JPH06286129A - インクジェットヘッド - Google Patents

インクジェットヘッド

Info

Publication number
JPH06286129A
JPH06286129A JP4033281A JP3328192A JPH06286129A JP H06286129 A JPH06286129 A JP H06286129A JP 4033281 A JP4033281 A JP 4033281A JP 3328192 A JP3328192 A JP 3328192A JP H06286129 A JPH06286129 A JP H06286129A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ink
nozzle
head
end surface
head end
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP4033281A
Other languages
English (en)
Inventor
Tomoaki Takahashi
智明 高橋
Kazunaga Takahashi
司長 高橋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seikosha KK
Original Assignee
Seikosha KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seikosha KK filed Critical Seikosha KK
Priority to JP4033281A priority Critical patent/JPH06286129A/ja
Priority to US08/019,553 priority patent/US5451993A/en
Publication of JPH06286129A publication Critical patent/JPH06286129A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2/14016—Structure of bubble jet print heads
    • B41J2/14032—Structure of the pressure chamber
    • B41J2/1404—Geometrical characteristics
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2/1433—Structure of nozzle plates
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2002/14387—Front shooter
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2002/14475—Structure thereof only for on-demand ink jet heads characterised by nozzle shapes or number of orifices per chamber

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Geometry (AREA)
  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ヘッド端面の開口部周辺の切欠やインクのし
み出しによるインク滴の飛翔方向の変動を押さえ、常に
正しい方向へのインク滴の飛翔を可能にし、カッティン
グや研磨の製造誤差を吸収してインク滴の吐出特性を均
一にする。 【構成】 流路基板1に形成したインク流路2にノズル
3が連通し、ノズル3の先端部3aはヘッド端面1aか
ら奥まった位置に設けてある。ヘッド端面1aにはノズ
ル3の先端部3aと連通し、かつノズルよりも口径が大
である凹部4が、設けてある。インク流路2に対応して
図示しないインク吐出手段が設けてあり、電力の供給を
受けてインク流路2中のインクを、ノズル3より凹部4
を経て、ヘッド端面1aより吐出させる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、インクジェットヘッド
に関する。
【0002】
【従来の技術】従来より、インクをノズルから吐出させ
て印字する、いわゆるオンデマンド型のインクジェット
ヘッドがある。この場合、ヘッドには共通のインク室
と、このインク室からインクが供給される複数のインク
流路と、各インク流路の先端にノズルとが形成してあ
り、各インク流路にはインクに飛翔力を付与する圧電素
子などのインク吐出手段が備わっている加圧室を形成し
てある。
【0003】従来のノズルの形状は、例えば特開昭57
−178768号公報に示されるように、ノズルの入口
側(インク室側)からノズルの出口側(記録媒体側)に
向かって次第に断面積が減少しているものや、例えば特
公昭63−44549号公報に示されるように、一旦断
面積が減少した後で一定の断面積で構成されるものが多
い。いずれの構成のものも、ノズルの先端部が断面積最
小であり、ヘッド端面に開口している。
【0004】またノズルの形成は、加圧室とノズルとが
同一平面上に配置される構成のものは、ガラス、金属、
半導体、プラスチック等を用いエッチングまたは射出成
形によって溝を形成し、その後で平板部材と接合し、最
後にヘッド端面をカッティングまたは研磨して所定のノ
ズル長さに合わせ込んで形成される。また加圧室とノズ
ルとが対向する構成のものは、インク吐出手段を持った
基板と流路基板とを張り合わせて形成される。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上記の方法でインクジ
ェットヘッドを形成する場合、カッティングまたは研磨
する製造工程において、ノズルの先端部周辺に欠けや変
形が生じやすい。
【0006】例えば図8の右側に示すノズルaのよう
に、ノズルの先端部a1 に切欠a2 を生じると、インク
滴bがヘッド端面から分離する際の表面張力に偏りが生
じ、インク滴bが本来飛翔する方向cから外れ、切欠a
2 側に偏った別の方向dへ飛び出してしまい、正しい印
字ができなくなる。
【0007】また図8の左側に示すノズルeのようにノ
ズルの先端部e1 が正常に形成された場合でも、駆動周
波数を上げるとヘッド端面のノズル周囲へのインクのし
み出しが発生し、そのしみ出しに偏りがあると、インク
滴bが本来飛翔する方向cから外れ、インクがしみ出し
ている側への張力を受け別の方向fへ飛び出してしま
い、正しい印字ができなくなる。
【0008】またカッティングや研磨などの誤差により
ノズルの先端部の長さが変化し、インク滴の吐出特性が
変化するなどの多くの問題がある。特に、インク流路中
の断面積の小さい部分ほどインク滴の吐出特性に影響を
及ぼすことが知られているが、上記従来の構成では断面
積最小のノズルの先端部に誤差が生じ易いため、所望の
吐出特性が得られにくいものである。
【0009】そこで本発明の目的は、ヘッド端面の開口
部周辺の切欠やインクのしみ出しによるインク滴の飛翔
方向の変動を押え、常に正しい方向へのインク滴の飛翔
を可能にし、カッティングや研磨の製造誤差を吸収して
インク滴の吐出特性を均一にすることにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明のインクジェットヘッドは、インクが供給
されるインク流路と、このインク流路と連通しており、
先端部がヘッド端面から奥まった位置に位置するように
設けられているノズルと、ヘッド端面に設けられており
ノズルの先端部と連通し、かつノズルよりも口径が大で
ある凹部と、インク流路に対応して設けられており、電
力の供給を受けてインク流路中のインクを、ノズルより
凹部を経て、ヘッド端面より吐出させるインク吐出手段
とを有している。
【0011】ノズルの先端部からヘッド端面までの距離
は2〜100μmであり、また凹部はノズルとの連通部
からヘッド端面側へ向かって断面積が大きくなるテーパ
状部を有しており、テーパ状部の角度は片側45°〜1
35°であり、さらにノズルの等価直径φ2 とヘッド端
面に開口する凹部の等価直径φ1 とは、φ1 /φ2 ≧
1.2の関係を満たすように設けられていることが望ま
しい。
【0012】
【作用】インク滴の吐出特性を左右するのは、流路内の
インクが持つ抵抗成分(音響抵抗)と慣性成分(イナー
タンス)である。そしてこれらの値は、一般に流路断面
積が小さい部分ほど大きい。上に述べたように、従来の
インクジェットヘッドではヘッド端面の開口がノズルの
先端部であり、かつ断面積が最小であるので、ノズルの
先端部が吐出特性に与える影響は極めて大である。そこ
で本発明は、断面積が最小なノズルの先端部を、ヘッド
端面から奥まった位置に位置させる構成とすることによ
り、所望の吐出特性が得られ易い。
【0013】
【実施例】図1及び図2に示すように、平板状の流路基
板1の両面に、インク流路2と、この流路と連通するノ
ズル3と、このノズル3と連通する凹部4とを形成する
ための溝が所定の位置に刻設してある。この流路基板1
の両面に平板部材5,5を対接し、これによりインク流
路2,ノズル3及び凹部4を区画形成してある。インク
流路2の一部に図示しない加圧室が設けてあり、圧電素
子などのインク吐出手段によりインク流路2中のインク
を加圧し、ノズル3から凹部4を経てインク滴を吐出可
能になっている。ノズル3は、インク流路2に連通し、
先端部3aがヘッド端面1aから奥まった位置に位置す
るように設けられ、先端部3aが断面積最小の部分とな
っている。そしてこのノズルの先端部3aに連通し、ノ
ズル3よりも口径が大である凹部4がヘッド端面1aに
設けてある。従って、インク流路2,ノズル3,凹部4
のうちで、ヘッド端面1aから奥まった位置にあるノズ
ル先端部3aが断面積最小となっている。
【0014】図3に、インク流路2内のインクが、加圧
によりノズル3から吐出される原理を示している。加圧
によりインク流路中のインクが流れ始めると、ノズル3
の中央部におけるインク流速は5m/s以上になり、大
きな運動量となるため、凹部4に至り断面積が急に広が
ったところでも、その断面積変化の影響を殆ど受けず、
矢印に示すようにほぼ同じ流速と方向を持ったインクジ
ェット流となってヘッド端面1aからインク滴bが飛び
出すことになる。尚、この矢印の長さは流速を示してお
り、矢印の方向は流れの向きを示している。
【0015】このようなインクジェット流の流速と流れ
の向きから分かるように、凹部4においてノズル3の外
側にあたる部分はインク流れに殆んど影響を及ぼさない
ため、凹部4の縁部の切欠4aや、インクのしみ出しに
より端面に付着したインク滴4bは、インク滴bの吐出
特性に殆ど悪影響を与えなくなる。
【0016】このような状況を作り出すための凹部4の
形状は、ノズルの先端部3aの中心部を通って真っ直ぐ
に進行するインクジェット流の方向と、断面積が広がる
テーパ状部4cとの角度θは、片側45°以上でなけれ
ばならない。このことは、もし45°より小さいと、イ
ンク滴bを吐出した後にヘッド端面1aに生じるメニス
カスが、ノズルの先端部3aの真中に来なくなり、次の
吐出に悪影響を与えてしまう恐れがあるからである。ま
た角度θは片側135°以内が望ましく、もし135°
より大であると、流路を形成するための残り部分(図3
の1bに相当)が鋭角で細くなり、折れや変形等が起こ
り易くなるからである。
【0017】また上のような効果を生じさせるために
は、ヘッド端面1aからノズルの先端部3aまでの距離
Lは、2μm以上でなければならない。これは、距離L
がこれより小であると凹部4の口径を大きくした効果が
出ないためである。また100μmより大であると、凹
部4の音響抵抗やイナータンスのインク流れに対する影
響が無視できなくなると同時に、インク滴bが大きくな
る等の不都合を生じるので、距離Lは100μm以内で
なければならない。
【0018】またヘッドの形状により、ヘッド端面1a
からノズルの先端部3aまでの距離Lが小さい時に、上
の効果を生じさせるためには、ノズル3の先端部3aの
等価直径φ2 とヘッド端面1aに開口する凹部4の口径
の等価直径φ1 とは、φ1 /φ2 ≧1.2の関係を満た
すのが望ましい。これは種々の実験の結果得られたもの
で、等価直径φ1 はノズル3のピッチにより変わるもの
であるから、小ピッチの場合にも、φ1 /φ2 が1.2
以上あれば、所期の効果を上げることが可能である。
【0019】図1及び図2に示す実施例では、加圧室と
ノズル3とが同一平面上に配置される構成であって、ノ
ズル3はインク吐出手段に対向していない。これに対し
て図4及び図5に示す実施例は、インク吐出手段とノズ
ルとが対向する構成のものであり、流路基板11の一方
の面がヘッド端面11aであり、この面に凹部14が開
口している。流路基板11の他方の面にインク流路12
が設けてあり、このインク流路12と連通してノズル1
3が設けてある。ノズルの先端部13aと連通する凹部
14の構成は上に説明したと同様である。
【0020】インク流路12のノズル13に対向する部
分が加圧室であり、この加圧室に対向する基板15上の
位置に、インク吐出手段16である発熱素子を配設した
上で、基板15と流路基板11とを張り合わせることに
より、ノズル13に対向してインク吐出手段が形成され
る。この実施例におけるインク滴bの吐出の原理は、図
3にて説明したと同様である。
【0021】図6では、ノズル23の先端部23aと凹
部24のテーパ状部24cとの角に丸みがつけられてお
り、図7もまた、ノズル33の先端部33aと凹部34
のテーパ状部34cとの角が面取りされている例を示し
ている。いずれの場合にも、テーパ状部24c,34c
の角度θは、ノズルの先端部23a,33aの中心を通
るインクジェット流の方向と、丸みがつけられたり面取
りされたりしている部分を除くテーパ状部24c,34
cとのなす角度で規定される。図6のように角度θが9
0°より大になっても、135°以内であれば流路を形
成するための残り部分には折れや変形等は起こり難く、
角に丸みをつけることにより一層安全となる。また図7
のように、角度θが90°より小になっても45°以上
あれば、インク滴bを吐出した後にヘッド端面に生じる
メニスカスはノズルの先端部33aの中央部真上に来る
ので、次の吐出を正常に行うことができる。
【0022】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明では、断
面積最小であるノズルの先端部がヘッド端面から奥まっ
た位置に位置するように設けてあり、ヘッド端面にはノ
ズルよりも口径が大である凹部が設けてあるので、凹部
の開口周辺にインクのしみ出しを生じても、インク滴の
飛翔方向に悪影響が及ぶこと無く、常に正しい方向へイ
ンク滴を吐出させることができる。またカッティングま
たは研磨する製造工程において、ヘッド端面の開口周辺
に欠けや変形が生じても、インク滴の飛翔方向に影響を
及ぼさないとともに音響抵抗やイナータンスの変動が小
さいので、インク滴の吐出特性を均一にでき、所定量の
インク滴を所定の飛翔方向へ吐出することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示す要部断面図である。
【図2】図1におけるヘッド端面を示す正面図である。
【図3】図1におけるインクの流れの原理を説明する拡
大断面図である。
【図4】本発明の他の実施例を示す要部断面図である。
【図5】図4におけるヘッド端面を示す正面図である。
【図6】本発明の更に他の実施例を示す要部断面図であ
る。
【図7】本発明の更に他の実施例を示す要部断面図であ
る。
【図8】従来例におけるインクの飛び出し方向を説明す
る断面図である。
【符号の説明】
1a,11a ヘッド端面 2,12, インク流路 3,13,23,33 ノズル 3a,13a,23a,33a ノズルの先端部 4,14,24,34 凹部 4c,24c,34c 凹部のテーパ状部 16 インク吐出手段

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 インクが供給されるインク流路と、 上記インク流路と連通しており、先端部がヘッド端面か
    ら奥まった位置に位置するように設けられているノズル
    と、 上記ヘッド端面に設けられており上記ノズルの上記先端
    部と連通し、かつ上記ノズルよりも口径が大である凹部
    と、 上記インク流路に対応して設けられており、電力の供給
    を受けて上記インク流路中の上記インクを、上記ノズル
    より上記凹部を経て、上記ヘッド端面より吐出させるイ
    ンク吐出手段とを有することを特徴とするインクジェッ
    トヘッド。
  2. 【請求項2】 請求項1において、上記ノズルの上記先
    端部から上記ヘッド端面までの距離は2〜100μmで
    あることを特徴とするインクジェットヘッド。
  3. 【請求項3】 請求項1または2において、上記凹部は
    上記ノズルとの連通部から上記ヘッド端面側へ向かって
    断面積が大きくなるテーパ状部を有しており、上記テー
    パ状部の角度は片側45°〜135°であることを特徴
    とするインクジェットヘッド。
  4. 【請求項4】 請求項1ないし3のいずれかにおいて、
    上記ノズルの等価直径φ2 と上記ヘッド端面に開口する
    凹部の等価直径φ1 とは、φ1 /φ2 ≧1.2の関係を
    満たすように設けられていることを特徴とするインクジ
    ェットヘッド。
JP4033281A 1992-02-20 1992-02-20 インクジェットヘッド Pending JPH06286129A (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4033281A JPH06286129A (ja) 1992-02-20 1992-02-20 インクジェットヘッド
US08/019,553 US5451993A (en) 1992-02-20 1993-02-19 Ink jet head

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4033281A JPH06286129A (ja) 1992-02-20 1992-02-20 インクジェットヘッド

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH06286129A true JPH06286129A (ja) 1994-10-11

Family

ID=12382150

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4033281A Pending JPH06286129A (ja) 1992-02-20 1992-02-20 インクジェットヘッド

Country Status (2)

Country Link
US (1) US5451993A (ja)
JP (1) JPH06286129A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003508278A (ja) * 1999-09-09 2003-03-04 ヒューレット・パッカード・カンパニー プリントヘッド
JP2006035536A (ja) * 2004-07-23 2006-02-09 Ricoh Co Ltd 液体吐出ヘッド、ヘッドカートリッジ、インクジェット記録装置、及び薬剤吸入装置

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6527369B1 (en) 1995-10-25 2003-03-04 Hewlett-Packard Company Asymmetric printhead orifice
US6557974B1 (en) 1995-10-25 2003-05-06 Hewlett-Packard Company Non-circular printhead orifice
US6130688A (en) * 1999-09-09 2000-10-10 Hewlett-Packard Company High efficiency orifice plate structure and printhead using the same
US6290331B1 (en) * 1999-09-09 2001-09-18 Hewlett-Packard Company High efficiency orifice plate structure and printhead using the same
JP4027281B2 (ja) * 2002-07-10 2007-12-26 キヤノン株式会社 インクジェット記録ヘッド
US6938988B2 (en) * 2003-02-10 2005-09-06 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Counter-bore of a fluid ejection device
US20050130075A1 (en) * 2003-12-12 2005-06-16 Mohammed Shaarawi Method for making fluid emitter orifice
EP1706271B1 (en) * 2003-12-30 2011-12-21 Dimatix, Inc. Drop ejection assembly
JP4632421B2 (ja) * 2004-12-07 2011-02-16 キヤノン株式会社 インクジェット記録ヘッド
US7585616B2 (en) * 2005-01-31 2009-09-08 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Method for making fluid emitter orifice
GB201420264D0 (en) 2014-11-14 2014-12-31 The Technology Partnership Plc Non-contact liquid printing
JP2018199235A (ja) * 2017-05-26 2018-12-20 キヤノン株式会社 液体吐出ヘッド
CN112009101A (zh) * 2020-08-05 2020-12-01 Tcl华星光电技术有限公司 打印头及喷墨打印设备
JP2024130564A (ja) * 2023-03-15 2024-09-30 株式会社リコー 液体吐出モジュール、液体吐出ヘッド及び液体吐出装置

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6137439A (ja) * 1984-07-31 1986-02-22 Canon Inc インクジエツト記録ヘツド
JPS6268763A (ja) * 1985-09-20 1987-03-28 Ricoh Co Ltd インクジエツトヘツドのノズル構造
JPH02281959A (ja) * 1989-03-27 1990-11-19 Hewlett Packard Co <Hp> インク粘度調整によるプリントヘッドの性能調整方法

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3823408A (en) * 1972-11-29 1974-07-09 Ibm High performance ink jet nozzle
US4246076A (en) * 1979-12-06 1981-01-20 Xerox Corporation Method for producing nozzles for ink jet printers
JPS5737439A (en) * 1980-08-18 1982-03-01 Tokyo Shibaura Electric Co X-ray photographing apparatus
US4389654A (en) * 1981-10-01 1983-06-21 Xerox Corporation Ink jet droplet generator fabrication method
US4675083A (en) * 1986-04-02 1987-06-23 Hewlett-Packard Company Compound bore nozzle for ink jet printhead and method of manufacture

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6137439A (ja) * 1984-07-31 1986-02-22 Canon Inc インクジエツト記録ヘツド
JPS6268763A (ja) * 1985-09-20 1987-03-28 Ricoh Co Ltd インクジエツトヘツドのノズル構造
JPH02281959A (ja) * 1989-03-27 1990-11-19 Hewlett Packard Co <Hp> インク粘度調整によるプリントヘッドの性能調整方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003508278A (ja) * 1999-09-09 2003-03-04 ヒューレット・パッカード・カンパニー プリントヘッド
JP2006035536A (ja) * 2004-07-23 2006-02-09 Ricoh Co Ltd 液体吐出ヘッド、ヘッドカートリッジ、インクジェット記録装置、及び薬剤吸入装置

Also Published As

Publication number Publication date
US5451993A (en) 1995-09-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5451993A (en) Ink jet head
JPH0698764B2 (ja) 大型アレー・サーマル・インクジェット印字ヘッド
JP4296893B2 (ja) ノズルプレートの製造方法
JPH05286142A (ja) インクジェットヘッド及びその製造方法
JPH05261918A (ja) インクジェットヘッド
US6592196B2 (en) Drive method for ink jet head
JP3246517B2 (ja) インクジェットヘッド
JP2002337338A (ja) インクジェットプリントヘッド
JPH06188472A (ja) マイクロアクチュエータ及びこれを用いたインクジェットヘッド
JP2987954B2 (ja) インクジェットノズルプレート及びその製造方法並びに細孔の形成方法
JPH07178917A (ja) インクジェットプリントヘッド及びその製造方法
JPH02273242A (ja) インクジェットヘッド
JP2002029047A (ja) インクジェット記録ヘッド及びその製造方法、インクジェット記録装置
JPH0647914A (ja) インクジェットヘッド
JPH01125242A (ja) インクジェットヘッドにおけるノズル端面形成方法
JP3206081B2 (ja) インクジェットヘッド
JPH04353456A (ja) 液滴噴射装置
JP2000190497A (ja) インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置
JPH04255356A (ja) インクジェット記録装置
JP4670205B2 (ja) インクジェットヘッド
JPH05318730A (ja) インクジェットヘッド
JPS63222859A (ja) ドロツプオンデマンドインクジエツトヘツド
JP2958502B2 (ja) インクジェット記録ヘッド
JPH11170511A (ja) インクジェットヘッドおよびその製造方法
JPH07117224A (ja) インクジェットヘッド