JPH0626831A - 表面形状計測方法および表面形状計測装置 - Google Patents
表面形状計測方法および表面形状計測装置Info
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- JPH0626831A JPH0626831A JP4204435A JP20443592A JPH0626831A JP H0626831 A JPH0626831 A JP H0626831A JP 4204435 A JP4204435 A JP 4204435A JP 20443592 A JP20443592 A JP 20443592A JP H0626831 A JPH0626831 A JP H0626831A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 被測定物の表面の少なくとも一部に測定用光
線を透過する光透過性当接体を接触または 0.1ｍｍ以内
の距離に近接させると同時に、被測定物の背面を大気圧
以上に加圧した流体で押圧し、被測定物の表面を光透過
性当接体に押圧しながら光透過性当接体を介し被測定物
の表面に光線を当てて、光学的手法により被測定物の表
面形状を計測し、実用状態に近い接触条件下における被
測定物の表面形状を計測する。 【構成】 被測定物の表面に光線を当てその反射光を利
用して表面形状を計測する光学的計測手段と、被測定物
の表面の少なくとも一部に光透過性当接体を接触または
0.1ｍｍ以内に近接させる手段と、被測定物の背面に流
体を接触させて押圧する流体押圧手段とを備え、被測定
物の表面を光透過性当接体に押圧しながら光透過性当接
体を介し被測定物の表面に光線を当てて、光学的手法に
より被測定物の表面形状を計測する表面形状計測方法と
その装置
線を透過する光透過性当接体を接触または 0.1ｍｍ以内
の距離に近接させると同時に、被測定物の背面を大気圧
以上に加圧した流体で押圧し、被測定物の表面を光透過
性当接体に押圧しながら光透過性当接体を介し被測定物
の表面に光線を当てて、光学的手法により被測定物の表
面形状を計測し、実用状態に近い接触条件下における被
測定物の表面形状を計測する。 【構成】 被測定物の表面に光線を当てその反射光を利
用して表面形状を計測する光学的計測手段と、被測定物
の表面の少なくとも一部に光透過性当接体を接触または
0.1ｍｍ以内に近接させる手段と、被測定物の背面に流
体を接触させて押圧する流体押圧手段とを備え、被測定
物の表面を光透過性当接体に押圧しながら光透過性当接
体を介し被測定物の表面に光線を当てて、光学的手法に
より被測定物の表面形状を計測する表面形状計測方法と
その装置
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は磁気テ−プ、フロッピ
−ディスク、プラスチックフィルム、研磨シ−ト等の軟
質材料およびその複合材料の表面形状を計測する方法と
その装置に関し、さらに詳しくは、磁気ヘッド等に摺接
させて使用されるこれらの材料の表面形状を、当接体を
接触させながら実用状態に近い接触条件下において計測
する方法とその装置に関する。
−ディスク、プラスチックフィルム、研磨シ−ト等の軟
質材料およびその複合材料の表面形状を計測する方法と
その装置に関し、さらに詳しくは、磁気ヘッド等に摺接
させて使用されるこれらの材料の表面形状を、当接体を
接触させながら実用状態に近い接触条件下において計測
する方法とその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】磁気テ−プ、フロッピ−ディスク等の高
密度磁気記録媒体では、記録再生出力の向上、高Ｓ／Ｎ
化のため、磁性層表面を可及的に平滑にすることが望ま
しい。しかしながら、磁性層表面を平滑にしすぎると摺
動ノイズを増加させたり、磁気ヘッドおよびガイド部材
等に対する摩擦・摩耗特性を劣化させたりすることがあ
る。
密度磁気記録媒体では、記録再生出力の向上、高Ｓ／Ｎ
化のため、磁性層表面を可及的に平滑にすることが望ま
しい。しかしながら、磁性層表面を平滑にしすぎると摺
動ノイズを増加させたり、磁気ヘッドおよびガイド部材
等に対する摩擦・摩耗特性を劣化させたりすることがあ
る。
【０００３】このため、磁性層表面の形状を精密に計測
し、解析して、平滑でなお微細な凹凸形状を有するよう
に制御する試みが行われており、このような磁性層の表
面形状計測方法として、たとえば、ランクテ−ラホブソ
ン社製；タリステップおよびタリサ−フ、東京精密社
製；サ−フコムなどの触針式表面形状測定機、ディジタ
ルインストゥルメント社製；ＮａｎｏｓｃｏｐｅIIなど
の走査型トンネル顕微鏡、エリオニクス社製；ＥＲＡ−
３０００などの電子顕微鏡等を用いることが行われてい
る。
し、解析して、平滑でなお微細な凹凸形状を有するよう
に制御する試みが行われており、このような磁性層の表
面形状計測方法として、たとえば、ランクテ−ラホブソ
ン社製；タリステップおよびタリサ−フ、東京精密社
製；サ−フコムなどの触針式表面形状測定機、ディジタ
ルインストゥルメント社製；ＮａｎｏｓｃｏｐｅIIなど
の走査型トンネル顕微鏡、エリオニクス社製；ＥＲＡ−
３０００などの電子顕微鏡等を用いることが行われてい
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが、これら従来
の表面形状測定機は、すべて大気中あるいは真空中にて
試料片を固定しその表面を無接触状態で計測するもので
あるため、磁性層表面が磁気ヘッド等と接触した状態で
の表面形状を測定することができない。そして、実用に
際しての磁性層表面は、磁気ヘッド等と接触しているた
め、これら従来の表面形状測定機により計測される無接
触力状態での表面形状に比べ、接触力による弾塑性変形
を生じている。また、磁気テ−プ、フロッピ−ディスク
等の軟質材料、あるいはその複合材料では、接触力によ
る表面凹凸中特に凸部の変形が大きく、そのため、従来
の表面形状計測結果では磁気記録媒体の諸特性を充分に
解明することができないという問題があった。
の表面形状測定機は、すべて大気中あるいは真空中にて
試料片を固定しその表面を無接触状態で計測するもので
あるため、磁性層表面が磁気ヘッド等と接触した状態で
の表面形状を測定することができない。そして、実用に
際しての磁性層表面は、磁気ヘッド等と接触しているた
め、これら従来の表面形状測定機により計測される無接
触力状態での表面形状に比べ、接触力による弾塑性変形
を生じている。また、磁気テ−プ、フロッピ−ディスク
等の軟質材料、あるいはその複合材料では、接触力によ
る表面凹凸中特に凸部の変形が大きく、そのため、従来
の表面形状計測結果では磁気記録媒体の諸特性を充分に
解明することができないという問題があった。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明はかかる欠点を
改善するため種々検討を行った結果なされたもので、被
測定物の表面に光線を当て、その反射光を利用して光学
的手法により被測定物の表面形状を計測する計測方法に
おいて、被測定物の表面の少なくとも一部に測定用光線
を透過する光透過性当接体を接触または 0.1ｍｍ以内の
距離に近接させると同時に、被測定物の背面を大気圧以
上に加圧した流体で押圧し、被測定物の表面を光透過性
当接体に押圧しながら光透過性当接体を介し被測定物の
表面に光線を当てて、光学的手法により被測定物の表面
形状を計測することによって、実用状態に近い接触条件
下における被測定物の表面形状を計測できるようにした
ものである。
改善するため種々検討を行った結果なされたもので、被
測定物の表面に光線を当て、その反射光を利用して光学
的手法により被測定物の表面形状を計測する計測方法に
おいて、被測定物の表面の少なくとも一部に測定用光線
を透過する光透過性当接体を接触または 0.1ｍｍ以内の
距離に近接させると同時に、被測定物の背面を大気圧以
上に加圧した流体で押圧し、被測定物の表面を光透過性
当接体に押圧しながら光透過性当接体を介し被測定物の
表面に光線を当てて、光学的手法により被測定物の表面
形状を計測することによって、実用状態に近い接触条件
下における被測定物の表面形状を計測できるようにした
ものである。
【０００６】
【実施例】以下、この発明に係る表面形状計測装置の一
実施例を示す図１に基づいて説明する。図１において、
１は被測定物であって押圧容器２上にパッキングリング
３を介して密封状態に支持され、試料押さえ４で上昇不
能に支持された光透過性当接体５の表面に接触または
0.1ｍｍ以内の距離に近接するように、スペ−サ−リン
グ６を介して挟持されている。
実施例を示す図１に基づいて説明する。図１において、
１は被測定物であって押圧容器２上にパッキングリング
３を介して密封状態に支持され、試料押さえ４で上昇不
能に支持された光透過性当接体５の表面に接触または
0.1ｍｍ以内の距離に近接するように、スペ−サ−リン
グ６を介して挟持されている。
【０００７】押圧容器２は圧力チュ−ブ７で圧力調整機
８に連通連結され、圧力調整機８で大気圧以上に加圧し
た気体あるいは液体などの押圧流体９が供給されると、
この押圧容器２に供給される押圧流体９により被測定物
１の背面が矢印で示すように押圧されて、被測定物１の
表面が光透過性当接体５に押圧される。このときの押圧
力は圧力チュ−ブ７に取りつけられた圧力計１０によっ
て検出される。
８に連通連結され、圧力調整機８で大気圧以上に加圧し
た気体あるいは液体などの押圧流体９が供給されると、
この押圧容器２に供給される押圧流体９により被測定物
１の背面が矢印で示すように押圧されて、被測定物１の
表面が光透過性当接体５に押圧される。このときの押圧
力は圧力チュ−ブ７に取りつけられた圧力計１０によっ
て検出される。
【０００８】なお、スペ−サ−リング６は押圧流体９に
より被測定物１の表面が光透過性当接体５に押圧される
とき、被測定物１と光透過性当接体５との間の空気が密
封されて押圧力を相殺することがないように、空気抜き
用の間隙が設けられている。
より被測定物１の表面が光透過性当接体５に押圧される
とき、被測定物１と光透過性当接体５との間の空気が密
封されて押圧力を相殺することがないように、空気抜き
用の間隙が設けられている。
【０００９】１１は発光体１１ａ，レンズ１１ｂ，レン
ズ１１ｃ，アパ−チュアストップ１１ｄ，レンズ１１
ｅ，フィ−ルドストップ１１ｆ，レンズ１１ｇで構成さ
れた光源であり、この光源１１からの光は、スペクトラ
ルフィルタ１２を透過した後、光源ビ−ムスプリッタ１
３により反射されて下方に向かう。
ズ１１ｃ，アパ−チュアストップ１１ｄ，レンズ１１
ｅ，フィ−ルドストップ１１ｆ，レンズ１１ｇで構成さ
れた光源であり、この光源１１からの光は、スペクトラ
ルフィルタ１２を透過した後、光源ビ−ムスプリッタ１
３により反射されて下方に向かう。
【００１０】この下方に向かう反射光の一部は、リニッ
ク干渉計１４の干渉計ビ−ムスプリッタ１５を透過して
被測定物側対物レンズ１６に至り、この被測定物側対物
レンズ１６により、光透過性当接体５を通して被測定物
１の凹凸を有する表面で焦点が結ばれる。そして、被測
定物１の表面で反射された光は、再度光透過性当接体５
を経て、被測定物側対物レンズ１６に戻り、さらに干渉
計ビ−ムスプリッタ１５を透過して上方に向かう。
ク干渉計１４の干渉計ビ−ムスプリッタ１５を透過して
被測定物側対物レンズ１６に至り、この被測定物側対物
レンズ１６により、光透過性当接体５を通して被測定物
１の凹凸を有する表面で焦点が結ばれる。そして、被測
定物１の表面で反射された光は、再度光透過性当接体５
を経て、被測定物側対物レンズ１６に戻り、さらに干渉
計ビ−ムスプリッタ１５を透過して上方に向かう。
【００１１】また、リニック干渉計１４に入射された光
の一部は干渉計ビ−ムスプリッタ１５により反射されて
参照面側対物レンズ１７に至り、この参照面側対物レン
ズ１７により、光路長補正板１８を通して参照面１９に
焦点が結ばれる。そして、参照面１９からの反射光は、
光路長補正板１８を経て、参照面側対物レンズ１７に戻
り、さらに干渉計ビ−ムスプリッタ１５で反射されて上
方へ向かう。
の一部は干渉計ビ−ムスプリッタ１５により反射されて
参照面側対物レンズ１７に至り、この参照面側対物レン
ズ１７により、光路長補正板１８を通して参照面１９に
焦点が結ばれる。そして、参照面１９からの反射光は、
光路長補正板１８を経て、参照面側対物レンズ１７に戻
り、さらに干渉計ビ−ムスプリッタ１５で反射されて上
方へ向かう。
【００１２】この時、この干渉計ビ−ムスプリッタ１５
で反射されて上方へ向かう反射光と、前記の被測定物１
の表面で反射され、干渉計ビ−ムスプリッタ１５を透過
して上方に向かう反射光が重なって干渉し、被測定物１
の表面の凹凸に対応した干渉縞が発生する。そして、こ
の干渉縞はカメラ側対物レンズ２０を介してカメラ２１
に至り、カメラ２１にて電気映像信号に変換される。
で反射されて上方へ向かう反射光と、前記の被測定物１
の表面で反射され、干渉計ビ−ムスプリッタ１５を透過
して上方に向かう反射光が重なって干渉し、被測定物１
の表面の凹凸に対応した干渉縞が発生する。そして、こ
の干渉縞はカメラ側対物レンズ２０を介してカメラ２１
に至り、カメラ２１にて電気映像信号に変換される。
【００１３】しかして、この干渉縞から、たとえば、Ｋ
ａｔｈｅｒｉｎｅ Ｃｒｅａｔｈ：ＣＯＭＰＡＲＩＳＯ
Ｎ ＯＦ ＰＨＡＳＥ−ＭＥＡＳＵＲＥＭＥＮＴ ＡＬ
ＧＯＲＩＴＨＭＳ，ＳＰＩＥ Ｖｏｌ（１９８６）に記
載された縞走査法を用いて被測定物１の表面形状を求め
ることができ、被測定物１の表面に光透過性当接体５を
接触させた状態で、被測定物１の表面形状を計測するこ
とができる。
ａｔｈｅｒｉｎｅ Ｃｒｅａｔｈ：ＣＯＭＰＡＲＩＳＯ
Ｎ ＯＦ ＰＨＡＳＥ−ＭＥＡＳＵＲＥＭＥＮＴ ＡＬ
ＧＯＲＩＴＨＭＳ，ＳＰＩＥ Ｖｏｌ（１９８６）に記
載された縞走査法を用いて被測定物１の表面形状を求め
ることができ、被測定物１の表面に光透過性当接体５を
接触させた状態で、被測定物１の表面形状を計測するこ
とができる。
【００１４】従って、この方法および装置によれば、磁
気ヘッド等に摺接して使用される磁気記録媒体のよう
に、被測定物１が接触状態で使用される場合、実用状態
に近い接触条件下における被測定物１の表面形状を計測
することができる。
気ヘッド等に摺接して使用される磁気記録媒体のよう
に、被測定物１が接触状態で使用される場合、実用状態
に近い接触条件下における被測定物１の表面形状を計測
することができる。
【００１５】ここで、光透過性当接体５としては、被測
定物１の表面に実用状態に近い接触条件を与えるような
種々の形状、材質の物を用いることができるが、その材
質は表面形状計測のための測定用光線を最小限透過する
ものを選定する必要がある。また、光透過性当接体５は
被測定物１の表面の少なくとも一部に接触させるか、あ
るいは被測定物１の表面との離間距離が 0.1ｍｍ以内と
なるように近接させるのが好ましい。
定物１の表面に実用状態に近い接触条件を与えるような
種々の形状、材質の物を用いることができるが、その材
質は表面形状計測のための測定用光線を最小限透過する
ものを選定する必要がある。また、光透過性当接体５は
被測定物１の表面の少なくとも一部に接触させるか、あ
るいは被測定物１の表面との離間距離が 0.1ｍｍ以内と
なるように近接させるのが好ましい。
【００１６】なお、被測定物１を押圧流体９で光透過性
当接体５に押圧する場合、被測定物側対物レンズ１６等
の高さ方向の測定範囲を越えないように注意し、表面形
状計測デ−タに対し被測定物１が曲面状となるエラ−を
補正する必要がある。
当接体５に押圧する場合、被測定物側対物レンズ１６等
の高さ方向の測定範囲を越えないように注意し、表面形
状計測デ−タに対し被測定物１が曲面状となるエラ−を
補正する必要がある。
【００１７】また、被測定物１の裏面を押圧する押圧流
体９は、大気圧以上に加圧した気体あるいは液体である
ことが好ましく、空気、窒素ガス、炭酸ガス、アルゴン
ガスなどの気体や水、オイルなどの液体が用いられる。
体９は、大気圧以上に加圧した気体あるいは液体である
ことが好ましく、空気、窒素ガス、炭酸ガス、アルゴン
ガスなどの気体や水、オイルなどの液体が用いられる。
【００１８】さらに、リニック干渉計１４の参照面１９
前面に設けた光路長補正板１８は、試料側の測定用光線
の光路長が、光透過性当接体５の内部を透過する際、通
常の大気中計測に比べ屈折率倍長くなる分、参照面１９
側の光路長を補正するために設けたものである。そのた
め、光透過性当接体５とほぼ同じ材料、厚み、仕上げ加
工のものを用いるのが好ましい。しかしながら、光路長
補正板１８と光透過性当接体５とは必ずしも同一材料で
ある必要はなく、厚みを調整して光路長を補正すること
も可能である。また光路長補正板１８を参照面１９から
適当に離してもよく、さらには、干渉計ビ−ムスプリッ
タ１５と参照面対物レンズ１７の間に挿入しても同等の
効果が得られる。
前面に設けた光路長補正板１８は、試料側の測定用光線
の光路長が、光透過性当接体５の内部を透過する際、通
常の大気中計測に比べ屈折率倍長くなる分、参照面１９
側の光路長を補正するために設けたものである。そのた
め、光透過性当接体５とほぼ同じ材料、厚み、仕上げ加
工のものを用いるのが好ましい。しかしながら、光路長
補正板１８と光透過性当接体５とは必ずしも同一材料で
ある必要はなく、厚みを調整して光路長を補正すること
も可能である。また光路長補正板１８を参照面１９から
適当に離してもよく、さらには、干渉計ビ−ムスプリッ
タ１５と参照面対物レンズ１７の間に挿入しても同等の
効果が得られる。
【００１９】なお、干渉縞から面形状を求める方法とし
て、縞走査法を用いるときは、参照面側対物レンズ１
７、光路長補正板１８、参照面１９を一体構造化し、ピ
エゾ素子により光軸方向に微動できるよう構成するのが
好ましい。
て、縞走査法を用いるときは、参照面側対物レンズ１
７、光路長補正板１８、参照面１９を一体構造化し、ピ
エゾ素子により光軸方向に微動できるよう構成するのが
好ましい。
【００２０】また、以上の実施例では光学式の表面形状
計測方法として光干渉方式を用いたが、光干渉方式に限
定されるものではなく、たとえば、小坂研究所社製；Ｅ
Ｔ−３０ＨＫなどの光焦点エラ−検出式表面形状測定機
を用いた光焦点エラ−検出方式など他の方法を用いても
よく、特に、小坂研究所社製；ＥＴ−３０ＨＫなどの光
焦点エラ−検出式表面形状測定機を用ると、光路長補正
板などを必要とせず、そのまま利用できるため、光焦点
エラ−検出方式に適用するのがより好ましい。
計測方法として光干渉方式を用いたが、光干渉方式に限
定されるものではなく、たとえば、小坂研究所社製；Ｅ
Ｔ−３０ＨＫなどの光焦点エラ−検出式表面形状測定機
を用いた光焦点エラ−検出方式など他の方法を用いても
よく、特に、小坂研究所社製；ＥＴ−３０ＨＫなどの光
焦点エラ−検出式表面形状測定機を用ると、光路長補正
板などを必要とせず、そのまま利用できるため、光焦点
エラ−検出方式に適用するのがより好ましい。
【００２１】以下、図１に示す表面形状計測装置を用い
て、ビデオテ−プの磁性層表面の表面形状を計測した試
験例について説明する。 試験例１ 強磁性金属鉄粉末（保磁力１６００エルステッド、飽和磁 １００重量部 化量１２０emu/ｇ、長軸径0.18μｍ、軸比１０） 水酸基含有塩化ビニル系樹脂 １０ 〃 熱可塑性ポリウレタン樹脂 ７ 〃 アルミナ（粒径 0.2μｍ） ８ 〃 ミリスチン酸 ２ 〃 ベンガラ（粒径 0.8μｍ） ２ 〃 シ−スト５Ｈ（東海カ−ボン社製；カ−ボンブラック、粒 ２ 〃 径２０ｍμ） シクロヘキサノン ７０ 〃 トルエン ７０ 〃
て、ビデオテ−プの磁性層表面の表面形状を計測した試
験例について説明する。 試験例１ 強磁性金属鉄粉末（保磁力１６００エルステッド、飽和磁 １００重量部 化量１２０emu/ｇ、長軸径0.18μｍ、軸比１０） 水酸基含有塩化ビニル系樹脂 １０ 〃 熱可塑性ポリウレタン樹脂 ７ 〃 アルミナ（粒径 0.2μｍ） ８ 〃 ミリスチン酸 ２ 〃 ベンガラ（粒径 0.8μｍ） ２ 〃 シ−スト５Ｈ（東海カ−ボン社製；カ−ボンブラック、粒 ２ 〃 径２０ｍμ） シクロヘキサノン ７０ 〃 トルエン ７０ 〃
【００２２】この組成物をボ−ルミル中で９６時間混合
分散した後、さらに、三官能性ポリイソシアネ−ト化合
物を５重量部加え、５分間撹拌して磁性塗料を調製し
た。この磁性塗料を厚み１０μｍの二軸配向ポリエチレ
ンテレフタレ−トフィルム上に、乾燥後の厚さが 2.5μ
ｍとなるよう塗布、乾燥し、カレンダ処理を行った後、
所定の幅に裁断してビデオテ−プをつくった。なお、表
面形状計測装置の効果を確認しやすくするためカレンダ
処理は弱めに調整し、磁性層表面を市販のメタルビデオ
テ−プよりは粗面とした。
分散した後、さらに、三官能性ポリイソシアネ−ト化合
物を５重量部加え、５分間撹拌して磁性塗料を調製し
た。この磁性塗料を厚み１０μｍの二軸配向ポリエチレ
ンテレフタレ−トフィルム上に、乾燥後の厚さが 2.5μ
ｍとなるよう塗布、乾燥し、カレンダ処理を行った後、
所定の幅に裁断してビデオテ−プをつくった。なお、表
面形状計測装置の効果を確認しやすくするためカレンダ
処理は弱めに調整し、磁性層表面を市販のメタルビデオ
テ−プよりは粗面とした。
【００２３】次いで、図１に示す表面形状計測装置にお
いて、下記に対応して示す各部材 光透過性当接体５ ：顕微鏡用のカバ−グラス（屈折率
1.52） 押圧流体９ ：空気 計測光学系 ：ＷＹＫＯ社製；ＴＯＰＯ−３Ｄ リニック干渉計１４：ＷＹＫＯ社製；対物ヘッドＬＸ−
４０を一部改造し光路長補正板１８を挿入したもの 光路補正板１８ ：顕微鏡用のカバ−グラス（屈折率
1.52） をそれぞれ用いて、圧力計１０の指示値をそれぞれ０ｇ
／ｍｍ2 、１００ｇ／ｍｍ2 、２００ｇ／ｍｍ2 の３段
階に調整した時のビデオテ−プの表面形状を計測し、表
面粗さとしてＲａ（中心線平均粗さ）およびＲｔ（最大
高さ）を求めた。
いて、下記に対応して示す各部材 光透過性当接体５ ：顕微鏡用のカバ−グラス（屈折率
1.52） 押圧流体９ ：空気 計測光学系 ：ＷＹＫＯ社製；ＴＯＰＯ−３Ｄ リニック干渉計１４：ＷＹＫＯ社製；対物ヘッドＬＸ−
４０を一部改造し光路長補正板１８を挿入したもの 光路補正板１８ ：顕微鏡用のカバ−グラス（屈折率
1.52） をそれぞれ用いて、圧力計１０の指示値をそれぞれ０ｇ
／ｍｍ2 、１００ｇ／ｍｍ2 、２００ｇ／ｍｍ2 の３段
階に調整した時のビデオテ−プの表面形状を計測し、表
面粗さとしてＲａ（中心線平均粗さ）およびＲｔ（最大
高さ）を求めた。
【００２４】試験例２ 試験例１で用いたビデオテ−プを、オプチカルフラット
にしわが発生しないように裏面を水でぬらして貼り付
け、ＷＹＫＯ社製；ＴＯＰＯ−３Ｄにリニック干渉計Ｌ
Ｘ−４０（光路長補正板なし）を取りつけて、大気中に
てその表面形状を計測し、表面粗さＲａおよびＲｔを求
めた。下記表１はその結果である。
にしわが発生しないように裏面を水でぬらして貼り付
け、ＷＹＫＯ社製；ＴＯＰＯ−３Ｄにリニック干渉計Ｌ
Ｘ−４０（光路長補正板なし）を取りつけて、大気中に
てその表面形状を計測し、表面粗さＲａおよびＲｔを求
めた。下記表１はその結果である。
【００２５】
【００２６】上記表１から明らかなように、この発明に
よる表面形状計測方法（試験例１）では、圧力計１０の
指示値を０ｇ／ｍｍ2 としたときは通常の表面形状計測
方法の試験例２による結果とほぼ同等の結果が得られ
た。また、圧力計１０の指示値を１００ｇ／ｍｍ2 およ
び２００ｇ／ｍｍ2 とした場合、０ｇ／ｍｍ2 としたと
きに比べて特にＲｔが減少し、これにより、ビデオテ−
プ表面の凸部が接触力により弾性変形してつぶれている
ことがわかる。
よる表面形状計測方法（試験例１）では、圧力計１０の
指示値を０ｇ／ｍｍ2 としたときは通常の表面形状計測
方法の試験例２による結果とほぼ同等の結果が得られ
た。また、圧力計１０の指示値を１００ｇ／ｍｍ2 およ
び２００ｇ／ｍｍ2 とした場合、０ｇ／ｍｍ2 としたと
きに比べて特にＲｔが減少し、これにより、ビデオテ−
プ表面の凸部が接触力により弾性変形してつぶれている
ことがわかる。
【００２７】
【発明の効果】以上説明したように、この発明の表面形
状計測方法及び表面形状計測装置によれば、磁気ヘッド
等に摺接させて使用される材料の表面形状を、実用状態
に近い接触条件下において計測することができる。
状計測方法及び表面形状計測装置によれば、磁気ヘッド
等に摺接させて使用される材料の表面形状を、実用状態
に近い接触条件下において計測することができる。
【図１】この発明の表面形状計測装置の一実施例を示す
概略説明図である。
概略説明図である。
１ 被測定物 ２ 圧力容器 ３ パッキングリング ４ 試料押さえ ５ 光透過性当接体 ６ スペ−サ−リング ７ 圧力チュ−プ ８ 圧力調整機 ９ 押圧流体 １０ 圧力計 １１ 光源 １２ スペクトラルフィルタ １３ 光源ビ−ムスプリッタ １４ リニック干渉計 １５ 干渉計ビ−ムスプリッタ １６ 被測定物側対物レンズ
Claims (2)
- 【請求項１】 被測定物の表面に光線を当て、その反射
光を利用して光学的手法により被測定物の表面形状を計
測する計測方法において、被測定物の表面の少なくとも
一部に測定用光線を透過する光透過性当接体を接触また
は 0.1ｍｍ以内の距離に近接させると同時に、被測定物
の背面を大気圧以上に加圧した流体で押圧し、被測定物
の表面を光透過性当接体に押圧しながら光透過性当接体
を介し被測定物の表面に光線を当てて、光学的手法によ
り被測定物の表面形状を計測することを特徴とする表面
形状計測方法 - 【請求項２】 被測定物の表面に光線を当て、その反射
光を利用して光学的手法により被測定物の表面形状を計
測する光学的計測手段と、被測定物の表面の少なくとも
一部に測定用光線を透過する光透過性当接体を接触また
は 0.1ｍｍ以内に近接させる手段と、被測定物の背面に
流体を接触させて押圧する流体押圧手段とを備え、被測
定物の表面を光透過性当接体に押圧しながら光透過性当
接体を介し被測定物の表面に光線を当てて、光学的手法
により被測定物の表面形状を計測する表面形状計測装置
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4204435A JPH0626831A (ja) | 1992-07-07 | 1992-07-07 | 表面形状計測方法および表面形状計測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4204435A JPH0626831A (ja) | 1992-07-07 | 1992-07-07 | 表面形状計測方法および表面形状計測装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0626831A true JPH0626831A (ja) | 1994-02-04 |
Family
ID=16490493
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4204435A Withdrawn JPH0626831A (ja) | 1992-07-07 | 1992-07-07 | 表面形状計測方法および表面形状計測装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0626831A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010528316A (ja) * | 2007-05-30 | 2010-08-19 | フィブロ システム アーベー | 材料表面の表面状態の測定方法および装置 |
-
1992
- 1992-07-07 JP JP4204435A patent/JPH0626831A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010528316A (ja) * | 2007-05-30 | 2010-08-19 | フィブロ システム アーベー | 材料表面の表面状態の測定方法および装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19991005 |