JPH06310574A - Ｔａｂリードフレームレジスト面側部露光装置 - Google Patents
Ｔａｂリードフレームレジスト面側部露光装置Info
- Publication number
- JPH06310574A JPH06310574A JP5116576A JP11657693A JPH06310574A JP H06310574 A JPH06310574 A JP H06310574A JP 5116576 A JP5116576 A JP 5116576A JP 11657693 A JP11657693 A JP 11657693A JP H06310574 A JPH06310574 A JP H06310574A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lead frame
- exposure
- tab lead
- mask
- mask holder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ＴＡＢリードフレームの製造工程で、レジス
ト面に対して露光を行ないリードフレームパターンを焼
き付ける。そのとき、リードフレームパターンの側部が
露光不十分となるので、側部のみ２回目の露光を行なう
が、その２回目露光を精度よく効率的に行なう。 【構成】 露光マスクホルダーにカムフォロワーを設
け、そのカムフォロワーを送行するＴＡＢリードフレー
ムの端面に常に押圧しておくスプリングを設けて成る。
ト面に対して露光を行ないリードフレームパターンを焼
き付ける。そのとき、リードフレームパターンの側部が
露光不十分となるので、側部のみ２回目の露光を行なう
が、その２回目露光を精度よく効率的に行なう。 【構成】 露光マスクホルダーにカムフォロワーを設
け、そのカムフォロワーを送行するＴＡＢリードフレー
ムの端面に常に押圧しておくスプリングを設けて成る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、ＩＣパッケージに用
いられるＴＡＢリードフレームの製造工程に用いられる
露光装置で、マスクパターン列側部の２回目露光にもち
いる装置であって、カムフォロワーを利用して、露光マ
スクとＴＡＢリードフレーム条との位置合わせを行うも
のに関する。
いられるＴＡＢリードフレームの製造工程に用いられる
露光装置で、マスクパターン列側部の２回目露光にもち
いる装置であって、カムフォロワーを利用して、露光マ
スクとＴＡＢリードフレーム条との位置合わせを行うも
のに関する。
【０００２】
【従来の技術】ＴＡＢリードフレームの製造工程におい
て、レジスト面にたいして露光を行いリードフレームパ
ターンを焼き付ける。このとき、露光を１回のみ行った
場合、そのリードフレームパターン列側部では、中心付
近に比べて露光量が不足となることがある。このため、
パターン現像後も、ＴＡＢリードフレーム条方向にそっ
て線状にレジスト現像残りが、生じることがある。この
レジスト残りを防ぐ目的で紫外線をパターン側部に再度
照射している。しかし、この露光位置合わせが、不十分
なことも多い。それに加え、ＴＡＢリードフレーム条の
蛇行もあり、一回目と二回目の露光位置の重なりかたに
よっては過剰露光となる部分が生じる。この露光量の不
均一によって、次工程において、歩留まりを低下させる
原因となっていた。
て、レジスト面にたいして露光を行いリードフレームパ
ターンを焼き付ける。このとき、露光を１回のみ行った
場合、そのリードフレームパターン列側部では、中心付
近に比べて露光量が不足となることがある。このため、
パターン現像後も、ＴＡＢリードフレーム条方向にそっ
て線状にレジスト現像残りが、生じることがある。この
レジスト残りを防ぐ目的で紫外線をパターン側部に再度
照射している。しかし、この露光位置合わせが、不十分
なことも多い。それに加え、ＴＡＢリードフレーム条の
蛇行もあり、一回目と二回目の露光位置の重なりかたに
よっては過剰露光となる部分が生じる。この露光量の不
均一によって、次工程において、歩留まりを低下させる
原因となっていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】部分的な過剰露光をな
くし、次工程での不均一なレジスト剥離を防止する。ま
た、生産性の問題から、高速でこの露光を行うことがで
きるようにすることを課題とする。
くし、次工程での不均一なレジスト剥離を防止する。ま
た、生産性の問題から、高速でこの露光を行うことがで
きるようにすることを課題とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】露光を１回のみ行った場
合、その露光パターンの周辺部では、中心付近に比べて
露光量が不十分となることがある。このため、パターン
現像後も、ＴＡＢリードフレームパターン列側部におい
てはレジスト残りが生じていると考えられる。リードフ
レームパターン列側部における露光量不足を補うために
２回目の露光を行う。レジスト面にたいし、２回目の露
光は別のマスクによって行うが、これら２つのマスクの
位置がズレている場合があり、部分的に過剰に露光を行
う部分と露光が不十分となる部分とが生じ易い。
合、その露光パターンの周辺部では、中心付近に比べて
露光量が不十分となることがある。このため、パターン
現像後も、ＴＡＢリードフレームパターン列側部におい
てはレジスト残りが生じていると考えられる。リードフ
レームパターン列側部における露光量不足を補うために
２回目の露光を行う。レジスト面にたいし、２回目の露
光は別のマスクによって行うが、これら２つのマスクの
位置がズレている場合があり、部分的に過剰に露光を行
う部分と露光が不十分となる部分とが生じ易い。
【０００５】この露光量のバラつきを減ずるために露光
マスクのレジスト面に対する精度の高い２回目露光時の
マスクの位置合わせが必要となる。この目的で露光マス
クのリードフレーム条に対する倣いを利用する。すなわ
ち、ＴＡＢリードフレームのレジスト露光の露光不足を
補うための露光パターン側部に対する２回目露光に用い
る装置であって、ＴＡＢリードフレーム条のレジスト面
側に露光マスクホルダーを設け、そのマスクホルダーが
ＴＡＢリードフレーム条の移送方向と直角方向にスライ
ド可能なようにし、露光マスクホルダーに軸支されＴＡ
Ｂリードフレーム条の一方の端面に接触するカムフォロ
ワーとそのカムフォロワーを常時ＴＡＢリードフレーム
条の一方の端面に押圧しておくように露光マスクホルダ
ーを付勢するスプリングとを備えたＴＡＢリードフレー
ムレジスト面側部露光装置である。
マスクのレジスト面に対する精度の高い２回目露光時の
マスクの位置合わせが必要となる。この目的で露光マス
クのリードフレーム条に対する倣いを利用する。すなわ
ち、ＴＡＢリードフレームのレジスト露光の露光不足を
補うための露光パターン側部に対する２回目露光に用い
る装置であって、ＴＡＢリードフレーム条のレジスト面
側に露光マスクホルダーを設け、そのマスクホルダーが
ＴＡＢリードフレーム条の移送方向と直角方向にスライ
ド可能なようにし、露光マスクホルダーに軸支されＴＡ
Ｂリードフレーム条の一方の端面に接触するカムフォロ
ワーとそのカムフォロワーを常時ＴＡＢリードフレーム
条の一方の端面に押圧しておくように露光マスクホルダ
ーを付勢するスプリングとを備えたＴＡＢリードフレー
ムレジスト面側部露光装置である。
【０００６】
【作用】この発明の構成によれば、連続的にＴＡＢリー
ドフレーム条は送られる。このときマスクホルダーは、
ＴＡＢリードフレーム条側部に追従して動く。この追従
動作により、マスク位置は、ＴＡＢリードフレーム条に
たいして、一定となり、露光位置を正確に決めることが
可能となる。従って、二回目の露光による部分的な過剰
露光を防止し、次工程において、均一なレジスト剥離を
行うことができる。
ドフレーム条は送られる。このときマスクホルダーは、
ＴＡＢリードフレーム条側部に追従して動く。この追従
動作により、マスク位置は、ＴＡＢリードフレーム条に
たいして、一定となり、露光位置を正確に決めることが
可能となる。従って、二回目の露光による部分的な過剰
露光を防止し、次工程において、均一なレジスト剥離を
行うことができる。
【０００７】
【実施例】次にこの発明の実施例を図に基づいて詳細に
説明する。図１は、この実施例を示す。１は露光装置本
体、２は紫外線ランプ、３は巻き出しコイル、４は巻取
コイル、５はＴＡＢリードフレーム条、７はマスクホル
ダーを示す。
説明する。図１は、この実施例を示す。１は露光装置本
体、２は紫外線ランプ、３は巻き出しコイル、４は巻取
コイル、５はＴＡＢリードフレーム条、７はマスクホル
ダーを示す。
【０００８】図２は、図１のマスクホルダー７の周辺の
一部を切り欠いた平面拡大図を示す。１は露光装置本体
であり、１１のリニアスライドが固設されている。５は
ＴＡＢリードフレーム条、６はＴＡＢリードフレーム条
レジスト面であり、図中矢印の方向に走行している。マ
スクホルダー７は、リニアスライド１１によって支持さ
れ、移送方向と直角方向に移動することが可能となって
いる。カムフォロワー８は、その軸がマスクホルダー７
に固設されており、フォロワー部は、ＴＡＢリードフレ
ーム条５の端面に接触している。スプリング９は、一方
を露光装置本体１に、他方をマスクホルダー７に取付け
られ、カムフォロワー８のＴＡＢリードフレーム条５の
端面にたいする接触圧を生み出している。露光マスク１
０は、マスクホルダー７に取付けられている。
一部を切り欠いた平面拡大図を示す。１は露光装置本体
であり、１１のリニアスライドが固設されている。５は
ＴＡＢリードフレーム条、６はＴＡＢリードフレーム条
レジスト面であり、図中矢印の方向に走行している。マ
スクホルダー７は、リニアスライド１１によって支持さ
れ、移送方向と直角方向に移動することが可能となって
いる。カムフォロワー８は、その軸がマスクホルダー７
に固設されており、フォロワー部は、ＴＡＢリードフレ
ーム条５の端面に接触している。スプリング９は、一方
を露光装置本体１に、他方をマスクホルダー７に取付け
られ、カムフォロワー８のＴＡＢリードフレーム条５の
端面にたいする接触圧を生み出している。露光マスク１
０は、マスクホルダー７に取付けられている。
【０００９】次に、この装置の動きを説明する。ＴＡＢ
リードフレーム条５は、巻きだしコイル３から送り出さ
れ、露光マスク１０の下を通る。このとき、紫外線ラン
プ２から発せられる紫外線によって、ＴＡＢリードフレ
ームのレジスト面６は露光される。露光ののちＴＡＢリ
ードフレーム条５は巻取コイル４に巻き取られる。
リードフレーム条５は、巻きだしコイル３から送り出さ
れ、露光マスク１０の下を通る。このとき、紫外線ラン
プ２から発せられる紫外線によって、ＴＡＢリードフレ
ームのレジスト面６は露光される。露光ののちＴＡＢリ
ードフレーム条５は巻取コイル４に巻き取られる。
【００１０】この装置においては、ＴＡＢリードフレー
ム条５は、連続で搬送され、ＴＡＢリードフレーム条レ
ジスト面６の側部は搬送方向に露光マスク１０のスリッ
トから線状に露光される。スプリング９の片方の端はマ
スクホルダー７に、もう一方の端は露光装置本体１に取
付けられている。露光中、カムフォロワー８は、スプリ
ング９によって、常に、ＴＡＢリードフレーム条５の端
面に押しつけられており、露光装置本体１に取付けられ
ているリニアスライド１１によって支持されているマス
クホルダー７は、ＴＡＢリードフレーム条５の蛇行にた
いして追従するので、ＴＡＢリードフレームのレジスト
面６上の露光位置は一定となる。
ム条５は、連続で搬送され、ＴＡＢリードフレーム条レ
ジスト面６の側部は搬送方向に露光マスク１０のスリッ
トから線状に露光される。スプリング９の片方の端はマ
スクホルダー７に、もう一方の端は露光装置本体１に取
付けられている。露光中、カムフォロワー８は、スプリ
ング９によって、常に、ＴＡＢリードフレーム条５の端
面に押しつけられており、露光装置本体１に取付けられ
ているリニアスライド１１によって支持されているマス
クホルダー７は、ＴＡＢリードフレーム条５の蛇行にた
いして追従するので、ＴＡＢリードフレームのレジスト
面６上の露光位置は一定となる。
【００１１】
【発明の効果】本発明によりリードフレームパターン列
側部の露光量の不均一を解消し、次工程において、露光
量の違いによるレジスト剥離の不良を減少させることが
可能となる。また、連続に露光を行うため、処理を高速
で行うことが可能である。
側部の露光量の不均一を解消し、次工程において、露光
量の違いによるレジスト剥離の不良を減少させることが
可能となる。また、連続に露光を行うため、処理を高速
で行うことが可能である。
【図１】本発明の実施例の全体を示す図である。
【図２】図１のマスクホルダー周辺の一部を切り欠いた
平面図である。
平面図である。
１ 露光装置本体 ２ 紫外線ランプ ３ 巻き出しコイル ４ 巻取コイル ５ ＴＡＢリードフレーム条 ６ ＴＡＢリードフレーム条レジスト面 ７ マスクホルダー ８ カムフォロワー ９ スプリング １０ 露光マスク １１ リニアスライド
Claims (1)
- 【請求項１】 ＴＡＢリードフレームのレジスト露光の
露光不足を補うための露光パターン側部に対する２回目
露光に用いる装置であって、ＴＡＢリードフレーム条の
レジスト面側に露光マスクホルダーを設け、そのマスク
ホルダーがＴＡＢリードフレーム条の移送方向と直角方
向にスライド可能なようにし、露光マスクホルダーに軸
支されＴＡＢリードフレーム条の一方の端面に接触する
カムフォロワーとそのカムフォロワーを常時ＴＡＢリー
ドフレーム条の一方の端面に押圧しておくように露光マ
スクホルダーを付勢するスプリングとを備えたＴＡＢリ
ードフレームレジスト面側部露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5116576A JPH06310574A (ja) | 1993-04-21 | 1993-04-21 | Ｔａｂリードフレームレジスト面側部露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5116576A JPH06310574A (ja) | 1993-04-21 | 1993-04-21 | Ｔａｂリードフレームレジスト面側部露光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06310574A true JPH06310574A (ja) | 1994-11-04 |
Family
ID=14690541
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5116576A Pending JPH06310574A (ja) | 1993-04-21 | 1993-04-21 | Ｔａｂリードフレームレジスト面側部露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06310574A (ja) |
-
1993
- 1993-04-21 JP JP5116576A patent/JPH06310574A/ja active Pending
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