JPH06302296A - Space gas analyzer - Google Patents
Space gas analyzerInfo
- Publication number
- JPH06302296A JPH06302296A JP5113745A JP11374593A JPH06302296A JP H06302296 A JPH06302296 A JP H06302296A JP 5113745 A JP5113745 A JP 5113745A JP 11374593 A JP11374593 A JP 11374593A JP H06302296 A JPH06302296 A JP H06302296A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- artificial satellite
- satellite
- gas
- ion
- energy
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 人工衛星に搭載するための軌道上ガスのモニ
ター装置
【構成】 人工衛星の進行に伴い、人工衛星の開口を通
してはいってくるガス分子をイオン化し、加速すること
なく、反射型エネルギー分析器でエネルギー分析して分
子の質量を弁別する。
【作用】 人工衛星に入射する分子は全て同じ人工衛星
速度を持っているから、エネルギー分析により質量分析
ができる。
(57) [Abstract] [Purpose] Monitoring device for on-orbit gas to be mounted on an artificial satellite [Constitution] As the artificial satellite advances, gas molecules coming through the opening of the artificial satellite are ionized and do not accelerate. , The energy of the molecule is discriminated by a reflection type energy analyzer. [Function] Since all the molecules entering the artificial satellite have the same artificial satellite velocity, mass spectrometry can be performed by energy analysis.
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は地球を取り巻く人工衛星
の軌道空間に存在するガスを分析する装置に関する。人
工衛星は軌道上に存在するガス分子と衝突することによ
る表面材料のスパッタリングとか化学反応によって表面
材料が劣化され、これが人工衛星の寿命に関係するの
で、その対策をたてるため、その他の目的で、人工衛星
に搭載するのに適したガス分析手段が求められている。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for analyzing gas existing in the orbit space of artificial satellites surrounding the earth. Since the surface material of an artificial satellite is deteriorated by sputtering or chemical reaction of the surface material caused by collision with gas molecules existing in orbit, this is related to the life of the artificial satellite. Therefore, there is a demand for a gas analysis means suitable for mounting on an artificial satellite.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来は上述した目的のため、地上で用い
られる四重極型とか磁場型の質量分析計が用いられてい
た。しかし磁場型は重いので人工衛星に搭載するのに不
利である。四重極型は磁場型に比較すれば軽量化できる
が、電源回路が複雑であり、信頼性とか重量の点では決
して人工衛星搭載に適したものではない。このため、タ
ーゲットに軌道上ガスを衝突させて生じるスパッタリン
グ現象によってガス分析を行うとか、或はターゲットの
化学変化を検出し、或は光散乱を利用する等の方法が提
案されているが、人工衛星を回収しないと結果が分から
ないとか、或る程度の時間をかけないと測定値が出てこ
ないので、人工衛星打ち上げ直後から継続的に軌道上ガ
スを分析すると云うようなことはできない。また従来装
置では人工衛星自体から出るアウトガスと本来の空間ガ
スとを区別して測定することができなかった。2. Description of the Related Art Conventionally, a quadrupole type or magnetic field type mass spectrometer used on the ground has been used for the above-mentioned purpose. However, since the magnetic field type is heavy, it is disadvantageous to mount it on an artificial satellite. The quadrupole type can be made lighter than the magnetic field type, but the power supply circuit is complicated, and it is by no means suitable for mounting on a satellite in terms of reliability and weight. For this reason, there have been proposed methods such as gas analysis by a sputtering phenomenon caused by collision of a gas on the orbit with a target, detection of chemical change of the target, or use of light scattering. If the satellite is not collected, the result will not be known, or the measured value will not appear unless it takes a certain amount of time, so it cannot be said that the on-orbit gas is continuously analyzed immediately after the satellite is launched. Moreover, the conventional device cannot distinguish between the outgas emitted from the artificial satellite itself and the original space gas.
【0003】[0003]
【発明が解決しようとする課題】本発明は軽量、構造簡
単で即時に測定結果が得られる人工衛星搭載用のガス分
析手段を提供しようとするものである。SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a gas analysis means for an artificial satellite, which is light in weight, has a simple structure, and can immediately obtain measurement results.
【0004】[0004]
【課題を解決するための手段】人工衛星の進行方向に向
かって開口している中性分子イオン化部と、同イオン化
部の後方に配置された反射電界型エネルギー分析器と、
イオン検出器とよりなる装置を人工衛星に搭載する。[Means for Solving the Problems] A neutral molecular ionization section which is open toward the traveling direction of a satellite, and a reflection electric field type energy analyzer arranged behind the ionization section,
An artificial satellite will be equipped with a device consisting of an ion detector.
【0005】[0005]
【作用】 人工衛星の軌道空間に存在するガスは地球大
気圏の宇宙空間への延長部分と見なし得るもので地球に
対して静止したガス圏となっている。このため人工衛星
はこのガス圏内のガスに対して衛星速度で進行してお
り、人工衛星から見るとき、軌道上のガスは衛星速度に
加速された分子流として観測されることになる。このよ
うなガス分子がイオン化部に取り込まれるので、本発明
によればイオンの加速手段なしに一定速度に加速された
イオンが得られる。地上ではイオンビームは中性分子を
イオン化した後電界で加速するので、質量によってイオ
ン速度は異っており、このため電界だけでは質量分析が
できないが、本発明の場合、得られるイオンはイオン質
量に関せず全て同一であるので、イオンの持っている運
動のエネルギーはイオン質量に比例している。従ってエ
ネルギー分析器によってイオン質量を弁別することがで
きるのである。反射電界型エネルギー分析器は入射イオ
ンをエネルギーに応じて異る位置に収束させることでエ
ネルギー分析をするエネルギー分析器とは異り、入射イ
オンがビーム状である必要がないので、入射イオンの方
向即ち人工衛星の向きが多少変動してもイオン検出感度
が変化しない。[Operation] The gas existing in the orbital space of the artificial satellite can be regarded as an extension of the earth's atmosphere to outer space and is a gas sphere stationary with respect to the earth. Therefore, the artificial satellite is advancing at the satellite velocity with respect to the gas in this gas range, and when viewed from the artificial satellite, the gas in the orbit is observed as a molecular flow accelerated to the satellite velocity. Since such gas molecules are taken into the ionization section, according to the present invention, ions accelerated to a constant velocity can be obtained without an ion acceleration means. On the ground, since the ion beam accelerates in the electric field after ionizing neutral molecules, the ion velocity is different depending on the mass, and therefore the mass analysis cannot be performed only by the electric field, but in the case of the present invention, the obtained ion is the ion mass. Since they are all the same regardless of, the kinetic energy of the ion is proportional to the ion mass. Therefore, the ion mass can be discriminated by the energy analyzer. Unlike the energy analyzer that performs energy analysis by focusing incident ions at different positions according to energy, the reflected electric field type energy analyzer does not require the incident ions to be in the shape of a beam, so the direction of the incident ions That is, the ion detection sensitivity does not change even if the orientation of the artificial satellite changes slightly.
【0006】[0006]
【実施例】図1に本発明の一実施例を示す。人工衛星は
図で左方に進行しており、図の装置がその人工衛星に搭
載されている。図で鎖線A−Aから下側は回路部分で、
回路基板上に構成され、他の電気的装置と共に衛星の本
体B内に収納されている。鎖線A−Aから上側が本発明
装置の主要部で、これは衛星の本体Bの表面に露出して
取付けられ、この部分を囲む器壁のような物は不要であ
るが、製作上の便宜から、図のような前端が開放された
外筒W内に各部を取付け、この外筒を人工衛星本体の外
面に筒軸を人工衛星の進行方向に向けて取り付ける。図
の装置全体を前方を開放して人工衛星内に取付けてもよ
いことは云うまでもない。外筒は人工衛星本体Bと電気
的に導通しており、図の回路で、外筒に接続してある個
所は回路上の接地個所である。人工衛星は図で左方に進
行しているので、宇宙空間のガス分子は図で左方から上
記外筒内に飛び込んでくる。FIG. 1 shows an embodiment of the present invention. The satellite is moving to the left in the figure, and the device shown in the figure is installed on the satellite. In the figure, the lower part from the chain line AA is the circuit part,
It is constructed on a circuit board and is housed in the body B of the satellite along with other electrical devices. The part above the chain line A-A is the main part of the device of the present invention, which is exposed and attached to the surface of the main body B of the satellite, and no object such as a vessel wall surrounding this part is necessary, but it is convenient for manufacturing. From the above, each part is mounted in the outer cylinder W whose front end is open as shown in the figure, and the outer cylinder is mounted on the outer surface of the artificial satellite body with the cylinder axis oriented in the advancing direction of the artificial satellite. It goes without saying that the entire apparatus shown in the figure may be installed in the artificial satellite with the front open. The outer cylinder is electrically connected to the artificial satellite body B, and in the circuit shown in the figure, the portion connected to the outer cylinder is the grounded portion on the circuit. Since the artificial satellite is traveling to the left in the figure, gas molecules in outer space jump into the outer cylinder from the left in the figure.
【0007】図で1は中性分子イオン化部で、左方から
飛び込んできた宇宙空間ガスの分子をイオン化する。イ
オン化部は電子衝撃型である。イオン化されたガス分子
は入射時のまゝの速度を保持してイオン化部を通過す
る。イオン化部の右側、人工衛星の進行方向に対して後
方にイオンエネルギー分析部2が配置されている。イオ
ンエネルギー分析部2はグリッド電極21とイオン検出
器22とよりなっている。イオン検出器はイオンが入射
するイオン捕捉電極板で、入射したイオンの電荷を吸収
すると共に、入射イオンによって電極板から放出される
2字電子も回収し得るように周壁を設けたカップ状にし
てある。つまりイオン検出器22はファラデーカップで
ある。イオン検出器22はイオンが一個入射すると一個
のパルスを出力するから、このパルスをアンプ3を介し
てデータ処理装置4に送り、一定時間計数する。In the figure, reference numeral 1 is a neutral molecule ionization section, which ionizes the molecules of the space gas that have jumped in from the left. The ionization part is an electron impact type. The ionized gas molecules pass through the ionization section while maintaining the original velocity at the time of incidence. The ion energy analysis unit 2 is arranged on the right side of the ionization unit and behind the traveling direction of the artificial satellite. The ion energy analysis unit 2 includes a grid electrode 21 and an ion detector 22. The ion detector is an ion trapping electrode plate on which ions are incident, and is formed into a cup shape with a peripheral wall so as to absorb the electric charge of the incident ions and also to collect the two-letter electrons emitted from the electrode plates by the incident ions. is there. That is, the ion detector 22 is a Faraday cup. Since the ion detector 22 outputs one pulse when one ion is incident, this pulse is sent to the data processing device 4 via the amplifier 3 and counted for a certain period of time.
【0008】グリッド21は衛星本体に対して正電位に
してあり、この正電位は可変であって、データ処理装置
4によって制御されている。グリッド21は正電位であ
るので、その電位に応じて左方から来るイオンのうち運
動のエネルギーが或るレベル以下のものはグリッド電極
21で反射されてグリッド21を通過できず、そのレベ
ル以上のエネルギーのイオンだけがグリッド21を通過
してイオン検出器22に入射できる。つまりグリッド2
1はイオンのエネルギーに関してハイパスフィルターと
なっており、グリッド21の印加電圧を変えることで、
透過イオンのエネルギーを変えることができる。The grid 21 has a positive potential with respect to the satellite body, and this positive potential is variable and controlled by the data processing device 4. Since the grid 21 has a positive potential, ions having a kinetic energy lower than a certain level among the ions coming from the left side according to the potential cannot be passed through the grid 21 because they are reflected by the grid electrode 21. Only energetic ions can pass through the grid 21 and enter the ion detector 22. That is, grid 2
1 is a high-pass filter for the energy of ions, and by changing the voltage applied to the grid 21,
The energy of the transmitted ions can be changed.
【0009】イオン化部1は周面と入射面と出射面とが
共にグリッドで形成されているイオン化チャンバー11
と、このイオン化チャンバーを囲む電子リペラ電極12
と、リペラ電極と、イオン化チャンバーとの間でイオン
化チャンバーの周囲に配置された電子放射源のフィラメ
ント13とよりなっている。リペラ電極12の前後面は
グリッドになっている。イオン化チャンバー11は衛星
本体Bに接地されている。14はフィラメント電源であ
り、15はフィラメント13をイオン化チャンバー11
より低電位に保つための電圧源で、リペラ電極にはこれ
ら両電源の直列電圧が印加されているので、フィラメン
ト13より更に低電位になっている。このような構成で
フィラメント11から放出された電子は全てイオン化チ
ャンバーに向かって加速され、左方からイオン化チャン
バーに入射したガス分子に衝突してこれをイオン化させ
る。The ionization section 1 has an ionization chamber 11 in which a peripheral surface, an entrance surface, and an exit surface are all formed by a grid.
And an electron repeller electrode 12 surrounding this ionization chamber
And a repeller electrode and an electron emission source filament 13 disposed around the ionization chamber between the repeller electrode and the ionization chamber. The front and rear surfaces of the repeller electrode 12 form a grid. The ionization chamber 11 is grounded to the satellite body B. Reference numeral 14 is a filament power source, and 15 is a filament 13 which is connected to the ionization chamber 11
It is a voltage source for maintaining a lower potential, and since the series voltage of these two power supplies is applied to the repeller electrode, the potential is further lower than that of the filament 13. With such a configuration, all the electrons emitted from the filament 11 are accelerated toward the ionization chamber and collide with gas molecules that have entered the ionization chamber from the left side to ionize them.
【0010】人工衛星では図のガス分析装置の中心線X
を衛星の進行方向に正確に向けることは困難である。上
述実施例では中性分子の入射面の開口径Diからイオン
検出器の開口径Ddまで分子或はイオンの通過空間の断
面積が同じでかつ中心線X方向の装置長さに対して比較
的大きい、ので分子の入射方向が中心線Xに対して多少
傾いてても、ガス分析が可能である。In the artificial satellite, the center line X of the gas analyzer shown in the figure
It is difficult to accurately orient the satellite in the direction of travel of the satellite. In the above-described embodiment, the cross-sectional area of the passage space for molecules or ions is the same from the opening diameter Di of the incident surface of neutral molecules to the opening diameter Dd of the ion detector, and is relatively large with respect to the apparatus length in the centerline X direction. Since it is large, gas analysis is possible even if the incident direction of molecules is slightly inclined with respect to the center line X.
【0011】図2は本発明の他の実施例を示す。イオン
化チャンバー11のイオン出射面が同チャンバーの中心
を中心とする球面で、リペラ電極12の後面もイオン化
チャンバー11のイオン出射面と同心の球面であり、反
射グリッド電極21も同様にイオン化チャンバーのイオ
ン出射面と同心の球面にしてある。イオン検出器は板状
電極22とその前面に張設され負電位にしてあるグリッ
ド23よりなっている。この構造では図1の構造より更
にガス分析可能な方向範囲が広くなっている。FIG. 2 shows another embodiment of the present invention. The ion emission surface of the ionization chamber 11 is a spherical surface centered on the center of the chamber, the rear surface of the repeller electrode 12 is also a spherical surface concentric with the ion emission surface of the ionization chamber 11, and the reflection grid electrode 21 is also the ion of the ionization chamber. It is a spherical surface concentric with the emitting surface. The ion detector is composed of a plate-shaped electrode 22 and a grid 23 stretched on the front surface thereof and having a negative potential. With this structure, the range of directions in which gas analysis is possible is wider than that of the structure shown in FIG.
【0012】図3は本発明の更に他の実施例で、イオン
検出器のファラデーカップ22の中心を中心に装置断面
積を前方に向かって球面状に拡大させた形にしてガス分
析可能な方向範囲を拡大したものである。FIG. 3 shows still another embodiment of the present invention, in which the gas cross-sectional direction can be analyzed by expanding the cross-sectional area of the device toward the front in a spherical shape centering on the center of the Faraday cup 22 of the ion detector. It is an expanded range.
【0013】今高度55OKmの軌道を考えると、この
場合人工衛星に対する軌道空間ガスの運動エネルギーは
4Heが1.2eV,14Nが4.2eV,16Oが4.8
eV40Arが12.0eVでN2 ,O2 は夫々N,Oの
2倍の8.4,9.6eVである。従ってグリッド電極
21の電位を12V以上の所から下げて行くと、12V
付近で検出されるのはArであり、9.6V付近になる
とArとO2 を合わせたものが検出され、以下段々に色
々なイオンが混ざったものが検出されるから、引算演算
で各イオンを弁別計数することができる。空間ガス分子
は熱運動をしているが、そのエネルギーはは550Km
付近では大体0.1eV程度であるから、上述した各分
子は充分弁別可能である。Considering the orbit at an altitude of 55 OKm, in this case, the kinetic energy of the orbital space gas with respect to the artificial satellite is
4 He is 1.2 eV, 14 N is 4.2 eV, and 16 O is 4.8.
When eV 40 Ar is 12.0 eV, N 2 and O 2 are 8.4 and 9.6 eV, which are twice the N and O, respectively. Therefore, if the potential of the grid electrode 21 is lowered from 12 V or more, it becomes 12 V.
It is Ar that is detected in the vicinity, and when around 9.6 V, a combination of Ar and O 2 is detected, and a mixture of various ions is detected below. Ions can be discriminated and counted. Space gas molecules are in thermal motion, but their energy is 550 km
Since it is about 0.1 eV in the vicinity, each molecule described above can be sufficiently discriminated.
【0014】[0014]
【発明の効果】本発明装置はイオン加速手段が不要であ
り、磁場型とか四重極型の質量分析手段が不要であるか
ら構造簡単,軽量であり、電気的構成も簡単にできて信
頼性が高く、人工衛星への搭載に大へん適したものであ
る。また、本件出願人によって、人工衛星に飛び込んで
くる宇宙空間ガスをイオン化し、スリットでビーム状に
して偏向手段で偏向させる構造が提案されているが、本
発明ではスリットを用いないから、人工衛星の向きが軌
道接線方向から相当外れていても(30°程度)測定可
能である。また衛星自体から出るアウトガスは熱運動の
エネルギーしか持っていないので、宇宙空間ガスだけを
弁別検出できる。The apparatus of the present invention does not require an ion accelerating means, and does not require a magnetic field type or quadrupole type mass analyzing means, so that the apparatus has a simple structure and a light weight, and an electrical configuration can be made simple and reliable. It is highly suitable for mounting on satellites. In addition, the applicant of the present application has proposed a structure in which the space gas that jumps into the artificial satellite is ionized, and is made into a beam shape with a slit to be deflected by a deflecting means. However, in the present invention, the slit is not used. It is possible to measure even if the direction of is considerably deviated from the tangential direction of the orbit (about 30 °). In addition, since the outgas emitted from the satellite itself has only the energy of thermal kinetic energy, only the space gas can be discriminated and detected.
本発明の一実施例装置の側面図 A side view of an apparatus according to an embodiment of the present invention
【図2】他の実施例の要部側面図FIG. 2 is a side view of a main part of another embodiment.
【図3】更に他の実施例の要部側面図FIG. 3 is a side view of a main part of still another embodiment.
B 人工衛星本体 W 外筒 1 中性分子イオン化部 2 イオンエネルギー分析部 11 イオン化チャンバー 12 リペラ電極 13 フィラメント 21 グリッド電極 22 イオン検出器 B Satellite main body W Outer cylinder 1 Neutral molecular ionization part 2 Ion energy analysis part 11 Ionization chamber 12 Repeller electrode 13 Filament 21 Grid electrode 22 Ion detector
─────────────────────────────────────────────────────
─────────────────────────────────────────────────── ───
【手続補正書】[Procedure amendment]
【提出日】平成5年10月19日[Submission date] October 19, 1993
【手続補正1】[Procedure Amendment 1]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】図面の簡単な説明[Name of item to be corrected] Brief description of the drawing
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]
【図1】本発明の一実施例装置の側面図FIG. 1 is a side view of an apparatus according to an embodiment of the present invention.
【図2】他の実施例の要部側面図FIG. 2 is a side view of a main part of another embodiment.
【図3】更に他の実施例の要部側面図FIG. 3 is a side view of a main part of still another embodiment.
【符号の説明】 B 人工衛星本体 W 外筒 1 中性分子イオン化部 2 イオンエネルギー分析部 11 イオン化チャンバー 12 リペラ電極 13 フィラメント 21 グリッド電極 22 イオン検出器[Explanation of Codes] B Satellite main body W Outer tube 1 Neutral molecule ionization part 2 Ion energy analysis part 11 Ionization chamber 12 Repeller electrode 13 Filament 21 Grid electrode 22 Ion detector
Claims (1)
向に向って開口している中性分子イオン化部と、同イオ
ン化部の後方に配置された反射電界型エネルギー分析器
とイオン検出器とよりなる宇宙空間ガス分析装置1. A neutral molecular ionization section mounted on an artificial satellite and opening toward the advancing direction of the artificial satellite, and a reflection electric field energy analyzer and an ion detector arranged behind the ionization section. Space gas analyzer
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5113745A JPH06302296A (en) | 1993-04-16 | 1993-04-16 | Space gas analyzer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5113745A JPH06302296A (en) | 1993-04-16 | 1993-04-16 | Space gas analyzer |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06302296A true JPH06302296A (en) | 1994-10-28 |
Family
ID=14620052
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5113745A Pending JPH06302296A (en) | 1993-04-16 | 1993-04-16 | Space gas analyzer |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06302296A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9679754B2 (en) | 2013-07-19 | 2017-06-13 | Smiths Detection Inc. | Mass spectrometer inlet with reduced average flow |
| US9842728B2 (en) | 2013-07-19 | 2017-12-12 | Smiths Detection | Ion transfer tube with intermittent inlet |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60240042A (en) * | 1984-05-14 | 1985-11-28 | Fujitsu Ltd | Energy analyzer |
-
1993
- 1993-04-16 JP JP5113745A patent/JPH06302296A/en active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60240042A (en) * | 1984-05-14 | 1985-11-28 | Fujitsu Ltd | Energy analyzer |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9679754B2 (en) | 2013-07-19 | 2017-06-13 | Smiths Detection Inc. | Mass spectrometer inlet with reduced average flow |
| US9842728B2 (en) | 2013-07-19 | 2017-12-12 | Smiths Detection | Ion transfer tube with intermittent inlet |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6040574A (en) | Atmospheric-particle analyzer | |
| US5128543A (en) | Particle analyzer apparatus and method | |
| US6974957B2 (en) | Ionization device for aerosol mass spectrometer and method of ionization | |
| US6781121B1 (en) | Time-of-flight mass spectrometer | |
| EP0237259A2 (en) | Mass spectrometer | |
| US7071466B2 (en) | Mass spectrometry system for continuous control of environment | |
| KR100793219B1 (en) | Chemical sensor system | |
| GB2306766A (en) | Mass spectrometer | |
| US20050189484A1 (en) | Aerosol mass spectrometer for operation in a high-duty mode and method of mass-spectrometry | |
| JPH10188878A (en) | Ion detector | |
| US4943718A (en) | Mass spectrometer | |
| GB1533526A (en) | Electro-static charged particle analyzers | |
| JPH06302296A (en) | Space gas analyzer | |
| JP4606270B2 (en) | Time-of-flight measurement device for sample ions, time-of-flight mass spectrometer, time-of-flight mass spectrometry method | |
| JPH0830695B2 (en) | Liquid chromatograph / mass spectrometer | |
| US5256874A (en) | Gridded electron reversal ionizer | |
| JP3405919B2 (en) | Atmospheric pressure ionization mass spectrometer | |
| US5969354A (en) | Electron analyzer with integrated optics | |
| JP2757460B2 (en) | Time-of-flight mass spectrometer | |
| RU2059982C1 (en) | Tracing mass-spectrometer and method for mass- spectral analysis of materials | |
| US6818887B2 (en) | Reflector for a time-of-flight mass spectrometer | |
| JP5924882B2 (en) | Analytical apparatus and method using secondary ion using atomic probe | |
| JPH09190799A (en) | Energy analyzer | |
| JP2002189018A (en) | Detection device for chemical substance | |
| JPH05325885A (en) | Mass spectrometer |