JPH062700U - 半導体ウエハ用バスケット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 強度と処理液の流動性を向上させ、特に大径
で重量および厚みのある半導体ウエハにも対応し得る半
導体ウエハ用バスケツトである。 【構成】 内面にウエハＷの挿入溝４１，４２を形成す
る多数のリブ３９，４０を設けた両側壁３１，３２と、
両側壁３１，３２間を連結する各支持板３３，３４と、
両側壁３１，３２の下方に位置する脚台部３７，３８と
で上下が開口する箱形に形成され、両側壁３１，３２は
下部側が内側へ傾斜状に延在されて各リブ３９，４０が
終端する下端部にはウエハＷの下方縁部を担持する第１
の受台部３５Ａ，３６Ａが形成され、その斜め下方の延
長線上には傾斜状をした第２の受台部３５Ｂ，３６Ｂが
脚台部３７，３８の上面に形成され、第２の受台部３５
Ｂ，３６Ｂには担持したウエハＷを隔置させる間隔保持
部材４７，４８がリブ３９，４０と整合するピッチで突
設され、第１の受台部３５Ａ，３６Ａと第２の受台部３
５Ｂ，３６Ｂ間には幅広な開放窓孔４５，４６が穿設さ
れている。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、多数の半導体ウエハを所定ピッチ毎に並列状に整列して収納させ、 洗浄やエッチングおよび乾燥等の処理を行う半導体ウエハ用バスケツトに関し、 特に大径の半導体ウエハに適する半導体ウエハ用バスケツトに関する。

【０００２】

【従来の技術】

この種の半導体ウエハ用バスケツトとしては、例えば本件出願人が先に提案し た実公平２−２５２３３号に開示されているものがある。 このバスケツトＡは、図５乃至図７で示すように全体が弗素樹脂材で一体成型 され、長手方向に沿って平行する両側壁１，３の両端部間を短手方向に沿う支持 板１３，１４で各々連結すると共に、当該両側壁１，３の下方にはウエハＷを担 持する台部５，６が内側へ対向状に各々突設され、上下が開口された箱形に形成 されている。 上記両側壁１，３の内面には、ウエハＷが挿入される縦方向へ延在する多数の リブ２，４が当該両側壁１，３の長手方向へ所定ピッチ毎に並列状に設けられ、 これらリブ２，４の間には両側壁１，３の内外を連通させる縦長のスリット７， ８が穿設されている。 また、上記台部５，６の傾斜上面５ａ，６ａにも上記リブ２，４に連続して内 向き傾斜状に延在するリブ９，１０が突設され、これらリブ９，１０の間にも両 側壁１，３の内外を連通させる縦長のスリット１１，１２が各々穿設され、上記 スリット７とスリット１１またスリット８とスリット１２はウエハＷの挿入方向 に沿って各々上下に整合状態で配設されている。

【０００３】 上記のバスケツトＡにウエハＷを収納する際には、ウエハＷをリブ２，４の間 に挿入させると、落下しながらこれに連続するリブ９，１０の間に達した当該ウ エハＷの下方縁部が上記台部５，６の傾斜上面５ａ，６ａに担持される。 このようにしてバスケツトＡ内へ収納された多数のウエハＷは、上記リブ２， ４およびリブ９，１０によって間隔が保持され、整列状態で隔置されると共に、 上記スリット７，８およびスリット１１，１２によって処理液の流通や液切れが 良くなって均一で良好な処理を行うことができる。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

ところが、この種の半導体ウエハは近年の著しい技術革新によって大径のもの の製造が可能になり、また出来るだけ大径の半導体ウエハを造ってこれからチッ プを切り出すようにしたほうが生産効率が高く経済的である等の理由から次第に 大径化し、最近では直径８インチのものも規格化されている。 この大径化に伴って半導体ウエハは重量が増し、割れや変形を防止するために 厚みも増してくるので、これに適合するようにバスケツトの形状も大きくしなけ ればならないことは勿論であるが、それだけに止どまらずバスケツトは今迄以上 に均一で良好な処理が可能なものを要求されるので、上記した従来構造のバスケ ツトを単に形状だけ大きくしただけでは十分に対応できなくなる。

【０００５】 例えば、大径ウエハを上記した従来構造のバスケットＡに収納した場合に、ウ エハＷの下方縁部を担持する台部５，６の傾斜上面５ａ，６ａはウエハ重量の増 加によって今迄以上に大きな落下時の衝撃と荷重を受ける。ところが、この傾斜 上面５ａ，６ａはスリット１１，１２により中間部が切り欠かれているので受圧 面積が少なく、このために単位面積当たり大きな荷重を受けると共に、特にスリ ット１１，１２の口縁部はウエハＷの縁部によって大きな落下衝撃を受ける。 このために、ウエハＷの出し入れを頻繁に繰り返すうちにこれを担持する傾斜 上面５ａ，６ａが凹んだり、スリット１１，１２の口縁部が損傷したり、ウエハ Ｗが刺さり込んだりしてウエハＷの出し入れが不能となる恐れがあると共に、削 り取られた微細な破片が処理液中に混入してウエハＷに付着したり処理液を汚染 させて当該ウエハＷの性能を著しく低下させて使用不能にさせる。

【０００６】 また従来構造のバスケットＡでは、上記スリット７とスリット１１またスリッ ト８とスリット１２が、各々ウエハＷの挿入方向に沿って各々整合状態で上下に 配設されているので、厚いウエハＷを隣接する各リブ２，２間と各リブ９，９間 および各リブ４，４間と各リブ１０，１０間に各々挿入されると、当該ウエハＷ で全ての各スリット７，８，１１，１２の一部が今迄以上に内側から閉塞され、 処理液の流動が悪くなってしまうことになる。特に厚みを増加した大径ウエハの 場合には、液切れを良くするため最も重要な下部側の各スリット１１，１２がそ の厚み増加分だけ塞がれるので、ここに処理液が滞留し易くなって均一で良好な 処理を行う上できわめて好ましくなかった。 しかし、これを防ぐために各リブ間のピッチを大きくして間隔を広げると、ウ エハＷの収納枚数が少なくなって処理能力が低下すると共に、各リブ間でウエハ Ｗが揺動する遊び空間が大きくなって隣接するウエハＷが相互に接触して損傷す る恐れもあるので、むやみにピッチを大きくすることはできない。

【０００７】 更に、上記した各スリット７，８，１１，１２のうちで特に台部５，６に穿設 された傾斜状のスリット１１，１２は、上下方向へ連通されて最後の液切れを行 う極めて重要な個所であり、このスリット１１，１２が上記のようにウエハＷで 閉塞されたり、落下したウエハＷの衝撃等でスリット１１，１２の口縁部が損傷 して滑面が毛羽立つた状態になると、この部分で処理液の澱みを生じて均一な処 理ができなくなる。 そこで本考案では、これらの課題を解決して大径で重量や厚みの増加したウエ ハに適合し得る半導体ウエハ用バスケットの提供を目的とするものである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】

上記した課題を解決するために本考案の半導体ウエハ用バスケットでは、内面 にウエハの挿入溝を形成する縦方向に延在した多数のリブが長手方向へ所定ピッ チ毎に並列状に設けられた両側壁と、この両側壁の両端部間を各々連結する左右 の支持板と、両側壁の下方に位置して当該両側壁の内側へ対向状に各々突設され た脚台部とで上下が開口する箱形に形成され、上記の各リブを含む両側壁は上部 側がほぼ垂直状で下部側は内側へ傾斜状に延在されると共に、当該各リブが終端 する両側壁の下端部には挿入されたウエハの下方縁部を担持する第１の受台部が 形成され、この第１の受台部の斜め下方には当該受台部の傾斜面の延長線上に沿 った傾斜状をした第２の受台部が上記脚台部の上面に形成され、この第２の受台 部には担持したウエハを隔置させる間隔保持部材が上記リブと整合する所定ピッ チ毎に並列状に突設され、上記した第１の受台部と第２の受台部との間には幅広 な開放窓孔が穿設されている。

【０００９】

【実施例】

以下に、本考案を図１乃至図４で図示の実施例に基づいて詳細に説明する。 このバスケツト３０は、長手方向に沿って平行する両側壁３１，３２と、この 両側壁３１，３２の両端部間を各々連結する左右の支持板３３，３４と、両側壁 ３１，３２の下方に位置して当該両側壁３１，３２の内側へ対向状に設けられた 脚台部３７，３８とで上下が開口する箱形に形成され、全体が弗素樹脂材で一体 成型されている。このバスケツト３０には、収納されされたウエハＷの下方縁部 を担持するために傾斜状をした受台部が設けられているが、この受台部は上記し た両側壁３１，３２の下端部に形成された第１の受台部３５Ａ，３６Ａと、上記 した脚台部３７，３８の上面に形成された第２の受台部３５Ｂ，３６Ｂとで構成 されている。

【００１０】 上記両側壁３１，３２の内面には、隣接相互間にウエハＷの挿入溝４１，４２ を形成する縦方向へ延在した多数のリブ３９，４０が当該両側壁３１，３２の長 手方向へ所定ピッチ毎に並列状に設けられ、この挿入溝４１，４２の背部にはバ スケツト３０の内外を連通させる縦長のスリット４１ａ，４２ａが穿設されてい る。また、上記両側壁３１，３２と各リブ３９，４０は上部側がほぼ垂直状で下 部側は内側へ傾斜状に延在されていると共に、各リブ３９，４０は互いに対向状 に突設されている。またこれらの各リブ３９，４０は、中間部において隣接する 相互間が補強リブ４３，４４によって連結され、当該各リブ３９，４０は上記し た第１の受台部３５Ａ，３６Ａに終端部分が連結されている。

【００１１】 次に、上記した第１の受台部３５Ａ，３６Ａと第２の受台部３５Ｂ，３６Ｂと の間にはバスケツト３０の内外を連通させる幅広な開放窓孔４５，４６が穿設さ れ、一部は適宜数の補強リブ４５ａ，４６ａによって連結されている。また、第 ２の受台部３５Ｂ，３６Ｂには担持したウエハＷの下方縁部を係止して隔置させ る間隔保持部材としての位置決め突起４７，４８が設けられている。この位置決 め突起４７，４８は、上記各リブ３９，４０の延長線上に整合する態様で所定ピ ッチ毎に並列状に配設されており、当該位置決め突起４７，４８は円錐台形状で 隣接する位置決め突起の基部側相互間に形成される間隔が、上記各リブ３９，４ ０の隣接相互間の間隔よりも僅かに狭くなるようにしている。尚、上記した第１ の受台部３５Ａ，３６Ａと第２の受台部３５Ｂ，３６ＢはウエハＷの外周面に適 合する円弧状面に形成されている。

【００１２】 上記のバスケツト３０にウエハＷを収納する際に、ウエハＷをリブ３９，４０ の隣接相互間に形成された挿入溝４１，４２に挿入させると、ウエハＷは上記リ ブ３９，４０および位置決め突起４７，４８によって隣接相互間の間隔が保持さ れた整列状態で隔置され、その下方縁部は第１の受台部３５Ａ，３６Ａおよび第 ２の受台部３５Ｂ，３６Ｂの傾斜状をした内面によってそれぞれ担持される。 このように第１の受台部３５Ａ，３６Ａと第２の受台部３５Ｂ，３６Ｂとによ ってウエハＷの下方縁部を２点で担持すると、ウエハＷの挿入時に落下衝撃が側 壁３１，３２側と脚台部３７，３８側とに分散されるので、大径で重量があるウ エハＷであっても落下衝撃による当該ウエハＷの破損や損傷およびバスケツト３ ０の損傷や変形を軽減させることができる。 また、挿入されたウエハＷの下方縁部は点接触状態で２点支持されると共に、 その中間部にはバスケツト３０の内外を連通させる幅広な開放窓孔４５，４６が 穿設されているので、大径で厚みのあるウエハＷであっても洗浄液その他の処理 液に対する液切れを良くすることができる。 更に、バスケツト３０内の各ウエハＷは上部側はリブ３９，４０により下部側 は位置決め突起４７，４８によってそれぞれ所定間隔に隔置されるようにしたの で、従来構造のバスケツトに比べてウエハＷの挿入が容易で且つ間隔保持を確実 にすることができる。すなわち、リブ３９，４０と位置決め突起４７，４８との 隣接相互間が形成する挿通幅は、従来構造の一連のリブの場合のように一定では なく異なった所望幅に設定させることができるので、例えば上記実施例のように リブ３９，４０側ではウエハＷの挿入が容易で且つ挿入されたウエハＷによるス リット４１，４２の閉塞を少なくするために上部側が揺動可能なように挿通幅を 広くし、位置決め突起４７，４８側では揺動した隣接するウエハＷ相互が接触し ないように挿通幅を狭くして間隔保持を計ることができる。

【００１３】 尚、本考案は上記した実施例に限定されるものではなく、要旨の範囲内におい て各種の変形を採り得るものである。 例えば、上記した位置決め突起４７，４８の代わりに、リブ３９，４０とは分 離された短尺のリブを間隔保持部材とするようにしても良い。また、上記した開 放窓孔４５，４６間の補強リブ４５ａ，４６ａは省略することができる。更に、 上記した挿入溝４１，４２の背部にスリット４１ａ，４２ａを穿設しないで全面 を側壁にして有底の挿入溝によるバスケツト構造とすることもできる。

【００１４】

【考案の効果】

上記した実施例でも明らかなように、本考案による半導体ウエハ用バスケット では次のような効果を奏する。 このバスケツトでは、収納されるウエハの下方縁部を第１の受台部と第２の受 台部の傾斜状をした内面によってそれぞれ担持して挿入時の落下衝撃を側壁側と 脚台部側とに分散されるようにしたので、大径で重量のあるウエハであっても落 下衝撃によるウエハの破損や損傷およびバスケツトの損傷や変形を軽減させるこ とができる。 また、挿入されたウエハの下方縁部は点接触状態で２点支持されると共に、そ の中間部にはバスケツトの内外を連通させる幅広な開放窓孔が穿設されているの で、大径で厚みのあるウエハであっても洗浄液などの処理液が滞留が防止されて 液切れを良くすることができる。 更に、収納されたウエハは上部側が側壁のリブで下部側は当該リブとは分離形 成された脚台部側の間隔保持部材によってそれぞれ間隔保持された整列状態で隔 置されるので、従来構造の一連のリブの場合のようにウエハの挿入される挿通幅 が一定に規制されずに、ウエハの挿入並びに当該ウエハに対する処理液の流動に 適した所望の挿通幅に個別に設定させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の実施例による半導体ウエハ用バスケッ
トの一部を破断して示す要部斜視図。

【図２】同バスケットの全体を示す平面図。

【図３】同バスケットの全体を示す正面図。

【図４】図２のＢ−Ｃ線に沿った縦断面図。

【図５】従来例による半導体ウエハ用バスケットの全体
斜視図。

【図６】同バスケットの正面図。

【図７】図６のＢ−Ｂ線に沿った縦断面図。

【符号の説明】

３０ バスケツト ３１，３２ 側壁 ３３，３４ 支持板 ３５Ａ，３６Ａ
第１の受台部 ３５Ｂ，３６Ｂ 第２の受台部 ３７，３８ 脚台
部 ３９，４０ リブ ４１，４２ 挿入
溝 ４３，４４ 補強リブ ４５，４６ 開放
窓孔 ４７，４８ 位置決め突起 Ｗ ウエハ

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 内面にウエハの挿入溝を形成する縦方向
   に延在した多数のリブが長手方向へ所定ピッチ毎に並列
   状に設けられた両側壁と、この両側壁の両端部間を各々
   連結する左右の支持板と、両側壁の下方に位置して当該
   両側壁の内側へ対向状に各々突設された脚台部とで上下
   が開口する箱形に形成され、上記の各リブを含む両側壁
   は上部側がほぼ垂直状で下部側は内側へ傾斜状に延在さ
   れると共に、当該各リブが終端する両側壁の下端部には
   挿入されたウエハの下方縁部を担持する第１の受台部が
   形成され、この第１の受台部の斜め下方には当該受台部
   の傾斜面の延長線上に沿った傾斜状をした第２の受台部
   が上記脚台部の上面に形成され、この第２の受台部には
   担持したウエハを隔置させる間隔保持部材が上記リブと
   整合する所定ピッチ毎に並列状に突設され、上記した第
   １の受台部と第２の受台部との間には幅広な開放窓孔が
   穿設されていることを特徴とした半導体ウエハ用バスケ
   ット。