JPH06294B2 - 位置決め装置 - Google Patents
位置決め装置Info
- Publication number
- JPH06294B2 JPH06294B2 JP61208710A JP20871086A JPH06294B2 JP H06294 B2 JPH06294 B2 JP H06294B2 JP 61208710 A JP61208710 A JP 61208710A JP 20871086 A JP20871086 A JP 20871086A JP H06294 B2 JPH06294 B2 JP H06294B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plate
- axis
- moving plate
- fixed
- drive motor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/46—Manufacturing multilayer circuits
- H05K3/4611—Manufacturing multilayer circuits by laminating two or more circuit boards
- H05K3/4638—Aligning and fixing the circuit boards before lamination; Detecting or measuring the misalignment after lamination; Aligning external circuit patterns or via connections relative to internal circuits
Landscapes
- Machine Tool Units (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は、例えばプリント基板を位置ずれなく積層す
る際などに用いられる位置決め装置に関する。
る際などに用いられる位置決め装置に関する。
（従来の技術とその問題点） 近年、プリント基板のパターンはますます微細化が進
み、それにつれて基板の位置決めもミクロンオーダの精
度が要求されるようになってきている。特に集積回路を
搭載した基板を複数枚積層して成る多層基板において
は、積層する際のごくわずかな層間ずれであっても、不
良の原因となるため、非常に高精度な位置決めが要求さ
れる。また、このように微細化した基板や電子部品等は
クリーンルームで生産されるのが一般的であり、クリー
ンルームは面積当りのコストが高いため、装置そのもの
をコンパクト化することが製品コストの低減にとって不
可欠である。さらに高品質維持のため、装置からの発塵
に対しても充分考慮する必要がある。
み、それにつれて基板の位置決めもミクロンオーダの精
度が要求されるようになってきている。特に集積回路を
搭載した基板を複数枚積層して成る多層基板において
は、積層する際のごくわずかな層間ずれであっても、不
良の原因となるため、非常に高精度な位置決めが要求さ
れる。また、このように微細化した基板や電子部品等は
クリーンルームで生産されるのが一般的であり、クリー
ンルームは面積当りのコストが高いため、装置そのもの
をコンパクト化することが製品コストの低減にとって不
可欠である。さらに高品質維持のため、装置からの発塵
に対しても充分考慮する必要がある。
第９(a),(b)はそれぞれ従来の基板位置決め装置を示す
平面図およびその右側面図である。図において１は位置
決め対象物である図示しない基板を載置するためのテー
ブルであり、位置決め後に例えばプレス装置で基板を打
抜くことができるように中空構造となっている。テーブ
ル１はベアリング２ａ，２ｂを介してＸ軸レール３ａ，
３ｂ上に走行自在に載置され、Ｘ軸駆動モータ４の回転
軸に延設されたボールねじ５の回転に応じてＸ軸方向に
走行され位置決めされる。またテーブル１、ベアリング
２ａ，２ｂ、Ｘ軸レール３ａ，３ｂ、Ｘ軸駆動モータ４
およびボールねじ５の全体は、ベアリング６ａ，６ｂ
（第９図(b)においてはベアリング６ａのみ見えてい
る）を介してＹ軸レール７ａ，７ｂ上に走行自在に載置
され、Ｙ軸駆動モータ８の回転軸に延設されたボールね
じ９の回転に応じてＹ軸方向に走行され位置決める。
平面図およびその右側面図である。図において１は位置
決め対象物である図示しない基板を載置するためのテー
ブルであり、位置決め後に例えばプレス装置で基板を打
抜くことができるように中空構造となっている。テーブ
ル１はベアリング２ａ，２ｂを介してＸ軸レール３ａ，
３ｂ上に走行自在に載置され、Ｘ軸駆動モータ４の回転
軸に延設されたボールねじ５の回転に応じてＸ軸方向に
走行され位置決めされる。またテーブル１、ベアリング
２ａ，２ｂ、Ｘ軸レール３ａ，３ｂ、Ｘ軸駆動モータ４
およびボールねじ５の全体は、ベアリング６ａ，６ｂ
（第９図(b)においてはベアリング６ａのみ見えてい
る）を介してＹ軸レール７ａ，７ｂ上に走行自在に載置
され、Ｙ軸駆動モータ８の回転軸に延設されたボールね
じ９の回転に応じてＹ軸方向に走行され位置決める。
このような従来装置では、次のような種々の問題点が指
摘されていた。Ｘ軸駆動モータ４およびＹ軸駆動モー
タ８が横置きとなり、また１か所に集中できないので装
置のコンパクト化が妨げられる。ボールねじ５，９に
よるミクロンオーダの位置決めのためには、ナットを２
つ用いるＷナットとして予圧を与えガタを除くととも
に、精密なボールねじが必要となり、装置が大きくなり
コスト高となる。ボールねじ５，９の摩擦部から発塵
のおそれがある。暴走時にボールねじ５，９がロック
し、復帰に時間がかかる。ストロークエンドにセンサ
やストッパなどの機構が必要となり、装置が複雑，大型
化する。
摘されていた。Ｘ軸駆動モータ４およびＹ軸駆動モー
タ８が横置きとなり、また１か所に集中できないので装
置のコンパクト化が妨げられる。ボールねじ５，９に
よるミクロンオーダの位置決めのためには、ナットを２
つ用いるＷナットとして予圧を与えガタを除くととも
に、精密なボールねじが必要となり、装置が大きくなり
コスト高となる。ボールねじ５，９の摩擦部から発塵
のおそれがある。暴走時にボールねじ５，９がロック
し、復帰に時間がかかる。ストロークエンドにセンサ
やストッパなどの機構が必要となり、装置が複雑，大型
化する。
（発明の目的） そこで、この発明の目的は、上記従来技術の問題点を解
消し、コンパクトで、構成簡単にして高精度の位置決め
を容易に行うことができる位置決め装置を提供すること
である。
消し、コンパクトで、構成簡単にして高精度の位置決め
を容易に行うことができる位置決め装置を提供すること
である。
（目的を達成するための手段） 上記目的を達成するため、この発明による位置決め装置
は、ベース部材と、前記ベース部材上に、このベース部
材に対し第１の直線方向に進退可能に設けられた第１の
移動プレートと、前記第１の移動プレートと平行な面を
有し、かつ、前記第１の移動プレート上に、この第１の
移動プレートに対し前記第１の直線方向と直交する第２
の直線方向に進退可能に設けられた第２の移動プレート
と、前記第２の移動プレートと平行な面を有し、かつ、
前記第２の移動プレート上に、この第２の移動プレート
に対し所定軸を中心に正逆両方向に回転可能に設けられ
た第３の移動プレートと、前記第３の移動プレートに固
定された位置決め対象物載置部材と、前記第１の移動プ
レートをその移動可能方向のいずれか一方に付勢する第
１の付勢手段と、前記第２の移動プレートをその移動可
能方向のいずれか一方に付勢する第２の付勢手段と、前
記第３の移動プレートを正逆いずれか一方の回転方向に
付勢する第３の付勢手段と、前記ベースプレートの前後
左右のいずれか一の側方において回転駆動軸が下方に延
伸する状態で前記第１の移動プレートに固定され、か
つ、その回転駆動軸が外部からの指令に応じて所要角度
回転可能な第１の駆動モータと、前記ベースプレートに
関して前記第１の駆動モータと同一の側方において回転
駆動軸が上方に延伸する状態で前記第１の移動プレート
に固定され、かつ、その回転駆動同軸が外部からの指令
に応じて所要角度回転可能な第２の駆動モータと、前記
ベースプレートに関して前記第１の駆動モータと同一の
側方において回転駆動軸が上方に延伸する状態で前記第
２の移動プレートに固定され、かつ、その回転駆動軸が
外部からの指令に応じて所要角度回転可能な第３の駆動
モータと、第１乃至第３の駆動モータの回転軸に取り付
けられた第１乃至第３の偏心ローラと、前記ベース部材
に固定され、前記第１の付勢手段の付勢力によって前記
第１の偏心ローラに押し付けられる第１のならいプレー
トと、前記第２の移動プレートに固定され、前記第２の
付勢手段の付勢力によって前記第２の偏心ローラに押し
付けられる第２のならいプレートと、前記第３の移動プ
レートに固定され、前記第３の付勢手段の付勢力によっ
て前記第３の偏心ローラに押し付けられる第３のならい
プレートとを備えている。
は、ベース部材と、前記ベース部材上に、このベース部
材に対し第１の直線方向に進退可能に設けられた第１の
移動プレートと、前記第１の移動プレートと平行な面を
有し、かつ、前記第１の移動プレート上に、この第１の
移動プレートに対し前記第１の直線方向と直交する第２
の直線方向に進退可能に設けられた第２の移動プレート
と、前記第２の移動プレートと平行な面を有し、かつ、
前記第２の移動プレート上に、この第２の移動プレート
に対し所定軸を中心に正逆両方向に回転可能に設けられ
た第３の移動プレートと、前記第３の移動プレートに固
定された位置決め対象物載置部材と、前記第１の移動プ
レートをその移動可能方向のいずれか一方に付勢する第
１の付勢手段と、前記第２の移動プレートをその移動可
能方向のいずれか一方に付勢する第２の付勢手段と、前
記第３の移動プレートを正逆いずれか一方の回転方向に
付勢する第３の付勢手段と、前記ベースプレートの前後
左右のいずれか一の側方において回転駆動軸が下方に延
伸する状態で前記第１の移動プレートに固定され、か
つ、その回転駆動軸が外部からの指令に応じて所要角度
回転可能な第１の駆動モータと、前記ベースプレートに
関して前記第１の駆動モータと同一の側方において回転
駆動軸が上方に延伸する状態で前記第１の移動プレート
に固定され、かつ、その回転駆動同軸が外部からの指令
に応じて所要角度回転可能な第２の駆動モータと、前記
ベースプレートに関して前記第１の駆動モータと同一の
側方において回転駆動軸が上方に延伸する状態で前記第
２の移動プレートに固定され、かつ、その回転駆動軸が
外部からの指令に応じて所要角度回転可能な第３の駆動
モータと、第１乃至第３の駆動モータの回転軸に取り付
けられた第１乃至第３の偏心ローラと、前記ベース部材
に固定され、前記第１の付勢手段の付勢力によって前記
第１の偏心ローラに押し付けられる第１のならいプレー
トと、前記第２の移動プレートに固定され、前記第２の
付勢手段の付勢力によって前記第２の偏心ローラに押し
付けられる第２のならいプレートと、前記第３の移動プ
レートに固定され、前記第３の付勢手段の付勢力によっ
て前記第３の偏心ローラに押し付けられる第３のならい
プレートとを備えている。
（実施例） 第１図はこの発明の一実施例である位置決め装置を適用
した、基板積層装置の全体構成を示す説明図である。１
１は基板位置決め用のＸＹθテーブルであり、金属枠１
２（第２図参照）にのり付けされた基板１３が載置固定
されている。ＸＹθテーブル１１の上方位置には４台の
位置決め用ＩＴＶ１４ａ〜１４ｄが配置してあり、これ
らＩＴＶ１４ａ〜１４ｄはそれぞれコントローラ１５ａ
〜１５ｄによる制御の下で、制御装置１６からの指令に
応じて基板１３を撮像する。撮像された画像はモニタＴ
Ｖ１７上に表示される。ＸＹθテーブル１１はＸ軸駆動
モータ１０２，Ｙ軸駆動モータ２０２およびθ軸駆動モ
ータ３０２に駆動されてそれぞれＸ軸方向，Ｙ軸方向お
よびθ軸方向に移動自在であり、制御装置１６はチェス
ナハンドル１８の操作に応じた駆動指令を各モータに与
える。
した、基板積層装置の全体構成を示す説明図である。１
１は基板位置決め用のＸＹθテーブルであり、金属枠１
２（第２図参照）にのり付けされた基板１３が載置固定
されている。ＸＹθテーブル１１の上方位置には４台の
位置決め用ＩＴＶ１４ａ〜１４ｄが配置してあり、これ
らＩＴＶ１４ａ〜１４ｄはそれぞれコントローラ１５ａ
〜１５ｄによる制御の下で、制御装置１６からの指令に
応じて基板１３を撮像する。撮像された画像はモニタＴ
Ｖ１７上に表示される。ＸＹθテーブル１１はＸ軸駆動
モータ１０２，Ｙ軸駆動モータ２０２およびθ軸駆動モ
ータ３０２に駆動されてそれぞれＸ軸方向，Ｙ軸方向お
よびθ軸方向に移動自在であり、制御装置１６はチェス
ナハンドル１８の操作に応じた駆動指令を各モータに与
える。
第２図および第３図は、位置決め時の様子を示す説明図
である。第２図に示すように基板１３には４個の位置決
め基準孔１９が穿設してあり、これらの基準孔１９はＩ
ＴＶ１４ａ〜１４ｄにより撮像されて、第３図に示すよ
うにモニタＴＶ１７上に映し出される。第３図(a)は基
準孔１９が、モニタＴＶ１７の４分割画面上に表示され
た各基準輝線で囲まれた位置決め枠内に入っていない状
態を示している。作業者はモニタＴＶ１７を見ながら、
第３図(b)に示すように基準孔１９が位置決め枠内に入
るようにチェスナハンドル１８を操作し、ＸＹθテーブ
ル１１を所要方向に移動させて基板１３を定位置に位置
決めする。
である。第２図に示すように基板１３には４個の位置決
め基準孔１９が穿設してあり、これらの基準孔１９はＩ
ＴＶ１４ａ〜１４ｄにより撮像されて、第３図に示すよ
うにモニタＴＶ１７上に映し出される。第３図(a)は基
準孔１９が、モニタＴＶ１７の４分割画面上に表示され
た各基準輝線で囲まれた位置決め枠内に入っていない状
態を示している。作業者はモニタＴＶ１７を見ながら、
第３図(b)に示すように基準孔１９が位置決め枠内に入
るようにチェスナハンドル１８を操作し、ＸＹθテーブ
ル１１を所要方向に移動させて基板１３を定位置に位置
決めする。
第１図において、２０は位置決めされた基板１３の外形
やピン穴等を打抜き、打抜後吸着する上型プレス、２１
は上下動可能な下型プレスであり、ＸＹθテーブル１１
はレール２２上に載置されて矢印２３で示すようにプレ
ス位置まで移動可能なようになっている。２４はプレス
位置まで上型プレス２０に吸着している基板１３を取り
に行き積層する積層プレートであり、ＸＹθテーブル１
１と同様レール２２上に載置されて、矢印２５で示すよ
うにプレス位置と待機位置との間を移動可能となってい
る。積層プレート２４の待機位置の上方には、確実に精
度良く積層されているかどうかを確認するための２台の
確認用ＩＴＶ２６ａ，２６ｂが配置されてあり、これら
ＩＴＶ２６ａ，２６ｂはそれぞれコントローラ２７ａ，
２７ｂによる制御の下で、制御装置１６からの指令に応
じてプレス後積層した基板１３を撮像する。撮像された
画像はモニタＴＶ１７上に表示される。作業者は図示し
ない切換スイッチにより、位置決め用ＩＴＶ１４ａ〜１
４ｄと確認用ＩＴＶ２６ａ，２６ｂとの切換えを行な
う。
やピン穴等を打抜き、打抜後吸着する上型プレス、２１
は上下動可能な下型プレスであり、ＸＹθテーブル１１
はレール２２上に載置されて矢印２３で示すようにプレ
ス位置まで移動可能なようになっている。２４はプレス
位置まで上型プレス２０に吸着している基板１３を取り
に行き積層する積層プレートであり、ＸＹθテーブル１
１と同様レール２２上に載置されて、矢印２５で示すよ
うにプレス位置と待機位置との間を移動可能となってい
る。積層プレート２４の待機位置の上方には、確実に精
度良く積層されているかどうかを確認するための２台の
確認用ＩＴＶ２６ａ，２６ｂが配置されてあり、これら
ＩＴＶ２６ａ，２６ｂはそれぞれコントローラ２７ａ，
２７ｂによる制御の下で、制御装置１６からの指令に応
じてプレス後積層した基板１３を撮像する。撮像された
画像はモニタＴＶ１７上に表示される。作業者は図示し
ない切換スイッチにより、位置決め用ＩＴＶ１４ａ〜１
４ｄと確認用ＩＴＶ２６ａ，２６ｂとの切換えを行な
う。
一連の動作を概略的に記せば、作業者はまずチェスナハ
ンドル１８を用いて、モニタＴＶ１７を見ながら基板１
３を位置決めし、位置決め完了後ＸＹθテーブル１１を
プレス位置へ移動させる。次に下型プレス２１を上昇さ
せて基板１３を打抜き、上型プレス２０に打抜後の基板
１３を吸着させるとともに下型プレス２１を下降させ
る。次いでＸＹθテーブル１１を退避させながら積層テ
ーブル２４をプレス位置まで移動させ、さらに上型プレ
ス２０に吸着されている基板１３の高さまで上昇させた
後、上型プレス２０による吸引を止め、該基板１３を積
層テーブル２４上に積層する。そして積層テーブル２４
を下降させて待機位置まで退避させ、確認用ＩＴＶ２６
ａ，２６ｂのモードにモニタＴＶ１７を切換えて積層状
態を確認する。以上の動作を繰返すことにより、所要枚
数の基板１３が積層テーブル２４上に正確に積層され
る。
ンドル１８を用いて、モニタＴＶ１７を見ながら基板１
３を位置決めし、位置決め完了後ＸＹθテーブル１１を
プレス位置へ移動させる。次に下型プレス２１を上昇さ
せて基板１３を打抜き、上型プレス２０に打抜後の基板
１３を吸着させるとともに下型プレス２１を下降させ
る。次いでＸＹθテーブル１１を退避させながら積層テ
ーブル２４をプレス位置まで移動させ、さらに上型プレ
ス２０に吸着されている基板１３の高さまで上昇させた
後、上型プレス２０による吸引を止め、該基板１３を積
層テーブル２４上に積層する。そして積層テーブル２４
を下降させて待機位置まで退避させ、確認用ＩＴＶ２６
ａ，２６ｂのモードにモニタＴＶ１７を切換えて積層状
態を確認する。以上の動作を繰返すことにより、所要枚
数の基板１３が積層テーブル２４上に正確に積層され
る。
第４図および第５図はそれぞれ、ＸＹθテーブル１１の
機構を詳細に示す平面図および正面断面説明図である。
また第６図は、第４図および第５図のＸＹθテーブル１
１のうち、Ｘ軸およびＹ軸駆動機構のみを模式的に示す
説明図、第７図はその正面断面説明図である。さらに第
８図(a),(b)はそれぞれ、θ軸駆動機構の駆動部分のみ
を拡大して示す部分平面図および正面断面図である。
機構を詳細に示す平面図および正面断面説明図である。
また第６図は、第４図および第５図のＸＹθテーブル１
１のうち、Ｘ軸およびＹ軸駆動機構のみを模式的に示す
説明図、第７図はその正面断面説明図である。さらに第
８図(a),(b)はそれぞれ、θ軸駆動機構の駆動部分のみ
を拡大して示す部分平面図および正面断面図である。
これらの図に示すように、ＸＹθテーブル１１はＸ軸駆
動機構，Ｙ軸駆動機構およびθ軸駆動機構をそれぞれ構
成するＸ軸プレート１０１，Ｙ軸プレート２０１および
θ軸プレート３０１ならびに、これら各プレート１０
１，２０１，３０１をそれぞれ駆動するためのＸ軸モー
タ１０２，Ｙ軸モータ２０２およびθ軸モータ３０２を
含んで構成されている。θ軸モータ３０２は第５図およ
び第８図に示すように、ブラケット３０３を介してＹ軸
プレート２０１に取付けられており、Ｙ軸モータ２０２
は第７図に示すように、ブラケット２０３を介してＸ軸
プレート１０１に取付けられており、またＸ軸モータ１
０２は第６図および第７図に示すように、ブラケット１
０３（第６図にはブラケット１０３は省略してある）を
介してＸ軸プレート１０１に取付けられている。
動機構，Ｙ軸駆動機構およびθ軸駆動機構をそれぞれ構
成するＸ軸プレート１０１，Ｙ軸プレート２０１および
θ軸プレート３０１ならびに、これら各プレート１０
１，２０１，３０１をそれぞれ駆動するためのＸ軸モー
タ１０２，Ｙ軸モータ２０２およびθ軸モータ３０２を
含んで構成されている。θ軸モータ３０２は第５図およ
び第８図に示すように、ブラケット３０３を介してＹ軸
プレート２０１に取付けられており、Ｙ軸モータ２０２
は第７図に示すように、ブラケット２０３を介してＸ軸
プレート１０１に取付けられており、またＸ軸モータ１
０２は第６図および第７図に示すように、ブラケット１
０３（第６図にはブラケット１０３は省略してある）を
介してＸ軸プレート１０１に取付けられている。
Ｘ軸プレート１０１は、ベースプレート４０１の上面に
Ｘ軸方向に沿って延設されたレール１０４ａ，１０４ｂ
および、該レール１０４ａ，１０４ｂに対し走行自在に
嵌合されたベアリング１０５ａ，１０５ｂを介して、ベ
ースプレート４０１上にＸ軸方向に走行自在に配設され
ている。Ｙ軸プレート２０１は、Ｘ軸プレート１０１の
上面にＹ軸方向に沿って延設されたレール２０４ａ，２
０４ｂおよび、該レール２０４ａ，２０４ｂに対し走行
自在に嵌合されたベアリング２０５ａ，２０５ｂを介し
て、Ｘ軸プレート１０１上にＹ軸方向に走行自在に配設
されている。またθ軸プレート３０１は、Ｙ軸プレート
２０１上に環状に配設されたボールチェーン３０４およ
び、ボールチェーン受３０５を介して、Ｙ軸プレート２
０１上にθ軸方向に回転自在に配設されている。
Ｘ軸方向に沿って延設されたレール１０４ａ，１０４ｂ
および、該レール１０４ａ，１０４ｂに対し走行自在に
嵌合されたベアリング１０５ａ，１０５ｂを介して、ベ
ースプレート４０１上にＸ軸方向に走行自在に配設され
ている。Ｙ軸プレート２０１は、Ｘ軸プレート１０１の
上面にＹ軸方向に沿って延設されたレール２０４ａ，２
０４ｂおよび、該レール２０４ａ，２０４ｂに対し走行
自在に嵌合されたベアリング２０５ａ，２０５ｂを介し
て、Ｘ軸プレート１０１上にＹ軸方向に走行自在に配設
されている。またθ軸プレート３０１は、Ｙ軸プレート
２０１上に環状に配設されたボールチェーン３０４およ
び、ボールチェーン受３０５を介して、Ｙ軸プレート２
０１上にθ軸方向に回転自在に配設されている。
ボールチェーン受３０５は、外側からカムフォロア３０
６、内側からカムフォロア３０７により押圧されて予圧
を与えらており、θ軸プレート３０１のガタつきが防止
されている。θ軸プレート３０１の上面は基板セット場
所であり、基板セット用シリンダ４０２の働きによりセ
ットピン４０３ａ，４０３ｂを基板１３の金属枠１２に
当接させて、所定位置に基板１３をセットする。Ｘ軸，
Ｙ軸およびθ軸プレート１０１，２０１，３０１を支持
するベースプレート４０１は、レール２２（第１図参
照）に対し走行自在に嵌合されたベアリング４０４ａ，
４０４ｂを介して、待機位置（基板位置決め位置）とプ
レス位置との間を走行自在に配設されている。なおＸ
軸，Ｙ軸およびθ軸の各プレート１０１，１０２，３０
１は、下型プレス２１が貫通自在になるように中空構造
となっている。
６、内側からカムフォロア３０７により押圧されて予圧
を与えらており、θ軸プレート３０１のガタつきが防止
されている。θ軸プレート３０１の上面は基板セット場
所であり、基板セット用シリンダ４０２の働きによりセ
ットピン４０３ａ，４０３ｂを基板１３の金属枠１２に
当接させて、所定位置に基板１３をセットする。Ｘ軸，
Ｙ軸およびθ軸プレート１０１，２０１，３０１を支持
するベースプレート４０１は、レール２２（第１図参
照）に対し走行自在に嵌合されたベアリング４０４ａ，
４０４ｂを介して、待機位置（基板位置決め位置）とプ
レス位置との間を走行自在に配設されている。なおＸ
軸，Ｙ軸およびθ軸の各プレート１０１，１０２，３０
１は、下型プレス２１が貫通自在になるように中空構造
となっている。
Ｘ軸モータ１０２，Ｙ軸モータ２０２およびθ軸モータ
３０２の各回転軸にはそれぞれ、Ｘ軸偏心ローラ１０
６，Ｙ軸偏心ローラ２０６およびθ軸偏心ローラ３０８
が取付けてある。これらの偏心ローラ１０６，２０６，
３０８の詳細な構造について、第６図に示したＹ軸偏心
ローラ２０６および第８図に示したθ軸偏心ローラ３０
８を参照しつつ説明すれば、各偏心ローラ１０６，２０
６，３０８は対応のモータ回転軸に六角穴付止めねじ４
０５により固定された偏心ブッシュ（偏心カム）４０６
と、この偏心ブッシュ４０６の外周にベアリング４０７
を介して周設されたアウタロータ４０８とから構成され
ている。偏心ブッシュ４０６の偏心量Δｄは、各テーブ
ル１０１，２０１，３０１の所要ストロークに基づいて
予め設定しておく。
３０２の各回転軸にはそれぞれ、Ｘ軸偏心ローラ１０
６，Ｙ軸偏心ローラ２０６およびθ軸偏心ローラ３０８
が取付けてある。これらの偏心ローラ１０６，２０６，
３０８の詳細な構造について、第６図に示したＹ軸偏心
ローラ２０６および第８図に示したθ軸偏心ローラ３０
８を参照しつつ説明すれば、各偏心ローラ１０６，２０
６，３０８は対応のモータ回転軸に六角穴付止めねじ４
０５により固定された偏心ブッシュ（偏心カム）４０６
と、この偏心ブッシュ４０６の外周にベアリング４０７
を介して周設されたアウタロータ４０８とから構成され
ている。偏心ブッシュ４０６の偏心量Δｄは、各テーブ
ル１０１，２０１，３０１の所要ストロークに基づいて
予め設定しておく。
ベースプレート４０１にはＸ軸ならいプレート１０７が
取付けてあり、ベースプレート４０１とＸ軸プレート１
０１との間に介挿させたＸ軸ばね１０８によりＸ軸プレ
ート１０１をＸ軸右方向に付勢することにより、Ｘ軸な
らいプレート１０７が常時Ｘ軸偏心ローラ１０６に当接
するように構成してある。同様にＹ軸プレート２０１に
はＹ軸ならいプレート２０７が取付けてあり、Ｘ軸プレ
ート１０１とＹ軸プレート２０１との間に介挿させたＹ
軸ばね２０８によりＹ軸プレート２０１をＹ軸手前方向
に付勢することにより、Ｙ軸ならいプレート２０７が常
時Ｙ軸偏心ローラ２０６に当接するよう構成してある。
またθ軸プレート３０１にはθ軸ならいプレート３０９
が取付けてあり、Ｙ軸プレート２０１とθ軸プレート３
０１との間に介挿させたθ軸ばね３１０によりθ軸プレ
ート３０１をθ軸左回転方向に付勢すめることにより、
θ軸ならいプレート３０９が常時θ軸偏心ローラ３０８
に当接するよう構成してある。
取付けてあり、ベースプレート４０１とＸ軸プレート１
０１との間に介挿させたＸ軸ばね１０８によりＸ軸プレ
ート１０１をＸ軸右方向に付勢することにより、Ｘ軸な
らいプレート１０７が常時Ｘ軸偏心ローラ１０６に当接
するように構成してある。同様にＹ軸プレート２０１に
はＹ軸ならいプレート２０７が取付けてあり、Ｘ軸プレ
ート１０１とＹ軸プレート２０１との間に介挿させたＹ
軸ばね２０８によりＹ軸プレート２０１をＹ軸手前方向
に付勢することにより、Ｙ軸ならいプレート２０７が常
時Ｙ軸偏心ローラ２０６に当接するよう構成してある。
またθ軸プレート３０１にはθ軸ならいプレート３０９
が取付けてあり、Ｙ軸プレート２０１とθ軸プレート３
０１との間に介挿させたθ軸ばね３１０によりθ軸プレ
ート３０１をθ軸左回転方向に付勢すめることにより、
θ軸ならいプレート３０９が常時θ軸偏心ローラ３０８
に当接するよう構成してある。
このような構成において、θ軸プレート３０１上にセッ
トされた基板１２を精密位置決めするときには、作業者
はモニタＴＶ１７を見ながらチェスナハンドル１８を操
作する。すると操作したボタンに対応したモータ１０
２，２０２または３０２が作動して対応の偏心ローラ１
０６，２０６または３０８が操作量に応じた角度だけ回
転し、これに当接しているならいプレート１０７，２０
７または３０９が上記回転角度に応じた距離だけＸ軸，
Ｙ軸またはθ軸方向に変位される。例えばＸ軸モータ１
０２の駆動の場合、Ｘ軸モータ１０２はＸ軸プレート１
０１に固定されかつＸ軸ならいプレート１０７はベース
プレート４０１に固定されているので、Ｘ軸プレート１
０１とベースプレート４０１との間にＸ軸方向の相対的
な変位が生じ、この変位は外部的にはＸ軸プレート１０
１およびその上に載置されているＹ軸プレート２０１，
θ軸プレート３０１のＸ軸方向への一体的な移動となっ
て現われ、基板１２のＸ軸方向の位置決めが行なわれ
る。
トされた基板１２を精密位置決めするときには、作業者
はモニタＴＶ１７を見ながらチェスナハンドル１８を操
作する。すると操作したボタンに対応したモータ１０
２，２０２または３０２が作動して対応の偏心ローラ１
０６，２０６または３０８が操作量に応じた角度だけ回
転し、これに当接しているならいプレート１０７，２０
７または３０９が上記回転角度に応じた距離だけＸ軸，
Ｙ軸またはθ軸方向に変位される。例えばＸ軸モータ１
０２の駆動の場合、Ｘ軸モータ１０２はＸ軸プレート１
０１に固定されかつＸ軸ならいプレート１０７はベース
プレート４０１に固定されているので、Ｘ軸プレート１
０１とベースプレート４０１との間にＸ軸方向の相対的
な変位が生じ、この変位は外部的にはＸ軸プレート１０
１およびその上に載置されているＹ軸プレート２０１，
θ軸プレート３０１のＸ軸方向への一体的な移動となっ
て現われ、基板１２のＸ軸方向の位置決めが行なわれ
る。
Ｙ軸モータ２０２の駆動の場合には、Ｙ軸モータ２０２
はＸ軸プレート１０１に固定されかつＹ軸ならいプレー
ト２０７はＹ軸プレート２０１に固定されているので、
Ｘ軸プレート１０１とＹ軸プレート２０１との間にＹ軸
方向の相対的な変位が生じ、この変位は外部的にはＹ軸
プレート２０１およびその上に載置されているθ軸プレ
ート３０１のＹ軸方向への一体的な移動となって現わ
れ、基板１２のＹ軸方向の位置決めが行われる。またθ
軸モータ３０２の駆動の場合には、θ軸モータ３０２は
Ｙ軸プレート２０１に固定されかつθ軸ならいプレート
はθ軸プレート３０１に固定されているので、Ｙ軸プレ
ート２０１とθ軸プレート３０１との間にθ軸方向の相
対的な変位が生じ、この変位は外部的にはθ軸プレート
３０１のθ軸方向への回転となって現われ、基板１２の
θ軸方向の位置決めが行なわれる。
はＸ軸プレート１０１に固定されかつＹ軸ならいプレー
ト２０７はＹ軸プレート２０１に固定されているので、
Ｘ軸プレート１０１とＹ軸プレート２０１との間にＹ軸
方向の相対的な変位が生じ、この変位は外部的にはＹ軸
プレート２０１およびその上に載置されているθ軸プレ
ート３０１のＹ軸方向への一体的な移動となって現わ
れ、基板１２のＹ軸方向の位置決めが行われる。またθ
軸モータ３０２の駆動の場合には、θ軸モータ３０２は
Ｙ軸プレート２０１に固定されかつθ軸ならいプレート
はθ軸プレート３０１に固定されているので、Ｙ軸プレ
ート２０１とθ軸プレート３０１との間にθ軸方向の相
対的な変位が生じ、この変位は外部的にはθ軸プレート
３０１のθ軸方向への回転となって現われ、基板１２の
θ軸方向の位置決めが行なわれる。
第１図の制御装置１６は、Ｘ軸，Ｙ軸およびθ軸の各モ
ータ１０２，２０２，３０２に内蔵された図示しないエ
ンコーダからのパルスをカウントすることによりモータ
回転角度を検出しており、いまモータ１回転あたりのエ
ンコーダパルス数をＰとすると、全ストロークは２・Δ
ｄであるので、分解能は最も悪いところで Ｎ＝２・Δｄ・π／Ｐ（mm／パルス） となり、０＜分解能≦Ｎの値をとる。したがってストロ
ークを小さくとれば容易に分解能を上げることができ、
また偏心ローラ１０６，２０６，３０８の上死点や下死
点付近では理論的には限りなく分解能を上げることが可
能である。さらにストロークエンドにセンサやストッパ
を取付ける必要はなく、ボールねじを使う構造より簡単
かつ安価である。
ータ１０２，２０２，３０２に内蔵された図示しないエ
ンコーダからのパルスをカウントすることによりモータ
回転角度を検出しており、いまモータ１回転あたりのエ
ンコーダパルス数をＰとすると、全ストロークは２・Δ
ｄであるので、分解能は最も悪いところで Ｎ＝２・Δｄ・π／Ｐ（mm／パルス） となり、０＜分解能≦Ｎの値をとる。したがってストロ
ークを小さくとれば容易に分解能を上げることができ、
また偏心ローラ１０６，２０６，３０８の上死点や下死
点付近では理論的には限りなく分解能を上げることが可
能である。さらにストロークエンドにセンサやストッパ
を取付ける必要はなく、ボールねじを使う構造より簡単
かつ安価である。
偏心ローラ１０６，２０６，３０８とこれらにそれぞれ
当接しているＸ軸，Ｙ軸，θ軸ならいプレート１０７，
２０７，３０９との間は、各偏心ローラのアウタロータ
４０８と偏心ブッシュ４０６との間に介挿されたベアリ
ング４０７の働きにより摩擦が生じることはなく、発塵
が効果的に防止される。また各駆動モータ１０２，２０
２，３０２は図示のように１か所に集中して配置できる
ので、装置のコンパクト化が図れる。さらにＸ軸モータ
１０２をベースプレート４０１に正立させて取付けず
に、Ｘ軸プレート１０１に逆立させて取付けることによ
り、各駆動モータ１０２，２０２，３０２の所要スペー
スの節約を行なっている。
当接しているＸ軸，Ｙ軸，θ軸ならいプレート１０７，
２０７，３０９との間は、各偏心ローラのアウタロータ
４０８と偏心ブッシュ４０６との間に介挿されたベアリ
ング４０７の働きにより摩擦が生じることはなく、発塵
が効果的に防止される。また各駆動モータ１０２，２０
２，３０２は図示のように１か所に集中して配置できる
ので、装置のコンパクト化が図れる。さらにＸ軸モータ
１０２をベースプレート４０１に正立させて取付けず
に、Ｘ軸プレート１０１に逆立させて取付けることによ
り、各駆動モータ１０２，２０２，３０２の所要スペー
スの節約を行なっている。
（発明の効果） 以上の説明から明らかなように、この発明の位置決め装
置によると、位置決め対象物を第１および第２の直線方
向に移動させるとともに所定軸を中心に回転させるため
に、３つの駆動モータを必要とする位置決め装置である
にもかかわらず、前記３つの駆動モータを全てベース部
材の前後左右のいずれか一の側方に配置することができ
る構成であるから、３つの駆動モータを必要とする従来
の位置決め装置に比べコンパクトな位置決め装置を提供
することができるという効果を奏する。
置によると、位置決め対象物を第１および第２の直線方
向に移動させるとともに所定軸を中心に回転させるため
に、３つの駆動モータを必要とする位置決め装置である
にもかかわらず、前記３つの駆動モータを全てベース部
材の前後左右のいずれか一の側方に配置することができ
る構成であるから、３つの駆動モータを必要とする従来
の位置決め装置に比べコンパクトな位置決め装置を提供
することができるという効果を奏する。
また、第１の駆動モータをその回転駆動軸が下方に延伸
する状態で第１の移動プレートに固定するとともに、第
３の駆動モータをその回転駆動軸が上方に延伸する状態
で第２の移動プレートに固定するようにしたことによ
り、第１乃至第３の移動プレートとこれらの移動プレー
トを駆動する第１乃至第３の駆動モータとの間に介在す
る構成を簡略化することができ、これによって装置をよ
りコンパクトにできるという効果を奏する。
する状態で第１の移動プレートに固定するとともに、第
３の駆動モータをその回転駆動軸が上方に延伸する状態
で第２の移動プレートに固定するようにしたことによ
り、第１乃至第３の移動プレートとこれらの移動プレー
トを駆動する第１乃至第３の駆動モータとの間に介在す
る構成を簡略化することができ、これによって装置をよ
りコンパクトにできるという効果を奏する。
第１図はこの発明の一実施例を適用した基板積層装置の
全体構成図、第２図および第３図は位置決め時の様子を
示す説明図、第４図および第５図はそれぞれＸＹθテー
ブルの機構を示す平面図および正面断面図、第６図はＸ
軸，Ｙ軸駆動機構を模式的に示す図、第７図はその正面
断面説明図、第８図はθ軸駆動機構の駆動部分を拡大し
て示す図、第９図は従来の基板位置決め装置を示す図で
ある。 １０１…Ｘ軸プレート、 １０２…Ｘ軸モータ、 １０４ａ，１０４ｂ…レール、 １０５ａ，１０５ｂ…ベアリング、 １０６…Ｘ軸偏心ローラ、 １０７…Ｘ軸ならいプレート、 １０８…ばね、 ２０１…Ｙ軸プレート、 ２０２…Ｙ軸モータ、 ２０４ａ，２０４ｂ…レール、 ２０５ａ，２０５ｂ…ベアリング、 ２０６…Ｙ軸偏心ローラ、 ２０７…Ｙ軸ならいプレート、 ２０８…ばね、 ３０１…θ軸プレート、 ３０２…θ軸モータ、 ３０４…ボールチェーン、 ３０５…ボールチェーン受、 ３０８……θ軸偏心ローラ、 ３０９……θ軸ならいプレート、 ３１０……ばね
全体構成図、第２図および第３図は位置決め時の様子を
示す説明図、第４図および第５図はそれぞれＸＹθテー
ブルの機構を示す平面図および正面断面図、第６図はＸ
軸，Ｙ軸駆動機構を模式的に示す図、第７図はその正面
断面説明図、第８図はθ軸駆動機構の駆動部分を拡大し
て示す図、第９図は従来の基板位置決め装置を示す図で
ある。 １０１…Ｘ軸プレート、 １０２…Ｘ軸モータ、 １０４ａ，１０４ｂ…レール、 １０５ａ，１０５ｂ…ベアリング、 １０６…Ｘ軸偏心ローラ、 １０７…Ｘ軸ならいプレート、 １０８…ばね、 ２０１…Ｙ軸プレート、 ２０２…Ｙ軸モータ、 ２０４ａ，２０４ｂ…レール、 ２０５ａ，２０５ｂ…ベアリング、 ２０６…Ｙ軸偏心ローラ、 ２０７…Ｙ軸ならいプレート、 ２０８…ばね、 ３０１…θ軸プレート、 ３０２…θ軸モータ、 ３０４…ボールチェーン、 ３０５…ボールチェーン受、 ３０８……θ軸偏心ローラ、 ３０９……θ軸ならいプレート、 ３１０……ばね
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大沢 義幸 神奈川県秦野市堀山下１番地 株式会社日 立製作所神奈川工場内 (72)発明者 村上 碩哉 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地 株 式会社日立製作所生産技術研究所内 (72)発明者 山田 収 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地 株 式会社日立製作所生産技術研究所内 (56)参考文献 特開 昭56−52142（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−202769（ＪＰ，Ａ) 実開 昭52−125181（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭61−154637（ＪＰ，Ｕ)
Claims (2)
- 【請求項１】ベース部材と、 前記ベース部材上に、このベース部材に対し第１の直線
方向に進退可能に設けられた第１の移動プレートと、 前記第１の移動プレートと平行な面を有し、かつ、前記
第１の移動プレート上に、この第１の移動プレートに対
し前記第１の直線方向と直交する第２の直線方向に進退
可能に設けられた第２の移動プレートと、 前記第２の移動プレートと平行な面を有し、かつ、前記
第２の移動プレート上に、この第２の移動プレートに対
し所定軸を中心に正逆両方向に回転可能に設けられた第
３の移動プレートと、 前記第３の移動プレートに固定された位置決め対象物載
置部材と、 前記第１の移動プレートをその移動可能方向のいずれか
一方に付勢する第１の付勢手段と、 前記第２の移動プレートをその移動可能方向のいずれか
一方に付勢する第２の付勢手段と、 前記第３の移動プレートを正逆いずれか一方の回転方向
に付勢する第３の付勢手段と、 前記ベースプレートの前後左右のいずれか一の側方にお
いて回転駆動軸が下方に延伸する状態で前記第１の移動
プレートに固定され、かつ、その回転駆動軸が外部から
の指令に応じて所要角度回転可能な第１の駆動モータ
と、 前記ベースプレートに関して前記第１の駆動モータと同
一の側方において回転駆動軸が上方に延伸する状態で前
記第１の移動プレートに固定され、かつ、その回転駆動
同軸が外部からの指令に応じて所要角度回転可能な第２
の駆動モータと、 前記ベースプレートに関して前記第１の駆動モータと同
一の側方において回転駆動軸が上方に延伸する状態で前
記第２の移動プレートに固定され、かつ、その回転駆動
軸が外部からの指令に応じて所要角度回転可能な第３の
駆動モータと、 第１乃至第３の駆動モータの回転軸に取り付けられた第
１乃至第３の偏心ローラと、 前記ベース部材に固定され、前記第１の付勢手段の付勢
力によって前記第１の偏心ローラに押し付けられる第１
のならいプレートと、 前記第２の移動プレートに固定され、前記第２の付勢手
段の付勢力によって前記第２の偏心ローラに押し付けら
れる第２のならいプレートと、 前記第３の移動プレートに固定され、前記第３の付勢手
段の付勢力によって前記第３の偏心ローラに押し付けら
れる第３のならいプレートと、 を備えてなる位置決め装置。 - 【請求項２】前記各偏心ローラは、それぞれ、対応する
前記駆動モータの回転軸に固定された偏心カムと、これ
ら偏心カムの外周にベアリングを介して配設されて対応
する前記ならいプレートに作用するアウタロータとから
なる、特許請求の範囲第１項記載の位置決め装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61208710A JPH06294B2 (ja) | 1986-09-03 | 1986-09-03 | 位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61208710A JPH06294B2 (ja) | 1986-09-03 | 1986-09-03 | 位置決め装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6364400A JPS6364400A (ja) | 1988-03-22 |
| JPH06294B2 true JPH06294B2 (ja) | 1994-01-05 |
Family
ID=16560797
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61208710A Expired - Lifetime JPH06294B2 (ja) | 1986-09-03 | 1986-09-03 | 位置決め装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06294B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009538749A (ja) * | 2006-05-30 | 2009-11-12 | ミュールバウアー アーゲー | フィルム複合材料を製造するための方法および装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4826584B2 (ja) * | 2005-06-30 | 2011-11-30 | 株式会社安川電機 | 並進旋回２自由度ステージ装置およびこれを用いた３自由度ステージ装置 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52125181U (ja) * | 1976-03-22 | 1977-09-22 | ||
| JPS5652142A (en) * | 1979-10-01 | 1981-05-11 | Toshiba Corp | Device for moving table |
| JPS6051988B2 (ja) * | 1982-05-19 | 1985-11-16 | ヒロセ電機株式会社 | 光ファイバの端面研摩装置における微動送り装置 |
| JPS61154637A (ja) * | 1984-12-28 | 1986-07-14 | 東芝テック株式会社 | 電気掃除機 |
-
1986
- 1986-09-03 JP JP61208710A patent/JPH06294B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009538749A (ja) * | 2006-05-30 | 2009-11-12 | ミュールバウアー アーゲー | フィルム複合材料を製造するための方法および装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6364400A (ja) | 1988-03-22 |
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