JPH06320366A - テ−ブル装置及びその組立方法 - Google Patents
テ−ブル装置及びその組立方法Info
- Publication number
- JPH06320366A JPH06320366A JP11474793A JP11474793A JPH06320366A JP H06320366 A JPH06320366 A JP H06320366A JP 11474793 A JP11474793 A JP 11474793A JP 11474793 A JP11474793 A JP 11474793A JP H06320366 A JPH06320366 A JP H06320366A
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- JP
- Japan
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- stone surface
- surface plate
- plate
- mounting
- movable machine
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09B—ORGANIC DYES OR CLOSELY-RELATED COMPOUNDS FOR PRODUCING DYES, e.g. PIGMENTS; MORDANTS; LAKES
- C09B47/00—Porphines; Azaporphines
- C09B47/04—Phthalocyanines abbreviation: Pc
- C09B47/06—Preparation from carboxylic acids or derivatives thereof, e.g. anhydrides, amides, mononitriles, phthalimide, o-cyanobenzamide
- C09B47/073—Preparation from isoindolenines, e.g. pyrrolenines
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】可動機械部分を石定盤に精度よく取り付けるこ
とが可能なテ−ブル装置を提供することにある。 【構成】石定盤１にＸＹテ−ブル１３を取付けてなるテ
−ブル装置１１において、石定盤１とＸＹテ−ブル１３
との間に取付け板１２、１２を介在させ、取付け板１
２、１２によってＸＹテ−ブル１３の平面度を調節し、
ＸＹテ−ブル１３を石定盤１に取付けた。
とが可能なテ−ブル装置を提供することにある。 【構成】石定盤１にＸＹテ−ブル１３を取付けてなるテ
−ブル装置１１において、石定盤１とＸＹテ−ブル１３
との間に取付け板１２、１２を介在させ、取付け板１
２、１２によってＸＹテ−ブル１３の平面度を調節し、
ＸＹテ−ブル１３を石定盤１に取付けた。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば、半導体製造装
置等に備えられ、高精度な位置決めに利用されるテ−ブ
ル装置及びその組立方法に関する。
置等に備えられ、高精度な位置決めに利用されるテ−ブ
ル装置及びその組立方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、半導体の製造や検査には、ウエ
ハやマスク等の作業対象を高精度に位置決めするテ−ブ
ル装置が利用されている。この種のテ−ブル装置におい
ては、ＸＹテ−ブル等の可動機械部分が、精密に仕上げ
られた石定盤に取り付けられることが多い。石定盤が利
用される理由として、石定盤の振動外乱に対する吸収性
が比較的高いこと、高い精度の平面に加工し易いこと等
が挙げられる。
ハやマスク等の作業対象を高精度に位置決めするテ−ブ
ル装置が利用されている。この種のテ−ブル装置におい
ては、ＸＹテ−ブル等の可動機械部分が、精密に仕上げ
られた石定盤に取り付けられることが多い。石定盤が利
用される理由として、石定盤の振動外乱に対する吸収性
が比較的高いこと、高い精度の平面に加工し易いこと等
が挙げられる。
【０００３】可動機械部分が石定盤に取り付けられる際
には、通常図４に示すように、石定盤１の凹陥部２に金
具３が埋め込まれ、可動機械部分のレ−ル５等が石定盤
１にボルト締される。金具３には予めボルト孔４が設け
られている。金具３は、石定盤１の孔開け加工が済んだ
後、凹陥部２に接着される。そして、レ−ル５の複数箇
所が、このような連結構造によって石定盤１に固定され
る。
には、通常図４に示すように、石定盤１の凹陥部２に金
具３が埋め込まれ、可動機械部分のレ−ル５等が石定盤
１にボルト締される。金具３には予めボルト孔４が設け
られている。金具３は、石定盤１の孔開け加工が済んだ
後、凹陥部２に接着される。そして、レ−ル５の複数箇
所が、このような連結構造によって石定盤１に固定され
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述のよう
な金具３を石定盤１に埋め込んで接着する場合、石定盤
１と金具表面との間に隙間があくことがある。また、接
着力が金具３の表面積によって制限されるため、接着力
はあまり強くない。このため、ボルト６の締め付け力を
不用意に大とすると、金具３が石定盤１から浮いてしま
う場合がある。
な金具３を石定盤１に埋め込んで接着する場合、石定盤
１と金具表面との間に隙間があくことがある。また、接
着力が金具３の表面積によって制限されるため、接着力
はあまり強くない。このため、ボルト６の締め付け力を
不用意に大とすると、金具３が石定盤１から浮いてしま
う場合がある。
【０００５】また、例えばレ−ル５が転がり式のリニア
ガイドのものである場合、レ−ル自身の曲りを矯正しな
がら、レ−ル５を石定盤１の取付け面７に沿わせる必要
がある。しかし、石定盤１と金具３との間の段差を原因
としてレ−ルに上下方向の曲りが生じる。さらに、ボル
ト６を過度に強く締め付けると、金具が浮上がり、レ−
ル５の固定が不完全になる。また、逆にボルト６の締め
付け力が弱すぎると、組立て後に、小さな力によってレ
−ル５が曲ってしまう。
ガイドのものである場合、レ−ル自身の曲りを矯正しな
がら、レ−ル５を石定盤１の取付け面７に沿わせる必要
がある。しかし、石定盤１と金具３との間の段差を原因
としてレ−ルに上下方向の曲りが生じる。さらに、ボル
ト６を過度に強く締め付けると、金具が浮上がり、レ−
ル５の固定が不完全になる。また、逆にボルト６の締め
付け力が弱すぎると、組立て後に、小さな力によってレ
−ル５が曲ってしまう。
【０００６】特に、細いレ−ルを使用する場合には、小
さい金具が多数用いられるため、金具３と石定盤１との
間の接着力が弱く、この傾向が強く現れる。結局、レ−
ル５の取付け精度のうち真直度（上下・左右方向）が低
くなり、リニアガイドの運転中の信頼性が悪影響を受け
る。本発明の目的とするところは、可動機械部分を石定
盤に精度よく取り付けることが可能なテ−ブル装置及び
その組立方法を提供することにある。
さい金具が多数用いられるため、金具３と石定盤１との
間の接着力が弱く、この傾向が強く現れる。結局、レ−
ル５の取付け精度のうち真直度（上下・左右方向）が低
くなり、リニアガイドの運転中の信頼性が悪影響を受け
る。本発明の目的とするところは、可動機械部分を石定
盤に精度よく取り付けることが可能なテ−ブル装置及び
その組立方法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段および作用】上記目的を達
成するために請求項１の発明は、石定盤に可動機械部分
を取付けてなるテ−ブル装置において、石定盤と可動機
械部分との間に取付け板を介在させ、取付け板によって
可動機械部分の石定盤への取付け部の平面度を調整し、
可動機械部分を石定盤に取付けたテ−ブル装置である。
成するために請求項１の発明は、石定盤に可動機械部分
を取付けてなるテ−ブル装置において、石定盤と可動機
械部分との間に取付け板を介在させ、取付け板によって
可動機械部分の石定盤への取付け部の平面度を調整し、
可動機械部分を石定盤に取付けたテ−ブル装置である。
【０００８】また、請求項２の発明は、石定盤に可動機
械部分を取付けるテ−ブル装置の組立方法において、石
定盤に取付け板に固定したのち、取付け板に可動機械部
分を固定し、取付け板によって可動機械部分の石定盤へ
の取付け部の平面度を調整し、可動機械部分の取付け精
度を確保したテ−ブル装置の組立方法である。そして、
これらの発明は、可動機械部分を石定盤に精度よく取り
付けられるようにした。
械部分を取付けるテ−ブル装置の組立方法において、石
定盤に取付け板に固定したのち、取付け板に可動機械部
分を固定し、取付け板によって可動機械部分の石定盤へ
の取付け部の平面度を調整し、可動機械部分の取付け精
度を確保したテ−ブル装置の組立方法である。そして、
これらの発明は、可動機械部分を石定盤に精度よく取り
付けられるようにした。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１〜図３に基づ
いて説明する。なお、従来の技術の項で説明したものと
重複するものについては同一番号を付し、その説明は省
略する。
いて説明する。なお、従来の技術の項で説明したものと
重複するものについては同一番号を付し、その説明は省
略する。
【００１０】図１は本発明の一実施例を示すもので、図
中の符号１１はテ−ブル装置である。このテ−ブル装置
１１においては、石定盤１の上に取付け板１２、１２を
介して、可動機械部分としてのＸＹテ−ブル１３が取付
けられている。
中の符号１１はテ−ブル装置である。このテ−ブル装置
１１においては、石定盤１の上に取付け板１２、１２を
介して、可動機械部分としてのＸＹテ−ブル１３が取付
けられている。
【００１１】ＸＹテ−ブル１３は、Ｘテ−ブル１４、Ｙ
テ−ブル１５、ＤＣモ−タ（以下、モ−タと称する）１
６、１７、ボ−ルねじ１８、１９、及び、リニアガイド
２０、２１等を備えている。両テ−ブル１４、１５は取
付け板１２、１２の上に上下に重ねられている。一方の
モ−タ１６及びボ−ルねじ１８は石定盤１の平坦面２２
に取付けられており、他方のモ−タ１７及びボ−ルねじ
１９は下側のＸテ−ブル１４に取付けられている。そし
て、各ＤＣモ−タ１６、１７の動力がボ−ルねじ１８、
１９を介して各テ−ブル１４、１５に伝達され、各テ−
ブル１４、１５が直交する二軸（Ｘ軸、Ｙ軸）に変位す
る。
テ−ブル１５、ＤＣモ−タ（以下、モ−タと称する）１
６、１７、ボ−ルねじ１８、１９、及び、リニアガイド
２０、２１等を備えている。両テ−ブル１４、１５は取
付け板１２、１２の上に上下に重ねられている。一方の
モ−タ１６及びボ−ルねじ１８は石定盤１の平坦面２２
に取付けられており、他方のモ−タ１７及びボ−ルねじ
１９は下側のＸテ−ブル１４に取付けられている。そし
て、各ＤＣモ−タ１６、１７の動力がボ−ルねじ１８、
１９を介して各テ−ブル１４、１５に伝達され、各テ−
ブル１４、１５が直交する二軸（Ｘ軸、Ｙ軸）に変位す
る。
【００１２】各テ−ブル１４、１５の変位の際には、リ
ニアガイド２０、２１が各テ−ブル１４、１５を案内す
る。リニアガイド２０、２１は転がり式のもので、それ
ぞれ二本ずつのレ−ル２２、２３、２４、２４を有して
いる。上側のＹテ−ブル１５のためのレ−ル２４、２４
は下側のＸテ−ブル１４に取付けられており、Ｙテ−ブ
ル１５はこれらレ−ル２４、２４により案内されながら
直線変位する。
ニアガイド２０、２１が各テ−ブル１４、１５を案内す
る。リニアガイド２０、２１は転がり式のもので、それ
ぞれ二本ずつのレ−ル２２、２３、２４、２４を有して
いる。上側のＹテ−ブル１５のためのレ−ル２４、２４
は下側のＸテ−ブル１４に取付けられており、Ｙテ−ブ
ル１５はこれらレ−ル２４、２４により案内されながら
直線変位する。
【００１３】また、Ｘテ−ブル１４のためのレ−ル２
３、２３は前記取付け板１２、１２に取付けられてお
り、取付け板１２、１２を介して石定盤１に固定されて
いる。そして、Ｘテ−ブル１４は、Ｙテ−ブル１５を保
持しながら、これらのレ−ル２３、２３に沿って変位す
る。レ−ル２３、２３の取付け板１２、１２への固定は
ボルト２５…によって行われている。
３、２３は前記取付け板１２、１２に取付けられてお
り、取付け板１２、１２を介して石定盤１に固定されて
いる。そして、Ｘテ−ブル１４は、Ｙテ−ブル１５を保
持しながら、これらのレ−ル２３、２３に沿って変位す
る。レ−ル２３、２３の取付け板１２、１２への固定は
ボルト２５…によって行われている。
【００１４】なお、上側のレ−ル２４、２４の固定を、
下側のレ−ル２３、２３と同様にボルトを利用して行う
ことが可能である。各取付け板１２は、例えば金属製の
もので、その上下の板面２６、２７はμｍオ−ダの高い
平面度で加工されている。また、取付け板１２は複数の
ボルト６…によって石定盤１に固定されている。図２及
び図３に示すようにボルト６の頭部２８は取付け板１２
の凹陥部２９に収まっており、軸部３０は取付け板１２
を貫通している。さらに、石定盤１には金具３が埋め込
まれており、ボルト６は金具３に螺合している。金具３
の表面は石定盤１の凹陥部２に接着されている。
下側のレ−ル２３、２３と同様にボルトを利用して行う
ことが可能である。各取付け板１２は、例えば金属製の
もので、その上下の板面２６、２７はμｍオ−ダの高い
平面度で加工されている。また、取付け板１２は複数の
ボルト６…によって石定盤１に固定されている。図２及
び図３に示すようにボルト６の頭部２８は取付け板１２
の凹陥部２９に収まっており、軸部３０は取付け板１２
を貫通している。さらに、石定盤１には金具３が埋め込
まれており、ボルト６は金具３に螺合している。金具３
の表面は石定盤１の凹陥部２に接着されている。
【００１５】つぎに、上述のテ−ブル装置１１の組立方
法を説明する。まず、図２に示すように取付け板１２、
１２が石定盤１に載置される。ボルト６が金具３に螺合
して、取付け板１２が石定盤１に固定される。さらに、
図３に示すように下側のレ−ル２３が取付け板１２にボ
ルト締めされる。そして、取付け板１２の板面２６、２
７を基準としてレ−ル２３の真直度が測定され、レ−ル
２の姿勢が調整される。こののち、Ｘテ−ブル１４、及
び、Ｙテ−ブル１５が下側のレ−ル２３の上に順に組み
付けられる。
法を説明する。まず、図２に示すように取付け板１２、
１２が石定盤１に載置される。ボルト６が金具３に螺合
して、取付け板１２が石定盤１に固定される。さらに、
図３に示すように下側のレ−ル２３が取付け板１２にボ
ルト締めされる。そして、取付け板１２の板面２６、２
７を基準としてレ−ル２３の真直度が測定され、レ−ル
２の姿勢が調整される。こののち、Ｘテ−ブル１４、及
び、Ｙテ−ブル１５が下側のレ−ル２３の上に順に組み
付けられる。
【００１６】ここで、下側のレ−ル２２の真直度の測
定、及び、ＸＹテ−ブル１３の組付け等の作業は、一般
的な方法を利用して行うことが可能である。すなわち、
上述のようなテ−ブル装置１１においては、二つの取付
け板１２、１２が備えられており、ＸＹテ−ブル１３は
これら取付け板１２、１２を介して石定盤１に取付けら
れる。そして、リニアガイド２０のレ−ル２３は取付け
板１２を介して石定盤１に固定されている。このため、
下側のレ−ル２３のボルトを石定盤１の金具３に直に螺
合することなく、下側のレ−ル２３を石定盤１に固定す
ることができる。したがって、金具３と石定盤１との間
の接着力を気にすることなく、大きい締付け力で下側の
レ−ル２３を石定盤１に固定することができる。
定、及び、ＸＹテ−ブル１３の組付け等の作業は、一般
的な方法を利用して行うことが可能である。すなわち、
上述のようなテ−ブル装置１１においては、二つの取付
け板１２、１２が備えられており、ＸＹテ−ブル１３は
これら取付け板１２、１２を介して石定盤１に取付けら
れる。そして、リニアガイド２０のレ−ル２３は取付け
板１２を介して石定盤１に固定されている。このため、
下側のレ−ル２３のボルトを石定盤１の金具３に直に螺
合することなく、下側のレ−ル２３を石定盤１に固定す
ることができる。したがって、金具３と石定盤１との間
の接着力を気にすることなく、大きい締付け力で下側の
レ−ル２３を石定盤１に固定することができる。
【００１７】取付け板１２の寸法を大とし、一枚の取付
け板１２に両レ−ル２３、２３を固定することも可能で
ある。しかし、ＸＹテ−ブル１３が大型である場合に
は、その大きさに見合う面積の板材が必要である。大型
の板材を使用する場合、工作機械（平面研削盤）の加工
限界によって、二本のレ−ル２３、２３の取付け面が同
一平面上に高精度に一致するように板材を加工するのは
難しい。
け板１２に両レ−ル２３、２３を固定することも可能で
ある。しかし、ＸＹテ−ブル１３が大型である場合に
は、その大きさに見合う面積の板材が必要である。大型
の板材を使用する場合、工作機械（平面研削盤）の加工
限界によって、二本のレ−ル２３、２３の取付け面が同
一平面上に高精度に一致するように板材を加工するのは
難しい。
【００１８】しかし、本実施例のように取付け板を二枚
に分割することによって、取付け板１２の板面２５、２
６の加工が容易になる。そして、取付け板１２、１２の
高い平面度を得ることができる。
に分割することによって、取付け板１２の板面２５、２
６の加工が容易になる。そして、取付け板１２、１２の
高い平面度を得ることができる。
【００１９】さらに、石定盤１と下側のレ−ル２３、２
３との間に取付け板１２、１２を介在させることによっ
て、レ−ル２３の太さに関係なく、大型なボルト６を使
用できる。このため、金具３の大型化が可能であり、こ
れに伴って接着力も高まる。この結果、下側のレ−ル２
３、２３は、より堅固に石定盤１に固定され、組立て後
のレ−ル２３、２３の狂いが少なくなる。
３との間に取付け板１２、１２を介在させることによっ
て、レ−ル２３の太さに関係なく、大型なボルト６を使
用できる。このため、金具３の大型化が可能であり、こ
れに伴って接着力も高まる。この結果、下側のレ−ル２
３、２３は、より堅固に石定盤１に固定され、組立て後
のレ−ル２３、２３の狂いが少なくなる。
【００２０】なお、本実施例では可動機械部分としてＸ
Ｙテ−ブル１３が挙げられているが、本発明はこれに限
定されず、一般的な種々の精密機械を備えたテ−ブル装
置に適用可能である。そして、本発明は、要旨を逸脱し
ない範囲で種々に変更することが可能である。
Ｙテ−ブル１３が挙げられているが、本発明はこれに限
定されず、一般的な種々の精密機械を備えたテ−ブル装
置に適用可能である。そして、本発明は、要旨を逸脱し
ない範囲で種々に変更することが可能である。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように請求項１の発明は、
石定盤に可動機械部分を取付けてなるテ−ブル装置にお
いて、石定盤と可動機械部分との間に取付け板を介在さ
せ、取付け板によって可動機械部分の石定盤への取付け
部の平面度を調整し、可動機械部分を石定盤に取付け
た。
石定盤に可動機械部分を取付けてなるテ−ブル装置にお
いて、石定盤と可動機械部分との間に取付け板を介在さ
せ、取付け板によって可動機械部分の石定盤への取付け
部の平面度を調整し、可動機械部分を石定盤に取付け
た。
【００２２】また、請求項２の発明は、石定盤に可動機
械部分を取付けるテ−ブル装置の組立方法において、石
定盤に取付け板に固定したのち、取付け板に可動機械部
分を固定し、取付け板によって可動機械部分の石定盤へ
の取付け部の平面度を調整し、可動機械部分の取付け精
度を確保した。そして、これらの発明は、可動機械部分
を石定盤に精度よく取り付けられるという効果がある。
械部分を取付けるテ−ブル装置の組立方法において、石
定盤に取付け板に固定したのち、取付け板に可動機械部
分を固定し、取付け板によって可動機械部分の石定盤へ
の取付け部の平面度を調整し、可動機械部分の取付け精
度を確保した。そして、これらの発明は、可動機械部分
を石定盤に精度よく取り付けられるという効果がある。
【図１】本発明の一実施例のテ−ブル装置を示す構成
図。
図。
【図２】本発明の一実施例のテ−ブル装置の組立方法を
示す説明図。
示す説明図。
【図３】本発明の一実施例のテ−ブル装置の組立方法を
示す説明図。
示す説明図。
【図４】従来のテ−ブル装置の組立方法を示す説明図。
１…石定盤、３…金具、６…ボルト、１１…テ−ブル装
置、１２、１２…取付け板、１３…ＸＹテ−ブル（可動
機械部分）、２３、２３…下側のレ−ル。
置、１２、１２…取付け板、１３…ＸＹテ−ブル（可動
機械部分）、２３、２３…下側のレ−ル。
Claims (2)
- 【請求項１】 石定盤に可動機械部分を取付けてなるテ
−ブル装置において、上記石定盤と上記可動機械部分と
の間に取付け板を介在させ、上記取付け板によって上記
可動機械部分の上記石定盤への取付け部の平面度を調整
し、上記可動機械部分を上記石定盤に取付けることを特
徴とするテ−ブル装置。 - 【請求項２】 石定盤に可動機械部分を取付けるテ−ブ
ル装置の組立方法において、上記石定盤に取付け板に固
定したのち、上記取付け板によって上記可動機械部分を
固定し、上記取付け板によって上記可動機械部分の上記
石定盤への取付け部の平面度を調整し、上記可動機械部
分の取付け精度を確保することを特徴とするテ−ブル装
置の組立方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11474793A JPH06320366A (ja) | 1993-05-17 | 1993-05-17 | テ−ブル装置及びその組立方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11474793A JPH06320366A (ja) | 1993-05-17 | 1993-05-17 | テ−ブル装置及びその組立方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06320366A true JPH06320366A (ja) | 1994-11-22 |
Family
ID=14645664
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11474793A Pending JPH06320366A (ja) | 1993-05-17 | 1993-05-17 | テ−ブル装置及びその組立方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06320366A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101374401B1 (ko) * | 2010-10-07 | 2014-03-17 | 포항공과대학교 산학협력단 | 전기장 보조 로보틱 노즐 프린터 및 이를 이용한 정렬된 유기 와이어 패턴의 제조 방법 |
| CN114260852A (zh) * | 2021-12-23 | 2022-04-01 | 绍兴市耐特驱动科技有限公司 | 一种快装式升降桌的组装方法 |
-
1993
- 1993-05-17 JP JP11474793A patent/JPH06320366A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101374401B1 (ko) * | 2010-10-07 | 2014-03-17 | 포항공과대학교 산학협력단 | 전기장 보조 로보틱 노즐 프린터 및 이를 이용한 정렬된 유기 와이어 패턴의 제조 방법 |
| CN114260852A (zh) * | 2021-12-23 | 2022-04-01 | 绍兴市耐特驱动科技有限公司 | 一种快装式升降桌的组装方法 |
| CN114260852B (zh) * | 2021-12-23 | 2024-03-12 | 绍兴市耐特驱动科技有限公司 | 一种快装式升降桌的组装方法 |
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