JPH0629207A - 現像液の調整方法 - Google Patents

現像液の調整方法

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Abstract

(57)【要約】 【目的】 半導体チップの製造工場で、現像原液の希釈
が行なえるようにする。 【構成】 混合タンク２内に通い缶１から現像原液を供
給し、純水供給源５から純水をを供給して混合し、この
混合液の一部を自動分析器４に送り、希釈した現像液の
濃度を分析する。この分析値に基づいて所定濃度とする
ために混合タンク内に加えなければならない現像原液ま
たは純水の重量を算出し、この算出値に基づいて加えな
ければならない現像原液または純水の一方を再び混合タ
ンク内に供給しする。所定量の現像原液または純水が加
えられたか否かはロードセル１６にて混合タンク２の重
量を測定することによって行なう。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は高濃度の現像原液を所定
濃度まで希釈する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体集積回路の製作工程のうちのフォ
トエッチング工程において、現像液を用いて感光したレ
ジストの現像を行なっている。この現像工程において、
現像液の濃度はレジストの実効感度のバラツキを小さく
するために各レジストごとに極めて正確に管理されなけ
ればならない。このような現像液の濃度を正確に管理す
るのは半導体集積回路の製作工場で行なうのは困難であ
るので、従来にあっては現像液メーカにおいて予め所定
の濃度に希釈したものを製作し、この状態で工場に納め
ている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述したように従来に
あっては、高濃度の現像原液を純水で５〜１０倍に希釈
した状態で工場に納めるようにしているので、多量の通
い缶の準備と運送コストの増加により製品価格が上昇す
る点で不利がある。また工場サイドでは希釈できなかっ
たので、必要な濃度の現像液が不足し、必要でない濃度
の現像液が余るなど管理面においても問題がある。ま
た、現像液メーカで調整した現像液では、運搬や保管に
より現像液が変質しやすいという問題も有している。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決すべく本
発明は、現像液メーカから供給された現像原液と純水と
をロードセルに支持される混合タンク内に供給して混合
し、この混合液の一部を取り出してその濃度を分析し、
この分析値に基づいて所定濃度とするために混合タンク
内に加えなければならない現像原液または純水の重量を
算出し、次いで加えなければならない現像原液または純
水の一方を混合タンク内に供給し、ロードセルによって
測定する混合タンクの重量が当該算出した重量分だけ増
加した時点で混合タンクへの供給を停止し、この後混合
タンク内の希釈現像液を貯留タンクに移すようにした。
【０００５】
【作用】現像原液を希釈して所定の濃度にするにあた
り、混合タンクの重量を測定するようにしているので、
他の方法、例えば混合タンクに現像原液または純水を送
り込むポンプの駆動を制御する方法に比べ、極めて正確
な希釈濃度とすることが可能になる。
【０００６】
【実施例】以下に本発明の実施例を添付図面に基づいて
説明する。ここで、図１は本発明方法を実施する希釈装
置の概略構成を示す図であり、図中１は通い缶、２は混
合タンク、３は貯留タンク、４は自動分析器、５は純水
供給源、６は窒素ガス供給源である。
【０００７】通い缶１は現像液メーカで製造した高濃度
の現像原液を入れたものであり、ジョイント７にて窒素
ガス供給源６からの配管８に接続可能とされ、ジョイン
ト９にて混合タンク２への配管１０に接続可能とされて
いる。ここで、窒素ガス供給源６からの他の配管１１は
バブリング槽１２に導かれ、混合タンク２と貯溜タンク
３の上部空間を水分を含んだ窒素ガス雰囲気とするよう
にしている。また、混合タンク２への配管１０の途中に
はサブタンク２６、フィルタ装置１３、そしてエアバル
ブ２７が順に設けられ、このサブタンク２６には液面セ
ンサーを付設している。エアバルブ２７は大流量エアバ
ルブとし、これのバイパスに微調整用エアバルブ２８を
設ける。このようにすることによって現像原液を投入す
る時には所定量近くまでエアバルブ２７を使用し、その
後はエアバルブ２８を使用することによって、現像原液
を正確に混合タンク２へ投入する操作を容易とすること
ができる。このことは純水を混合タンク２に投入する時
にも、混合タンク２への配管１４の途中に大流量用エア
バルブ２９とこれのバイパスに微調整用エアバルブ３０
を設け、現像原液の投入と同様の操作により、エアバル
ブ２９とエアバルブ３０とを使い分けることで、現像液
の濃度調整を容易にするとともに、正確性を増すことが
できる。更に、液面センサーを付設したサブタンク２６
を使用することによって、一方の通い缶が空になったこ
とを検知することができるので、遅滞なく他方の通い缶
に移行し、連続して現像原液を供給することができる。
【０００８】混合タンク２には現像原液の供給配管１０
と純水の供給配管１４が接続され、これら現像原液と純
水とを混合する攪拌装置１５が付設されている。そし
て、混合タンク２はロードセル１６にて支持され、この
ロードセル１６によって内部に供給された現像原液及び
純水を含んだ混合タンク２の全体重量が測定される。
【０００９】混合タンク２と貯留タンク３とは調整現像
液の供給配管１７にて接続されている。この配管１７の
途中にはポンプ１８及びフィルタ装置１９が設けられ、
フィルタ装置１９の下流側から自動分析器４への配管２
０が分岐し、また自動分析器４と前記混合タンク２は戻
り用の配管２１で接続されている。尚、配管１７の分岐
部よりも下流側および配管１７と配管２１とをつなぐ部
分には開閉バルブ２２，２３を設けている。
【００１０】また、前記混合タンク２、バブリング槽１
２と貯留タンク３の上部空間は連通管２４でつながり、
これら混合タンク２と貯溜タンク３の上部空間を水分を
含んだ窒素ガス雰囲気とすることで現像液の劣化を防止
する用にしている。また貯留タンク３の底部からは、使
用箇所に濃度が調整された現像液を供給する配管２５が
導出されている。
【００１１】以上において、高濃度の現像原液を所定濃
度の現像液に希釈するには、先ず混合タンク２内に通い
缶１から現像原液を供給し、純水供給源５から純水を供
給する。供給量は所望の希釈倍率にほぼ等しくする。
【００１２】次いで、攪拌装置１５にて混合タンク２内
の現像原液と純水とを均一に混合し、この混合液の一部
を自動分析器４に送る。自動分析器４に送るにはバルブ
２２，２３を閉じ、配管１７，２０を介して送る。自動
分析器４では希釈した現像液の濃度を測定する。測定方
法としては化学的な方法或いは物理的な方法等各種の方
法が採用できる。
【００１３】このようにして、自動分析器４では希釈し
た現像液の濃度を分析し、この分析値に基づいて所定濃
度とするために混合タンク内に加えなければならない現
像原液または純水の重量を算出する。そしてこの算出値
に基づいて加えなければならない現像原液または純水の
一方を再び混合タンク内に供給する。所定量の現像原液
または純水が加えられたか否かはロードセル１６にて混
合タンク２の重量を測定することによって行なう。
【００１４】ロードセルによって測定する混合タンク２
の重量が当該算出した重量分だけ増加した時点で混合タ
ンク２への現像原液または純水の供給を停止し、次い
で、再度攪拌装置１５にて混合タンク２内の現像原液と
純水とを器につに混合し、この金剛駅の一部を自動分析
器４に送り、設定濃度範囲内に入っていることを確認
し、この後混合タンク２内の希釈現像液をバルブ２２を
開とし、配管１７を介して貯留タンク３に移し現像液の
調整が終了する。
【００１５】
【発明の効果】以上に説明したように本発明によれば、
現像液メーカから高濃度の現像原液のみを搬入すればよ
いので、搬入のコストを大幅に低減することができ、ま
た必要な時に必要な量の現像液を調整できるので、希釈
した現像液を長期間保存しなくて済み、変質のおそれも
なくなる。また、ロードセルによって混合タンクの重量
を測定することにより所定の希釈濃度にするようにして
いるので、他の方法に比較し極めて正確な希釈濃度が得
られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明方法を実施する希釈装置の概略構成を示
す図
【符号の説明】
１…通い缶、２…混合タンク、３…貯留タンク、４…自
動分析器、５…純水供給源、６…窒素ガス供給源、１６
…ロードセル。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ロードセルに支持される混合タンク内に
    現像原液と純水とを供給して混合し、この混合液の一部
    を取り出してその濃度を分析し、この分析値に基づいて
    所定濃度とするために混合タンク内に加えなければなら
    ない現像原液または純水の重量を算出し、次いで加えな
    ければならない現像原液または純水の一方を混合タンク
    内に供給し、ロードセルによって測定する混合タンクの
    重量が当該算出した重量分だけ増加した時点で混合タン
    クへの供給を停止し、この後混合タンク内の希釈現像液
    を貯留タンクに移すようにしたことを特徴とする現像液
    の調整方法。
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