JPH06273036A - ヘリウムガス中の微量水分の除去装置 - Google Patents
ヘリウムガス中の微量水分の除去装置Info
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- JPH06273036A JPH06273036A JP5065137A JP6513793A JPH06273036A JP H06273036 A JPH06273036 A JP H06273036A JP 5065137 A JP5065137 A JP 5065137A JP 6513793 A JP6513793 A JP 6513793A JP H06273036 A JPH06273036 A JP H06273036A
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- water
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
- F25J3/00—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification
- F25J3/08—Separating gaseous impurities from gases or gaseous mixtures or from liquefied gases or liquefied gaseous mixtures
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- Mechanical Engineering (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
- Separation By Low-Temperature Treatments (AREA)
- Drying Of Gases (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ヘリウムガス中の微量水分を確実に除去でき
るとともに、ヘリウムガスの系統が多系統の場合でも対
応でき、しかも、フィルターの保守も容易に行うことが
できるヘリウムガス中の微量水分の除去装置を提供す
る。 【構成】 ヘリウムガスを冷却して氷晶状態とした含有
微量水分をフィルター２により分離除去するにあたり、
該フィルター２を液体窒素容器１中に配置する。特に複
数のヘリウムガス系統にそれぞれ付属する複数のフィル
ターを、一つの液体窒素容器中に配置する。
るとともに、ヘリウムガスの系統が多系統の場合でも対
応でき、しかも、フィルターの保守も容易に行うことが
できるヘリウムガス中の微量水分の除去装置を提供す
る。 【構成】 ヘリウムガスを冷却して氷晶状態とした含有
微量水分をフィルター２により分離除去するにあたり、
該フィルター２を液体窒素容器１中に配置する。特に複
数のヘリウムガス系統にそれぞれ付属する複数のフィル
ターを、一つの液体窒素容器中に配置する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ヘリウムガス中の微量
水分の除去装置に関し、特に、ロケットの燃料として用
いる液化酸素や液化水素の加圧用に用いるヘリウムガス
中の微量水分を除去する装置に関する。
水分の除去装置に関し、特に、ロケットの燃料として用
いる液化酸素や液化水素の加圧用に用いるヘリウムガス
中の微量水分を除去する装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ロケット燃料の液化酸素や液化水素を加
圧するために用いるヘリウムガスは、センサー等、各種
計器やバルブ類の故障の原因とならないように、極めて
含有水分の少ないものが要求されている。このため、従
来から、ヘリウムガスを熱交換器で−１５０℃以下に冷
却して含有する水分を氷晶状態とし、これをフィルター
で物理的に除去するようにしている。
圧するために用いるヘリウムガスは、センサー等、各種
計器やバルブ類の故障の原因とならないように、極めて
含有水分の少ないものが要求されている。このため、従
来から、ヘリウムガスを熱交換器で−１５０℃以下に冷
却して含有する水分を氷晶状態とし、これをフィルター
で物理的に除去するようにしている。
【０００３】従来、上記氷晶状態の水分を分離するフィ
ルターは、ウレタンフォーム等の断熱材で簡易断熱した
フィルター容器内に配設されており、各ヘリウムガス系
統にそれぞれ独立して設けられていた。
ルターは、ウレタンフォーム等の断熱材で簡易断熱した
フィルター容器内に配設されており、各ヘリウムガス系
統にそれぞれ独立して設けられていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】したがって、ヘリウム
ガスの系統が用途に応じて多系統に及ぶと、各系統の流
路にそれぞれ１個のフィルターを設ける必要があり、設
置スペースが必要になるとともに、コスト高にもなって
いた。
ガスの系統が用途に応じて多系統に及ぶと、各系統の流
路にそれぞれ１個のフィルターを設ける必要があり、設
置スペースが必要になるとともに、コスト高にもなって
いた。
【０００５】また、従来は、断熱材により簡易断熱され
たフィルターに冷却されたヘリウムガスを流通させてい
るため、断熱が十分でないと、温度上昇を引き起こし、
水分が氷晶状態を維持できず、水分を確実に除去できな
いおそれがあった。
たフィルターに冷却されたヘリウムガスを流通させてい
るため、断熱が十分でないと、温度上昇を引き起こし、
水分が氷晶状態を維持できず、水分を確実に除去できな
いおそれがあった。
【０００６】そこで本発明は、ヘリウムガス中の微量水
分を確実に除去できるとともに、ヘリウムガスの系統が
多系統の場合でも対応でき、しかも、フィルターの保守
も容易に行うことができるヘリウムガス中の微量水分の
除去装置を提供することを目的としている。
分を確実に除去できるとともに、ヘリウムガスの系統が
多系統の場合でも対応でき、しかも、フィルターの保守
も容易に行うことができるヘリウムガス中の微量水分の
除去装置を提供することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記した目的を達成する
ため、本発明のヘリウムガス中の微量水分の除去装置
は、ヘリウムガスを冷却して氷晶状態とした含有微量水
分をフィルターにより分離除去するヘリウムガス中の微
量水分の除去装置において、前記フィルターを液体窒素
容器中に配置したこと、特に複数のヘリウムガス系統に
それぞれ付属する複数のフィルターを、一つの液体窒素
容器中に配置したことを特徴とするものである。
ため、本発明のヘリウムガス中の微量水分の除去装置
は、ヘリウムガスを冷却して氷晶状態とした含有微量水
分をフィルターにより分離除去するヘリウムガス中の微
量水分の除去装置において、前記フィルターを液体窒素
容器中に配置したこと、特に複数のヘリウムガス系統に
それぞれ付属する複数のフィルターを、一つの液体窒素
容器中に配置したことを特徴とするものである。
【０００８】加えて、上記除去装置に用いるフィルター
構造として、前記フィルターは、下端部にヘリウムガス
導入部及び排水部を有し、上部にヘリウムガス導出部を
有するとともに、液体窒素容器を貫通して設けられるフ
ィルター保持筒と、該保持筒内に挿入される有底筒状の
フィルターエレメントと、該フィルターエレメントの筒
内と連通する連通路及び該連通路と前記フィルター保持
筒内とを連通させる通孔を有し、フィルターエレメント
の上部に連設されるガイド筒とを備え、該ガイド筒とフ
ィルターエレメントとの連結部には、前記フィルター保
持筒内を密封状態で上下に区画する区画密封部が設けら
れるとともに、前記フィルター保持筒の上端部には、前
記ガイド筒及びフィルターエレメントを保持筒内に挿入
・抜取り可能な蓋部材が設けられていることを特徴とし
ている。
構造として、前記フィルターは、下端部にヘリウムガス
導入部及び排水部を有し、上部にヘリウムガス導出部を
有するとともに、液体窒素容器を貫通して設けられるフ
ィルター保持筒と、該保持筒内に挿入される有底筒状の
フィルターエレメントと、該フィルターエレメントの筒
内と連通する連通路及び該連通路と前記フィルター保持
筒内とを連通させる通孔を有し、フィルターエレメント
の上部に連設されるガイド筒とを備え、該ガイド筒とフ
ィルターエレメントとの連結部には、前記フィルター保
持筒内を密封状態で上下に区画する区画密封部が設けら
れるとともに、前記フィルター保持筒の上端部には、前
記ガイド筒及びフィルターエレメントを保持筒内に挿入
・抜取り可能な蓋部材が設けられていることを特徴とし
ている。
【０００９】
【作 用】上記のようにフィルターを液体窒素容器内の
液体窒素中に配置することにより、水分が氷晶状態を保
つのに十分な低温状態とすることができ、微量水分を確
実に分離除去することができる。
液体窒素中に配置することにより、水分が氷晶状態を保
つのに十分な低温状態とすることができ、微量水分を確
実に分離除去することができる。
【００１０】さらに、複数の系統のフィルターを一つの
液体窒素容器内にまとめて配置することにより、フィル
ターを集約してコンパクト化を図れるとともに、保守も
容易になる。
液体窒素容器内にまとめて配置することにより、フィル
ターを集約してコンパクト化を図れるとともに、保守も
容易になる。
【００１１】また、上記構造のフィルターは、フィルタ
ー保持筒内の所定位置にフィルターエレメント及びガイ
ド筒を挿入した状態で、フィルター保持筒下端部から導
入された微量水分を氷晶状態で含むヘリウムガスは、区
画密封部より下方でフィルターエレメントを通過してフ
ィルターエレメントの筒内からガイド筒内に流入し、通
孔を抜けてフィルター保持筒上部のヘリウムガス導出部
から導出される。ヘリウムガス中の氷晶状態の水分は、
フィルターエレメントの外周に捕捉され、ヘリウムガス
から分離する。さらに、フィルターエレメントは、フィ
ルター保持筒上端部の蓋部材を取外すことにより、保持
筒上部から抜取ることができる。
ー保持筒内の所定位置にフィルターエレメント及びガイ
ド筒を挿入した状態で、フィルター保持筒下端部から導
入された微量水分を氷晶状態で含むヘリウムガスは、区
画密封部より下方でフィルターエレメントを通過してフ
ィルターエレメントの筒内からガイド筒内に流入し、通
孔を抜けてフィルター保持筒上部のヘリウムガス導出部
から導出される。ヘリウムガス中の氷晶状態の水分は、
フィルターエレメントの外周に捕捉され、ヘリウムガス
から分離する。さらに、フィルターエレメントは、フィ
ルター保持筒上端部の蓋部材を取外すことにより、保持
筒上部から抜取ることができる。
【００１２】
【実施例】以下、本発明を、図面に示す一実施例に基づ
いてさらに詳細に説明する。図１は本発明の微量水分除
去装置の一実施例を示す縦断面図、図２は平面図、図３
はフィルターの断面図、図４はガイド筒とフィルターエ
レメントとの連結部に設けられた区画密封部の拡大断面
図、図５は蓋部材の拡大断面図、図６は蓋部材に連設さ
れた連結棒とガイド筒との連結部の正面図である。
いてさらに詳細に説明する。図１は本発明の微量水分除
去装置の一実施例を示す縦断面図、図２は平面図、図３
はフィルターの断面図、図４はガイド筒とフィルターエ
レメントとの連結部に設けられた区画密封部の拡大断面
図、図５は蓋部材の拡大断面図、図６は蓋部材に連設さ
れた連結棒とガイド筒との連結部の正面図である。
【００１３】本実施例に示す微量水分除去装置は、外槽
１ａと内槽１ｂとの間を真空断熱した液体窒素容器１
と、該液体窒素容器１中の液体窒素内に浸漬されるフィ
ルター２とから構成されるもので、液体窒素容器１に
は、両槽１ａ，１ｂ間を真空排気するための排気管３
と、気化した窒素ガスを放出するベント管４と、液体窒
素導入排出用の窒素管５と、あらかじめ図示しない熱交
換器で−１５０℃以下、好ましくは液体窒素温度付近ま
で冷却されたヘリウムガスを導入するヘリウムガス導入
管６と、フィルター２で捕捉した水分を排出するための
排水管７と、後述するフィルター保持筒１１の上部を保
持するベローズ８とが設けられている。
１ａと内槽１ｂとの間を真空断熱した液体窒素容器１
と、該液体窒素容器１中の液体窒素内に浸漬されるフィ
ルター２とから構成されるもので、液体窒素容器１に
は、両槽１ａ，１ｂ間を真空排気するための排気管３
と、気化した窒素ガスを放出するベント管４と、液体窒
素導入排出用の窒素管５と、あらかじめ図示しない熱交
換器で−１５０℃以下、好ましくは液体窒素温度付近ま
で冷却されたヘリウムガスを導入するヘリウムガス導入
管６と、フィルター２で捕捉した水分を排出するための
排水管７と、後述するフィルター保持筒１１の上部を保
持するベローズ８とが設けられている。
【００１４】また、フィルター２は、ヘリウムガスの経
路ごとに設けられるもので、図２に示すように、液体窒
素容器１内に、必要に応じて１本以上、複数本が適当な
間隔で配置される。
路ごとに設けられるもので、図２に示すように、液体窒
素容器１内に、必要に応じて１本以上、複数本が適当な
間隔で配置される。
【００１５】図３に示すように、上記フィルター２は、
下端部にヘリウムガス導入部兼排水部１２を有し、上部
にヘリウムガス導出部１３を有するフィルター保持筒１
１と、該保持筒１１内に挿入されるフィルターエレメン
ト１４と、該フィルターエレメントの上部に連設される
ガイド筒１５と、該ガイド筒１５とフィルター保持筒１
１上端部の蓋部材１６とを連結する連結棒１７とから構
成されるもので、フィルターエレメント１４部分を液体
窒素中に浸漬するように、フィルター保持筒１１の上下
方向中央部が前記内槽１ｂの天板部に固着され、フィル
ター保持筒１１の上部が、熱伸縮を吸収するためのベロ
ーズ８に固着されている。
下端部にヘリウムガス導入部兼排水部１２を有し、上部
にヘリウムガス導出部１３を有するフィルター保持筒１
１と、該保持筒１１内に挿入されるフィルターエレメン
ト１４と、該フィルターエレメントの上部に連設される
ガイド筒１５と、該ガイド筒１５とフィルター保持筒１
１上端部の蓋部材１６とを連結する連結棒１７とから構
成されるもので、フィルターエレメント１４部分を液体
窒素中に浸漬するように、フィルター保持筒１１の上下
方向中央部が前記内槽１ｂの天板部に固着され、フィル
ター保持筒１１の上部が、熱伸縮を吸収するためのベロ
ーズ８に固着されている。
【００１６】上記フィルターエレメント１４は、上端部
が開口した有底筒状に形成されたものであり、氷晶状態
の水分を捕捉するのに必要な細かさを有するものが用い
られる。また、ガイド筒１５は、管体の壁面に複数の通
孔１５ａを適当間隔で設けたものであり、このガイド筒
１５とフィルターエレメント１４との間には、図４に示
すような区画密封部１８が設けられている。
が開口した有底筒状に形成されたものであり、氷晶状態
の水分を捕捉するのに必要な細かさを有するものが用い
られる。また、ガイド筒１５は、管体の壁面に複数の通
孔１５ａを適当間隔で設けたものであり、このガイド筒
１５とフィルターエレメント１４との間には、図４に示
すような区画密封部１８が設けられている。
【００１７】上記区画密封部１８は、前記フィルター保
持筒１１内を密封状態で上下に区画するもので、フィル
ター保持筒１１の一部を構成する外筒１９と、ガイド筒
１５とフィルターエレメント１４とを接続する内筒２０
とから構成されている。外筒１９は、その内周に、上方
が拡開する円錐面が形成されており、内筒２０の外周面
には、外筒１９の円錐面に対応する円錐面が形成される
とともに、シール用のＯリング２１が装着されている。
また、内筒２０の上下には、それぞれガイド筒１５及び
フィルターエレメント１４を接続するための筒部２０
ａ，２０ｂが設けられている。
持筒１１内を密封状態で上下に区画するもので、フィル
ター保持筒１１の一部を構成する外筒１９と、ガイド筒
１５とフィルターエレメント１４とを接続する内筒２０
とから構成されている。外筒１９は、その内周に、上方
が拡開する円錐面が形成されており、内筒２０の外周面
には、外筒１９の円錐面に対応する円錐面が形成される
とともに、シール用のＯリング２１が装着されている。
また、内筒２０の上下には、それぞれガイド筒１５及び
フィルターエレメント１４を接続するための筒部２０
ａ，２０ｂが設けられている。
【００１８】前記蓋部材１６は、フィルター保持筒１１
の上端部に連設されたキャップ２２と、該キャップ２２
の雌ネジ部に螺着される雄ネジ部材２３と、キャップ２
２の外周に装着されるフランジ２４及び該フランジ２４
に固定される盲フランジ２５とにより構成されている。
の上端部に連設されたキャップ２２と、該キャップ２２
の雌ネジ部に螺着される雄ネジ部材２３と、キャップ２
２の外周に装着されるフランジ２４及び該フランジ２４
に固定される盲フランジ２５とにより構成されている。
【００１９】上記雄ネジ部材２３には、前記連結棒１７
の上端部が挿入され、ピン２６により固定されている。
また、雄ネジ部材２３には、ガス抜き孔２３ａが設けら
れている。
の上端部が挿入され、ピン２６により固定されている。
また、雄ネジ部材２３には、ガス抜き孔２３ａが設けら
れている。
【００２０】この蓋部材１６は、前記フランジ２４と盲
フランジ２５とを適宜な締結手段で締め付けることによ
り、フィルター保持筒１１の上端部を密封できるように
形成されている。
フランジ２５とを適宜な締結手段で締め付けることによ
り、フィルター保持筒１１の上端部を密封できるように
形成されている。
【００２１】また、図６に示すように、前記ガイド筒１
５と連結棒１７との連結部は、ヒンジ構造としてボルト
２７を中心に屈曲可能に形成している。
５と連結棒１７との連結部は、ヒンジ構造としてボルト
２７を中心に屈曲可能に形成している。
【００２２】−１５０℃以下に冷却されて含有する水分
を氷晶状態としたヘリウムガスは、ヘリウムガス導入管
６からフィルター保持筒１１下端部のヘリウムガス導入
部兼排水部１２を経てフィルター保持筒１１内に導入さ
れる。このヘリウムガスは、フィルターエレメント１４
の上端部が前記区画密封部１８により密封されているこ
とから、フィルター保持筒１１の内周面とフィルターエ
レメント１４の外周面との間の空間を流れ、フィルター
エレメント１４のフィルター層を通過してフィルターエ
レメント１４内に流入する。このとき、氷晶状態の水分
は、フィルターエレメント１４により捕捉され、その外
周面に堆積する。
を氷晶状態としたヘリウムガスは、ヘリウムガス導入管
６からフィルター保持筒１１下端部のヘリウムガス導入
部兼排水部１２を経てフィルター保持筒１１内に導入さ
れる。このヘリウムガスは、フィルターエレメント１４
の上端部が前記区画密封部１８により密封されているこ
とから、フィルター保持筒１１の内周面とフィルターエ
レメント１４の外周面との間の空間を流れ、フィルター
エレメント１４のフィルター層を通過してフィルターエ
レメント１４内に流入する。このとき、氷晶状態の水分
は、フィルターエレメント１４により捕捉され、その外
周面に堆積する。
【００２３】水分を除去したヘリウムガスは、前記区画
密封部１８の内筒２０からガイド筒１５内に流入し、通
孔１５ａからフィルター保持筒１１内の空間に流出す
る。このヘリウムガスは、フィルター保持筒１１の内周
面と前記連結棒１７の外周面との間の空間を上昇し、ヘ
リウムガス導出部１３から導出する。
密封部１８の内筒２０からガイド筒１５内に流入し、通
孔１５ａからフィルター保持筒１１内の空間に流出す
る。このヘリウムガスは、フィルター保持筒１１の内周
面と前記連結棒１７の外周面との間の空間を上昇し、ヘ
リウムガス導出部１３から導出する。
【００２４】このようにしてヘリウムガス中の微量水分
を除去する際に、フィルター２のフィルターエレメント
１４部分を液体窒素中に設置しておくことにより、フィ
ルターエレメント１４部分を−１５０℃以下に冷却して
おくことができ、ヘリウムガス中の微量水分を氷晶状態
に保つことができるので、フィルターエレメント１４で
確実に微量水分を分離することができる。
を除去する際に、フィルター２のフィルターエレメント
１４部分を液体窒素中に設置しておくことにより、フィ
ルターエレメント１４部分を−１５０℃以下に冷却して
おくことができ、ヘリウムガス中の微量水分を氷晶状態
に保つことができるので、フィルターエレメント１４で
確実に微量水分を分離することができる。
【００２５】なお、上記エレメント１４は、例えば極微
細メッシュの金網を複数枚巻装したものが用いられ、粒
状に形成された水分を濾過捕捉するものである。また、
エレメント１４は、水分等、被除去不純物の所要下限界
濃度によって、形状，巻装数を適宜変えたユニット形式
とし、これを後述のように交換して使用することができ
る。
細メッシュの金網を複数枚巻装したものが用いられ、粒
状に形成された水分を濾過捕捉するものである。また、
エレメント１４は、水分等、被除去不純物の所要下限界
濃度によって、形状，巻装数を適宜変えたユニット形式
とし、これを後述のように交換して使用することができ
る。
【００２６】また、一つの液体窒素容器１中に複数系統
のフィルター２を設けることにより、液体窒素容器１を
複数設ける必要がなくなるだけでなく、複数のフィルタ
ー２を集約して装置の小型化が図れるとともに、水分除
去装置にかかるコストが低減できる。
のフィルター２を設けることにより、液体窒素容器１を
複数設ける必要がなくなるだけでなく、複数のフィルタ
ー２を集約して装置の小型化が図れるとともに、水分除
去装置にかかるコストが低減できる。
【００２７】所定量のヘリウムガスを処理した後、液体
窒素容器１内の液体窒素を抜取り、内部を常温に戻す
と、フィルターエレメント１４で捕捉した氷晶状態の水
分は解けて水になり、フィルター保持筒１１の底部に溜
まるので、ヘリウムガス導入部兼排水部１２から排水管
７を介して排出する。
窒素容器１内の液体窒素を抜取り、内部を常温に戻す
と、フィルターエレメント１４で捕捉した氷晶状態の水
分は解けて水になり、フィルター保持筒１１の底部に溜
まるので、ヘリウムガス導入部兼排水部１２から排水管
７を介して排出する。
【００２８】また、フィルターエレメント１４の点検あ
るいは交換の際には、前記蓋部材１６の盲フランジ２５
を取外し、さらにキャップ２２から雄ネジ部材２３を取
外すと、該雄ネジ部材２３に固定されている連結棒１
７，ガイド筒１５及びフィルターエレメント１４をフィ
ルター保持筒１１から抜取ることができる。
るいは交換の際には、前記蓋部材１６の盲フランジ２５
を取外し、さらにキャップ２２から雄ネジ部材２３を取
外すと、該雄ネジ部材２３に固定されている連結棒１
７，ガイド筒１５及びフィルターエレメント１４をフィ
ルター保持筒１１から抜取ることができる。
【００２９】このとき、ガイド筒１５と連結棒１７との
連結部が、前述のようにボルト２７を中心として屈曲可
能に形成されているので、フィルター保持筒１１から連
結棒１７を抜出した時点で屈曲させることにより、連結
棒１７，ガイド筒１５及びフィルターエレメント１４か
らなる部材の長さを１／２程度にすることができ、天井
等により高さ制限がある場合でも、フィルターエレメン
ト１４を容易に抜き出すことができ、建屋の改造を施す
必要が無くなるとともに、連結棒１７，ガイド筒１５及
びフィルターエレメント１４からなる部材の取扱いも容
易になる。
連結部が、前述のようにボルト２７を中心として屈曲可
能に形成されているので、フィルター保持筒１１から連
結棒１７を抜出した時点で屈曲させることにより、連結
棒１７，ガイド筒１５及びフィルターエレメント１４か
らなる部材の長さを１／２程度にすることができ、天井
等により高さ制限がある場合でも、フィルターエレメン
ト１４を容易に抜き出すことができ、建屋の改造を施す
必要が無くなるとともに、連結棒１７，ガイド筒１５及
びフィルターエレメント１４からなる部材の取扱いも容
易になる。
【００３０】また、フィルターエレメント１４をフィル
ター保持筒１１内に挿入する際には、連結棒１７，ガイ
ド筒１５及びフィルターエレメント１４からなる部材を
フィルター保持筒１１内に挿入し、雄ネジ部材２３をキ
ャップ２２にねじ込むだけで良く、この雄ネジ部材２３
のねじ込みにより、前記区画密封部１８の内筒２０に形
成した円錐面が外筒１９の円錐面に圧接し、Ｏリング２
１により該部分が密封される。
ター保持筒１１内に挿入する際には、連結棒１７，ガイ
ド筒１５及びフィルターエレメント１４からなる部材を
フィルター保持筒１１内に挿入し、雄ネジ部材２３をキ
ャップ２２にねじ込むだけで良く、この雄ネジ部材２３
のねじ込みにより、前記区画密封部１８の内筒２０に形
成した円錐面が外筒１９の円錐面に圧接し、Ｏリング２
１により該部分が密封される。
【００３１】このように、簡単な作業でフィルターエレ
メント１４の抜出しや挿入を行うことができ、複数系統
のフィルター２を一つの液体窒素容器１に設けた場合で
も、各系統ごとに独立して点検及び交換ができる。
メント１４の抜出しや挿入を行うことができ、複数系統
のフィルター２を一つの液体窒素容器１に設けた場合で
も、各系統ごとに独立して点検及び交換ができる。
【００３２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のヘリウム
ガス中の微量水分の除去装置は、フィルター、特にフィ
ルターエレメント部分を液体窒素容器内の液体窒素中に
浸漬するように配置したことにより、ヘリウムガスを−
１５０℃以下にでき、水分を氷晶状態を維持させること
ができるので、フィルターによる水分除去を確実に行う
ことができる。
ガス中の微量水分の除去装置は、フィルター、特にフィ
ルターエレメント部分を液体窒素容器内の液体窒素中に
浸漬するように配置したことにより、ヘリウムガスを−
１５０℃以下にでき、水分を氷晶状態を維持させること
ができるので、フィルターによる水分除去を確実に行う
ことができる。
【００３３】また、一つの液体窒素容器中に複数のヘリ
ウムガス系統にそれぞれ付属する複数のフィルターを配
置することにより、フィルターを集約してコンパクト化
を図れるとともに、保守も容易に行うことができる。
ウムガス系統にそれぞれ付属する複数のフィルターを配
置することにより、フィルターを集約してコンパクト化
を図れるとともに、保守も容易に行うことができる。
【００３４】さらに、前述のようにフィルターを構成す
ることにより、フィルターエレメントの点検や交換が容
易になるだけでなく、液体窒素容器内の液体窒素を排出
して常温に戻すことにより、捕捉した水分を容易に外部
に排出することができる。
ることにより、フィルターエレメントの点検や交換が容
易になるだけでなく、液体窒素容器内の液体窒素を排出
して常温に戻すことにより、捕捉した水分を容易に外部
に排出することができる。
【図１】 本発明の微量水分の除去装置の一実施例を示
す縦断面図である。
す縦断面図である。
【図２】 同じく平面図である。
【図３】 フィルターの断面図である。
【図４】 フィルターの区画密封部の拡大断面図であ
る。
る。
【図５】 フィルターの蓋部材の拡大断面図である。
【図６】 フィルターの連結棒とガイド筒との連結部の
正面図である。
正面図である。
１…液体窒素容器、２…フィルター、６…ヘリウムガス
導入管、７…排水管、８…ベローズ、１１…フィルター
保持筒、１２…ヘリウムガス導入部兼排水部、１３…ヘ
リウムガス導出部、１４…フィルターエレメント、１５
…ガイド筒、１６…蓋部材、１７…連結棒、１８…区画
密封部、２２…キャップ、２３…雄ネジ部材
導入管、７…排水管、８…ベローズ、１１…フィルター
保持筒、１２…ヘリウムガス導入部兼排水部、１３…ヘ
リウムガス導出部、１４…フィルターエレメント、１５
…ガイド筒、１６…蓋部材、１７…連結棒、１８…区画
密封部、２２…キャップ、２３…雄ネジ部材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 平野 雅宣 愛知県名古屋市港区大江町10 三菱重工業 株式会社名古屋航空機製作所内 (72)発明者 和気 秀之 神奈川県川崎市幸区川崎区小島町６−２ 日本酸素株式会社内
Claims (3)
- 【請求項１】 ヘリウムガスを冷却して氷晶状態とした
含有微量水分をフィルターにより分離除去するヘリウム
ガス中の微量水分の除去装置において、前記フィルター
を液体窒素容器中に配置したことを特徴とするヘリウム
ガス中の微量水分の除去装置。 - 【請求項２】 ヘリウムガスを冷却して氷晶状態とした
含有微量水分をフィルターにより分離除去するヘリウム
ガス中の微量水分の除去装置において、複数のヘリウム
ガス系統にそれぞれ付属する複数のフィルターを、一つ
の液体窒素容器中に配置したことを特徴とするヘリウム
ガス中の微量水分の除去装置。 - 【請求項３】 前記フィルターは、下端部にヘリウムガ
ス導入部及び排水部を有し、上部にヘリウムガス導出部
を有するとともに、液体窒素容器を貫通して設けられる
フィルター保持筒と、該保持筒内に挿入される有底筒状
のフィルターエレメントと、該フィルターエレメントの
筒内と連通する連通路及び該連通路と前記フィルター保
持筒内とを連通させる通孔を有し、フィルターエレメン
トの上部に連設されるガイド筒とを備え、該ガイド筒と
フィルターエレメントとの連結部には、前記フィルター
保持筒内を密封状態で上下に区画する区画密封部が設け
られるとともに、前記フィルター保持筒の上端部には、
前記ガイド筒及びフィルターエレメントを保持筒内に挿
入・抜取り可能な蓋部材が設けられていることを特徴と
する請求項１又は２記載のヘリウムガス中の微量水分の
除去装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06513793A JP3404599B2 (ja) | 1993-03-24 | 1993-03-24 | ヘリウムガス中の微量水分の除去装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06513793A JP3404599B2 (ja) | 1993-03-24 | 1993-03-24 | ヘリウムガス中の微量水分の除去装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06273036A true JPH06273036A (ja) | 1994-09-30 |
| JP3404599B2 JP3404599B2 (ja) | 2003-05-12 |
Family
ID=13278202
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP06513793A Expired - Lifetime JP3404599B2 (ja) | 1993-03-24 | 1993-03-24 | ヘリウムガス中の微量水分の除去装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3404599B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5916247A (en) * | 1996-04-19 | 1999-06-29 | L'air Liquide, Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude | Process and installation for delivering ultra-pure helium |
-
1993
- 1993-03-24 JP JP06513793A patent/JP3404599B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5916247A (en) * | 1996-04-19 | 1999-06-29 | L'air Liquide, Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude | Process and installation for delivering ultra-pure helium |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3404599B2 (ja) | 2003-05-12 |
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