JPH0629588A - 電歪効果素子 - Google Patents
電歪効果素子Info
- Publication number
- JPH0629588A JPH0629588A JP4184842A JP18484292A JPH0629588A JP H0629588 A JPH0629588 A JP H0629588A JP 4184842 A JP4184842 A JP 4184842A JP 18484292 A JP18484292 A JP 18484292A JP H0629588 A JPH0629588 A JP H0629588A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sintered body
- insulating layer
- inorganic insulating
- effect element
- internal electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 230000000694 effects Effects 0.000 title claims abstract description 14
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 25
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 7
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 6
- 239000012212 insulator Substances 0.000 abstract description 6
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 abstract description 2
- 238000011197 physicochemical method Methods 0.000 abstract description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 13
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 5
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 5
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 4
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 3
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 238000001962 electrophoresis Methods 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 2
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 2
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 2
- ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethanol Chemical compound CCOCCO ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- -1 Si 2 N 4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000001186 cumulative effect Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000011812 mixed powder Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 238000000053 physical method Methods 0.000 description 1
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 229920002037 poly(vinyl butyral) polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 238000007569 slipcasting Methods 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000007751 thermal spraying Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Micromachines (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】積層型電歪効果素子を高湿度下で使用する場合
に、素子の劣化を防ぐ。 【構成】物理化学的な手法で形成した無機絶縁物層７に
より、内部電極導体２および外部電極導体４ａとの絶縁
性を高め、さらに無機絶縁物層８と金属層９とで外装す
ることにより耐湿性を向上させる。
に、素子の劣化を防ぐ。 【構成】物理化学的な手法で形成した無機絶縁物層７に
より、内部電極導体２および外部電極導体４ａとの絶縁
性を高め、さらに無機絶縁物層８と金属層９とで外装す
ることにより耐湿性を向上させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は電歪効果素子に関し、特
に電歪縦効果を利用した積層型電歪効果素子の構造に関
する。
に電歪縦効果を利用した積層型電歪効果素子の構造に関
する。
【０００２】
【従来の技術】従来この種の電歪効果素子は、図２に示
すようにシート状の電歪セラミック部材１と内部電極導
体２とを交互に積層し焼成した後、対向する一対の側面
に露出する内部電極導体２の一方の端が交互に一層おき
に電気泳動法で形成したガラス３で絶縁され、絶縁され
ていないそれぞれの側面の内部電極導体２の端部を一対
の外部電極導体４ａ，４ｂで接続し、リード線５ａ，５
ｂを形成した後エポキシ系の樹脂６等でコーティングし
た構造になっていた。
すようにシート状の電歪セラミック部材１と内部電極導
体２とを交互に積層し焼成した後、対向する一対の側面
に露出する内部電極導体２の一方の端が交互に一層おき
に電気泳動法で形成したガラス３で絶縁され、絶縁され
ていないそれぞれの側面の内部電極導体２の端部を一対
の外部電極導体４ａ，４ｂで接続し、リード線５ａ，５
ｂを形成した後エポキシ系の樹脂６等でコーティングし
た構造になっていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】これら従来の電歪効果
素子では、工法上ガラス３の材料選択や形成方法が困難
で形成後もガラス３内外に欠陥が多かったり、また樹脂
６等の外装であるので環境中の湿気が樹脂を通過して入
り込み或いは樹脂中のイオン性不純物と相まって素子表
面の絶縁性を著しく低下させて、使用時にショート状態
となったり、スパークを起こして破壊へと進行していく
という問題があった。
素子では、工法上ガラス３の材料選択や形成方法が困難
で形成後もガラス３内外に欠陥が多かったり、また樹脂
６等の外装であるので環境中の湿気が樹脂を通過して入
り込み或いは樹脂中のイオン性不純物と相まって素子表
面の絶縁性を著しく低下させて、使用時にショート状態
となったり、スパークを起こして破壊へと進行していく
という問題があった。
【０００４】本発明の目的は、従来のガラス絶縁におけ
る材料選択や形成方法の困難，形成後の特性の問題，外
装の耐湿，イオン性不純物の問題等従来の問題点を解決
し、湿気の多い環境下で使用しても絶縁性の低下や破壊
を起すことのすくない電歪効果素子を提供することにあ
る。
る材料選択や形成方法の困難，形成後の特性の問題，外
装の耐湿，イオン性不純物の問題等従来の問題点を解決
し、湿気の多い環境下で使用しても絶縁性の低下や破壊
を起すことのすくない電歪効果素子を提供することにあ
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の電歪効果素子
は、シート上の圧電セラミック部材と内部電極導体と
が、交互に重ね合わされて一体焼成された積層焼結体
と、前記積層焼結体の対向する一対の側面のほぼ全面に
形成された無機絶縁物層と、前記無機絶縁物層の形成さ
れた積層焼結体の一対の側面においてその内部電極導体
を互い違いに外部に露出させるホールと、前記ホールに
より露出した内部電極導体をそれぞれ電気的に接続させ
る一対の外部電極導体と、前記外部電極導体の形成され
た積層焼結体の全側面に形成された無機絶縁物層と、そ
の無機絶縁層上に形成された金属層とを有することを特
徴として構成される。
は、シート上の圧電セラミック部材と内部電極導体と
が、交互に重ね合わされて一体焼成された積層焼結体
と、前記積層焼結体の対向する一対の側面のほぼ全面に
形成された無機絶縁物層と、前記無機絶縁物層の形成さ
れた積層焼結体の一対の側面においてその内部電極導体
を互い違いに外部に露出させるホールと、前記ホールに
より露出した内部電極導体をそれぞれ電気的に接続させ
る一対の外部電極導体と、前記外部電極導体の形成され
た積層焼結体の全側面に形成された無機絶縁物層と、そ
の無機絶縁層上に形成された金属層とを有することを特
徴として構成される。
【０００６】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。図１は本発明の一実施例の電歪効果素子の縦断面図
である。
る。図１は本発明の一実施例の電歪効果素子の縦断面図
である。
【０００７】この素子の製造に当たっては、まず例えば
ニッケル・ニオブ酸塩ＰｂＴｉＯ3，ジルコン酸塩Ｐｂ
ＺｒＯ3 等を主成分とする電歪材料の予焼粉末に、ポリ
ビニルブチラール等の有機バインダを適量添加し、これ
らをエチルセロソルブ等の有機溶媒中に分散させて泥漿
を作製する。この泥漿を用いて、スリップキャスティン
グ成膜法等により膜厚約１００μｍの電歪セラミック部
材１を形成する。
ニッケル・ニオブ酸塩ＰｂＴｉＯ3，ジルコン酸塩Ｐｂ
ＺｒＯ3 等を主成分とする電歪材料の予焼粉末に、ポリ
ビニルブチラール等の有機バインダを適量添加し、これ
らをエチルセロソルブ等の有機溶媒中に分散させて泥漿
を作製する。この泥漿を用いて、スリップキャスティン
グ成膜法等により膜厚約１００μｍの電歪セラミック部
材１を形成する。
【０００８】次にこの電歪セラミック部材１の片面に重
量比にして７：３程度の銀粉末とパラジウム粉末の混合
粉末或いは合金粉末を主成分とする導体ペーストを、ス
クリーン印刷法等で１０μｍ程度の厚さに被着させて内
部電極導体２を形成する。これらを所要数順次積層した
後、熱プレス機等で熱圧着して一体化し約１１００℃，
２時間の条件で焼成し積層焼結体１０を得る。
量比にして７：３程度の銀粉末とパラジウム粉末の混合
粉末或いは合金粉末を主成分とする導体ペーストを、ス
クリーン印刷法等で１０μｍ程度の厚さに被着させて内
部電極導体２を形成する。これらを所要数順次積層した
後、熱プレス機等で熱圧着して一体化し約１１００℃，
２時間の条件で焼成し積層焼結体１０を得る。
【０００９】次にこの積層焼結体１０の一対の側面のほ
ぼ全面にＳｉＯ2 ，Ｓｉ2 Ｎ4 ，Ａｌ2 Ｏ3 ，Ｚｒ
Ｏ2 ，ＴｉＯ2 ，ＳｉＣ或いはこれらの混合物をＣＶＤ
法，ＰＶＤ法，スパッタリング法，溶射法等で固着させ
て無機絶縁物層７を形成し、レーザー光等でホール７０
を互い違いに形成し内部電極導体２を部分的に露出させ
る。さらに無機絶縁物層７の上から銀粉末を主成分とす
る導体ペーストを印刷法や転写法等で塗布・焼成して一
対の外部電極導体４ａ，４ｂを形成し、それぞれの側面
においてホール７０によって露出した内部電極導体２の
一部を電気的に一層おきに接続させる。
ぼ全面にＳｉＯ2 ，Ｓｉ2 Ｎ4 ，Ａｌ2 Ｏ3 ，Ｚｒ
Ｏ2 ，ＴｉＯ2 ，ＳｉＣ或いはこれらの混合物をＣＶＤ
法，ＰＶＤ法，スパッタリング法，溶射法等で固着させ
て無機絶縁物層７を形成し、レーザー光等でホール７０
を互い違いに形成し内部電極導体２を部分的に露出させ
る。さらに無機絶縁物層７の上から銀粉末を主成分とす
る導体ペーストを印刷法や転写法等で塗布・焼成して一
対の外部電極導体４ａ，４ｂを形成し、それぞれの側面
においてホール７０によって露出した内部電極導体２の
一部を電気的に一層おきに接続させる。
【００１０】次に積層焼結体の半田付け部を除くほぼ全
側面に無機絶縁物層７と同材料，同工法で無機絶縁物層
８を形成する。さらにその上にＡｕ，Ａｌ，Ｎｉ等の金
属を蒸着法，メッキ法等で被着させ金属層９を形成す
る。
側面に無機絶縁物層７と同材料，同工法で無機絶縁物層
８を形成する。さらにその上にＡｕ，Ａｌ，Ｎｉ等の金
属を蒸着法，メッキ法等で被着させ金属層９を形成す
る。
【００１１】最後に半田４０ａ，４０ｂでリード線５
ａ，５ｂを接続して完成させる。
ａ，５ｂを接続して完成させる。
【００１２】次に本発明の実施例と従来例の信頼性の比
較結果を図３により説明する。図３は相対湿度９０％、
温度４０℃の環境下で直流１５０Ｖを印加し続けた時の
不良発生状況をワイブル表示したものである。例えば累
積不良率５０％となる時間をみると、従来例の４００時
間に対して、本実施例では１００００時間まで向上して
おり、その効果は極めて大きい。
較結果を図３により説明する。図３は相対湿度９０％、
温度４０℃の環境下で直流１５０Ｖを印加し続けた時の
不良発生状況をワイブル表示したものである。例えば累
積不良率５０％となる時間をみると、従来例の４００時
間に対して、本実施例では１００００時間まで向上して
おり、その効果は極めて大きい。
【００１３】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、 （１）従来の電気泳動法によるガラスに代わり、物理的
或いは物理化学的手法による緻密な無機絶縁物層で内部
電極導体と外部電極導体とを絶縁しているので良好で安
定な絶縁抵抗が得られる。 （２）また、従来の樹脂のようなミクロ的には非常にポ
ーラスでイオン性不純物が多く存在するコーティング材
に代わり、不純物が非常に少なくかつ緻密に形成した無
機絶縁物層を下地として緻密で延性に富んだ金属層を形
成した２層構造の外装コーティングを施しているので、
湿気の多い環境下で使用した場合、素子の信頼性を大き
く向上させる効果を有している。
或いは物理化学的手法による緻密な無機絶縁物層で内部
電極導体と外部電極導体とを絶縁しているので良好で安
定な絶縁抵抗が得られる。 （２）また、従来の樹脂のようなミクロ的には非常にポ
ーラスでイオン性不純物が多く存在するコーティング材
に代わり、不純物が非常に少なくかつ緻密に形成した無
機絶縁物層を下地として緻密で延性に富んだ金属層を形
成した２層構造の外装コーティングを施しているので、
湿気の多い環境下で使用した場合、素子の信頼性を大き
く向上させる効果を有している。
【図１】本発明の一実施例の縦断面図である。
【図２】従来の電歪効果素子の一列の縦断面図である。
【図３】耐湿負荷寿命試験結果のワイブル表示図であ
る。
る。
１ 電歪セラミック部材 ２ 内部電極導体 ３ ガラス ４ａ，４ｂ 外部電極導体 ５ａ，５ｂ リード線 ６ 樹脂 ７，８ 無機絶縁物層 ９ 金属層 １０ 積層焼結体 ４０ａ，４０ｂ 半田 ７０ ホール
Claims (1)
- 【請求項１】 シート状の圧電セラミック部材と内部電
極導体とが交互に重ね合わされて一体焼成された積層焼
結体と、前記積層焼結体の対向する一対の側面のほぼ全
面に形成された無機絶縁物層と、前記無機絶縁物層の形
成された積層焼結体の一対の側面において前記内部電極
導体を互い違いに外部に露出させるホールと、前記ホー
ルにより露出した内部電極導体をそれぞれ電気的に接続
させる一対の外部電極導体と、前記外部電極導体の形成
された積層焼結体の全側面に形成された無機絶縁物層
と、該無機絶縁物層上に形成した金属層とを有すること
を特徴とする電歪効果素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4184842A JPH0629588A (ja) | 1992-07-13 | 1992-07-13 | 電歪効果素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4184842A JPH0629588A (ja) | 1992-07-13 | 1992-07-13 | 電歪効果素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0629588A true JPH0629588A (ja) | 1994-02-04 |
Family
ID=16160271
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4184842A Withdrawn JPH0629588A (ja) | 1992-07-13 | 1992-07-13 | 電歪効果素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0629588A (ja) |
-
1992
- 1992-07-13 JP JP4184842A patent/JPH0629588A/ja not_active Withdrawn
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5523645A (en) | Electrostrictive effect element and methods of producing the same | |
| JPH0732273B2 (ja) | 電歪効果素子 | |
| JPH04340778A (ja) | 積層圧電アクチュエータ素子 | |
| US20100156251A1 (en) | Piezoelectric actuator and method for producing it | |
| JPH09180957A (ja) | 積層型セラミックコンデンサ | |
| CN101563740B (zh) | 电器件以及电器件的外接触部 | |
| JP2994492B2 (ja) | 積層型圧電アクチュエータおよびその製造方法 | |
| JPS63153870A (ja) | 電歪効果素子 | |
| JPH0666483B2 (ja) | 電歪効果素子 | |
| JPH03283581A (ja) | 積層圧電アクチュエータ素子 | |
| JP2003243740A (ja) | 積層型圧電素子および位置決め装置 | |
| JPH0629588A (ja) | 電歪効果素子 | |
| JPS6380585A (ja) | 電歪効果素子 | |
| JPH05251779A (ja) | 電歪効果素子 | |
| JP2536101B2 (ja) | 電歪効果素子 | |
| JPS63122288A (ja) | 電歪効果素子 | |
| JPH0256822B2 (ja) | ||
| JP4174253B2 (ja) | 積層型圧電アクチュエータの製造方法 | |
| JPH0476969A (ja) | 電歪効果素子 | |
| JPH08130149A (ja) | 積層セラミック電子部品 | |
| JPH05110157A (ja) | 積層圧電アクチユエータ | |
| JPH01146379A (ja) | 電歪効果素子組立体 | |
| JPH02266578A (ja) | 電歪効果素子 | |
| JPH0312974A (ja) | 積層型圧電アクチュエータ | |
| JPS62264613A (ja) | 積層セラミツクコンデンサ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19991005 |