JPH0629098A - 表示パネル用プローバ - Google Patents
表示パネル用プローバInfo
- Publication number
- JPH0629098A JPH0629098A JP18199592A JP18199592A JPH0629098A JP H0629098 A JPH0629098 A JP H0629098A JP 18199592 A JP18199592 A JP 18199592A JP 18199592 A JP18199592 A JP 18199592A JP H0629098 A JPH0629098 A JP H0629098A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- prober
- panel
- pannel
- static electricity
- measurement stage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
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- Elimination Of Static Electricity (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】液晶表示パネル用プローバのパネル搬送中に発
生する静電気による薄膜トランジスタの破壊を防止す
る。 【構成】測定ステージ４に薄膜トランジスタパネル３を
受け渡す前の所に送風する窒素の配管路にマニホールド
１０、金属電極９、高電圧源７からなるイオン発生器を
設置し、これによって発生する正負のイオンを窒素中に
含ませ、これを吹きつけることで薄膜トランジスタパネ
ル３上に発生している静電気を中和させ、素子破壊を防
ぐことができる。
生する静電気による薄膜トランジスタの破壊を防止す
る。 【構成】測定ステージ４に薄膜トランジスタパネル３を
受け渡す前の所に送風する窒素の配管路にマニホールド
１０、金属電極９、高電圧源７からなるイオン発生器を
設置し、これによって発生する正負のイオンを窒素中に
含ませ、これを吹きつけることで薄膜トランジスタパネ
ル３上に発生している静電気を中和させ、素子破壊を防
ぐことができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は表示パネル用プローバに
関し、特に静電気除去のための構造に関する。
関し、特に静電気除去のための構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の表示パネル用プローバは、図３に
示すようにＴＦＴパネル３を測定ステージ４に搬送する
ローダ部５と、ＴＦＴパネル３を固定する測定ステージ
４と、ＴＦＴパネル３に測定針を押しあてるプロービン
グ機構１，２と、図示はしていないがＴＦＴパネルの特
性を計測する計測器とを有している。
示すようにＴＦＴパネル３を測定ステージ４に搬送する
ローダ部５と、ＴＦＴパネル３を固定する測定ステージ
４と、ＴＦＴパネル３に測定針を押しあてるプロービン
グ機構１，２と、図示はしていないがＴＦＴパネルの特
性を計測する計測器とを有している。
【０００３】次にプローバの動作について説明する。カ
セットに入っているＴＦＴパネル３の下面をローダ部５
のアーム６で持ち上げて取り出し測定ステージ４まで搬
送し、測定ステージ上にのせてプロービングする。決め
られた測定を行い完了したら、測定ステージ４からアン
ローダ部５のアーム６が入る位まで持ち上げカセットに
収納する。
セットに入っているＴＦＴパネル３の下面をローダ部５
のアーム６で持ち上げて取り出し測定ステージ４まで搬
送し、測定ステージ上にのせてプロービングする。決め
られた測定を行い完了したら、測定ステージ４からアン
ローダ部５のアーム６が入る位まで持ち上げカセットに
収納する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】この従来のプローバで
はカセット中からＴＦＴパネルを取り出す際にパネル下
面にローダ部のアームを押しあてるので、接触面を通じ
て電子のトンネル効果による移動がおこり、接触面の両
側に電気二重層ができ、両物体間の電位差が一定になる
と平衡状態に達する。この状態では電界が相互に打ち消
し合って外部には静電気としての影響はあらわれない
が、測定ステージへＴＦＴパネルを置く際に両物体を引
き離すと、距離の増加に伴ない電位が上昇する。同時に
トンネル効果によって電荷の逆流が生じ、移動が完了す
ると電界が生じ、外部に静電気としての影響があらわれ
る。この時、電荷の表面密度が大きいと放電を生じ、素
子の静電破壊を引き起こす原因となっていた。
はカセット中からＴＦＴパネルを取り出す際にパネル下
面にローダ部のアームを押しあてるので、接触面を通じ
て電子のトンネル効果による移動がおこり、接触面の両
側に電気二重層ができ、両物体間の電位差が一定になる
と平衡状態に達する。この状態では電界が相互に打ち消
し合って外部には静電気としての影響はあらわれない
が、測定ステージへＴＦＴパネルを置く際に両物体を引
き離すと、距離の増加に伴ない電位が上昇する。同時に
トンネル効果によって電荷の逆流が生じ、移動が完了す
ると電界が生じ、外部に静電気としての影響があらわれ
る。この時、電荷の表面密度が大きいと放電を生じ、素
子の静電破壊を引き起こす原因となっていた。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の表示パネル用プ
ローバは、発生する静電気に対してイオンをＮ2 を介し
て吹きつけ帯電した電荷を中和させ除去する除電装置を
備えている。
ローバは、発生する静電気に対してイオンをＮ2 を介し
て吹きつけ帯電した電荷を中和させ除去する除電装置を
備えている。
【０００６】
【作用】電極に高電圧を印加しコロナ放電を発生させる
と電離状態がつくられる。プラスの高電圧を印加すると
電極周辺の空気中の分子から電極へ電子が流れ、電子を
失なった空気中の分子はプラスイオンとなる。マイナス
の高電圧を印加すると、電極から電極周辺の空気中の分
子へ電子が流れ電子を得た空気中の分子はマイナスイオ
ンとなる。これをＮ2 ブローによってＴＦＴパネルに吹
きつけて、静電気を中和させる。
と電離状態がつくられる。プラスの高電圧を印加すると
電極周辺の空気中の分子から電極へ電子が流れ、電子を
失なった空気中の分子はプラスイオンとなる。マイナス
の高電圧を印加すると、電極から電極周辺の空気中の分
子へ電子が流れ電子を得た空気中の分子はマイナスイオ
ンとなる。これをＮ2 ブローによってＴＦＴパネルに吹
きつけて、静電気を中和させる。
【０００７】
【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。図１は本発明の一実施例を示す構成図であり、図２
はプローバの側面図である。ローダ部５のアーム６でカ
セット１２からＴＦＴパネルを取り出し測定ステージ４
に搬送される。この際ＴＦＴパネル３はすでに帯電して
いる可能性が高いので以下の方法で中和させる。窒素供
給源８から供給される窒素はイオン発生部となるマニホ
ールド１０に導かれる。このマニホールド１０内部には
針状の金属電極９が設置されており、これには高圧電源
７が接続される。この金属電極９に±２０ｋＶ程度の交
流電圧を印加すると、コロナ放電により正負のイオンを
バランス良く発生し、窒素中に混入する。正負イオンを
含んだ窒素は、配管を通ってノズル１１より吹き出しＴ
ＦＴパネル３がノズル１１の上を通過する時に吹きつけ
られる。この時、ＴＦＴパネル３に発生している静電気
は正負イオンによって中和される。
る。図１は本発明の一実施例を示す構成図であり、図２
はプローバの側面図である。ローダ部５のアーム６でカ
セット１２からＴＦＴパネルを取り出し測定ステージ４
に搬送される。この際ＴＦＴパネル３はすでに帯電して
いる可能性が高いので以下の方法で中和させる。窒素供
給源８から供給される窒素はイオン発生部となるマニホ
ールド１０に導かれる。このマニホールド１０内部には
針状の金属電極９が設置されており、これには高圧電源
７が接続される。この金属電極９に±２０ｋＶ程度の交
流電圧を印加すると、コロナ放電により正負のイオンを
バランス良く発生し、窒素中に混入する。正負イオンを
含んだ窒素は、配管を通ってノズル１１より吹き出しＴ
ＦＴパネル３がノズル１１の上を通過する時に吹きつけ
られる。この時、ＴＦＴパネル３に発生している静電気
は正負イオンによって中和される。
【０００８】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、ＴＦＴパ
ネルの搬送動作によって生じる静電気をイオンブローに
よって中和させることで、素子の静電破壊を防ぐという
効果を有する。
ネルの搬送動作によって生じる静電気をイオンブローに
よって中和させることで、素子の静電破壊を防ぐという
効果を有する。
【図１】本発明の一実施例の構成図である。
【図２】本発明の装置の側面図である。
【図３】従来の装置の構成図である。
１，２ プロービング機構 ３ ＴＦＴパネル ４ 測定ステージ ５ ローダ・アンローダ部 ６ アーム ７ 高電圧源 ８ 窒素供給源 ９ 金属電極 １０ マニホールド １１ ノズル １２ カセット
Claims (1)
- 【請求項１】 薄膜トランジスタパネル（以下ＴＦＴパ
ネル）を測定ステージに出し入れするローダ・アンロー
ダ部と、ＴＦＴパネルを固定する測定ステージと、測定
端子に測定針を押しあてるプロービング機構と、ＴＦＴ
パネルの特性を計測する計測器とを有する表示パネル用
プローバにおいて、搬送過程で発生する静電気を除去す
る除電装置を設けたことを特徴とする表示パネル用プロ
ーバ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18199592A JPH0629098A (ja) | 1992-07-09 | 1992-07-09 | 表示パネル用プローバ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18199592A JPH0629098A (ja) | 1992-07-09 | 1992-07-09 | 表示パネル用プローバ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0629098A true JPH0629098A (ja) | 1994-02-04 |
Family
ID=16110486
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18199592A Withdrawn JPH0629098A (ja) | 1992-07-09 | 1992-07-09 | 表示パネル用プローバ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0629098A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100448941B1 (ko) * | 1997-10-07 | 2004-11-16 | 삼성전자주식회사 | 정전기 모니터링이 가능한 설비 구조 |
| EP1975978A2 (en) | 2002-03-19 | 2008-10-01 | Fujitsu Ltd. | Semiconductor device manufacturing method |
-
1992
- 1992-07-09 JP JP18199592A patent/JPH0629098A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100448941B1 (ko) * | 1997-10-07 | 2004-11-16 | 삼성전자주식회사 | 정전기 모니터링이 가능한 설비 구조 |
| EP1975978A2 (en) | 2002-03-19 | 2008-10-01 | Fujitsu Ltd. | Semiconductor device manufacturing method |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19991005 |