JPH06265838A - 液晶表示板の欠陥修正機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 液晶表示板の欠陥修復効率を高める。 【構成】 欠陥絵素検出手段１７と光エネルギー照射手
段１８とを、プローブユニット１４内の液晶表示板１３
を挟んで対向配置し、欠陥絵素検出手段１７の検出中心
軸λ１と光エネルギー照射手段１８の光の照射光軸λ２
とを同一直線上に合致させることで、液晶表示板１３の
表示欠陥を特定すると同時に、光エネルギー照射手段１
８の欠陥修復用光学系の高倍率の視野内に欠陥を追い込
み、欠陥検出、欠陥修復、修復結果の確認といった一連
の操作をほぼ同時に行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、液晶表示板の製造工程
で発生する表示不良品の検査および修正を効率的に行う
液晶表示板の欠陥修正機構に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、液晶表示板の製造工程は、いく
つかの工程に分けられている。その各工程においては、
光学的検査装置や、電気的検査装置等の検査装置を用い
ており、製造途中の液晶表示板が所定基準の品質状態を
満たしていない場合は、その工程において不合格とな
る。この場合、不合格となった液晶表示板は、その不合
格となった工程から液晶表示板を製造し直すか、または
液晶表示板を廃棄する。

【０００３】近年、液晶表示板の大型化、高精度、細密
化が要求され、液晶表示板の絵素数が飛躍的に増加して
いる。したがって、各種欠陥が液晶表示板内に発生する
確率も、絵素数の増加に比例し高くなっている。したが
って、従来の製造プロセスを踏襲して行くだけでは、全
く欠陥のない液晶表示板を高い歩留りで生産すること
は、極めて難しい。

【０００４】このため、液晶表示板の歩留りを向上させ
るために、液晶表示板をパネルとして半完成品に組立
て、最終的な検査工程にて不合格品に選別されたパネル
のうち、適当なパネルの欠陥を何らかの方法で修復し、
完全に修復した液晶表示板を生産することで歩留りを向
上させる方法が考えられている。

【０００５】しかし、液晶表示板の欠陥は一種類ではな
く、修復方法も欠陥に応じて変える必要がある。したが
って、不良原因の解析と、それに応じた修正方法の選
択、修正といった工程が新たに必要になり、夫々の工程
に要する時間と労力を考慮すると、その修復手順の複雑
さから、生産効率が著しく低下するという問題が発生す
る恐れがある。

【０００６】従来の液晶表示板の欠陥修正機構の例とし
ては、例えば特開平３−２０９４２２号がある。従来で
は、図８の如く、液晶表示板１の絵素に光を照射し各絵
素の光学的な変化に基づいて欠陥絵素を検出する欠陥絵
素検出手段としての欠陥検出装置２と、欠陥絵素に光エ
ネルギーを照射して欠陥絵素を修正する光エネルギー照
射手段としてのレーザリペア装置３とが、いずれも液晶
表示板１の載置空間の上方で一定の間隔を空けて配置さ
れていた。

【０００７】そして、液晶表示板１は、欠陥検出装置２
の位置で欠陥を検出後、移動装置４にて、レーザリペア
装置３の位置まで一定の距離だけ移動させていた。

【０００８】なお、図８中、５は液晶表示板１の電極に
接続するプローブ、６は光源ユニット、７はＣＣＤカメ
ラである。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】従来の欠陥修正機構で
は、図８の如く、液晶表示板１を移動装置４（アライメ
ントローダ）で鉛直軸を中心に回転する方向に位置合わ
せし、同時にプローブ５をＸ−Ｙテーブルで鉛直軸が法
線となる平面内の直交二軸方向Ｘ，Ｙに位置合わせす
る。したがって、アライメントローダ４を用いる位置合
わせは、アライメントマーク検出装置で位置合わせの良
否を最終的に確認できるが、同時に行うプローブ５の位
置合わせの良否を確認することは不可能であった。した
がって、プローブ５の位置合わせは、作業者の目視によ
る手作業に依存しており、位置合わせ作業に多大な時間
を要していた。

【００１０】また、液晶表示板１を欠陥検出装置２から
レーザリペア装置３まで移動するため移動時間が必要と
なり、処理が遅くなる。

【００１１】さらに、液晶表示板１の絵素は極めて小さ
いものであるから、移動装置４の移動距離が狂うと、欠
陥検出装置２で検出した欠陥絵素以外の絵素にレーザリ
ペア装置３からのレーザ光を照射してしまい、重大な欠
陥をもたらしてしまう。したがって、移動装置４として
高い移動精度が要求され、装置が高価となってしまう。

【００１２】本発明は、上記課題に鑑み、液晶表示板の
プローブに対する位置合わせ時間を短縮し、液晶表示板
の欠陥を効率良く検出し、その検出された欠陥を高効率
で修復し得る液晶表示板の欠陥修正機構の提供を目的と
する。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明請求項１による課
題解決手段は、図１，２の如く、表示状態の液晶表示板
１３を載置するプローブユニット１４と、該プローブユ
ニット１４を所望の位置へ移動させるアライメント手段
１５と、プローブユニット１４内の液晶表示板１３を表
示状態にする駆動回路１６と、該駆動回路１６により駆
動される液晶表示板１３の絵素に光を照射し各絵素の光
学的な変化に基づいて欠陥絵素を検出する欠陥絵素検出
手段１７と、該欠陥絵素検出手段１７によって検出され
た欠陥絵素に光エネルギーを照射して欠陥絵素を修正す
る光エネルギー照射手段１８と、これらを制御する制御
装置１９とが設けられ、前記欠陥絵素検出手段１７と光
エネルギー照射手段１８とは、プローブユニット１４内
の液晶表示板１３を挟んで対向配置され、前記欠陥絵素
検出手段１７の検出中心軸λ１と光エネルギー照射手段
１８の光の照射光軸λ２とは同一直線上に合致されたも
のである。

【００１４】本発明請求項２による課題解決手段は、請
求項１記載の液晶表示板１３の所定位置に、プローブユ
ニット１４内での位置決めの基準となるアライメントマ
ークが具備され、請求項１記載のアライメント手段１５
は、液晶表示板１３を移動可能に支持するアライメント
ローダ２６と、前記液晶表示板１３のアライメントマー
クを検出するためのアライメントマーク検出装置２７と
を有せしめられ、請求項１記載の制御装置１９は、前記
アライメントマーク検出装置２７からの情報に基づいて
液晶表示板１３のアライメントマークの所定位置からの
位置ずれ量を演算するアライメント位置ずれ演算機能
と、該アライメント位置ずれ演算機能にて演算した位置
ずれ量に応じてアライメントマークが所定位置に合致す
るようアライメントローダ２６を駆動するローダ指令機
能とを有せしめられたものである。

【００１５】

【作用】上記請求項１による課題解決手段において、欠
陥絵素検出手段１７にて液晶表示板１３の欠陥絵素を検
出すれば、そのときの検出中心軸λ１は、すでに光エネ
ルギー照射手段１８の光の照射光軸λ２と合致している
ことになる。このことから、液晶表示板１３の表示欠陥
を特定すると同時に、光エネルギー照射手段１８の欠陥
修復用光学系の高倍率の視野内に欠陥を追い込むことが
でき、欠陥検出、欠陥修復、修復結果の確認といった一
連の操作をほぼ同時に行うことができる。したがって、
これら一連の動作を簡略化でき、高効率化を達成でき
る。

【００１６】請求項２では、アライメントマーク検出装
置２７にて液晶表示板１３の所定位置のアライメントマ
ークを検出し、制御装置１９にて、液晶表示板１３のア
ライメントマークの所定位置からの位置ずれ量を演算す
る。そして、この位置ずれ量に応じて、アライメントマ
ークが所定位置に合致するようアライメントローダ２６
を駆動する。そうすると、アライメントマークの位置合
わせの良否を最終的に確認できるだけでなく、同時に行
うプローブの位置合わせの良否を確認および位置決めす
ることができ、プローブの位置合わせに要する時間を短
縮できる。

【００１７】

【実施例】本発明の一実施例の欠陥修正の対象となる液
晶表示板は、スイッチング素子として薄膜トランジスタ
を備えたアクティブマトリックス基板と、表示媒体とし
ての液晶とからなるパネルとして組み立てられたもの
で、例えば、特願平１−７７８２８号等に示されるＴＦ
Ｔ駆動方式のアクティブマトリックス型液晶表示板であ
る。

【００１８】そして、本実施例の欠陥修正機構は、図１
の如く、液晶表示板がパネルとして組み立てられた後
に、該液晶表示板の検査および修正のために使用される
もので、直交二軸方向Ｘ，Ｙに移動可能なＸ−Ｙテーブ
ル１１と、該Ｘ−Ｙテーブル１１を所望の位置へ移動さ
せる位置決め手段１２と、Ｘ−Ｙテーブル１１上で表示
状態の液晶表示板１３を載置するプローブユニット１４
と、該プローブユニット１４内の液晶表示板１３を所望
の位置へ移動させるアライメント手段１５と、プローブ
ユニット１４内の液晶表示板１３を表示状態にする駆動
回路１６と、該駆動回路１６により駆動される液晶表示
板１３の絵素に光を照射し各絵素の光学的な変化に基づ
いて欠陥絵素を検出する欠陥絵素検出手段１７と、該欠
陥絵素検出手段１７によって検出された欠陥絵素に光エ
ネルギーを照射して欠陥絵素を修正する光エネルギー照
射手段１８と、これらを制御する制御装置１９とが設け
られている。

【００１９】前記Ｘ−Ｙテーブル１１は、前記プローブ
ユニット１４を載置しかつ所望位置まで移動させるもの
で、液晶表示板１３を載置する際に液晶表示板の上下両
側を全表示領域について遮らないよう、中抜きの開口２
１が形成されている。

【００２０】前記位置決め手段１２は、図２の如く、前
記制御装置１９からの制御信号に基づいて駆動するコン
トローラ２２ａと、該コントローラ２２ａからの指令値
に基づいてＸ−Ｙテーブル１１を移動位置決めするモー
タドライバ２３ａ，２３ｂとからなる。

【００２１】前記プローブユニット１４は、図３および
図４の如く、真空吸着等によって液晶表示板１３を固定
できる試料台２４と、該試料台２４に対し下方から上昇
して電気的に接触できるプローブ２５とを具備してい
る。該試料台２４およびプローブ２５は、図４に示すよ
うに液晶表示板１３の端部を上下両側から挟持するた
め、液晶表示板１３の表示領域は、表裏いずれの方向に
も遮らない構造とされている。

【００２２】前記アライメント手段１５は、前記位置決
め手段１２とは別設され、図５，６の如く、液晶表示板
１３を真空吸着等で固定できる機能を有したアライメン
トローダ２６と、液晶表示板１３が具備している位置決
め用のアライメントマークを検出するためのアライメン
トマーク検出装置２７が設置されている。

【００２３】前記アライメントローダ２６は、図６に示
すように、Ｘ−Ｙ平面内の直交二軸方向Ｘ，Ｙと、Ｘ−
Ｙ平面の法線方向Ｚと、さらに該法線Ｚを軸として回転
する方向Ｒに移動できる機能を有する。

【００２４】アライメントマーク検出装置２７は、図
１，２，６の如く、ＣＣＤカメラ２８等のセンサを有し
ており、該ＣＣＤカメラ２８は、液晶表示板１３の駆動
用端子をプローブユニット１４のプローブ２５に位置合
わせしたときに液晶表示板１３のアライメントマークに
対応する位置に配置されている。

【００２５】ここで、前記アライメントマークは、液晶
表示板１３の位置合わせのために設けられるもので、液
晶表示板１３のアクティブマトリックス基板を構成する
薄膜のパターンと同質の材料によって、その表面の端部
に形成される。なお、図６では、アライメントマークは
液晶表示板１３の二隅部に配した例を示しているが、マ
ーク位置はこれに限るものではない。

【００２６】該ＣＣＤカメラ２８からのイメージ情報
は、図２に示すように、画像入力回路２９ａを介し、制
御装置１９に送信される。そして、該制御装置１９によ
って液晶表示板１３のアライメントマーク等の所望の位
置からの位置ずれ量を求められ、該位置ずれ量に応じて
コントローラ２２ｂに指令値を与え、モータドライバ２
３ｃ，２３ｄ，２３ｅ，２３ｆを介して、アライメント
ローダ２６を駆動する。

【００２７】前記駆動回路１６は、図２に示すように、
前記プローブユニット１４のプローブ２５が液晶表示板
１３に電気的に接続されたときに、プローブ２５を介し
て液晶表示板１３に駆動信号を送信する。

【００２８】前記欠陥絵素検出手段１７は、図１，７の
如く、前記Ｘ−Ｙテーブル１１上の欠陥検出修正領域の
下方に設置され、ＣＣＤカメラ３１等のセンサを有して
いる。なお、該ＣＣＤカメラ３１にてイメージ情報を得
るためには、液晶表示板１３の背後（すなわち図１中の
上方）から光を照射し、表示状態の液晶表示板１３の光
透過度をみる必要がある。このため、液晶表示板１３に
光を照射するための光源３２を、欠陥検出修正領域の上
方に配置する必要がある。しかしながら、欠陥検出修正
領域の直上には、後述の光エネルギー照射手段１８（レ
ーザリペア装置）が配置されるため、図７の如く、該光
エネルギー照射手段１８の光エネルギー照射光軸λ２を
遮らない位置に配置する必要がある。したがって、光源
３２は、光エネルギー照射手段１８の側壁先端部に取り
付けるのが望ましい。

【００２９】該ＣＣＤカメラ３１からのイメージ情報
は、図２に示すように、画像入力回路２９ｂおよび制御
装置１９を介してモニタ３３に送信され表示される。ま
た、該ＣＣＤカメラ３１から画像入力回路２９ｂを介し
て入力されるデータは、制御装置１９にて処理され、所
望の位置との位置ずれ量が計測され、コントローラ２２
ａを介し、モータドライバ２３ａ，２３ｂに指令値を与
え、Ｘ−Ｙテーブル１１を駆動できる。

【００３０】前記光エネルギー照射手段１８は、図１の
如く、前記Ｘ−Ｙテーブル１１上の欠陥検出修正領域の
上方に設置されたレーザリペア装置であり、図７の如
く、前記欠陥絵素検出手段１７に対向配置される。該光
エネルギー照射手段１８は、レーザ制御回路１８ａを通
じて、制御装置１９によって駆動制御される。

【００３１】また、該光エネルギー照射手段１８は、図
７の如く、レーザ光の照準を合わせるためのＣＣＤカメ
ラ３４等のセンサを有している。該ＣＣＤカメラ３４か
らのイメージ情報は、図２に示すように、画像入力回路
２９ｃおよび制御装置１９を介してモニタ３５に送信さ
れ表示される。

【００３２】そして、該光エネルギー照射手段１８の光
の照射光軸λ２は、図１，７の如く、前記欠陥絵素検出
手段１７の検出中心軸λ１に対して同一直線上に合致さ
れて設定される。

【００３３】前記制御装置１９は、前記欠陥絵素検出手
段１７のＣＣＤカメラ３１からのイメージ情報を画像入
力回路２９ｂを介して受信し所望の位置との位置ずれ量
を計測する欠陥位置ずれ計測機能と、該欠陥位置ずれ計
測機能にて計測した位置ずれ量に応じて前記位置決め手
段１２のコントローラ２２ａに指令値を与えをモータド
ライバ２３ａ，２３ｂを介してＸ−Ｙテーブル１１を駆
動するＸ−Ｙテーブル指令機能と、前記アライメントマ
ーク検出装置２７のＣＣＤカメラ２８からのイメージ情
報を画像入力回路２９ａを介して受信し液晶表示板１３
のアライメントマーク位置からの位置ずれ量を求めるア
ライメント位置ずれ演算機能と、該アライメント位置ず
れ演算機能にて演算した位置ずれ量に応じてコントロー
ラ２２ｂに指令値を与えモータドライバ２３ｃ，２３
ｄ，２３ｅ，２３ｆを介してアライメントローダ２６を
駆動するローダ指令機能とを備えている。

【００３４】上記構成の欠陥修正機構を用いた液晶表示
板１３の検査、修正動作を説明する。

【００３５】（１）アライメント動作 まず、図６に示すように、液晶表示板１３をアライメン
トローダ２６にて真空吸着等によって固定する。

【００３６】次に、液晶表示板１３の駆動用端子をプロ
ーブユニット１４のプローブ２５に位置合わせし、これ
らを接触可能とする必要がある。

【００３７】そこで、本実施例では、アライメントマー
ク検出装置２７のＣＣＤカメラ２８にて液晶表示板１３
のアライメントマークを観察しながら、液晶表示板１３
をプローブ２５に位置合わせすればよい。

【００３８】すなわち、ＣＣＤカメラ２８で得たイメー
ジ情報を画像入力回路２９ａを介して制御装置１９に送
信する。そして、制御装置１９のアライメント位置ずれ
演算機能にて位置ずれ量を演算し、これに応じてローダ
指令機能でコントローラ２２ｂに指令値を与えモータド
ライバ２３ｃ，２３ｄ，２３ｅ，２３ｆを介してアライ
メントローダ２６を駆動する。つまり、検出されたアラ
イメントマークの位置に応じて、アライメントローダ２
６が平面内直交二軸方向Ｘ，Ｙと、該平面の法線を中心
とする回転方向Ｒについて位置合わせし、液晶表示板１
３が所定の姿勢となるまで検出と位置合わせを繰り返す
ことで、液晶表示板１３をプローブ２５に位置合わせす
ればよい。なお、この位置決め作業は、制御装置１９に
よって完全に自動化することが可能となるため、作業者
による液晶表示板１３のプローブ２５に対する位置決め
動作を省略でき、大幅な労力の削減を達成することが可
能となる。

【００３９】（２）プローブ接触動作 アライメント完了後、図５に示すように液晶表示板１３
はアライメントローダ２６に真空吸着等で固定されたま
ま微少量だけ上昇し、液晶表示板１３は試料台２４に接
触する。

【００４０】試料台２４は、アライメントローダ２６と
同様に真空吸着等で液晶表示板１３を固定する。同時
に、液晶表示板１３はアライメントローダ２６から離れ
る。

【００４１】次に、図３および図４に示すように、液晶
表示板１３に駆動信号を送るため、液晶表示板１３の端
子に電気的に接触するためのプローブ２５が上昇し、プ
ローブ２５は液晶表示板１３の端子に接触する。

【００４２】（３）欠陥絵素検出修正動作 この状態で、駆動回路１６にてプローブ２５を介して液
晶表示板１３に駆動信号を送り、液晶表示板１３のスイ
ッチング素子を駆動させ、これを表示状態とする。

【００４３】そして、欠陥絵素検出手段１７による欠陥
絵素検出動作、および光エネルギー照射手段１８による
欠陥絵素修正動作を行う。

【００４４】ここで、図７の如く、試料台２４、プロー
ブ２５は、液晶表示板１３を全表示領域にわたって上下
（表裏）とも観察できるよう中抜きの構造になってい
る。また、光エネルギー照射手段１８と欠陥絵素検出手
段１７は、液晶表示板１３を介し、同一直線上に対峙す
る向きに配置されている。

【００４５】したがって、下側で欠陥絵素検出手段１７
によって欠陥絵素検出動作を行ない、Ｘ−Ｙテーブル１
１で所望の位置に移動すれば、同時に該位置が光エネル
ギー照射手段１８の光エネルギー照射位置に移動したこ
とになる。このことを詳述する。

【００４６】まず、表示状態の液晶表示板１３に対し
て、レーザ照射の妨げにならないよう配慮された光源３
２が、光を上側から照射する。そして、下側の欠陥絵素
検出手段１７は、光源３２からの光が液晶表示板１３を
透過するか否か、すなわち、液晶表示板１３が所望の表
示状態にあるか否かを検出することにより、欠陥絵素を
検出する。

【００４７】ここで、欠陥絵素を検出したときには、光
エネルギー照射手段１８の光の照射光軸λ２は、前記欠
陥絵素検出手段１７の検出中心軸λ１に対して同一直線
上に合致されているため、光エネルギーの照射照準は、
すでに欠陥絵素にあっていることになる。

【００４８】このときの照射照準は、ＣＣＤカメラ３４
で捕らえられ、表示欠陥を有するアクティブマトリック
ス基板のパターンが画像入力回路２９ｃおよび制御装置
１９を介してモニタ３３に拡大表示されるため、目視で
も確認できる。

【００４９】目視による確認後、必要であれば適当な位
置に再度微小移動させた後、光エネルギーを照射して、
欠陥絵素を修正する。

【００５０】光エネルギー照射後、瞬時にモニタ３３に
欠陥絵素検出手段１７からの画像が表示され、修正の良
否を確認すればよい。

【００５１】なお、本発明は、上記実施例に限定される
ものではなく、本発明の範囲内で上記実施例に多くの修
正および変更を加え得ることは勿論である。

【００５２】例えば、上記実施例では、ＴＦＴ駆動方式
のアクティブマトリックス液晶表示板の検査、修正につ
いて説明したが、それ他にも、例えばＥＬ表示装置、プ
ラズマ表示装置等の表示装置の欠陥を修正する場合にも
適用できる。

【００５３】

【発明の効果】以上の説明から明らかな通り、本発明請
求項１によると、絵素の光学的な変化に基づいて欠陥絵
素を検出する欠陥絵素検出手段と、欠陥絵素検出手段に
よって検出された欠陥絵素に光エネルギーを照射してこ
れを修正する光エネルギー照射手段とを、プローブユニ
ット内の液晶表示板を挟んで対向配置し、欠陥絵素検出
手段の検出中心軸と光エネルギー照射手段の光の照射光
軸とを同一直線上に合致させているので、液晶表示板の
表示欠陥を特定すると同時に、光エネルギー照射手段の
欠陥修復用光学系の高倍率の視野内に欠陥を追い込むこ
とができる。したがって、欠陥検出、欠陥修復、修復結
果の確認といった一連の操作をほぼ同時に行うことがで
き、これら一連の動作を簡略化でき、高効率化を達成で
きる。

【００５４】請求項２によると、液晶表示板に、プロー
ブユニット内での位置決めの基準となるアライメントマ
ークを設け、アライメント手段に、液晶表示板を移動可
能に支持するアライメントローダと、前記液晶表示板の
アライメントマークを検出するためのアライメントマー
ク検出装置とを有せしめ、制御装置に、アライメントマ
ーク検出装置からの情報に基づいて液晶表示板のアライ
メントマークの所定位置からの位置ずれ量を演算するア
ライメント位置ずれ演算機能と、アライメント位置ずれ
演算機能にて演算した位置ずれ量に応じてアライメント
マークが所定位置に合致するようアライメントローダを
駆動するローダ指令機能とを有せしめているので、アラ
イメントマークの位置合わせの良否を最終的に確認でき
るだけでなく、同時に行うプローブの位置合わせの良否
を自動的に確認および位置決めすることができ、プロー
ブの位置合わせに要する時間を短縮できる。そして、こ
の位置決め作業は、制御装置によって完全に自動化する
ことが可能となるため、作業者による液晶表示板のプロ
ーブに対する位置決め動作を省略でき、大幅な労力の削
減を達成することができるといった優れた効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明一実施例の欠陥修正機構の全体斜視図

【図２】本発明一実施例の欠陥修正機構の制御ブロック
図

【図３】本発明一実施例の欠陥修正機構のプローブユニ
ットを示す斜視図

【図４】本発明一実施例の欠陥修正機構のプローブユニ
ットの一部を示す断面図

【図５】液晶表示板がアライメントローダに吸着される
様子を示す図

【図６】本発明一実施例の欠陥修正機構のアライメント
手段を示す斜視図

【図７】本発明一実施例の欠陥修正機構の液晶表示板、
欠陥絵素検出手段および光エネルギー照射手段の配置関
係を示す図

【図８】従来の欠陥修正機構の液晶表示板、欠陥絵素検
出手段および光エネルギー照射手段の配置関係を示す図

【符号の説明】

１３ 液晶表示板 １４ プローブユニット １５ アライメント手段 １６ 駆動回路 １７ 欠陥絵素検出手段 １８ 光エネルギー照射手段 １９ 制御装置 ２６ アライメントローダ ２７ アライメントマーク検出装置 λ１ 検出中心軸 λ２ 照射光軸

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 表示状態の液晶表示板を載置するプロー
   ブユニットと、該プローブユニットを所望の位置へ移動
   させるアライメント手段と、プローブユニット内の液晶
   表示板を表示状態にする駆動回路と、該駆動回路により
   駆動される液晶表示板の絵素に光を照射し各絵素の光学
   的な変化に基づいて欠陥絵素を検出する欠陥絵素検出手
   段と、該欠陥絵素検出手段によって検出された欠陥絵素
   に光エネルギーを照射して欠陥絵素を修正する光エネル
   ギー照射手段と、これらを制御する制御装置とが設けら
   れ、前記欠陥絵素検出手段と光エネルギー照射手段と
   は、プローブユニット内の液晶表示板を挟んで対向配置
   され、前記欠陥絵素検出手段の検出中心軸と光エネルギ
   ー照射手段の光の照射光軸とは同一直線上に合致された
   ことを特徴とする液晶表示板の欠陥修正機構。
2. 【請求項２】 請求項１記載の液晶表示板の所定位置
   に、プローブユニット内での位置決めの基準となるアラ
   イメントマークが具備され、請求項１記載のアライメン
   ト手段は、液晶表示板を移動可能に支持するアライメン
   トローダと、前記液晶表示板のアライメントマークを検
   出するためのアライメントマーク検出装置とを有せしめ
   られ、請求項１記載の制御装置は、前記アライメントマ
   ーク検出装置からの情報に基づいて液晶表示板のアライ
   メントマークの所定位置からの位置ずれ量を演算するア
   ライメント位置ずれ演算機能と、該アライメント位置ず
   れ演算機能にて演算した位置ずれ量に応じてアライメン
   トマークが所定位置に合致するようアライメントローダ
   を駆動するローダ指令機能とを有せしめられたことを特
   徴とする液晶表示板の欠陥修正機構。