JPH06287062A - 強化ＳｉＣ基セラミックス部材 - Google Patents
強化ＳｉＣ基セラミックス部材Info
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- JPH06287062A JPH06287062A JP5073363A JP7336393A JPH06287062A JP H06287062 A JPH06287062 A JP H06287062A JP 5073363 A JP5073363 A JP 5073363A JP 7336393 A JP7336393 A JP 7336393A JP H06287062 A JPH06287062 A JP H06287062A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 高強度を維持した上で、信頼性を高めると共
に、製造コストの低減を図った強化 SiC基セラミックス
部材を提供する。 【構成】 SiCをマトリックスとするセラミックス部材
であって、摺動面、応力集中面、熱的作用が加わる面、
化学的作用が加わる面等の実仕事面およびその近傍層の
みを、 SiCマトリックス内に長繊維、短繊維およびウィ
スカーから選ばれる少なくとも 1種の強化素材を含有さ
せた強化層１とし、それ以外の部分は通常の SiC焼結体
層（モノリシック SiC層）２とする。
に、製造コストの低減を図った強化 SiC基セラミックス
部材を提供する。 【構成】 SiCをマトリックスとするセラミックス部材
であって、摺動面、応力集中面、熱的作用が加わる面、
化学的作用が加わる面等の実仕事面およびその近傍層の
みを、 SiCマトリックス内に長繊維、短繊維およびウィ
スカーから選ばれる少なくとも 1種の強化素材を含有さ
せた強化層１とし、それ以外の部分は通常の SiC焼結体
層（モノリシック SiC層）２とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、強化 SiC基セラミック
ス部材に関する。
ス部材に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、 SiC、Si3 N 4 、サイアロン等
の非酸化物系セラミックス材料は、耐熱性、強度、耐摩
耗性等に優れ、また軽量である等という金属等の従来材
料にない各種特性を有することから、構造・機械部品用
材料等への応用が進められている。ただし、セラミック
ス材料は、本質的に引張応力に弱く、破壊が一気に進行
する、いわゆる脆性という欠点を有している。
の非酸化物系セラミックス材料は、耐熱性、強度、耐摩
耗性等に優れ、また軽量である等という金属等の従来材
料にない各種特性を有することから、構造・機械部品用
材料等への応用が進められている。ただし、セラミック
ス材料は、本質的に引張応力に弱く、破壊が一気に進行
する、いわゆる脆性という欠点を有している。
【０００３】このようなことから、セラミックス部品の
信頼性をより向上させるために、セラミックス材料の高
靭性化や破壊エネルギーを高めることが強く求められて
いる。そこで、上述したような各種のセラミックス材料
をマトリックスとし、このマトリックス内にセラミック
ス長繊維やウィスカー等を添加、配合した、繊維強化セ
ラミックス部材の研究が進められている。
信頼性をより向上させるために、セラミックス材料の高
靭性化や破壊エネルギーを高めることが強く求められて
いる。そこで、上述したような各種のセラミックス材料
をマトリックスとし、このマトリックス内にセラミック
ス長繊維やウィスカー等を添加、配合した、繊維強化セ
ラミックス部材の研究が進められている。
【０００４】例えば、 SiCの高硬度で耐摩耗性に優れ、
かつ耐熱性、耐酸化性、耐アルカリ性等に優れるという
特徴を活かして、摺動部材やタービン翼、あるいは反応
管や過酷な条件下で使用されるセンサボックス等に SiC
を利用するために、 SiCマトリックス内に、セラミック
ス繊維やセラミックスウィスカー等の強化素材を添加、
配合し、破壊靭性値や破壊エネルギーの増大を図った繊
維強化 SiC基セラミックスの実用化が検討されている。
かつ耐熱性、耐酸化性、耐アルカリ性等に優れるという
特徴を活かして、摺動部材やタービン翼、あるいは反応
管や過酷な条件下で使用されるセンサボックス等に SiC
を利用するために、 SiCマトリックス内に、セラミック
ス繊維やセラミックスウィスカー等の強化素材を添加、
配合し、破壊靭性値や破壊エネルギーの増大を図った繊
維強化 SiC基セラミックスの実用化が検討されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述したよ
うな従来の繊維強化 SiC基セラミックス部材は、 SiCマ
トリックス内にほぼ均一に強化素材を導入しており、例
えばクラックの進展をセラミックス部材内部のどこかで
止めることによって、破壊エネルギーを高めるものであ
る。しかしながら、 SiCマトリックス内に導入された強
化素材は、それ自体がクラック発生の起点となる可能性
を秘めていると共に、複合強化セラミックス部材の強度
値自体はモノリシックの SiC焼結体より低下するおそれ
があるほか、強化素材そのものは高価であるため、全体
に均一に強化素材を分散させると、製造コストの大幅な
増大を招くという問題があった。
うな従来の繊維強化 SiC基セラミックス部材は、 SiCマ
トリックス内にほぼ均一に強化素材を導入しており、例
えばクラックの進展をセラミックス部材内部のどこかで
止めることによって、破壊エネルギーを高めるものであ
る。しかしながら、 SiCマトリックス内に導入された強
化素材は、それ自体がクラック発生の起点となる可能性
を秘めていると共に、複合強化セラミックス部材の強度
値自体はモノリシックの SiC焼結体より低下するおそれ
があるほか、強化素材そのものは高価であるため、全体
に均一に強化素材を分散させると、製造コストの大幅な
増大を招くという問題があった。
【０００６】このようなことから、強化素材による高信
頼性化を図った上で、セラミックス部材全体としての強
度値の低下を抑制すると共に、低コスト化を図った、摺
動部材、タービン翼、過酷な条件下で使用される部材等
として使用可能な SiCをマトリックスとする強化セラミ
ックス部材が強く求められている。
頼性化を図った上で、セラミックス部材全体としての強
度値の低下を抑制すると共に、低コスト化を図った、摺
動部材、タービン翼、過酷な条件下で使用される部材等
として使用可能な SiCをマトリックスとする強化セラミ
ックス部材が強く求められている。
【０００７】本発明は、このような課題に対処するため
になされたもので、高強度を維持した上で、信頼性を高
めると共に、製造コストの低減を図った強化 SiC基セラ
ミックス部材を提供することを目的としている。
になされたもので、高強度を維持した上で、信頼性を高
めると共に、製造コストの低減を図った強化 SiC基セラ
ミックス部材を提供することを目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段と作用】本発明の強化 SiC
基セラミックス部材は、 SiCをマトリックスとするセラ
ミックス部材であって、摺動面、応力集中面、熱的作用
が加わる面、化学的作用が加わる面等の実仕事面および
その近傍層の SiCマトリックス内のみに、長繊維、短繊
維およびウィスカーから選ばれる少なくとも 1種の強化
素材を含有させたことを特徴している。
基セラミックス部材は、 SiCをマトリックスとするセラ
ミックス部材であって、摺動面、応力集中面、熱的作用
が加わる面、化学的作用が加わる面等の実仕事面および
その近傍層の SiCマトリックス内のみに、長繊維、短繊
維およびウィスカーから選ばれる少なくとも 1種の強化
素材を含有させたことを特徴している。
【０００９】すなわち、本発明の強化 SiC基セラミック
ス部材においては、摺動面、応力集中面、熱的作用が加
わる面、化学的作用が加わる面等の実際に過酷な条件に
さらされる表面（実仕事面）、およびその近傍層のみ
を、 SiCマトリックス内に強化素材を含有させて強化し
た強化層としており、それ以外の部分は通常の SiC焼結
体層（モノリシック SiC層）としている。本発明の強化
SiC基セラミックス部材は、強化層とモノリシック SiC
層との複合部材であると言える。このような強化SiC基
複合部材においては、上述したような実仕事面は、 SiC
マトリックス内に強化素材を含有させた強化層によって
高靭性化や高破壊エネルギー化、すなわち高信頼性化が
達成され、かつセラミックス部材（複合部材）全体の強
度はモノリシック SiC層が担うため、強度低下を抑制す
ることが可能となる。また、強化素材の配合量は、強化
層の厚さに応じて減量することができるため、製造コス
トの低減を図ることが可能となる。
ス部材においては、摺動面、応力集中面、熱的作用が加
わる面、化学的作用が加わる面等の実際に過酷な条件に
さらされる表面（実仕事面）、およびその近傍層のみ
を、 SiCマトリックス内に強化素材を含有させて強化し
た強化層としており、それ以外の部分は通常の SiC焼結
体層（モノリシック SiC層）としている。本発明の強化
SiC基セラミックス部材は、強化層とモノリシック SiC
層との複合部材であると言える。このような強化SiC基
複合部材においては、上述したような実仕事面は、 SiC
マトリックス内に強化素材を含有させた強化層によって
高靭性化や高破壊エネルギー化、すなわち高信頼性化が
達成され、かつセラミックス部材（複合部材）全体の強
度はモノリシック SiC層が担うため、強度低下を抑制す
ることが可能となる。また、強化素材の配合量は、強化
層の厚さに応じて減量することができるため、製造コス
トの低減を図ることが可能となる。
【００１０】上記強化層に用いる強化素材は、長繊維、
短繊維およびウィスカーから選ばれる少なくとも 1種の
繊維状物質であればよく、特にその材質等に限定される
ものではないが、高強度等を有することから、炭化ケイ
素繊維、窒化ケイ素繊維、炭素繊維、炭化ケイ素ウィス
カー、窒化ケイ素ウィスカー、アルミナウィスカー等を
用いることが好ましい。また、強化素材の形状も、特に
限定されるものではなく、要求特性に応じて選択すれば
よい。このような強化素材の配合量は、強化素材の材質
や形状によっても異なるが、複合した部分の全体積に対
して20〜50体積% の範囲とすることが好ましい。
短繊維およびウィスカーから選ばれる少なくとも 1種の
繊維状物質であればよく、特にその材質等に限定される
ものではないが、高強度等を有することから、炭化ケイ
素繊維、窒化ケイ素繊維、炭素繊維、炭化ケイ素ウィス
カー、窒化ケイ素ウィスカー、アルミナウィスカー等を
用いることが好ましい。また、強化素材の形状も、特に
限定されるものではなく、要求特性に応じて選択すれば
よい。このような強化素材の配合量は、強化素材の材質
や形状によっても異なるが、複合した部分の全体積に対
して20〜50体積% の範囲とすることが好ましい。
【００１１】上記したような強化層の厚さは、強化素材
の形状や配合量、全体の厚さ等によっても異なるが、全
体の厚さの 1/3以下とすることが好ましい。強化層の厚
さがあまり厚くなると、すなわち全体の厚さの 1/3を超
えると、セラミックス複合部材としての強度低下が大き
くなり、強化層とモノリシック SiC層とを複合した効果
を十分に得ることができなくなる。なお、製造コストの
点からも、強化層の厚さは全体の厚さの 1/3以下とする
ことが好ましい。
の形状や配合量、全体の厚さ等によっても異なるが、全
体の厚さの 1/3以下とすることが好ましい。強化層の厚
さがあまり厚くなると、すなわち全体の厚さの 1/3を超
えると、セラミックス複合部材としての強度低下が大き
くなり、強化層とモノリシック SiC層とを複合した効果
を十分に得ることができなくなる。なお、製造コストの
点からも、強化層の厚さは全体の厚さの 1/3以下とする
ことが好ましい。
【００１２】例えば、本発明のようなセラミックス複合
部材の機械的強度、例えば引張り強度σは、強化層の引
張り強度をσf 、モノリシック SiC層の引張り強度をσ
m 、強化層の体積をＶf 、モノリシック SiC層の体積を
Ｖm とすると、
部材の機械的強度、例えば引張り強度σは、強化層の引
張り強度をσf 、モノリシック SiC層の引張り強度をσ
m 、強化層の体積をＶf 、モノリシック SiC層の体積を
Ｖm とすると、
【数１】 で表される。よって、セラミックス複合部材への要求強
度や、強化層とモノリシック SiC層の強度を考慮して、
強化層の厚さは全体の厚さの 1/3以下が好ましい範囲と
なる。
度や、強化層とモノリシック SiC層の強度を考慮して、
強化層の厚さは全体の厚さの 1/3以下が好ましい範囲と
なる。
【００１３】また、全体の厚さにもよるが、強化層の厚
さをあまり薄くしすぎると、実仕事面における高信頼性
化を十分に実現することができなくなるため、強化層の
厚さは全体の厚さの 1/5以上とすることが好ましい。
さをあまり薄くしすぎると、実仕事面における高信頼性
化を十分に実現することができなくなるため、強化層の
厚さは全体の厚さの 1/5以上とすることが好ましい。
【００１４】本発明の強化 SiC基セラミックス部材は、
例えば以下のようにして作製する。まず、強化層形成用
の原料粉末と、モノリシック SiC層形成用の原料粉末を
用意する。すなわち、 SiC粉末にホウ素＋炭素系やアル
ミナ系の焼結助剤を適量加え、十分に混合する。強化層
形成用の原料粉末は、上記 SiC原料粉末に強化素材を所
望の比率で混合する。これら原料粉末を所望の厚さ比率
となるように、順に成形型に充填する。この際、強化層
となる成形体部分については、強化素材で予め予備成形
体等を作製し、この予備成形体を成形型内に配置して、
その上で SiC原料粉末を充填するようにしてもよい。ま
た、成形体の作製方法としては、スリップキャスト法、
プレス成形法等、各種公知の成形法を適用することがで
きる。この後、例えばホットプレスによって、マトリッ
クスとなる SiCを焼結させる。なお、焼結方法として
は、常圧焼結、雰囲気加圧焼結、熱間静水圧焼結法（Ｈ
ＩＰ）等を適用することも可能である。
例えば以下のようにして作製する。まず、強化層形成用
の原料粉末と、モノリシック SiC層形成用の原料粉末を
用意する。すなわち、 SiC粉末にホウ素＋炭素系やアル
ミナ系の焼結助剤を適量加え、十分に混合する。強化層
形成用の原料粉末は、上記 SiC原料粉末に強化素材を所
望の比率で混合する。これら原料粉末を所望の厚さ比率
となるように、順に成形型に充填する。この際、強化層
となる成形体部分については、強化素材で予め予備成形
体等を作製し、この予備成形体を成形型内に配置して、
その上で SiC原料粉末を充填するようにしてもよい。ま
た、成形体の作製方法としては、スリップキャスト法、
プレス成形法等、各種公知の成形法を適用することがで
きる。この後、例えばホットプレスによって、マトリッ
クスとなる SiCを焼結させる。なお、焼結方法として
は、常圧焼結、雰囲気加圧焼結、熱間静水圧焼結法（Ｈ
ＩＰ）等を適用することも可能である。
【００１５】本発明の強化 SiC基セラミックス部材は、
例えば摺動部材、タービン部材、反応管形成部材、過酷
な条件下で使用されるセンサボックス形成部材等、摺動
面、応力集中面、熱的作用が加わる面、化学的作用が加
わる面等の実仕事面がある面に限定され、かつその面の
高信頼性化を図る必要がある部材に好適である。
例えば摺動部材、タービン部材、反応管形成部材、過酷
な条件下で使用されるセンサボックス形成部材等、摺動
面、応力集中面、熱的作用が加わる面、化学的作用が加
わる面等の実仕事面がある面に限定され、かつその面の
高信頼性化を図る必要がある部材に好適である。
【００１６】
【実施例】以下、本発明を実施例によって説明する。
【００１７】実施例１ まず、平均粒径が 0.5μm の SiC粉末に、焼結助剤とし
てカーボンを 2重量%とホウ素を 1重量% 加え、分散媒
としてエタノールを用いて、ボールミル中で24時間混合
した後、これを乾燥してモノリシック SiC層用の原料粉
末とした。
てカーボンを 2重量%とホウ素を 1重量% 加え、分散媒
としてエタノールを用いて、ボールミル中で24時間混合
した後、これを乾燥してモノリシック SiC層用の原料粉
末とした。
【００１８】一方、強化素材として、 SiCウイスカー
（平均長さ=150μm,平均径=2μm)を用意し、上記モノリ
シック SiC層用原料粉末と同様に調合したスラリー中
に、上記SiCウイスカーを30体積% となるように配合
し、さらにボールミル中で 2時間混合した後、これを乾
燥して強化層用の原料粉末とした。
（平均長さ=150μm,平均径=2μm)を用意し、上記モノリ
シック SiC層用原料粉末と同様に調合したスラリー中
に、上記SiCウイスカーを30体積% となるように配合
し、さらにボールミル中で 2時間混合した後、これを乾
燥して強化層用の原料粉末とした。
【００１９】次に、ホットプレス用のカーボンモールド
内に、モノリシック SiC層用原料粉末を充填し、さらに
その上に強化層用原料粉末を充填した。充填量は、焼結
後の強化層の厚さが全体の厚さの 1/3以下、具体的には
強化層の体積比率が 30%となるように調製した。
内に、モノリシック SiC層用原料粉末を充填し、さらに
その上に強化層用原料粉末を充填した。充填量は、焼結
後の強化層の厚さが全体の厚さの 1/3以下、具体的には
強化層の体積比率が 30%となるように調製した。
【００２０】この後、上記原料粉末の充填物を、400kg/
cm2 の圧力の下で、1900℃でホットプレスして、 100×
100×10mmの SiC基複合焼結体を得た。この SiC基複合
焼結体を後述する特性評価に供した。
cm2 の圧力の下で、1900℃でホットプレスして、 100×
100×10mmの SiC基複合焼結体を得た。この SiC基複合
焼結体を後述する特性評価に供した。
【００２１】比較例１ 焼結後の強化層の体積比率が 40%となるように、モノリ
シック SiC層用原料粉末と強化層用原料粉末の充填量を
調製する以外は、上記実施例１と同様にして、SiC基複
合焼結体を作製し、後述する特性評価に供した。
シック SiC層用原料粉末と強化層用原料粉末の充填量を
調製する以外は、上記実施例１と同様にして、SiC基複
合焼結体を作製し、後述する特性評価に供した。
【００２２】実施例２ 実施例１における SiCウィスカーに代えて、強化素材と
して SiC短繊維（平均長さ=3mm，平均径= 15μm)を用い
る以外は、上記実施例１と同一条件で、 SiC基複合焼結
体を作製し、後述する特性評価に供した。
して SiC短繊維（平均長さ=3mm，平均径= 15μm)を用い
る以外は、上記実施例１と同一条件で、 SiC基複合焼結
体を作製し、後述する特性評価に供した。
【００２３】比較例２ 焼結後の強化層の体積比率が 40%となるように、モノリ
シック SiC層用原料粉末と強化層用原料粉末の充填量を
調製する以外は、上記実施例２と同様にして、SiC基複
合焼結体を作製し、後述する特性評価に供した。
シック SiC層用原料粉末と強化層用原料粉末の充填量を
調製する以外は、上記実施例２と同様にして、SiC基複
合焼結体を作製し、後述する特性評価に供した。
【００２４】実施例３ 実施例１と同様に作製したモノリシック SiC層用原料粉
末を、ホットプレス用のカーボンモールド内に充填し、
その上に強化素材として SiC長繊維（平均長さ=40mm,平
均径= 15μm)を配置した。次いで、 SiC長繊維の上から
同一の原料粉末を充填した。 SiC長繊維を配置する時期
は、実施例１と同様に、強化層の体積比率が 30%となる
ように調製した。この後、実施例１と同一条件でホット
プレスを行って、 SiC基複合焼結体を作製し、後述する
特性評価に供した。
末を、ホットプレス用のカーボンモールド内に充填し、
その上に強化素材として SiC長繊維（平均長さ=40mm,平
均径= 15μm)を配置した。次いで、 SiC長繊維の上から
同一の原料粉末を充填した。 SiC長繊維を配置する時期
は、実施例１と同様に、強化層の体積比率が 30%となる
ように調製した。この後、実施例１と同一条件でホット
プレスを行って、 SiC基複合焼結体を作製し、後述する
特性評価に供した。
【００２５】比較例３ 焼結後の強化層の体積比率が 40%となるように、モノリ
シック SiC層用原料粉末の充填量を調製する以外は、上
記実施例３と同様にして、 SiC基複合焼結体を作製し、
後述する特性評価に供した。
シック SiC層用原料粉末の充填量を調製する以外は、上
記実施例３と同様にして、 SiC基複合焼結体を作製し、
後述する特性評価に供した。
【００２６】上記した実施例１〜３および比較例１〜３
で得た各 SiC基複合焼結体の特性を以下のようにして評
価した。まず、各 SiC基複合焼結体の全体としての密度
を求めた。また、各複合焼結体からφ8mm × 100mmの引
張り試験片を切り出し、それぞれ引張り強度を測定し
た。これらの結果を表１にまとめて示す。
で得た各 SiC基複合焼結体の特性を以下のようにして評
価した。まず、各 SiC基複合焼結体の全体としての密度
を求めた。また、各複合焼結体からφ8mm × 100mmの引
張り試験片を切り出し、それぞれ引張り強度を測定し
た。これらの結果を表１にまとめて示す。
【００２７】
【表１】 表１から明らかなように、各実施例による SiC基複合焼
結体は、比較例によるSiC基複合焼結体に比べて、良好
な強度が得られていることが分かる。
結体は、比較例によるSiC基複合焼結体に比べて、良好
な強度が得られていることが分かる。
【００２８】また、実施例１の SiC基複合焼結体と比較
例１の SiC基複合焼結体をそれぞれ用いて、摺動特性、
耐酸化特性をピンオンディスク法、1400℃×100hの酸化
試験から評価したところ、ほぼ同等の効果が得られた。
例１の SiC基複合焼結体をそれぞれ用いて、摺動特性、
耐酸化特性をピンオンディスク法、1400℃×100hの酸化
試験から評価したところ、ほぼ同等の効果が得られた。
【００２９】上記実施例１と同様にして、図１に示すよ
うに、燃焼面側を SiCウイスカーを複合した強化層１と
し、それ以外をモノリシック SiC層２とした燃焼器３を
作製したところ、良好な特性を示した。
うに、燃焼面側を SiCウイスカーを複合した強化層１と
し、それ以外をモノリシック SiC層２とした燃焼器３を
作製したところ、良好な特性を示した。
【００３０】このように、本発明による強化Si基セラミ
ックス複合部材は、摺動面、応力集中面、熱的作用が加
わる面、化学的作用が加わる面等の実仕事面の高信頼性
化を図った上で、部材としての強度低下を抑制すること
ができる。よって、摺動部材、タービン部材、反応管形
成部材、過酷な条件下で使用されるセンサボックス形成
部材等に好適な、高強度で信頼性に優れた SiC基セラミ
ックス部材を提供することができる。
ックス複合部材は、摺動面、応力集中面、熱的作用が加
わる面、化学的作用が加わる面等の実仕事面の高信頼性
化を図った上で、部材としての強度低下を抑制すること
ができる。よって、摺動部材、タービン部材、反応管形
成部材、過酷な条件下で使用されるセンサボックス形成
部材等に好適な、高強度で信頼性に優れた SiC基セラミ
ックス部材を提供することができる。
【００３１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の強化 SiC
基セラミックス部材によれば、高強度を維持した上で、
信頼性を高めることができると共に、製造コストの低減
を図ることが可能となる。よって、高強度で、信頼性に
優れ、摺動部材や高温部材等として好適な SiC基セラミ
ックス部材を安価に提供することが可能となる。
基セラミックス部材によれば、高強度を維持した上で、
信頼性を高めることができると共に、製造コストの低減
を図ることが可能となる。よって、高強度で、信頼性に
優れ、摺動部材や高温部材等として好適な SiC基セラミ
ックス部材を安価に提供することが可能となる。
【図１】 本発明の強化 SiC基セラミックス部材を用い
て作製した燃焼器の概略構成を示す斜視図である。
て作製した燃焼器の概略構成を示す斜視図である。
１……強化層 ２……モノリシック SiC層 ３……燃焼器
Claims (2)
- 【請求項１】 SiCをマトリックスとするセラミックス
部材であって、摺動面、応力集中面、熱的作用が加わる
面、化学的作用が加わる面等の実仕事面およびその近傍
層の SiCマトリックス内のみに、長繊維、短繊維および
ウィスカーから選ばれる少なくとも 1種の強化素材を含
有させたことを特徴とする強化 SiC基セラミックス部
材。 - 【請求項２】 請求項１記載の強化 SiC基セラミックス
部材において、 前記強化素材を含有させた層の厚さは、全体の厚さの 1
/3以下であることを特徴とする強化 SiC基セラミックス
部材。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5073363A JPH06287062A (ja) | 1993-03-31 | 1993-03-31 | 強化ＳｉＣ基セラミックス部材 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5073363A JPH06287062A (ja) | 1993-03-31 | 1993-03-31 | 強化ＳｉＣ基セラミックス部材 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06287062A true JPH06287062A (ja) | 1994-10-11 |
Family
ID=13516024
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5073363A Withdrawn JPH06287062A (ja) | 1993-03-31 | 1993-03-31 | 強化ＳｉＣ基セラミックス部材 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06287062A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004508670A (ja) * | 2000-08-28 | 2004-03-18 | モトローラ・インコーポレイテッド | セラミック技術を利用した一体型燃料電池を備えた燃料処理器 |
| CN109564786A (zh) * | 2016-08-08 | 2019-04-02 | 通用原子公司 | 工程sic-sic复合材料和整体sic层状结构 |
-
1993
- 1993-03-31 JP JP5073363A patent/JPH06287062A/ja not_active Withdrawn
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004508670A (ja) * | 2000-08-28 | 2004-03-18 | モトローラ・インコーポレイテッド | セラミック技術を利用した一体型燃料電池を備えた燃料処理器 |
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| JP2019531246A (ja) * | 2016-08-08 | 2019-10-31 | ゼネラル・アトミックスＧｅｎｅｒａｌ Ａｔｏｍｉｃｓ | 設計されたＳｉＣ−ＳｉＣ複合材およびモノリシックＳＩＣ層構造体 |
| EP3497703A4 (en) * | 2016-08-08 | 2020-05-27 | General Atomics | TECHNICALLY MODIFIED SIC-SIC COMPOSITE AND MONOLITHIC SIC LAYER STRUCTURES |
| JP2021165225A (ja) * | 2016-08-08 | 2021-10-14 | ゼネラル・アトミックスGeneral Atomics | 設計されたＳｉＣ−ＳｉＣ複合材およびモノリシックＳＩＣ層構造体 |
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