JPH06300106A - 電動アクチュエータ - Google Patents

電動アクチュエータ

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JPH06300106A
JPH06300106A JP5107763A JP10776393A JPH06300106A JP H06300106 A JPH06300106 A JP H06300106A JP 5107763 A JP5107763 A JP 5107763A JP 10776393 A JP10776393 A JP 10776393A JP H06300106 A JPH06300106 A JP H06300106A
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JP
Japan
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ball screw
shaft
spline
screw nut
ball
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Pending
Application number
JP5107763A
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Inventor
Hiroshi Teramachi
町 博 寺
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THK Co Ltd
Original Assignee
THK Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPH06300106A publication Critical patent/JPH06300106A/ja
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    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K7/00—Arrangements for handling mechanical energy structurally associated with dynamo-electric machines, e.g. structural association with mechanical driving motors or auxiliary dynamo-electric machines
    • H02K7/06—Means for converting reciprocating motion into rotary motion or vice versa
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J18/00—Arms
    • B25J18/02—Arms extensible
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Program-controlled manipulators
    • B25J9/10—Program-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements
    • B25J9/102—Gears specially adapted therefor, e.g. reduction gears
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16H—GEARING
    • F16H25/00—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms
    • F16H25/18—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms for conveying or interconverting oscillating or reciprocating motions
    • F16H25/20—Screw mechanisms
    • F16H25/22—Screw mechanisms with balls, rollers, or similar members between the co-operating parts; Elements essential to the use of such members
    • F16H25/2204—Screw mechanisms with balls, rollers, or similar members between the co-operating parts; Elements essential to the use of such members with balls
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
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    • F16H25/18—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms for conveying or interconverting oscillating or reciprocating motions
    • F16H25/20—Screw mechanisms
    • F16H2025/2062—Arrangements for driving the actuator
    • F16H2025/2075—Coaxial drive motors

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 コンパクトでしかも剛性が高く、位置決め精
度を向上させ得る電動アクチュエータを提供する。 【構成】 ボールねじ溝２を形成したねじ軸の外周面に
ボールスプライン溝３を設けた複合軸４に、スプライン
用外筒５，ボールねじナット６および中空モータ７を同
一線上に組み込み、中空のモータ駆動軸７２をベアリン
グ１２，１３を介してケーシング１１に相対回転自在に
支持すると共に、モータ本体７３とスプライン用外筒５
を、ケーシング１１，１４に対して軸方向及び回転方向
に移動不能に固定し、一方、中空のモータ駆動軸７２の
端部にボールねじナット６を一体的に連結し、モータ駆
動軸７２の回転駆動力を、ボールねじナット６を介して
複合軸４の軸方向推力に変換し、推力の軸方向反力を中
空モータ７のベアリング１２で支持して複合軸４を直線
運動させ、複合軸４に作用する軸方向荷重をボールねじ
ナット６で負荷すると共に、トルクをスプライン用外筒
５で支持し、また、全方向のラジアル荷重及びモーメン
ト荷重をスプライン用外筒及びボールねじナットで支持
して位置決めを行うことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、たとえば工業用ロボッ
トのアーム等に用いられるもので、一軸方向の運動を行
う電動アクチュエータに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のこの種の電動アクチュエータとし
ては、外周面にねじ溝とスプライン溝を同一箇所に重複
させて形成した複合軸を用い、作動ストロークを大きく
とったものが知られている（たとえば特開昭６２ー１６
５０５７号公報参照）。すなわち、複合軸にそのボール
ねじ溝に係合案内されるボールを介してボールねじナッ
トが嵌合されると共に、ボールスプライン溝に係合案内
されるボールを介してスプライン用外筒が嵌合されてい
る。
【０００３】さらに、ボールねじナット及びスプライン
用外筒は、それぞれ一対のサポートベアリングを介し
て、一つのハウジング内周に回転自在に組み付けられ、
駆動手段によって独立に回転駆動されるようになってい
る。そして、駆動手段によってボールねじナット及びス
プライン用外筒を回転駆動することによって、複合軸を
往復運動，回転運動あるいは往復及び回転の複合運動を
可能としていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来技術の場合には、直線運動させる場合、スプライ
ン用外筒を駆動するモータを停止させ、このモータの自
己保持力で回り止めするようになっているので、複合軸
の回転方向の位置決め精度を高精度にできないという問
題があった。
【０００５】また、スプライン用外筒をサポートベアリ
ングによって負荷しているだけなので、ラジアル方向の
剛性が不足し、さらに、サポートベアリング等による組
み合わせによる隙間も存在し、位置決め精度低下の原因
となっている。
【０００６】さらに、モータの伝達駆動系に歯車が用い
られているので、歯車間のバックラッシュ等のガタがで
てしまう。
【０００７】本発明は上記した従来技術の課題を解決す
るためになされたもので、その目的とするところは、コ
ンパクトでしかも剛性が高く、位置決め精度を向上させ
得る電動アクチュエータを提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明にあっては、ボールねじ溝を形成したねじ軸
の外周面に軸方向に延びるボールスプライン溝を設けた
複合軸に、該複合軸の荷重作用位置側から順に、スプラ
イン用外筒，ボールねじナットおよび中空モータを同一
線上に組み込み、前記スプライン用外筒は、前記複合軸
に対して、前記ボールスプライン溝に係合される多数の
ボールを介して軸方向に相対移動自在にボールねじ溝に
嵌合され、前記ボールねじナットは、前記複合軸に対し
て、前記ボールねじ溝に係合される多数のボールを介し
て相対回転自在に嵌合され、前記中空モータは、前記複
合軸を取り囲むように配置される可動子を備えた中空の
モータ駆動軸と、該モータ駆動軸の可動子を取り囲むよ
うに配置された固定子を備えた中空のモータ本体と、を
有し、前記モータ駆動軸をハウジングに対してベアリン
グを介して相対回転自在に支持すると共に、前記モータ
本体と前記スプライン用外筒を、ハウジングに対して軸
方向及び回転方向に移動不能に固定し、一方、前記中空
のモータ駆動軸の端部に前記ボールねじナットを一体的
に連結し、前記モータ駆動軸の回転駆動力を、前記ボー
ルナットを介して複合軸の軸方向推力に変換し、該推力
の軸方向反力を前記中空モータのサポートベアリングで
支持して複合軸を直線運動させ、前記複合軸に作用する
軸方向荷重をボールねじナットで負荷すると共に、トル
クをスプライン用外筒で支持し、また、全方向のラジア
ル荷重及びモーメント荷重をスプライン用外筒及びボー
ルねじナットで支持して位置決めを行うことを特徴とす
る。
【０００９】前記中空のモータ駆動軸とボールねじナッ
トを一体成形してもよい。
【００１０】
【作用】本発明は、ハウジングに直接固定されたスプラ
イン用外筒によってラジアル荷重を支持して複合軸の回
り止めをするので、回転方向およびラジアル方向の隙間
を無くすことができる。
【００１１】また、スプライン用外筒をハウジングに直
接固定しているので、装置構成がコンパクトであり、し
かもねじり剛性も大きい。
【００１２】また、ボールねじナットを中空のモータ駆
動軸の端部に固定あるいは一体成形する構成としている
ので、回転駆動部を小径化することができ、慣性モーメ
ントを可及的に小さくできるので、停止応答性がよい。
【００１３】
【実施例】以下に本発明を図示の実施例に基づいて説明
する。
【００１４】図１は、本発明の一実施例に係る電動アク
チュエータを示している。
【００１５】この電動アクチュエータ１は、ボールねじ
溝２を形成した一本の軸体の外周面に軸方向に延びるボ
ールスプライン溝３を設けた複合軸４に、この複合軸４
の荷重作用位置側から順番に、スプライン用外筒５，ボ
ールねじナット６および中空モータ７を同一線上に組み
込んだ構成となっている。
【００１６】複合軸４は、内部を軸方向に貫通する中空
穴８を有する中空軸として軽量化が図られ、一端に荷重
作用位置となるフィンガ等を取り付けるためのアタッチ
メント取付部９が設けられている。中空穴８は、フィン
ガ等のアタッチメント用の電気配線や油圧あるいは空気
圧等の配管を通す通路としても利用される。また、複合
軸４の他端開口部は、通常は盲蓋１０によって封止され
ている。
【００１７】スプライン用外筒５は、図２に示すように
円筒状で、その内周面に複合軸に形成されたボールスプ
ライン溝３に対応するボール転走溝５１が設けられてお
り、このボールスプライン溝３とボール転走溝５１間に
荷重を負荷する多数のボールＢ１が転動自在に介装され
ている。また、ボールＢ１はボールスプライン用外筒５
内周に組み込まれた保持器５２により整列循環運動する
ように保持されている。すなわち、保持器５２にはボー
ル循環路５３が複数形成されており、負荷域のボールＢ
１を保持器５２外周とスプライン用外筒５内周間の無負
荷域に循環させるようになっている。
【００１８】また、このボールスプラインのボールＢ１
には、ラジアル方向のみならず回転方向に近い方向の予
圧が付与されている。予圧のかけ方は、たとえばボール
転走溝５１およびボールスプライン溝３の円周方向の位
相に差を設けることによって付与することができ、これ
によりアンギュラッシュ（両方向の回転方向ガタ）を除
去することができる。
【００１９】ボールねじナット６は、図３に示すように
略円筒形状で、概略内周面に複合軸４外周に形成された
ボールねじ溝２に対応するボールねじ６１溝が形成され
たナット本体６２と、このナット本体６２の両端に取り
付けられるエンドキャップ６３と、から構成されてい
る。ナット本体６２にはナット６と複合軸４の間に介在
されるボールＢ２を循環させるためのボール逃げ穴６４
が設けられており、エンドキャップ６３には複合軸４の
ボールねじ溝２間に介在するボールＢ２をボール逃げ穴
６４に逃がすための方向転換路６５が設けられている。
そして上記ボールねじ溝２，６１，ボール方向転換路６
５及びボール逃げ穴６４によってボール循環路を構成し
てボールＢ２を整列循環させている。
【００２０】また、ボールねじナット６と複合軸４の間
に介在されボールＢ２にはラジアル方向のみならず、軸
方向に予圧が付与されている。予圧付与機構としては、
本実施例では、ボールねじナット６内周に設けたボール
ねじ溝６１のピッチを複合軸４側のボールねじ溝２のピ
ッチに対してピッチ差を設けることにより行っている。
もっとも、予圧付与機構としては、その他ダブルナット
間に間座を介装する方式等種々の方式を適用することが
できる。
【００２１】中空モータ７は、複合軸４を取り囲むよう
に配置される可動子７１を備えた中空のモータ駆動軸７
２と、このモータ駆動軸７２に対して相対回転自在に設
けられた中空のモータ本体７３とから構成されている。
モータ駆動軸７２の外周には可動子７１が固定されてお
り、モータ本体７３は可動子７１に所定間隔を介して対
向して配置された固定子７４を備えている。
【００２２】モータ本体７３は中空のモータケーシング
１１内周に固定され、このモータケーシング１１に対し
て、第１，第２ベアリング１２，１３を介してモータ駆
動軸７２が回転自在に支持されている。第１，第２ベア
リング１２，１３は、モータ駆動軸７２の可動子７１前
後のジャーナル部を支持するもので、この実施例では、
ボールねじナット６側の第１ベアリング１２として複列
アンギュラ接触型ボールベアリングが使用され、他方の
第２ベアリング１３として単列構成のボールベアリング
が用いられている。
【００２３】第１ベアリング１２は、モータケーシング
１１の端部内周およびモータ駆動軸外周にねじ込まれる
第１，第２押さえリング１２１，１２２によって、その
内輪および外輪が押えられている。
【００２４】第２ベアリング１２は、モータケーシング
１１の開口部を閉塞するケース蓋１１１内周に嵌着さ
れ、スプリング１３１によって軸方向に押さえられてい
る。
【００２５】また、モータケーシング１１の途中には固
定用のブラケット１１２が設けられている。
【００２６】上記スプライン用外筒５はスプライン用ケ
ーシング１４内周に嵌着され、その端部に設けられた固
定フランジ５４を介してスプライン用ケーシング１４端
面にボルト等によって固定されている。このスプライン
用ケーシング１４とモータケーシング１１の対向端部に
は、互いに面接合する固定フランジ１５，１６が設けら
れ、ボルト１７によって連結固定されている。スプライ
ン用ケーシング１４は、スプライン用外筒５が固定され
る小径部１４１と、ボールねじナット６外周と所定間隔
を隔てて取り囲むように配置される大径部１４２とを有
しており、固定フランジ１５は大径部１４２の端部に設
けられている。
【００２７】また、前記中空のモータ駆動軸７２の端部
は、継手リング１８を介して一体的に連結されており、
モータ駆動軸７２とボールねじナット６とが一体的に回
転するようになっている。
【００２８】上記構成の電動アクチュエータにあって
は、中空モータ７を回転駆動すると、モータ駆動軸７２
の回転駆動力がボールねじナット６を介して複合軸４の
軸方向推力に変換される。この推力の軸方向反力が、中
空モータ７の第１，第２ベアリング１２，１３で支持さ
れ複合軸４が直線運動する。
【００２９】複合軸４に作用する軸方向荷重はボールね
じナット６で負荷され、トルクがスプライン用外筒５で
支持される。また、全方向のラジアル荷重及びモーメン
ト荷重をスプライン用外筒５及びボールねじナット６で
共に支持され、図示しないアタッチメント取付部９に取
付られたフィンガ等のアタッチメントの、Ｘ，Ｙ，Ｚ軸
方向および各軸回りのモーメントＭｘ，Ｍｙ，Ｍｚ方向
の位置決めが正確になされる。
【００３０】本発明は、スプライン用ケーシング１４に
直接固定されたスプライン用外筒５によってラジアル荷
重を支持して複合軸４の回り止めをするので、回転方向
およびラジアル方向の隙間を無くすことができる。
【００３１】また、ス プライン用外筒５をスプライン
用ケーシング１４に直接固定しているので、装置構成が
コンパクトであり、しかもねじり剛性も大きい。
【００３２】また、ボールねじナット６を中空のモータ
駆動軸７２の端部に固定あるいは一体成形する構成とし
ているので、回転する構成部分を小径化することがで
き、慣性モーメントを可及的に小さくできるので、停止
応答性がよい。
【００３３】図４は、本発明の他の実施例を示してい
る。
【００３４】この例は、上記実施例のボールナットと中
空のモータ駆動軸を一体成形したものである。すなわ
ち、モータ駆動軸７２の延長部７５内周にボールねじ溝
６１´を直接形成し、複合軸４に形成されたボールねじ
溝２との間にボールＢ２を転動自在に介装したものであ
る。
【００３５】その他の構成は、上記実施例と同一である
ので、同一の構成部分については同一の符号を用いその
説明を省略する。
【００３６】
【発明の効果】本発明は以上の構成および作用を有する
もので、ハウジングに直接固定されたスプライン用外筒
によってラジアル荷重を支持して複合軸の回り止めをす
るので、従来のようにスプライン用外筒をモータで回り
止めする場合のように、モータでの回転方向がたつきが
なく、回転方向ガタをスプライン用外筒によって効果的
に防止することができる。また、スプライン用外筒を支
持するベアリング部での組み付けガタや剛性低下の影響
もないので、この複合軸の荷重作用位置において取り付
けられる被送り部材の回転方向の位置決め精度およびラ
ジアル方向の位置決め精度向上を図ることができる。
【００３７】また、スプライン用外筒をハウジングに直
接固定しているので、装置構成がコンパクトにできる。
【００３８】さらに、ボールねじナットを中空のモータ
駆動軸の端部に固定あるいは一体成形する構成としてい
るので、回転駆動部を小径化することができ、慣性モー
メントを可及的に小さくできるので、停止応答性向上を
図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は本発明の一実施例に係る電動アクチュエ
ータを示す縦断面図である。
【図２】図２は図１の電動アクチュエータのボールスプ
ラインの構成を示すもので、同図(ａ)は部分断面正面
図、同図(ｂ)はボール循環路の平面図、同図(ｃ)は部分
断面側面図である。
【図３】図３は図１の電動アクチュエータのボールねじ
の構成を示すもので、同図(ａ)は縦断面図、同図(ｂ)は
側面図である。
【図４】図４は本発明の他の実施例に係る電動アクチュ
エータの縦断面図である。
【符号の説明】
１ 電動アクチュエータ ２ ボールねじ軸 ３ ボールスプライン ４ 複合軸 ５ スプライン用外筒 ５１ ボール転走溝 ６ ボールねじナット ６１，６１´ ボールねじ溝 ７ 中空モータ ７１ 可動子 ７２ モータ駆動軸 ７３ モータ本体 ７４ 固定子 ７５ 延長部 ８ 中空穴 ９ アタッチメント取付部 １１ モータケーシング １２，１３ ベアリング １４ スプライン用ケーシング １５，１６ 固定フランジ １８ 継手部材
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成５年９月７日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００６】 さらに、モータの伝達駆動系が、モータ
に連結されたタイミングベルト用ベルト車と、スプライ
ン用外筒に一体的に設けられたベルト車の間に巻き掛け
られるタイミングベルトによって構成されているが、タ
イミングベルトの伸びや各ベルト車との噛み合わせ部の
ガタによって位置決め精度低下の原因となっている。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１２
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１２】また、ボールねじナットを中空のモータ駆
動軸の端部に固定あるいは一体成形する構成としている
ので、回転駆動部を小径化することができ、慣性モーメ
ントを可及的に小さくできるので、停止応答性がよい。
一方、中空モータに取り囲まれる複合軸の部位は、中空
モータの発熱の影響を受けて伸びるが、本発明では、モ
ータ駆動軸の回転駆動力をボールナットを介して複合軸
の軸方向推力に変換し、この推力の軸方向反力をベアリ
ングで支持するもので、この位置決め基準となるボール
ナットおよびベアリングが中空モータの前方に位置して
いるので、複合軸の伸びは位置決め基準の後方で生じ、
送り精度への影響は少ない。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００２８
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２８】上記構成の電動アクチュエータにあって
は、中空モータ７を回転駆動すると、モータ駆動軸７２
の回転駆動力がボールねじナット６を介して複合軸４の
軸方向推力に変換される。この推力の軸方向反力が、複
列アンギュラコン接触型の第１ベアリング１２で支持さ
れて複合軸４が直線運動する。したがって、複合軸４の
位置決め基準となるのは、ボールねじナット６と第１ベ
アリング１２である。一方、モータ本体７３のコイルが
７３ａが動作中に発熱し、この熱が可動子７１及びモー
タ駆動軸７２を通じて複合軸４に伝達され、複合軸４の
モータ本体７３に対応する部位が熱膨張によって伸張す
る。しかし、上記したように位置決め基準となるボール
ねじナット６および第１ベアリング１２はモータ本体７
３の前方に位置しているので、複合軸４の伸張は位置決
め基準の後方で生じることになり、送り精度への影響は
少ない。特に、この実施例では、第１ベアリング１２が
モータ本体７３とボールねじナット６の間に配置され、
ボールねじナット６がモータ本体７３から充分離れてい
るので、発熱の影響を可及的に小さくすることができ
る。また、モータ駆動軸７２の第１ベアリング１２とボ
ールねじナット６間の部位も、モータ本体７３から離れ
ているので熱の影響を受けず、その距離が変化しない。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００２９
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２９】複合軸４に作用する軸方向荷重はボールね
じナット６で負荷され、トルクがスプライン用外筒５で
支持される。また、全方向のラジアル荷重及びモーメン
ト荷重をスプライン用外筒５及びボールねじナット６で
共に支持され、図示しないアタッチメント取付部９に取
付られたフィンガ等のアタッチメントの、Ｘ，Ｙ，Ｚ軸
方向および各軸回りのモーメントＭｘ，Ｍｙ，Ｍｚ方向
の位置決めが正確になされる。ここで、Ｘ，Ｙ，Ｚ軸方
向の位置決めとは、アタッチメントの三次元空間での座
標位置であり、モーメントＭｘ，Ｍｙ，Ｍｚ方向の位置
決めとは、所定の座標位置でのアタッチメントの向き、
すなわち姿勢を意味する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３６
【補正方法】変更
【補正内容】
【００３６】
【発明の効果】本発明は以上の構成および作用を有する
もので、ハウジングに直接固定されたスプライン用外筒
によってラジアル荷重を支持して複合軸の回り止めをす
るので、従来のようにスプライン用外筒をモータで回り
止めする場合のように、モータでの回転方向がたつきが
なく、回転方向ガタをスプライン用外筒によって効果的
に防止することができる。また、スプライン用外筒を支
持するベアリング部での組み付けガタや剛性低下の影響
もないので、この複合軸の荷重作用位置において取り付
けられる被送り部材の回転方向の位置決め精度およびラ
ジアル方向の位置決め精度向上、さらにその姿勢の位置
決め精度向上を図ることができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３８
【補正方法】変更
【補正内容】
【００３８】さらに、ボールねじナットを中空のモータ
駆動軸の端部に固定あるいは一体成形する構成としてい
るので、回転駆動部を小径化することができ、慣性モー
メントを可及的に小さくできるので、停止応答性向上を
図ることができる。さらにまた、中空モータの発熱によ
って複合軸が熱膨張しても、モータは複合軸の位置決め
基準となるベアリング及びボールナットの後方に位置す
るので、送り精度に熱膨張の影響を可及的になくすこと
ができ、さらなる位置決め精度向上を図ることができ
る。
【手続補正７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】全図
【補正方法】変更
【補正内容】
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ボールねじ溝を形成したねじ軸の外周面
    に軸方向に延びるボールスプライン溝を設けた複合軸
    に、該複合軸の荷重作用位置側から順に、スプライン用
    外筒，ボールねじナットおよび中空モータを同一線上に
    組み込み、 前記スプライン用外筒は、前記複合軸に対して、前記ボ
    ールスプライン溝に係合される多数のボールを介して軸
    方向に相対移動自在にボールねじ溝に嵌合され、 前記ボールねじナットは、前記複合軸に対して、前記ボ
    ールねじ溝に係合される多数のボールを介して相対回転
    自在に嵌合され、 前記中空モータは、前記複合軸を取り囲むように配置さ
    れる可動子を備えた中空のモータ駆動軸と、該モータ駆
    動軸の可動子を取り囲むように配置された固定子を備え
    た中空のモータ本体と、を有し、 前記モータ駆動軸をベアリングを介してハウジングに相
    対回転自在に支持すると共に、前記モータ本体と前記ス
    プライン用外筒を、ハウジングに対して軸方向及び回転
    方向に移動不能に固定し、 一方、前記中空のモータ駆動軸の端部に前記ボールねじ
    ナットを一体的に連結し、 前記モータ駆動軸の回転駆動力を、前記ボールナットを
    介して複合軸の軸方向推力に変換し、該推力の軸方向反
    力を前記モータ駆動軸のベアリングで支持して複合軸を
    直線運動させ、 前記複合軸に作用する軸方向荷重をボールねじナットで
    負荷すると共に、トルクをスプライン用外筒で支持し、
    また、全方向のラジアル荷重及びモーメント荷重をスプ
    ライン用外筒及びボールねじナットで支持して位置決め
    を行うことを特徴とする電動アクチュエータ。
  2. 【請求項２】 ボールねじ溝を形成したねじ軸の外周面
    に軸方向に延びるボールスプライン溝を設けた複合軸
    に、該複合軸の荷重作用位置側から順に、スプライン用
    外筒，ボールねじナットおよび中空モータを同一線上に
    組み込み、 前記スプライン用外筒は、前記複合軸に対して、前記ボ
    ールスプライン溝に係合される多数のボールを介して軸
    方向に相対移動自在にボールねじ溝に嵌合され、 前記ボールねじナットは、前記複合軸に対して、前記ボ
    ールねじ溝に係合される多数のボールを介して相対回転
    自在に嵌合され、 前記中空モータは、前記複合軸を取り囲むように配置さ
    れる可動子を備えた中空のモータ駆動軸と、該モータ駆
    動軸の可動子を取り囲むように配置された固定子を備え
    た中空のモータ本体と、を有し、 前記モータ駆動軸を、ハウジングに対して相対回転自在
    に支持すると共に、前記モータ本体と前記スプライン用
    外筒を、ハウジングに対して軸方向及び回転方向に移動
    不能に固定し、 一方、前記中空のモータ駆動軸と前記記ボールねじナッ
    トを一体成形し、 前記モータ駆動軸の回転駆動力を、前記ボールナットを
    介して複合軸の軸方向推力に変換し、該推力の軸方向反
    力を前記中空モータのベアリングで支持して複合軸を直
    線運動させ、 前記複合軸に作用する軸方向荷重をボールねじナットで
    負荷すると共に、トルクをスプライン用外筒で支持し、
    また、全方向のラジアル荷重及びモーメント荷重をスプ
    ライン用外筒及びボールねじナットで支持して位置決め
    を行うことを特徴とする電動アクチュエータ。
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