JPH06267052A - 垂直磁気記録媒体 - Google Patents
垂直磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPH06267052A JPH06267052A JP5235093A JP5235093A JPH06267052A JP H06267052 A JPH06267052 A JP H06267052A JP 5235093 A JP5235093 A JP 5235093A JP 5235093 A JP5235093 A JP 5235093A JP H06267052 A JPH06267052 A JP H06267052A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- recording medium
- permalloy
- magnetic recording
- perpendicular magnetic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】情報記録機器や音響あるいは映像機器などに利
用することのできるフレキシブルディスクやテープとな
る高密度の記録に適した垂直磁気記録媒体を得ることで
ある。 【構成】非磁性基板上に結晶質軟磁性パーマロイ層を介
して垂直磁化Ｃｏ−Ｃｒ層を形成した垂直磁気記録媒体
において、非磁性基板とパーマロイ層との間にＣｏ層又
はＣｏ−Ｔａ合金層を設けたことを特徴とする垂直磁気
記録媒体。
用することのできるフレキシブルディスクやテープとな
る高密度の記録に適した垂直磁気記録媒体を得ることで
ある。 【構成】非磁性基板上に結晶質軟磁性パーマロイ層を介
して垂直磁化Ｃｏ−Ｃｒ層を形成した垂直磁気記録媒体
において、非磁性基板とパーマロイ層との間にＣｏ層又
はＣｏ−Ｔａ合金層を設けたことを特徴とする垂直磁気
記録媒体。
Description
【産業上の利用分野】本発明は、垂直磁気記録媒体に関
する。さらに詳しくは、情報機器や音響あるいは映像機
器などに利用することのできるフレキシブルディスクや
テープとなる高密度の垂直磁気記録に適した媒体に関す
る。
する。さらに詳しくは、情報機器や音響あるいは映像機
器などに利用することのできるフレキシブルディスクや
テープとなる高密度の垂直磁気記録に適した媒体に関す
る。
【従来の技術】垂直磁気記録方式は、短波長記録特性の
優れた磁気記録方式である。これは、磁気記録媒体の膜
内に対して垂直方向に残留磁化が残る垂直磁化膜を用い
る必要がある。垂直磁化膜としては、Ｃｏ（コバルト）
とＣｒ（クロム）を主成分とするＣｏ−Ｃｒ、例えば重
量比で８０Ｃｏ−２０Ｃｒからなる合金膜が優れた特性
を持っている。一方、主磁極励磁型ヘッドを用いて、高
密度記録を行うためには、Ｃｏ−Ｃｒ合金膜内部で磁束
の集中が必要であり、そのため裏打ち層として軟磁性層
を設ける。裏打ち軟磁性層としてはパーマロイ、例えば
重量比で８０％Ｎｉ−２０％Ｆｅの合金を用いることが
知られている。しかし、上記のように、パーマロイ層と
Ｃｏ−Ｃｒ層からなる垂直磁気記録媒体は、次のような
問題点があることが判明した。第一に、基材上に直接パ
ーマロイ層を製膜した場合、パーマロイ層の結晶が成長
しにくく、そのためにその上に製膜したＣｏ−Ｃｒ層の
結晶性は良好なものが得られない。第二に、この垂直磁
気記録媒体は高密度で記録再生電圧が低く高密度記録に
適さない。第三に、パーマロイ層の製作時間を短くする
ために高電力を投入して堆積速度を速くした場合、パー
マロイ層の抗磁力が大きくなってしまう。第四にパーマ
ロイ層は非磁性体との付着力が小さいために実際に記録
媒体として用いてヘッドを媒体に接触させたとき媒体に
傷が入りやすい。上記の問題点を解決するために、非磁
性基板とパーマロイ層との間にＡｌ、Ｔｉなどからなる
層を形成することが検討されたが、パーマロイ層の結晶
成長が十分ではなく、したがって、その上にエピタキシ
ャル成長するＣｏ−Ｃｒ層の結晶性を良好にすることが
できなかった。
優れた磁気記録方式である。これは、磁気記録媒体の膜
内に対して垂直方向に残留磁化が残る垂直磁化膜を用い
る必要がある。垂直磁化膜としては、Ｃｏ（コバルト）
とＣｒ（クロム）を主成分とするＣｏ−Ｃｒ、例えば重
量比で８０Ｃｏ−２０Ｃｒからなる合金膜が優れた特性
を持っている。一方、主磁極励磁型ヘッドを用いて、高
密度記録を行うためには、Ｃｏ−Ｃｒ合金膜内部で磁束
の集中が必要であり、そのため裏打ち層として軟磁性層
を設ける。裏打ち軟磁性層としてはパーマロイ、例えば
重量比で８０％Ｎｉ−２０％Ｆｅの合金を用いることが
知られている。しかし、上記のように、パーマロイ層と
Ｃｏ−Ｃｒ層からなる垂直磁気記録媒体は、次のような
問題点があることが判明した。第一に、基材上に直接パ
ーマロイ層を製膜した場合、パーマロイ層の結晶が成長
しにくく、そのためにその上に製膜したＣｏ−Ｃｒ層の
結晶性は良好なものが得られない。第二に、この垂直磁
気記録媒体は高密度で記録再生電圧が低く高密度記録に
適さない。第三に、パーマロイ層の製作時間を短くする
ために高電力を投入して堆積速度を速くした場合、パー
マロイ層の抗磁力が大きくなってしまう。第四にパーマ
ロイ層は非磁性体との付着力が小さいために実際に記録
媒体として用いてヘッドを媒体に接触させたとき媒体に
傷が入りやすい。上記の問題点を解決するために、非磁
性基板とパーマロイ層との間にＡｌ、Ｔｉなどからなる
層を形成することが検討されたが、パーマロイ層の結晶
成長が十分ではなく、したがって、その上にエピタキシ
ャル成長するＣｏ−Ｃｒ層の結晶性を良好にすることが
できなかった。
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記問題
点、すなわち、Ｃｏ−Ｃｒ／パーマロイ二層膜媒体の再
生出力が低くなってしまう点、およびパーマロイ層を高
速作製した際その抗磁力が高くなってしまう点を解決す
ることを目的とするものである。
点、すなわち、Ｃｏ−Ｃｒ／パーマロイ二層膜媒体の再
生出力が低くなってしまう点、およびパーマロイ層を高
速作製した際その抗磁力が高くなってしまう点を解決す
ることを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】すなわち、本発明は、非
磁性基板上に結晶質軟磁性パーマロイ層を介して垂直磁
化Ｃｏ−Ｃｒ層を形成した垂直磁気記録媒体において、
非磁性基板とパーマロイ層との間にＣｏ層又はＣｏ−Ｔ
ａ合金層を設けたことを特徴とする垂直磁気記録媒体に
関するものである。磁気記録媒体の基板としては、プラ
スチックフィルム、ガラス、Ａｌ板などがある。プラス
チック基板として具体的には、ポリイミドフィルム、ポ
リエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリアミドフィ
ルムを挙げられる。本発明の特徴は基板上にＣｏ層又は
Ｃｏ−Ｔａ合金層を結晶層として形成することである。
Ｃｏ層又はＣｏ−Ｔａ合金層上にパーマロイ合金層を形
成することによって、パーマロイ合金層のｆｃｃ（００
１）面の結晶性及び結晶配向性を良好にすることができ
る。Ｃｏ−Ｔａを合金として使用する場合には、Ｃｏ９
９〜７５重量％、Ｔａ１〜１０重量％が好ましい。又、
Ｃｏ層又はＣｏ−Ｔａ合金層の厚さは０．００５から１
μｍが好ましい。本発明で使用するパーマロイは，Ｎｉ
７０〜８５重量％とＦｅ１０〜３０重量％からなる基本
組成とし、さらにＣｕ，Ｍｏなどをそれぞれ５重量％以
下含んでもよい。パーマロイ層の厚さは０．２〜２μｍ
が望ましい。パーマロイ層は、その上に形成するＣｏ−
Ｃｒ層のｈｃｐ（００２）面の結晶性および結晶配向性
を良好とする。本発明で使用するＣｏ−Ｃｒ層は、Ｃｏ
７５〜９０重量％とＣｒ２５〜１０重量％からなる組成
である。Ｃｏ−Ｃｒ層の厚さは０．１〜０．３μｍが好
ましい。本発明において基板上に形成させる各層、すな
わち、Ｃｏ層又はＣｏ−Ｔａ合金層、パーマロイ層及び
Ｃｏ−Ｃｒ層は、スパッタリング法、イオンプレーティ
ング法、イオンビームスパッタリング法、真空蒸着法な
どの物理蒸着法（ドライプロセス）の同一製膜法によっ
て製膜することはできる。
磁性基板上に結晶質軟磁性パーマロイ層を介して垂直磁
化Ｃｏ−Ｃｒ層を形成した垂直磁気記録媒体において、
非磁性基板とパーマロイ層との間にＣｏ層又はＣｏ−Ｔ
ａ合金層を設けたことを特徴とする垂直磁気記録媒体に
関するものである。磁気記録媒体の基板としては、プラ
スチックフィルム、ガラス、Ａｌ板などがある。プラス
チック基板として具体的には、ポリイミドフィルム、ポ
リエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリアミドフィ
ルムを挙げられる。本発明の特徴は基板上にＣｏ層又は
Ｃｏ−Ｔａ合金層を結晶層として形成することである。
Ｃｏ層又はＣｏ−Ｔａ合金層上にパーマロイ合金層を形
成することによって、パーマロイ合金層のｆｃｃ（００
１）面の結晶性及び結晶配向性を良好にすることができ
る。Ｃｏ−Ｔａを合金として使用する場合には、Ｃｏ９
９〜７５重量％、Ｔａ１〜１０重量％が好ましい。又、
Ｃｏ層又はＣｏ−Ｔａ合金層の厚さは０．００５から１
μｍが好ましい。本発明で使用するパーマロイは，Ｎｉ
７０〜８５重量％とＦｅ１０〜３０重量％からなる基本
組成とし、さらにＣｕ，Ｍｏなどをそれぞれ５重量％以
下含んでもよい。パーマロイ層の厚さは０．２〜２μｍ
が望ましい。パーマロイ層は、その上に形成するＣｏ−
Ｃｒ層のｈｃｐ（００２）面の結晶性および結晶配向性
を良好とする。本発明で使用するＣｏ−Ｃｒ層は、Ｃｏ
７５〜９０重量％とＣｒ２５〜１０重量％からなる組成
である。Ｃｏ−Ｃｒ層の厚さは０．１〜０．３μｍが好
ましい。本発明において基板上に形成させる各層、すな
わち、Ｃｏ層又はＣｏ−Ｔａ合金層、パーマロイ層及び
Ｃｏ−Ｃｒ層は、スパッタリング法、イオンプレーティ
ング法、イオンビームスパッタリング法、真空蒸着法な
どの物理蒸着法（ドライプロセス）の同一製膜法によっ
て製膜することはできる。
【実施例】バッチ式マグネトロンスパッタリング装置で
直流電源を用い，真空槽内を真空に排気し、基板ポリイ
ミドフィルムを２００℃に加熱、脱ガス処理した後、ス
パッタリング前に，３×１０-7Ｔｏｒｒ以下に排気し、
基板を冷却水で冷やし高純度アルゴンガスを導入して、
Ｃｏ層または９５％Ｃｏ−５％Ｔａ層（厚さ：０．０３
μｍ）、パーマロイ層（厚さ：０．５μｍ）の順に製膜
した後、今度は基板温度が１５０℃に加熱し、同様にし
てＣｏ−Ｃｒ層（厚さ：０．１μｍ）を製膜し、磁気記
録媒体を得た。媒体の電磁変換特性は３．５インチのフ
ロッピーディスクに切り出して、ディスク評価装置（主
磁極励磁型ヘッドであり、主磁極：ＣｏＺｒＮｂ（Ｂｓ
＝１２５０００Ｇａｕｓｓ）、主磁極膜厚０．３μｍ、
トラック幅：１００μｍ、巻線数５０Ｔｕｒｎｓ、相対
速度２ｍ／ｓｅｃ）にて測定した。上記の方法で作製し
た媒体のパーマロイ層及びＣｏ−Ｃｒ層のＸ線ピーク強
度とΔθ50のＣｏ層またはＣｏ−Ｔａ層を用いた場合の
結果を表１に示す。比較のためにＣｏ層又はＣｏ−Ｔａ
合金層を含まない他は上記と同様にして作製した磁気記
録媒体の電磁変換特性を測定した。
直流電源を用い，真空槽内を真空に排気し、基板ポリイ
ミドフィルムを２００℃に加熱、脱ガス処理した後、ス
パッタリング前に，３×１０-7Ｔｏｒｒ以下に排気し、
基板を冷却水で冷やし高純度アルゴンガスを導入して、
Ｃｏ層または９５％Ｃｏ−５％Ｔａ層（厚さ：０．０３
μｍ）、パーマロイ層（厚さ：０．５μｍ）の順に製膜
した後、今度は基板温度が１５０℃に加熱し、同様にし
てＣｏ−Ｃｒ層（厚さ：０．１μｍ）を製膜し、磁気記
録媒体を得た。媒体の電磁変換特性は３．５インチのフ
ロッピーディスクに切り出して、ディスク評価装置（主
磁極励磁型ヘッドであり、主磁極：ＣｏＺｒＮｂ（Ｂｓ
＝１２５０００Ｇａｕｓｓ）、主磁極膜厚０．３μｍ、
トラック幅：１００μｍ、巻線数５０Ｔｕｒｎｓ、相対
速度２ｍ／ｓｅｃ）にて測定した。上記の方法で作製し
た媒体のパーマロイ層及びＣｏ−Ｃｒ層のＸ線ピーク強
度とΔθ50のＣｏ層またはＣｏ−Ｔａ層を用いた場合の
結果を表１に示す。比較のためにＣｏ層又はＣｏ−Ｔａ
合金層を含まない他は上記と同様にして作製した磁気記
録媒体の電磁変換特性を測定した。
【表１】 表１よりＣｏ層またはＣｏ−Ｔａ層を有する場合は、比
較例に比べてパーマロイ層のピーク強度で約７倍、Δθ
50は８．５ｄｅｇ．から４．０ｄｅｇ．と格段に良好に
なることが判る。
較例に比べてパーマロイ層のピーク強度で約７倍、Δθ
50は８．５ｄｅｇ．から４．０ｄｅｇ．と格段に良好に
なることが判る。
【発明の効果】本発明により、次の効果が確認された。 （１）軟磁性層の効果を損なうことなく、パーマロイ層
の結晶性・結晶配向性を良好にすることができるので、
パーマロイ層の上に製膜したＣｏ−Ｃｒ層はパーマロイ
層にエピタキシャル成長するためにＣｏ−Ｃｒ層の結晶
性・結晶配向性は向上する。 （２） Ｃｏ−Ｃｒ層の結晶性・結晶配向性が良好にな
ったためにその記録再生特性の高密度での再生電圧は従
来の二層膜媒体と比べて高くなる。 （３）パーマロイ層を高速作製してもその抗磁力は小さ
い。 （４）非磁性基板とＣｏ層又はＣｏ−Ｔａ合金層の接着
力が強いために、媒体表面にヘッドを当ててもキズが発
生しにくく耐久性が向上した。
の結晶性・結晶配向性を良好にすることができるので、
パーマロイ層の上に製膜したＣｏ−Ｃｒ層はパーマロイ
層にエピタキシャル成長するためにＣｏ−Ｃｒ層の結晶
性・結晶配向性は向上する。 （２） Ｃｏ−Ｃｒ層の結晶性・結晶配向性が良好にな
ったためにその記録再生特性の高密度での再生電圧は従
来の二層膜媒体と比べて高くなる。 （３）パーマロイ層を高速作製してもその抗磁力は小さ
い。 （４）非磁性基板とＣｏ層又はＣｏ−Ｔａ合金層の接着
力が強いために、媒体表面にヘッドを当ててもキズが発
生しにくく耐久性が向上した。
Claims (1)
- 【請求項１】 非磁性基板上に結晶質軟磁性パーマロイ
層を介して垂直磁化Ｃｏ−Ｃｒ層を形成した垂直磁気記
録媒体において、非磁性基板とパーマロイ層との間にＣ
ｏ層又はＣｏ−Ｔａ合金層を設けたことを特徴とする垂
直磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5235093A JPH06267052A (ja) | 1993-03-12 | 1993-03-12 | 垂直磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5235093A JPH06267052A (ja) | 1993-03-12 | 1993-03-12 | 垂直磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06267052A true JPH06267052A (ja) | 1994-09-22 |
Family
ID=12912366
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5235093A Pending JPH06267052A (ja) | 1993-03-12 | 1993-03-12 | 垂直磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06267052A (ja) |
-
1993
- 1993-03-12 JP JP5235093A patent/JPH06267052A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2001523032A (ja) | 高度に配向された磁気薄膜、これを用いた記録媒体、変換器、デバイス、および製造方法 | |
| JPH10188278A (ja) | クロム下層を有する高性能低ノイズ等方性磁気媒体の製造方法 | |
| US6372367B1 (en) | Magnetic recording medium, method for producing the same and magnetic recording apparatus using the same | |
| JPH0323972B2 (ja) | ||
| JPH0252845B2 (ja) | ||
| JP3222141B2 (ja) | 磁気記録媒体及び磁気記憶装置 | |
| JPH06267051A (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| JPH08180360A (ja) | 垂直磁気記録媒体及び磁気記録装置 | |
| JP3663289B2 (ja) | 磁気記録媒体及び磁気記憶装置 | |
| JPH06243453A (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| JPWO1996027187A1 (ja) | 磁気記録媒体及び磁気記憶装置 | |
| JPH09265619A (ja) | 磁気記録媒体、その製造方法及び磁気記憶装置 | |
| JP2001250223A (ja) | 磁気記録媒体及び磁気記録装置 | |
| JP3045797B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| JP3658586B2 (ja) | 磁気記録媒体、その製造方法及び磁気記憶装置 | |
| JP3520751B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体及びその製造方法及びそれを使用した記憶装置 | |
| JPH08115516A (ja) | 磁気記録媒体及び磁気記録装置 | |
| JP2725502B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH0315245B2 (ja) | ||
| JP2785276B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH0512647A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH08124141A (ja) | 磁気記録媒体及びそれを用いた磁気記録装置 | |
| JPS63124213A (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| JPS6356609B2 (ja) | ||
| JPH06104113A (ja) | 金属薄膜型磁気記録媒体 |