JPH062920B2 - 蒸着用コバルト合金 - Google Patents
蒸着用コバルト合金Info
- Publication number
- JPH062920B2 JPH062920B2 JP61229600A JP22960086A JPH062920B2 JP H062920 B2 JPH062920 B2 JP H062920B2 JP 61229600 A JP61229600 A JP 61229600A JP 22960086 A JP22960086 A JP 22960086A JP H062920 B2 JPH062920 B2 JP H062920B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vapor deposition
- thin film
- cobalt alloy
- recording medium
- cobalt
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、高密度の記録を可能にする磁気記録媒体とし
て、真空蒸着法による金属薄膜型の磁気記録媒体を生産
する場合に、蒸着材として供給されるコバルト・ニッケ
ル系の蒸着用コバルト合金に関する。
て、真空蒸着法による金属薄膜型の磁気記録媒体を生産
する場合に、蒸着材として供給されるコバルト・ニッケ
ル系の蒸着用コバルト合金に関する。
莫大な情報を効率よく処理して行く為の手段として、磁
気記録方式が広く普及し、化学メッキ法、スパッタリン
グ法、イオンプレーティング法、真空蒸着法等による各
種の記録媒体が混在利用されている。
気記録方式が広く普及し、化学メッキ法、スパッタリン
グ法、イオンプレーティング法、真空蒸着法等による各
種の記録媒体が混在利用されている。
この中にあって、真空蒸着法は他の方法による場合と比
べて成膜速度が格段に速く、生産性の面では最も優れた
方法として知られて居り、蒸着用母材としては記録密
度、環境対応、等の面からコバルト・ニッケル系の合金
が広く利用されて居る。蒸着用母材としてのコバルト・
ニッケル系合金（以下コバルト合金という）のインゴッ
トを溶製する場合には、インゴットの健全性を保つと共
に、溶湯の湯ながれ性能を向上させる為に、インゴット
に含まれる酸素含有量を適当量に規制する事が必要であ
る。
べて成膜速度が格段に速く、生産性の面では最も優れた
方法として知られて居り、蒸着用母材としては記録密
度、環境対応、等の面からコバルト・ニッケル系の合金
が広く利用されて居る。蒸着用母材としてのコバルト・
ニッケル系合金（以下コバルト合金という）のインゴッ
トを溶製する場合には、インゴットの健全性を保つと共
に、溶湯の湯ながれ性能を向上させる為に、インゴット
に含まれる酸素含有量を適当量に規制する事が必要であ
る。
この為従来蒸着材として溶製されたコバルト合金のイン
ゴットには、脱酸剤として添加された炭素が0.004〜0.0
15重量％存在していた。
ゴットには、脱酸剤として添加された炭素が0.004〜0.0
15重量％存在していた。
〔発明が解決しようとする問題点〕 工業的規模に於いて金属薄膜形磁気記録媒体を製造する
に当り、蒸着材を利用する場合には、蒸着材に電子ビー
ムを当てて加熱溶融させた目的金属の溶湯に、更に電子
ビームを当て続ける事により金属薄膜を形成させる為に
必要な、目的金属を蒸発させる工程が含まれて居り、溶
湯温度は2000℃以上にも上げなければならない。
に当り、蒸着材を利用する場合には、蒸着材に電子ビー
ムを当てて加熱溶融させた目的金属の溶湯に、更に電子
ビームを当て続ける事により金属薄膜を形成させる為に
必要な、目的金属を蒸発させる工程が含まれて居り、溶
湯温度は2000℃以上にも上げなければならない。
この際、電子ビームによる加熱は金属溶湯の局所的加熱
を避けられず、電子ビームと金属溶湯との相対的な位置
変動から金属溶湯の揺動を生じる。この場合、従来から
金属薄膜形磁気記録媒体用に製造されていたコバルト合
金により溶製された金属溶湯は、時として突発的な部分
沸騰現象を示す事により、金属薄膜を制作するに必要な
粒子径を遥かに超える巨大な金属粒子を飛散させると共
に、生産目的とされている金属薄膜形磁気記録媒体層の
膜厚不均一やテープの切断等をまねき、操業の中途を止
むなくする事が多く、その特性の改善が望まれていた。
を避けられず、電子ビームと金属溶湯との相対的な位置
変動から金属溶湯の揺動を生じる。この場合、従来から
金属薄膜形磁気記録媒体用に製造されていたコバルト合
金により溶製された金属溶湯は、時として突発的な部分
沸騰現象を示す事により、金属薄膜を制作するに必要な
粒子径を遥かに超える巨大な金属粒子を飛散させると共
に、生産目的とされている金属薄膜形磁気記録媒体層の
膜厚不均一やテープの切断等をまねき、操業の中途を止
むなくする事が多く、その特性の改善が望まれていた。
本発明は、長尺の金属薄膜形磁気記録媒体を安定して生
産する事を目的として、蒸着材金属溶湯の突発的な部分
沸騰現象を生じない良質のコバルト合金を供給して、事
故を未然に防ごうと云うものである。本発明者等は鋭意
研究した結果、蒸着母材用コバルト合金を用いて蒸着工
程を進める場合にみられる金属溶湯の突発的な部分沸騰
現象は、材料中に含有された炭素量に大きく影響される
ものであることを突きとめ、ニッケルを１０〜３０重量
％含有し残部が炭素とコバルトおよび不可避不純物から
なる蒸着用母材としてのコバルト合金の炭素含有量を、
0.0005〜0.003％と規定する事により、金属薄膜形磁気
記録媒体を真空蒸着加工する場合に、金属溶湯の突発的
な部分沸騰現象の発生を防止して、均一な膜厚の磁気記
録媒体を長尺で安定して製造出来る様なコバルト合金の
蒸着材を提供せんとするものである。
産する事を目的として、蒸着材金属溶湯の突発的な部分
沸騰現象を生じない良質のコバルト合金を供給して、事
故を未然に防ごうと云うものである。本発明者等は鋭意
研究した結果、蒸着母材用コバルト合金を用いて蒸着工
程を進める場合にみられる金属溶湯の突発的な部分沸騰
現象は、材料中に含有された炭素量に大きく影響される
ものであることを突きとめ、ニッケルを１０〜３０重量
％含有し残部が炭素とコバルトおよび不可避不純物から
なる蒸着用母材としてのコバルト合金の炭素含有量を、
0.0005〜0.003％と規定する事により、金属薄膜形磁気
記録媒体を真空蒸着加工する場合に、金属溶湯の突発的
な部分沸騰現象の発生を防止して、均一な膜厚の磁気記
録媒体を長尺で安定して製造出来る様なコバルト合金の
蒸着材を提供せんとするものである。
本発明でニッケルの含有量を１０〜３０重量％と規定し
たのは、コバルトを主成分とする金属薄膜形記録媒体に
あって、ニッケル含有量が１０重量％未満では金属薄膜
の耐食性が劣り、記録媒体の経時変化や環境変化に対応
しにくくなる為であり、３０重量％を超えると金属磁性
薄膜の残留磁力が大幅に低下し本来の目的である記録媒
体としての磁気特性を害う為である。
たのは、コバルトを主成分とする金属薄膜形記録媒体に
あって、ニッケル含有量が１０重量％未満では金属薄膜
の耐食性が劣り、記録媒体の経時変化や環境変化に対応
しにくくなる為であり、３０重量％を超えると金属磁性
薄膜の残留磁力が大幅に低下し本来の目的である記録媒
体としての磁気特性を害う為である。
又炭素を0.0005〜0.003重量％と規定したのは、炭素が
0.0005重量％未満ではインゴット作成時に材料の不健全
性が避けられない為であり、0.003重量％超えると電子
ビームによる蒸着材金属溶湯の突発的な部分沸騰現象が
頻発しやすくなる為である。
0.0005重量％未満ではインゴット作成時に材料の不健全
性が避けられない為であり、0.003重量％超えると電子
ビームによる蒸着材金属溶湯の突発的な部分沸騰現象が
頻発しやすくなる為である。
尚、本発明は蒸着用母材の主成分をコバルト、炭素及び
ニッケルに限定したが、磁気記録媒体としての金属薄膜
の耐食性を向上させる事を目的として、この合金に更に
アルミニウム、硅素、銅、モリブデン、チタニウム、希
土類元素からなる群の中から選ばれた一種以上の元素を
含有せしめた蒸着材についても、炭素含有量を0.0005〜
0.003重量％に規定する事により金属溶湯の突発的な部
分沸騰現象を防止する事が容易になる。
ニッケルに限定したが、磁気記録媒体としての金属薄膜
の耐食性を向上させる事を目的として、この合金に更に
アルミニウム、硅素、銅、モリブデン、チタニウム、希
土類元素からなる群の中から選ばれた一種以上の元素を
含有せしめた蒸着材についても、炭素含有量を0.0005〜
0.003重量％に規定する事により金属溶湯の突発的な部
分沸騰現象を防止する事が容易になる。
あらかじめ規定重量に秤量されていた電気コバルト及び
電気ニッケルを原料としてアルミナ坩堝中に投入し、真
空度１０-3Torrにて高周波真空溶解し、1600℃の溶湯と
して後、脱酸並びに鋳造性を向上させるための炭素添加
を規定量で行い、さらに注湯温度を1550℃にする１０-3
Torrの真空下注湯を直径１８０mm、高さ４００mmの金型
に対して行い、蒸着用母材となる重量９０kgの健全なコ
バルト合金のインゴットを鋳造した。
電気ニッケルを原料としてアルミナ坩堝中に投入し、真
空度１０-3Torrにて高周波真空溶解し、1600℃の溶湯と
して後、脱酸並びに鋳造性を向上させるための炭素添加
を規定量で行い、さらに注湯温度を1550℃にする１０-3
Torrの真空下注湯を直径１８０mm、高さ４００mmの金型
に対して行い、蒸着用母材となる重量９０kgの健全なコ
バルト合金のインゴットを鋳造した。
次に、このインゴット表面から５mmを面削除去した後、
1180℃に１時間加熱して、この温度を保ったまま大型の
プレス鍛造機にて直径９０mmまで鍛造した。
1180℃に１時間加熱して、この温度を保ったまま大型の
プレス鍛造機にて直径９０mmまで鍛造した。
直径９０mmに熱間鍛造された素材は更に加工工程を繰り
返した上、最終的には機械加工により直径２３mm、高さ
２５mmの円柱状の試料に成形され、磁気記録媒体として
の金属薄膜を蒸着させる試験に供された。供試材の組成
と蒸着試験結果を第１表に示す。
返した上、最終的には機械加工により直径２３mm、高さ
２５mmの円柱状の試料に成形され、磁気記録媒体として
の金属薄膜を蒸着させる試験に供された。供試材の組成
と蒸着試験結果を第１表に示す。
試験した結果から明らかな如く、本発明によれば、金属
薄膜形磁気記録媒体を製造する場合の蒸着材として、従
来材に比べて遥かに優れた操業性を示し、金属溶湯の突
発的な部分沸騰現象を生ずる事なく、金属薄膜も均一な
厚さを長尺に亘って保証出来る事が証明された。
薄膜形磁気記録媒体を製造する場合の蒸着材として、従
来材に比べて遥かに優れた操業性を示し、金属溶湯の突
発的な部分沸騰現象を生ずる事なく、金属薄膜も均一な
厚さを長尺に亘って保証出来る事が証明された。
尚、蒸着材試験の方法は直径２３mm、高さ２５mmに加工
された蒸着材に対し５×10-6Torr以下の減圧下で電圧を
１０kv一定に保ったまま、300mAまでの電流調制による
電子ビームを照射し、0.1μmの厚さの金属薄膜をポリエ
ステルフィルム上に蒸着させる工程を目視により観察し
たものである。
された蒸着材に対し５×10-6Torr以下の減圧下で電圧を
１０kv一定に保ったまま、300mAまでの電流調制による
電子ビームを照射し、0.1μmの厚さの金属薄膜をポリエ
ステルフィルム上に蒸着させる工程を目視により観察し
たものである。
本発明のコバルト合金を蒸着用母材として使用する時に
は、金属薄膜形磁気記録媒体の製造に際して、従来材で
は大きな問題として取りあげられていた金属溶湯の突発
的な部分沸騰現象を容易に生じなくなり長尺製品を要求
する消費業界の意向に充分に対応する事が出来ると共に
製品の安定した磁性膜厚の保証へも寄与するところ大で
ある。
は、金属薄膜形磁気記録媒体の製造に際して、従来材で
は大きな問題として取りあげられていた金属溶湯の突発
的な部分沸騰現象を容易に生じなくなり長尺製品を要求
する消費業界の意向に充分に対応する事が出来ると共に
製品の安定した磁性膜厚の保証へも寄与するところ大で
ある。
Claims (1)
- 【請求項１】重量比で１０〜３０％のニッケルを含み、
残部が炭素とコバルトおよび不可避不純物からなるコバ
ルト合金において、炭素の含有量が重量比で0.0005〜0.
003％であることを特徴とする蒸着用コバルト合金。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61229600A JPH062920B2 (ja) | 1986-09-30 | 1986-09-30 | 蒸着用コバルト合金 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61229600A JPH062920B2 (ja) | 1986-09-30 | 1986-09-30 | 蒸着用コバルト合金 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6386842A JPS6386842A (ja) | 1988-04-18 |
| JPH062920B2 true JPH062920B2 (ja) | 1994-01-12 |
Family
ID=16894721
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61229600A Expired - Lifetime JPH062920B2 (ja) | 1986-09-30 | 1986-09-30 | 蒸着用コバルト合金 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH062920B2 (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5762505A (en) * | 1980-10-03 | 1982-04-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Magnetic material for vacuum evaporation |
| JPS61153827A (ja) * | 1984-11-13 | 1986-07-12 | Natl Res Inst For Metals | 磁性記録媒体膜の製造方法 |
-
1986
- 1986-09-30 JP JP61229600A patent/JPH062920B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6386842A (ja) | 1988-04-18 |
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