JPH06310280A - 有機発光素子用電極及びこれを用いた有機発光素子、並びに有機発光素子の製造方法 - Google Patents
有機発光素子用電極及びこれを用いた有機発光素子、並びに有機発光素子の製造方法Info
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- JPH06310280A JPH06310280A JP5092654A JP9265493A JPH06310280A JP H06310280 A JPH06310280 A JP H06310280A JP 5092654 A JP5092654 A JP 5092654A JP 9265493 A JP9265493 A JP 9265493A JP H06310280 A JPH06310280 A JP H06310280A
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- H10K2102/302—Details of OLEDs of OLED structures
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- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 負電極の材料として酸化されにくく水分にも
侵されない材料であって安定で、しかも仕事関数が小さ
くて電子注入電極として最適な金属ホウ化物を使用した
場合でも、負電極を形成する際に発光層にダメージを与
えることがなく、有機発光素子の作成が容易であり、し
かも有機発光素子を作成する際に絶縁性基板を加熱した
場合でも、発光層を熱的に損傷することがない有機発光
素子用電極及び有機発光素子、並びに有機発光素子の製
造方法を提供することを目的とする。 【構成】 この発明に係る有機発光素子１用電極等は、
基本的に、基板上に金属ホウ化物からなる電極層を形成
するように構成したものである。
侵されない材料であって安定で、しかも仕事関数が小さ
くて電子注入電極として最適な金属ホウ化物を使用した
場合でも、負電極を形成する際に発光層にダメージを与
えることがなく、有機発光素子の作成が容易であり、し
かも有機発光素子を作成する際に絶縁性基板を加熱した
場合でも、発光層を熱的に損傷することがない有機発光
素子用電極及び有機発光素子、並びに有機発光素子の製
造方法を提供することを目的とする。 【構成】 この発明に係る有機発光素子１用電極等は、
基本的に、基板上に金属ホウ化物からなる電極層を形成
するように構成したものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、有機発光素子用電極
及びこれを用いた有機発光素子、並びに有機発光素子の
製造方法に関するものである。
及びこれを用いた有機発光素子、並びに有機発光素子の
製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、上記有機発光素子は、低い印加電
圧で駆動することができ、広い利用分野が期待されるた
め、積極的に研究が行われてきている。この有機発光素
子１００は、図５に示すように、ガラス基板等からなる
透明な絶縁性基板１０１と、この絶縁性基板１０１上に
積層されたＩＴＯ等からなる透明な正電極１０２と、こ
の正電極１０２上に積層された有機材料からなる発光層
１０３と、この発光層１０３上に積層された負電極１０
４とから基本的に構成されており、発光層１０３に正電
極１０２からホールを注入するとともに負電極１０４か
ら電子を注入し、これらのホールと電子を発光層１０３
内で再結合させることにより、透明な絶縁性基板１０１
側から外部に発光するものである。
圧で駆動することができ、広い利用分野が期待されるた
め、積極的に研究が行われてきている。この有機発光素
子１００は、図５に示すように、ガラス基板等からなる
透明な絶縁性基板１０１と、この絶縁性基板１０１上に
積層されたＩＴＯ等からなる透明な正電極１０２と、こ
の正電極１０２上に積層された有機材料からなる発光層
１０３と、この発光層１０３上に積層された負電極１０
４とから基本的に構成されており、発光層１０３に正電
極１０２からホールを注入するとともに負電極１０４か
ら電子を注入し、これらのホールと電子を発光層１０３
内で再結合させることにより、透明な絶縁性基板１０１
側から外部に発光するものである。
【０００３】また、上記有機発光素子１０１は、負電極
の材料として仕事関数が小さく電子注入効率の高い材料
を用いており、この負電極の材料としては、Ｍｇなどの
アルカリ土類金属やその合金であるＭｇＡｇなどの金属
を用いている。
の材料として仕事関数が小さく電子注入効率の高い材料
を用いており、この負電極の材料としては、Ｍｇなどの
アルカリ土類金属やその合金であるＭｇＡｇなどの金属
を用いている。
【０００４】ところで、上記有機発光素子においては、
電子移動性の発光層と正電極の間に正孔伝導層を設け、
機能分離して積層化することにより、高効率の素子を実
現できることが、例えばＡpplied Ｐhysics Ｌetters
51(1987)913などで報告されている。
電子移動性の発光層と正電極の間に正孔伝導層を設け、
機能分離して積層化することにより、高効率の素子を実
現できることが、例えばＡpplied Ｐhysics Ｌetters
51(1987)913などで報告されている。
【０００５】また、応用物理Ｖol.61,Ｎo.10(1992)1044
には、発光層の機能を分離するのではなく、正孔輸送性
材料中に発光材料と電子輸送性材料を混合して正電極と
負電極で挟んだいわゆる単層の発光層からなる有機発光
素子においても、高い発光効率を実現できることが報告
されている。
には、発光層の機能を分離するのではなく、正孔輸送性
材料中に発光材料と電子輸送性材料を混合して正電極と
負電極で挟んだいわゆる単層の発光層からなる有機発光
素子においても、高い発光効率を実現できることが報告
されている。
【０００６】しかし、上記有機発光素子の場合には、素
子の表面に露出する負電極としてＭｇなどのアルカリ土
類金属やその合金であるＭｇＡｇなどの金属を用いてい
るが、これらのアルカリ土類金属やその合金は、非常に
酸化され易く大気中での安定性の点で十分ではなく、有
機発光素子の寿命低下の一要因となるという問題点があ
った。そのため、上記有機発光素子においては、素子の
表面に露出する負電極を合成樹脂等で被覆することも考
えられるが、この場合でも、合成樹脂等からなる被覆層
は、酸素や水分の透過を十分防止することができず、有
機発光素子の寿命低下を招くという問題点を本質的に解
決することができない。
子の表面に露出する負電極としてＭｇなどのアルカリ土
類金属やその合金であるＭｇＡｇなどの金属を用いてい
るが、これらのアルカリ土類金属やその合金は、非常に
酸化され易く大気中での安定性の点で十分ではなく、有
機発光素子の寿命低下の一要因となるという問題点があ
った。そのため、上記有機発光素子においては、素子の
表面に露出する負電極を合成樹脂等で被覆することも考
えられるが、この場合でも、合成樹脂等からなる被覆層
は、酸素や水分の透過を十分防止することができず、有
機発光素子の寿命低下を招くという問題点を本質的に解
決することができない。
【０００７】そこで、上記の問題点を解決する手段とし
て、ＬａＢ6 などの金属ホウ化物を有機発光素子の負電
極の材料として用いる技術が特開平２−２３４３９４号
公報で既に提案されている。上記ＬａＢ6 などの金属ホ
ウ化物は、酸化されにくく水分にも侵されない材料であ
って安定で、しかも仕事関数が小さく電子注入電極の材
料として適している。
て、ＬａＢ6 などの金属ホウ化物を有機発光素子の負電
極の材料として用いる技術が特開平２−２３４３９４号
公報で既に提案されている。上記ＬａＢ6 などの金属ホ
ウ化物は、酸化されにくく水分にも侵されない材料であ
って安定で、しかも仕事関数が小さく電子注入電極の材
料として適している。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来技術
の場合には、次のような問題点を有している。すなわち
上記提案に係る有機発光素子の場合には、負電極の材料
として、酸化されにくく水分にも侵されない材料であっ
て安定で、しかも仕事関数が小さく電子注入電極として
適したＬａＢ6 などの金属ホウ化物を用いたものである
が、金属ホウ化物の融点は、３０００℃付近（ちなみに
ＬａＢ6 は２７１５℃）と高温である。そのため、上記
有機発光素子においては、発光層の表面に金属ホウ化物
からなる負電極を形成する際に、電子ビーム蒸着を用い
て金属ホウ化物を溶融させる必要があり、絶縁性基板上
に既に形成された有機材料からなる発光層にダメージを
与えて、正電極と負電極とがショートし易くなり、有機
発光素子の作成が困難であるという問題点があった。
の場合には、次のような問題点を有している。すなわち
上記提案に係る有機発光素子の場合には、負電極の材料
として、酸化されにくく水分にも侵されない材料であっ
て安定で、しかも仕事関数が小さく電子注入電極として
適したＬａＢ6 などの金属ホウ化物を用いたものである
が、金属ホウ化物の融点は、３０００℃付近（ちなみに
ＬａＢ6 は２７１５℃）と高温である。そのため、上記
有機発光素子においては、発光層の表面に金属ホウ化物
からなる負電極を形成する際に、電子ビーム蒸着を用い
て金属ホウ化物を溶融させる必要があり、絶縁性基板上
に既に形成された有機材料からなる発光層にダメージを
与えて、正電極と負電極とがショートし易くなり、有機
発光素子の作成が困難であるという問題点があった。
【０００９】また、上記有機発光素子においては、負電
極の材料として融点の高い材料を用いているため、負電
極として密着性が良くしかも表面抵抗が小さい良質の薄
膜を作成するには、絶縁性基板を加熱することが必要不
可欠である。しかし、上記絶縁性基板を加熱した場合に
は、この絶縁性基板上に既に形成されている有機材料か
らなる発光層が熱的に損傷され、有機発光素子の特性が
劣化するという問題点もあった。
極の材料として融点の高い材料を用いているため、負電
極として密着性が良くしかも表面抵抗が小さい良質の薄
膜を作成するには、絶縁性基板を加熱することが必要不
可欠である。しかし、上記絶縁性基板を加熱した場合に
は、この絶縁性基板上に既に形成されている有機材料か
らなる発光層が熱的に損傷され、有機発光素子の特性が
劣化するという問題点もあった。
【００１０】そこで、この発明は、上記従来技術の問題
点を解決するためになされたもので、その目的とすると
ころは、負電極の材料として酸化されにくく水分にも侵
されない材料であって安定で、しかも仕事関数が小さく
て電子注入電極として最適な金属ホウ化物を使用した場
合でも、負電極を形成する際に発光層にダメージを与え
ることがなく、有機発光素子の作成が容易であり、しか
も有機発光素子を作成する際に絶縁性基板を加熱した場
合でも、発光層を熱的に損傷することがない有機発光素
子用電極及び有機発光素子、並びに有機発光素子の製造
方法を提供することにある。
点を解決するためになされたもので、その目的とすると
ころは、負電極の材料として酸化されにくく水分にも侵
されない材料であって安定で、しかも仕事関数が小さく
て電子注入電極として最適な金属ホウ化物を使用した場
合でも、負電極を形成する際に発光層にダメージを与え
ることがなく、有機発光素子の作成が容易であり、しか
も有機発光素子を作成する際に絶縁性基板を加熱した場
合でも、発光層を熱的に損傷することがない有機発光素
子用電極及び有機発光素子、並びに有機発光素子の製造
方法を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】すなわち、この発明に係
る有機発光素子用電極は、基板上に金属ホウ化物からな
る電極層を形成するように構成されている。
る有機発光素子用電極は、基板上に金属ホウ化物からな
る電極層を形成するように構成されている。
【００１２】また、この発明に係る有機発光素子は、基
板上に金属ホウ化物からなる負電極層と、発光層と、正
電極層とを順次積層するように構成されていう。
板上に金属ホウ化物からなる負電極層と、発光層と、正
電極層とを順次積層するように構成されていう。
【００１３】さらに、この発明に係る有機発光素子の製
造方法は、基板上に金属ホウ化物からなる負電極層と、
発光層と、正電極層とを順次積層した状態で形成するよ
うに構成されている。
造方法は、基板上に金属ホウ化物からなる負電極層と、
発光層と、正電極層とを順次積層した状態で形成するよ
うに構成されている。
【００１４】上記金属ホウ化物としては、例えば、Ｌａ
Ｂ6 が用いられるが、これに限定されるものではなく、
ＹＢ6 、ＣｅＢ6 、ＧｄＢ6 ＰｒＢ6 など公知の金属ホ
ウ化物を使用しても良いことは勿論である。
Ｂ6 が用いられるが、これに限定されるものではなく、
ＹＢ6 、ＣｅＢ6 、ＧｄＢ6 ＰｒＢ6 など公知の金属ホ
ウ化物を使用しても良いことは勿論である。
【００１５】また、上記発光層としては、例えば、有機
材料のみからなる単層の発光層が用いられるが、これに
限定されるものではなく、発光層と、この発光層と正電
極との間に設けられる正孔輸送層とからなるもの、更に
は発光層としては、キャリアー輸送性のある材料、例え
ば正孔輸送性のあるＰＶＫ（ポリビニルカルバゾール）
に発光材料ともう一方の電子輸送性のある材料とを混合
した単層からなるもの等であっても良い。
材料のみからなる単層の発光層が用いられるが、これに
限定されるものではなく、発光層と、この発光層と正電
極との間に設けられる正孔輸送層とからなるもの、更に
は発光層としては、キャリアー輸送性のある材料、例え
ば正孔輸送性のあるＰＶＫ（ポリビニルカルバゾール）
に発光材料ともう一方の電子輸送性のある材料とを混合
した単層からなるもの等であっても良い。
【００１６】さらに、上記正電極としては、有機層の上
に半透明電極を形成する必要性から半透明で平滑度の高
いＡｕか、透明度の高いＩＴＯ等を用いるのが望まし
い。
に半透明電極を形成する必要性から半透明で平滑度の高
いＡｕか、透明度の高いＩＴＯ等を用いるのが望まし
い。
【００１７】なお、上記絶縁性基板としては、例えば、
ガラス基板等が用いられるが、これに限定されるもので
はなく、シリコンウエハ基板等を用いても良い。
ガラス基板等が用いられるが、これに限定されるもので
はなく、シリコンウエハ基板等を用いても良い。
【００１８】
【作用】この発明に係る有機発光素子用電極及び有機発
光素子、並びに有機発光素子の製造方法は、絶縁性基板
上に形成された金属ホウ化物からなる負電極層を備えて
いるので、シート抵抗が低く、平滑な金属ホウ化物の薄
膜電極を電荷注入用電極として使用することが可能とな
り、大気中での安定性や寿命の長い、有機発光素子を提
供することが可能となる。
光素子、並びに有機発光素子の製造方法は、絶縁性基板
上に形成された金属ホウ化物からなる負電極層を備えて
いるので、シート抵抗が低く、平滑な金属ホウ化物の薄
膜電極を電荷注入用電極として使用することが可能とな
り、大気中での安定性や寿命の長い、有機発光素子を提
供することが可能となる。
【００１９】
【実施例】以下にこの発明を図示の実施例に基づいて説
明する。
明する。
【００２０】図１はこの発明に係る有機発光素子の一実
施例を示すものである。
施例を示すものである。
【００２１】この有機発光素子１は、図１に示すよう
に、ガラス基板からなる絶縁性基板２と、この絶縁性基
板２上に積層された負電極３と、この負電極３上に積層
された有機材料からなる発光層４と、この発光層４上に
積層された正孔輸送層５と、この正孔輸送層５上に積層
された透明な正電極６とから構成されており、発光層４
に正電極６から正孔輸送層５を介してホールを効率良く
注入するとともに、負電極３から電子を注入し、これら
のホールと電子を発光層４内で再結合させることによ
り、透明な正電極６側から発光するものである。
に、ガラス基板からなる絶縁性基板２と、この絶縁性基
板２上に積層された負電極３と、この負電極３上に積層
された有機材料からなる発光層４と、この発光層４上に
積層された正孔輸送層５と、この正孔輸送層５上に積層
された透明な正電極６とから構成されており、発光層４
に正電極６から正孔輸送層５を介してホールを効率良く
注入するとともに、負電極３から電子を注入し、これら
のホールと電子を発光層４内で再結合させることによ
り、透明な正電極６側から発光するものである。
【００２２】この実施例では、上記負電極の材料として
金属ホウ化物の一種であるＬａＢ6（ホウ化ランタン）
が用いられている。
金属ホウ化物の一種であるＬａＢ6（ホウ化ランタン）
が用いられている。
【００２３】ところで、上記の如く構成される有機発光
素子は、次のようにして製造される。
素子は、次のようにして製造される。
【００２４】まず、スライドガラスをアセトンで１０分
間超音波洗浄し、更にこのスライドガラスをイソプロピ
ルアルコール（ＩＰＡ）で１０分間超音波洗浄したもの
を絶縁性基板２として使用する（図２（ａ））。次に、
上記絶縁性基板２としてのスライドガラスの表面に、図
２（ｂ）に示すように、図示しないステンレス製のマス
クを用いてＬａＢ6 からなる薄膜を負電極３として形成
する。このＬａＢ6 の薄膜３は、絶縁性基板２を図示し
ない加熱手段によって所定の温度（例えば、２００℃）
に加熱しながら、電子ビーム蒸着法により５Å／Ｓecの
蒸着スピードで３０００Åの厚さに製膜することによっ
て形成される。なお、この負電極３の蒸着時の圧力は、
３×１０-5Ｔorr の真空度で、加速電圧は−６ＫＶで行
った。こうして得られたＬａＢ6 の薄膜からなる負電極
３の表面抵抗は３Ωであった。
間超音波洗浄し、更にこのスライドガラスをイソプロピ
ルアルコール（ＩＰＡ）で１０分間超音波洗浄したもの
を絶縁性基板２として使用する（図２（ａ））。次に、
上記絶縁性基板２としてのスライドガラスの表面に、図
２（ｂ）に示すように、図示しないステンレス製のマス
クを用いてＬａＢ6 からなる薄膜を負電極３として形成
する。このＬａＢ6 の薄膜３は、絶縁性基板２を図示し
ない加熱手段によって所定の温度（例えば、２００℃）
に加熱しながら、電子ビーム蒸着法により５Å／Ｓecの
蒸着スピードで３０００Åの厚さに製膜することによっ
て形成される。なお、この負電極３の蒸着時の圧力は、
３×１０-5Ｔorr の真空度で、加速電圧は−６ＫＶで行
った。こうして得られたＬａＢ6 の薄膜からなる負電極
３の表面抵抗は３Ωであった。
【００２５】その後、このようにして得られた負電極３
付きのガラス基板２の上に、図２（ｃ）及びう２（ｄ）
に示すように、発光層４及び正孔輸送層５からなる有機
層と正電極６が形成されるする。有機層の形成には、真
空蒸着法が用いられる。まず、上記の如く負電極３が表
面に形成されたガラス基板２上には、発光層４を形成す
るアルミキノリノール錯体（Ａｌｑ３）が５００Åの厚
さに蒸着され、更にこの発光層４上に正孔輸送層５を形
成する材料であるテトラフェニルジアミン（ＴＰＤ）が
同じく５００Åの厚さに蒸着される。そして、最後に、
図２（ｅ）に示すように、上記正孔輸送層５上にＡｕの
半透明膜を真空蒸着で１５０Åの厚さに形成して正電極
６とし、有機発光素子１の製造を終える。
付きのガラス基板２の上に、図２（ｃ）及びう２（ｄ）
に示すように、発光層４及び正孔輸送層５からなる有機
層と正電極６が形成されるする。有機層の形成には、真
空蒸着法が用いられる。まず、上記の如く負電極３が表
面に形成されたガラス基板２上には、発光層４を形成す
るアルミキノリノール錯体（Ａｌｑ３）が５００Åの厚
さに蒸着され、更にこの発光層４上に正孔輸送層５を形
成する材料であるテトラフェニルジアミン（ＴＰＤ）が
同じく５００Åの厚さに蒸着される。そして、最後に、
図２（ｅ）に示すように、上記正孔輸送層５上にＡｕの
半透明膜を真空蒸着で１５０Åの厚さに形成して正電極
６とし、有機発光素子１の製造を終える。
【００２６】本出願人は、上記の如く製造される有機発
光素子１を試作し、この有機発素子１を実際に発光させ
る実験を行った。この有機発光素子１の場合には、負電
極にＭｇＡｇを用いた従来のものと同様に９Ｖ程度で発
光することが観測された。
光素子１を試作し、この有機発素子１を実際に発光させ
る実験を行った。この有機発光素子１の場合には、負電
極にＭｇＡｇを用いた従来のものと同様に９Ｖ程度で発
光することが観測された。
【００２７】このように、上記実施例に係る有機発光素
子１の場合には、絶縁性基板上に形成された金属ホウ化
物からなる負電極３を備えているので、シート抵抗が低
く、平滑な金属ホウ化物の薄膜電極３を電荷注入用電極
として使用することが可能となり、大気中での安定性や
寿命の長い、有機発光素子１を提供することが可能とな
る。
子１の場合には、絶縁性基板上に形成された金属ホウ化
物からなる負電極３を備えているので、シート抵抗が低
く、平滑な金属ホウ化物の薄膜電極３を電荷注入用電極
として使用することが可能となり、大気中での安定性や
寿命の長い、有機発光素子１を提供することが可能とな
る。
【００２８】図３はこの発明の第２の実施例を示すもの
であり、前記実施例と同一の部分には同一の符号を付し
て説明すると、この実施例では、有機層が発光層と正孔
輸送層とから形成されているのではなく、有機層が発光
層のみから構成されている。
であり、前記実施例と同一の部分には同一の符号を付し
て説明すると、この実施例では、有機層が発光層と正孔
輸送層とから形成されているのではなく、有機層が発光
層のみから構成されている。
【００２９】すなわち、この実施例に係る有機発光素子
１は、図３に示すように、ガラス基板からなる絶縁性基
板２と、この絶縁性基板２上に積層された負電極３と、
この負電極３上に積層された有機材料からなる発光層７
と、この発光層７上に積層された透明な正電極とから構
成されており、発光層７に正電極６からホールを注入す
るとともに、負電極３から電子を注入し、これらのホー
ルと電子を発光層７内で再結合させることにより、透明
な正電極６側から発光するものである。
１は、図３に示すように、ガラス基板からなる絶縁性基
板２と、この絶縁性基板２上に積層された負電極３と、
この負電極３上に積層された有機材料からなる発光層７
と、この発光層７上に積層された透明な正電極とから構
成されており、発光層７に正電極６からホールを注入す
るとともに、負電極３から電子を注入し、これらのホー
ルと電子を発光層７内で再結合させることにより、透明
な正電極６側から発光するものである。
【００３０】この実施例では、上記負電極の材料として
金属ホウ化物の一種であるＬａＢ6（ホウ化ランタン）
が用いられている。
金属ホウ化物の一種であるＬａＢ6（ホウ化ランタン）
が用いられている。
【００３１】ところで、上記の如く構成される有機発光
素子は、次のようにして製造される。
素子は、次のようにして製造される。
【００３２】まず、スライドガラスをアセトンで１０分
間超音波洗浄し、更にこのスライドガラスをイソプロピ
ルアルコール（ＩＰＡ）で１０分間超音波洗浄したもの
を絶縁性基板２として使用する。次に、上記絶縁性基板
２としてのスライドガラスの表面に、図４（ａ）に示す
ように、図示しないステンレス製のマスクを用いてＬａ
Ｂ6 からなる薄膜を負電極３として形成する。このＬａ
Ｂ6 の薄膜３は、絶縁性基板２を図示しない加熱手段に
よって所定の温度（例えば、２００℃）に加熱しなが
ら、電子ビーム蒸着法により５Å／Ｓecの蒸着スピード
で３０００Åの厚さに製膜することによって形成され
る。なお、この負電極３の蒸着時の圧力は、３×１０-5
Ｔorr の真空度で、加速電圧は−６ＫＶで行った。
間超音波洗浄し、更にこのスライドガラスをイソプロピ
ルアルコール（ＩＰＡ）で１０分間超音波洗浄したもの
を絶縁性基板２として使用する。次に、上記絶縁性基板
２としてのスライドガラスの表面に、図４（ａ）に示す
ように、図示しないステンレス製のマスクを用いてＬａ
Ｂ6 からなる薄膜を負電極３として形成する。このＬａ
Ｂ6 の薄膜３は、絶縁性基板２を図示しない加熱手段に
よって所定の温度（例えば、２００℃）に加熱しなが
ら、電子ビーム蒸着法により５Å／Ｓecの蒸着スピード
で３０００Åの厚さに製膜することによって形成され
る。なお、この負電極３の蒸着時の圧力は、３×１０-5
Ｔorr の真空度で、加速電圧は−６ＫＶで行った。
【００３３】その後、このようにして得られた負電極３
付きのガラス基板２の上に、図４（ｂ）に示すように、
発光層７のみからなる有機層と正電極６が形成されるす
る。有機層７の形成は、次のようにして行われる。すな
わち、１−２ジクロルエタンに正孔輸送性材料であるポ
リビニルカルバゾールを溶解し、更に発光材料であるク
マリン６を１ｗｔ％、電子輸送性材料のオキサジアゾー
ル誘導体（Ｂｕ−ＰＶＤ）を３０ｗｔ％加える。そし
て、この混合溶液をガラス基板２上にスピンコート法に
より、１００００Åの厚さに塗布形成し、ガラス基板２
上に発光層７を形成する。そして、最後に、図４（ｃ）
に示すように、上記発光層７上にＡｕの半透明膜を真空
蒸着で１５０Åの厚さに形成して正電極６とし、有機発
光素子１の製造を終える。
付きのガラス基板２の上に、図４（ｂ）に示すように、
発光層７のみからなる有機層と正電極６が形成されるす
る。有機層７の形成は、次のようにして行われる。すな
わち、１−２ジクロルエタンに正孔輸送性材料であるポ
リビニルカルバゾールを溶解し、更に発光材料であるク
マリン６を１ｗｔ％、電子輸送性材料のオキサジアゾー
ル誘導体（Ｂｕ−ＰＶＤ）を３０ｗｔ％加える。そし
て、この混合溶液をガラス基板２上にスピンコート法に
より、１００００Åの厚さに塗布形成し、ガラス基板２
上に発光層７を形成する。そして、最後に、図４（ｃ）
に示すように、上記発光層７上にＡｕの半透明膜を真空
蒸着で１５０Åの厚さに形成して正電極６とし、有機発
光素子１の製造を終える。
【００３４】本出願人は、上記の如く製造される有機発
光素子１を試作し、この有機発素子１を実際に発光させ
る実験を行った。この有機発光素子１の場合には、負電
極にＭｇＡｇを用いた従来のものよりも若干高い１５Ｖ
程度で発光することが観測された。
光素子１を試作し、この有機発素子１を実際に発光させ
る実験を行った。この有機発光素子１の場合には、負電
極にＭｇＡｇを用いた従来のものよりも若干高い１５Ｖ
程度で発光することが観測された。
【００３５】その他の構成及び作用は前記実施例と同様
であるので、その説明を省略する。
であるので、その説明を省略する。
【００３６】
【発明の効果】この発明は以上の構成及び作用よりなる
もので、負電極の材料として酸化されにくく水分にも侵
されない材料であって安定で、しかも仕事関数が小さく
て電子注入電極として最適な金属ホウ化物を使用した場
合でも、負電極を形成する際に発光層にダメージを与え
ることがなく、有機発光素子の作成が容易であり、しか
も有機発光素子を作成する際に絶縁性基板を加熱した場
合でも、発光層を熱的に損傷することがない有機発光素
子用電極及び有機発光素子、並びに有機発光素子の製造
方法を提供することができる。
もので、負電極の材料として酸化されにくく水分にも侵
されない材料であって安定で、しかも仕事関数が小さく
て電子注入電極として最適な金属ホウ化物を使用した場
合でも、負電極を形成する際に発光層にダメージを与え
ることがなく、有機発光素子の作成が容易であり、しか
も有機発光素子を作成する際に絶縁性基板を加熱した場
合でも、発光層を熱的に損傷することがない有機発光素
子用電極及び有機発光素子、並びに有機発光素子の製造
方法を提供することができる。
【図１】 図１はこの発明に係る有機発光素子の一実施
例を示す断面構成図である。
例を示す断面構成図である。
【図２】 図２（ａ）〜（ｅ）はこの発明に係る有機発
光素子の製造方法をそれぞれ示す断面構成図である。
光素子の製造方法をそれぞれ示す断面構成図である。
【図３】 図３はこの発明に係る有機発光素子の他の実
施例を示す断面構成図である。
施例を示す断面構成図である。
【図４】 図４（ａ）〜（ｃ）は同実施例に係る有機発
光素子の製造方法をそれぞれ示す断面構成図である。
光素子の製造方法をそれぞれ示す断面構成図である。
【図５】 図５は従来の有機発光素子を示す断面構成図
である。
である。
１ 有機発光素子、２ 絶縁性基板、３ 負電極、４
発光層、５ 正孔輸送層、６ 正電極。
発光層、５ 正孔輸送層、６ 正電極。
Claims (3)
- 【請求項１】 基板上に金属ホウ化物からなる電極層を
形成したことを特徴とする有機発光素子用電極。 - 【請求項２】 基板上に金属ホウ化物からなる負電極層
と、発光層と、正電極層とを順次積層したことを特徴と
する有機発光素子。 - 【請求項３】 基板上に金属ホウ化物からなる負電極層
と、発光層と、正電極層とを順次積層した状態で形成す
ることを特徴とする有機発光素子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5092654A JPH06310280A (ja) | 1993-04-20 | 1993-04-20 | 有機発光素子用電極及びこれを用いた有機発光素子、並びに有機発光素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5092654A JPH06310280A (ja) | 1993-04-20 | 1993-04-20 | 有機発光素子用電極及びこれを用いた有機発光素子、並びに有機発光素子の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06310280A true JPH06310280A (ja) | 1994-11-04 |
Family
ID=14060464
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5092654A Pending JPH06310280A (ja) | 1993-04-20 | 1993-04-20 | 有機発光素子用電極及びこれを用いた有機発光素子、並びに有機発光素子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06310280A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0729191A3 (en) * | 1995-02-23 | 1996-11-06 | Eastman Kodak Co | Conductive electron injector for light emitting diodes |
| WO1999031741A1 (en) * | 1997-12-15 | 1999-06-24 | International Business Machines Corporation | Compound-metal contacts for organic devices and method for making the same |
| WO2002056641A1 (en) * | 2001-01-15 | 2002-07-18 | Sony Corporation | Luminescence device and its manufacturing method |
| JP2003068472A (ja) * | 2001-08-29 | 2003-03-07 | Hitachi Ltd | 有機発光素子およびそれを用いた有機発光表示装置 |
-
1993
- 1993-04-20 JP JP5092654A patent/JPH06310280A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0729191A3 (en) * | 1995-02-23 | 1996-11-06 | Eastman Kodak Co | Conductive electron injector for light emitting diodes |
| WO1999031741A1 (en) * | 1997-12-15 | 1999-06-24 | International Business Machines Corporation | Compound-metal contacts for organic devices and method for making the same |
| WO2002056641A1 (en) * | 2001-01-15 | 2002-07-18 | Sony Corporation | Luminescence device and its manufacturing method |
| US6774561B2 (en) | 2001-01-15 | 2004-08-10 | Sony Corporation | Light-emitting device and process for production thereof having an emission laser held between electrodes |
| KR100792537B1 (ko) * | 2001-01-15 | 2008-01-09 | 소니 가부시끼 가이샤 | 발광소자 및 그 제조방법 |
| CN100401550C (zh) * | 2001-01-15 | 2008-07-09 | 索尼公司 | 发光装置及其制造方法 |
| JP2003068472A (ja) * | 2001-08-29 | 2003-03-07 | Hitachi Ltd | 有機発光素子およびそれを用いた有機発光表示装置 |
| US7291973B2 (en) | 2001-08-29 | 2007-11-06 | Hitachi, Ltd. | Organic El display having auxiliary electrodes formed adjacent light extraction layer |
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