JPH0628648A - ヘッド制御装置 - Google Patents
ヘッド制御装置Info
- Publication number
- JPH0628648A JPH0628648A JP20201092A JP20201092A JPH0628648A JP H0628648 A JPH0628648 A JP H0628648A JP 20201092 A JP20201092 A JP 20201092A JP 20201092 A JP20201092 A JP 20201092A JP H0628648 A JPH0628648 A JP H0628648A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic head
- sensor
- position sensor
- register
- amplifier
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 位置センサの温度変化等の影響を受けずに、
変化可能な磁気ヘッドの位置を一定の位置に保つこと。 【構成】 ドラム軸方向に変化可能な磁気ヘッド１ａ，
１ｂ，固定基準位置板１ｃを塔載した回転ドラム１と、
これに対向した面に位置センサ２を組み込んだ固定ドラ
ムとから成り、記録時に演算処理回路の動作点中心が基
準位置板１ｃの位置になるようにサーボをかけ、その
後、磁気ヘッド１ａ，１ｂと基準位置板１ｃの位置が同
じになるように変位可能な磁気ヘッド１ａ，１ｂの位置
を制御する。
変化可能な磁気ヘッドの位置を一定の位置に保つこと。 【構成】 ドラム軸方向に変化可能な磁気ヘッド１ａ，
１ｂ，固定基準位置板１ｃを塔載した回転ドラム１と、
これに対向した面に位置センサ２を組み込んだ固定ドラ
ムとから成り、記録時に演算処理回路の動作点中心が基
準位置板１ｃの位置になるようにサーボをかけ、その
後、磁気ヘッド１ａ，１ｂと基準位置板１ｃの位置が同
じになるように変位可能な磁気ヘッド１ａ，１ｂの位置
を制御する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ヘッド制御装置に関
し、より詳細には、位置センサの温度変化等の影響を受
けずに、変位可能な磁気ヘッドの位置を一定の位置にな
るように制御するヘッド制御装置に関する。
し、より詳細には、位置センサの温度変化等の影響を受
けずに、変位可能な磁気ヘッドの位置を一定の位置にな
るように制御するヘッド制御装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、変位可能な磁気ヘッドの位置を記
録時に制御するには、変位素子に例えばストレイン・ゲ
ージと呼ばれる歪に応じて電気抵抗が変化するセンサを
貼り付け、この抵抗値がある値になるように変位素子に
電圧を印加して変位させることが行なわれている。すな
わち、図３（ａ）のように、変位素子２１は上方にａ変
位すれば、歪センサ２２の抵抗値がａになり、抵抗計２
３で測定される。図３（ｂ）のように下方にａ変位すれ
ば、歪センサ２２の抵抗値がｂになり抵抗計２３で測定
される。歪センサ２２の抵抗値が（ａ＋ｂ）／２になる
ように制御すれば、変位は図３（ｃ）のようにゼロとな
る。
録時に制御するには、変位素子に例えばストレイン・ゲ
ージと呼ばれる歪に応じて電気抵抗が変化するセンサを
貼り付け、この抵抗値がある値になるように変位素子に
電圧を印加して変位させることが行なわれている。すな
わち、図３（ａ）のように、変位素子２１は上方にａ変
位すれば、歪センサ２２の抵抗値がａになり、抵抗計２
３で測定される。図３（ｂ）のように下方にａ変位すれ
ば、歪センサ２２の抵抗値がｂになり抵抗計２３で測定
される。歪センサ２２の抵抗値が（ａ＋ｂ）／２になる
ように制御すれば、変位は図３（ｃ）のようにゼロとな
る。
【０００３】また、例えば特開平４−１９１２号公報の
ものは、ヒステリシスの存在や環境温度の変化により、
磁気ヘッド駆動部の各部の寸法の変化量にばらつきがあ
る場合でも、磁気ヘッドを所定の基準高さに位置決めし
て、所定の磁気記録跡を確実に形成するもので、図４に
そのブロックを示す。
ものは、ヒステリシスの存在や環境温度の変化により、
磁気ヘッド駆動部の各部の寸法の変化量にばらつきがあ
る場合でも、磁気ヘッドを所定の基準高さに位置決めし
て、所定の磁気記録跡を確実に形成するもので、図４に
そのブロックを示す。
【０００４】図４において、光センサは発光部（図示せ
ず）のＬＥＤより光を照射し、磁気ヘッドが通過しない
ときには、光が回転シリンダの下端面で反射され、磁気
ヘッドが通過するときには、磁気ヘッドの下端面で反射
し、それぞれ受光部２４に入射する。このように、受光
部２４にそれぞれ入射した光を位置検出素子によって検
出し、その差電圧の出力をセンサアンプ２５により増幅
する。ここで得られた情報は、磁気ヘッドの下端面と回
転シリンダの下端面との高さを表わしている。記録時に
は、磁気ヘッドが磁気テープに所定の高さで進入すると
き、その高さに対応するセンサアンプ２５からの出力を
規定電圧とし、任意の高さで磁気ヘッドが磁気テープに
進入するときのセンサアンプ２５からの出力電圧と、上
記規定電圧とを減算器２７で減算してその差を取り、こ
の差が０になるように、ドライバ２８を介して磁気ヘッ
ド駆動部２９を駆動して、磁気ヘッドを中心軸に平行に
駆動変位する。
ず）のＬＥＤより光を照射し、磁気ヘッドが通過しない
ときには、光が回転シリンダの下端面で反射され、磁気
ヘッドが通過するときには、磁気ヘッドの下端面で反射
し、それぞれ受光部２４に入射する。このように、受光
部２４にそれぞれ入射した光を位置検出素子によって検
出し、その差電圧の出力をセンサアンプ２５により増幅
する。ここで得られた情報は、磁気ヘッドの下端面と回
転シリンダの下端面との高さを表わしている。記録時に
は、磁気ヘッドが磁気テープに所定の高さで進入すると
き、その高さに対応するセンサアンプ２５からの出力を
規定電圧とし、任意の高さで磁気ヘッドが磁気テープに
進入するときのセンサアンプ２５からの出力電圧と、上
記規定電圧とを減算器２７で減算してその差を取り、こ
の差が０になるように、ドライバ２８を介して磁気ヘッ
ド駆動部２９を駆動して、磁気ヘッドを中心軸に平行に
駆動変位する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】前述のように、従来の
ヘッド制御装置においては、歪センサの抵抗値が周囲の
温度等の変化により変動した場合に、磁気ヘッドを一定
の位置に制御することが難かしいという問題があった。
また、周囲環境温度の影響を受けないように前記公報の
ように構成したとしても、センサアンプの増幅度が大き
いために、ドリフト等の影響で容易に動作不良となる欠
点があった。
ヘッド制御装置においては、歪センサの抵抗値が周囲の
温度等の変化により変動した場合に、磁気ヘッドを一定
の位置に制御することが難かしいという問題があった。
また、周囲環境温度の影響を受けないように前記公報の
ように構成したとしても、センサアンプの増幅度が大き
いために、ドリフト等の影響で容易に動作不良となる欠
点があった。
【０００６】本発明は、このような実情に鑑みてなされ
たもので、位置センサの温度変化に対する影響を受けず
に、変位素子の位置を一定に保つとともに、増幅度の大
きいセンサアンプを用いてもドリフトなどの動作不良を
起こすことのないヘッド制御装置を提供することを目的
としている。
たもので、位置センサの温度変化に対する影響を受けず
に、変位素子の位置を一定に保つとともに、増幅度の大
きいセンサアンプを用いてもドリフトなどの動作不良を
起こすことのないヘッド制御装置を提供することを目的
としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、変位可能な磁気ヘッドを用いた回転ドラ
ム磁気記録再生装置において、回転ドラム内に設けられ
た位置基準板と、固定ドラムに内蔵された位置センサ
と、前記位置基準板の位置に対応する位置センサの出力
が、後段の演算処理回路における動作中央点になるよう
に、該位置センサの出力を増幅する増幅回路と、該増幅
回路の動作点をフィードバック・ループを用いて調整し
た後、変位可能な磁気ヘッドの位置を前記位置基準板の
位置にあわせるように変位素子を制御する制御手段とか
ら成ることを特徴とするものである。
成するために、変位可能な磁気ヘッドを用いた回転ドラ
ム磁気記録再生装置において、回転ドラム内に設けられ
た位置基準板と、固定ドラムに内蔵された位置センサ
と、前記位置基準板の位置に対応する位置センサの出力
が、後段の演算処理回路における動作中央点になるよう
に、該位置センサの出力を増幅する増幅回路と、該増幅
回路の動作点をフィードバック・ループを用いて調整し
た後、変位可能な磁気ヘッドの位置を前記位置基準板の
位置にあわせるように変位素子を制御する制御手段とか
ら成ることを特徴とするものである。
【０００８】
【作用】回転ドラム内に位置基準板を設け、固定ドラム
に位置センサを内蔵し、位置基準板の位置に対応する位
置センサの出力が、後段の演算処理回路における動作中
央点になるように、位置センサの出力を増幅する増幅回
路の動作点をフィードバック・ループを用いて調整した
後、変位可能な磁気ヘッドの位置を位置基準板の位置に
あわせるように変位素子を制御する。
に位置センサを内蔵し、位置基準板の位置に対応する位
置センサの出力が、後段の演算処理回路における動作中
央点になるように、位置センサの出力を増幅する増幅回
路の動作点をフィードバック・ループを用いて調整した
後、変位可能な磁気ヘッドの位置を位置基準板の位置に
あわせるように変位素子を制御する。
【０００９】
【実施例】実施例について図面を参照して以下に説明す
る。図１は、本発明によるヘッド制御装置の一実施例を
説明するための構成図で、図中、１は回転ドラム、１
ａ，１ｂは磁気ヘッド、１ｃは基準位置板、２は位置セ
ンサ、３は直流増幅器、４はＡ／Ｄ変換器、５，６はレ
ジスタ、７は演算器、８ａ〜８ｄはレジスタ、９ａ，９
ｂは演算器、１０ａ，１０ｂはＤ／Ａ変換器、１１はレ
ジスタ、１２は演算器、１３はＤ／Ａ変換器である。
る。図１は、本発明によるヘッド制御装置の一実施例を
説明するための構成図で、図中、１は回転ドラム、１
ａ，１ｂは磁気ヘッド、１ｃは基準位置板、２は位置セ
ンサ、３は直流増幅器、４はＡ／Ｄ変換器、５，６はレ
ジスタ、７は演算器、８ａ〜８ｄはレジスタ、９ａ，９
ｂは演算器、１０ａ，１０ｂはＤ／Ａ変換器、１１はレ
ジスタ、１２は演算器、１３はＤ／Ａ変換器である。
【００１０】回転ドラム１に、回転軸方向に電気・機械
変換器により変位可能な磁気ヘッド１ａ，１ｂを塔載
し、該電気・機械変換器に電圧を印加することにより、
それに応じて磁気ヘッドのドラム軸方向の位置を回転ド
ラム１に固定内蔵された基準位置板１ｃに対して制御す
る。以下、制御方法を具体的に述べる。基準位置板１ｃ
と磁気ヘッド１ａ，１ｂのドラム軸方向の位置は位置セ
ンサ２により検出される。該位置センサ２としては、例
えば静電容量の変化を利用したセンサや、渦電流の変化
を利用したもの、光の反射を利用したものなどがある。
ここでは、静電容量センサを用いた場合について説明す
る。
変換器により変位可能な磁気ヘッド１ａ，１ｂを塔載
し、該電気・機械変換器に電圧を印加することにより、
それに応じて磁気ヘッドのドラム軸方向の位置を回転ド
ラム１に固定内蔵された基準位置板１ｃに対して制御す
る。以下、制御方法を具体的に述べる。基準位置板１ｃ
と磁気ヘッド１ａ，１ｂのドラム軸方向の位置は位置セ
ンサ２により検出される。該位置センサ２としては、例
えば静電容量の変化を利用したセンサや、渦電流の変化
を利用したもの、光の反射を利用したものなどがある。
ここでは、静電容量センサを用いた場合について説明す
る。
【００１１】図２は、図１における位置センサとして静
電容量センサを用いる例を示す図で、図中、１４，１６
は増幅器、１５はＬＰＦ（ローパスフィルタ）である。
高周波発生回路Ｅ，静電容量Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４，
ダイオードＤ１，Ｄ２，Ｄ３，Ｄ４で交流ブリッジを形
成し、増幅器１４の出力に、交流ブリッジの不平衡成分
が全波整流して現われるので、これをローパスフィルタ
１５で積分し、増幅器１６で増幅することにより、交流
ブリッジの不平衡の度合いを直流電圧の値として得る。
ここで、静電容量Ｃ３を、別記基準位置板１ｃ、磁気ヘ
ッド１ａ，１ｂと、固定ドラムに内蔵した位置センサの
電極で構成すれば、このギャップ変化に応じて静電容量
Ｃ３が変化するので、該静電容量を検出することによ
り、基準位置板１ｃ、磁気ヘッド１ａ，１ｂのドラム軸
方向の位置を知ることができる。位置センサ２で検出さ
れた電圧は、直流増幅回路３により増幅され、アナログ
・ディジタル変換器４でディジタル値となる。回転ドラ
ム１が回転し、固定ドラムに内蔵した位置センサの電極
の上に基準位置板１ｃが来た時のディジタル値をレジス
タ１１に保持する。
電容量センサを用いる例を示す図で、図中、１４，１６
は増幅器、１５はＬＰＦ（ローパスフィルタ）である。
高周波発生回路Ｅ，静電容量Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４，
ダイオードＤ１，Ｄ２，Ｄ３，Ｄ４で交流ブリッジを形
成し、増幅器１４の出力に、交流ブリッジの不平衡成分
が全波整流して現われるので、これをローパスフィルタ
１５で積分し、増幅器１６で増幅することにより、交流
ブリッジの不平衡の度合いを直流電圧の値として得る。
ここで、静電容量Ｃ３を、別記基準位置板１ｃ、磁気ヘ
ッド１ａ，１ｂと、固定ドラムに内蔵した位置センサの
電極で構成すれば、このギャップ変化に応じて静電容量
Ｃ３が変化するので、該静電容量を検出することによ
り、基準位置板１ｃ、磁気ヘッド１ａ，１ｂのドラム軸
方向の位置を知ることができる。位置センサ２で検出さ
れた電圧は、直流増幅回路３により増幅され、アナログ
・ディジタル変換器４でディジタル値となる。回転ドラ
ム１が回転し、固定ドラムに内蔵した位置センサの電極
の上に基準位置板１ｃが来た時のディジタル値をレジス
タ１１に保持する。
【００１２】ところで、直流増幅器３は、例えば１，０
００倍程度の大きな増幅度を必要しており、そのままで
は、動作点のわずかなドリフト等で、アナログ・ディジ
タル変換器４の動作範囲外に容易に出てしまう。そこ
で、レジスタ１１の値が、アナログ・ディジタル変換器
４のほぼ動作中心値となるように、直流増幅器３の動作
点を調整するため、レジスタ１１の値とアナログ・ディ
ジタル変換器４の中央値との差を演算機１２で演算し、
結果をディジタル・アナログ変換器１３でアナログ値に
変換して直流増幅器３の動作点の調整電圧として与え
る、いわゆるサーボをかける。サーボがかかり、基準位
置板１ｃの位置が、アナログ・ディジタル変換器４の中
央付近に落ち着いてから、磁気ヘッドの１ａ，１ｂの制
御に移る。
００倍程度の大きな増幅度を必要しており、そのままで
は、動作点のわずかなドリフト等で、アナログ・ディジ
タル変換器４の動作範囲外に容易に出てしまう。そこ
で、レジスタ１１の値が、アナログ・ディジタル変換器
４のほぼ動作中心値となるように、直流増幅器３の動作
点を調整するため、レジスタ１１の値とアナログ・ディ
ジタル変換器４の中央値との差を演算機１２で演算し、
結果をディジタル・アナログ変換器１３でアナログ値に
変換して直流増幅器３の動作点の調整電圧として与え
る、いわゆるサーボをかける。サーボがかかり、基準位
置板１ｃの位置が、アナログ・ディジタル変換器４の中
央付近に落ち着いてから、磁気ヘッドの１ａ，１ｂの制
御に移る。
【００１３】まず上記方法で求めた直流増幅器３の動作
点の調整電圧を保持する。次に、基準位置板１ｃの位置
をレジスタ５に保持する。回転ドラム１が回転し、固定
ドラムの電極上に磁気ヘッド１ａが来た時の位置をレジ
スタ６に保持する。レジスタ５とレジスタ６の値の差を
演算器７で演算し、レジスタ８ａに結果を保持する。
点の調整電圧を保持する。次に、基準位置板１ｃの位置
をレジスタ５に保持する。回転ドラム１が回転し、固定
ドラムの電極上に磁気ヘッド１ａが来た時の位置をレジ
スタ６に保持する。レジスタ５とレジスタ６の値の差を
演算器７で演算し、レジスタ８ａに結果を保持する。
【００１４】次に、磁気ヘッド１ｂについても同様に、
その値をレジスタ６に保持し、レジスタ５とレジスタ６
の値の差を演算器７で演算し、レジスタ８ｂに結果を保
持する。更に、直流増幅器３の動作点の調整電圧は保持
したまま、１回転した後の基準位置板１ｃの値をレジス
タ５に保持する。次に、磁気ヘッド１ａの付いている電
気・機械変換器に正方向に１ステップだけ電圧を印加
し、同様に磁気へッド１ａの値をレジスタ６に保持し、
演算器７で差を求める。ここで前回求めてレジスタ８ａ
に保持している値をレジスタ８ｃに移し、今求めた値を
レジスタ８ａに保持し、両者の差を演算器９ａで求め、
もしレジスタ８ａの値がレジスタ８ｃ値よりも大きけれ
ば、これは、前回よりも基準位置板１ｃと磁気ヘッド１
ａの位置が離れたことになるので、逆方向に１ステップ
だけ電圧を印加する。この電圧はディジタル・アナログ
変換器１０ａにより与える。
その値をレジスタ６に保持し、レジスタ５とレジスタ６
の値の差を演算器７で演算し、レジスタ８ｂに結果を保
持する。更に、直流増幅器３の動作点の調整電圧は保持
したまま、１回転した後の基準位置板１ｃの値をレジス
タ５に保持する。次に、磁気ヘッド１ａの付いている電
気・機械変換器に正方向に１ステップだけ電圧を印加
し、同様に磁気へッド１ａの値をレジスタ６に保持し、
演算器７で差を求める。ここで前回求めてレジスタ８ａ
に保持している値をレジスタ８ｃに移し、今求めた値を
レジスタ８ａに保持し、両者の差を演算器９ａで求め、
もしレジスタ８ａの値がレジスタ８ｃ値よりも大きけれ
ば、これは、前回よりも基準位置板１ｃと磁気ヘッド１
ａの位置が離れたことになるので、逆方向に１ステップ
だけ電圧を印加する。この電圧はディジタル・アナログ
変換器１０ａにより与える。
【００１５】磁気ヘッド１ｂについても同様な方法で、
基準位置板１ｃとヘッド１ｂの位置をあわせるように、
ディジタル・アナログ変換器１０ｂにより電圧を与え
る。次に、更に１回転後では、ヘッド制御電圧は保持し
たまま、前述した直流増幅器３の動作点の調整動作を行
なう。以下、これを繰り返すことで、磁気ヘッド１ａ，
１ｂの位置を基準位置板１ｃの位置にあわせる。このよ
うに、位置基準板１ｃの位置が、演算処理回路のほぼ動
作中央点になるように、増幅器の動作点をフィードバッ
ク・ループにより調整した後、変位素子である磁気ヘッ
ドの位置が位置基準板１ｃと同じ位置になるように、変
位素子を制御する。
基準位置板１ｃとヘッド１ｂの位置をあわせるように、
ディジタル・アナログ変換器１０ｂにより電圧を与え
る。次に、更に１回転後では、ヘッド制御電圧は保持し
たまま、前述した直流増幅器３の動作点の調整動作を行
なう。以下、これを繰り返すことで、磁気ヘッド１ａ，
１ｂの位置を基準位置板１ｃの位置にあわせる。このよ
うに、位置基準板１ｃの位置が、演算処理回路のほぼ動
作中央点になるように、増幅器の動作点をフィードバッ
ク・ループにより調整した後、変位素子である磁気ヘッ
ドの位置が位置基準板１ｃと同じ位置になるように、変
位素子を制御する。
【００１６】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、以下のような効果を奏する。すなわち、位
置センサの温度変化に対する影響を受けずに変位可能素
子の位置を一定に保つことが出来、又、位置センサをサ
ーボ制御するための位置基準板を設けたので、増幅度の
大きいセンサアンプを用いてもドリフトなどの動作不良
を起こすことがなくなるという利点がある。
ているので、以下のような効果を奏する。すなわち、位
置センサの温度変化に対する影響を受けずに変位可能素
子の位置を一定に保つことが出来、又、位置センサをサ
ーボ制御するための位置基準板を設けたので、増幅度の
大きいセンサアンプを用いてもドリフトなどの動作不良
を起こすことがなくなるという利点がある。
【図１】本発明によるへッド制御装置の一実施例を説明
するための構成図である。
するための構成図である。
【図２】図１における位置をセンサとして静電容量セン
サを用いた例を示す図である。
サを用いた例を示す図である。
【図３】従来のヘッド制御方式を説明するための図であ
る。
る。
【図４】従来のヘッド制御装置を示す図である。
１…回転ドラム、１ａ，１ｂ…磁気ヘッド、１ｃ…基準
位置板、２…位置センサ、３…直流増幅器、４…Ａ／Ｄ
変換器、５，６…レジスタ、７…演算器、８ａ〜８ｄ…
レジスタ、９ａ，９ｂ…演算器、１０ａ，１０ｂ…Ｄ／
Ａ変換器、１１…レジスタ、１２…演算器、１３…Ｄ／
Ａ変換器。
位置板、２…位置センサ、３…直流増幅器、４…Ａ／Ｄ
変換器、５，６…レジスタ、７…演算器、８ａ〜８ｄ…
レジスタ、９ａ，９ｂ…演算器、１０ａ，１０ｂ…Ｄ／
Ａ変換器、１１…レジスタ、１２…演算器、１３…Ｄ／
Ａ変換器。
Claims (1)
- 【請求項１】 変位可能な磁気ヘッドを用いた回転ドラ
ム磁気記録再生装置において、回転ドラム内に設けられ
た位置基準板と、固定ドラムに内蔵された位置センサ
と、前記位置基準板の位置に対応する位置センサの出力
が、後段の演算処理回路における動作中央点になるよう
に、該位置センサの出力を増幅する増幅回路と、該増幅
回路の動作点をフィードバック・ループを用いて調整し
た後、変位可能な磁気ヘッドの位置を前記位置基準板の
位置にあわせるように変位素子を制御する制御手段とか
ら成ることを特徴とするヘッド制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20201092A JPH0628648A (ja) | 1992-07-06 | 1992-07-06 | ヘッド制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20201092A JPH0628648A (ja) | 1992-07-06 | 1992-07-06 | ヘッド制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0628648A true JPH0628648A (ja) | 1994-02-04 |
Family
ID=16450432
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20201092A Pending JPH0628648A (ja) | 1992-07-06 | 1992-07-06 | ヘッド制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0628648A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11372062B2 (en) | 2019-10-31 | 2022-06-28 | Canon Medical Systems Corporation | Coil element, local coil apparatus, and magnetic resonance imaging apparatus |
-
1992
- 1992-07-06 JP JP20201092A patent/JPH0628648A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11372062B2 (en) | 2019-10-31 | 2022-06-28 | Canon Medical Systems Corporation | Coil element, local coil apparatus, and magnetic resonance imaging apparatus |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7075700B2 (en) | Mirror actuator position sensor systems and methods | |
| US20020109932A1 (en) | Disk device conducting a disturbance compensation based on a time-interval measurement in reading servo sectors recorded on a disk | |
| US10908361B2 (en) | Capacitive position sensing for capacitive drive MEMS devices | |
| US5708368A (en) | Method and apparatus for emulation of a linear variable differential transducer by a capacitive gaging system | |
| KR20020059029A (ko) | 절대 회전 각도 측정 장치 및 그 제어 방법 | |
| JPH0271108A (ja) | 搬送される銀行券、証券類等のシート材の厚さを測定する装置 | |
| JPH11511584A (ja) | ディスク装置アクチュエータの速度制御 | |
| US4430606A (en) | Sheet feeding apparatus | |
| JPH0628648A (ja) | ヘッド制御装置 | |
| US5132527A (en) | Compensation arrangement for opto-electronic reference generator | |
| JP2964317B2 (ja) | 原子間力顕微鏡型表面粗さ計 | |
| US4459849A (en) | Compact force measuring system | |
| JP3749410B2 (ja) | 試験装置 | |
| KR100197207B1 (ko) | 압전 물질을 이용한 미소 절삭 시스템 | |
| JP2642929B2 (ja) | 位置センサの調整方法 | |
| US6754153B2 (en) | Exposure apparatus for optical disc | |
| JPH0543371Y2 (ja) | ||
| JP2685489B2 (ja) | 磁気的に位置や速度を検出する装置 | |
| JP2897080B2 (ja) | 変位計調整方法及びその装置 | |
| JP3267314B2 (ja) | 位置決め制御方法 | |
| JPH04333108A (ja) | 試料台駆動装置 | |
| JP2004258379A (ja) | 電子ビームフォーカス制御装置、電子ビーム照射ヘッドの姿勢制御装置、電子ビームフォーカス制御方法および電子ビーム照射ヘッドの姿勢制御方法 | |
| JPH06109481A (ja) | コード板取付位置調整装置 | |
| JP4128863B2 (ja) | サーボ型加速度計 | |
| JPH04209002A (ja) | 制御回路 |