JPH06307967A - ガス漏洩検知装置 - Google Patents
ガス漏洩検知装置Info
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- JPH06307967A JPH06307967A JP11894493A JP11894493A JPH06307967A JP H06307967 A JPH06307967 A JP H06307967A JP 11894493 A JP11894493 A JP 11894493A JP 11894493 A JP11894493 A JP 11894493A JP H06307967 A JPH06307967 A JP H06307967A
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- gas
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Landscapes
- Pipeline Systems (AREA)
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 設置コストが低く保守が容易で、検知点間の
感度と精度のばらつきの少ないガス漏洩検知装置を提供
する。 【構成】 ガス漏洩を検知すべき複数の検知点ａ〜ｅか
ら順次にガスを吸引する多点吸引器４と、この多点吸引
器４から供給されるサンプリングガスの濃度を測定し濃
度に応じた電気信号を発生するガス検知器３と、この電
気信号を受けてその大きさが所定値以上のときその検知
点を表示し警報を発生する警報器１とを備えた構成とす
る。
感度と精度のばらつきの少ないガス漏洩検知装置を提供
する。 【構成】 ガス漏洩を検知すべき複数の検知点ａ〜ｅか
ら順次にガスを吸引する多点吸引器４と、この多点吸引
器４から供給されるサンプリングガスの濃度を測定し濃
度に応じた電気信号を発生するガス検知器３と、この電
気信号を受けてその大きさが所定値以上のときその検知
点を表示し警報を発生する警報器１とを備えた構成とす
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造工場のシラ
ンガス配管やふっ素ガス配管などに於ける複数箇所のガ
ス漏洩を検知する装置に関する。
ンガス配管やふっ素ガス配管などに於ける複数箇所のガ
ス漏洩を検知する装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般的に、ガス漏洩検知装置において扱
われるガスは、毒性を有したり、許容レベル以上漏洩し
た場合、空気や他のガスと反応して発火・爆発するもの
である場合が多い。そのため、施工上２重配管などで密
閉部分の出来た箇所や、ガス漏洩時ガス滞留の可能性の
ある箇所にガス検知器を設置している。通常このガス検
知器は滞留箇所から少量のガスを吸引し、漏洩の有無を
検知して電気信号に変換している。
われるガスは、毒性を有したり、許容レベル以上漏洩し
た場合、空気や他のガスと反応して発火・爆発するもの
である場合が多い。そのため、施工上２重配管などで密
閉部分の出来た箇所や、ガス漏洩時ガス滞留の可能性の
ある箇所にガス検知器を設置している。通常このガス検
知器は滞留箇所から少量のガスを吸引し、漏洩の有無を
検知して電気信号に変換している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来のガス漏洩検知装
置においては、ガスの漏洩滞留の可能性のある箇所が多
数ある場合、そのすべての箇所にガス検知器を設置する
必要があった。したがってガス漏洩検知装置におけるガ
ス検知器の数が多くなり、そのすべてを同一の感度と精
度に保つことは非常にむずかしく、頻繁に保守点検や動
作・機能試験を行う必要があった。また、設置コストも
高かった。
置においては、ガスの漏洩滞留の可能性のある箇所が多
数ある場合、そのすべての箇所にガス検知器を設置する
必要があった。したがってガス漏洩検知装置におけるガ
ス検知器の数が多くなり、そのすべてを同一の感度と精
度に保つことは非常にむずかしく、頻繁に保守点検や動
作・機能試験を行う必要があった。また、設置コストも
高かった。
【０００４】そこで本発明は、設置コストが低く保守が
容易で、検知点間の感度と精度のばらつきの少ないガス
漏洩検知装置を提供することを目的とする。
容易で、検知点間の感度と精度のばらつきの少ないガス
漏洩検知装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明のガス漏洩検知装
置は、ガス漏洩を検知すべき複数の検知点から順次にガ
スを吸引する多点吸引器と、この多点吸引器から供給さ
れるサンプリングガスの濃度を測定し濃度に応じた電気
信号を発生するガス検知器と、この電気信号を受けてそ
の大きさが所定値以上のときその検知点を表示し警報を
発生する警報器とを備えた構成とする。
置は、ガス漏洩を検知すべき複数の検知点から順次にガ
スを吸引する多点吸引器と、この多点吸引器から供給さ
れるサンプリングガスの濃度を測定し濃度に応じた電気
信号を発生するガス検知器と、この電気信号を受けてそ
の大きさが所定値以上のときその検知点を表示し警報を
発生する警報器とを備えた構成とする。
【０００６】
【作用】本発明のガス漏洩検知装置においては、複数の
検知点にたいして１台のガス検知器を設けるので、設置
スペースと設置コストを低減することができる。そし
て、多数のガス検知器を同一感度・同一精度に調整する
という必要がない。また、異常のある検知点は警報器の
表示によって知ることができる。
検知点にたいして１台のガス検知器を設けるので、設置
スペースと設置コストを低減することができる。そし
て、多数のガス検知器を同一感度・同一精度に調整する
という必要がない。また、異常のある検知点は警報器の
表示によって知ることができる。
【０００７】
【実施例】以下に図１を参照して本発明の一実施例を説
明する。
明する。
【０００８】ａ〜ｅおよびｆ〜ｊは、ガス漏洩を監視す
べき配管上に設けた検知点である。１は漏洩箇所を表示
し警報を発する表示警報盤、２は接点付きのガス指示計
である。３はガス検知器であり、漏洩ガスの濃度を測定
する。４は所定の時間間隔で検知点ａ〜ｅ，ｆ〜ｊを切
り替える多点吸引器であり、シーケンサ５と吸引ポンプ
６および複数のコントロールバルブ７からなる。
べき配管上に設けた検知点である。１は漏洩箇所を表示
し警報を発する表示警報盤、２は接点付きのガス指示計
である。３はガス検知器であり、漏洩ガスの濃度を測定
する。４は所定の時間間隔で検知点ａ〜ｅ，ｆ〜ｊを切
り替える多点吸引器であり、シーケンサ５と吸引ポンプ
６および複数のコントロールバルブ７からなる。
【０００９】このように構成したガス漏洩検知装置にお
いて、多点吸引器４はシーケンサ５によってコントロー
ルバルブ７を順次開閉し、検知点ａ〜ｅ，ｆ〜ｊのガス
を順次吸引してサンプリングする。検知点ａ〜ｅ，ｆ〜
ｊにおいてガスの漏洩があれば、ガス検知器３は、サン
プリングされたガスの濃度を電気信号に変換し、ガス指
示計２へ信号を送る。この信号の大きさが所定値以上の
ときには、表示警報盤１にその検知点の記号を表示し警
報を発する。そして、シーケンサ５にホールド信号を送
りバルブ７の切り替えをホールドし、そのバルブを開い
たままにして、その検知点に滞留した漏洩ガスを吸引ポ
ンプ６で排出する。次ぎに漏洩箇所を処置した後、正常
状態にリセットする。
いて、多点吸引器４はシーケンサ５によってコントロー
ルバルブ７を順次開閉し、検知点ａ〜ｅ，ｆ〜ｊのガス
を順次吸引してサンプリングする。検知点ａ〜ｅ，ｆ〜
ｊにおいてガスの漏洩があれば、ガス検知器３は、サン
プリングされたガスの濃度を電気信号に変換し、ガス指
示計２へ信号を送る。この信号の大きさが所定値以上の
ときには、表示警報盤１にその検知点の記号を表示し警
報を発する。そして、シーケンサ５にホールド信号を送
りバルブ７の切り替えをホールドし、そのバルブを開い
たままにして、その検知点に滞留した漏洩ガスを吸引ポ
ンプ６で排出する。次ぎに漏洩箇所を処置した後、正常
状態にリセットする。
【００１０】このように、本実施例においては複数の検
知点からのサンプリングガスを１台のガス検知器で測定
するので、ガス漏洩を検知すべき検知点が多数ある場合
にも少数のガス検知器ですみ、設置コストをさげ保守を
容易にし検知点間の感度と精度のばらつきを低減するこ
とができる。
知点からのサンプリングガスを１台のガス検知器で測定
するので、ガス漏洩を検知すべき検知点が多数ある場合
にも少数のガス検知器ですみ、設置コストをさげ保守を
容易にし検知点間の感度と精度のばらつきを低減するこ
とができる。
【００１１】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、ガス漏洩
を検知すべき検知点が多数ある場合にも少数のガス検知
器ですみ、設置コストをさげ保守を容易にし検知点間の
感度と精度のばらつきを低減することができる。
を検知すべき検知点が多数ある場合にも少数のガス検知
器ですみ、設置コストをさげ保守を容易にし検知点間の
感度と精度のばらつきを低減することができる。
【図１】本発明の実施例のガス漏洩検知装置のブロック
図
図
１・・・表示警報盤 ２・・・ガス指
示計 ３・・・ガス検知器 ４・・・多点吸
引器 ５・・・シーケンサ ６・・・吸引ポ
ンプ ６・・・吸引ポンプ ７・・・コント
ロールバルブ ａ〜ｊ・・・検知点
示計 ３・・・ガス検知器 ４・・・多点吸
引器 ５・・・シーケンサ ６・・・吸引ポ
ンプ ６・・・吸引ポンプ ７・・・コント
ロールバルブ ａ〜ｊ・・・検知点
Claims (2)
- 【請求項１】 ガス漏洩を検知すべき複数の検知点から
順次にガスを吸引する多点吸引器と、この多点吸引器か
ら供給されるサンプリングガスの濃度を測定し濃度に応
じた電気信号を発生するガス検知器と、この電気信号を
受けてその大きさが所定値以上のときその検知点を表示
し警報を発生する警報器とを備えたことを特徴とするガ
ス漏洩検知装置。 - 【請求項２】 多点吸引器は、複数の検知点に接続され
た複数のバルブと、これらのバルブを一括して接続され
た吸引ポンプと、前記バルブを所定の時間間隔で順次開
閉するシーケンサとを備えたことを特徴とする請求項１
記載のガス漏洩検知装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11894493A JPH06307967A (ja) | 1993-04-22 | 1993-04-22 | ガス漏洩検知装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11894493A JPH06307967A (ja) | 1993-04-22 | 1993-04-22 | ガス漏洩検知装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06307967A true JPH06307967A (ja) | 1994-11-04 |
Family
ID=14749110
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11894493A Pending JPH06307967A (ja) | 1993-04-22 | 1993-04-22 | ガス漏洩検知装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06307967A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001063250A1 (en) * | 2000-02-24 | 2001-08-30 | Tokyo Electron Limited | Method and apparatus for leak detecting, and apparatus for semiconductor manufacture |
| WO2004079350A1 (ja) | 2003-03-07 | 2004-09-16 | Shikoku Research Institute Incorporated | ガス漏洩監視方法、及びそのシステム |
| WO2005015183A1 (ja) | 2003-08-08 | 2005-02-17 | Shikoku Research Institute Incorporated | 水素ガス及び水素火炎監視方法及び装置 |
-
1993
- 1993-04-22 JP JP11894493A patent/JPH06307967A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001063250A1 (en) * | 2000-02-24 | 2001-08-30 | Tokyo Electron Limited | Method and apparatus for leak detecting, and apparatus for semiconductor manufacture |
| US6900439B2 (en) | 2000-02-24 | 2005-05-31 | Tokyo Electron Limited | Gas leakage detection system, gas leakage detection method and semiconductor manufacturing apparatus |
| KR100807441B1 (ko) * | 2000-02-24 | 2008-02-25 | 동경 엘렉트론 주식회사 | 가스 누설 검지 시스템, 가스 누설 검지 방법 및 반도체제조 장치 |
| JP4804692B2 (ja) * | 2000-02-24 | 2011-11-02 | 東京エレクトロン株式会社 | ガス漏洩検知システム、ガス漏洩検知方法及び半導体製造装置 |
| WO2004079350A1 (ja) | 2003-03-07 | 2004-09-16 | Shikoku Research Institute Incorporated | ガス漏洩監視方法、及びそのシステム |
| WO2005015183A1 (ja) | 2003-08-08 | 2005-02-17 | Shikoku Research Institute Incorporated | 水素ガス及び水素火炎監視方法及び装置 |
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