JPH06312281A

JPH06312281A - レーザマーキング装置及びそのレーザマーキング方法

Info

Publication number: JPH06312281A
Application number: JP5279798A
Authority: JP
Inventors: Hiroyuki Ishihara; 浩之石原
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1993-03-02
Filing date: 1993-11-09
Publication date: 1994-11-08

Abstract

(57)【要約】【目的】高速で品質の高いマーキング加工を効率よく
行うことができ、かつ、段取替えが少なくコンパクト化
を図ることを目的とする。【構成】外形が同形に形成された搬送パレット１１は
デバイス１がＸ−Ｙ方向と高さ方向に位置決めされる複
数の受部１０を備えている。そして、多種のトレイ２か
ら搬送パレット１１にデバイス１を詰替えて、この搬送
パレット１１を滑走路１２に配置する。搬送手段１３は
搬送パレット１１を搬送し、搬送パレット１１のデバイ
ス１をマーキング位置５や洗浄位置に位置決めする。こ
れにより、搬送パレット１１に収納された状態のデバイ
ス１をマーキング加工や洗浄することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、半導体ＩＣ等のデバ
イスにレーザ光で商標等のマーキングを加工するレーザ
マーキング装置及びそのレーザマーキング方法に関する
ものである。

【０００２】

【従来の技術】図１０は従来のレーザマーキング装置を
示す斜視図であり、図１１はその要部の拡大断面図であ
る。図１０において、１は被加工物で例えば半導体ＩＣ
等のデバイス、２はデバイス１がＮ×Ｍ列配置されるト
レイ、３はトレイ２を保持してＸ方向及びＹ方向へ移動
するＸ−Ｙテーブル、４はデバイス１の表面に商標やロ
ットＮＯ．等をマーキングするレーザ本体、５はマーキ
ング位置、６はローダ位置からＸ−Ｙテーブル３へトレ
イ２を搬送する入口搬送レール、７はＸ−Ｙテーブル３
からアンローダ位置へトレイ２を搬送する出口搬送レー
ルである。また、図１１において８はトレイ２に収納さ
れたデバイス１をマーキング位置５に位置決めする位置
決め部材である。

【０００３】次に動作について説明する。デバイス１が
Ｎ×Ｍ列配置されたトレイ２はローダ位置のマガジン等
に複数枚収納されている。このマガジン等に収納されて
いるトレイ２は１枚づつ取り出されて、入口搬送レール
６を介してＸ−Ｙテーブル３にセットされる。Ｘ−Ｙテ
ーブル３はトレイ２をＸ，Ｙ方向に移動して各々のデバ
イス１をマーキング位置５に位置決めする。マーキング
位置５に位置決めされたデバイス１は位置決め部材８で
所定の高さ位置まで押し上げられる。これにより、デバ
イス１はＸ−Ｙ方向及び高さ方向の位置決めが行なわれ
る。位置決め完了後、レーザ本体４からレーザ光を照射
してデバイス１の表面にロットＮＯ．や商標等をマーキ
ング加工する。次に、位置決め部材８を下降してマーキ
ング加工されたデバイス１をトレイ２へ戻す。以下、上
述した工程を順次繰り返して他のデバイス１のマーキン
グを行う。

【０００４】そして、トレイ２内の全てのデバイス１の
マーキング加工完了後、トレイ２は搬送レール７を介し
てアンローダ部のマガジン等に収納される。尚、デバイ
ス１の表面に付着したススや汚れは、マーキング加工完
了後に搬送レールの途中に設けられたブラシ（図示略）
を回転させ表面に接触させることにより取除くか、ある
いは人手で拭き取られる。また、品種の異なるデバイス
１は形状の異なる新たなトレイに載置される。この新た
なトレイを搬送する場合は搬送レール６，７等を新たな
トレイ２の形状に合わせて交換する。一方、搬送レール
６，７を交換しないで品種の異なるデバイスにマーキン
グ加工を行う場合は、別の新たな詰替装置を用いて搬送
レール６，７に適した専用トレイにデバイス１を詰めか
えて搬送していた。また、専用トレイを使用しない場合
は、品種の異なるデバイス１を入口搬送レール６へ直接
セットしてピッチ送りでマーキング位置に位置決めし、
マーキング加工完了後出口搬送レール７でデバイス１を
ピッチ送りして再度トレイに戻していた。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】従来のレーザマーキン
グ装置は以上のように構成されているので、デバイス１
をマーキング位置５に位置決めするためにはトレイ２を
Ｘ，Ｙ方向に移動してマーキング位置に位置決めし、か
つ、位置決めされたデバイス１を所定高さ位置までトレ
イ２から上昇させて垂直方向の位置決めを行う必要があ
る。従って、デバイス１を水平方向に位置決めするＸ−
Ｙテーブル３と垂直方向に位置決めする位置決め部材が
必要になるので、レーザマーキング装置が複雑になると
いう問題があり、また、垂直方向に位置決めするために
デバイス１を上下移動するのでデバイス１のマーキング
に時間がかかり、スループットが悪いという問題点があ
った。

【０００６】また、外形の異なる他のトレイ２に配置さ
れた品種の異なるデバイス１をマーキング加工する場合
は、トレイ２の形状に対応して搬送レール等を交換する
必要があり、交換作業等の段取替えが煩雑になる。従っ
て、手間と時間がかかるので稼動率が低下するという問
題点があった。一方、搬送レールを交換しないで別の詰
替装置でマーキング装置用のトレイ２にデバイス１を詰
め替える場合は、別の新たな詰替装置が１台必要なので
コストがかさむと共に余分な設置スペースが必要になる
という問題点があった。

【０００７】また、種々のトレイ２から取り出されたデ
バイス１を直接搬送レールに配置してデバイス１単体で
マーキング位置まで搬送してマーキング加工を行う場合
は、デバイス１を直接ハンドリングする回数や搬送する
回数が増えるのでリード（端子）の足曲がりや外観不良
等の不具合が発生しやすく、またジャムも発生しやすい
という問題点があった。

【０００８】また、デバイス１の表面に付着したススお
よび汚れはマーキングの後工程において人手で拭き取る
必要があるので手間と時間がかかり、スス残りやリード
曲げ等の外観不良が発生しやすいという問題点があっ
た。

【０００９】請求項１乃至請求項３０の発明は上記のよ
うな問題点を解消するためになされたもので、マーキン
グ位置への位置決め時間の短縮化を図ると共に異なった
品種の被加工物に対応する際の段取替えの容易化を図
り、かつ、コンパクト化及び低価格化を図ると共に高速
で品質の高いマーキング加工を行うことができるレーザ
マーキング装置又は方法を提供することを目的とする。

【００１０】さらに請求項２，１１，２０，２６の発明
は、マーキング時に被加工物の表面に付着したススや汚
れを人手で拭き取らずに短時間の洗浄で除去することが
できるレーザマーキング装置又は方法を提供することを
目的とする。

【００１１】さらに請求項４，１３の発明は、被加工物
を搬送する際のアイドルタイムをなくしてスループット
の高いレーザマーキング装置又は方法を提供することを
目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明に係るレ
ーザマーキング装置は、被加工物を受部に詰替え収納し
て垂直方向にも位置決めて搬送する搬送パレットを設け
るとともに、この搬送パレットをローダ位置からアンロ
ーダ位置に向って移動させるための滑走路と、この滑走
路の途上において搬送パレットを移動させてその受部に
収納された被加工物をマーキング位置に位置決めする搬
送手段とを設けたものである。

【００１３】請求項２の発明に係るレーザマーキング装
置は、滑走路のマーキング位置とアンローダ位置間に洗
浄手段を設け、この洗浄手段でマーキング加工された被
加工物を搬送パレットに収納した状態で洗浄するもので
ある。

【００１４】請求項３の発明に係るレーザマーキング装
置は、搬送パレットの受部に収納される被加工物の品種
に無関係に搬送パレットの外形を同一に形成し、この受
部は品種の異なる被加工物を水平方向及び垂直方向に位
置決めする位置決め角及び位置決め溝を備えたものであ
る。

【００１５】請求項４の発明に係るレーザマーキング装
置は、搬送手段の搬送爪を２つ以上有し、各々の搬送爪
は滑走路の側部に設けられた送り機構で搬送方向及び搬
送方向に直交する方向に搬送するものである。

【００１６】請求項５の発明に係るレーザマーキング装
置は、ローダ位置とマーキング位置間に検知手段を設
け、この検知手段で搬送パレットに収納された被加工物
の位置を検知して、この検知情報に基づいてレーザ本体
からレーザ光を照射するものである。

【００１７】請求項６の発明に係るレーザマーキング装
置は、トレイに配置された被加工物を仮位置決めする仮
位置決めステージと、被加工物をトレイから仮位置決め
ステージに詰替えると共に仮位置決めステージから搬送
パレットの受部に詰替え収納する詰替ヘッドとを備え、
仮位置決めステージ及び詰替ヘッドはトレイ及び搬送パ
レットの種類の変化に対応して変換されるものである。

【００１８】請求項７の発明に係るレーザマーキング装
置は、仮位置決めステージに配置される被加工物の配列
を１列又は複数列のいずれか一つを任意に選択すること
ができるものである。

【００１９】請求項８の発明に係るレーザマーキング装
置は、被加工物を収納する搬送パレットの受部が１列に
形成されたものである。

【００２０】請求項９の発明に係るレーザマーキング装
置は被加工物を収納する搬送パレットの受部が複数列に
形成されたものである。

【００２１】請求項１０の発明に係るレーザマーキング
方法は、被加工物を垂直方向にも位置決めする受部が形
成された搬送パレットの前記受部に、被加工物を詰替え
収納し、この搬送パレットを水平移動させて前記受部に
収納された被加工物をマーキング位置に位置決めするこ
とで、順次複数の被加工物をマーキング加工するもので
ある。

【００２２】請求項１１の発明に係るレーザマーキング
方法は、マーキング位置とアンローダ位置間に設けた洗
浄手段により、前記マーキング位置でマーキング加工さ
れた被加工物を洗浄するものである。

【００２３】請求項１２の発明に係るレーザマーキング
方法は、搬送パレットとして、被加工物の品種に応じて
異なる受部を有し、外形を被加工物の品種によらず同一
とした複数種の搬送パレットを用意し、マーキング加工
しようとする被加工物の品種に応じて前記搬送パレット
の種類を交換するものである。

【００２４】請求項１３の発明に係るレーザマーキング
方法は、搬送手段を、滑走路において搬送パレットに連
結する搬送爪を２つ以上有するものとし、各々の搬送爪
に連結された各々の搬送パレットを滑走路の側部に設け
られた送り機構で搬送方向及び搬送方向に直交する方向
に搬送して、前記各々の搬送パレットの受部に収納され
た被加工物をマーキング位置に位置決めするものであ
る。

【００２５】請求項１４の発明に係るレーザマーキング
方法は、ローダ位置とマーキング位置間に配設した検知
手段により、マーキング位置に位置決めされる被加工物
を検知し、この検知手段からの検知情報に基づいて前記
レーザ本体により被加工物にレーザ光を照射してマーキ
ング加工するものである。

【００２６】請求項１５の発明に係るレーザマーキング
方法は、被加工物をローダ位置において搬送パレットに
詰替え収納するにあたり、トレイ及び搬送パレットの種
類の変化に対応して変換される詰替ヘッドにより、トレ
イに載置された被加工物をまずトレイ及び搬送パレット
の種類の変化に対応して変換される仮位置決めステージ
に詰替え、仮位置決めステージにより、被加工物を仮位
置決めした後、詰替ヘッドにより、被加工物を仮位置決
めステージから搬送パレットの受部に詰替え収納するも
のである。

【００２７】請求項１６の発明に係るレーザマーキング
方法は、仮位置決めステージを、トレイ及び搬送パレッ
トの種類の変化に対応して変換するとともに、トレイに
配置された被加工物を選択された１列又は複数列のいず
れか１つの配列で仮位置決めするものである。

【００２８】請求項１７の発明に係るレーザマーキング
方法は、搬送パレットを１列に配列された受部を備える
ものとし、複数個の被加工物を同時搬送してマーキング
加工するものである。

【００２９】請求項１８の発明に係るレーザマーキング
方法は、搬送パレットを複数列に配列された受部を備え
るものとし、複数個の被加工物を同時搬送してマーキン
グ加工するものである。

【００３０】請求項１９の発明に係るレーザマーキング
装置は、被加工物を底部に収納する上下に開口した収納
部を複数有するトレイと、該トレイの収納部に下方から
挿入自在な位置決め部材が上面に収納部と同数同配列に
形成され、前記トレイの下面側に押しあてられて各位置
決め部材が各収納部に挿入されると、各位置決め部材の
先端が被加工物の下側に当接して支持することで各収納
部の被加工物を垂直方向にも位置決める搬送トレイとを
有し、この搬送トレイをローダ側において前記トレイに
組み合わせた後に水平移動させ、トレイ上の各被加工物
をレーザ加工すべく順次マーキング位置に位置決め、ア
ンローダ側において搬送トレイをトレイから取外すため
の結合部，滑走路，搬送手段及びセパレート部等を備え
るものである。

【００３１】請求項２０の発明に係るレーザマーキング
装置は、マーキング位置とセパレート部間に、マーキン
グ位置でマーキング加工された被加工物をトレイに収納
されたまま洗浄する洗浄手段を設けたものである。

【００３２】請求項２１の発明に係るレーザマーキング
装置は、搬送トレイとして、被加工物の品種に無関係に
被加工物の表面を一定高さに位置決めるよう、被加工物
の品種に応じて異なる寸法の位置決め部材を有する複数
種の搬送トレイを備え、これら搬送トレイの外形を被加
工物の品種によらず同一としたものである。

【００３３】請求項２２の発明に係るレーザマーキング
装置は、マーキング加工後の被加工物のマークを検査す
る検査機を設けたものである。

【００３４】請求項２３の発明に係るレーザマーキング
装置は、レーザ本体が、マーキング加工前に行なわれた
被加工物のテスト結果に基づき、トレイ内の被加工物に
それぞれ異なったマーキング加工を行なうものである。

【００３５】請求項２４の発明に係るレーザマーキング
装置は、結合部あるいはセパレート部には、搬送トレイ
を昇降させることでトレイに組み合わせ又はトレイから
外すべく、搬送トレイの下面を支持して昇降する昇降支
持部材を設け、搬送トレイの下面には前記昇降支持部材
の上面に形成された搬送方向の凸状ガイドに摺動自在に
はまり込む搬送方向のガイド溝を形成したものである。

【００３６】請求項２５の発明に係るレーザマーキング
方法は、被加工物を、上下に開口した収納部を複数有す
るトレイの前記収納部の底部にそれぞれ収納し、この被
加工物が収納されたトレイを一枚ずつ結合部に供給し、
結合部において、前記収納部に下方から挿入自在な位置
決め部材が上面に前記収納部と同数同配列に形成された
搬送トレイを、トレイの下面側に押しあてて組み合わ
せ、各位置決め部材の先端を各被加工物の下側に当接さ
せて支持することで各収納部の被加工物を垂直方向にも
位置決めし、このように組合されたトレイと搬送トレイ
を滑走路上を移動させて、各収納部の被加工物をレーザ
本体のマーキング位置に順次位置させてマーキング加工
し、その後セパレート部においてトレイから搬送トレイ
を外すことで、複数の被加工物をトレイに載せたままマ
ーキング加工するものである。

【００３７】請求項２６の発明に係るレーザマーキング
方法は、マーキング位置とセパレート部間において、前
記マーキング位置でマーキング加工された被加工物を洗
浄手段によりトレイに収納したまま洗浄するものであ
る。

【００３８】請求項２７の発明に係るレーザマーキング
方法は、搬送トレイとして、被加工物の品種に無関係に
被加工物の表面を一定高さに位置決めるよう、被加工物
の品種に応じて異なる寸法の位置決め部材を有する複数
種の搬送トレイであって、外形を被加工物の品種によら
ず同一とした複数種の搬送トレイを用意し、マーキング
加工しようとする被加工物の品種に応じて前記搬送トレ
イの種類を交換するものである。

【００３９】請求項２８の発明に係るレーザマーキング
方法は、マーキング加工後の被加工物のマークを検査機
により検査するものである。

【００４０】請求項２９の発明に係るレーザマーキング
方法は、レーザ本体により、マーキング加工前に行なわ
れた被加工物のテスト結果に基づき、トレイ内の被加工
物にそれぞれ異なったマーキング加工を行なうものであ
る。

【００４１】請求項３０の発明に係るレーザマーキング
方法は、結合部あるいはセパレート部では、搬送トレイ
の下面を支持して昇降する昇降支持部材により搬送トレ
イを昇降させることで、搬送トレイをトレイに組み合わ
せ又はトレイから外す処理を行ない、結合部から搬送ト
レイが移動する際あるいはセパレート部に搬送トレイが
移動してくる際には、搬送トレイの下面に形成された搬
送方向のガイド溝と前記昇降支持部材の上面に形成され
た搬送方向の凸状ガイドとを摺動自在に嵌合させること
で、搬送トレイを案内するようにしたものである。

【００４２】

【作用】請求項１の発明におけるレーザマーキング装置
は、被加工物を水平方向及び垂直方向に位置決めする受
部が形成された搬送パレットを備え、この搬送パレット
はローダ位置においてトレイの被加工物が受部に詰替え
られ、アンローダ位置において受部の被加工物が空のト
レイに詰替えられる。ローダ位置とアンローダ位置間に
は滑走路が伸長され、この滑走路は搬送パレットを滑走
させる。また、搬送手段の搬送爪は連結した搬送パレッ
トをローダ位置からアンローダ位置まで搬送すると共に
被加工物をマーキング位置に位置決めする。そして、レ
ーザ本体はマーキング位置に被加工物が位置決めされる
とレーザを照射して被加工物をマーキング加工する。さ
らに、供給手段はアンローダ位置において空になった搬
送パレットをローダ位置に供給する。従って、被加工物
を垂直方向に移動せずにマーキング位置に位置決めする
ことができ、かつ、搬送パレットを介して被加工物を搬
送するので品種の異なる被加工物にマーキング加工を行
う場合でも搬送系の段取替えが不要となり、段取替えに
かかる手間及び時間を短縮することができる。

【００４３】請求項２の発明におけるレーザマーキング
装置は、滑走路のマーキング位置とアンローダ位置間に
洗浄手段を設け、この洗浄手段でマーキング加工された
被加工物を洗浄するので、マーキング時に被加工物に付
着したスス及び汚れを人手を使用せずに被加工物を搬送
パレットに収納した状態で除去することができる。

【００４４】請求項３の発明におけるレーザマーキング
装置は、搬送パレットの受部に収納された被加工物の品
種に無関係に搬送パレットの外形を同一に形成し、この
受部は多種の被加工物を水平方向及び垂直方向に位置決
めする位置決め角及び位置決め溝を備えている。従っ
て、被加工物を垂直方向に移動せずにマーキング位置に
位置決めすることができる。

【００４５】請求項４の発明におけるレーザマーキング
装置は、搬送手段の搬送爪を２つ以上有し、各々の搬送
爪は滑走路の側部に設けられた送り機構で搬送方向及び
搬送方向に直交する方向に搬送する。このように、搬送
爪を２つ以上備えることにより、簡素な構造で搬送手段
のアイドルタイムを減少することができる。

【００４６】請求項５の発明におけるレーザマーキング
装置は、ローダ位置とマーキング位置間に検知手段を設
け、この検知手段で搬送パレットの被加工物の位置を検
知して、この検知情報に基づいてレーザ本体からレーザ
を照射する。従って、被加工物を正確にマーキング加工
することができる。

【００４７】請求項６の発明におけるレーザマーキング
装置は、トレイに配置された被加工物を仮位置決めする
仮位置決めステージと、被加工物をトレイから仮位置決
めステージに詰替えると共に仮位置決めステージから搬
送パレットの受部に詰替え収納する詰替ヘッドとを備
え、仮位置決めステージ及び詰替ヘッドをトレイ及び搬
送パレットの種類の変化に対応して変換する。従って、
異なる種類の被加工物をマーキング加工する場合に搬送
系の段取替えが不要となる。

【００４８】請求項７の発明におけるレーザマーキング
装置は、仮位置決めステージに配置される被加工物の配
列を１列又は複数列のいずれか一つから任意に選択でき
るので、マーキング加工量を任意に選択することができ
る。

【００４９】請求項８の発明におけるレーザマーキング
装置は、被加工物を収納する受部をＮ×１列搬送パレッ
トに形成したので、搬送パレットを搬送方向に移動する
だけで被加工物をマーキング位置に位置決めすることが
できる。

【００５０】請求項９の発明におけるレーザマーキング
装置は、被加工物を収納する受部をＮ×２列以上搬送パ
レットに形成したので、搬送パレットを搬送方向と搬送
方向に直交する方向に移動することにより、短時間で多
数の被加工物をマーキング加工することができる。

【００５１】請求項１０の発明におけるレーザマーキン
グ方法は、被加工物を水平方向及び垂直方向に位置決め
する受部が形成された搬送パレットに被加工物を収納し
て、この搬送パレットを滑走路により搬送する途中で、
水平移動させてマーキング位置に位置決めしてレーザ加
工を行なう。このため、被加工物のマーキング位置にお
ける高さ位置が所定高さになるように、予め受部の形状
寸法を設定しておけば、マーキング位置に位置決める際
に被加工物を垂直方向に移動する必要がなくなる。

【００５２】請求項１１の発明におけるレーザマーキン
グ方法は、滑走路のマーキング位置とアンローダ位置間
に洗浄手段を設け、この洗浄手段でマーキング加工され
た被加工物を洗浄するので、マーキング時に被加工物に
付着したスス及び汚れを人手を使用せずに被加工物を搬
送パレットに収納した状態で除去することができる。

【００５３】請求項１２の発明におけるレーザマーキン
グ方法は、前記搬送パレットとして、被加工物の品種に
応じて異なる受部を有し、外形を被加工物の品種によら
ず同一とした複数種の搬送パレットを用意し、マーキン
グ加工しようとする被加工物の品種に応じて前記搬送パ
レットの種類を交換する。このため、搬送パレットを交
換するだけで被加工物の品種の違いに対応することが可
能となり、品種の異なる被加工物にマーキング加工を行
う場合でも搬送系の段取替えが不要となって、段取替え
にかかる手間及び時間を短縮することができる。

【００５４】請求項１３の発明におけるレーザマーキン
グ方法は、前記搬送手段を、前記滑走路において前記搬
送パレットに連結する搬送爪を２つ以上有するものと
し、各々の搬送爪に連結された各々の搬送パレットを滑
走路の側部に設けられた送り機構で搬送方向及び搬送方
向に直交する方向に搬送して、前記各々の搬送パレット
の受部に収納された被加工物をマーキング位置に位置決
めする。このため、簡素な構造で高速な位置決めが可能
となる。

【００５５】請求項１４の発明におけるレーザマーキン
グ方法は、ローダ位置とマーキング位置間に設けた検知
手段で搬送パレットの被加工物の位置を検知して、この
検知情報に基づいてレーザ本体からレーザを照射する。
従って、被加工物を正確にマーキング加工することがで
きる。

【００５６】請求項１５の発明におけるレーザマーキン
グ方法は、前記被加工物をローダ位置において前記搬送
パレットに詰替え収納するにあたり、詰替ヘッドにより
前記トレイに載置された被加工物をまず仮位置決めステ
ージに詰替え、前記仮位置決めステージにより前記被加
工物を仮位置決めした後、前記詰替ヘッドにより前記被
加工物を前記仮位置決めステージから前記搬送パレット
の受部に詰替え収納する。そして、仮位置決めステージ
及び詰替ヘッドをトレイ及び搬送パレットの種類の変化
に対応して変換する。従って、異なる種類の被加工物を
マーキング加工する場合にローダ位置における搬送系の
段取替えが不要となる。

【００５７】請求項１６の発明におけるレーザマーキン
グ方法は、仮位置決めステージに配置される被加工物の
配列を１列又は複数列のいずれか一つから任意に選択で
きるので、マーキング加工量を任意に選択することがで
きる。

【００５８】請求項１７の発明におけるレーザマーキン
グ方法は、被加工物を収納する受部をＮ×１列搬送パレ
ットに形成したので、マーキング位置を通過する線上に
被加工物が位置するように搬送パレットの搬送位置を設
定すれば、搬送パレットを短に直線的に搬送方向に移動
するだけで被加工物をマーキング位置に位置決めするこ
とができる。

【００５９】請求項１８の発明におけるレーザマーキン
グ方法は、被加工物を収納する受部をＮ×２列以上搬送
パレットに形成したので、搬送パレットを搬送方向と搬
送方向に直交する方向に移動することにより、短時間で
多数の被加工物をマーキング加工することができる。

【００６０】請求項１９の発明におけるレーザマーキン
グ装置は、搬送トレイの各位置決め部材がトレイの各収
納部に下方からいっせいに挿入されて各収納部の被加工
物の相対位置が同時に位置決めされた後、搬送トレイが
マーキング位置に搬送されてマーキング加工が行なわれ
る。このため、前記位置決め部材による被加工物の位置
決め高さがマーキング位置における所定高さになるよう
に、予め前記位置決め部材の形状寸法を設定しておけ
ば、マーキング位置に位置決める際に被加工物を垂直方
向に移動する必要がなくなる。しかも本装置であると、
被加工物は、ローダ部においてマガジンから取り出さ
れ、アンローダ部においてマガジンに収納されるまで、
あくまで同一のトレイに収納された状態で処理されるか
ら、被加工物を詰替える手間が全く不要となる。

【００６１】請求項２０の発明におけるレーザマーキン
グ装置は、前記マーキング位置とセパレート部間に設け
られた洗浄手段が、前記マーキング位置でマーキング加
工された被加工物を前記トレイに収納されたまま洗浄す
る。このため、マーキングされた被加工物の表面に付着
するススや汚れを人手を使用せずにしかも被加工物をト
レイから取り出すことなく短時間に自動的に除去でき
る。

【００６２】請求項２１の発明におけるレーザマーキン
グ装置は、前記搬送トレイとして、被加工物の品種に無
関係に被加工物の表面を一定高さに位置決めるよう、被
加工物の品種に応じて異なる寸法の位置決め部材を有す
る複数種の搬送トレイを備え、これら搬送トレイの外形
を被加工物の品種によらず同一としたから、品種の異な
る被加工物にマーキング、洗浄を行なう場合でも、搬送
トレイを交換するだけで対処でき、搬送系の段取替が不
要となり、段取替えにかかる時間及び手間を短縮するこ
とができる。

【００６３】請求項２２の発明におけるレーザマーキン
グ装置は、マーキング加工後の被加工物のマークを検査
する検査機を設けたから、レーザ本体の故障によるマー
クミスやマークデータ間違い等によるミスマーク等が検
出でき、確実なマーキングが行なえる。

【００６４】請求項２３の発明におけるレーザマーキン
グ装置は、前記レーザ本体が、マーキング加工前に行な
われた被加工物のテスト結果に基づき、トレイ内の被加
工物にそれぞれ異なったマーキング加工を行なうから、
試験後マーキング加工前に被加工物を分類するという作
業が不要となり、工期短縮及び省力化に貢献できる。

【００６５】請求項２４の発明におけるレーザマーキン
グ装置は、昇降支持部材により搬送トレイの下面を支持
して昇降させることで、前記結合部あるいはセパレート
部における搬送トレイのトレイへの組み合わせ又はトレ
イからの取外しが行なわれるから、搬送トレイがトレイ
の搬送位置の下側に待機する配置関係となり、装置の設
置面積の低減化が図れる。また、搬送トレイの下面には
前記昇降支持部材の上面に形成された搬送方向の凸状ガ
イドに摺動自在にはまり込む搬送方向のガイド溝が形成
されているから、搬送トレイが結合部から後流側に移動
する際、あるいは搬送トレイが上流側からセパレート部
に移動してくる際には、このガイド溝と凸状ガイドの嵌
合による案内で搬送トレイが前記昇降支持部材に対して
円滑かつ正確に位置決めされる。

【００６６】請求項２５の発明におけるレーザマーキン
グ方法は、搬送トレイの各位置決め部材をトレイの各収
納部に下方からいっせいに挿入して各収納部の被加工物
の相対位置を同時に位置決めした後、搬送トレイをマー
キング位置に搬送してマーキング加工を行なう。このた
め、前記位置決め部材による被加工物の位置決め高さが
マーキング位置における所定高さになるように、予め前
記位置決め部材の形状寸法を設定しておけば、マーキン
グ位置に位置決める際に被加工物を垂直方向に移動する
必要がなくなる。しかも本方法であると、被加工物は、
ローダ部においてマガジンから取り出され、アンローダ
部においてマガジンに収納されるまで、あくまで同一の
トレイに収納された状態で処理できるから、被加工物を
詰替える手間が全く不要となる。

【００６７】請求項２６の発明におけるレーザマーキン
グ方法は、前記マーキング位置とセパレート部間に設け
られた洗浄手段で、前記マーキング位置でマーキング加
工された被加工物を前記トレイに収納されたまま洗浄す
る。このため、マーキングされた被加工物の表面に付着
するススや汚れを人手を使用せずにしかも被加工物をト
レイから取り出すことなく短時間に自動的に除去でき
る。

【００６８】請求項２７の発明におけるレーザマーキン
グ方法は、前記搬送トレイとして、被加工物の品種に無
関係に被加工物の表面を一定高さに位置決めるよう、被
加工物の品種に応じて異なる寸法の位置決め部材を有す
る複数種の搬送トレイを用意し、これら搬送トレイの外
形を被加工物の品種によらず同一としたから、品種の異
なる被加工物にマーキング、洗浄を行なう場合でも、搬
送トレイを交換するだけで対処でき、搬送系の段取替が
不要となり、段取替えにかかる時間及び手間を短縮する
ことができる。

【００６９】請求項２８の発明におけるレーザマーキン
グ方法は、マーキング加工後の被加工物のマークを検査
機により検査するから、レーザ本体の故障によるマーク
ミスやマークデータ間違い等によるミスマーク等が検出
でき、確実なマーキングが行なえる。

【００７０】請求項２９の発明におけるレーザマーキン
グ方法は、マーキング加工前に行なわれた被加工物のテ
スト結果に基づき、トレイ内の被加工物にそれぞれ異な
ったマーキング加工を行なうから、試験後マーキング加
工前に被加工物を分類するという作業が不要となり、工
期短縮及び省力化に貢献できる。

【００７１】請求項３０の発明におけるレーザマーキン
グ方法は、昇降支持部材により搬送トレイの下面を支持
して昇降させることで、前記結合部あるいはセパレート
部における搬送トレイのトレイへの組み合わせ又はトレ
イからの取外しを行なうから、搬送トレイがトレイの搬
送位置の下側に待機する配置関係となり、装置の設置面
積の低減化が図れる。また、搬送トレイの下面には前記
昇降支持部材の上面に形成された搬送方向の凸状ガイド
に摺動自在にはまり込む搬送方向のガイド溝を形成した
から、搬送トレイが結合部から後流側に移動する際、あ
るいは搬送トレイが上流側からセパレート部に移動して
くる際には、このガイド溝と凸状ガイドの嵌合による案
内で搬送トレイを前記昇降支持部材に対して円滑かつ正
確に位置決めできる。

【００７２】

【実施例】

実施例１．以下、請求項１〜８及び請求項１０〜１４，
１６，１７の発明の一実施例について説明する。図１は
この実施例によるレーザマーキング装置の全体図であ
り、図２（ａ）は同装置に使用された搬送パレットを示
す斜視図であり、図２（ｂ）は搬送パレットの他の実施
例を示す斜視図である。また、図３は図２（ａ）のＡ−
Ａ断面図であり、図４は本レーザマーキング装置の要部
拡大図である。尚、図１０，１１に示す従来のレーザマ
ーキング装置と同一類似部材については同一符号を付し
て説明を省略する。

【００７３】図１において、９はトレイ２内のデバイス
（被加工物）１を仮位置決めする仮位置決めステージ、
１１はデバイス１を収納する外形寸法が同一の搬送パレ
ットである。搬送パレット１１には受部１０が形成され
ていて、受部１０は位置決め角１１ａ及び位置決め溝１
１ｂで形成されている（図２（ａ），図３参照）。位置
決め角１１ａはデバイス１を水平方向（Ｘ−Ｙ方向）に
位置決めする。位置決め溝１１ｂは位置決め角１１ａの
周囲に形成されていて、デバイス１の端子と受部１０と
の接触を回避する。これにより、デバイス１は受台１０
ａに収納されるので、垂直方向にも位置決めされる。

【００７４】また、搬送パレット１１の側部には位置決
め溝１１ｂに対応して同数以上の穴１１ｃが形成されて
いて、さらに、搬送パレット１１の両端部には位置決め
ピン１１ｄ及び位置決め穴１１ｅが形成されている。図
２（ｂ）において、１１ｆはデバイス１と品種の異なる
デバイス１ａを収納可能な搬送パレットの一例を示して
いて、搬送パレット１１ｆは外形寸法が搬送パレット１
１と同一に形成されているが、デバイスの収納数が異な
るように形成されている。

【００７５】また図１において、１２は搬送パレット１
１が滑走する固定定盤又はレール（以下滑走路と呼す）
であり、１３は搬送パレット１１を保持してＸ−Ｙ方向
へ搬送する搬送手段である。搬送手段１３は図４に示す
ように、搬送爪１３ａを有していて、搬送爪１３ａはレ
ーザ本体４の上流側に設けられている。搬送爪１３ａは
図示しない駆動部によってＸ軸レール１３ｃ及びＹ軸レ
ール１３ｄに沿って移動することができる。また、搬送
手段１３はレーザ本体４の下流側に搬送爪１３ｂを有し
ている。搬送爪１３ｂは搬送爪１３ａと同様にＸ軸レー
ル、Ｙ軸レールに沿って移動することができるように構
成されている。なおここで、Ｘ軸レール、Ｙ軸レール
は、各搬送爪の送り機構を構成している。

【００７６】また、１４はマーキング後デバイス１の表
面上のスス等を洗浄する洗浄手段、１５はマーキング及
び洗浄が行なわれたデバイス１を配置する空トレイであ
り、１６は空の搬送パレット１１をアンローダ位置から
ローダ位置へ供給する供給手段である。

【００７７】さらに、１７は搬送途中の搬送パレット１
１内のデバイス１の有無を検査する検知手段で、検知手
段１７はマーキング位置５の上流側のセンサ１７ａ及び
下流側のセンサ１７ｂを備えている。１８はマーキング
加工の前工程でデバイス１の表面上のゴミ、静電気等を
除去するエアブロー手段、１９はマーキング位置５でマ
ーキング時に発生するススを吸引する集塵ダクトであ
る。

【００７８】なお図示省略しているが、本実施例の装置
は、デバイス１をトレイ２から仮位置決めステージ９に
詰替えると共に仮位置決めステージ９から搬送パレット
１１の受部１０に詰替え収納する詰替ヘッドを備えてい
る。

【００７９】次に動作について説明する。先ず、ローダ
部においてトレイ２内にＮ×Ｍ列配置された複数のデバ
イス１を前記詰替ヘッドで、仮位置決めステージ９にＮ
×２列セットする。これにより、Ｎ×２列のデバイス１
が仮位置決めステージ９に仮位置決めされる。仮位置決
めされたＮ×２列のデバイス１は前記詰替ヘッドで搬送
パレット１１にＮ×１列に収納される。この場合、デバ
イス１は搬送パレット１１の受部１０のＸ−Ｙ（水平）
方向及び高さ（垂直）方向に対して位置決めされ、さら
に、搬送パレット１１は位置決めピン１１ｄ及び位置決
め穴１１ｅでローダ位置に位置決めされる。

【００８０】このようにローダ位置に位置決めされた搬
送パレット１１は滑走路１２上に載置され、さらに、位
置決めピン１１ｄ及び位置決め穴１１ｅを介して搬送手
段１３の搬送爪１３ａに連結される（図１，図４参
照）。連結完了後、搬送手段１３の駆動部を駆動して搬
送爪１３ａを介して搬送パレット１１を滑走路１２に沿
ってレーザ本体４の方向（下流側）に移動する。これに
より、搬送パレット１１内のデバイス１がエアブロー手
段１８に到達し、到達したデバイス１はエアブロー手段
１８で表面上のゴミ等が除去される。

【００８１】デバイス１のゴミ等が除去された後、搬送
手段１３の駆動部を再駆動して搬送爪１３ａを介して搬
送パレット１１を下流側にピッチ送り又は連続送りす
る。これにより、搬送パレット１１内のデバイス１をマ
ーキング位置５に位置決めし、レーザ本体４から照射し
たレーザ光でデバイス１の表面に商標やロットＮＯ．等
をマーキング加工する。そして、マーキング加工と同時
に集塵ダクト１９を介してマーキング加工時に発生する
ススを吸引する。このように、マーキング加工の前工程
でデバイス１の表面上のゴミ等を除去し、さらにマーキ
ング加工中にススを吸引することによりマーキングミス
を防止することができる。尚、マーキング加工中にデバ
イス１が収納された新たな搬送パレット１１が滑走路１
２のローダ位置に載置され、新たな搬送パレット１１は
搬送手段１３の搬送爪１３ｂに連結される。

【００８２】ところで、マーキング加工の前工程におい
て、検知手段１７のセンサ１７ａがデバイス１の有無及
び配置されたデバイス１に対応する穴１１ｃを検知す
る。これにより、搬送パレット１１のどの位置にデバイ
ス１が配置されているかの情報を得ることができ、この
情報はシーケンサ（図示せず）に伝送される。そして、
シーケンサに伝送された情報に基づいてレーザ本体４か
らレーザ光が照射されて、デバイス１の表面にマーキン
グ加工が正確に行なわれる。

【００８３】マーキング加工完了後、搬送手段１３の駆
動部を再駆動して搬送路１２に沿って搬送パレット１１
を下流側の洗浄手段１４まで搬送する。洗浄手段１４は
搬送パレット１１内のマーキング済デバイス１の表面上
のススや汚れ等デバイス１が搬送パレット１１に収納さ
れた状態で洗浄する。洗浄完了後、センサ（検知手段）
１７のセンサ１７ｂで搬送パレット１１内のデバイス１
の数を確認する。次いで、搬送パレット１１はアンロー
ダ位置まで搬送され、アンローダ位置に搬送された搬送
パレット内のデバイス１は図示しない前記詰替ヘッドに
より空トレイ１５内に収納される。一方、空になった搬
送パレット１１は供給手段１６でローダ位置にもどされ
る。尚、搬送手段１３の搬送爪１３ｂに連結された新た
な搬送パレット１１は、搬送爪１３ａに連結された搬送
パレット１１と同様に処理される。上述した工程を順次
繰り返してデバイス１を順次マーキングする。

【００８４】以上のように上記レーザマーキング装置あ
るいはレーザマーキング方法によれば、搬送パレット１
１の受部１０に配置される被加工物１の品種に無関係に
搬送パレット１１の外形を同一に形成し、この受部１０
は多種の被加工物１を水平方向及び垂直方向に位置決め
する位置決め角１１ａ及び位置決め溝１１ｂで構成され
ているので、被加工物１を垂直方向に移動せずにマーキ
ング位置に位置決めすることができ、かつ品種の異なる
被加工物１にマーキング加工を行う場合に、搬送系の段
取替えが不要となり、段取替えにかかる手間及び時間を
短縮することができるから、装置のコンパクト化及び低
価格化を図ると共に、高速で品質の高いマーキング加工
を行うことができ、さらに、被加工物１の端子曲がりや
外観不良等の不具合の発生を防止することができる。特
に上記実施例においては、搬送爪を２つ以上備えるよう
に構成したので、簡素な構造で搬送手段のアイドルタイ
ムを減少することができる。

【００８５】また、マーキング位置のアンローダ位置間
に洗浄手段１４を設け、この洗浄手段１４でマーキング
加工された被加工物１を洗浄するように構成したので、
マーキング時に被加工物１に付着したスス及び汚れを、
人手を使用せずに被加工物１を搬送パレット１１に収納
した状態で除去することができる。従って、生産性の向
上を図ることができる。

【００８６】また、検知手段１７ａで搬送パレット１１
の被加工物１の位置を検知して、この検知情報に基づい
てレーザ本体４からレーザ光を照射するように構成した
ので、被加工物１を正確にマーキング加工することがで
きる。従って、品質の高い製品を生産することができ
る。

【００８７】実施例２．次に、請求項１５の発明の実施
例を説明する。この実施例の装置構成は実施例１と同様
である。特徴的なのは、異なる種類のデバイス１ａを処
理するため、搬送パレット等を変換する点である。すな
わち、トレイ２と異なる種類の新たなトレイにデバイス
１と異なる種類のデバイス１ａ（図２（ｂ）参照）が収
納されている場合、搬送パレット１１をデバイス１ａ用
の搬送パレット１１ｆに変換し、さらに、新たなトレイ
の列数に対応した仮位置決めステージ９及び詰替ヘッド
に変換することにより、実施例１と同様にデバイス１ａ
のマーキングを行うことができる。

【００８８】実施例３．次に、請求項７，１６の発明の
他の実施例を説明する。この実施例は、基本構成を実施
例１と同じくし、仮位置決めステージにおけるデバイス
１の配列に特徴を有する。すなわち、実施例１において
は仮位置決めステージ９はデバイス１をＮ×２列にセッ
トしたが、これに限らず、デバイス１をＮ×１列にセッ
トしてもよく、またＮ×３列以上にセットしても同様の
効果が得られる。

【００８９】実施例４．次に、請求項９，１８の発明の
一実施例を説明する。この実施例は、基本構成を実施例
１と同じくし、搬送パレットにおけるデバイス１の配列
に特徴を有する。すなわち、実施例１においては、搬送
パレット１１はデバイス１をＮ×１列配置するようにし
たが、これに限らず、デバイス１をＮ×２列以上に配置
するようにしてもよい。但し、Ｎ×１列の場合のマーキ
ング位置への位置決めは搬送パレットを滑走路１２に沿
ってＸ方向に移動すればよいが、Ｎ×２列以上の場合は
搬送パレットをＸ−Ｙ方向の２方向に移動する必要があ
る。

【００９０】実施例５．次に、請求項１の発明の他の実
施例を説明する。この実施例は、基本構成を実施例１と
同じくし、トレイから搬送パレットへのデバイス１の詰
替え部の構成あるいは詰替え方法に特徴を有する。すな
わち、実施例１においては、仮位置決めステージ９を介
してデバイス１をトレイ２から搬送パレット１１に移載
したが、これに限らず、デバイス１をトレイ２から直接
搬送パレット１１に移載しても同様の効果が得られる。

【００９１】実施例６．次に請求項１９〜２１，２４〜
２７，又は３０の発明の一実施例を説明する。図５はこ
の実施例のレーザマーキング装置の全体平面図、図６は
同装置の全体側面図、図７は同装置におけるトレイと搬
送トレイを示す斜視図、図８は図７におけるＢ−Ｂ断面
図である。なお、実施例１と同一類似要素については同
一符合を付して説明を省略する。

【００９２】図５，６において、２０はデバイス１を底
部に収納するポケット２０ａが設けられたトレイであ
り、デバイス１の形状にかかわらず外形寸法が同一とさ
れており、側部にはポケット２０ａに対応して同数の穴
２０ｂが形成されている（図７参照）。２１はデバイス
１の形状にかかわらず外形寸法が同一の搬送トレイで、
各種デバイス１を水平方向及び垂直方向に位置決めする
位置決め部材２２が前記ポケット２０ａと同数同配列で
上面に突設されている。位置決め部材２２は、ポケット
２０ａに下側から挿入自在で、デバイス１の下面を支持
する水平面２２ａと、デバイス１の側面を支持する傾斜
面２２ｂとが上端に形成され、これら水平面２２ａと傾
斜面２２ｂとによりデバイス１をトレイ２０上において
水平方向及び垂直方向に位置決めるものである。なお、
この位置決め部材２２の形状寸法は、搬送トレイ２１を
そのまま水平移動させれば、マーキング位置５において
デバイス１が所定の高さとなるように設定されている。

【００９３】また、搬送トレイ２１の上面には、図７に
示す如く位置決め用の穴２１ｂと、トレイ２０の穴２０
ｂに嵌合する搬送用位置決めピン２３ａと、この搬送用
位置決めピン２３ａより長く径の小さい仮位置決めピン
２３ｂと、四隅に配置されトレイ２０の下面に当接して
これを受ける当接突起２４とが形成されている。さら
に、搬送トレイ２１の下面には、長手方向のガイド溝２
１ａが形成されている。

【００９４】なお、位置決め用の穴２１ｂと搬送用位置
決めピン２３ａの先端は、嵌合が円滑に行なわれるよ
う、例えば円錐状にとがった形状とされていることが好
ましい。また、搬送トレイ２１は装置内を例えば２〜３
枚循環するのみで、後述するように順次トレイ２０への
結合及び離脱を繰返して循環使用される。さらに、搬送
トレイ２１は、デバイス１を常に同じ高さに位置決める
べく、外形寸法は同一であるが位置決め部材２２が異な
るものがデバイス１の品種に応じて各種用意されてお
り、デバイス１の品種が異なる場合には、これら２〜３
枚が適宜交換される。

【００９５】また図５，６において、３２ａはトレイ２
０を複数枚収納するローダ側のマガジン、３２はマガジ
ン３２ａからトレイ２０を供給するローダ部、３３ａは
トレイ２０を複数枚収納するアンローダ側のマガジン、
３３はマガジン２３ａにトレイ２０を収納するアンロー
ダ部、２４ａ，２４ｂはトレイ２０が滑走するトレイ滑
走レール、２５は下方より搬送トレイ２１を上昇させ前
記トレイ２と組み合わせる結合部、２６はトレイ２０と
搬送トレイ２１のうち搬送トレイ２１のみを下方へ抜取
るセパレート部である。結合部２５は、図７に示すよう
に、上下動可能な位置決めピン２５ｃと、搬送トレイ２
１のガイド溝２１ａに摺動自在に嵌合する凸状のガイド
２５ｂとが上面に形成されたエレベーション２５ａ（昇
降支持部材）を備えており、セパレート部２６も同様の
構成のエレベーション２６ａ（昇降支持部材）を備え
る。ただし、セパレート部２６のエレベーション２６ａ
は、上下動自在な位置決めピン（前記位置決めピン２５
ｃに相当するもの）を有する必要はない。

【００９６】また、２７は前記結合部２５とセパレート
部２６の間にあり、搬送トレイ２１が滑走する固定定盤
又はレール（以下滑走路と呼ぶ）であり、２８は搬送ト
レイ２１を保持する搬送爪２８ａ，２８ｂを有し、図示
しない駆動部によってＸ−Ｙ方向へ搬送する搬送手段
で、滑走路２７を挟んで二組み設けられている。さら
に、２９はセパレート部２６で下降した搬送トレイ２１
をコンベアがエア搬送を用いて結合部２５の下方へ搬送
する返送部である。

【００９７】次に動作について説明する。まず、ローダ
部３２でマガジン３２ａ内に収納されたトレイ２０が図
示省略した切出しユニットにより一枚ずつ切出され、結
合部２５のトレイ滑走レール２４ａへセットされる。セ
ットされると、結合部２５の下方に待機していた搬送ト
レイ２１がエレベーション２５ａにより上方へ押上げら
れる。押上げられる前に位置決めピン２５ｃが上昇し、
搬送トレイ２１の位置決め穴２１ａに差込まれ、搬送ト
レイ２１の位置が決められる。エレベーション２５ａに
よって位置決めされた搬送トレイ２１は、先に滑走レー
ル２４ａにセットされていたトレイ２０と組合され、滑
走レール２４ａにより若干上方に持上げられる。

【００９８】搬送トレイ２１とトレイ２０の組み合わせ
の際、搬送トレイ２１の搬送用位置決めピン２３ａがト
レイ２０の穴２０ｂに下方より嵌合し、搬送トレイ２１
とトレイ２０の相対位置が位置決めされるとともに、位
置決め部材２２がトレイ２０に収納されたデバイス１を
トレイ２０の上面まで持上げトレイ内のデバイス１を全
数同時に高さ方向及びＸ−Ｙ方向（水平方向）に位置決
めする。そして最終的には、図８に示す如く、トレイ２
０は搬送トレイ２１の当接突起２４に下面が当接してセ
ットされる。

【００９９】なお、搬送トレイ２１の搬送用位置決めピ
ン２３ａでトレイ２０を位置決めする際、搬送トレイ２
１の片側に設けられた位置決めピン２３ａより径が小さ
く長い仮位置決めピン２３ｂが先に穴２０ｂに嵌合し
て、トレイ２０の仮位置決めがまず行なわれ、最終的に
搬送用位置決めピン２３ａで正確に行なわれる。

【０１００】搬送トレイ２１とトレイ２０の組み合わせ
完了後、搬送用位置決めピン２３ａに搬送手段２８の爪
２８ａが連結される。連結完了後、エレベーション２５
ａの位置決めピン２５ｃが下降し、搬送トレイ２１とエ
レベーション２５ａの連結が解除される。この後、搬送
手段２８の駆動部が作動して搬送爪２８ａを介して搬送
トレイ２１とトレイ２０の結合体が下流側に引かれ、エ
レベーション２５ａ上から滑走路２７上に移動する。な
おこの際、エレベーション２５ａに設けられた凸状ガイ
ド２５ｂと搬送トレイ２１の溝２１ａとの摺動により、
別体の案内機構がなくても搬送トレイ２１及びトレイ２
０は横方向に位置ずれを起こすことなく円滑に動く。

【０１０１】搬送爪２８ａを介して搬送された搬送トレ
イ２１とトレイ２０は、下流側にピッチ送り又は連続送
りされる。これにより、トレイ２０内のデバイス１は、
マーキング位置で位置決めされ、レーザ本体４から照射
されたレーザ光で表面に商標やロットＮＯ等のをかマー
キングされる。この際、レーザの照射エリアが広い場合
は、複数個のデバイス１を同時にマーキングすることで
処理時間の短縮ができる。そして、マーキングと同時に
集塵ダクト１９によりマーク中のススを吸引してマーキ
ングミス等が防止される。なお、マーキング中にデバイ
ス１が収納された次のトレイ２０がローダ部３２より結
合部２５にセットされ、別の搬送トレイ２１と組合さ
れ、もう一方の搬送手段２８の搬送爪２８ａに連結され
る。

【０１０２】ところで、マーキングの前加工において、
エアブロー手段１８によりトレイ２０内のデバイス１表
面上のゴミ等が除去され、このゴミ等によるマーキング
ミスも防止される。また、マーク前に、センサ１７ａが
デバイス１の有無及び配置されたデバイス１に対応する
トレイ２０内の穴２０ｂを検知する。これにより、トレ
イ２０と組合された搬送トレイ２１のどの位置にデバイ
ス１が配置されているかの情報を得ることができ、この
情報はシーケンサ（図示省略）に伝送され、その情報に
基づいてレーザ光が照射され、デバイス１の表面にマー
キングが正確に行なわれる。

【０１０３】マーキング終了後、搬送手段２８の駆動部
を再作動させ、さらに搬送手段２８の後流側の搬送手段
（図示省略）により、搬送トレイ２１及びトレイ２０を
下流側まで搬送する。この搬送途中には、洗浄手段１４
がトレイ２０に収納された状態のままデバイス１の表面
を洗浄して、表面上に付着したススや汚れを、除去す
る。この際、デバイス１は搬送トレイ２１の位置決め部
材２２によりトレイ２０の上面まで押上げられているの
で、容易かつ完全にその表面の汚れが除去される。

【０１０４】そして、搬送トレイ２１及びトレイ２０
が、セパレート部２６（エレベーション２６ａ上）にセ
ットされると、エレベーション２６ａが下降する。する
と、トレイ２０だけはトレイ滑走レール２４ｂ上に両端
が引っ掛かって残り、搬送トレイ２１のみがエレベーシ
ョン２６ａとともに下降する。下降した搬送トレイ２１
は、滑走路２７の下方に設けられた返送部２９で結合部
２５の下方に返送される。なお、このように搬送トレイ
２１の返却路が滑走路２７の下方に設けられていること
は、装置のコンパクト化あるいは必要床面積の低減の点
で有利である。

【０１０５】一方滑走レール２４ｂ上に残されたトレイ
２０は、図示省略した下流側の搬送爪でアンローダ部３
３に送られ、マガジン３３ｂに順次収納される。なお、
アンローダ部３３への搬送の途中、センサ１７ｂにより
トレイ２０内のデバイス１の数等が確認されることで、
マーキング加工漏れ、搬送途中のデバイス１の飛出し等
が検知される。また、搬送トレイ２１は装置内を例えば
２〜３枚循環するのみで、順次トレイ２０への結合及び
離脱を繰返して循環使用される。さらに、搬送トレイ２
１は、デバイス１を常に同じ高さに位置決めるべく、外
形寸法は同一であるが位置決め部材２２が異なるものが
デバイス１の品種に応じて各種用意されており、デバイ
ス１の品種が異なる場合には、適宜交換される。

【０１０６】このように、上記実施例のマーキング装置
であると、トレイ２０に収納された被加工物１がトレイ
２０から取り出すことなく一度に全数水平方向及び垂直
方向に位置決めされ、短時間にマーキング位置で位置決
めされてマークキングされ、洗浄手段１４によりマーキ
ングされた被加工物１の表面に付着するススや汚れを人
手を使用せずにしかもトレイ２０から取り出すことなく
短時間に自動的に除去でき、また搬送爪を二つ以上備え
ることにより簡素な構造で搬送手段２８のアイドルタイ
ムを減少することができる。

【０１０７】また、外径寸法が同一に形成され、しかも
デバイス１を常に同じ高さに位置決めるべく位置決め部
材２２がデバイス１の品種に応じて異なる搬送トレイ２
１を介して被加工物１を搬送するので、品種の異なる被
加工物１にマーキング、洗浄を行なう場合でも搬送系の
段取替が不要となり、段取替えにかかる時間及び手間を
短縮することができる。

【０１０８】実施例７．次に、請求項２２，２８の発明
の一実施例を説明する。この実施例は、基本構成を実施
例６と同じくし、マークデータをチェックする検査機を
設けた点に特徴を有する。すなわち、洗浄手段１４とア
ンローダ部３３との間に、デバイス１表面のマークデー
タをチェックする検査機（図示省略）を設けることによ
り、レーザ本体４の故障によるマークミスやマークデー
タ間違い等によるミスマーク等が検出でき、確実なマー
キングが行なえる。

【０１０９】実施例８．次に、請求項２３，２９の発明
の一実施例を説明する。この実施例は、基本構成を実施
例６と同じくし、デバイス１の試験結果に応じて異なっ
たマーキング加工を行なう点に特徴を有する。すなわち
デバイス１は、通常テストハンドラによる試験結果に基
づき、マーキング加工の前に予め、良品と不良品に分類
され、あるいはメモリの場合スピードアイテム等により
分類されて、同種のもの毎にまとめられてトレイ２０に
収納されて同じマークを加工されるわけである。

【０１１０】ところが、本実施例のマーキング装置は、
トレイ２０内に収納されたデバイス１の前記テストハン
ドラによる試験結果が、デバイス１のトレイ２０内にお
ける配置に対応させて記憶されるようになっており、デ
バイス１をレーザ本体４によりマーキングする際には該
当する試験データの記憶内容を呼出し、このデータに対
応したマークを加工される構成となっている。このた
め、試験後マーキング加工前にデバイスを分類するとい
う作業が不要となり、工期短縮及び省力化に貢献でき
る。

【０１１１】実施例９．次に、請求項１９の発明の他の
実施例を説明する。この実施例は、基本構成を実施例６
と同じくし、位置決め部材２２の構成に特徴を有する。
すなわち実施例１では、搬送トレイ２１にトレイ２０内
のデバイス１の数と同数の位置決め部材２２をそれぞれ
別体として取付けたが、本実施例では図９に示す如く、
位置決め部材２２を四つずつ有するブロック３０を四つ
取付けて搬送トレイ２１を構成している。この場合、デ
バイス１の品種が変わる時は、このブロック３０のみを
交換することで対応でき、品種対応に伴う段取替え部品
のコスト低減，小型化を図ることができる。

【０１１２】実施例１０．次に、請求項１９の発明の他
の実施例を説明する。この実施例は、基本構成を実施例
６と同じくし、エレベーションに設けた凸状ガイドの材
質に特徴を有する。すなわち、結合部２５及びセパレー
ト部２６のエレベーションに設けた凸状ガイドを、交換
可能にし、搬送トレイ２１の材料より柔らかいもの（例
えば搬送トレイ２１の材料がアルミの場合には樹脂等）
を用いるようにしたものである。この場合、凸状ガイド
のみを交換するだけで、搬送トレイ２１の溝２１ａの摺
動による摩耗を低減し、搬送トレイ２１の寿命を向上さ
せることができる。

【０１１３】実施例１１．次に、請求項１９の発明の他
の実施例を説明する。この実施例は、基本構成を実施例
６と同じくし、トレイ２０収納用のマガジンの取扱い構
成に特徴を有する。すなわち、ローダ部３２で空になっ
たマガジンを装置の前面又は後面に配設した搬送手段に
よりアンローダ部３３に搬送して、マーキング加工後の
デバイス１を収納したトレイ２０の収納に使用するよう
構成したものである。この場合マガジンを人手により移
しかえる等の作業が不要となる。

【０１１４】

【発明の効果】以上のように請求項１の発明によれば、
被加工物を垂直方向に移動せずにマーキング位置に位置
決めすることができ、かつ品種の異なる被加工物にマー
キング加工を行う場合に、搬送系の段取替えが不要とな
り、段取替えにかかる手間及び時間を短縮することがで
きるように構成したので、レーザマーキング装置のコン
パクト化及び低価格化を図ると共に、高速で品質の高い
マーキング加工を行うことができ、さらに、被加工物の
端子曲がりや外観不良等の不具合の発生を防止すること
ができるなどの効果がある。

【０１１５】請求項２の発明によれば、マーキング位置
のアンローダ位置間に洗浄手段を設け、この洗浄手段で
マーキング加工された被加工物を洗浄するように構成し
たので、マーキング時に被加工物に付着したスス及び汚
れを、人手を使用せずに被加工物を搬送パレットに収納
した状態で除去することができ、従って、生産性の向上
を図ることができるなどの効果がある。

【０１１６】請求項３の発明によれば、搬送パレットの
受部に配置される被加工物の品種に無関係に搬送パレッ
トの外形を同一に形成し、この受部は多種の被加工物を
水平方向及び垂直方向に位置決めする位置決め角及び位
置決め溝で構成されているので、被加工物を垂直方向に
移動せずにマーキング位置に位置決めすることができ
る。従って、レーザマーキング装置のコンパクト化を図
ることができ、かつ、高速でマーキング加工を行うこと
ができるなどの効果がある。

【０１１７】請求項４の発明によれば、搬送爪を２つ以
上備えるように構成したので、簡素な構造で搬送手段の
アイドルタイムを減少することができる。従って、レー
ザマーキング装置のコンパクト化を図ることができ、か
つ、高速でマーキング加工を行うことができるなどの効
果がある。

【０１１８】請求項５の発明によれば、検知手段で搬送
パレットの被加工物の位置を検知して、この検知情報に
基づいてレーザ本体からレーザ光を照射するように構成
したので、被加工物を正確にマーキング加工することが
でき、従って、品質の高い製品を生産することができる
などの効果がある。

【０１１９】請求項６の発明によれば、異なる品種の被
加工物をマーキング加工する場合、仮位置決めステージ
及び詰替ヘッドをトレイ及び搬送パレットの種類の変化
に対応して変換するように構成したので、搬送系の段取
替えが不要となる。従って、生産性の向上を図ることが
できるなどの効果がある。

【０１２０】請求項７の発明によれば、仮位置決めステ
ージに配置される被加工物の配列を１列又は複数列のい
ずれか一つから任意に選択できるように構成したので、
マーキング加工量を任意に選択することができるなどの
効果がある。

【０１２１】請求項８の発明によれば、被加工物が収納
される受部をＮ×１列搬送パレットに形成するように構
成したので、搬送パレットを搬送方向に移動するだけで
被加工物をマーキング位置に位置決めすることができ、
従って、位置決め時間の短縮化を図ることができるなど
の効果がある。

【０１２２】請求項９の発明によれば被加工物が収納さ
れる受部をＮ×２列以上搬送パレットに形成するように
構成したので、短時間で多数の被加工物のマーキング加
工を行うことができるなどの効果がある。

【０１２３】請求項１０の発明によれば、被加工物を垂
直方向にも位置決めする受部が形成された搬送パレット
の前記受部に、被加工物を詰替え収納し、この搬送パレ
ットを水平移動させて前記受部に収納された被加工物を
マーキング位置に位置決めすることで、順次複数の被加
工物をマーキング加工する構成としたので、マーキング
位置に位置決める際に被加工物を垂直方向に移動する必
要がなくなり、高速で品質の高いマーキング加工を行う
ことができるなどの効果がある。

【０１２４】請求項１１の発明によれば、マーキング位
置とアンローダ位置間に設けた洗浄手段により、前記マ
ーキング位置でマーキング加工された被加工物を洗浄す
る構成としたので、マーキング時に被加工物に付着した
スス及び汚れを人手を使用せずに被加工物を搬送パレッ
トに収納した状態で除去することができるなどの効果が
ある。

【０１２５】請求項１２の発明によれば、搬送パレット
として、被加工物の品種に応じて異なる受部を有し、外
形を被加工物の品種によらず同一とした複数種の搬送パ
レットを用意し、マーキング加工しようとする被加工物
の品種に応じて前記搬送パレットの種類を交換する構成
としたので、搬送パレットを交換するだけで被加工物の
品種の違いに対応することが可能となり、品種の異なる
被加工物にマーキング加工を行う場合でも搬送系の段取
替えが不要となって、段取替えにかかる手間及び時間を
短縮することができるなどの効果がある。

【０１２６】請求項１３の発明によれば、搬送手段を、
滑走路において搬送パレットに連結する搬送爪を２つ以
上有するものとし、各々の搬送爪に連結された各々の搬
送パレットを滑走路の側部に設けられた送り機構で搬送
方向及び搬送方向に直交する方向に搬送して、前記各々
の搬送パレットの受部に収納された被加工物をマーキン
グ位置に位置決めする構成としたので、簡素な構造で高
速な位置決めが可能となり、装置のコンパクト化及び低
価格化を図ると共に、高速で品質の高いマーキング加工
を行うことができるなどの効果がある。

【０１２７】請求項１４の発明によれば、ローダ位置と
マーキング位置間に配設した検知手段により、マーキン
グ位置に位置決めされる被加工物を検知し、この検知手
段からの検知情報に基づいて前記レーザ本体により被加
工物にレーザ光を照射してマーキング加工する構成とし
たので、被加工物をさらに正確にマーキング加工するこ
とができるなどの効果がある。

【０１２８】請求項１５の発明によれば、被加工物をロ
ーダ位置において搬送パレットに詰替え収納するにあた
り、トレイ及び搬送パレットの種類の変化に対応して変
換される詰替ヘッドにより、トレイに載置された被加工
物をまずトレイ及び搬送パレットの種類の変化に対応し
て変換される仮位置決めステージに詰替え、仮位置決め
ステージにより、被加工物を仮位置決めした後、詰替ヘ
ッドにより、被加工物を仮位置決めステージから搬送パ
レットの受部に詰替え収納する構成としたので、異なる
種類の被加工物をマーキング加工する場合にローダ位置
における搬送系の段取替えが不要となり、さらに処理を
高速化できるなどの効果がある。

【０１２９】請求項１６の発明によれば、仮位置決めス
テージを、トレイ及び搬送パレットの種類の変化に対応
して変換するとともに、トレイに配置された被加工物を
選択された１列又は複数列のいずれか１つの配列で仮位
置決めする構成としたので、マーキング加工量を任意に
選択することができ、生産量の調整が容易となるなどの
効果がある。

【０１３０】請求項１７の発明によれば、搬送パレット
を１列に配列された受部を備えるものとし、複数個の被
加工物を同時搬送してマーキング加工する構成としたの
で、搬送パレットを短に直線的に搬送方向に移動するだ
けで被加工物をマーキング位置に位置決めすることがで
き、さらに処理を高速化できるなどの効果がある。

【０１３１】請求項１８の発明によれば、搬送パレット
を複数列に配列された受部を備えるものとし、複数個の
被加工物を同時搬送してマーキング加工する構成とした
ので、短時間で多数の被加工物をマーキング加工するこ
とができ、多数の被加工物を一括処理できるなどの効果
がある。

【０１３２】請求項１９の発明によれば、被加工物を底
部に収納する上下に開口した収納部を複数有するトレイ
と、該トレイの収納部に下方から挿入自在な位置決め部
材が上面に収納部と同数同配列に形成され、前記トレイ
の下面側に押しあてられて各位置決め部材が各収納部に
挿入されると、各位置決め部材の先端が被加工物の下側
に当接して支持することで各収納部の被加工物を垂直方
向にも位置決める搬送トレイとを有し、この搬送トレイ
をローダ側において前記トレイに組み合わせた後に水平
移動させ、トレイ上の各被加工物をレーザ加工すべく順
次マーキング位置に位置決め、アンローダ側において搬
送トレイをトレイから取外すための結合部，滑走路，搬
送手段及びセパレート部等を備える構成としたので、マ
ーキング位置に位置決める際に被加工物を垂直方向に移
動する必要がなくなり、しかも被加工物は、ローダ部に
おいてマガジンから取り出され、アンローダ部において
マガジンに収納されるまで、あくまで同一のトレイに収
納された状態で処理されるから、被加工物を詰替える手
間が全く不要となる。したがって、被加工物の持込み，
位置決め，格納といった各処理が極めて高速に行なえ、
装置のスループットを格段に向上させることができるな
どの効果がある。

【０１３３】請求項２０の発明によれば、マーキング位
置とセパレート部間に、マーキング位置でマーキング加
工された被加工物をトレイに収納されたまま洗浄する洗
浄手段を設けた構成としたので、マーキングされた被加
工物の表面に付着するススや汚れを人手を使用せずにし
かも被加工物をトレイから取り出すことなく短時間に自
動的に除去できるなどの効果がある。

【０１３４】請求項２１の発明によれば、搬送トレイと
して、被加工物の品種に無関係に被加工物の表面を一定
高さに位置決めるよう、被加工物の品種に応じて異なる
寸法の位置決め部材を有する複数種の搬送トレイを備
え、これら搬送トレイの外形を被加工物の品種によらず
同一とした構成としたので、品種の異なる被加工物にマ
ーキング、洗浄を行なう場合でも、搬送トレイを交換す
るだけで対処でき、搬送系の段取替が不要となり、段取
替えにかかる時間及び手間を短縮することができるなど
の効果がある。

【０１３５】請求項２２の発明によれば、マーキング加
工後の被加工物のマークを検査する検査機を設けた構成
としたので、レーザ本体の故障によるマークミスやマー
クデータ間違い等によるミスマーク等が検出でき、確実
なマーキングが行なえるなどの効果がある。

【０１３６】請求項２３の発明によれば、レーザ本体
が、マーキング加工前に行なわれた被加工物のテスト結
果に基づき、トレイ内の被加工物にそれぞれ異なったマ
ーキング加工を行なう構成としたので、試験後マーキン
グ加工前に被加工物を分類するという作業が不要とな
り、工期短縮及び省力化に貢献できるなどの効果があ
る。

【０１３７】請求項２４の発明によれば、結合部あるい
はセパレート部には、搬送トレイを昇降させることでト
レイに組み合わせ又はトレイから外すべく、搬送トレイ
の下面を支持して昇降する昇降支持部材を設け、搬送ト
レイの下面には前記昇降支持部材の上面に形成された搬
送方向の凸状ガイドに摺動自在にはまり込む搬送方向の
ガイド溝を形成した構成としたので、搬送トレイがトレ
イの搬送位置の下側に待機する配置関係となり、装置の
設置面積の低減化が図れる。また、搬送トレイが結合部
から後流側に移動する際、あるいは搬送トレイが上流側
からセパレート部に移動してくる際には、このガイド溝
と凸状ガイドの嵌合による案内で搬送トレイが前記昇降
支持部材に対して円滑かつ正確に位置決めされ、処理の
品質向上、装置の小型化に貢献できるなどの効果があ
る。

【０１３８】請求項２５の発明における発明によれば、
被加工物を、上下に開口した収納部を複数有するトレイ
の前記収納部の底部にそれぞれ収納し、この被加工物が
収納されたトレイを一枚ずつ結合部に供給し、結合部に
おいて、前記収納部に下方から挿入自在な位置決め部材
が上面に前記収納部と同数同配列に形成された搬送トレ
イを、トレイの下面側に押しあてて組み合わせ、各位置
決め部材の先端を各被加工物の下側に当接させて支持す
ることで各収納部の被加工物を垂直方向にも位置決め
し、このように組合されたトレイと搬送トレイを滑走路
上を移動させて、各収納部の被加工物をレーザ本体のマ
ーキング位置に順次位置させてマーキング加工し、その
後セパレート部においてトレイから搬送トレイを外すこ
とで、複数の被加工物をトレイに載せたままマーキング
加工する構成としたので、マーキング位置に位置決める
際に被加工物を垂直方向に移動する必要がなくなり、し
かも被加工物は、ローダ部においてマガジンから取り出
され、アンローダ部においてマガジンに収納されるま
で、あくまで同一のトレイに収納された状態で処理でき
るから、被加工物を詰替える手間が全く不要となる。し
たがって、被加工物の持込み，位置決め，格納といった
各処理が極めて高速に行なえ、処理のスループットを格
段に向上させることができるなどの効果がある。

【０１３９】請求項２６の発明によれば、マーキング位
置とセパレート部間において、前記マーキング位置でマ
ーキング加工された被加工物を洗浄手段によりトレイに
収納したまま洗浄する構成としたので、マーキングされ
た被加工物の表面に付着するススや汚れを人手を使用せ
ずにしかも被加工物をトレイから取り出すことなく短時
間に自動的に除去できるなどの効果がある。

【０１４０】請求項２７の発明によれば、搬送トレイと
して、被加工物の品種に無関係に被加工物の表面を一定
高さに位置決めるよう、被加工物の品種に応じて異なる
寸法の位置決め部材を有する複数種の搬送トレイであっ
て、外形を被加工物の品種によらず同一とした複数種の
搬送トレイを用意し、マーキング加工しようとする被加
工物の品種に応じて前記搬送トレイの種類を交換する構
成としたので、品種の異なる被加工物にマーキング、洗
浄を行なう場合でも、搬送トレイを交換するだけで対処
でき、搬送系の段取替が不要となり、段取替えにかかる
時間及び手間を短縮することができるなどの効果があ
る。

【０１４１】請求項２８の発明によれば、マーキング加
工後の被加工物のマークを検査機により検査する構成と
したので、レーザ本体の故障によるマークミスやマーク
データ間違い等によるミスマーク等が検出でき、確実な
マーキングが行なえるなどの効果がある。

【０１４２】請求項２９の発明によれば、レーザ本体に
より、マーキング加工前に行なわれた被加工物のテスト
結果に基づき、トレイ内の被加工物にそれぞれ異なった
マーキング加工を行なう構成としたので、試験後マーキ
ング加工前に被加工物を分類するという作業が不要とな
り、工期短縮及び省力化に貢献できるなどの効果があ
る。

【０１４３】請求項３０の発明によれば、結合部あるい
はセパレート部では、搬送トレイの下面を支持して昇降
する昇降支持部材により搬送トレイを昇降させること
で、搬送トレイをトレイに組み合わせ又はトレイから外
す処理を行ない、結合部から搬送トレイが移動する際あ
るいはセパレート部に搬送トレイが移動してくる際に
は、搬送トレイの下面に形成された搬送方向のガイド溝
と前記昇降支持部材の上面に形成された搬送方向の凸状
ガイドとを摺動自在に嵌合させることで、搬送トレイを
案内する構成としたので、搬送トレイがトレイの搬送位
置の下側に待機する配置関係となり、装置の設置面積の
低減化が図れる。また、搬送トレイが結合部から後流側
に移動する際、あるいは搬送トレイが上流側からセパレ
ート部に移動してくる際には、このガイド溝と凸状ガイ
ドの嵌合による案内で搬送トレイが前記昇降支持部材に
対して円滑かつ正確に位置決めされ、処理の品質向上、
装置の小型化に貢献できるなどの効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】請求項１〜８，１０〜１７記載の発明に係わる
レーザマーキング装置の全体図である。

【図２】図２（ａ）は図１に示すレーザマーキング装置
に使用される搬送パレットの斜視図であり、図２（ｂ）
は同搬送パレットの他の実施例を示す斜視図である。

【図３】図２（ａ）のＡ−Ａ断面図である。

【図４】図１に示すレーザマーキング装置の要部拡大図
である。

【図５】請求項１９〜３０記載の発明に係わるレーザマ
ーキング装置の全体平面図である。

【図６】図５に示すレーザマーキング装置の全体側面図
である。

【図７】図５に示すレーザマーキング装置における搬送
トレイ等の斜視図である。

【図８】図７におけるＢ−Ｂ断面図である。

【図９】図５に示すレーザマーキング装置における搬送
トレイの他の実施例を示す斜視図である。

【図１０】従来のレーザマーキング装置の斜視図であ
る。

【図１１】従来のレーザマーキング装置の要部拡大断面
図である。

【符号の説明】

１デバイス（被加工物）２トレイ４レーザ本体５マーキング位置９仮位置決めステージ１０受部１１，１１ｆ搬送パレット１１ａ位置決め角１１ｂ位置決め溝１２滑走路１３搬送手段１３ａ，１３ｂ搬送爪１４洗浄手段１５空のトレイ１６供給手段１７ａセンサ（検知手段）２０トレイ２１搬送トレイ２１ａガイド溝２２位置決め部材２５結合部２５ａエレベーション（昇降支持部材）２５ｂ凸状ガイド２６セパレート部２６ａエレベーション（昇降支持部材）２７滑走路２８搬送手段３２ローダ部３３アンローダ部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被加工物を水平方向及び垂直方向に位置
決めする受部が形成された搬送パレットであって、ロー
ダ位置においてトレイに載置された前記被加工物が前記
受部に詰替え収納され、アンローダ位置において前記受
部に収納された被加工物が空のトレイに詰替えられる搬
送パレットと、前記ローダ位置とアンローダ位置間に伸
長され、前記搬送パレットが滑走する滑走路と、該滑走
路において前記搬送パレットに連結する搬送爪を有し、
該搬送爪を介して前記ローダ位置からアンローダ位置ま
で搬送パレットを搬送すると共に前記搬送パレットの受
部に収納された被加工物をマーキング位置に位置決めす
る搬送手段と、前記ローダ位置とアンローダ位置間に配
設され、前記マーキング位置に位置決めされた前記被加
工物にレーザ光を照射してマーキング加工するレーザ本
体と、前記マーキング加工された被加工物が空のトレイ
に詰替えられて空になった前記搬送パレットを前記アン
ローダ位置からローダ位置に供給する供給手段とを備え
たレーザマーキング装置。
【請求項２】被加工物を水平方向及び垂直方向に位置
決めする受部が形成された搬送パレットであって、ロー
ダ位置においてトレイに載置された前記被加工物が前記
受部に詰替え収納され、アンローダ位置において前記受
部に収納された被加工物が空のトレイに詰替えられる搬
送パレットと、前記ローダ位置とアンローダ位置間に伸
長され、前記搬送パレットが滑走する滑走路と、該滑走
路において前記搬送パレットに連結する搬送爪を有し、
該搬送爪を介して前記ローダ位置からアンローダ位置ま
で搬送パレットを搬送すると共に前記搬送パレットの受
部に収納された被加工物をマーキング位置に位置決めす
る搬送手段と、前記ローダ位置とアンローダ位置間に配
設され、前記マーキング位置に位置決めされた前記被加
工物にレーザ光を照射してマーキング加工するレーザ本
体と、前記マーキング位置とアンローダ位置間に設けら
れ、前記マーキング位置でマーキング加工された被加工
物を洗浄する洗浄手段と、前記洗浄された被加工物が空
のトレイに詰替えられて空になった前記搬送パレットを
前記アンローダ位置からローダ位置に供給する供給手段
とを備えたレーザマーキング装置。
【請求項３】被加工物の品種に無関係に外形が同一に
形成され、かつ、前記被加工物を水平方向及び垂直方向
に位置決めする位置決め角及び位置決め溝で形成された
受部が形成された搬送パレットであって、ローダ位置に
おいてトレイに載置された前記被加工物が前記受部に詰
替え収納され、アンローダ位置において前記受部に収納
された被加工物が空のトレイに詰替えられる搬送パレッ
トと、前記ローダ位置とアンローダ位置間に伸長され、
前記搬送パレットが滑走する滑走路と、該滑走路におい
て前記搬送パレットに連結する搬送爪を有し、該搬送爪
を介して前記ローダ位置からアンローダ位置まで搬送パ
レットを搬送すると共に前記搬送パレットの受部に収納
された被加工物をマーキング位置に位置決めする搬送手
段と、前記ローダ位置とアンローダ位置間に配設され、
前記マーキング位置に位置決めされた前記被加工物にレ
ーザ光を照射してマーキング加工するレーザ本体と、前
記マーキング加工された被加工物が空のトレイに詰替え
られて空になった前記搬送パレットを前記アンローダ位
置からローダ位置に供給する供給手段とを備えたレーザ
マーキング装置。
【請求項４】被加工物を水平方向及び垂直方向に位置
決めする受部が形成された搬送パレットであって、ロー
ダ位置においてトレイに載置された前記被加工物が前記
受部に詰替え収納され、アンローダ位置において前記受
部に収納された被加工物が空のトレイに詰替えられる搬
送パレットと、前記ローダ位置とアンローダ位置間に伸
長され、前記搬送パレットが滑走する滑走路と、該滑走
路において前記搬送パレットに連結する搬送爪を２つ以
上有し、各々の搬送爪に連結された各々の搬送パレット
を滑走路の側部に設けられた送り機構で搬送方向及び搬
送方向に直交する方向に搬送して前記各々の搬送パレッ
トの受部に収納された被加工物をマーキング位置に位置
決めする搬送手段と、前記ローダ位置とアンローダ位置
間に配設され、前記マーキング位置に位置決めされた前
記被加工物にレーザ光を照射してマーキング加工するレ
ーザ本体と、前記マーキング加工された被加工物が空の
トレイに詰替えられて空になった前記搬送パレットを前
記アンローダ位置からローダ位置に供給する供給手段と
を備えたレーザマーキング装置。
【請求項５】被加工物を水平方向及び垂直方向に位置
決めする受部が形成された搬送パレットであって、ロー
ダ位置においてトレイに載置された前記被加工物が前記
受部に詰替え収納され、アンローダ位置において前記受
部に収納された被加工物が空のトレイに詰替えられる搬
送パレットと、前記ローダ位置とアンローダ位置間に伸
長され、前記搬送パレットが滑走する滑走路と、該滑走
路において前記搬送パレットに連結する搬送爪を有し、
該搬送爪を介して前記ローダ位置からアンローダ位置ま
で搬送パレットを搬送すると共に、前記搬送パレットの
受部に収納された被加工物をマーキング位置に位置決め
する搬送手段と、前記ローダ位置とマーキング位置間に
設けられ、搬送パレットに収納された被加工物の位置を
検知する検知手段と、前記ローダ位置とアンローダ位置
間に配設され、前記検知手段からの検知情報に基づいて
前記マーキング位置に位置決めされた前記被加工物にレ
ーザ光を照射してマーキング加工するレーザ本体と、前
記マーキング加工された被加工物が空のトレイに詰替え
られて空になった前記搬送パレットを前記アンローダ位
置からローダ位置に供給する供給手段とを備えたレーザ
マーキング装置。
【請求項６】被加工物を水平方向及び垂直方向に位置
決めする受部が形成された搬送パレットであって、ロー
ダ位置においてトレイに載置された前記被加工物が前記
受部に詰替え収納され、アンローダ位置において前記受
部に収納された被加工物が空のトレイに詰替えられる搬
送パレットと、前記トレイ及び搬送パレットの種類の変
化に対応して変換され、前記トレイに載置された被加工
物を仮位置決めする仮位置決めステージと、前記トレイ
及び搬送パレットの種類の変化に対応して変換され、前
記被加工物をトレイから仮位置決めステージに詰替える
と共に前記仮位置決めステージから前記搬送パレットの
受部に詰替え収納する詰替ヘッドと、前記ローダ位置と
アンローダ位置間に伸長され、前記搬送パレットが滑走
する滑走路と、該滑走路において前記搬送パレットに連
結する搬送爪を有し、該搬送爪を介して前記ローダ位置
からアンローダ位置まで搬送パレットを搬送すると共に
前記搬送パレットの受部に収納された被加工物をマーキ
ング位置に位置決めする搬送手段と、前記ローダ位置と
アンローダ位置間に配設され、前記マーキング位置に位
置決めされた前記被加工物にレーザ光を照射してマーキ
ング加工するレーザ本体と、前記マーキング加工された
被加工物が空のトレイに詰替えられて空になった前記搬
送パレットを前記アンローダ位置からローダ位置に供給
する供給手段とを備えたレーザマーキング装置。
【請求項７】被加工物を水平方向及び垂直方向に位置
決めする受部が形成された搬送パレットであって、ロー
ダ位置においてトレイに載置された前記被加工物が前記
受部に詰替え収納され、アンローダ位置において前記受
部に収納された被加工物が空のトレイに詰替えられる搬
送パレットと、前記トレイ及び搬送パレットの種類の変
化に対応して変換され、前記トレイに配置された被加工
物を選択された１列又は複数列のいずれか１つの配列で
仮位置決めする仮位置決めステージと、前記トレイ及び
搬送パレットの種類の変化に対応して変換され、前記被
加工物をトレイから仮位置決めステージに詰替えると共
に前記仮位置決めステージから前記搬送パレットの受部
に詰替え収納する詰替ヘッドと、前記ローダ位置とアン
ローダ位置間に伸長され、前記搬送パレットが滑走する
滑走路と、該滑走路において前記搬送パレットに連結す
る搬送爪を有し、該搬送爪を介して前記ローダ位置から
アンローダ位置まで搬送パレットを搬送すると共に前記
搬送パレットの受部に収納された被加工物をマーキング
位置に位置決めする搬送手段と、前記ローダ位置とアン
ローダ位置間に配設され、前記マーキング位置に位置決
めされた前記被加工物にレーザ光を照射してマーキング
加工するレーザ本体と、前記マーキング加工された被加
工物が空のトレイに詰替えられて空になった前記搬送パ
レットを前記アンローダ位置からローダ位置に供給する
供給手段とを備えたレーザマーキング装置。
【請求項８】前記搬送パレットは１列に配列された複
数の受部を備えたことを特徴とする請求項１乃至請求項
７のいずれか１項記載のレーザマーキング装置。
【請求項９】前記搬送パレットは複数列に配列された
複数の受部を備えたことを特徴とする請求項１乃至請求
項７のいずれか１項記載のレーザマーキング装置。
【請求項１０】被加工物を水平方向及び垂直方向に位
置決めする受部が形成された搬送パレットの前記受部
に、ローダ位置において、トレイに載置された被加工物
を詰替え収納し、前記ローダ位置とアンローダ位置間に
伸長された滑走路により前記搬送パレットを搬送する途
中で、前記搬送パレットを水平移動させて前記搬送パレ
ットの受部に収納された被加工物をマーキング位置に位
置決めし、前記マーキング位置に位置決めされた前記被
加工物にレーザ光を照射してマーキング加工を行ない、
アンローダ位置において、前記マーキング加工された被
加工物を前記搬送パレットの受部から空のトレイに詰替
え、前記被加工物が空のトレイに詰替えられて空になっ
た前記搬送パレットを前記アンローダ位置からローダ位
置に供給することで、前記搬送パレットを循環させて順
次複数の被加工物をマーキング加工することを特徴とす
るレーザマーキング方法。
【請求項１１】前記マーキング位置とアンローダ位置
間に設けた洗浄手段により、前記マーキング位置でマー
キング加工された被加工物を洗浄することを特徴とする
請求項１０記載のレーザマーキング方法。
【請求項１２】前記搬送パレットとして、被加工物の
品種に応じて異なる受部を有し、外形を被加工物の品種
によらず同一とした複数種の搬送パレットを用意し、マ
ーキング加工しようとする被加工物の品種に応じて前記
搬送パレットの種類を交換することを特徴とする請求項
１０記載のレーザマーキング方法。
【請求項１３】前記搬送手段を、前記滑走路において
前記搬送パレットに連結する搬送爪を２つ以上有するも
のとし、各々の搬送爪に連結された各々の搬送パレット
を滑走路の側部に設けられた送り機構で搬送方向及び搬
送方向に直交する方向に搬送して、前記各々の搬送パレ
ットの受部に収納された被加工物をマーキング位置に位
置決めすることを特徴とする請求項１０記載のレーザマ
ーキング方法。
【請求項１４】前記ローダ位置とマーキング位置間に
配設した検知手段により、マーキング位置に位置決めさ
れる被加工物を検知し、この検知手段からの検知情報に
基づいて前記レーザ本体により前記被加工物にレーザ光
を照射してマーキング加工することを特徴とする請求項
１０記載のレーザマーキング方法。
【請求項１５】前記被加工物をローダ位置において前
記搬送パレットに詰替え収納するにあたり、前記トレイ
及び搬送パレットの種類の変化に対応して変換される詰
替ヘッドにより、前記トレイに載置された被加工物をま
ず前記トレイ及び搬送パレットの種類の変化に対応して
変換される仮位置決めステージに詰替え、前記仮位置決
めステージにより、前記被加工物を仮位置決めした後、
前記詰替ヘッドにより、前記被加工物を前記仮位置決め
ステージから前記搬送パレットの受部に詰替え収納する
ことを特徴とする請求項１０記載のレーザマーキング方
法。
【請求項１６】前記仮位置決めステージを、前記トレ
イ及び搬送パレットの種類の変化に対応して変換すると
ともに、前記トレイに配置された被加工物を選択された
１列又は複数列のいずれか１つの配列で仮位置決めする
ものとしたことを特徴とする請求項１５記載のレーザマ
ーキング方法。
【請求項１７】前記搬送パレットを１列に配列された
受部を備えるものとし、複数個の被加工物を同時搬送し
てマーキング加工することを特徴とする請求項１０乃至
請求項１６のうちいずれか１項記載のレーザマーキング
方法。
【請求項１８】前記搬送パレットを複数列に配列され
た受部を備えるものとし、複数個の被加工物を同時搬送
してマーキング加工することを特徴とする請求項１０乃
至請求項１６のうちいずれか１項記載のレーザマーキン
グ方法。
【請求項１９】被加工物を底部に収納する上下に開口
した収納部を複数有するトレイと、該トレイの収納部に
下方から挿入自在な位置決め部材が上面に前記収納部と
同数同配列に形成され、前記トレイの下面側に押しあて
られて各位置決め部材が各収納部に挿入されると、各位
置決め部材の先端が被加工物の下側に当接して支持する
ことで各収納部の被加工物を水平方向及び垂直方向に位
置決める搬送トレイと、前記トレイをマガジンから供給
するローダ部と、該ローダ部から繰出された前記トレイ
の下面に前記搬送トレイを押しあてて、各位置決め部材
が各収納部に挿入された状態に前記搬送トレイを前記ト
レイに組み合わせる結合部と、該結合部よりも後流側に
おいて前記トレイから前記搬送トレイを外すセパレート
部と、該セパレート部により前記搬送トレイが外された
前記トレイをマガジンへ収納するアンローダ部と、前記
結合部とセパレート部の間に伸長され、前記搬送トレイ
が滑走自在な滑走路と、該滑走路において前記搬送トレ
イに連結する搬送爪を有し、該搬送爪を介して前記結合
部からセパレート部まで前記搬送トレイを搬送する機能
及び、この搬送途中において前記搬送トレイに収納され
た各被加工物を順次マーキング位置に位置決めする機能
を有する搬送手段と、前記結合部とセパレート部の間に
配設され、前記マーキング位置に位置決めされた前記被
加工物にレーザ光を照射してマーキング加工するレーザ
本体とを備えたレーザマーキング装置。
【請求項２０】前記マーキング位置とセパレート部間
に、前記マーキング位置でマーキング加工された被加工
物を前記トレイに収納されたまま洗浄する洗浄手段を設
けたことを特徴とする請求項１９記載のレーザマーキン
グ装置。
【請求項２１】前記搬送トレイとして、被加工物の品
種に無関係に被加工物の表面を一定高さに位置決めるよ
う、被加工物の品種に応じて異なる寸法の位置決め部材
を有する複数種の搬送トレイを備え、これら搬送トレイ
の外形を被加工物の品種によらず同一としたことを特徴
とする請求項１９記載のレーザマーキング装置。
【請求項２２】マーキング加工後の被加工物のマーク
を検査する検査機を設けたことを特徴とする請求項１９
記載のレーザマーキング装置。
【請求項２３】前記レーザ本体が、マーキング加工前
に行なわれた被加工物のテスト結果に基づき、トレイ内
の被加工物にそれぞれ異なったマーキング加工を行なう
ものとしたことを特徴とする請求項１９記載のレーザマ
ーキング装置。
【請求項２４】前記結合部あるいはセパレート部に
は、前記搬送トレイを昇降させることで前記トレイに組
み合わせ又は前記トレイから外すべく、前記搬送トレイ
の下面を支持して昇降する昇降支持部材を設け、前記搬
送トレイの下面には前記昇降支持部材の上面に形成され
た搬送方向の凸状ガイドに摺動自在にはまり込む搬送方
向のガイド溝を形成したことを特徴とする請求項１９記
載のレーザマーキング装置。
【請求項２５】被加工物を、上下に開口した収納部を
複数有するトレイの前記収納部の底部にそれぞれ収納
し、この被加工物が収納されたトレイを一枚ずつ結合部
に供給し、結合部において、前記収納部に下方から挿入
自在な位置決め部材が上面に前記収納部と同数同配列に
形成された搬送トレイを、前記トレイの下面側に押しあ
てて組み合わせ、各位置決め部材の先端を各被加工物の
下側に当接させて支持することで各収納部の被加工物を
水平方向及び垂直方向に位置決めし、このように組合さ
れたトレイと搬送トレイを前記結合部から後流側に伸び
る滑走路上を移動させて、各収納部の被加工物を前記結
合部の後流側にあるレーザ本体のマーキング位置に順次
位置させ、マーキング位置に位置決めされた各被加工物
にレーザ本体からレーザ光を照射して順次マーキング加
工し、その後このトレイと搬送トレイを前記マーキング
位置のさらに後流側にあるセパレート部に移動させ、こ
のセパレート部において前記トレイから搬送トレイを外
し、さらに該セパレート部において前記搬送トレイが外
された前記トレイをマガジンへ収納することで、複数の
被加工物を前記トレイに載せたままマーキング加工する
レーザマーキング方法。
【請求項２６】前記マーキング位置とセパレート部間
において、前記マーキング位置でマーキング加工された
被加工物を洗浄手段により前記トレイに収納したまま洗
浄することを特徴とする請求項２５記載のレーザマーキ
ング方法。
【請求項２７】前記搬送トレイとして、被加工物の品
種に無関係に被加工物の表面を一定高さに位置決めるよ
う、被加工物の品種に応じて異なる寸法の位置決め部材
を有する複数種の搬送トレイであって、外形を被加工物
の品種によらず同一とした複数種の搬送トレイを用意
し、マーキング加工しようとする被加工物の品種に応じ
て前記搬送トレイの種類を交換することを特徴とする請
求項２５記載のレーザマーキング方法。
【請求項２８】マーキング加工後の被加工物のマーク
を検査機により検査することを特徴とする請求項２５記
載のレーザマーキング方法。
【請求項２９】前記レーザ本体により、マーキング加
工前に行なわれた被加工物のテスト結果に基づき、トレ
イ内の被加工物にそれぞれ異なったマーキング加工を行
なうことを特徴とする請求項２５記載のレーザマーキン
グ方法。
【請求項３０】前記結合部あるいはセパレート部で
は、前記搬送トレイの下面を支持して昇降する昇降支持
部材により前記搬送トレイを昇降させることで、前記搬
送トレイを前記トレイに組み合わせ又は前記トレイから
外す処理を行ない、前記結合部から搬送トレイが移動す
る際あるいは前記セパレート部に搬送トレイが移動して
くる際には、前記搬送トレイの下面に形成された搬送方
向のガイド溝と前記昇降支持部材の上面に形成された搬
送方向の凸状ガイドとを摺動自在に嵌合させることで、
搬送トレイを案内するようにしたことを特徴とする請求
項２５記載のレーザマーキング方法。