JPH06280930A

JPH06280930A - 能動型除振装置

Info

Publication number: JPH06280930A
Application number: JP6876893A
Authority: JP
Inventors: Keiichi Takayama; 桂一高山
Original assignee: Showa Electric Wire and Cable Co
Current assignee: SWCC Corp
Priority date: 1993-03-26
Filing date: 1993-03-26
Publication date: 1994-10-07

Abstract

(57)【要約】【目的】除振効果の拡大と衝撃応答性の改善を図る。【構成】制御対象物１１を支持する受動型バネ要素１２
と、設置面の振動および制御対象物の振動を同時に計測
する計測手段１４、１５と、計測された設置面振動信号
Ｓ₁および制御対象物振動信号Ｓ₂の複数個の時間連続的
な信号をアナログ／デジタル変換するＡ／Ｄ変換器１７
と、デジタル化された設置面振動信号および制御対象物
振動信号を周波数解析して振動伝達率を求めるシグナル
コンディショナ１８と、シグナルコンディショナで得ら
れた振動伝達率Ｔｒを周波数成分ごとに予じめ求められ
た目標振動伝達率Ｔｒ’と比較する比較手段１９と、比
較手段からの出力信号をデジタル／アナログ変換するＤ
／Ａ変換器２０と、Ｄ／Ａ変換器からの信号から能動的
除振をするためのドライブ信号Ｓ₄を作り出す制御回路
２２と、ドライブ信号により制御対象物に制振力を付加
するアクチュエータ２４とを備えている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は能動型除振装置に関し、
特に、半導体製造・検査装置、電子顕微鏡、光応用装置
等に利用されている受動型除振装置の発展型として、外
部から振動エネルギーを注入するデジタル制御方式の能
動型除振装置に係わる。

【０００２】

【従来の技術】従来から半導体製造・検査装置、電子顕
微鏡、光応用装置等に代表される精密機器は、それら自
身の機能、仕様が高集積、高分解能、超精密化していく
ために設置基礎または床からの振動および精密機器自身
が発生する振動を遮断する必要がある。

【０００３】このため、図４に示す垂直方向１軸（Ｚ
軸）モデルとして、バネ係数ｋの軟いバネ（防振ゴム、
スプリング、空気バネ）と粘性減衰定数ｃのダッシュポ
ットを使用し、バネで支持された定盤に精密機器が搭載
された質量ｍの制御対象物を受動に制御して除振する受
動型除振装置が知られている。これら従来のバネでは、
図５に示すように正規化周波数ω／ω_n（共振周波数）
に対する振動伝達率が観測され設置基礎または床の振動
より振動が大きくなってしまう領域（共振領域）と減衰
できる領域（除振領域）が共存してしまうことになり、
減衰定数ｃが小なるとき、正規化周波数（ω／ω_n）が
１以上での除振効果は大きいが、共振が大になる。又、
ｃが大なるときは、共振は０dBに近づくが、正規化周波
数１以上での除振効果は少なくなる。また、粘性減衰を
付加して共振を抑えようとすると、除振効果は減じ、二
律相反を崩すことはできなかった。

【０００４】これら受動型除振装置の発展型として、図
６に示すようにバネ系（k、c）で支持された定盤に精密
機器が搭載された制御対象物の質量自身の振動をセンサ
SEでモニターし、バネ系とは別に設けたアクチュエータ
ACTにより位相反転した振動を定盤に精密機器が搭載さ
れた制御対象物質量mに印加することで、共振現象のな
い、除振効果の高い能動型除振装置が開発され、特開昭
６１−２２８１３７号、特開昭６１−２２４０１５号公
報等で報告されている。図７から明らかなように、能動
型除振装置においてｃが小なるときには、受動型除振装
置の減衰定数ｃ＝１の伝達率と同じようになる。しかし
ｃが大になると伝達率は０dB以下になり、かつ正規化周
波数１以下でも、受動型除振装置よりも除振効果を大に
することができる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】受動型除振装置では、
共振領域と除振領域が共存することであり図８に示すよ
うに、（ａ）の振動伝達率を有する除振装置（除振台）
が、の振動をしている床に設置したとき、振動加速
度はそれぞれ同図（ｂ）、（ｃ）に示す挙動となり、設
置場所の振動状況によっては、何ら除振効果をもたらす
ことができない。また共振現象の低減は図９に示す通り
粘性減衰を付加することにより低減できるが（同図
（ａ）−（ｃ））、一方で除振効果を悪化させることに
もなる（同図（ａ）−（ｂ）、（ｃ）−（ｄ））。

【０００６】一方、能動型除振装置では、アクチュエー
タとして何を採用するかによりその特性・課題は大きく
変化する。アクチュエータとしてリニアモータ（ボイス
・コイル・モータ）を使用した場合（特開昭６０−１２
１３４０号公報）、下記のような難点がある。１．漏れ磁場が大きい。

【０００７】２．電磁力Ｆが小さい。Ｆ＝ＢＩＬＢ：磁束密度Ｉ：電流Ｌ：導体長３．静的荷重の支持に不向きである。

【０００８】４．発熱が大きい。アクチュエータとして空気圧アクチュエータ（特開平２
−２１３１１号公報）を使用した場合、下記のような難
点がある。１．アクチュエータ振動源となるサーボバルブの周波数
特性がリニアモータほど高周波数側へ伸びていないため
制御周波数帯域が拡らない。

【０００９】２．空気圧型アクチュエータ自身が高周波
数側のフィルタリング機能をもっているため制御周波数
帯域に制限がある。

【００１０】

【発明の目的】本発明の目的は、リニアモータ・アクチ
ュエータの長所を生かし、空気圧アクチュエータ仕様に
よる能動型除振装置の特性、最適化方法に振動伝達率の
考え方、また制御手法としてデジタル制御を導入し改善
を図った能動型除振装置を提供せんとするものである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の能動型除振装置は、基礎、床または地盤等で
ある設置面上に制御対象物を支持する受動型バネ要素
と、設置面の振動および制御対象物の振動を同時に計測
する計測手段と、計測された設置面振動信号および制御
対象物振動信号の複数個の時間連続的な信号をアナログ
／デジタル変換するＡ／Ｄ変換器と、デジタル化された
設置面振動信号および制御対象物振動信号を周波数解析
して振動伝達率を求めるシグナルコンディショナと、シ
グナルコンディショナで得られた振動伝達率を周波数成
分ごとに予じめ求められた目標振動伝達率と比較する比
較手段と、比較手段からの出力信号をデジタル／アナロ
グ変換するＤ／Ａ変換器と、Ｄ／Ａ変換器からの信号か
ら能動的除振をするためのドライブ信号を作り出す制御
回路と、ドライブ信号により制御対象物に制振力を付加
するアクチュエータとを備えたものである。

【００１２】また、この能動型除振装置は、比較手段か
らの出力信号からゲインと位相を独立して調整して得ら
れる信号を作成して制御対象物振動信号に印加するデジ
タル補償回路手段を備えている。さらに、能動型除振装
置は、制御対象物に組み込まれた精密機器側の制御・駆
動信号を受取るＩ／Ｏ手段と、Ｉ／Ｏ手段で受取られた
精密機器側の制御・駆動信号に応じた制振力信号を発生
して制御対象物振動信号に印加するアナログ補償回路手
段とを有する。

【００１３】

【作用】この能動型除振装置において、設置面と制御対
象物の振動が振動センサで同時に計測される。同時に計
測された設置面振動信号および制御対象物振動信号の複
数個の時間連続的な信号はＡ／Ｄ変換器によりリアルタ
イムにアナログ／デジタル変換される。このデジタル化
された設置面振動信号および制御対象物振動信号はシグ
ナルコンディショナにより高速フーリエ変換により周波
数解析して振動伝達率が求められる。この振動伝達率
は、演算・比較回路に格納され当該除振装置について予
じめ求められた目標振動伝達率と数学的に比較される。
即ち、現在発生している制御対象物上の振動スペクトル
と目標の振動伝達率から逆演算して求められる理想的な
制御対象物上の振動スペクトルを比較手段で比較され
る。

【００１４】演算・比較回路の出力はＤ／Ａ変換器でリ
アルタイムにデジタル／アナログ変換され、制御回路に
より能動的除振をするためのドライブ信号を作り出す。
このドライブ信号はサーボバルブに印加される。サーボ
バルブが駆動されることにより空気圧アクチュエータに
より制御対象物に最適な減衰を与える制振力が付加され
る。サーボバルブが開閉駆動されることにより空気が空
気圧アクチュエータに給排気されて制御対象物に制振力
が加えられる。

【００１５】また、比較手段で比較された出力信号は、
デジタル補償回路手段によりゲインと位相を独立して調
整して現在発生している制御対象物上の振動スペクトル
と目標の振動伝達率から逆演算して求められる理想的な
制御対象物上の振動スペクトル比が各周波数成分ごとに
最も小さくなるようにデジタルフィルター（伝達率）が
設定されてドライブ信号が作成され制御対象物振動信号
に印加される。

【００１６】さらに、Ｉ／Ｏ手段により制御対象物に組
み込まれた精密機器側の制御・駆動信号（同期信号）を
受取り、アナログ補償回路手段により予じめ学習してお
いた制御力信号が制御対象物に印加される。このためス
テッパー（縮小投影型露光機）に見られるように、その
機器自身の重心移動あるいは、加振力が加わる場合に、
制御対象物の動きをより最適に減衰させることができ
る。

【００１７】このように、この能動型除振装置はデジタ
ルフィルターの効果と目標値制御により除振効果の拡大
と衝撃応答性の改善に役立つ。

【００１８】

【実施例】以下、本発明による能動型除振装置の好まし
い一実施例を図面に基づき説明する。図１において、本
発明による能動型除振装置は、基礎、床または地盤等で
ある設置面１０上に制御対象物１１が受動型バネ要素１
２により支持されている。

【００１９】ここで、制御対象物１１とは、定盤のよう
な被除振台のみならず、これに搭載されたステッパー
（縮小投影型露光機）のようなＩＣ、ＬＳＩの半導体製
造・検査装置、電子顕微鏡、光応用装置等の精密機器１
３が含まれるものである。この受動型バネ要素１２は空
気バネとダッシュポットとからなる周知の受動型除振装
置を構成している。

【００２０】設置面１０の振動および制御対象物１１の
振動を同時に計測する計測手段として、設置面１０には
その振動を計測する振動センサ１４、制御対象物１１に
はその振動を計測する振動センサ１５がそれぞれ搭載さ
れている。この振動センサ１４としては加速度センサ、
変位センサが採用でき、振動センサ１５としては加速度
センサが採用できる。この場合、振動センサ１５は制御
対象物１１に組み込まれた精密機器１３自体に搭載して
もよい。

【００２１】振動センサ１４、１５で同時に計測された
設置面振動信号Ｓ₁および制御対象物振動信号Ｓ₂の複数
個の時間連続的な信号をそれぞれ増幅する増幅器１６
ａ、１６ｂ、これらの信号をリアルタイムにアナログ／
デジタル変換するＡ／Ｄ変換器１７が設けられている。
このデジタル化された設置面振動信号Ｓ₁および制御対
象物振動信号Ｓ₂を高速フーリエ変換により周波数解析
して振動伝達率Ｔｒを求めるシグナルコンディショナ１
８が設けられている。この振動伝達率Ｔｒはシグナルコ
ンディショナ１８において設置面振動信号Ｓ₁と制御対
象物振動信号Ｓ₂の比を演算することにより求められ
る。

【００２２】さらにシグナルコンディショナ１８で得ら
れた振動伝達率Ｔｒを予じめ求められた目標振動伝達率
Ｔｒ’と周波数成分ごとに比較する比較手段として、演
算・比較回路１９が設けられている。当該除振装置につ
いて予じめ求められた目標振動伝達率Ｔｒ’は演算・比
較回路１９の演算部１９ａに格納されており、演算・比
較回路１９は比較部１９ｂにおいて振動伝達率Ｔｒと比
較する機能を有している。

【００２３】演算・比較回路１９はリアルタイムにデジ
タル／アナログ変換するＤ／Ａ変換器２０に接続されて
いる。Ｄ／Ａ変換器２０からの出力は制御回路としての
サーボ増幅器２２で増幅されドライブ信号Ｓ₄としてサ
ーボバルブ２３に印加される。サーボバルブ２３が駆動
されることにより制御対象物１１に制振力を付加する空
気圧アクチュエータ２４を備えている。空気圧アクチュ
エータ２４は空気バネで形成され、サーボバルブ２３が
開閉駆動されることにより空気が空気圧アクチュエータ
２４に給排気されて制御対象物１１に制振力が付加され
る。これらの振動センサ１４、１５→増幅器１６ａ、１
６ｂ→Ａ／Ｄ変換器１７→シグナルコンディショナ１８
→演算・比較回路１９→Ｄ／Ａ変換器２０→サーボ増幅
器２２→サーボバルブ２３→空気圧アクチュエータ２４
は、フィードバック制御ループを構成しており、空気圧
アクチュエータ２４による制振力は制御対象物１１の振
動とは反転しているので、両振動伝達率差｜Ｔｒ’−Ｔ
ｒ｜若しくは比Ｔｒ／Ｔｒ’が周波数成分ごとに最小に
なるよう能動的除振制御が行なわれる。

【００２４】また、図２に示すように、この能動型除振
装置は、比較手段としての演算・比較回路１９からの出
力信号からゲインと位相を独立して調整して得られるド
ライブ信号Ｓ₃を作成して制御対象物振動信号Ｓ₂に印加
するデジタル補償回路２１を備えている。デジタル補償
回路２１により、現在発生している制御対象物上の振動
スペクトルと目標の振動伝達率から逆演算して求められ
る理想的な制御対象物上の振動スペクトル比が各周波数
成分ごとに最も小さくなるようにデジタルフィルター
（伝達率）が設定されてドライブ信号Ｓ₃が作成され制
御対象物振動信号Ｓ₂に印加される。

【００２５】さらに、ステッパー（縮小投影型露光機）
に見られるように、その機器１３自身の重心移動あるい
は、加振力が加わる場合がある。そこで制御対象物１１
の動きをより最適に減衰させるために、図１、図２に示
すように、能動型除振装置は、制御対象物に組み込まれ
た精密機器側の制御・駆動信号を受取るＩ／Ｏ手段と、
Ｉ／Ｏ手段で受取られた精密機器側の制御・駆動信号に
応じ予じめ学習しておいた制振力信号Ｓ₅を発生して制
御対象物振動信号Ｓ₂に印加するアナログ補償回路手段
２５とを有する。このＩ／Ｏ手段は、能動型除振装置の
振動の大きさ、ドライブ信号の大きさ等の状態を示す制
御対象物振動信号Ｓ₂を制御対象物に組み込まれた精密
機器１３側へ状態信号Ｓ₆として印加する。

【００２６】このように構成された能動型除振装置にお
いて、設置面１０の振動は振動センサ１４で、制御対象
物１１の振動は振動センサ１５で同時に計測される。振
動センサ１４、１５で同時に計測された設置面振動信号
Ｓ₁（図１、図２）および制御対象物振動信号Ｓ₂の複数
個の時間連続的な信号は増幅器１６ａ、１６ｂでそれぞ
れ増幅される。

【００２７】これらの信号はＡ／Ｄ変換器１７によりリ
アルタイムにアナログ／デジタル変換される。このデジ
タル化された設置面振動信号Ｓ₁および制御対象物振動
信号Ｓ₂はシグナルコンディショナ１８により高速フー
リエ変換により周波数解析して振動伝達率Ｔｒが求めら
れる。この振動伝達率Ｔｒは設置面振動信号Ｓ₁と制御
対象物振動信号Ｓ₂の比を演算することにより求められ
る。この周波数解析は例えば０〜１００Ｈｚを８００等
分し、０．１２５Ｈｚ毎に行なわれる。

【００２８】シグナルコンディショナ１８で得られた振
動伝達率Ｔｒは、演算・比較回路１９の演算部１９ａに
格納され当該除振装置について予じめ求められた目標振
動伝達率Ｔｒ’と比較部１９ｂにより数学的に比較され
る。即ち、現在発生している制御対象物１１上の振動ス
ペクトルと目標の振動伝達率Ｔｒ’から逆演算して求め
られる理想的な制御対象物１１上の振動スペクトルを比
較手段たる演算・比較回路１９で比較される。

【００２９】演算・比較回路１９の出力はＤ／Ａ変換器
２０でリアルタイムにデジタル／アナログ変換される。
Ｄ／Ａ変換器２０からの出力は制御回路たるサーボ増幅
器２２で増幅されドライブ信号Ｓ₄としてサーボバルブ
２３に印加される。サーボバルブ２３が開閉駆動される
ことにより空気が空気圧アクチュエータ２４に給排気さ
れて制御対象物１１に制振力が付加される。

【００３０】こうして空気圧アクチュエータ２４により
制御対象物１１に最適な減衰を与える制振力が注入され
る。これらの振動センサ１４、１５→増幅器１６ａ、１
６ｂ→Ａ／Ｄ変換器１７→シグナルコンディショナ１８
→演算・比較回路１９→Ｄ／Ａ変換器２０→サーボ増幅
器２２→サーボバルブ２３→空気圧アクチュエータ２４
は、フィードバック制御ループを構成しており、空気圧
アクチュエータ２４による制振力は制御対象物１１の振
動とは反転しているので、両振動伝達率差｜Ｔｒ’−Ｔ
ｒ｜若しくは比Ｔｒ／Ｔｒ’が周波数成分ごとに最小に
なるよう能動的除振制御が行なわれる。

【００３１】また、デジタル補償回路２１によりゲイン
と位相を独立して調整し、現在発生している制御対象物
上の振動スペクトルと目標の振動伝達率から逆演算して
求められる理想的な制御対象物上の振動スペクトルとの
差｜Ｔｒ’−Ｔｒ｜または比Ｔｒ／Ｔｒ’が各周波数成
分ごとに最も小さくなるようにデジタルフィルター（伝
達率）による創作的フィルターの設定が行われ、能動的
除振をするためのドライブ信号Ｓ₃が作成され制御対象
物振動信号Ｓ₂に印加される。

【００３２】デジタル補償回路２１の演算は例えば０〜
１００Ｈｚを８００等分し、０．１２５Ｈｚ毎に図３に
示すように Σ｜Ｔｒ’−Ｔｒ｜＝０若しくは最小、または比Ｔｒ／Ｔｒ’＝１若しくは最小となるように制御され能動的除振をするためのドライブ
信号Ｓ₃を作り出す。即ち、現在発生している制御対象
物１１上の振動スペクトル（Ｓ₁／Ｓ₂）と目標の振動伝
達率Ｔｒ’から逆演算して求められる理想的な制御対象
物上の振動スペクトルを比較し、両者のスペクトル比が
各周波数成分ごとに最も小さくなるようにデジタルフィ
ルター（伝達率）が設定される。

【００３３】この振動伝達率Ｔｒは、除振装置の幾何学
的形状、重量、除振ユニット、および搭載装置の緒元が
決まると画一化される特性である。したがって振動伝達
率は、その除振装置の設置場所の振動の大小、卓越周波
数の存在周波数の差異によって影響を受けない。そこ
で、本発明の能動型除振制御は、この振動伝達率を事前
に想定した振動伝達率Ｔｒ’に限りなく近づけるもので
ある。

【００３４】一般に、設置面振動信号Ｓ₁および制御対
象物振動信号Ｓ₂が小さいとき、サーボ増幅器２２のゲ
イン（増幅度）を上げて現在発生している制御対象物上
の振動を除振して理想静止状態へ早く収束することがで
きるが、その場合ゲインが大きすぎると発振してしまう
結果を招く。本発明の能動型除振制御では、デジタル補
償回路２１によりゲインと位相を独立して調整すること
により、どの周波数でどの位のゲインと位相を与えるか
をデジタル補償することができるので、サーボ増幅器２
２のゲインを上げることなく能動的除振をするためのド
ライブ信号Ｓ₃が作成され制御対象物振動信号Ｓ₂に印加
されることから、制御対象物１１には理想的な除振制御
が実現できる。

【００３５】また、制御対象物１１に組み込まれた精密
機器１３側の制御・駆動信号（同期信号）をＩ／Ｏ手段
により受取り、アナログ補償回路手段２５により予じめ
学習しておいた制御力信号Ｓ₅が制御対象物振動信号Ｓ₂
に印加され、制御対象物１１に制振力が付加される。こ
のためステッパー（縮小投影型露光機）に見られるよう
に、その機器１３自身の重心移動あるいは、加振力が加
わる場合に、制御対象物１１の動きをより最適に減衰さ
せることができる。さらにＩ／Ｏ手段により能動型除振
装置の振動の大きさ、ドライブ信号の大きさ等の状態を
示すデータが制御対象物に組み込まれた精密機器１３側
へ状態信号Ｓ₆として印加される。この状態信号Ｓ₆によ
って例えば能動型除振装置の振動状態が悪化したときは
精密機器１３を停止させることができる。

【００３６】このように本発明の能動型除振制御は、制
御対象物を搭載した除振装置の除振目標値を定め、現在
発生している制御対象物上の振動を目標値に接近させる
デジタル制御であり、従来のアナログ制御では達成し得
ない高い減衰率と広範囲の周波数帯域にわたって能動型
除振が実行できる。

【００３７】

【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発
明の能動型除振装置によれば、基礎、床または地盤等で
ある設置面上に制御対象物を支持する受動型バネ要素
と、設置面の振動および制御対象物の振動を同時に計測
する計測手段と、計測された設置面振動信号および制御
対象物振動信号の複数個の時間連続的な信号をアナログ
／デジタル変換するＡ／Ｄ変換器と、デジタル化された
設置面振動信号および制御対象物振動信号を周波数解析
して振動伝達率を求めるシグナルコンディショナと、シ
グナルコンディショナで得られた振動伝達率を周波数成
分ごとに予じめ求められた目標振動伝達率と比較する比
較手段と、比較手段からの出力信号をデジタル／アナロ
グ変換するＤ／Ａ変換器と、Ｄ／Ａ変換器からの信号か
ら能動的除振をするためのドライブ信号を作り出す制御
回路と、ドライブ信号により制御対象物に制振力を付加
するアクチュエータとを備えたことにより、デジタルフ
ィルターの効果と目標値制御により除振効果の拡大と衝
撃応答性の改善を図ることができ、高い減衰率と広範囲
の周波数帯域にわたって能動型除振が実行できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例による能動型除振装置の説明
図。

【図２】本発明による能動型除振装置の制御系を示すブ
ロック図。

【図３】本発明による能動型除振装置の振動伝達率差若
しくは比を最小にする手法を示す図。

【図４】従来の受動型除振装置の説明図。

【図５】従来の受動型除振装置によって得られた周波数
−振動伝達率特性を示すグラフ。

【図６】従来の能動型除振装置の説明図。

【図７】従来の能動型除振装置によって得られた周波数
−振動伝達率特性を示すグラフ。

【図８】従来の受動型除振装置において設置場所の振動
状況によって除振効果が変化する周波数−振動伝達率特
性を示すグラフ。

【図９】従来の受動型除振装置において粘性減衰を付加
したとき除振効果が変化する周波数−振動伝達率特性を
示すグラフ。

【符号の説明】

１０……設置面１１……制御対象物１２……受動型バネ要素１３……精密機器１４、１５……計測手段１７……Ａ／Ｄ変換器１８……シグナルコンディショナ１９……演算・比較回路（比較手段）２１……デジタル補償回路手段２２……サーボ増幅器（制御回路）２４……アクチュエータ２５……アナログ補償回路手段Ｔｒ……振動伝達率Ｔｒ’……目標振動伝達率Ｓ₁……設置面振動信号Ｓ₂……制御対象物振動信号Ｓ₃……ドライブ信号Ｓ₄……ドライブ信号Ｓ₅……制御力信号Ｓ₆……状態信号

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基礎、床または地盤等である設置面上に制
御対象物を支持する受動型バネ要素と、前記設置面の振
動および前記制御対象物の振動を同時に計測する計測手
段と、計測された設置面振動信号および制御対象物振動
信号の複数個の時間連続的な信号をアナログ／デジタル
変換するＡ／Ｄ変換器と、デジタル化された設置面振動
信号および制御対象物振動信号を周波数解析して振動伝
達率を求めるシグナルコンディショナと、前記シグナル
コンディショナで得られた振動伝達率を周波数成分ごと
に予じめ求められた目標振動伝達率と比較する比較手段
と、前記比較手段からの出力信号をデジタル／アナログ
変換するＤ／Ａ変換器と、前記Ｄ／Ａ変換器からの信号
から能動的除振をするためのドライブ信号を作り出す制
御回路と、前記ドライブ信号により前記制御対象物に制
振力を付加するアクチュエータとを備えたことを特徴と
する能動型除振装置。
【請求項２】前記比較手段からの出力信号からゲインと
位相を独立して調整して得られる信号を作成して前記制
御対象物振動信号に印加するデジタル補償回路手段を備
えたことを特徴とする請求項１記載の能動型除振装置。
【請求項３】前記制御対象物に組み込まれた精密機器側
の制御・駆動信号を受取るＩ／Ｏ手段と、前記Ｉ／Ｏ手
段で受取られた精密機器側の制御・駆動信号に応じた制
振力信号を発生して前記制御対象物振動信号に印加する
アナログ補償回路手段とを有する特徴とする請求項１記
載の能動型除振装置。