JPH0631423Y2 - 空燃比センサ - Google Patents
空燃比センサInfo
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- JPH0631423Y2 JPH0631423Y2 JP1987155660U JP15566087U JPH0631423Y2 JP H0631423 Y2 JPH0631423 Y2 JP H0631423Y2 JP 1987155660 U JP1987155660 U JP 1987155660U JP 15566087 U JP15566087 U JP 15566087U JP H0631423 Y2 JPH0631423 Y2 JP H0631423Y2
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- Japan
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- oxygen gas
- oxygen
- fuel ratio
- air
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Description
【考案の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本考案は、酸素ポンプ素子と酸素ガス検出素子とを備え
る空燃比センサに関する。
る空燃比センサに関する。
[従来の技術] 従来より、例えば、内燃機関等の燃焼機器において、燃
費やエミッションの改善を図り最適な条件で運転するた
めに、空燃比センサにより排気中の酸素濃度を検出し、
燃焼機器中で燃焼される混合気を所望の空燃比に制御す
ることが行われている。
費やエミッションの改善を図り最適な条件で運転するた
めに、空燃比センサにより排気中の酸素濃度を検出し、
燃焼機器中で燃焼される混合気を所望の空燃比に制御す
ることが行われている。
上記のような空燃比センサとして、ZrO2等の酸素イオン
伝導性固体電解質を用いた板状酸素ポンプ素子上に、Ti
O2等の周囲雰囲気の酸素ガス濃度に応じて抵抗の変化す
る金属酸化物からなる酸素ガス検出素子を積層し、さら
に酸素ガス検出素子上に周囲雰囲気を拡散制限的に連通
する多孔質層とを積層した構造の空燃比センサが、例え
ば特開昭61−195338号に提案されている。
伝導性固体電解質を用いた板状酸素ポンプ素子上に、Ti
O2等の周囲雰囲気の酸素ガス濃度に応じて抵抗の変化す
る金属酸化物からなる酸素ガス検出素子を積層し、さら
に酸素ガス検出素子上に周囲雰囲気を拡散制限的に連通
する多孔質層とを積層した構造の空燃比センサが、例え
ば特開昭61−195338号に提案されている。
この空燃比センサは、酸素ポンプ素子と酸素ガス検出素
子との界面近傍の空燃比λが、例えばλ=1となるよう
酸素ガス検出素子の出力によって酸素ポンプ素子に印加
されるポンプ電流Ipを調整し、このポンプ電流Ipか
ら周囲雰囲気の空燃比を求めるようにして使用される。
子との界面近傍の空燃比λが、例えばλ=1となるよう
酸素ガス検出素子の出力によって酸素ポンプ素子に印加
されるポンプ電流Ipを調整し、このポンプ電流Ipか
ら周囲雰囲気の空燃比を求めるようにして使用される。
この従来の空燃比センサは、酸素ポンプ素子と酸素ガス
検出素子との界面近傍の空燃比λを検出するために、基
準酸素源が不要な酸素ガス検出素子を使用しているの
で、構成が簡単で製造が容易である。
検出素子との界面近傍の空燃比λを検出するために、基
準酸素源が不要な酸素ガス検出素子を使用しているの
で、構成が簡単で製造が容易である。
[考案が解決しようとする問題点] しかし、上記特開昭61−195338号の従来の空燃
比センサは、酸素ポンプ素子が酸素ガス濃度を調整する
位置と、酸素ガス検出素子が酸素ガス濃度を検出する位
置とが隔たっているため、応答が余り速くないという不
満がある。
比センサは、酸素ポンプ素子が酸素ガス濃度を調整する
位置と、酸素ガス検出素子が酸素ガス濃度を検出する位
置とが隔たっているため、応答が余り速くないという不
満がある。
すなわち、酸素ポンプ素子は、外部から酸素ガス検出素
子側の電極に酸素ガスを輸送したり、あるいは酸素ガス
検出素子側の電極近傍の酸素ガスを外部に輸送する。そ
のため、酸素ポンプ素子の酸素ガス検出素子側多孔質電
極近傍の酸素ガス濃度が先ず調整される。一方、酸素ガ
ス検出素子は、その電極間の金属酸化物の抵抗が変化す
ることで酸素ガスを検出するが、上記従来の空燃比セン
サでは、酸素ガス検出素子の2つの電極と酸素ポンプ素
子の電極とが並んで酸素ポンプ素子の一方の面に形成さ
れている。
子側の電極に酸素ガスを輸送したり、あるいは酸素ガス
検出素子側の電極近傍の酸素ガスを外部に輸送する。そ
のため、酸素ポンプ素子の酸素ガス検出素子側多孔質電
極近傍の酸素ガス濃度が先ず調整される。一方、酸素ガ
ス検出素子は、その電極間の金属酸化物の抵抗が変化す
ることで酸素ガスを検出するが、上記従来の空燃比セン
サでは、酸素ガス検出素子の2つの電極と酸素ポンプ素
子の電極とが並んで酸素ポンプ素子の一方の面に形成さ
れている。
そのため、酸素ポンプ素子にポンプ電流が通電されて生
じた酸素ガス濃度の変化は、多孔質電極、酸素ガス検出
素子等の多孔質体内を拡散・移動して酸素ガス検出素子
の検出部に伝わる。したがって、酸素ポンプ素子にポン
プ電流を通電してから、酸素ガス検出素子の検出部の雰
囲気が変化するまでに時間がかかり、上記空燃比センサ
の応答は速くないのである。
じた酸素ガス濃度の変化は、多孔質電極、酸素ガス検出
素子等の多孔質体内を拡散・移動して酸素ガス検出素子
の検出部に伝わる。したがって、酸素ポンプ素子にポン
プ電流を通電してから、酸素ガス検出素子の検出部の雰
囲気が変化するまでに時間がかかり、上記空燃比センサ
の応答は速くないのである。
[問題点を解決するための手段] 本考案は、上記従来の空燃比センサの問題点を有利に解
決することを目的とし、次のような構成を採用した。
決することを目的とし、次のような構成を採用した。
即ち、本考案の要旨とするところは、 固体電解質体の表裏面に一対の多孔質電極を有する酸素
ポンプ素子と、 周囲の酸素ガス分圧に対応して抵抗が変化する金属酸化
物からなる感ガス層を有し、上記酸素ポンプ素子に積層
された酸素ガス検出素子と、 該酸素ガス検出素子に積層され、上記酸素ガス検出素子
と周囲雰囲気とを拡散制限的に連通する多孔質層と、 を備えた空燃比センサにおいて、 上記酸素ポンプ素子の一方の電極を櫛状に形成するとと
もに、該櫛状の電極と上記酸素ガス検出素子用の一方の
電極とを共通とし、かつ上記酸素ガス検出素子用の他方
の電極を上記共通の電極の櫛歯間に挿入するように、上
記酸素ポンプ素子の固体電解質体上に電気絶縁性セラミ
ック層を介して積層し、更に、該電気絶縁性セラミック
層の電極積層面と上記共通の電極が積層される面とがほ
ぼ同一平面になるように形成したことを特徴とした空燃
比センサにある。
ポンプ素子と、 周囲の酸素ガス分圧に対応して抵抗が変化する金属酸化
物からなる感ガス層を有し、上記酸素ポンプ素子に積層
された酸素ガス検出素子と、 該酸素ガス検出素子に積層され、上記酸素ガス検出素子
と周囲雰囲気とを拡散制限的に連通する多孔質層と、 を備えた空燃比センサにおいて、 上記酸素ポンプ素子の一方の電極を櫛状に形成するとと
もに、該櫛状の電極と上記酸素ガス検出素子用の一方の
電極とを共通とし、かつ上記酸素ガス検出素子用の他方
の電極を上記共通の電極の櫛歯間に挿入するように、上
記酸素ポンプ素子の固体電解質体上に電気絶縁性セラミ
ック層を介して積層し、更に、該電気絶縁性セラミック
層の電極積層面と上記共通の電極が積層される面とがほ
ぼ同一平面になるように形成したことを特徴とした空燃
比センサにある。
ここで、板状酸素ポンプ素子としては、前述の特開昭6
1−195338号に記載されるように、板状の酸素イ
オン伝導性固体電解質の両面に多孔質電極を設けた素子
を用いればよい。
1−195338号に記載されるように、板状の酸素イ
オン伝導性固体電解質の両面に多孔質電極を設けた素子
を用いればよい。
この酸素ポンプ素子は、酸素イオン伝導性固体電解質が
適当な温度条件(例えば、固体電解質がZrO2系固溶体の
場合400℃以上)にあると、上記一対の多孔質電極間
に電圧をかけることにより固体電解質中を酸素イオンが
移動する性質を利用する。
適当な温度条件(例えば、固体電解質がZrO2系固溶体の
場合400℃以上)にあると、上記一対の多孔質電極間
に電圧をかけることにより固体電解質中を酸素イオンが
移動する性質を利用する。
即ち、この酸素ポンプ素子の一対の電極間に電圧を加え
ると、電極電位の低い方から高い方へ、酸素イオンが移
動するために、電極電位の低い側では酸素ガス分圧が減
少し、逆に電極電位の高い側では酸素ガス分圧が増加す
る。また、上記固体電解質の荷電担体は酸素イオンであ
るために、上記電極間に流れる電流量を調節することに
より、酸素イオンの移動量を調節することができる。
ると、電極電位の低い方から高い方へ、酸素イオンが移
動するために、電極電位の低い側では酸素ガス分圧が減
少し、逆に電極電位の高い側では酸素ガス分圧が増加す
る。また、上記固体電解質の荷電担体は酸素イオンであ
るために、上記電極間に流れる電流量を調節することに
より、酸素イオンの移動量を調節することができる。
上記の酸素イオン伝導性固体電解質としては、ZrO2とY2
O3あるいはCaOとの固溶体が代表的なものである。その
他にも二酸化セリウム、二酸化トリウム、二酸化ハフニ
ウムの各固溶体、ペロブスカイト型酸化物固溶体、3価
金属酸化物固溶体等がこの酸素イオン導電性固体電解質
として使用可能である。
O3あるいはCaOとの固溶体が代表的なものである。その
他にも二酸化セリウム、二酸化トリウム、二酸化ハフニ
ウムの各固溶体、ペロブスカイト型酸化物固溶体、3価
金属酸化物固溶体等がこの酸素イオン導電性固体電解質
として使用可能である。
多孔質電極は、Pt、Ru、Pd、Rh、Ir、Ag、
Au等の耐熱性に優れる金属をフレーム溶射、化学メッ
キ、蒸着あるいは上記金属のペーストをプリント印刷焼
結する等の方法により形成すればよい。
Au等の耐熱性に優れる金属をフレーム溶射、化学メッ
キ、蒸着あるいは上記金属のペーストをプリント印刷焼
結する等の方法により形成すればよい。
上記酸素ガス検出素子としては遷移金属酸化物を用いれ
ばよい。これらは金属元素と酸素の比が整数ではない非
化学量論的化合物となりやすいものである。この非化学
量論のために、これらの酸化物は周囲の酸素分圧によっ
て導電率が変化し易くなるのである。中でもTiO2、Co
O、SnO2,ZnO、Nb2O5,Cr2O3は、酸素分圧の変化に対す
る導電率変化が大きいこと、耐久性に優れること等の点
から好ましい。
ばよい。これらは金属元素と酸素の比が整数ではない非
化学量論的化合物となりやすいものである。この非化学
量論のために、これらの酸化物は周囲の酸素分圧によっ
て導電率が変化し易くなるのである。中でもTiO2、Co
O、SnO2,ZnO、Nb2O5,Cr2O3は、酸素分圧の変化に対す
る導電率変化が大きいこと、耐久性に優れること等の点
から好ましい。
[作用・効果] 本考案の空燃比センサでは、酸素ガス検出素子の一方の
電極と酸素ポンプ素子の一方の電極とが共通部材(以下
その電極を共通電極と称す)とされるとともに、上記酸
素ガス検出電極の他方の電極(20a)は、上記一方の
電極である共通電極(10e)と酸素ポンプ素子の固体
電解質体の表面上に並べて配置されるために、酸素ポン
プ素子によって酸素ガス濃度が調節される位置と、酸素
ガス検出素子の酸素ガス濃度の検出位置とが一致し、応
答性が向上する。
電極と酸素ポンプ素子の一方の電極とが共通部材(以下
その電極を共通電極と称す)とされるとともに、上記酸
素ガス検出電極の他方の電極(20a)は、上記一方の
電極である共通電極(10e)と酸素ポンプ素子の固体
電解質体の表面上に並べて配置されるために、酸素ポン
プ素子によって酸素ガス濃度が調節される位置と、酸素
ガス検出素子の酸素ガス濃度の検出位置とが一致し、応
答性が向上する。
また同時に、この共通電極の構成によって、従来の空燃
比センサよりも電極の数が減り高価な電極材料の節約が
果たされ、かつ又、構成も簡素化されるという顕著な効
果を奏する。
比センサよりも電極の数が減り高価な電極材料の節約が
果たされ、かつ又、構成も簡素化されるという顕著な効
果を奏する。
また、本考案では、上記共通電極が櫛状にされるととも
に、その共通電極の櫛歯間に挿入するように酸素ガス検
出素子の他方の電極が形成されるために、それらの電極
間の感ガス作用性部分が少なくとも2つ以上形成され、
かつ該部分には相互に均等な被感ガス用雰囲気が形成さ
れるようになり、安定した出力性能が得られる。
に、その共通電極の櫛歯間に挿入するように酸素ガス検
出素子の他方の電極が形成されるために、それらの電極
間の感ガス作用性部分が少なくとも2つ以上形成され、
かつ該部分には相互に均等な被感ガス用雰囲気が形成さ
れるようになり、安定した出力性能が得られる。
更に、本考案では、燃焼排ガスと直接的に接触する側か
ら、感ガス層,共通電極及び酸素ガス検出素子の他方の
電極,固体電解質体,酸素ポンプ素子の他方の電極の順
に積層されていて、酸素ガス検出素子の1対の電極は、
感ガス層と固体電解質体との間に挟まれた構成であるた
めに、酸素ガス検出素子の電極にカーボン等が付着しに
くく、該電極の劣化やその性能の低下を防止する。
ら、感ガス層,共通電極及び酸素ガス検出素子の他方の
電極,固体電解質体,酸素ポンプ素子の他方の電極の順
に積層されていて、酸素ガス検出素子の1対の電極は、
感ガス層と固体電解質体との間に挟まれた構成であるた
めに、酸素ガス検出素子の電極にカーボン等が付着しに
くく、該電極の劣化やその性能の低下を防止する。
更にまた、共通電極と酸素ガス検出素子の他方の電極と
の間には隙間部分があり、この隙間部分では、感ガス層
と固体電解質体とが直接に接触するが、感ガス層と固体
電解質体とは同じセラミックス同士であるので、その接
合性が良好で接合強度が高く、またその結果、感ガス層
と共通電極及び上記他方の電極との電気的接続が良好に
保持される。
の間には隙間部分があり、この隙間部分では、感ガス層
と固体電解質体とが直接に接触するが、感ガス層と固体
電解質体とは同じセラミックス同士であるので、その接
合性が良好で接合強度が高く、またその結果、感ガス層
と共通電極及び上記他方の電極との電気的接続が良好に
保持される。
その上、本考案の空燃比センサを製造する際には、1つ
の基板上に厚膜印刷によって容易に電極を形成でき、更
にそれを同時焼成することによって、簡単,正確かつ安
定強固に空燃比センサを製造できるという効果がある。
の基板上に厚膜印刷によって容易に電極を形成でき、更
にそれを同時焼成することによって、簡単,正確かつ安
定強固に空燃比センサを製造できるという効果がある。
[実施例] 本考案の一実施例を図を用いて説明する。本考案はこれ
に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲の
種々の態様のものが含まれる。
に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲の
種々の態様のものが含まれる。
本実施例の空燃比センサの構成を第1図の部分破断斜視
図、第2図の分解斜視図を用いて説明する。
図、第2図の分解斜視図を用いて説明する。
本空燃比センサは、酸素イオン伝導性固体電解質である
ZrO2系固溶体を用いた酸素ポンプ素子10と、周囲の酸
素ガス分圧によってその抵抗値が変化するTiO2を用いた
酸素ガス検出素子20と、該酸素ガス検出素子20を覆
う多孔質ガス拡散制限部30とを備える空燃比センサで
ある。
ZrO2系固溶体を用いた酸素ポンプ素子10と、周囲の酸
素ガス分圧によってその抵抗値が変化するTiO2を用いた
酸素ガス検出素子20と、該酸素ガス検出素子20を覆
う多孔質ガス拡散制限部30とを備える空燃比センサで
ある。
上記酸素ポンプ素子10は、厚さ0.7mm×巾4mm×長
さ35mmのZrO2系固体電解質焼結板状体10aと、板状
体10aの先側の一方の面で先側の三方の端縁から少し
控えた位置に櫛形に設けられたPt製多孔質電極10b
と、上記板状体10aの他方の面で上記多孔質電極10
bと同形状の櫛形開口部を有するここではAl2O3製の電
気絶縁性セラミック層10cおよび該櫛形開口部に充填
されるZrO2系固体電解質層10dと、該固体電解質層1
0dおよび上記板状体10aを介して上記多孔質電極1
0bに相対する櫛形のPt製多孔質電極10eと、上記
多孔質電極10b,10eより上記板状体10aの元側
へまっすぐに伸びる帯形状のPt製引出し線10f,1
0gと、上記多孔質電極10bのZrO2製保護層10hお
よび上記引出し線10fのAl2O3製保護層10iとを備
える。
さ35mmのZrO2系固体電解質焼結板状体10aと、板状
体10aの先側の一方の面で先側の三方の端縁から少し
控えた位置に櫛形に設けられたPt製多孔質電極10b
と、上記板状体10aの他方の面で上記多孔質電極10
bと同形状の櫛形開口部を有するここではAl2O3製の電
気絶縁性セラミック層10cおよび該櫛形開口部に充填
されるZrO2系固体電解質層10dと、該固体電解質層1
0dおよび上記板状体10aを介して上記多孔質電極1
0bに相対する櫛形のPt製多孔質電極10eと、上記
多孔質電極10b,10eより上記板状体10aの元側
へまっすぐに伸びる帯形状のPt製引出し線10f,1
0gと、上記多孔質電極10bのZrO2製保護層10hお
よび上記引出し線10fのAl2O3製保護層10iとを備
える。
上記酸素ガス検出素子20は、上記酸素ポンプ素子10
の多孔質電極10eと、上記絶縁層10c上で上記多孔
質電極10eと噛み合うように対向して設けられた櫛形
のPt製多孔質電極20aと、Al2O3製絶縁層20bお
よびZrO2製基板20cの窓部20d内で上記多孔質電極
10e,20aを覆うTiO2製感ガス層20eと、多孔質
電極20aより板状体10aの元側へまっすぐに伸びる
帯形状の耐熱金属層の引出し線20fとを備える。
の多孔質電極10eと、上記絶縁層10c上で上記多孔
質電極10eと噛み合うように対向して設けられた櫛形
のPt製多孔質電極20aと、Al2O3製絶縁層20bお
よびZrO2製基板20cの窓部20d内で上記多孔質電極
10e,20aを覆うTiO2製感ガス層20eと、多孔質
電極20aより板状体10aの元側へまっすぐに伸びる
帯形状の耐熱金属層の引出し線20fとを備える。
また、多孔質ガス拡散制限部30は、上記ZrO2製基板2
0cの窓部20d内で、上記感ガス層20eを覆うTiO2
製多孔質層である。この拡散制限部30の気孔率は上記
感ガス層20eの気孔率より低く設定されるため、周囲
雰囲気と上記多孔質電極10e,20a近傍との間は、
拡散制限的に連通する。尚、この気孔率は、特開昭62
−150156号に記載される如く、空燃比センサの製
造後に、多孔質ガス拡散制限部30へ硝酸アルミニウム
水溶液、塩化白金酸塩水溶液等を滴下し、焼成すること
により調節が可能である。
0cの窓部20d内で、上記感ガス層20eを覆うTiO2
製多孔質層である。この拡散制限部30の気孔率は上記
感ガス層20eの気孔率より低く設定されるため、周囲
雰囲気と上記多孔質電極10e,20a近傍との間は、
拡散制限的に連通する。尚、この気孔率は、特開昭62
−150156号に記載される如く、空燃比センサの製
造後に、多孔質ガス拡散制限部30へ硝酸アルミニウム
水溶液、塩化白金酸塩水溶液等を滴下し、焼成すること
により調節が可能である。
さらに、本空燃比センサは、上記櫛形の電極10eの周
囲に発熱体40を備える。
囲に発熱体40を備える。
本空燃比センサは、以下のように製造される。
先ず、ZrO2ペースト、Al2O3ペースト、Ptペースト、T
iO2ペーストを調整する。
iO2ペーストを調整する。
(1)ZrO2ペーストの調整 (1)−ZrO2(94モル%)とY2O3(6モル%)を、
湿式にて40時間混合粉砕する。
湿式にて40時間混合粉砕する。
(1)−この混合粉砕物を乾燥後、1300℃で2時
間仮焼する。
間仮焼する。
(1)−この仮焼物を、湿式にて40時間粉砕し、固
体電解質原料粉末を得る。
体電解質原料粉末を得る。
(1)−固体電解質原料粉末に、有機バインダー、メ
チルエチルケトン、トルエン等を添加し、ZrO2ペースト
とする。
チルエチルケトン、トルエン等を添加し、ZrO2ペースト
とする。
(2)Al2O3ペーストの調整 (2)−Al2O392wt%、MgO3wt%、及び焼結助剤
(SiO2、CaO等)5wt%をポットミルにて20時
間混合する。
(SiO2、CaO等)5wt%をポットミルにて20時
間混合する。
(2)−この混合物に有機バインダーとしてポリビニ
ールブチラール12wt%、フタル酸ジブチル4wt%を添
加し、溶剤としてメチルエチルケトン、トルエン等を加
え、更にポットミルで15時間混合してAl2O3ペースト
とする。
ールブチラール12wt%、フタル酸ジブチル4wt%を添
加し、溶剤としてメチルエチルケトン、トルエン等を加
え、更にポットミルで15時間混合してAl2O3ペースト
とする。
(3)Ptペーストの調整 白金黒とスポンジ状白金とを2:1の割合に混合物に、
溶剤、粘結材を加え、電極用のPtペーストを得る。
溶剤、粘結材を加え、電極用のPtペーストを得る。
(4)TiO2ペーストの調整 大気中1200℃で1時間仮焼したTiO2粉末に対し、バ
インダーとしてエチルセルロースを添加し、これらをブ
チカルビトール(2−(2−ブトキシエトキシ)エタノ
ールの商品名)中で混合し、TiO2ペーストを得る。この
TiO2ペーストは、感ガス層20e用の大きい粒径のTiO2
粉末を用いたものと、拡散制限部30用の細かい粒径の
TiO2粉末を用いたものの2種類調整する。
インダーとしてエチルセルロースを添加し、これらをブ
チカルビトール(2−(2−ブトキシエトキシ)エタノ
ールの商品名)中で混合し、TiO2ペーストを得る。この
TiO2ペーストは、感ガス層20e用の大きい粒径のTiO2
粉末を用いたものと、拡散制限部30用の細かい粒径の
TiO2粉末を用いたものの2種類調整する。
続いて、以下のようにして空燃比センサを形成する。
(5)上記ZrO2ペーストからドクターブレード法によ
り、0.8mm厚の板状体10aとなるZrO2グリーンシー
トを得る。
り、0.8mm厚の板状体10aとなるZrO2グリーンシー
トを得る。
(6)このZrO2グリーンシートの一方の面に、上記Pt
ペーストを用いて、第2図に示す多孔質電極10b,引
出し線10fのパターンをスクリーン印刷で30μm厚
に形成する。そして、上記ZrO2ペーストを用いて多孔質
電極10bの保護層10hを形成し、上記Al2O3ペース
トを用いて引出し線10fの保護層10iを形成する。
ペーストを用いて、第2図に示す多孔質電極10b,引
出し線10fのパターンをスクリーン印刷で30μm厚
に形成する。そして、上記ZrO2ペーストを用いて多孔質
電極10bの保護層10hを形成し、上記Al2O3ペース
トを用いて引出し線10fの保護層10iを形成する。
(7)ついで、このZrO2グリーンシートの他方の面に、
上記Al2O3ペーストを用いて第2図に示す電気絶縁性セ
ラミック層10cおよび上記ZrO2ペーストを用いて第2
図に示す固体電解質層10dを形成する。
上記Al2O3ペーストを用いて第2図に示す電気絶縁性セ
ラミック層10cおよび上記ZrO2ペーストを用いて第2
図に示す固体電解質層10dを形成する。
(8)さらに、この絶縁層10cおよび固体電解質層1
0d上に、上記Ptペーストを用いて第2図に示す多孔
質電極10e,20a、引出し線10g,20fおよび
発熱体40の各パターンをスクリーン印刷で30μm厚
に形成する。
0d上に、上記Ptペーストを用いて第2図に示す多孔
質電極10e,20a、引出し線10g,20fおよび
発熱体40の各パターンをスクリーン印刷で30μm厚
に形成する。
(9)そして、この電極パターンに重ねて、上記Al2O3
ペーストを用いた絶縁層20b、ZrO2ペーストにより作
成した開口部20dを有するZrO2グリーンシート20c
を積層圧着する。
ペーストを用いた絶縁層20b、ZrO2ペーストにより作
成した開口部20dを有するZrO2グリーンシート20c
を積層圧着する。
(10)上記積層体を、300℃、6時間で樹脂抜きを
行った後、大気中雰囲気中、1500℃、4時間の条件
で焼成する。
行った後、大気中雰囲気中、1500℃、4時間の条件
で焼成する。
(11)続いて、上記焼成体の開口部20dに、感ガス
層20eとなる上記大きいTiO2粉末を用いたTiO2ペース
トを厚膜印刷技術で充填し、次いで、この充填層に重ね
てガス拡散制限部30となる上記小さいTiO2粉末を用い
たTiO2ペーストを厚膜印刷技術で充填する。
層20eとなる上記大きいTiO2粉末を用いたTiO2ペース
トを厚膜印刷技術で充填し、次いで、この充填層に重ね
てガス拡散制限部30となる上記小さいTiO2粉末を用い
たTiO2ペーストを厚膜印刷技術で充填する。
(12)その後、上記工程を終えた積層体を1200℃
大気中に1時間放置して焼成して、本実施例の空燃比セ
ンサを得る。
大気中に1時間放置して焼成して、本実施例の空燃比セ
ンサを得る。
以上説明したように、本実施例の空燃比センサは、酸素
ポンプ素子10の一方の多孔質電極10eを酸素ガス検
出素子20の一方の多孔質電極としても使用するととも
に、上記酸素ガス検出素子の他方の電極20aは、上記
一方の電極10eと酸素ポンプ素子の固体電解質体の表
面上に並べて配置したため、酸素ポンプ素子10によっ
て酸素ガス濃度が調整される位置と、酸素ガス検出素子
の酸素ガス濃度の検出位置とが一致し、空燃比センサの
応答が速くなると同時に、電極材料の節約ができ、かつ
構成もより簡素化される。
ポンプ素子10の一方の多孔質電極10eを酸素ガス検
出素子20の一方の多孔質電極としても使用するととも
に、上記酸素ガス検出素子の他方の電極20aは、上記
一方の電極10eと酸素ポンプ素子の固体電解質体の表
面上に並べて配置したため、酸素ポンプ素子10によっ
て酸素ガス濃度が調整される位置と、酸素ガス検出素子
の酸素ガス濃度の検出位置とが一致し、空燃比センサの
応答が速くなると同時に、電極材料の節約ができ、かつ
構成もより簡素化される。
また、共通電極10eと酸素ガス検出素子の他方の電極
20aとを櫛状とし、上記共通電極10eの櫛歯間に上
記他方の電極20aを挿入するようにして感ガス作用性
の電極間部分(4つ)形成を形成したので、より安定し
た出力性能が得られる。
20aとを櫛状とし、上記共通電極10eの櫛歯間に上
記他方の電極20aを挿入するようにして感ガス作用性
の電極間部分(4つ)形成を形成したので、より安定し
た出力性能が得られる。
また更に、本実施例では、周囲雰囲気に(多孔質ガス拡
散制限部30を介して)接する側から、感ガス層20
e,両多孔質電極10e,20a,固体電解質層10
d,多孔質電極10bの順に積層されていて、感ガス層
のための多孔質電極10e,20aは、感ガス層20e
と固体電解質層10dとの間に挟まれた構成となってい
るため、この多孔質電極10eにカーボン等が付着しに
くく、電極の劣化や性能の低下を防止することができ
る。
散制限部30を介して)接する側から、感ガス層20
e,両多孔質電極10e,20a,固体電解質層10
d,多孔質電極10bの順に積層されていて、感ガス層
のための多孔質電極10e,20aは、感ガス層20e
と固体電解質層10dとの間に挟まれた構成となってい
るため、この多孔質電極10eにカーボン等が付着しに
くく、電極の劣化や性能の低下を防止することができ
る。
また、両多孔質電極10e,20aの間には、絶縁のた
めに隙間があり、この隙間部分では、感ガス層20eと
固体電解質層10dとが直接に接触するが、感ガス層2
0eと固体電解質層10dとは同じセラミックス同士で
あるので、その接合性が良好で接合強度が高い。またそ
の結果、感ガス層20e多孔質電極10e,20aとの
電気的接触状態も良好に維持される。
めに隙間があり、この隙間部分では、感ガス層20eと
固体電解質層10dとが直接に接触するが、感ガス層2
0eと固体電解質層10dとは同じセラミックス同士で
あるので、その接合性が良好で接合強度が高い。またそ
の結果、感ガス層20e多孔質電極10e,20aとの
電気的接触状態も良好に維持される。
その上、本実施例の空燃比センサを製造する際には、1
つの基板上に厚膜印刷によって容易に電極10e,20
a等を形成でき、更にそれを同時焼成することによっ
て、簡単、正確かつ安定強固に空燃比センサを製造でき
るという効果がある。
つの基板上に厚膜印刷によって容易に電極10e,20
a等を形成でき、更にそれを同時焼成することによっ
て、簡単、正確かつ安定強固に空燃比センサを製造でき
るという効果がある。
第1図は本考案の一実施例の破断斜視図、第2図はその
分解斜視図である。 10……酸素ポンプ素子、 10a……固体電解質焼結板状体、 10b……多孔質電極、 10c……電気絶縁性セラミック層、 10e……多孔質電極(酸素ガス検出素子の一方の多孔
質電極を兼ねる)、 20……酸素ガス検出素子、 20a……多孔質電極、 20e……感ガス層、 30……多孔質ガス拡散制限部
分解斜視図である。 10……酸素ポンプ素子、 10a……固体電解質焼結板状体、 10b……多孔質電極、 10c……電気絶縁性セラミック層、 10e……多孔質電極(酸素ガス検出素子の一方の多孔
質電極を兼ねる)、 20……酸素ガス検出素子、 20a……多孔質電極、 20e……感ガス層、 30……多孔質ガス拡散制限部
Claims (3)
- 【請求項1】固体電解質体の表裏面に一対の多孔質電極
を有する酸素ポンプ素子と、周囲の酸素ガス分圧に対応
して抵抗が変化する金属酸化物からなる感ガス層を有
し、上記酸素ポンプ素子に積層された酸素ガス検出素子
と、 該酸素ガス検出素子に積層され、上記酸素ガス検出素子
と周囲雰囲気とを拡散制限的に連通する多孔質層と、 を備えた空燃比センサにおいて、 上記酸素ポンプ素子の一方の電極を櫛状に形成するとと
もに、該櫛状の電極と上記酸素ガス検出素子用の一方の
電極とを共通とし、かつ上記酸素ガス検出素子用の他方
の電極を上記共通の電極の櫛歯間に挿入するように、上
記酸素ポンプ素子の固体電解質体上に電気絶縁性セラミ
ック層を介して積層し、更に、該電気絶縁性セラミック
層の電極積層面と上記共通の電極が積層される面とがほ
ぼ同一平面になるように形成したことを特徴とした空燃
比センサ。 - 【請求項2】上記固体電解質体が、ZrO2系固溶体である
実用新案登録請求の範囲第1項記載の空燃比センサ。 - 【請求項3】上記酸素ガス検出素子が、SnO2,TiO2,Nb
2O5,V2O5,Cr2O3,CoO及びNiOから選ばれた1種又は2
種以上からなる実用新案登録請求の範囲第1項または第
2項いずれか記載の空燃比センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987155660U JPH0631423Y2 (ja) | 1987-10-12 | 1987-10-12 | 空燃比センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987155660U JPH0631423Y2 (ja) | 1987-10-12 | 1987-10-12 | 空燃比センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0159859U JPH0159859U (ja) | 1989-04-14 |
| JPH0631423Y2 true JPH0631423Y2 (ja) | 1994-08-22 |
Family
ID=31433485
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987155660U Expired - Lifetime JPH0631423Y2 (ja) | 1987-10-12 | 1987-10-12 | 空燃比センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0631423Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009113250A1 (ja) * | 2008-03-12 | 2009-09-17 | パナソニック株式会社 | 薄膜電極、これを備えた測定セル及び検査装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61264245A (ja) * | 1985-05-17 | 1986-11-22 | Nissan Motor Co Ltd | 酸素センサ |
| JPS62106355A (ja) * | 1985-11-05 | 1987-05-16 | Tech Res Assoc Conduct Inorg Compo | 燃焼制御用センサ |
-
1987
- 1987-10-12 JP JP1987155660U patent/JPH0631423Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009113250A1 (ja) * | 2008-03-12 | 2009-09-17 | パナソニック株式会社 | 薄膜電極、これを備えた測定セル及び検査装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0159859U (ja) | 1989-04-14 |
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