JPH06265389A - 空気流量計の感温抵抗体 - Google Patents
空気流量計の感温抵抗体Info
- Publication number
- JPH06265389A JPH06265389A JP5053564A JP5356493A JPH06265389A JP H06265389 A JPH06265389 A JP H06265389A JP 5053564 A JP5053564 A JP 5053564A JP 5356493 A JP5356493 A JP 5356493A JP H06265389 A JPH06265389 A JP H06265389A
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- JP
- Japan
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- resistor
- glass
- temperature
- thin film
- sensitive resistor
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Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明の目的は感温抵抗体のリード線の溶接強
度の確保により生産性を向上させた空気流量計測装置を
提供することにある。 【構成】白金薄膜１を着膜するセラミック板３とリード
線４を接続するために形成されたガラスを含有した金属
膜２、及び白金薄膜１を保護するガラス被覆５及びリー
ド線４の補強用絶縁材６からなる空気流量計測装置用感
温抵抗体。
度の確保により生産性を向上させた空気流量計測装置を
提供することにある。 【構成】白金薄膜１を着膜するセラミック板３とリード
線４を接続するために形成されたガラスを含有した金属
膜２、及び白金薄膜１を保護するガラス被覆５及びリー
ド線４の補強用絶縁材６からなる空気流量計測装置用感
温抵抗体。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は熱式空気流量計に係り、
特に内燃機関の吸入空気量を検出する熱式空気流量計に
関する。
特に内燃機関の吸入空気量を検出する熱式空気流量計に
関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の熱式空気流量計は、特公平4−417
64号公報に記載のように、円筒体の両端にリード線が接
続され、前記円筒体の表面に白金薄膜が形成されたもの
である。リード線の接続はガラスを含有した白金ペース
トを接着剤として用い、焼成によって固定したものであ
る。本構造の場合、微細な円筒体のなかにリード線を挿
入し、かつペーストの焼き付けを必要とするため、自動
化が困難である。又、溶接のような自動化に適した作業
方法もとれない。
64号公報に記載のように、円筒体の両端にリード線が接
続され、前記円筒体の表面に白金薄膜が形成されたもの
である。リード線の接続はガラスを含有した白金ペース
トを接着剤として用い、焼成によって固定したものであ
る。本構造の場合、微細な円筒体のなかにリード線を挿
入し、かつペーストの焼き付けを必要とするため、自動
化が困難である。又、溶接のような自動化に適した作業
方法もとれない。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、リー
ド線の接続を、自動化を図れる構造とすることによっ
て、作業性を改善することにある。
ド線の接続を、自動化を図れる構造とすることによっ
て、作業性を改善することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を解決するため
に、セラミック板上のリード線を接続する電極部分にガ
ラスを含有した金属膜を形成した。
に、セラミック板上のリード線を接続する電極部分にガ
ラスを含有した金属膜を形成した。
【０００５】
【作用】セラミック板上に形成されたガラスを含有した
金属膜は、焼成するとガラスは溶融しセラミックと強く
結合する。そのため金属膜の密着強度を大きくできる。
その上に形成された白金薄膜は焼成によって下層の金属
膜と結合する。したがって電極部に形成された金属膜及
び白金薄膜の着膜強度を大きくできるため、リード線の
溶接が可能となり接続の自動化が図れる。
金属膜は、焼成するとガラスは溶融しセラミックと強く
結合する。そのため金属膜の密着強度を大きくできる。
その上に形成された白金薄膜は焼成によって下層の金属
膜と結合する。したがって電極部に形成された金属膜及
び白金薄膜の着膜強度を大きくできるため、リード線の
溶接が可能となり接続の自動化が図れる。
【０００６】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１をもとに説明
する。図１は、空気流量の測定に用いる本発明の一実施
例を示す感温抵抗体の説明図である。感温抵抗体は、セ
ラミック板３として板厚０.２mmから０.３mmのアルミ
ナ、またはムライトまたは、シリカを主体とした高融点
ガラス等を用いた。これらの板材は後工程において８０
０℃から１３００℃での焼成があるので、この高温で変
質せず安定なセラミック材３であれば特に問題はない
が、熱式空気流量計としての応答性を向上させるには熱
伝導率の小さな材料が適切である。ここで示したアルミ
ナ，ムライト及びシリカを主体とした板材等であれば応
答性に関し実用上の問題はない。ついでリード線４を接
続する電極部にガラスを含有した金属膜２として白金ペ
ーストを０.００５mmから０.０１５mmの範囲で印刷し、
１１００℃ないしは１３００℃の範囲で焼成した。ここ
で白金ペーストにいれるガラスは２０ｗｔ％から６０ｗ
ｔ％の範囲が最適である。すなわちガラス量が少ないと
焼成してもセラミック板とガラスの反応が進まず密着性
が悪く、ガラス量が多いと焼成時の印刷膜の収縮が大き
過ぎて印刷膜にクラックが生じる。その他の材料として
は高温で安定で酸化しない金ペーストでも同様にガラス
を入れてやることで、印刷膜とセラミック板との密着性
を向上できることを確認している。この場合、金は白金
に比べて低温で焼結するため焼成温度は８５０℃から１
１００℃の範囲で十分な結合強度が得られる。セラミッ
ク材と金属の接合において、一般に知られている方法と
してはモリブデン−マンガンメタライズ法がある。しか
し、後工程でリード線４を溶接する際、このメタライズ
された金属は非常に高融点であるため溶融せず本感温抵
抗体には不向きである。そこでガラスを含有させた金属
膜２で密着性の改善を図ったものである。ついで白金薄
膜１をスパッタリング，メッキ，蒸着，印刷などにより
０.０００５mmから０.００２mmの範囲で着膜し、８００
℃から1200℃の範囲で焼成し、エッチング、あるいはレ
ーザにより感温抵抗体を形成する。このときの焼成によ
って、既に形成されていたガラスを含有した金属２と白
金薄膜１は金属同志で結合する。次に形成した感温抵抗
体の表面にガラスを塗布し焼成によってガラス被覆５を
形成する。さらに、リード線４をスポット溶接により接
続し、その補強のために絶縁材６を塗布、あるいは塗布
焼成した。本発明のように、直接白金薄膜１とリード線
４を直接接続せずにセラミック板３と白金薄膜１の間に
ガラスを含有した金属２を介在させることで、溶接強度
を大きくすることができ、生産性と信頼性の向上が図れ
た。
する。図１は、空気流量の測定に用いる本発明の一実施
例を示す感温抵抗体の説明図である。感温抵抗体は、セ
ラミック板３として板厚０.２mmから０.３mmのアルミ
ナ、またはムライトまたは、シリカを主体とした高融点
ガラス等を用いた。これらの板材は後工程において８０
０℃から１３００℃での焼成があるので、この高温で変
質せず安定なセラミック材３であれば特に問題はない
が、熱式空気流量計としての応答性を向上させるには熱
伝導率の小さな材料が適切である。ここで示したアルミ
ナ，ムライト及びシリカを主体とした板材等であれば応
答性に関し実用上の問題はない。ついでリード線４を接
続する電極部にガラスを含有した金属膜２として白金ペ
ーストを０.００５mmから０.０１５mmの範囲で印刷し、
１１００℃ないしは１３００℃の範囲で焼成した。ここ
で白金ペーストにいれるガラスは２０ｗｔ％から６０ｗ
ｔ％の範囲が最適である。すなわちガラス量が少ないと
焼成してもセラミック板とガラスの反応が進まず密着性
が悪く、ガラス量が多いと焼成時の印刷膜の収縮が大き
過ぎて印刷膜にクラックが生じる。その他の材料として
は高温で安定で酸化しない金ペーストでも同様にガラス
を入れてやることで、印刷膜とセラミック板との密着性
を向上できることを確認している。この場合、金は白金
に比べて低温で焼結するため焼成温度は８５０℃から１
１００℃の範囲で十分な結合強度が得られる。セラミッ
ク材と金属の接合において、一般に知られている方法と
してはモリブデン−マンガンメタライズ法がある。しか
し、後工程でリード線４を溶接する際、このメタライズ
された金属は非常に高融点であるため溶融せず本感温抵
抗体には不向きである。そこでガラスを含有させた金属
膜２で密着性の改善を図ったものである。ついで白金薄
膜１をスパッタリング，メッキ，蒸着，印刷などにより
０.０００５mmから０.００２mmの範囲で着膜し、８００
℃から1200℃の範囲で焼成し、エッチング、あるいはレ
ーザにより感温抵抗体を形成する。このときの焼成によ
って、既に形成されていたガラスを含有した金属２と白
金薄膜１は金属同志で結合する。次に形成した感温抵抗
体の表面にガラスを塗布し焼成によってガラス被覆５を
形成する。さらに、リード線４をスポット溶接により接
続し、その補強のために絶縁材６を塗布、あるいは塗布
焼成した。本発明のように、直接白金薄膜１とリード線
４を直接接続せずにセラミック板３と白金薄膜１の間に
ガラスを含有した金属２を介在させることで、溶接強度
を大きくすることができ、生産性と信頼性の向上が図れ
た。
【０００７】図２及び図３にその他の実施例を示した。
図２はガラスを含有した金属２とリード線４を直接接続
した構造である。ガラスを含有した金属膜２が直接リー
ド線４と接続するため前記実施例よりやや接続強度が低
下するが実用性に差はない。図３はワイヤボンディング
７によりリード線４と感温抵抗体を接続した本発明の応
用例である。セラミック板３とリード線４は接着剤９に
よって固定され、さらに白金薄膜１上にはボンディング
しやすいよう金ペースト８を印刷した。リード線４はス
テンレス板にニッケルメッキ及び金メッキし、ボンデイ
ング線には金線を用いた。本構造においても、白金薄膜
１の密着強度が大きいために、ボンディングの信頼性の
向上が図れるとともに、自動化による生産性の向上が可
能である。本発明の特有の効果としてはリード線４に比
較的太い変形しにくい線を使用できることであり、感温
抵抗体製造後の熱式空気流量計の組立て作業が容易なこ
とである。
図２はガラスを含有した金属２とリード線４を直接接続
した構造である。ガラスを含有した金属膜２が直接リー
ド線４と接続するため前記実施例よりやや接続強度が低
下するが実用性に差はない。図３はワイヤボンディング
７によりリード線４と感温抵抗体を接続した本発明の応
用例である。セラミック板３とリード線４は接着剤９に
よって固定され、さらに白金薄膜１上にはボンディング
しやすいよう金ペースト８を印刷した。リード線４はス
テンレス板にニッケルメッキ及び金メッキし、ボンデイ
ング線には金線を用いた。本構造においても、白金薄膜
１の密着強度が大きいために、ボンディングの信頼性の
向上が図れるとともに、自動化による生産性の向上が可
能である。本発明の特有の効果としてはリード線４に比
較的太い変形しにくい線を使用できることであり、感温
抵抗体製造後の熱式空気流量計の組立て作業が容易なこ
とである。
【０００８】
【発明の効果】本発明によれば、リード線の溶接強度を
大きくすることができるため溶接の自動化が可能とな
り、生産性の向上が図れる。
大きくすることができるため溶接の自動化が可能とな
り、生産性の向上が図れる。
【図１】本発明の一実施例を示す感温抵抗体の構造図で
ある。
ある。
【図２】本発明の一実施例を示す感温抵抗体の構造図で
ある。
ある。
【図３】本発明の応用例を示す感温抵抗体の構造図であ
る。
る。
１…白金薄膜、２…ガラスを含有した金属膜、３…セラ
ミック板、４…リード線、５…ガラス被覆、６…絶縁
材、７…ワイヤボンディング、８…金ペースト、９…接
着剤。
ミック板、４…リード線、５…ガラス被覆、６…絶縁
材、７…ワイヤボンディング、８…金ペースト、９…接
着剤。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 磯野 忠 茨城県勝田市大字高場字鹿島谷津2477番地 ３ 日立オートモティブエンジニアリング 株式会社内 (72)発明者 高橋 実 茨城県勝田市大字高場2520番地 株式会社 日立製作所自動車機器事業部内
Claims (5)
- 【請求項１】セラミック板の表面に白金からなる薄膜抵
抗体を形成し、該薄膜抵抗体をガラスで被覆し、かつそ
の電極部にリード線を接続してなる空気流量計の感温抵
抗体において、該感温抵抗体の電極部はガラスを含有し
た金属膜と該薄膜抵抗体を積層した構造を有することを
特徴とする空気流量計の感温抵抗体。 - 【請求項２】セラミック板の表面に白金からなる薄膜抵
抗体を形成し、該薄膜抵抗体をガラスで被覆し、かつそ
の電極部にリード線を接続してなる空気流量計の感温抵
抗体において、前記感温抵抗体の電極部はガラスを含有
した金属膜で形成した構造を特徴とする空気流量計の感
温抵抗体。 - 【請求項３】請求項１又は２において、ガラスを含有し
た金属膜は、白金ペーストであり、かつ含有するガラス
は２０ｗｔ％から６０ｗｔ％の範囲であることを特徴と
する空気流量計の感温抵抗体。 - 【請求項４】請求項１又は２において、ガラスを含有し
た金属膜は、金ペーストであり、かつ含有するガラスは
２０ｗｔ％から６０ｗｔ％の範囲であることを特徴とす
る空気流量計の感温抵抗体。 - 【請求項５】請求項１又は２において、リード線の接続
はスポット溶接で接続されていることを特徴とする空気
流量計の感温抵抗体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5053564A JPH06265389A (ja) | 1993-03-15 | 1993-03-15 | 空気流量計の感温抵抗体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5053564A JPH06265389A (ja) | 1993-03-15 | 1993-03-15 | 空気流量計の感温抵抗体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06265389A true JPH06265389A (ja) | 1994-09-20 |
Family
ID=12946323
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5053564A Pending JPH06265389A (ja) | 1993-03-15 | 1993-03-15 | 空気流量計の感温抵抗体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06265389A (ja) |
-
1993
- 1993-03-15 JP JP5053564A patent/JPH06265389A/ja active Pending
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