JPH06291393A - レーザ共振器 - Google Patents
レーザ共振器Info
- Publication number
- JPH06291393A JPH06291393A JP7478793A JP7478793A JPH06291393A JP H06291393 A JPH06291393 A JP H06291393A JP 7478793 A JP7478793 A JP 7478793A JP 7478793 A JP7478793 A JP 7478793A JP H06291393 A JPH06291393 A JP H06291393A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- side mirror
- mirror
- optical axis
- output
- curved surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 高出力で優れた集光効率を発揮するレーザ共
振器を提供する。 【構成】 出力側ミラー１１は、中心部にレーザ光を取
出す円形開口部１１ａが形成されたリング部材である。
一方リア側ミラー１２は、中心が出力側ミラー側に向っ
て最も突出し周辺に向うに連れて凹んでいく反射面を有
している。これら両ミラー１１，１２の反射面曲面は次
の様な形状である。すなわち正枝不安定型共振器におけ
る発振光軸に平行で且つ光軸を通る断面において発振光
軸と発振光軸に平行な線のうちで発振光の最外部を通る
最外部線とで囲まれた領域を、前記最外部線を中心軸と
して３６０°回転させた際に、正枝不安定型共振器の凸
面ミラーの断面が描く曲面が出力側ミラー１１の反射面
曲面となり、正枝不安定型共振器の凹面ミラーの断面が
描く曲面がリア側ミラー１２の反射面曲面となる。
振器を提供する。 【構成】 出力側ミラー１１は、中心部にレーザ光を取
出す円形開口部１１ａが形成されたリング部材である。
一方リア側ミラー１２は、中心が出力側ミラー側に向っ
て最も突出し周辺に向うに連れて凹んでいく反射面を有
している。これら両ミラー１１，１２の反射面曲面は次
の様な形状である。すなわち正枝不安定型共振器におけ
る発振光軸に平行で且つ光軸を通る断面において発振光
軸と発振光軸に平行な線のうちで発振光の最外部を通る
最外部線とで囲まれた領域を、前記最外部線を中心軸と
して３６０°回転させた際に、正枝不安定型共振器の凸
面ミラーの断面が描く曲面が出力側ミラー１１の反射面
曲面となり、正枝不安定型共振器の凹面ミラーの断面が
描く曲面がリア側ミラー１２の反射面曲面となる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザ発振器に使用さ
れ、レーザ光を発振・増幅するレーザ共振器に係り、特
に、高出力で優れた集光効率を有するレーザ共振器に関
するものである。
れ、レーザ光を発振・増幅するレーザ共振器に係り、特
に、高出力で優れた集光効率を有するレーザ共振器に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、レーザ発振器に使用されるレー
ザ共振器は、レーザ励起空間の両側に互いに対向する出
力側ミラーおよびリア側ミラーを配置して構成されてい
る。このようなレーザ共振器の一例として、ＣＯ2 レー
ザ発振器に使用される不安定型共振器を説明する。
ザ共振器は、レーザ励起空間の両側に互いに対向する出
力側ミラーおよびリア側ミラーを配置して構成されてい
る。このようなレーザ共振器の一例として、ＣＯ2 レー
ザ発振器に使用される不安定型共振器を説明する。
【０００３】図５に不安定型共振器の概略構成を示す。
すなわちレーザ励起空間の両側には、互いに対向して凸
面ミラー１および凹面ミラー２が配置されている。両ミ
ラー１，２の対向面には全反射の反射面が形成されてい
る。また、凸面ミラー１に近接する凹面ミラー２寄りの
位置には４５°結合ミラー３が設置されている。さらに
４５°結合ミラー３の図中上方にはレーザ励起空間と外
気とを隔てるために、無反射コーティングを施された平
面形状のウィンドウ４が設けられている。
すなわちレーザ励起空間の両側には、互いに対向して凸
面ミラー１および凹面ミラー２が配置されている。両ミ
ラー１，２の対向面には全反射の反射面が形成されてい
る。また、凸面ミラー１に近接する凹面ミラー２寄りの
位置には４５°結合ミラー３が設置されている。さらに
４５°結合ミラー３の図中上方にはレーザ励起空間と外
気とを隔てるために、無反射コーティングを施された平
面形状のウィンドウ４が設けられている。
【０００４】以上のような構成を有する不安定型共振器
においては、凸面ミラー１から発散した光線は凹面ミラ
ー２により反射されて平面波となる。そして、凸面ミラ
ー１の位置で漏れ出た光線が４５°結合ミラー３により
レーザ光１０として共振器外に取出される。この不安定
型共振器から取出されたレーザ光１０はリング状をして
いる。このリング状のレーザ光１０の外径を２ａ、内径
を２ｂとした場合、一般に両者の比であるａ／ｂを拡大
率（Ｍ）と定義している。この拡大率（Ｍ）は、平面波
のレーザ光１０の径や発散角を決定するパラメータとな
り、レーザ光の集光特性と密接な関係がある。
においては、凸面ミラー１から発散した光線は凹面ミラ
ー２により反射されて平面波となる。そして、凸面ミラ
ー１の位置で漏れ出た光線が４５°結合ミラー３により
レーザ光１０として共振器外に取出される。この不安定
型共振器から取出されたレーザ光１０はリング状をして
いる。このリング状のレーザ光１０の外径を２ａ、内径
を２ｂとした場合、一般に両者の比であるａ／ｂを拡大
率（Ｍ）と定義している。この拡大率（Ｍ）は、平面波
のレーザ光１０の径や発散角を決定するパラメータとな
り、レーザ光の集光特性と密接な関係がある。
【０００５】ここで、拡大率（Ｍ）とレーザ光の集光特
性との関係について、図６，図７を用いて説明する。図
６に示したパターンは、リング状の平面波であるレーザ
光を凸レンズで集光した場合の該レーザ光の焦点面上の
強度分布である。すなわち、レーザ光の焦点面上の強度
分布はメインローブの脇にサイドローブを従えたビート
上の回折パターンを形成している。このようなリング状
開口の回折による強度分布は、光軸上（ｒ＝０）を１に
規格化すると、拡大率（Ｍ）と拡がり角（回折の半径
ｒ）の関数として計算することができる（参考文献；Pr
inciples of Opticis,Max Born & Emil Wolf著）。
性との関係について、図６，図７を用いて説明する。図
６に示したパターンは、リング状の平面波であるレーザ
光を凸レンズで集光した場合の該レーザ光の焦点面上の
強度分布である。すなわち、レーザ光の焦点面上の強度
分布はメインローブの脇にサイドローブを従えたビート
上の回折パターンを形成している。このようなリング状
開口の回折による強度分布は、光軸上（ｒ＝０）を１に
規格化すると、拡大率（Ｍ）と拡がり角（回折の半径
ｒ）の関数として計算することができる（参考文献；Pr
inciples of Opticis,Max Born & Emil Wolf著）。
【０００６】例えば、レーザ光のリング外径２ａ＝３０
ｍｍ、波長＝１０．６μｍの場合の集光特性を拡大率
（Ｍ）をパラメータとして計算すると、図７のグラフに
示した結果となる。このグラフにおいて横軸は拡がり角
ｒ（ｍｒａｄ）である。また、縦軸はＭ＝∞での中心
（ｒ＝０）の強度分布で規格化したもので、これはそれ
ぞれの拡大率を有する不安定型共振器から同一出力のレ
ーザ光を得た場合の、パワー密度分布に相当する。な
お、拡大率Ｍ＝∞とはリング内径２ｂ＝０となり、レー
ザ光が円形開口の平面波となることである。
ｍｍ、波長＝１０．６μｍの場合の集光特性を拡大率
（Ｍ）をパラメータとして計算すると、図７のグラフに
示した結果となる。このグラフにおいて横軸は拡がり角
ｒ（ｍｒａｄ）である。また、縦軸はＭ＝∞での中心
（ｒ＝０）の強度分布で規格化したもので、これはそれ
ぞれの拡大率を有する不安定型共振器から同一出力のレ
ーザ光を得た場合の、パワー密度分布に相当する。な
お、拡大率Ｍ＝∞とはリング内径２ｂ＝０となり、レー
ザ光が円形開口の平面波となることである。
【０００７】図７から明らかなように、拡大率（Ｍ）が
小さくなると、中心強度も小さくなり、サイドローブが
大きくなってくる。したがって、拡大率（Ｍ）とレーザ
光の集光特性の関係については、拡大率（Ｍ）が大きい
ほど、その集光特性が高くなるということが言える。
小さくなると、中心強度も小さくなり、サイドローブが
大きくなってくる。したがって、拡大率（Ｍ）とレーザ
光の集光特性の関係については、拡大率（Ｍ）が大きい
ほど、その集光特性が高くなるということが言える。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかし、拡大率（Ｍ）
を大きくするということは、凸面ミラー１側の全反射部
分を小さくし、共振器から取出されるレーザ光を円形開
口の平面波に近付けることになる。このため、共振器の
透過率を極端に大きくすることになり、出力エネルギー
値は小さくなる。また、拡大率（Ｍ）が小さいというこ
とは共振器の透過率を小さくすることに対応する。その
ため、拡大率（Ｍ）を小さくする場合も、拡大率（Ｍ）
を極端に小さくすると透過率が小さくなり過ぎ、外部に
取出される光量は減少し、出力エネルギー値は小さくな
る。つまり、出力エネルギー値を最大値とするためには
拡大率（Ｍ）の最適な値があり、その値以上でも以下で
も出力エネルギー値は減少することになる。
を大きくするということは、凸面ミラー１側の全反射部
分を小さくし、共振器から取出されるレーザ光を円形開
口の平面波に近付けることになる。このため、共振器の
透過率を極端に大きくすることになり、出力エネルギー
値は小さくなる。また、拡大率（Ｍ）が小さいというこ
とは共振器の透過率を小さくすることに対応する。その
ため、拡大率（Ｍ）を小さくする場合も、拡大率（Ｍ）
を極端に小さくすると透過率が小さくなり過ぎ、外部に
取出される光量は減少し、出力エネルギー値は小さくな
る。つまり、出力エネルギー値を最大値とするためには
拡大率（Ｍ）の最適な値があり、その値以上でも以下で
も出力エネルギー値は減少することになる。
【０００９】一般にＣＯ2 レーザなどでは、出力エネル
ギー値の最大値を引き出す拡大率（Ｍ）の最適値は、低
透過率側すなわち拡大率（Ｍ）が小さい方に存在する。
よって、不安定型共振器では、集光特性を高めれば、拡
大率（Ｍ）が大きくなって出力エネルギー値を最高値に
することができず、反対に、出力エネルギー値を最高値
にすると、拡大率（Ｍ）が小さくなるので集光特性が劣
化した。以上のように従来の不安定型のレーザ共振器に
おいては、集光特性と出力エネルギー値の両方を同時に
高めることができなかった。
ギー値の最大値を引き出す拡大率（Ｍ）の最適値は、低
透過率側すなわち拡大率（Ｍ）が小さい方に存在する。
よって、不安定型共振器では、集光特性を高めれば、拡
大率（Ｍ）が大きくなって出力エネルギー値を最高値に
することができず、反対に、出力エネルギー値を最高値
にすると、拡大率（Ｍ）が小さくなるので集光特性が劣
化した。以上のように従来の不安定型のレーザ共振器に
おいては、集光特性と出力エネルギー値の両方を同時に
高めることができなかった。
【００１０】本発明は、上記のような従来技術の持つ欠
点を克服するために提案されたものであり、その目的
は、高出力で優れた集光効率を発揮するレーザ共振器を
提供することである。
点を克服するために提案されたものであり、その目的
は、高出力で優れた集光効率を発揮するレーザ共振器を
提供することである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項１記載の本発明は、レーザ励起空間の両側
に互いに対向する出力側ミラーおよびリア側ミラーを配
置し、両ミラーの対向面に全反射の反射面を形成したレ
ーザ共振器であって、出力側ミラーは、中心部に円形開
口部を有するリング部材であり、出力側ミラーの反射面
は、周辺部に近付くほどリア側ミラー側に向って突出す
る形状である。一方、リア側ミラーの反射面は、中心が
出力側ミラー側に向って最も突出し、周辺部に向うに連
れて凹んでいく形状である。さらに、これら両ミラーの
反射面曲面は次のような形状をとる。すなわち、正枝不
安定型共振器における発振光軸に平行で、且つ光軸を通
る断面において、発振光軸と、発振光軸に平行な線のう
ちで発振光の最外部を通る最外部線とで囲まれた領域
を、前記最外部線を中心軸として３６０°回転させた際
に、正枝不安定型共振器の凸面ミラーの断面が描く曲面
が、前記出力側ミラーの反射面の曲面となり、正枝不安
定型共振器の凹面ミラーの断面が描く曲面が、前記リア
側ミラーの反射面の曲面となる。
めに、請求項１記載の本発明は、レーザ励起空間の両側
に互いに対向する出力側ミラーおよびリア側ミラーを配
置し、両ミラーの対向面に全反射の反射面を形成したレ
ーザ共振器であって、出力側ミラーは、中心部に円形開
口部を有するリング部材であり、出力側ミラーの反射面
は、周辺部に近付くほどリア側ミラー側に向って突出す
る形状である。一方、リア側ミラーの反射面は、中心が
出力側ミラー側に向って最も突出し、周辺部に向うに連
れて凹んでいく形状である。さらに、これら両ミラーの
反射面曲面は次のような形状をとる。すなわち、正枝不
安定型共振器における発振光軸に平行で、且つ光軸を通
る断面において、発振光軸と、発振光軸に平行な線のう
ちで発振光の最外部を通る最外部線とで囲まれた領域
を、前記最外部線を中心軸として３６０°回転させた際
に、正枝不安定型共振器の凸面ミラーの断面が描く曲面
が、前記出力側ミラーの反射面の曲面となり、正枝不安
定型共振器の凹面ミラーの断面が描く曲面が、前記リア
側ミラーの反射面の曲面となる。
【００１２】また、請求項２記載の本発明は、前記出力
側ミラーの円形開口部に、平面または曲面で、且つ無反
射コーティングあるいは部分反射コーティングされたウ
ィンドウミラーを設けたことを特徴とする。
側ミラーの円形開口部に、平面または曲面で、且つ無反
射コーティングあるいは部分反射コーティングされたウ
ィンドウミラーを設けたことを特徴とする。
【００１３】
【作用】以上のような構成を有する本発明においては、
共振器の透過率に依存することなく、出力側ミラーの中
心に形成された円形開口部から、円形開口の平面波とし
てレーザ光を取出すことができる。円形開口の平面波と
いうことはレーザ光の拡大率が無限大ということであ
り、優れた集光特性を確保することが可能である。ま
た、出力側ミラーおよびリア側ミラーの反射面は、両者
共に全反射面であるため、高い出力エネルギー値を獲得
することができる。
共振器の透過率に依存することなく、出力側ミラーの中
心に形成された円形開口部から、円形開口の平面波とし
てレーザ光を取出すことができる。円形開口の平面波と
いうことはレーザ光の拡大率が無限大ということであ
り、優れた集光特性を確保することが可能である。ま
た、出力側ミラーおよびリア側ミラーの反射面は、両者
共に全反射面であるため、高い出力エネルギー値を獲得
することができる。
【００１４】
【実施例】以下、本発明によるレーザ共振器の一実施例
について、図１〜図３を参照して具体的に説明する。図
１は本実施例の斜視図、図２は本実施例の光軸方向の断
面図、図３は本実施例の両ミラーの反射面の曲面形状を
説明するために用いる正枝不安定型共振器の光軸方向の
断面図である。なお、本実施例はガスレーザに使用され
る共振器である。
について、図１〜図３を参照して具体的に説明する。図
１は本実施例の斜視図、図２は本実施例の光軸方向の断
面図、図３は本実施例の両ミラーの反射面の曲面形状を
説明するために用いる正枝不安定型共振器の光軸方向の
断面図である。なお、本実施例はガスレーザに使用され
る共振器である。
【００１５】図１に示すように、レーザ励起空間の両側
には、互いに対向する出力側ミラー１１およびリア側ミ
ラー１２が配置されている。このうち出力側ミラー１１
は、中心部にレーザ光を取出す円形開口部１１ａを有す
るリング部材から構成される。また、出力側ミラー１１
の反射面は、周辺部がリア側ミラー１２に向って突出し
ながら外方に広がる全反射の凸面ミラーから構成され
る。一方、リア側ミラー１２の反射面は、中心が出力側
ミラー１１側に向って最も突出し、周辺に向うに連れて
凹んでいくような全反射の凹面ミラーから構成される。
には、互いに対向する出力側ミラー１１およびリア側ミ
ラー１２が配置されている。このうち出力側ミラー１１
は、中心部にレーザ光を取出す円形開口部１１ａを有す
るリング部材から構成される。また、出力側ミラー１１
の反射面は、周辺部がリア側ミラー１２に向って突出し
ながら外方に広がる全反射の凸面ミラーから構成され
る。一方、リア側ミラー１２の反射面は、中心が出力側
ミラー１１側に向って最も突出し、周辺に向うに連れて
凹んでいくような全反射の凹面ミラーから構成される。
【００１６】これら両ミラー１１，１２の反射面の曲面
の形状について、図２，図３を参照して説明する。図３
に示す正枝不安定型共振器（positivi-branch unstable
resonator）とは、凸面ミラー１および凹面ミラー２の
曲率中心Ｃ１，Ｃ２を結ぶ線が発振光軸Ａ−Ａと一致
し、且つ両ミラーの焦点位置Ｆが発振光軸Ａ−Ａ上で一
致するように構成された共振器である。この正枝不安定
型共振器における発振光軸Ａ−Ａに平行で、且つ光軸を
通る断面において、発振光軸Ａ−Ａに平行な線のうちで
発振光の最外部を通る最外部線をＢ−Ｂとする。この最
外部線Ｂ−Ｂと発振光軸Ａ−Ａとで囲まれた領域を、最
外部線Ｂ−Ｂを中心軸として３６０°回転させた際に、
正枝不安定型共振器の凸面ミラー１の断面が描く曲面
が、本実施例の出力側ミラー１２の反射面の曲面とな
り、正枝不安定型共振器の凹面ミラー２の断面が描く曲
面が、本実施例のリア側ミラー１２の反射面の曲面とな
る。
の形状について、図２，図３を参照して説明する。図３
に示す正枝不安定型共振器（positivi-branch unstable
resonator）とは、凸面ミラー１および凹面ミラー２の
曲率中心Ｃ１，Ｃ２を結ぶ線が発振光軸Ａ−Ａと一致
し、且つ両ミラーの焦点位置Ｆが発振光軸Ａ−Ａ上で一
致するように構成された共振器である。この正枝不安定
型共振器における発振光軸Ａ−Ａに平行で、且つ光軸を
通る断面において、発振光軸Ａ−Ａに平行な線のうちで
発振光の最外部を通る最外部線をＢ−Ｂとする。この最
外部線Ｂ−Ｂと発振光軸Ａ−Ａとで囲まれた領域を、最
外部線Ｂ−Ｂを中心軸として３６０°回転させた際に、
正枝不安定型共振器の凸面ミラー１の断面が描く曲面
が、本実施例の出力側ミラー１２の反射面の曲面とな
り、正枝不安定型共振器の凹面ミラー２の断面が描く曲
面が、本実施例のリア側ミラー１２の反射面の曲面とな
る。
【００１７】また、本実施例はガスレーザに使用される
共振器であるため、出力側ミラー１１の外側には、レー
ザ励起空間と外気とを隔てるための無反射コーティング
を施された平面形状のウィンドウ４が設けられている。
共振器であるため、出力側ミラー１１の外側には、レー
ザ励起空間と外気とを隔てるための無反射コーティング
を施された平面形状のウィンドウ４が設けられている。
【００１８】以上のような構成を有する本実施例におい
ては、出力側ミラー１１の反射面の焦点を光源とする光
が、リア側ミラー１２により反射されて平面波となる。
この平面波は出力側ミラー１１に向かい、このうちの円
形開口部１１ａを通過した光がウィンドウ４を通り、レ
ーザ光１０として外部に取出される。また、リア側ミラ
ー１２により反射された平面波のうち、出力側ミラー１
１の反射面に到達した光は再び反射されて、再度リア側
ミラー１２へと向かう。以上のような本実施例によれ
ば、共振器の透過率に依存せず、出力側ミラー１１の中
心に形成された円形開口部１１ａから、円形開口の平面
波としてレーザ光を取出すことができる。円形開口の平
面波ということはレーザ光の拡大率が無限大ということ
である。したがって、優れた集光特性を確保することが
できる。また、出力側ミラー１１およびリア側ミラー１
２の反射面は全反射のミラーであるため、高い出力エネ
ルギー値を獲得することができる。
ては、出力側ミラー１１の反射面の焦点を光源とする光
が、リア側ミラー１２により反射されて平面波となる。
この平面波は出力側ミラー１１に向かい、このうちの円
形開口部１１ａを通過した光がウィンドウ４を通り、レ
ーザ光１０として外部に取出される。また、リア側ミラ
ー１２により反射された平面波のうち、出力側ミラー１
１の反射面に到達した光は再び反射されて、再度リア側
ミラー１２へと向かう。以上のような本実施例によれ
ば、共振器の透過率に依存せず、出力側ミラー１１の中
心に形成された円形開口部１１ａから、円形開口の平面
波としてレーザ光を取出すことができる。円形開口の平
面波ということはレーザ光の拡大率が無限大ということ
である。したがって、優れた集光特性を確保することが
できる。また、出力側ミラー１１およびリア側ミラー１
２の反射面は全反射のミラーであるため、高い出力エネ
ルギー値を獲得することができる。
【００１９】なお、本発明のレーザ共振器は上記実施例
に限定されるものではなく、例えば図３に示す実施例
は、出力側ミラー１１の外側にウィンドウ４を配置しな
いレーザ共振器であり、レーザ励起空間と外気とを隔て
る必要がない場合の実施例である。また、ウィンドウ４
は曲面形状でも良く、さらに部分反射コーティングが施
されたものでも良い。また、ウィンドウ４の設置位置
も、出力側ミラー１１の外側ではなく、出力側ミラー１
１の円形開口部に嵌め込まれるようにして配置されても
良い。
に限定されるものではなく、例えば図３に示す実施例
は、出力側ミラー１１の外側にウィンドウ４を配置しな
いレーザ共振器であり、レーザ励起空間と外気とを隔て
る必要がない場合の実施例である。また、ウィンドウ４
は曲面形状でも良く、さらに部分反射コーティングが施
されたものでも良い。また、ウィンドウ４の設置位置
も、出力側ミラー１１の外側ではなく、出力側ミラー１
１の円形開口部に嵌め込まれるようにして配置されても
良い。
【００２０】
【発明の効果】以上説明した通り、本発明によれば、中
心部にレーザ光を取出す円形開口部が形成されたリング
状の出力側ミラーと、中心が出力側ミラー側に向って最
も突出し周辺に向うに連れて凹んでいくリア側ミラーと
を備え、両ミラーの反射面の曲面を、正枝不安定型共振
器における発振光軸に平行で、且つ光軸を通る断面にお
いて、発振光軸と、発振光軸に平行な線のうちで発振光
の最外部を通る最外部線とで囲まれた領域を、前記最外
部線を中心軸として３６０°回転させた際に、正枝不安
定型共振器の凸面ミラーの断面が描く曲面と、正枝不安
定型共振器の凹面ミラーの断面が描く曲面とから構成す
ることにより、全反射面のみから構成される共振器にて
円形開口の平面波としてレーザ光を取出すことができる
ため、高出力で優れた集光効率を発揮することができ
た。
心部にレーザ光を取出す円形開口部が形成されたリング
状の出力側ミラーと、中心が出力側ミラー側に向って最
も突出し周辺に向うに連れて凹んでいくリア側ミラーと
を備え、両ミラーの反射面の曲面を、正枝不安定型共振
器における発振光軸に平行で、且つ光軸を通る断面にお
いて、発振光軸と、発振光軸に平行な線のうちで発振光
の最外部を通る最外部線とで囲まれた領域を、前記最外
部線を中心軸として３６０°回転させた際に、正枝不安
定型共振器の凸面ミラーの断面が描く曲面と、正枝不安
定型共振器の凹面ミラーの断面が描く曲面とから構成す
ることにより、全反射面のみから構成される共振器にて
円形開口の平面波としてレーザ光を取出すことができる
ため、高出力で優れた集光効率を発揮することができ
た。
【図１】本発明によるレーザ共振器の一実施例を示す斜
視図
視図
【図２】本実施例の光軸方向の断面図
【図３】正枝不安定型共振器の光軸方向の断面図
【図４】本発明によるレーザ共振器の他の実施例を示す
斜視図
斜視図
【図５】従来の不安定型共振器の光軸方向の断面図
【図６】従来の不安定型共振器によるリング状平面波の
回折パターンを示す説明図
回折パターンを示す説明図
【図７】リング状平面波の集光特性を、拡大率をパラメ
ータとして示したグラフ
ータとして示したグラフ
４…ウィンドウ １０…レーザ光 １１…出力側ミラー １１ａ…円形開口部 １２…リア側ミラー
Claims (2)
- 【請求項１】 レーザ励起空間の両側に互いに対向する
出力側ミラーおよびリア側ミラーを配置し、両ミラーの
対向面に全反射の反射面を形成したレーザ共振器におい
て、 出力側ミラーは、中心部に円形開口部を有するリング部
材であり、 出力側ミラーの反射面は、周辺部に近付くほどリア側ミ
ラー側に向って突出する形状であり、 一方、リア側ミラーの反射面は、中心が出力側ミラー側
に向って最も突出し、周辺部に向うに連れて凹んでいく
形状であり、 さらに、前記出力側ミラーおよびリア側ミラーの反射面
の曲面のうち、正枝不安定型共振器における発振光軸に
平行で、且つ光軸を通る断面において、発振光軸と、発
振光軸に平行な線のうちで発振光の最外部を通る最外部
線とで囲まれた領域を、前記最外部線を中心軸として３
６０°回転させた際に、正枝不安定型共振器の凸面ミラ
ーの断面が描く曲面が、前記出力側ミラーの反射面の曲
面となり、正枝不安定型共振器の凹面ミラーの断面が描
く曲面が、前記リア側ミラーの反射面の曲面となること
を特徴とするレーザ共振器。 - 【請求項２】 前記出力側ミラーの円形開口部に、平面
または曲面で、且つ無反射コーティングあるいは部分反
射コーティングされたウィンドウミラーを設けたことを
特徴とする請求項１記載のレーザ共振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7478793A JPH06291393A (ja) | 1993-03-31 | 1993-03-31 | レーザ共振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7478793A JPH06291393A (ja) | 1993-03-31 | 1993-03-31 | レーザ共振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06291393A true JPH06291393A (ja) | 1994-10-18 |
Family
ID=13557354
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7478793A Pending JPH06291393A (ja) | 1993-03-31 | 1993-03-31 | レーザ共振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06291393A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013093603A (ja) * | 2012-12-27 | 2013-05-16 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | 多点出力レーザ発生装置およびレーザ多点着火装置 |
| CN115280608A (zh) * | 2020-03-13 | 2022-11-01 | 大学共同利用机关法人自然科学研究机构 | 光振荡器、光振荡器的设计方法和激光装置 |
-
1993
- 1993-03-31 JP JP7478793A patent/JPH06291393A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013093603A (ja) * | 2012-12-27 | 2013-05-16 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | 多点出力レーザ発生装置およびレーザ多点着火装置 |
| CN115280608A (zh) * | 2020-03-13 | 2022-11-01 | 大学共同利用机关法人自然科学研究机构 | 光振荡器、光振荡器的设计方法和激光装置 |
| CN115280608B (zh) * | 2020-03-13 | 2025-10-28 | 大学共同利用机关法人自然科学研究机构 | 光振荡器、光振荡器的设计方法和激光装置 |
| US12562546B2 (en) | 2020-03-13 | 2026-02-24 | Inter-University Research Institute Corporation National Institutes Of Natural Sciences | Optical oscillator, method for designing optical oscillator, and laser device |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4221468A (en) | Multi-cavity laser mirror | |
| US4433418A (en) | Off-axis astigmatic unstable laser resonator | |
| JPS5933993B2 (ja) | 不安定環レ−ザ−共振子 | |
| WO1990009690A1 (fr) | Laser a semi-conducteurs | |
| JPS62217682A (ja) | アンステ−ブルレ−ザ共振器 | |
| JP2000506676A (ja) | 螺旋状光学素子を備えた光学共振器 | |
| JPH06291393A (ja) | レーザ共振器 | |
| US4787092A (en) | Laser utilizing a negative branch instable cavity resonator | |
| JPH06214154A (ja) | 対物レンズ | |
| JPH0511671B2 (ja) | ||
| JPH09102641A (ja) | レーザ共振器 | |
| JP2580703B2 (ja) | レーザ装置 | |
| JPS61226985A (ja) | ガスレーザ発振装置 | |
| JPH07106669A (ja) | レーザー共振器 | |
| RU2095898C1 (ru) | Оптический резонатор для лазеров на свободных электронах | |
| JPH0216502A (ja) | フレネル・レンズ型複合反射装置 | |
| JP2673304B2 (ja) | レーザ装置 | |
| JP2597499B2 (ja) | レーザ装置 | |
| JPH0856027A (ja) | レーザ装置の光共振器 | |
| JP3431191B2 (ja) | レーザ発振装置 | |
| JPH04125984A (ja) | レーザ発振装置 | |
| JPH05111786A (ja) | レーザ光合成装置 | |
| JP2870563B2 (ja) | 半導体レーザ装置 | |
| JPH11177165A (ja) | 固体レーザーの光励起方式 | |
| JP2580704B2 (ja) | レーザ装置 |