JPH06317431A - エンコーダの校正方法 - Google Patents
エンコーダの校正方法Info
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- JPH06317431A JPH06317431A JP10811693A JP10811693A JPH06317431A JP H06317431 A JPH06317431 A JP H06317431A JP 10811693 A JP10811693 A JP 10811693A JP 10811693 A JP10811693 A JP 10811693A JP H06317431 A JPH06317431 A JP H06317431A
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70483—Information management; Active and passive control; Testing; Wafer monitoring, e.g. pattern monitoring
- G03F7/70491—Information management, e.g. software; Active and passive control, e.g. details of controlling exposure processes or exposure tool monitoring processes
- G03F7/70516—Calibration of components of the microlithographic apparatus, e.g. light sources, addressable masks or detectors
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- G—PHYSICS
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- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 評価対象のリニヤスケールやロータリエンコ
ーダを、これらより一段階高精度な基準リニヤスケール
やロータリエンコーダを用いることなく、校正するこ
と。 【構成】 リニヤスケール１の信号を再生して取付台５
とリニヤスケール１との相対移動量を測定する３個のリ
ニヤスケール信号再生用ヘッド３Ａ，３Ｂ，３Ｃを、取
付台５上に該取付台５とリニヤスケール１と相対移動方
向に互いに間隔Ｌ a ，Ｌb をおいて配置し、前記取付台
５とリニヤスケール１とを順次相対移動させて、各移動
距離での３個のヘッド３Ａ，３Ｂ，３Ｃの測定値を求
め、所定の移動範囲にわたる測定値から演算によって前
記リニヤスケール１の累積ピッチ誤差を求める。
ーダを、これらより一段階高精度な基準リニヤスケール
やロータリエンコーダを用いることなく、校正するこ
と。 【構成】 リニヤスケール１の信号を再生して取付台５
とリニヤスケール１との相対移動量を測定する３個のリ
ニヤスケール信号再生用ヘッド３Ａ，３Ｂ，３Ｃを、取
付台５上に該取付台５とリニヤスケール１と相対移動方
向に互いに間隔Ｌ a ，Ｌb をおいて配置し、前記取付台
５とリニヤスケール１とを順次相対移動させて、各移動
距離での３個のヘッド３Ａ，３Ｂ，３Ｃの測定値を求
め、所定の移動範囲にわたる測定値から演算によって前
記リニヤスケール１の累積ピッチ誤差を求める。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はエンコーダの校正方法に
関し、特に、移動量検出器の一種であるリニヤスケー
ル、あるいは回転角検出器の一種であるロータリエンコ
ーダの累積ピッチ誤差を、比較的容易な測定作業と簡単
な演算処理によって、測定するための改良に関する。但
し、リニヤスケールとロータリエンコーダの総称とし
て、エンコーダという。
関し、特に、移動量検出器の一種であるリニヤスケー
ル、あるいは回転角検出器の一種であるロータリエンコ
ーダの累積ピッチ誤差を、比較的容易な測定作業と簡単
な演算処理によって、測定するための改良に関する。但
し、リニヤスケールとロータリエンコーダの総称とし
て、エンコーダという。
【０００２】
【従来の技術】近年、リニヤスケール及びロータリエン
コーダの需要が増大し、益々、高精度高分解能なエンコ
ーダが開発されている。高精度なエンコーダを開発する
ためには、（１）基本となるスケールを高精度に製作す
る技術と、同時に、（２）出来上ったエンコーダの精度
を高精度に評価する技術、が不可欠である。従来から実
施されているエンコーダの精度評価法を、リニヤスケー
ルの精度測定を例にとり、図３により説明する。
コーダの需要が増大し、益々、高精度高分解能なエンコ
ーダが開発されている。高精度なエンコーダを開発する
ためには、（１）基本となるスケールを高精度に製作す
る技術と、同時に、（２）出来上ったエンコーダの精度
を高精度に評価する技術、が不可欠である。従来から実
施されているエンコーダの精度評価法を、リニヤスケー
ルの精度測定を例にとり、図３により説明する。
【０００３】図３において、１は評価対象となるリニヤ
スケール（以下、評価対象リニヤスケールという）、２
は基準となる高精度なリニヤスケール（以下、基準リニ
ヤスケールという）であり、両者は略平行に配置されて
いる。３と４はリニヤスケール信号再生用のヘッドであ
り、一方のヘッド３は評価対象リニヤスケール１の信号
を再生するように配置され、他方のヘッド４は基準リニ
ヤスケール２の信号を再生するように配置されている。
５はヘッド３と４の取付台であり、図示しない案内面に
沿って、リニヤスケール１，２の目盛方向と略平行に往
復移動自在に設置されている。なお、簡単のため、ヘッ
ド３，４での検出信号を処理し、表示するための信号処
理、表示部については割愛した。
スケール（以下、評価対象リニヤスケールという）、２
は基準となる高精度なリニヤスケール（以下、基準リニ
ヤスケールという）であり、両者は略平行に配置されて
いる。３と４はリニヤスケール信号再生用のヘッドであ
り、一方のヘッド３は評価対象リニヤスケール１の信号
を再生するように配置され、他方のヘッド４は基準リニ
ヤスケール２の信号を再生するように配置されている。
５はヘッド３と４の取付台であり、図示しない案内面に
沿って、リニヤスケール１，２の目盛方向と略平行に往
復移動自在に設置されている。なお、簡単のため、ヘッ
ド３，４での検出信号を処理し、表示するための信号処
理、表示部については割愛した。
【０００４】図３に示した構成により、下記の手順で評
価対象リニヤスケール１の精度即ち累積ピッチ誤差を把
握する。 （１）まず、取付台５を測定開始位置（原点）に移動さ
せ、各ヘッド３，４での測定値をゼロにセットする。 （２）次に、取付台５を順次移動させ、各移動距離Ｘi
（ｉ＝１，２，…，ｎ）でのヘッド３の測定値Ｓ
（Ｘi ，３）と、ヘッド４の測定値Ｓ（Ｘi ，４）とを
得る。ここで、移動距離Ｘi は、例えばヘッド４による
基準リニヤスケール２の測定値Ｓ（Ｘi ，４）を採用す
る。 （３）これらの測定値より、各移動距離Ｘi での評価対
象リニヤスケール１の精度δ（Ｘi ）は、基準リニヤス
ケール２を正として、数１により求まる。但し、ｉ＝
１，２，３，…，ｎである。
価対象リニヤスケール１の精度即ち累積ピッチ誤差を把
握する。 （１）まず、取付台５を測定開始位置（原点）に移動さ
せ、各ヘッド３，４での測定値をゼロにセットする。 （２）次に、取付台５を順次移動させ、各移動距離Ｘi
（ｉ＝１，２，…，ｎ）でのヘッド３の測定値Ｓ
（Ｘi ，３）と、ヘッド４の測定値Ｓ（Ｘi ，４）とを
得る。ここで、移動距離Ｘi は、例えばヘッド４による
基準リニヤスケール２の測定値Ｓ（Ｘi ，４）を採用す
る。 （３）これらの測定値より、各移動距離Ｘi での評価対
象リニヤスケール１の精度δ（Ｘi ）は、基準リニヤス
ケール２を正として、数１により求まる。但し、ｉ＝
１，２，３，…，ｎである。
【０００５】
【数１】δ（Ｘi）＝Ｓ（Ｘi，３）−Ｓ（Ｘi，４）
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】図３を参照した説明か
ら判るように、従来のエンコーダ精度の評価法として
は、評価対象エンコーダと、これよりも一段階高精度な
基準エンコーダとを比較測定する方法が実施されている
が、最近のエンコーダへの要求精度は長さで０．１μ
ｍ、あるいは角度で０．１秒程度まで高まっているた
め、これよりも一段階高精度な基準エンコーダの確保
と、高精度な比較測定を実現することは容易ではない。
ら判るように、従来のエンコーダ精度の評価法として
は、評価対象エンコーダと、これよりも一段階高精度な
基準エンコーダとを比較測定する方法が実施されている
が、最近のエンコーダへの要求精度は長さで０．１μ
ｍ、あるいは角度で０．１秒程度まで高まっているた
め、これよりも一段階高精度な基準エンコーダの確保
と、高精度な比較測定を実現することは容易ではない。
【０００７】本発明は上述した従来技術の問題点に鑑
み、比較的容易な測定作業と簡単な演算処理によって、
基準となる他の高精度なエンコーダの助けを借りること
なく、エンコーダの精度を高精度に評価することができ
る校正方法を提供することを目的とする。
み、比較的容易な測定作業と簡単な演算処理によって、
基準となる他の高精度なエンコーダの助けを借りること
なく、エンコーダの精度を高精度に評価することができ
る校正方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する請求
項１の発明のエンコーダの校正方法は、直線的移動量検
出のためのリニヤスケールについてのものであり、リニ
ヤスケールと該リニヤスケール信号再生用ヘッドの取付
台とを前記リニヤスケールの目盛方向にほぼ平行に相対
的移動可能に設け、前記リニヤスケールの信号を再生し
て前記取付台とリニヤスケールとの相対移動量を測定す
る３個のリニヤスケール信号再生用ヘッドを、取付台上
に該取付台とリニヤスケールの相対移動方向に互いに間
隔をおいて配置し、前記取付台とリニヤスケールとを順
次相対移動させて、各移動距離での３個のヘッドの測定
値を求め、所定の移動範囲にわたる測定値から演算によ
って前記リニヤスケールの累積ピッチ誤差を求めること
を特徴とする。
項１の発明のエンコーダの校正方法は、直線的移動量検
出のためのリニヤスケールについてのものであり、リニ
ヤスケールと該リニヤスケール信号再生用ヘッドの取付
台とを前記リニヤスケールの目盛方向にほぼ平行に相対
的移動可能に設け、前記リニヤスケールの信号を再生し
て前記取付台とリニヤスケールとの相対移動量を測定す
る３個のリニヤスケール信号再生用ヘッドを、取付台上
に該取付台とリニヤスケールの相対移動方向に互いに間
隔をおいて配置し、前記取付台とリニヤスケールとを順
次相対移動させて、各移動距離での３個のヘッドの測定
値を求め、所定の移動範囲にわたる測定値から演算によ
って前記リニヤスケールの累積ピッチ誤差を求めること
を特徴とする。
【０００９】また請求項２の発明のエンコーダの校正方
法は、回転角検出のためのロータリエンコーダについて
のものであり、ロータリエンコーダと該ロータリエンコ
ーダ信号再生用ヘッドの取付台とを前記ロータリエンコ
ーダの目盛方向にほぼ同軸に相対的回転可能に設け、前
記ロータリエンコーダの信号を再生して前記取付台とロ
ータリエンコーダとの相対回転角を測定する３個のロー
タリエンコーダ信号再生用ヘッドを、取付台上に該取付
台とロータリエンコーダの相対回転方向に互いに角度を
おいて配置し、前記取付台とロータリエンコーダとを順
次相対回転させて、各回転角での３個のヘッドの測定値
を求め、所定の回転範囲にわたる測定値から演算によっ
て前記ロータリエンコーダの累積ピッチ誤差を求めるこ
とを特徴とする。
法は、回転角検出のためのロータリエンコーダについて
のものであり、ロータリエンコーダと該ロータリエンコ
ーダ信号再生用ヘッドの取付台とを前記ロータリエンコ
ーダの目盛方向にほぼ同軸に相対的回転可能に設け、前
記ロータリエンコーダの信号を再生して前記取付台とロ
ータリエンコーダとの相対回転角を測定する３個のロー
タリエンコーダ信号再生用ヘッドを、取付台上に該取付
台とロータリエンコーダの相対回転方向に互いに角度を
おいて配置し、前記取付台とロータリエンコーダとを順
次相対回転させて、各回転角での３個のヘッドの測定値
を求め、所定の回転範囲にわたる測定値から演算によっ
て前記ロータリエンコーダの累積ピッチ誤差を求めるこ
とを特徴とする。
【００１０】
【作用】請求項１の発明では、リニヤスケールの例えば
全測定範囲にわたって得た３個のヘッドの測定値を演算
処理することにより、基準となる他の高精度なリニヤス
ケールとの比較測定を行うことなく、評価対象とするリ
ニヤスケールの累積ピッチ誤差を求めることができる。
全測定範囲にわたって得た３個のヘッドの測定値を演算
処理することにより、基準となる他の高精度なリニヤス
ケールとの比較測定を行うことなく、評価対象とするリ
ニヤスケールの累積ピッチ誤差を求めることができる。
【００１１】請求項２の発明では、ロータリエンコーダ
の例えば１回転にわたって得た３個のヘッドの測定値を
演算処理することにより、基準となる他の高精度なロー
タリエンコーダとの比較測定を行うことなく、評価対象
とするロータリエンコーダの累積ピッチ誤差を求めるこ
とができる。
の例えば１回転にわたって得た３個のヘッドの測定値を
演算処理することにより、基準となる他の高精度なロー
タリエンコーダとの比較測定を行うことなく、評価対象
とするロータリエンコーダの累積ピッチ誤差を求めるこ
とができる。
【００１２】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。
する。
【００１３】＜リニヤスケールについての実施例＞図１
はリニヤスケールの精度測定に本発明を適用した場合の
実施例を示し、１は評価対象のリニヤスケール、３Ａ，
３Ｂ及び３Ｃはそれぞれリニヤスケール信号再生用ヘッ
ド、５はヘッド取付台である。本実施例では簡単のた
め、リニヤスケール１を固定し、ヘッド取付台５を図示
しない案内面に沿ってリニヤスケール１の目盛方向（図
１中で矢印で示す左右方向）にほぼ平行に往復移動自在
に取付けてある。３個のヘッド３Ａ，３Ｂ，３Ｃはリニ
ヤスケール１の信号を再生できるようにヘッド取付台５
に、左から３Ａ，３Ｃ，３Ｂの順で、且つそれぞれ間隔
Ｌb とＬa をおいて取付けてある。なお、簡単のため、
各ヘッド３Ａ，３Ｂ，３Ｃでの検出信号の処理及び表示
部、並びに、測定値の演算処理部については図示を省略
した。
はリニヤスケールの精度測定に本発明を適用した場合の
実施例を示し、１は評価対象のリニヤスケール、３Ａ，
３Ｂ及び３Ｃはそれぞれリニヤスケール信号再生用ヘッ
ド、５はヘッド取付台である。本実施例では簡単のた
め、リニヤスケール１を固定し、ヘッド取付台５を図示
しない案内面に沿ってリニヤスケール１の目盛方向（図
１中で矢印で示す左右方向）にほぼ平行に往復移動自在
に取付けてある。３個のヘッド３Ａ，３Ｂ，３Ｃはリニ
ヤスケール１の信号を再生できるようにヘッド取付台５
に、左から３Ａ，３Ｃ，３Ｂの順で、且つそれぞれ間隔
Ｌb とＬa をおいて取付けてある。なお、簡単のため、
各ヘッド３Ａ，３Ｂ，３Ｃでの検出信号の処理及び表示
部、並びに、測定値の演算処理部については図示を省略
した。
【００１４】＜各ヘッド３Ａ，３Ｂ，３Ｃでの移動量測
定＞ヘッド３Ａでの測定値Ｓ（Ｘi ，Ａ）、ヘッド３Ｂ
での測定値Ｓ（Ｘi ，Ｂ）、ヘッド３Ｃでの測定値Ｓ
（Ｘi ，Ｃ）は、数２式で与えられる。
定＞ヘッド３Ａでの測定値Ｓ（Ｘi ，Ａ）、ヘッド３Ｂ
での測定値Ｓ（Ｘi ，Ｂ）、ヘッド３Ｃでの測定値Ｓ
（Ｘi ，Ｃ）は、数２式で与えられる。
【００１５】
【数２】Ｓ（Ｘi，Ａ）＝Ｘi＋δ（Ｘi−Ｌb）＋ＫA Ｓ（Ｘi，Ｂ）＝Ｘi＋δ（Ｘi＋Ｌa）＋ＫB Ｓ（Ｘi，Ｃ）＝Ｘi＋δ（Ｘi） ＋ＫC
【００１６】ここで数２中、Ｌa はヘッド３Ｃと３Ｂの
間隔、Ｌb はヘッド３Ａと３Ｃの間隔、Ｘi は測定開始
位置からのヘッド取付台５の移動量であってリニヤスケ
ール１上の位置を示す値、δ（Ｘi ）は位置Ｘi におけ
るリニヤスケール１の累積ピッチ誤差、ＫA ，ＫB ，Ｋ
C はそれぞれヘッド３Ａ，３Ｂ，３Ｃでの測定値のオフ
セット量である。（例えば、測定開始位置Ｘi ＝０での
測定値を全てゼロとする時には、ＫA ＝δ（−Ｌa ）、
ＫB ＝δ（Ｌb ）、ＫC ＝δ（０）としたことと等価に
なる。）
間隔、Ｌb はヘッド３Ａと３Ｃの間隔、Ｘi は測定開始
位置からのヘッド取付台５の移動量であってリニヤスケ
ール１上の位置を示す値、δ（Ｘi ）は位置Ｘi におけ
るリニヤスケール１の累積ピッチ誤差、ＫA ，ＫB ，Ｋ
C はそれぞれヘッド３Ａ，３Ｂ，３Ｃでの測定値のオフ
セット量である。（例えば、測定開始位置Ｘi ＝０での
測定値を全てゼロとする時には、ＫA ＝δ（−Ｌa ）、
ＫB ＝δ（Ｌb ）、ＫC ＝δ（０）としたことと等価に
なる。）
【００１７】そこで、ヘッド取付台５を測定開始位置
（Ｘ0 ＝０）からＸ1 ，Ｘ2 ，…，Ｘ n へと順次移動さ
せ、全移動範囲にわたって各ヘッドの測定値Ｓ（Ｘi ，
Ａ），Ｓ（Ｘi ，Ｂ），Ｓ（Ｘi ，Ｃ）を得る（但し、
ｉ＝１，２，…，ｎ）。
（Ｘ0 ＝０）からＸ1 ，Ｘ2 ，…，Ｘ n へと順次移動さ
せ、全移動範囲にわたって各ヘッドの測定値Ｓ（Ｘi ，
Ａ），Ｓ（Ｘi ，Ｂ），Ｓ（Ｘi ，Ｃ）を得る（但し、
ｉ＝１，２，…，ｎ）。
【００１８】＜演算処理による累積ピッチ誤差の把握＞ ［Ｉ］測定値の荷重加算による合成測定値の算出 まず、数３で与えられる定数ａ，ｂを用いて、Ｘi での
合成測定値Ｙ（Ｘi ）＝ａ・Ｓ（Ｘi ，Ｂ）＋ｂ・Ｓ
（Ｘi ，Ａ）＋Ｓ（Ｘi ，Ｃ）を求めると、数３式より
ａ＋ｂ＋１＝０の関係があるから、数２の代入により、
合成測定値Ｙ（Ｘ i ）は数４式のように求まる。
合成測定値Ｙ（Ｘi ）＝ａ・Ｓ（Ｘi ，Ｂ）＋ｂ・Ｓ
（Ｘi ，Ａ）＋Ｓ（Ｘi ，Ｃ）を求めると、数３式より
ａ＋ｂ＋１＝０の関係があるから、数２の代入により、
合成測定値Ｙ（Ｘ i ）は数４式のように求まる。
【００１９】
【数３】ａ＝−Ｌb／（Ｌa＋Ｌb） ｂ＝−Ｌa／（Ｌa＋Ｌb）
【００２０】
【数４】 Ｙ（Ｘi）＝ａ・Ｓ（Ｘi，Ｂ）＋ｂ・Ｓ（Ｘi，Ａ）＋Ｓ（Ｘi，Ｃ） ＝（ａ＋ｂ＋１）Ｘi＋（ａ・ＫB＋ｂ・ＫA＋ＫC） ＋ａ・δ（Ｘi＋Ｌa）＋ｂ・δ（Ｘi−Ｌb）＋δ（Ｘi） ＝（ａ・ＫB＋ｂ・ＫA＋ＫC）＋ａ・δ（Ｘi＋Ｌa） ＋ｂ・δ（Ｘi−Ｌb）＋δ（Ｘi） ＝Ｋ0＋ａ・δ（Ｘi＋Ｌa）＋ｂ・δ（Ｘi−Ｌb）＋δ（Ｘi）
【００２１】ここで数４中、Ｋ0 ＝ａ・ＫB ＋ｂ・ＫA
＋ＫC であり、Ｋ0 は測定系の設定条件によって定まる
未知の一定値である。
＋ＫC であり、Ｋ0 は測定系の設定条件によって定まる
未知の一定値である。
【００２２】数４式から判るように、合成測定値Ｙ（Ｘ
i ）からは、ヘッド取付台５の移動量Ｘi を含む項がな
くなり、測定系の設定条件によって定まる一定値Ｋ
0 と、リニヤスケール１の累積ピッチ誤差δ（Ｘi ＋Ｌ
a ），δ（Ｘi −Ｌb ），δ（Ｘ i ）を含んだ項だけが
残る。このうち、Ｋ0 は移動量Ｘi によっては変化しな
い一定値（直流成分）であり、複数の測定位置Ｘi （ｉ
＝１，２，…，ｎ）での測定値から得られる合成測定値
のデータ列Ｙ（Ｘi ）（ｉ＝１，２，…，ｎ）の変動成
分（交流成分）中に、リニヤスケール１の累積ピッチ誤
差が含まれることになる。
i ）からは、ヘッド取付台５の移動量Ｘi を含む項がな
くなり、測定系の設定条件によって定まる一定値Ｋ
0 と、リニヤスケール１の累積ピッチ誤差δ（Ｘi ＋Ｌ
a ），δ（Ｘi −Ｌb ），δ（Ｘ i ）を含んだ項だけが
残る。このうち、Ｋ0 は移動量Ｘi によっては変化しな
い一定値（直流成分）であり、複数の測定位置Ｘi （ｉ
＝１，２，…，ｎ）での測定値から得られる合成測定値
のデータ列Ｙ（Ｘi ）（ｉ＝１，２，…，ｎ）の変動成
分（交流成分）中に、リニヤスケール１の累積ピッチ誤
差が含まれることになる。
【００２３】［II］累積ピッチ誤差δ（Ｘi ）の導出 一般に、リニヤスケールの累積ビッチ誤差δ（Ｘi ）
は、数５式に示すようなフーリエ級数の和の形で表わし
て考えられる。
は、数５式に示すようなフーリエ級数の和の形で表わし
て考えられる。
【００２４】
【数５】
【００２５】ここに数５中で、Ｌはリニヤスケール測定
長さ、Ｃj は各次数成分の振幅値、ψj は各次成分の位
相ずれ量である。
長さ、Ｃj は各次数成分の振幅値、ψj は各次成分の位
相ずれ量である。
【００２６】そこで、数５に数４を代入して整理する
と、数６式が得られる。
と、数６式が得られる。
【００２７】
【数６】
【００２８】ここに数６中で、 fj＝｛(1+ａ・cos jα＋ｂ・cos jβ)2＋(ａ・sin jα−ｂ
・sin jβ)2｝1/2 、 φj＝tan-1｛−(ａ・sin jα−ｂ・sin jβ)/(1＋ａ・cos
jα+ｂ・cos jβ)｝、 α＝２πＬa／Ｌ、 β＝２πＬb／Ｌ であり、これらは測定系が定まれば全て計算により求ま
る値である。
・sin jβ)2｝1/2 、 φj＝tan-1｛−(ａ・sin jα−ｂ・sin jβ)/(1＋ａ・cos
jα+ｂ・cos jβ)｝、 α＝２πＬa／Ｌ、 β＝２πＬb／Ｌ であり、これらは測定系が定まれば全て計算により求ま
る値である。
【００２９】即ち、以上のことから判るように、３個の
ヘッド３Ａ，３Ｂ，３Ｃでの測定値Ｓ（Ｘi ，Ａ），Ｓ
（Ｘi ，Ｂ），Ｓ（Ｘi ，Ｃ）の荷重加算によって得ら
れる合成測定値のデータ列Ｙ（Ｘi ）（ｉ＝１，２，
…，ｎ）は、リニヤスケール１の累積ピッチ誤差の振幅
がｆj だけ拡大され、位相がφj だけ変化したものにな
っている。
ヘッド３Ａ，３Ｂ，３Ｃでの測定値Ｓ（Ｘi ，Ａ），Ｓ
（Ｘi ，Ｂ），Ｓ（Ｘi ，Ｃ）の荷重加算によって得ら
れる合成測定値のデータ列Ｙ（Ｘi ）（ｉ＝１，２，
…，ｎ）は、リニヤスケール１の累積ピッチ誤差の振幅
がｆj だけ拡大され、位相がφj だけ変化したものにな
っている。
【００３０】そこで、フーリエ変換の手法を利用して、
合成測定データ列Ｙ（Ｘi ）（ｉ＝１，２，…，ｎ）の
交流成分Ｙ（Ｘi)ACから累積ピッチ誤差δ（Ｘi ）を求
めることができ、以下にその方法を説明する。
合成測定データ列Ｙ（Ｘi ）（ｉ＝１，２，…，ｎ）の
交流成分Ｙ（Ｘi)ACから累積ピッチ誤差δ（Ｘi ）を求
めることができ、以下にその方法を説明する。
【００３１】まず、数６中の交流成分Ｙ（Ｘi)ACを、数
７式のようにフーリエ級数の和の形に展開した形で考え
る。すると、フーリエ級数の係数Ｆj，Ｇjと、前述した
ｆj，Ｇj ，ψj ，φj との関係は数８式のようにな
る。従って、係数Ｆj とＧj を用いて累積ピッチ誤差δ
（Ｘi）は、数９式のように表わすことができる。
７式のようにフーリエ級数の和の形に展開した形で考え
る。すると、フーリエ級数の係数Ｆj，Ｇjと、前述した
ｆj，Ｇj ，ψj ，φj との関係は数８式のようにな
る。従って、係数Ｆj とＧj を用いて累積ピッチ誤差δ
（Ｘi）は、数９式のように表わすことができる。
【００３２】
【数７】
【００３３】
【数８】 Ｆj＝ｆj・Ｃj・（cosψj・cosφj−sinψj・sin φj） Ｇj＝−ｆj・Ｃj・（sinψj・cosφj＋cosψj・sin φj）
【００３４】
【数９】
【００３５】以上の手順をまとめると、下記のようにな
る。 （ｉ）３個のヘッド３Ａ，３Ｂ，３Ｃを図１のように互
いに間隔をあけて配置し、ヘッド取付台５を順次移動さ
せながら、数２式で与えられる移動距離Ｘi での測定値
を得る。 （ii）上述の（ｉ）で得た測定値を、数３式で与えられ
る定数ａ，ｂを用いて荷重加算し、数４式で表わされる
合成測定値Ｙ（Ｘi ）を求める。 (iii）次に、複数の測定位置Ｘi （ｉ＝１，２，…，
ｎ）での測定値から得られる合成測定値のデータ列Ｙ
（Ｘi ）（ｉ＝１，２，…，ｎ）を求め、その交流成分
Ｙ（Ｘi)ACをフーリエ変換して、フーリエ変換の係数Ｆ
j ，Ｇj を求める。 （iv）最後に、(iii）で求めた係数Ｆj ，Ｇj から、数
９式によってリニヤスケール１の累積ピッチ誤差δ（Ｘ
i ）を求める。
る。 （ｉ）３個のヘッド３Ａ，３Ｂ，３Ｃを図１のように互
いに間隔をあけて配置し、ヘッド取付台５を順次移動さ
せながら、数２式で与えられる移動距離Ｘi での測定値
を得る。 （ii）上述の（ｉ）で得た測定値を、数３式で与えられ
る定数ａ，ｂを用いて荷重加算し、数４式で表わされる
合成測定値Ｙ（Ｘi ）を求める。 (iii）次に、複数の測定位置Ｘi （ｉ＝１，２，…，
ｎ）での測定値から得られる合成測定値のデータ列Ｙ
（Ｘi ）（ｉ＝１，２，…，ｎ）を求め、その交流成分
Ｙ（Ｘi)ACをフーリエ変換して、フーリエ変換の係数Ｆ
j ，Ｇj を求める。 （iv）最後に、(iii）で求めた係数Ｆj ，Ｇj から、数
９式によってリニヤスケール１の累積ピッチ誤差δ（Ｘ
i ）を求める。
【００３６】なお、一般に累積ピッチ誤差δ（Ｘi ）は
移動距離Ｘi に比べて十分小さいため、ヘッド取付台５
の移動距離Ｘi としては、例えば中央のヘッド３Ｃでの
測定値Ｓ（Ｘi ，Ｃ）をそのまま採用することができ
る。この時には、ヘッド３Ｃの位置を基準として、リニ
ヤスケール１の累積ピッチ誤差が把握できることにな
る。
移動距離Ｘi に比べて十分小さいため、ヘッド取付台５
の移動距離Ｘi としては、例えば中央のヘッド３Ｃでの
測定値Ｓ（Ｘi ，Ｃ）をそのまま採用することができ
る。この時には、ヘッド３Ｃの位置を基準として、リニ
ヤスケール１の累積ピッチ誤差が把握できることにな
る。
【００３７】また、上記実施例とは逆にヘッド取付台５
を固定し、リニヤスケール１を往復移動自在に設置し
て、リニヤスケール１を順次移動させて測定を行っても
良い。
を固定し、リニヤスケール１を往復移動自在に設置し
て、リニヤスケール１を順次移動させて測定を行っても
良い。
【００３８】以上の如くリニヤスケール１の累積ピッチ
誤差δ（Ｘi ）を測定することにより、リニヤスケール
１の校正がなされる。
誤差δ（Ｘi ）を測定することにより、リニヤスケール
１の校正がなされる。
【００３９】＜ロータリエンコーダについての実施例＞
図２はロータリエンコーダの精度測定に本発明を適用し
た場合の実施例を示し、１は評価対象のロータリエンコ
ーダ、１３Ａ，１３Ｂ及び１３Ｃはそれぞれロータリエ
ンコーダ信号再生用ヘッド、１５はヘッド取付台であ
る。本実施例では簡単のため、ヘッド取付台１５を固定
し、ロータリエンコーダ１１を図示しない軸受によって
ロータリエンコーダ１１の目盛方向（図２中で矢印で示
す方向）にほぼ同軸に回転運動自在に取付けてある。３
個のヘッド１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃはロータリエンコー
ダ１１の信号を再生できるようにヘッド取付台１５に、
時計方向に１３Ａ，１３Ｃ，１３Ｂの順で、且つそれぞ
れ間隔βとαをおいて取付けてある。なお、簡単のた
め、各ヘッド１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃでの検出信号の処
理及び表示部、並びに、測定値の演算処理部については
図示を省略した。
図２はロータリエンコーダの精度測定に本発明を適用し
た場合の実施例を示し、１は評価対象のロータリエンコ
ーダ、１３Ａ，１３Ｂ及び１３Ｃはそれぞれロータリエ
ンコーダ信号再生用ヘッド、１５はヘッド取付台であ
る。本実施例では簡単のため、ヘッド取付台１５を固定
し、ロータリエンコーダ１１を図示しない軸受によって
ロータリエンコーダ１１の目盛方向（図２中で矢印で示
す方向）にほぼ同軸に回転運動自在に取付けてある。３
個のヘッド１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃはロータリエンコー
ダ１１の信号を再生できるようにヘッド取付台１５に、
時計方向に１３Ａ，１３Ｃ，１３Ｂの順で、且つそれぞ
れ間隔βとαをおいて取付けてある。なお、簡単のた
め、各ヘッド１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃでの検出信号の処
理及び表示部、並びに、測定値の演算処理部については
図示を省略した。
【００４０】＜各ヘッド１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃでの角
度測定＞ヘッド１３Ａでの測定値Ｒ（θi ，Ａ）、ヘッ
ド１３Ｂでの測定値Ｒ（θi ，Ｂ）、ヘッド１３Ｃでの
測定値Ｒ（θi ，Ｃ）は、数１０式で与えられる。
度測定＞ヘッド１３Ａでの測定値Ｒ（θi ，Ａ）、ヘッ
ド１３Ｂでの測定値Ｒ（θi ，Ｂ）、ヘッド１３Ｃでの
測定値Ｒ（θi ，Ｃ）は、数１０式で与えられる。
【００４１】
【数１０】Ｒ（θi，Ａ）＝θi＋δ（θi−β）＋ＫA Ｒ（θi，Ｂ）＝θi＋δ（θi＋α）＋ＫB Ｒ（θi，Ｃ）＝θi＋δ（θi） ＋ＫC
【００４２】ここで数１０中、αはヘッド１３Ｃと１３
Ｂの角度、βはヘッド１３Ａと１３Ｃの角度、θi は測
定開始位置からのロータリエンコーダ１１の回転角、δ
（θi ）は角度位置θi におけるロータリエンコーダ１
１の累積ピッチ誤差、ＫA ，ＫB ，ＫC はそれぞれヘッ
ド１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃでの測定値のオフセット量で
ある。（例えば、測定開始位置θi ＝０での測定値を全
てゼロとする時には、ＫA ＝δ（−α）、ＫB ＝δ
（β）、ＫC ＝δ（０）としたことと等価になる。）
Ｂの角度、βはヘッド１３Ａと１３Ｃの角度、θi は測
定開始位置からのロータリエンコーダ１１の回転角、δ
（θi ）は角度位置θi におけるロータリエンコーダ１
１の累積ピッチ誤差、ＫA ，ＫB ，ＫC はそれぞれヘッ
ド１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃでの測定値のオフセット量で
ある。（例えば、測定開始位置θi ＝０での測定値を全
てゼロとする時には、ＫA ＝δ（−α）、ＫB ＝δ
（β）、ＫC ＝δ（０）としたことと等価になる。）
【００４３】そこで、ロータリエンコーダ１１を測定開
始位置（θ0 ＝０）からθ1 ，θ2，…，θn へと順次
回転させ、全回転範囲（１回転）にわたって各ヘッドの
測定値Ｒ（θi ，Ａ），Ｒ（θi ，Ｂ），Ｒ（θi ，
Ｃ）を得る（但し、ｉ＝１，２，…，ｎ）。
始位置（θ0 ＝０）からθ1 ，θ2，…，θn へと順次
回転させ、全回転範囲（１回転）にわたって各ヘッドの
測定値Ｒ（θi ，Ａ），Ｒ（θi ，Ｂ），Ｒ（θi ，
Ｃ）を得る（但し、ｉ＝１，２，…，ｎ）。
【００４４】＜演算処理による累積ピッチ誤差の把握＞ ［Ｉ］測定値の荷重加算による合成測定値の算出 まず、数１１で与えられる定数ａ′，ｂ′を用いて、θ
i での合成測定値Ｙ（θi ）＝ａ′・Ｒ（θi ，Ｂ）＋
ｂ′・Ｒ（θi ，Ａ）＋Ｒ（θi ，Ｃ）を求めると、数
１１式よりａ′＋ｂ′＋１＝０の関係があるから、数２
の代入により、合成測定値Ｙ（θi ）は数１２式のよう
に求まる。
i での合成測定値Ｙ（θi ）＝ａ′・Ｒ（θi ，Ｂ）＋
ｂ′・Ｒ（θi ，Ａ）＋Ｒ（θi ，Ｃ）を求めると、数
１１式よりａ′＋ｂ′＋１＝０の関係があるから、数２
の代入により、合成測定値Ｙ（θi ）は数１２式のよう
に求まる。
【００４５】
【数１１】ａ′＝−β／（α＋β） ｂ′＝−α／（α＋β）
【００４６】
【数１２】 Ｙ（θi）＝ａ′・Ｒ（θi，Ｂ）＋ｂ′・Ｒ（θi，Ａ）＋Ｒ（θi，Ｃ） ＝（ａ′＋ｂ′＋１）Ｘi＋（ａ′・ＫB＋ｂ′・ＫA＋ＫC） ＋ａ′・δ（θi＋α）＋ｂ′・δ（θi−β）＋δ（θi） ＝（ａ′・ＫB＋ｂ′・ＫA＋ＫC）＋ａ′・δ（θi＋α） ＋ｂ′・δ（θi−β）＋δ（θi） ＝Ｋ0＋ａ′・δ（θi＋α）＋ｂ′・δ（θi−β）＋δ（θi）
【００４７】ここで数１２中、Ｋ0 ＝ａ′・ＫB ＋ｂ′
・ＫA ＋ＫC であり、Ｋ0 は測定系の設定条件によって
定まる未知の一定値である。
・ＫA ＋ＫC であり、Ｋ0 は測定系の設定条件によって
定まる未知の一定値である。
【００４８】数１２式から判るように、合成測定値Ｙ
（θi ）からは、ロータリエンコーダダ１１の回転角θ
i を含む項がなくなり、測定系の設定条件によって定ま
る一定値Ｋ0 と、ロータリエンコーダ１１の累積ピッチ
誤差δ（θi ＋α），δ（θi−β），δ（θi）を含ん
だ項だけが残る。このうち、Ｋ0 は回転角θi によって
は変化しない一定値（直流成分）であり、複数の測定位
置θi （ｉ＝１，２，…，ｎ）での測定値から得られる
合成測定値のデータ列Ｙ（θi ）（ｉ＝１，２，…，
ｎ）の変動成分（交流成分）中に、ロータリエンコーダ
１１の累積ピッチ誤差が含まれることになる。
（θi ）からは、ロータリエンコーダダ１１の回転角θ
i を含む項がなくなり、測定系の設定条件によって定ま
る一定値Ｋ0 と、ロータリエンコーダ１１の累積ピッチ
誤差δ（θi ＋α），δ（θi−β），δ（θi）を含ん
だ項だけが残る。このうち、Ｋ0 は回転角θi によって
は変化しない一定値（直流成分）であり、複数の測定位
置θi （ｉ＝１，２，…，ｎ）での測定値から得られる
合成測定値のデータ列Ｙ（θi ）（ｉ＝１，２，…，
ｎ）の変動成分（交流成分）中に、ロータリエンコーダ
１１の累積ピッチ誤差が含まれることになる。
【００４９】［II］累積ピッチ誤差δ（θi ）の導出 一般に、ロータリエンコーダの累積ビッチ誤差δ
（θi ）は、数１３式に示すようなフーリエ級数の和の
形で表わして考えられる。
（θi ）は、数１３式に示すようなフーリエ級数の和の
形で表わして考えられる。
【００５０】
【数１３】
【００５１】ここに数１３中で、Ｌはロータリエンコー
ダ測定角度、Ｃj は各次数成分の振幅値、ψj は各次成
分の位相ずれ量である。
ダ測定角度、Ｃj は各次数成分の振幅値、ψj は各次成
分の位相ずれ量である。
【００５２】そこで、数１３に数１２を代入して整理す
ると、数１４式が得られる。
ると、数１４式が得られる。
【００５３】
【数１４】
【００５４】ここに数１４中で、 fj＝｛(1＋ａ′・cos jα′＋ｂ′・cos jβ′)2＋(ａ′・
sin jα′−ｂ′・sin jβ′)2｝1/2 、 φj＝tan-1｛−(ａ′・sin jα′−ｂ′・sin jβ′)／(1
＋ａ′・cos jα′＋ｂ′・cos jβ′)｝、 α′＝２πα／Ｌ、 β′＝２πβ／Ｌ であり、これらは測定系が定まれば全て計算により求ま
る値である。
sin jα′−ｂ′・sin jβ′)2｝1/2 、 φj＝tan-1｛−(ａ′・sin jα′−ｂ′・sin jβ′)／(1
＋ａ′・cos jα′＋ｂ′・cos jβ′)｝、 α′＝２πα／Ｌ、 β′＝２πβ／Ｌ であり、これらは測定系が定まれば全て計算により求ま
る値である。
【００５５】即ち、以上のことから判るように、３個の
ヘッド１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃでの測定値Ｒ（θi ，
Ａ），Ｒ（θi ，Ｂ），Ｒ（θi ，Ｃ）の荷重加算によ
って得られる合成測定値のデータ列Ｙ（θi ）（ｉ＝
１，２，…，ｎ）は、ロータリエンコーダ１１の累積ピ
ッチ誤差の振幅がｆj だけ拡大され、位相がφj だけ変
化したものになっている。
ヘッド１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃでの測定値Ｒ（θi ，
Ａ），Ｒ（θi ，Ｂ），Ｒ（θi ，Ｃ）の荷重加算によ
って得られる合成測定値のデータ列Ｙ（θi ）（ｉ＝
１，２，…，ｎ）は、ロータリエンコーダ１１の累積ピ
ッチ誤差の振幅がｆj だけ拡大され、位相がφj だけ変
化したものになっている。
【００５６】そこで、フーリエ変換の手法を利用して、
合成測定データ列Ｙ（θi ）（ｉ＝１，２，…，ｎ）の
交流成分Ｙ（θi)ACから累積ピッチ誤差δ（θi ）を求
めることができ、以下にその方法を説明する。
合成測定データ列Ｙ（θi ）（ｉ＝１，２，…，ｎ）の
交流成分Ｙ（θi)ACから累積ピッチ誤差δ（θi ）を求
めることができ、以下にその方法を説明する。
【００５７】まず、数１４中の交流成分Ｙ（θi)ACを、
数１５式のようにフーリエ級数の和の形に展開した形で
考える。すると、フーリエ級数の係数Ｆj ，Ｇj と、前
述したｆj ，Ｇj ，ψj ，φj との関係は数１６式のよ
うになる。従って、係数ＦjとＧj を用いて累積ピッチ
誤差δ（θi ）は、数１７式のように表わすことができ
る。
数１５式のようにフーリエ級数の和の形に展開した形で
考える。すると、フーリエ級数の係数Ｆj ，Ｇj と、前
述したｆj ，Ｇj ，ψj ，φj との関係は数１６式のよ
うになる。従って、係数ＦjとＧj を用いて累積ピッチ
誤差δ（θi ）は、数１７式のように表わすことができ
る。
【００５８】
【数１５】
【００５９】
【数１６】 Ｆj＝ｆj・Ｃj・（cosψj・cosφj−sinψj・sin φj） Ｇj＝−ｆj・Ｃj・（sinψj・cosφj＋cosψj・sin φj）
【００６０】
【数１７】
【００６１】以上の手順をまとめると、下記のようにな
る。 （ｉ）３個のヘッド１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃを図２のよ
うに互いに角度をあけて配置し、ロータリエンコーダ１
１を順次回転させながら、数１０式で与えられる回転角
度θi での測定値を得る。 （ii）上述の（ｉ）で得た測定値を、数１１式で与えら
れる定数ａ′，ｂ′を用いて荷重加算し、数１２式で表
わされる合成測定値Ｙ（θi ）を求める。 (iii）次に、複数の測定位置θi ( ｉ＝１，２，…，
ｎ）での測定値から得られる合成測定値のデータ列Ｙ
（θi ）（ｉ＝１，２，…，ｎ）を求め、その交流成分
Ｙ（θi)ACをフーリエ変換して、フーリエ変換の係数Ｆ
j ，Ｇj を求める。 （iv）最後に、(iii）で求めた係数Ｆj ，Ｇj から数１
７式によってロータリエンコーダ１の累積ピッチ誤差δ
（θi ）を求める。
る。 （ｉ）３個のヘッド１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃを図２のよ
うに互いに角度をあけて配置し、ロータリエンコーダ１
１を順次回転させながら、数１０式で与えられる回転角
度θi での測定値を得る。 （ii）上述の（ｉ）で得た測定値を、数１１式で与えら
れる定数ａ′，ｂ′を用いて荷重加算し、数１２式で表
わされる合成測定値Ｙ（θi ）を求める。 (iii）次に、複数の測定位置θi ( ｉ＝１，２，…，
ｎ）での測定値から得られる合成測定値のデータ列Ｙ
（θi ）（ｉ＝１，２，…，ｎ）を求め、その交流成分
Ｙ（θi)ACをフーリエ変換して、フーリエ変換の係数Ｆ
j ，Ｇj を求める。 （iv）最後に、(iii）で求めた係数Ｆj ，Ｇj から数１
７式によってロータリエンコーダ１の累積ピッチ誤差δ
（θi ）を求める。
【００６２】なお、一般に累積ピッチ誤差δ（θi ）は
回転角度θi に比べて十分小さいため、ロータリエンコ
ーダ１１の回転角度θi としては、例えば中央のヘッド
１３Ｃでの測定値Ｒ（θi ，Ｃ）をそのまま採用するこ
とができる。この時には、ヘッド１３Ｃの位置を基準と
して、ロータリエンコーダ１１の累積ピッチ誤差が把握
できることになる。
回転角度θi に比べて十分小さいため、ロータリエンコ
ーダ１１の回転角度θi としては、例えば中央のヘッド
１３Ｃでの測定値Ｒ（θi ，Ｃ）をそのまま採用するこ
とができる。この時には、ヘッド１３Ｃの位置を基準と
して、ロータリエンコーダ１１の累積ピッチ誤差が把握
できることになる。
【００６３】また、上記実施例とは逆にロータリエンコ
ーダ１１を固定し、ヘッド取付台１５を軸受等で回転運
動自在に設置して、ヘッド取付台１５を順次回転させて
測定を行っても良い。
ーダ１１を固定し、ヘッド取付台１５を軸受等で回転運
動自在に設置して、ヘッド取付台１５を順次回転させて
測定を行っても良い。
【００６４】以上の如くロータリエンコーダ１１の累積
ピッチ誤差δ（θi ）を測定することにより、ロータリ
エンコーダ１１の校正がなされる。
ピッチ誤差δ（θi ）を測定することにより、ロータリ
エンコーダ１１の校正がなされる。
【００６５】
【発明の効果】本発明によれば、移動量検出器の一種で
あるリニヤスケール、あるいは回転角検出器の一種であ
るロータリエンコーダの累積ピッチ誤差（精度）を測定
して校正を行うに当り、評価対象のリニヤスケールやロ
ータリエンコーダよりも一段高精度な基準リニヤスケー
ルやロータリエンコーダを必要とすることなく、比較的
容易な測定作業と簡単な演算処理によって校正すること
ができる。
あるリニヤスケール、あるいは回転角検出器の一種であ
るロータリエンコーダの累積ピッチ誤差（精度）を測定
して校正を行うに当り、評価対象のリニヤスケールやロ
ータリエンコーダよりも一段高精度な基準リニヤスケー
ルやロータリエンコーダを必要とすることなく、比較的
容易な測定作業と簡単な演算処理によって校正すること
ができる。
【図１】本発明の一実施例としてリニヤスケールの測定
系を示す図。
系を示す図。
【図２】本発明の他の実施例としてロータリエンコーダ
の測定系を示す図。
の測定系を示す図。
【図３】従来例を示す図。
１ リニヤスケール ３Ａ，３Ｂ，３Ｃ リニヤスケール信号再生用ヘッド ５ ヘッド取付台 １１ ロータリエンコーダ １３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃ ロータリエンコーダ信号再生
用ヘッド １５ ヘッド取付台
用ヘッド １５ ヘッド取付台
Claims (2)
- 【請求項１】 リニヤスケールと該リニヤスケール信号
再生用ヘッドの取付台とを前記リニヤスケールの目盛方
向にほぼ平行に相対的移動可能に設け、前記リニヤスケ
ールの信号を再生して前記取付台とリニヤスケールとの
相対移動量を測定する３個のリニヤスケール信号再生用
ヘッドを、取付台上に該取付台とリニヤスケールの相対
移動方向に互いに間隔をおいて配置し、前記取付台とリ
ニヤスケールとを順次相対移動させて、各移動距離での
３個のヘッドの測定値を求め、所定の移動範囲にわたる
測定値から演算によって前記リニヤスケールの累積ピッ
チ誤差を求めることを特徴とするエンコーダの校正方
法。 - 【請求項２】 ロータリエンコーダと該ロータリエンコ
ーダ信号再生用ヘッドの取付台とを前記ロータリエンコ
ーダの目盛方向にほぼ同軸に相対的回転可能に設け、前
記ロータリエンコーダの信号を再生して前記取付台とロ
ータリエンコーダとの相対回転角を測定する３個のロー
タリエンコーダ信号再生用ヘッドを、取付台上に該取付
台とロータリエンコーダの相対回転方向に互いに角度を
おいて配置し、前記取付台とロータリエンコーダとを順
次相対回転させて、各回転角での３個のヘッドの測定値
を求め、所定の回転範囲にわたる測定値から演算によっ
て前記ロータリエンコーダの累積ピッチ誤差を求めるこ
とを特徴とするエンコーダの校正方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10811693A JPH06317431A (ja) | 1993-05-10 | 1993-05-10 | エンコーダの校正方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10811693A JPH06317431A (ja) | 1993-05-10 | 1993-05-10 | エンコーダの校正方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06317431A true JPH06317431A (ja) | 1994-11-15 |
Family
ID=14476320
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10811693A Withdrawn JPH06317431A (ja) | 1993-05-10 | 1993-05-10 | エンコーダの校正方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06317431A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001264117A (ja) * | 2000-03-17 | 2001-09-26 | Harmonic Drive Syst Ind Co Ltd | 検出器出力の周期的誤差信号補償方法 |
| JP2003075198A (ja) * | 2001-08-31 | 2003-03-12 | Mitsutoyo Corp | スケールの検査装置 |
| JP2007519912A (ja) * | 2004-01-31 | 2007-07-19 | コンティネンタル・テーベス・アクチエンゲゼルシヤフト・ウント・コンパニー・オッフェネ・ハンデルスゲゼルシヤフト | タイヤ空気圧損失の検出方法 |
| JP2012207923A (ja) * | 2011-03-29 | 2012-10-25 | Nikon Corp | 位置検出用スケールの計測装置、位置検出用スケールの計測方法、及びスケールの製造方法 |
| JP2013024757A (ja) * | 2011-07-22 | 2013-02-04 | Mitsutoyo Corp | 目盛誤差算出装置、目盛誤差校正装置、及び目盛誤差算出方法 |
| JP2013092414A (ja) * | 2011-10-25 | 2013-05-16 | Mitsutoyo Corp | 変位検出装置、目盛の校正方法及び目盛の校正プログラム |
| WO2014053296A1 (en) * | 2012-10-01 | 2014-04-10 | Asml Netherlands B.V. | A method for calibration of an encoder scale and a lithographic apparatus |
| US9766096B2 (en) | 2014-05-12 | 2017-09-19 | Canon Kabushiki Kaisha | Encoder for producing position information using positions of a first and second sensor, tilt angles, period of a pattern on a scale |
| JP2018142020A (ja) * | 2012-10-02 | 2018-09-13 | 株式会社ニコン | 露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法 |
-
1993
- 1993-05-10 JP JP10811693A patent/JPH06317431A/ja not_active Withdrawn
Cited By (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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