Kunio Shibata | Fluid bearing |
| JPS56126547A (en) * | 1980-03-06 | 1981-10-03 | Makino Milling Mach Co Ltd | Machine equipped with load compensating guide face |
| FR2483263A1 (fr) * | 1980-05-27 | 1981-12-04 | Marchand Bernard | Tete atomisante rotative pour appareils d'application, par voie electrostatique, de produits liquides, tels que, notamment, peintures et vernis |
| US4474483A (en) * | 1982-03-29 | 1984-10-02 | Toyoda Koki Kabushiki Kaisha | Hydrostatic bearing apparatus with a cooling function |
| SU1051339A1 (ru) * | 1982-06-21 | 1983-10-30 | Горьковский конструкторско-технологический институт автомобильной промышленности | Гидростатический подшипник штока гидроцилиндра |
| DE3275579D1 (en) * | 1982-09-30 | 1987-04-09 | Hohenzollern Huettenverwalt | Hydrostatic bearing |
| US4710035A (en) * | 1986-06-16 | 1987-12-01 | Board Of Regents, The University Of Texas System | Inherent variable fluid restrictor |
| US4685813A (en) * | 1986-07-28 | 1987-08-11 | Moog Inc. | Hydrostatic bearing |
-
1992
- 1992-04-23 FR FR929204996A patent/FR2675863B1/fr not_active Expired - Fee Related
- 1992-04-24 CA CA002067073A patent/CA2067073A1/en not_active Abandoned
- 1992-04-24 GB GB9208909A patent/GB2255139B/en not_active Expired - Fee Related
- 1992-04-25 JP JP4131858A patent/JPH0626523A/ja active Pending
-
1994
- 1994-06-09 US US08/257,581 patent/US5391002A/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5095644A (ja) * | 1973-12-26 | 1975-07-30 | ||
| JPS5214160A (en) * | 1975-07-23 | 1977-02-02 | Akashi Seisakusho Co Ltd | Static pressure bearing of pressure distribution adjusting type |
| JPS5247154A (en) * | 1975-10-09 | 1977-04-14 | Lindkoepings Mek Verk | Liquid controlling device for pocket at pressure reduction supporting section |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012117659A (ja) * | 2010-12-03 | 2012-06-21 | Ind Technol Res Inst | 自動補償静圧ジャーナル軸受 |
| CN112123199A (zh) * | 2020-08-27 | 2020-12-25 | 森合(天津)科技有限公司 | 一种内反馈精密闭式静压转台 |
| CN112123199B (zh) * | 2020-08-27 | 2022-07-26 | 森合(天津)科技有限公司 | 一种内反馈精密闭式静压转台 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| GB2255139B (en) | 1995-02-01 |
| FR2675863B1 (fr) | 1994-10-21 |
| GB2255139A (en) | 1992-10-28 |
| FR2675863A1 (fr) | 1992-10-30 |
| CA2067073A1 (en) | 1992-10-26 |
| GB9208909D0 (en) | 1992-06-10 |
| US5391002A (en) | 1995-02-21 |
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