JPH06302288A - 回転陽極型ｘ線管 - Google Patents
回転陽極型ｘ線管Info
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- JPH06302288A JPH06302288A JP8658393A JP8658393A JPH06302288A JP H06302288 A JPH06302288 A JP H06302288A JP 8658393 A JP8658393 A JP 8658393A JP 8658393 A JP8658393 A JP 8658393A JP H06302288 A JPH06302288 A JP H06302288A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 この発明は、軸受部に発生又は到達する不所
望な異物を捕捉し、ヘリンボン・パターンらせん溝によ
る動圧の発生を妨げずに安定な動圧式すべり軸受動作を
維持する回転陽極型Ｘ線管を提供することを目的とす
る。 【構成】 この発明は、動圧すべり軸受の回転動作中に
ヘリンボン・パターンのらせん溝１９ａ，１９ｂ，２２
ａ，２２ｂで潤滑剤が掻き集められる領域に、異物収容
用凹部２１，２４が形成された回転陽極型Ｘ線管であ
る。
望な異物を捕捉し、ヘリンボン・パターンらせん溝によ
る動圧の発生を妨げずに安定な動圧式すべり軸受動作を
維持する回転陽極型Ｘ線管を提供することを目的とす
る。 【構成】 この発明は、動圧すべり軸受の回転動作中に
ヘリンボン・パターンのらせん溝１９ａ，１９ｂ，２２
ａ，２２ｂで潤滑剤が掻き集められる領域に、異物収容
用凹部２１，２４が形成された回転陽極型Ｘ線管であ
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、回転陽極型Ｘ線管に
係わり、とくに軸受構体の改良に関する。
係わり、とくに軸受構体の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】回転陽極型Ｘ線管は、周知のように、円
盤状の陽極ターゲットを相互間に軸受を有する回転体お
よび固定体で支え、これを真空容器外に配置した電磁コ
イルで付勢して高速回転させながら、陰極から放出させ
た電子ビームを陽極ターゲットに当ててＸ線を放射させ
る。軸受は、ボールベアリングのようなころがり軸受
や、軸受面に少なくとも一組のヘリンボン・パターンの
らせん溝を形成するとともにガリウム（Ｇａ）、又はガ
リウム−インジウム−錫（Ｇａ−Ｉｎ−Ｓｎ）合金のよ
うな動作中に液状となる金属潤滑剤を用いた動圧式すべ
り軸受で構成される。後者のすべり軸受を用いた例は、
たとえば特公昭６０−２１４６３号、特開昭６０−９７
５３６号、特開昭６０−１１７５３１号、特開昭６２−
２８７５５５号、特開平２−２２７９４７号、あるいは
特開平２−２２７９４８号等の各公報に開示されてい
る。
盤状の陽極ターゲットを相互間に軸受を有する回転体お
よび固定体で支え、これを真空容器外に配置した電磁コ
イルで付勢して高速回転させながら、陰極から放出させ
た電子ビームを陽極ターゲットに当ててＸ線を放射させ
る。軸受は、ボールベアリングのようなころがり軸受
や、軸受面に少なくとも一組のヘリンボン・パターンの
らせん溝を形成するとともにガリウム（Ｇａ）、又はガ
リウム−インジウム−錫（Ｇａ−Ｉｎ−Ｓｎ）合金のよ
うな動作中に液状となる金属潤滑剤を用いた動圧式すべ
り軸受で構成される。後者のすべり軸受を用いた例は、
たとえば特公昭６０−２１４６３号、特開昭６０−９７
５３６号、特開昭６０−１１７５３１号、特開昭６２−
２８７５５５号、特開平２−２２７９４７号、あるいは
特開平２−２２７９４８号等の各公報に開示されてい
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このような液体金属潤
滑剤を用いた動圧式すべり軸受を備える回転陽極型Ｘ線
管では、回転動作中、潤滑剤はヘリンボン・パターンの
らせん溝の周辺部から中央部のくの字に折返えされる部
分に掻き集められて動圧が発生する。ヘリンボン・パタ
ーンのらせん溝は、およそ２０μｍの深さを有し、ま
た、軸受面は回転動作中に約２０μｍ程度の軸受間隔で
非接触状態が保たれる。しかし、回転が停止すると、回
転体の自重で軸受面の少なくとも一部が接触する。この
接触面に潤滑剤が薄い膜として介在すれば、次の回転開
始時も軸受面同士のこすれやそれによる傷の発生等は生
じない。しかし、動作中に潤滑剤が稀薄になる領域の軸
受面は、回転停止時に、接触した軸受面間に潤滑剤が存
在しない状態が起こり得る。軸受面間に潤滑剤が存在し
ないと、次の回転起動時に、こすれが発生して軸受面が
削られてしまう。軸受構成部材を鉄又は鉄合金のような
比較的軟らかい材料で構成した場合には、とくに軸受構
成部材が削られて微細鉄粉のような異物が多く発生して
潤滑剤に混入しやすい。あるいはまた、軸受構成部材と
液体金属潤滑剤との反応による反応生成物が生じ、この
異物がやはり潤滑剤に混入することも考えられる。そし
て、このような異物が軸受のヘリンボン・パターンらせ
ん溝の内部に徐々に堆積すると、溝の深さが徐々に浅く
なり、所要の動圧が発生しなくなり、動圧軸受の性能が
低下してしまう。
滑剤を用いた動圧式すべり軸受を備える回転陽極型Ｘ線
管では、回転動作中、潤滑剤はヘリンボン・パターンの
らせん溝の周辺部から中央部のくの字に折返えされる部
分に掻き集められて動圧が発生する。ヘリンボン・パタ
ーンのらせん溝は、およそ２０μｍの深さを有し、ま
た、軸受面は回転動作中に約２０μｍ程度の軸受間隔で
非接触状態が保たれる。しかし、回転が停止すると、回
転体の自重で軸受面の少なくとも一部が接触する。この
接触面に潤滑剤が薄い膜として介在すれば、次の回転開
始時も軸受面同士のこすれやそれによる傷の発生等は生
じない。しかし、動作中に潤滑剤が稀薄になる領域の軸
受面は、回転停止時に、接触した軸受面間に潤滑剤が存
在しない状態が起こり得る。軸受面間に潤滑剤が存在し
ないと、次の回転起動時に、こすれが発生して軸受面が
削られてしまう。軸受構成部材を鉄又は鉄合金のような
比較的軟らかい材料で構成した場合には、とくに軸受構
成部材が削られて微細鉄粉のような異物が多く発生して
潤滑剤に混入しやすい。あるいはまた、軸受構成部材と
液体金属潤滑剤との反応による反応生成物が生じ、この
異物がやはり潤滑剤に混入することも考えられる。そし
て、このような異物が軸受のヘリンボン・パターンらせ
ん溝の内部に徐々に堆積すると、溝の深さが徐々に浅く
なり、所要の動圧が発生しなくなり、動圧軸受の性能が
低下してしまう。
【０００４】一方、ヘリンボン・パターン溝を有する動
圧式すべり軸受において、潤滑剤及び異物を溜める円周
状又は独立した多数の凹みをヘリンボン・パターンらせ
ん溝の領域の外側に設ける考えは、例えば特開平１−１
４１２１８号、或いは同１４１２１９号公報などに開示
されている。しかしながら、凹みをヘリンボン・パター
ンらせん溝領域の外側に設けても、この凹みに異物が入
って収容される確率は小さく、異物捕捉効果は十分得ら
れない。
圧式すべり軸受において、潤滑剤及び異物を溜める円周
状又は独立した多数の凹みをヘリンボン・パターンらせ
ん溝の領域の外側に設ける考えは、例えば特開平１−１
４１２１８号、或いは同１４１２１９号公報などに開示
されている。しかしながら、凹みをヘリンボン・パター
ンらせん溝領域の外側に設けても、この凹みに異物が入
って収容される確率は小さく、異物捕捉効果は十分得ら
れない。
【０００５】この発明は、以上のような事情に鑑みてな
されたものであり、軸受部に発生又は到達する不所望な
異物を確実に捕捉できるとともに、ヘリンボン・パター
ンらせん溝による動圧の発生を妨げずに安定な動圧式す
べり軸受動作を維持することができる回転陽極型Ｘ線管
を提供することを目的とする。
されたものであり、軸受部に発生又は到達する不所望な
異物を確実に捕捉できるとともに、ヘリンボン・パター
ンらせん溝による動圧の発生を妨げずに安定な動圧式す
べり軸受動作を維持することができる回転陽極型Ｘ線管
を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明は、動圧すべり
軸受の回転動作中にヘリンボン・パターンのらせん溝で
潤滑剤が掻き集められる領域に、異物収容用凹部が形成
された回転陽極型Ｘ線管である。
軸受の回転動作中にヘリンボン・パターンのらせん溝で
潤滑剤が掻き集められる領域に、異物収容用凹部が形成
された回転陽極型Ｘ線管である。
【０００７】
【作用】この発明によれば、軸受部に不所望な異物が発
生して潤滑剤に混入しても、この異物がヘリンボン・パ
ターンらせん溝で潤滑剤とともに掻き集められて異物収
容用凹部に捕捉される。そして、ヘリンボン・パターン
らせん溝が容易に浅くなることが抑制され、長期にわた
り安定で必要十分な動圧すべり軸受動作が維持される。
生して潤滑剤に混入しても、この異物がヘリンボン・パ
ターンらせん溝で潤滑剤とともに掻き集められて異物収
容用凹部に捕捉される。そして、ヘリンボン・パターン
らせん溝が容易に浅くなることが抑制され、長期にわた
り安定で必要十分な動圧すべり軸受動作が維持される。
【０００８】
【実施例】以下その実施例を図面を参照して説明する。
なお同一部分は同一符号であらわす。図１乃至図４に示
す実施例は、次の構成を有する。すなわち、重金属から
なる円盤状陽極ターゲット１１が有底円筒状の回転体１
２の一端に突設された回転軸１３にナット１４により一
体的に固定されている。回転体１２は、工具鋼からなる
内側円筒１２ａと、その外周に嵌合された鉄のような強
磁性体円筒１２ｂと、さらにその外側に嵌合された銅の
ような良導電体円筒１２ｃとを備えている。この回転体
１２の内側には、円柱状の固定体１５が挿入されてい
る。固定体１５の図示下端部には、外径が縮小された固
定体径小部１７が形成されている。そして回転体の図示
下端部には、固定体径小部１７を近接して包囲してリン
グ状の開口部閉塞体１６が複数個のボルトにより固着さ
れている。固定体径小部１７は、鉄合金製の補助リング
１７ａ及びシールリング１７ｂを介してガラス製の真空
容器１８に気密接合されている。
なお同一部分は同一符号であらわす。図１乃至図４に示
す実施例は、次の構成を有する。すなわち、重金属から
なる円盤状陽極ターゲット１１が有底円筒状の回転体１
２の一端に突設された回転軸１３にナット１４により一
体的に固定されている。回転体１２は、工具鋼からなる
内側円筒１２ａと、その外周に嵌合された鉄のような強
磁性体円筒１２ｂと、さらにその外側に嵌合された銅の
ような良導電体円筒１２ｃとを備えている。この回転体
１２の内側には、円柱状の固定体１５が挿入されてい
る。固定体１５の図示下端部には、外径が縮小された固
定体径小部１７が形成されている。そして回転体の図示
下端部には、固定体径小部１７を近接して包囲してリン
グ状の開口部閉塞体１６が複数個のボルトにより固着さ
れている。固定体径小部１７は、鉄合金製の補助リング
１７ａ及びシールリング１７ｂを介してガラス製の真空
容器１８に気密接合されている。
【０００９】円筒状回転体１２と固定体１５との嵌合部
分には、前述の各公報に示されるような動圧式のヘリン
ボン・パターンのらせん溝すべり軸受が構成されてい
る。すなわち、固定体１５の外周壁に、軸方向に所定間
隔をおいてヘリンボン・パターンのらせん溝１９ａ，１
９ｂが形成されており、２組のラジアルすべり軸受２０
ａ，２０ｂが構成されている。各すべり軸受を構成して
いるヘリンボン・パターンらせん溝１９ａ，１９ｂは、
くの字をなす各溝が相互に軸方向に離れており、また、
各溝の深さは約２０μｍである。そして、各溝群の中間
領域、すなわち回転動作において潤滑剤がらせん溝で掻
き集められて潤滑剤圧力が最大又はそれに近い値となる
領域に、円周状に形成された深溝からなる異物収容用凹
部２１，２１がそれぞれ設けられている。この異物収容
用凹部２１は、深さが約０．５ｍｍ、軸方向の幅が約１
ｍｍである。
分には、前述の各公報に示されるような動圧式のヘリン
ボン・パターンのらせん溝すべり軸受が構成されてい
る。すなわち、固定体１５の外周壁に、軸方向に所定間
隔をおいてヘリンボン・パターンのらせん溝１９ａ，１
９ｂが形成されており、２組のラジアルすべり軸受２０
ａ，２０ｂが構成されている。各すべり軸受を構成して
いるヘリンボン・パターンらせん溝１９ａ，１９ｂは、
くの字をなす各溝が相互に軸方向に離れており、また、
各溝の深さは約２０μｍである。そして、各溝群の中間
領域、すなわち回転動作において潤滑剤がらせん溝で掻
き集められて潤滑剤圧力が最大又はそれに近い値となる
領域に、円周状に形成された深溝からなる異物収容用凹
部２１，２１がそれぞれ設けられている。この異物収容
用凹部２１は、深さが約０．５ｍｍ、軸方向の幅が約１
ｍｍである。
【００１０】また、固定体１５の図示上端壁すなわち回
転軸に垂直な面には、図３に示すように、サークル状の
ヘリンボン・パターンのらせん溝２２ａが形成されてお
り、一方のスラストすべり軸受２３ａが構成されてい
る。各溝の深さは、やはり約２０μｍである。そして、
実質的にくの字をなすらせん溝２２ａの中間の折返し領
域、すなわち潤滑剤がらせん溝で掻き集められて潤滑剤
圧力が最大又はそれに近い値となる領域に、サークル状
の深溝からなる異物収容用凹部２４が形成されている。
この凹部２４は、深さ及び半径方向の幅が約０．５ｍｍ
である。開口部閉塞体１６の上面には、同様に図４に示
すサークル状のヘリンボン・パターンらせん溝２２ｂが
形成され、他方のスラストすべり軸受２３ｂが構成され
ている。各溝の深さは、やはり約２０μｍであり、潤滑
剤がらせん溝で掻き集められて潤滑剤圧力が最大又はそ
れに近い値となる領域に、同じくサークル状の深溝から
なる異物収容用凹部２４が形成されている。この凹部２
４は、同じく深さ及び半径方向の幅が約０．５ｍｍであ
る。
転軸に垂直な面には、図３に示すように、サークル状の
ヘリンボン・パターンのらせん溝２２ａが形成されてお
り、一方のスラストすべり軸受２３ａが構成されてい
る。各溝の深さは、やはり約２０μｍである。そして、
実質的にくの字をなすらせん溝２２ａの中間の折返し領
域、すなわち潤滑剤がらせん溝で掻き集められて潤滑剤
圧力が最大又はそれに近い値となる領域に、サークル状
の深溝からなる異物収容用凹部２４が形成されている。
この凹部２４は、深さ及び半径方向の幅が約０．５ｍｍ
である。開口部閉塞体１６の上面には、同様に図４に示
すサークル状のヘリンボン・パターンらせん溝２２ｂが
形成され、他方のスラストすべり軸受２３ｂが構成され
ている。各溝の深さは、やはり約２０μｍであり、潤滑
剤がらせん溝で掻き集められて潤滑剤圧力が最大又はそ
れに近い値となる領域に、同じくサークル状の深溝から
なる異物収容用凹部２４が形成されている。この凹部２
４は、同じく深さ及び半径方向の幅が約０．５ｍｍであ
る。
【００１１】なお、これら回転体及び固定体の両軸受面
は、回転動作時におよそ２０μｍの軸受間隙をもって対
面するようになっている。固定体１５には、その中心部
が軸方向に沿ってくり抜かれた孔からなる潤滑剤収容室
２５が設けられている。この潤滑剤収容室２５の図示上
端開口２５ａは、図示上部のサークル状らせん溝２２ａ
の内側中心部に位置し、このスラスト軸受２３ａの軸受
間隙に連通している。潤滑剤収容室２５の図示下端部２
５ｂは、下部のスラストらせん溝すべり軸受２３ｂの近
傍位置まで延長されて終端となっている。また、この固
定体１５には、その中間部外周壁が削られて径小部２６
が形成されている。そして、軸方向の５箇所に、各一端
が潤滑剤収容室２５に接続され各他端開口が固定体１５
の外周面に位置する放射方向通路２７，２７…が、９０
度間隔で軸対称的に形成されている。軸方向の中央部の
放射方向通路２７は、径小部２６に開口している。残り
４箇所の放射方向通路２７…は、各ラジアルすべり軸受
２０ａ，２０ｂのヘリンボン・パターンのらせん溝１９
ａの領域内の外端部近傍にそれぞれ開口している。これ
ら開口位置は、回転体１２が矢印Ｐのように高速回転し
た時、らせん溝および軸受間隙に供給されている液体金
属潤滑剤が相対的に稀薄になる領域である。この部分に
滑剤収容室２５から延びる放射方向通路２７…が開口し
ているため、滑剤収容室及び放射方向通路に充填されて
いる潤滑剤が回転起動時も連続回転時も速やかに軸受領
域に供給される。したがって、軸受面間に潤滑剤が常に
介在される。また、径小部２６による円周状空間Ｓに
も、潤滑剤収容室２５から放射方向通路２７を経て潤滑
剤が供給されるので、らせん溝のない軸受面にも潤滑剤
が行き渡る。さらにまた、スラスト軸受にも、潤滑剤収
容室の開口２５ａから潤滑剤が供給される。こうして、
すべての軸受面に確実に潤滑剤が供給される。
は、回転動作時におよそ２０μｍの軸受間隙をもって対
面するようになっている。固定体１５には、その中心部
が軸方向に沿ってくり抜かれた孔からなる潤滑剤収容室
２５が設けられている。この潤滑剤収容室２５の図示上
端開口２５ａは、図示上部のサークル状らせん溝２２ａ
の内側中心部に位置し、このスラスト軸受２３ａの軸受
間隙に連通している。潤滑剤収容室２５の図示下端部２
５ｂは、下部のスラストらせん溝すべり軸受２３ｂの近
傍位置まで延長されて終端となっている。また、この固
定体１５には、その中間部外周壁が削られて径小部２６
が形成されている。そして、軸方向の５箇所に、各一端
が潤滑剤収容室２５に接続され各他端開口が固定体１５
の外周面に位置する放射方向通路２７，２７…が、９０
度間隔で軸対称的に形成されている。軸方向の中央部の
放射方向通路２７は、径小部２６に開口している。残り
４箇所の放射方向通路２７…は、各ラジアルすべり軸受
２０ａ，２０ｂのヘリンボン・パターンのらせん溝１９
ａの領域内の外端部近傍にそれぞれ開口している。これ
ら開口位置は、回転体１２が矢印Ｐのように高速回転し
た時、らせん溝および軸受間隙に供給されている液体金
属潤滑剤が相対的に稀薄になる領域である。この部分に
滑剤収容室２５から延びる放射方向通路２７…が開口し
ているため、滑剤収容室及び放射方向通路に充填されて
いる潤滑剤が回転起動時も連続回転時も速やかに軸受領
域に供給される。したがって、軸受面間に潤滑剤が常に
介在される。また、径小部２６による円周状空間Ｓに
も、潤滑剤収容室２５から放射方向通路２７を経て潤滑
剤が供給されるので、らせん溝のない軸受面にも潤滑剤
が行き渡る。さらにまた、スラスト軸受にも、潤滑剤収
容室の開口２５ａから潤滑剤が供給される。こうして、
すべての軸受面に確実に潤滑剤が供給される。
【００１２】上述のように、各軸受のらせん溝、軸受間
隙、およびこれに連通する潤滑剤収容室や各放射方向通
路、径小部による空間Ｓには、Ｇａ合金のような液体金
属潤滑剤が供給されている。そして、異物が潤滑剤に混
入しても、回転動作中、この異物は潤滑剤とともにらせ
ん溝により潤滑剤圧力が最大となる領域に効率的に集め
られ、そこに形成されている深溝からなる異物収容用凹
部２１，２４に入り、徐々に堆積する。この異物収容用
凹部は深さがらせん溝よりも十分深いので、容易には異
物で埋め尽くされることがない。したがって、らせん溝
の深さが浅くなったり、あるいは軸受間隙が狭まってし
まうおそれが少ない。また、らせん溝による潤滑剤掻き
込み作用、動圧発生作用はそのまま維持される。こうし
て、長時間の動圧すべり軸受の動作が保証される。さら
に、潤滑剤収容室及び放射方向通路から比較的清浄な潤
滑剤がらせん溝軸受に供給され、安定な軸受動作が継続
される。
隙、およびこれに連通する潤滑剤収容室や各放射方向通
路、径小部による空間Ｓには、Ｇａ合金のような液体金
属潤滑剤が供給されている。そして、異物が潤滑剤に混
入しても、回転動作中、この異物は潤滑剤とともにらせ
ん溝により潤滑剤圧力が最大となる領域に効率的に集め
られ、そこに形成されている深溝からなる異物収容用凹
部２１，２４に入り、徐々に堆積する。この異物収容用
凹部は深さがらせん溝よりも十分深いので、容易には異
物で埋め尽くされることがない。したがって、らせん溝
の深さが浅くなったり、あるいは軸受間隙が狭まってし
まうおそれが少ない。また、らせん溝による潤滑剤掻き
込み作用、動圧発生作用はそのまま維持される。こうし
て、長時間の動圧すべり軸受の動作が保証される。さら
に、潤滑剤収容室及び放射方向通路から比較的清浄な潤
滑剤がらせん溝軸受に供給され、安定な軸受動作が継続
される。
【００１３】図５に示す実施例は、ヘリンボン・パター
ンのらせん溝１９ａ，１９ｂと深溝からなる異物収容用
凹部２１，２１とを連続して形成したものである。これ
によって、異物はらせん溝内にほとんど堆積することな
くらせん溝に添って掻き集められて異物収容用凹部に捕
捉収容される。したがって、長時間にわたるヘリンボン
・パターンらせん溝による動圧軸受動作が一層安定とな
る。
ンのらせん溝１９ａ，１９ｂと深溝からなる異物収容用
凹部２１，２１とを連続して形成したものである。これ
によって、異物はらせん溝内にほとんど堆積することな
くらせん溝に添って掻き集められて異物収容用凹部に捕
捉収容される。したがって、長時間にわたるヘリンボン
・パターンらせん溝による動圧軸受動作が一層安定とな
る。
【００１４】図６に示す実施例は、スラスト軸受を構成
するサークル状ヘリンボン・パターンらせん溝２２ａ
と、深溝からなる異物収容用凹部２４とを連続して形成
したものである。これによれば、前述の実施例と同様
に、らせん溝内に異物が堆積することが抑制される。
するサークル状ヘリンボン・パターンらせん溝２２ａ
と、深溝からなる異物収容用凹部２４とを連続して形成
したものである。これによれば、前述の実施例と同様
に、らせん溝内に異物が堆積することが抑制される。
【００１５】図７に示す実施例は、異物収容用凹部２１
を回転体１２の軸受構成部材である内側円筒１２ａの内
周面に形成したものである。同様に、スラスト軸受にお
いても、異物収容用凹部をヘリンボン・パターンらせん
溝を形成した軸受構成部材と対向する軸受構成部材に形
成してもよい。これによれば、らせん溝の形成領域が狭
められない利点がある。
を回転体１２の軸受構成部材である内側円筒１２ａの内
周面に形成したものである。同様に、スラスト軸受にお
いても、異物収容用凹部をヘリンボン・パターンらせん
溝を形成した軸受構成部材と対向する軸受構成部材に形
成してもよい。これによれば、らせん溝の形成領域が狭
められない利点がある。
【００１６】図８に示す実施例は、深溝からなる異物収
容用凹部２１が幅の狭い部分２１ａと幅の広い部分２１
ｂとを交互に連続形成したものである。これによれば、
異物が幅の広い部分２１ｂに滞留しやすいので、異物捕
獲作用が高まる。
容用凹部２１が幅の狭い部分２１ａと幅の広い部分２１
ｂとを交互に連続形成したものである。これによれば、
異物が幅の広い部分２１ｂに滞留しやすいので、異物捕
獲作用が高まる。
【００１７】図９に示す実施例は、潤滑剤がらせん溝で
掻き集められて潤滑剤圧力が最大又はそれに近い値とな
る領域に、複数個の円形窪みからなる異物収容用凹部２
１を円周方向に所定間隔で形成したものである。異物は
これらの凹部２１，２１…に堆積する。
掻き集められて潤滑剤圧力が最大又はそれに近い値とな
る領域に、複数個の円形窪みからなる異物収容用凹部２
１を円周方向に所定間隔で形成したものである。異物は
これらの凹部２１，２１…に堆積する。
【００１８】図１０の（ａ）及び（ｂ）に示す実施例
は、ヘリンボン・パターンらせん溝１９ａの溝深さを、
潤滑剤がこのらせん溝で掻き集められて潤滑剤圧力が最
大となる溝折り返し部分（深さｄ1 ）を最も深く形成
し、両端部（深さｄ2 ）を浅く形成したものである。こ
れによれば、潤滑剤に混入した異物は深さの深い溝折り
返し部分（２４）に多く堆積する。なお、同図の（ａ）
は固定体１５の一部側面図であり、同（ｂ）は（ａ）の
ｂ−ｂにおける部分縦断面図である。
は、ヘリンボン・パターンらせん溝１９ａの溝深さを、
潤滑剤がこのらせん溝で掻き集められて潤滑剤圧力が最
大となる溝折り返し部分（深さｄ1 ）を最も深く形成
し、両端部（深さｄ2 ）を浅く形成したものである。こ
れによれば、潤滑剤に混入した異物は深さの深い溝折り
返し部分（２４）に多く堆積する。なお、同図の（ａ）
は固定体１５の一部側面図であり、同（ｂ）は（ａ）の
ｂ−ｂにおける部分縦断面図である。
【００１９】なお、以上の各実施例に示した異物収容用
凹部又はらせん溝自体を中央部で深く形成する構成を、
各軸受部分に適宜組合わせて構成することもできる。ま
た、回転中心軸上に回転体を設け、そのまわりに固定体
を同軸状に嵌合配置したものにも適用できる。さらにま
た、異物収容用凹部は、軸受を構成する固定体又は回転
体のいずれか一方、又は両方に形成してもよい。
凹部又はらせん溝自体を中央部で深く形成する構成を、
各軸受部分に適宜組合わせて構成することもできる。ま
た、回転中心軸上に回転体を設け、そのまわりに固定体
を同軸状に嵌合配置したものにも適用できる。さらにま
た、異物収容用凹部は、軸受を構成する固定体又は回転
体のいずれか一方、又は両方に形成してもよい。
【００２０】なおまた、液体金属潤滑剤は、Ｇａ、Ｇａ
−Ｉｎ合金、あるいはＧａ−Ｉｎ−Ｓｎ合金のようなＧ
ａを主体とするものが使用できるが、それに限らず、例
えばビスマス（Ｂｉ）を相対的に多く含むＢｉ−Ｉｎ−
Ｐｂ−Ｓｎ合金、あるいはＩｎを相対的に多く含むＩｎ
−Ｂｉ合金、又はＩｎ−Ｂｉ−Ｓｎ合金を使用し得る。
これらは融点が室温以上であるので、陽極ターゲットを
回転させる前に金属潤滑剤をその融点以上の温度に予熱
したうえで回転させることが望ましい。
−Ｉｎ合金、あるいはＧａ−Ｉｎ−Ｓｎ合金のようなＧ
ａを主体とするものが使用できるが、それに限らず、例
えばビスマス（Ｂｉ）を相対的に多く含むＢｉ−Ｉｎ−
Ｐｂ−Ｓｎ合金、あるいはＩｎを相対的に多く含むＩｎ
−Ｂｉ合金、又はＩｎ−Ｂｉ−Ｓｎ合金を使用し得る。
これらは融点が室温以上であるので、陽極ターゲットを
回転させる前に金属潤滑剤をその融点以上の温度に予熱
したうえで回転させることが望ましい。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したようにこの発明によれば、
異物がヘリンボン・パターンらせん溝で潤滑剤とともに
掻き集められて異物収容用凹部又はらせん溝の深溝部分
に捕捉され堆積する。したがって、らせん溝の主要部分
の深さが浅くなったり軸受間隙が狭まってしまうおそれ
が少ない。こうして、長期にわたり安定で必要十分な動
圧すべり軸受動作が維持される。
異物がヘリンボン・パターンらせん溝で潤滑剤とともに
掻き集められて異物収容用凹部又はらせん溝の深溝部分
に捕捉され堆積する。したがって、らせん溝の主要部分
の深さが浅くなったり軸受間隙が狭まってしまうおそれ
が少ない。こうして、長期にわたり安定で必要十分な動
圧すべり軸受動作が維持される。
【図１】この発明の一実施例を示す縦断面図。
【図２】図１のものの要部縦断面図。
【図３】図１の要部を示す上面図。
【図４】図１の要部を示す上面図。
【図５】この発明の他の実施例を示す要部縦断面図。
【図６】この発明のさらに他の実施例を示す要部上面
図。
図。
【図７】この発明のさらに他の実施例を示す要部縦断面
図。
図。
【図８】この発明のさらに他の実施例を示す要部側面
図。
図。
【図９】この発明のさらに他の実施例を示す要部側面
図。
図。
【図１０】この発明のさらに他の実施例を示す要部側面
図及び一部断面図。
図及び一部断面図。
１１…陽極ターゲット、 １２…回転体、 １５…固定体、 １８…真空容器、 １９ａ，１９ｂ，２２ａ，２２ｂ…らせん溝、 ２０ａ，２０ｂ…ラジアルすべり軸受、 ２３ａ，２３ｂ…スラストすべり軸受、 ２１，２４…異物収容用凹部。
Claims (4)
- 【請求項１】 陽極ターゲットが固定された回転体と、
この回転体に同軸状に嵌合され該回転体を回転可能に保
持する固定体と、前記回転体及び固定体の嵌合部に設け
られたヘリンボン・パターンのらせん溝を有する動圧す
べり軸受と、前記軸受に供給された少なくとも動作中は
液状である金属潤滑剤とを具備する回転陽極型Ｘ線管に
おいて、 上記動圧すべり軸受を構成する固定体又は回転体の少な
くとも一方の該軸受の回転動作中に上記ヘリンボン・パ
ターンのらせん溝で潤滑剤が掻き集められる領域に異物
収容用凹部が形成されていることを特徴とする回転陽極
型Ｘ線管。 - 【請求項２】 異物収容用凹部は、回転体又は固定体の
少なくとも一方に円周状に形成されている請求項１記載
の回転陽極型Ｘ線管。 - 【請求項３】 異物収容用凹部は、ヘリンボン・パター
ンのらせん溝に連続している請求項２記載の回転陽極型
Ｘ線管。 - 【請求項４】 陽極ターゲットが固定された回転体と、
この回転体に同軸状に嵌合され該回転体を回転可能に保
持する固定体と、前記回転体及び固定体の嵌合部に設け
られたヘリンボン・パターンのらせん溝を有する動圧す
べり軸受と、前記軸受に供給された少なくとも動作中は
液状である金属潤滑剤とを具備する回転陽極型Ｘ線管に
おいて、 上記動圧すべり軸受の回転動作中に上記ヘリンボン・パ
ターンのらせん溝で潤滑剤が掻き集められる領域の該ら
せん溝の深さが、他の領域の溝深さよりも深く形成され
ていることを特徴とする回転陽極型Ｘ線管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5086583A JP2989086B2 (ja) | 1993-04-14 | 1993-04-14 | 回転陽極型ｘ線管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5086583A JP2989086B2 (ja) | 1993-04-14 | 1993-04-14 | 回転陽極型ｘ線管 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06302288A true JPH06302288A (ja) | 1994-10-28 |
| JP2989086B2 JP2989086B2 (ja) | 1999-12-13 |
Family
ID=13891037
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5086583A Expired - Lifetime JP2989086B2 (ja) | 1993-04-14 | 1993-04-14 | 回転陽極型ｘ線管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2989086B2 (ja) |
-
1993
- 1993-04-14 JP JP5086583A patent/JP2989086B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2989086B2 (ja) | 1999-12-13 |
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