JPH06310750A - モノクロームセンサ - Google Patents
モノクロームセンサInfo
- Publication number
- JPH06310750A JPH06310750A JP5116326A JP11632693A JPH06310750A JP H06310750 A JPH06310750 A JP H06310750A JP 5116326 A JP5116326 A JP 5116326A JP 11632693 A JP11632693 A JP 11632693A JP H06310750 A JPH06310750 A JP H06310750A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- light
- protective film
- variation
- spectral sensitivity
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10F—INORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
- H10F77/00—Constructional details of devices covered by this subclass
- H10F77/30—Coatings
- H10F77/306—Coatings for devices having potential barriers
- H10F77/331—Coatings for devices having potential barriers for filtering or shielding light, e.g. multicolour filters for photodetectors
Landscapes
- Light Receiving Elements (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 分光感度の最高値の波長のばらつき及び光の
入射角度の違いによる感度のばらつきを小さくする。 【構成】 保護膜１２がセンサ部１１等を覆っており、
透光性の有機膜１４が保護膜１２上に設けられている。
この結果、分光感度特性におけるリップルが低減されて
おり、保護膜１２及び有機膜１４の膜厚のばらつきや光
の入射角度の違いによるこれらの膜厚の実効的なばらつ
きによってリップルの山と谷との位置が変動しても、あ
る波長についての感度の変動は小さい。従って、分光感
度の最高値の波長のばらつきや光の入射角度の違いによ
る感度のばらつきが小さい。
入射角度の違いによる感度のばらつきを小さくする。 【構成】 保護膜１２がセンサ部１１等を覆っており、
透光性の有機膜１４が保護膜１２上に設けられている。
この結果、分光感度特性におけるリップルが低減されて
おり、保護膜１２及び有機膜１４の膜厚のばらつきや光
の入射角度の違いによるこれらの膜厚の実効的なばらつ
きによってリップルの山と谷との位置が変動しても、あ
る波長についての感度の変動は小さい。従って、分光感
度の最高値の波長のばらつきや光の入射角度の違いによ
る感度のばらつきが小さい。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本願の発明は、色を識別すること
なく光量を測定するモノクロームセンサに関するもので
ある。
なく光量を測定するモノクロームセンサに関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】図４は、モノクロームセンサの一従来例
を模式的に示している。この一従来例では、半導体基板
にセンサ部１１が形成されており、Ｐ−ＳｉＮ膜等であ
る保護膜１２がセンサ部１１等を覆っている。保護膜１
２は、その保護機能を果たすために、０．７５μｍ程度
の膜厚を有しているが、光１３は、この保護膜１２を通
してセンサ部１１に入射する。図５は、この一従来例の
分光感度特性を示している。なお、受光面積が同じであ
れば、入射角度が０°の場合よりも３０°の場合の方が
受光量が少ないので、感度は必然的に低下する。
を模式的に示している。この一従来例では、半導体基板
にセンサ部１１が形成されており、Ｐ−ＳｉＮ膜等であ
る保護膜１２がセンサ部１１等を覆っている。保護膜１
２は、その保護機能を果たすために、０．７５μｍ程度
の膜厚を有しているが、光１３は、この保護膜１２を通
してセンサ部１１に入射する。図５は、この一従来例の
分光感度特性を示している。なお、受光面積が同じであ
れば、入射角度が０°の場合よりも３０°の場合の方が
受光量が少ないので、感度は必然的に低下する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、図５から明
らかな様に、図４に示した一従来例の分光感度特性では
リップルが大きい。一方、リップルの山と谷との位置
は、センサ部１１の上層膜の膜厚、即ちこの一従来例で
は保護膜１２の膜厚によって変動する。この変動によっ
て、山または谷であった位置が谷または山になると、そ
の波長についての感度が大幅に変動する。このため、図
４に示した一従来例では、保護膜１２の膜厚のばらつき
によって、分光感度の最高値の波長が大幅にばらついて
いた。
らかな様に、図４に示した一従来例の分光感度特性では
リップルが大きい。一方、リップルの山と谷との位置
は、センサ部１１の上層膜の膜厚、即ちこの一従来例で
は保護膜１２の膜厚によって変動する。この変動によっ
て、山または谷であった位置が谷または山になると、そ
の波長についての感度が大幅に変動する。このため、図
４に示した一従来例では、保護膜１２の膜厚のばらつき
によって、分光感度の最高値の波長が大幅にばらついて
いた。
【０００４】また、保護膜１２に対する光１３の入射角
度が異なった場合も、保護膜１２中における光１３の光
路長が異なるので、この保護膜１２の膜厚が実効的に異
なる。このため、図５に示した様に、光１３の入射角度
の違いによっても感度が大幅にばらついていた。例え
ば、波長が５５０ｎｍの発光ダイオードを光源として使
用すると、入射角度が０°の場合はリップルの山に相当
しているが、入射角度が３０°の場合はリップルの谷に
相当しているので、感度の差が非常に大きい。
度が異なった場合も、保護膜１２中における光１３の光
路長が異なるので、この保護膜１２の膜厚が実効的に異
なる。このため、図５に示した様に、光１３の入射角度
の違いによっても感度が大幅にばらついていた。例え
ば、波長が５５０ｎｍの発光ダイオードを光源として使
用すると、入射角度が０°の場合はリップルの山に相当
しているが、入射角度が３０°の場合はリップルの谷に
相当しているので、感度の差が非常に大きい。
【０００５】
【課題を解決するための手段】請求項１のモノクローム
センサでは、少なくともセンサ部１１を覆っている保護
膜１２上に透光膜が設けられている。
センサでは、少なくともセンサ部１１を覆っている保護
膜１２上に透光膜が設けられている。
【０００６】請求項２のモノクロームセンサでは、前記
透光膜が有機膜１４である。
透光膜が有機膜１４である。
【０００７】
【作用】請求項１のモノクロームセンサでは、透光膜が
設けられていない場合に比べて、分光感度特性における
リップルが低減されている。
設けられていない場合に比べて、分光感度特性における
リップルが低減されている。
【０００８】請求項２のモノクロームセンサでは、有機
膜１４を透光膜にしているが、有機膜１４ではクラック
を生じることなく膜厚を厚くすることができるので、透
光膜の膜厚を厚くすることによって、分光感度特性にお
けるリップルを低減させる効果を高めることができる。
膜１４を透光膜にしているが、有機膜１４ではクラック
を生じることなく膜厚を厚くすることができるので、透
光膜の膜厚を厚くすることによって、分光感度特性にお
けるリップルを低減させる効果を高めることができる。
【０００９】
【実施例】以下、本願の発明の第１及び第２実施例を、
図１〜３を参照しながら説明する。なお、図４に示した
一従来例と対応する構成部分には、同一の符号を付して
ある。
図１〜３を参照しながら説明する。なお、図４に示した
一従来例と対応する構成部分には、同一の符号を付して
ある。
【００１０】図１が、第１実施例を示している。この第
１実施例は、膜厚が２．０μｍ程度であり透光性を有し
ている有機膜１４が保護膜１２上にＣＶＤ法で堆積され
ていることを除いて、図４に示した一従来例と実質的に
同様の構成を有している。図２は、この第１実施例の分
光感度特性を示している。この図２から明らかな様に、
この第１実施例では、図４に示した一従来例に比べて、
分光感度特性におけるリップルが低減されている。
１実施例は、膜厚が２．０μｍ程度であり透光性を有し
ている有機膜１４が保護膜１２上にＣＶＤ法で堆積され
ていることを除いて、図４に示した一従来例と実質的に
同様の構成を有している。図２は、この第１実施例の分
光感度特性を示している。この図２から明らかな様に、
この第１実施例では、図４に示した一従来例に比べて、
分光感度特性におけるリップルが低減されている。
【００１１】このため、センサ部１１の上層膜の膜厚、
即ちこの第１実施例では保護膜１２や有機膜１４の膜厚
のばらつきによってリップルの山と谷との位置が変動し
ても、元々山と谷との差が小さいので、ある波長につい
ての感度の変動は小さい。従って、保護膜１２や有機膜
１４の膜厚にばらつきがあっても分光感度の最高値の波
長のばらつきが小さく、また光１３の入射角度の違いに
よって保護膜１２や有機膜１４の膜厚が実効的にばらつ
いても感度のばらつきは小さい。
即ちこの第１実施例では保護膜１２や有機膜１４の膜厚
のばらつきによってリップルの山と谷との位置が変動し
ても、元々山と谷との差が小さいので、ある波長につい
ての感度の変動は小さい。従って、保護膜１２や有機膜
１４の膜厚にばらつきがあっても分光感度の最高値の波
長のばらつきが小さく、また光１３の入射角度の違いに
よって保護膜１２や有機膜１４の膜厚が実効的にばらつ
いても感度のばらつきは小さい。
【００１２】図３が、第２実施例を示している。この第
２実施例は、保護膜１２の膜厚が１．５μｍ程度と厚い
ことを除いて、図４に示した一従来例と実質的に同様の
構成を有している。この第２実施例では、上述の第１実
施例における有機膜１４の代わりに、保護膜１２と同じ
材質の透光膜が用いられていることになり、第１実施例
と略同様の分光感度特性を得ることができる。
２実施例は、保護膜１２の膜厚が１．５μｍ程度と厚い
ことを除いて、図４に示した一従来例と実質的に同様の
構成を有している。この第２実施例では、上述の第１実
施例における有機膜１４の代わりに、保護膜１２と同じ
材質の透光膜が用いられていることになり、第１実施例
と略同様の分光感度特性を得ることができる。
【００１３】なお、分光感度特性におけるリップルを低
減させる効果は、第１実施例では有機膜１４の膜厚を厚
くし、第２実施例では保護膜１２の膜厚を厚くするほど
高くなる。しかし、Ｐ−ＳｉＮ膜等である保護膜１２で
は、膜厚を厚くするとクラックが生じる。これに対し
て、有機膜１４ではクラックを生じることなく膜厚を厚
くすることができるので、第２実施例よりも第１実施例
の方が好ましい。
減させる効果は、第１実施例では有機膜１４の膜厚を厚
くし、第２実施例では保護膜１２の膜厚を厚くするほど
高くなる。しかし、Ｐ−ＳｉＮ膜等である保護膜１２で
は、膜厚を厚くするとクラックが生じる。これに対し
て、有機膜１４ではクラックを生じることなく膜厚を厚
くすることができるので、第２実施例よりも第１実施例
の方が好ましい。
【００１４】
【発明の効果】請求項１のモノクロームセンサでは、分
光感度特性におけるリップルが低減されているので、保
護膜や透光膜の膜厚にばらつきがあっても分光感度の最
高値の波長のばらつきが小さく、また光の入射角度の違
いによって保護膜や透光膜の膜厚が実効的にばらついて
も感度のばらつきは小さい。
光感度特性におけるリップルが低減されているので、保
護膜や透光膜の膜厚にばらつきがあっても分光感度の最
高値の波長のばらつきが小さく、また光の入射角度の違
いによって保護膜や透光膜の膜厚が実効的にばらついて
も感度のばらつきは小さい。
【００１５】請求項２のモノクロームセンサでは、透光
膜の膜厚を厚くすることによって、分光感度特性におけ
るリップルを低減させる効果を高めることができるの
で、分光感度の最高値の波長のばらつきや光の入射角度
の違いによる感度のばらつきを更に小さくすることがで
きる。
膜の膜厚を厚くすることによって、分光感度特性におけ
るリップルを低減させる効果を高めることができるの
で、分光感度の最高値の波長のばらつきや光の入射角度
の違いによる感度のばらつきを更に小さくすることがで
きる。
【図１】本願の発明の第１実施例の模式的な側断面図で
ある。
ある。
【図２】第１実施例の分光感度特性を示すグラフであ
る。
る。
【図３】第２実施例の模式的な側断面図である。
【図４】本願の発明の一従来例の模式的な側断面図であ
る。
る。
【図５】一従来例の分光感度特性を示すグラフである。
１１ センサ部 １２ 保護膜 １４ 有機膜
Claims (2)
- 【請求項１】 少なくともセンサ部を覆っている保護膜
上に透光膜が設けられていることを特徴とするモノクロ
ームセンサ。 - 【請求項２】 前記透光膜が有機膜であることを特徴と
する請求項１記載のモノクロームセンサ。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5116326A JPH06310750A (ja) | 1993-04-20 | 1993-04-20 | モノクロームセンサ |
| US08/593,107 US5703355A (en) | 1993-04-20 | 1996-02-01 | Image sensor covered by a protective film and an organic film to decrease variations in spectral sensitivity |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5116326A JPH06310750A (ja) | 1993-04-20 | 1993-04-20 | モノクロームセンサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06310750A true JPH06310750A (ja) | 1994-11-04 |
Family
ID=14684210
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5116326A Pending JPH06310750A (ja) | 1993-04-20 | 1993-04-20 | モノクロームセンサ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5703355A (ja) |
| JP (1) | JPH06310750A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2018154627A1 (ja) * | 2017-02-21 | 2018-08-30 | 株式会社島津製作所 | 固体光検出器 |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6348693B1 (en) | 1999-09-16 | 2002-02-19 | Xerox Corporation | X-ray imager and its method of fabrication |
| US7297926B2 (en) * | 2005-08-18 | 2007-11-20 | Em4, Inc. | Compound eye image sensor design |
| DE102011079990B4 (de) * | 2011-04-29 | 2013-07-18 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Photodetektor, Bildsensor und Verfahren zur Herstellung |
| DE102016110696B4 (de) * | 2016-06-10 | 2025-03-20 | Endress+Hauser Conducta Gmbh+Co. Kg | Verfahren zur Herstellung einer Sensorkappe mit einer Membran |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5687782U (ja) * | 1979-12-10 | 1981-07-14 | ||
| JPS6415970A (en) * | 1987-07-09 | 1989-01-19 | Canon Kk | Image reading equipment |
| US5233181A (en) * | 1992-06-01 | 1993-08-03 | General Electric Company | Photosensitive element with two layer passivation coating |
| US5288989A (en) * | 1993-04-02 | 1994-02-22 | General Electric Company | Avalanche photodiode with moisture resistant passivation coating disposed to cover the outer periphery of the photodiode body except at a selected top contact area |
-
1993
- 1993-04-20 JP JP5116326A patent/JPH06310750A/ja active Pending
-
1996
- 1996-02-01 US US08/593,107 patent/US5703355A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2018154627A1 (ja) * | 2017-02-21 | 2018-08-30 | 株式会社島津製作所 | 固体光検出器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5703355A (en) | 1997-12-30 |
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