JPH06321676A - イメージ炉 - Google Patents
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- JPH06321676A JPH06321676A JP13646293A JP13646293A JPH06321676A JP H06321676 A JPH06321676 A JP H06321676A JP 13646293 A JP13646293 A JP 13646293A JP 13646293 A JP13646293 A JP 13646293A JP H06321676 A JPH06321676 A JP H06321676A
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B13/00—Single-crystal growth by zone-melting; Refining by zone-melting
- C30B13/16—Heating of the molten zone
- C30B13/22—Heating of the molten zone by irradiation or electric discharge
- C30B13/24—Heating of the molten zone by irradiation or electric discharge using electromagnetic waves
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- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Control Of Resistance Heating (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 容器内に固定した試料の温度を非接触で測定
する。 【構成】 双楕円型イメージ炉を示す。第１焦点に設定
した熱光源（２ａ、２ｂ）は波長５μｍ以下の赤外線を
発する。これは回転楕円反射鏡（１ａ、１ｂ）で反射さ
れ第２焦点位置に集光し、そこに設定される被加熱試料
（５ａ、５ｂ）を加熱し溶融帯６を形成させる。試料
（５ａ、５ｂ）を固定収納する透明容器１２はＴ字型炉
芯管７ｂ内に出入りするシャフト３ｂの先端にホルダ４
ｂを介して取り付けられる。炉芯管７ｂは波長５μｍ以
下の赤外線を透過する石英ガラスからなり、容器１２は
波長５μｍ以上の赤外線をも透過するサファイア等から
なる。試料及び溶融帯の発する波長５μｍ以上の赤外線
は炉芯管７ｂにガイドされ窓８に到達しサファイアから
なる保護板９ｂを透過して波長５μｍ以上の赤外線に感
応する検出器１０ｂに入る。
する。 【構成】 双楕円型イメージ炉を示す。第１焦点に設定
した熱光源（２ａ、２ｂ）は波長５μｍ以下の赤外線を
発する。これは回転楕円反射鏡（１ａ、１ｂ）で反射さ
れ第２焦点位置に集光し、そこに設定される被加熱試料
（５ａ、５ｂ）を加熱し溶融帯６を形成させる。試料
（５ａ、５ｂ）を固定収納する透明容器１２はＴ字型炉
芯管７ｂ内に出入りするシャフト３ｂの先端にホルダ４
ｂを介して取り付けられる。炉芯管７ｂは波長５μｍ以
下の赤外線を透過する石英ガラスからなり、容器１２は
波長５μｍ以上の赤外線をも透過するサファイア等から
なる。試料及び溶融帯の発する波長５μｍ以上の赤外線
は炉芯管７ｂにガイドされ窓８に到達しサファイアから
なる保護板９ｂを透過して波長５μｍ以上の赤外線に感
応する検出器１０ｂに入る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、結晶成長等で利用され
るイメージ炉に係り、特に加熱中の試料温度を非接触で
測定するための被加熱試料の取り付け構造に関する。
るイメージ炉に係り、特に加熱中の試料温度を非接触で
測定するための被加熱試料の取り付け構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】イメージ炉は、炉内面を回転楕円反射鏡
で構成し、その回転楕円面の第１焦点近傍に熱光源を配
置し、第２焦点近傍に配置した試料に熱光線を集中し、
試料を加熱する装置である。
で構成し、その回転楕円面の第１焦点近傍に熱光源を配
置し、第２焦点近傍に配置した試料に熱光線を集中し、
試料を加熱する装置である。
【０００３】このイメージ炉には、反射鏡が１個の回転
楕円面のみで構成される単楕円型、反射鏡が２個の回転
楕円面の組み合わせで構成され第２の焦点を共有する構
造の双楕円型、更に反射鏡が３個の回転楕円面の組み合
わせで構成され第２の焦点を共有する構造の多楕円型、
等各種のタイプのものがある。
楕円面のみで構成される単楕円型、反射鏡が２個の回転
楕円面の組み合わせで構成され第２の焦点を共有する構
造の双楕円型、更に反射鏡が３個の回転楕円面の組み合
わせで構成され第２の焦点を共有する構造の多楕円型、
等各種のタイプのものがある。
【０００４】また、試料温度は、熱電対等により直接測
定が可能であるが、非接触測定を可能にするイメージ炉
には、単管の炉芯管を用いたタイプ（図２）と、Ｔ字型
炉芯管を用いたタイプ（図３）とがある。図２及び図３
に示すイメージ炉は、何れも双楕円型イメージ炉であっ
て、本出願人の提案に係るものである。
定が可能であるが、非接触測定を可能にするイメージ炉
には、単管の炉芯管を用いたタイプ（図２）と、Ｔ字型
炉芯管を用いたタイプ（図３）とがある。図２及び図３
に示すイメージ炉は、何れも双楕円型イメージ炉であっ
て、本出願人の提案に係るものである。
【０００５】具体的には、図２に示す双楕円型イメージ
炉は、特開昭６０−２０５１７８号公報にて公開され既
に公知であるが、５μｍ以下の特定波長の赤外線による
非接触温度計測が行えるものである。一方、図３に示す
双楕円型イメージ炉は、未公開（特願平４−１７３２８
号）であるが、５μｍ以上の特定波長の赤外線による非
接触度計測が行えるものである。以下、図２と図３を参
照して従来のイメージ炉における非接触温度測定の構造
を説明する。
炉は、特開昭６０−２０５１７８号公報にて公開され既
に公知であるが、５μｍ以下の特定波長の赤外線による
非接触温度計測が行えるものである。一方、図３に示す
双楕円型イメージ炉は、未公開（特願平４−１７３２８
号）であるが、５μｍ以上の特定波長の赤外線による非
接触度計測が行えるものである。以下、図２と図３を参
照して従来のイメージ炉における非接触温度測定の構造
を説明する。
【０００６】図２のＡ（横断面図）において、炉内面
は、１ａと１ｂの２個の回転楕円反射鏡を第２焦点（同
図中の中央付近）を共有するようにそれぞれの第１焦点
を水平面内で対向配置して形成され、回転楕円反射鏡１
ａの第１焦点近傍に熱光源２ａが配置され、回転楕円反
射鏡１ｂの第１焦点近傍に熱光源２ｂが配置される。こ
れらの熱光源の発する赤外線は回転楕円反射鏡（１ａ、
１ｂ）で反射され第２焦点位置に集光される。
は、１ａと１ｂの２個の回転楕円反射鏡を第２焦点（同
図中の中央付近）を共有するようにそれぞれの第１焦点
を水平面内で対向配置して形成され、回転楕円反射鏡１
ａの第１焦点近傍に熱光源２ａが配置され、回転楕円反
射鏡１ｂの第１焦点近傍に熱光源２ｂが配置される。こ
れらの熱光源の発する赤外線は回転楕円反射鏡（１ａ、
１ｂ）で反射され第２焦点位置に集光される。
【０００７】これらの熱光源は、ハロゲンランプ等から
なり、フィラメント（２1a、２1b）を石英ガラス
（２2a、２2b）からなるバルブ内に納めたものである。
なお、石英ガラスは透過波長が５μｍ以下であり、それ
以上の波長の赤外線は透過せず吸収するが、図２に示す
石英ガラス（２2a、２2b）は、５μｍ以下の特定波長λ
の赤外線を透過させずに吸収する材質のものからなる。
なり、フィラメント（２1a、２1b）を石英ガラス
（２2a、２2b）からなるバルブ内に納めたものである。
なお、石英ガラスは透過波長が５μｍ以下であり、それ
以上の波長の赤外線は透過せず吸収するが、図２に示す
石英ガラス（２2a、２2b）は、５μｍ以下の特定波長λ
の赤外線を透過させずに吸収する材質のものからなる。
【０００８】第２焦点近傍には、図２のＢ（縦断面図）
に詳示するように、２つの熱光源の配置方向に直交する
上下方向に向けて棒状の被加熱試料等が配置される。具
体的には、第２焦点近傍の上下方向に対向する炉壁には
上側シャフト３ａと下側シャフト３ｂが炉内に出入り可
能に設けられ、両シャフトの先端にホルダ（４ａ、４
ｂ）を介して被加熱試料（５ａ、５ｂ）が取り付けられ
る。なお、両シャフトにはＯリングからなるシール材
（１１ａ、１１ｂ）が介挿され、炉内の機密性の確保が
図られている。
に詳示するように、２つの熱光源の配置方向に直交する
上下方向に向けて棒状の被加熱試料等が配置される。具
体的には、第２焦点近傍の上下方向に対向する炉壁には
上側シャフト３ａと下側シャフト３ｂが炉内に出入り可
能に設けられ、両シャフトの先端にホルダ（４ａ、４
ｂ）を介して被加熱試料（５ａ、５ｂ）が取り付けられ
る。なお、両シャフトにはＯリングからなるシール材
（１１ａ、１１ｂ）が介挿され、炉内の機密性の確保が
図られている。
【０００９】上側試料５ａと下側試料５ｂの対向先端位
置の間隔は、両シャフトを出入り操作して調節設定する
が、その対向先端はフィラメント（２1a、２1b）の発す
る赤外線により加熱され、溶融帯６が形成される。
置の間隔は、両シャフトを出入り操作して調節設定する
が、その対向先端はフィラメント（２1a、２1b）の発す
る赤外線により加熱され、溶融帯６が形成される。
【００１０】そして、円筒状の単管炉芯管７ａが、これ
らシャフト及び試料を収納するようにその両端が第２焦
点近傍の上下方向に対向する炉壁に固定される。この単
管炉芯管７ａは、５μｍ以下の特定波長λの赤外線を透
過させ得る一般の石英ガラスからなり、上下の被加熱試
料（５ａ、５ｂ）及び溶融帯６を外部から遮断し、それ
らの周囲に不活性ガスなどの雰囲気ガスを満たしたり、
更にそれらが発生するガスから回転楕円反射鏡（１ａ、
１ｂ）を保護する目的で設けられる。
らシャフト及び試料を収納するようにその両端が第２焦
点近傍の上下方向に対向する炉壁に固定される。この単
管炉芯管７ａは、５μｍ以下の特定波長λの赤外線を透
過させ得る一般の石英ガラスからなり、上下の被加熱試
料（５ａ、５ｂ）及び溶融帯６を外部から遮断し、それ
らの周囲に不活性ガスなどの雰囲気ガスを満たしたり、
更にそれらが発生するガスから回転楕円反射鏡（１ａ、
１ｂ）を保護する目的で設けられる。
【００１１】次に、第２焦点近傍に対向した炉壁には、
窓８が穿設され、被加熱試料（５ａ、５ｂ）の加熱状態
及び溶融帯６の形成状態を目視確認できるようになって
いるが、被加熱試料（５ａ、５ｂ）及び溶融帯６の温度
を測定するため、この窓８の炉壁外面には５μｍ以下の
特定波長λの赤外線のみを通過させるバンドパスフィル
タ９が設けられる。なお、炉内の機密性を確保するた
め、バンドパスフィルタ９には同じくＯリング等からな
るシール材１１ｃが介挿される。
窓８が穿設され、被加熱試料（５ａ、５ｂ）の加熱状態
及び溶融帯６の形成状態を目視確認できるようになって
いるが、被加熱試料（５ａ、５ｂ）及び溶融帯６の温度
を測定するため、この窓８の炉壁外面には５μｍ以下の
特定波長λの赤外線のみを通過させるバンドパスフィル
タ９が設けられる。なお、炉内の機密性を確保するた
め、バンドパスフィルタ９には同じくＯリング等からな
るシール材１１ｃが介挿される。
【００１２】即ち、被加熱試料（５ａ、５ｂ）及び溶融
帯６の発する赤外線のうち５μｍ以下の特定波長λの赤
外線は炉芯管７ａを透過した後バンドパスィルタ９を通
り外部に設定した５μｍ以下の特定波長λに感度を有す
る検出器１０ａに導入される。検出器１０ａの出力は、
図示しないディスプレイ等に接続され、被加熱試料（５
ａ、５ｂ）及び溶融帯６の温度値や温度分布が表示等さ
れる。
帯６の発する赤外線のうち５μｍ以下の特定波長λの赤
外線は炉芯管７ａを透過した後バンドパスィルタ９を通
り外部に設定した５μｍ以下の特定波長λに感度を有す
る検出器１０ａに導入される。検出器１０ａの出力は、
図示しないディスプレイ等に接続され、被加熱試料（５
ａ、５ｂ）及び溶融帯６の温度値や温度分布が表示等さ
れる。
【００１３】このとき、フィラメント（２1a、２1b）の
発する赤外線のうち、５μｍ以下の特定波長λの赤外線
は石英ガラス（２2a、２2b）で吸収され、検出器１０ａ
には到達せず、特定波長λに対応した温度を正確に測定
できるようになっている。
発する赤外線のうち、５μｍ以下の特定波長λの赤外線
は石英ガラス（２2a、２2b）で吸収され、検出器１０ａ
には到達せず、特定波長λに対応した温度を正確に測定
できるようになっている。
【００１４】要するに、図２に示すイメージ炉は、フィ
ラメント（２1a、２1b）の発する赤外線のうち波長５μ
ｍ以下の特定波長λの赤外線が窓８から検出器１０ａに
飛び込み正確な温度計測ができないので、バルブたる石
英ガラス（２2a、２2b）を特定波長λを吸収する材質か
らなるもので形成したのである。
ラメント（２1a、２1b）の発する赤外線のうち波長５μ
ｍ以下の特定波長λの赤外線が窓８から検出器１０ａに
飛び込み正確な温度計測ができないので、バルブたる石
英ガラス（２2a、２2b）を特定波長λを吸収する材質か
らなるもので形成したのである。
【００１５】しかし、その後の検討結果、フィラメント
（２1a、２1b）の発する赤外線でバルブ（２2a、２2b）
は加熱され、点灯中は数百度［℃］の高温になるので、
バルブ（２2a、２2b）の表面からその特定波長λの赤外
線が発せられ、正確な温度計測は依然としてできていな
いことが判明した。
（２1a、２1b）の発する赤外線でバルブ（２2a、２2b）
は加熱され、点灯中は数百度［℃］の高温になるので、
バルブ（２2a、２2b）の表面からその特定波長λの赤外
線が発せられ、正確な温度計測は依然としてできていな
いことが判明した。
【００１６】次に、図３において、このイメージ炉は、
石英ガラスは一般に波長５μｍ以上の赤外線を透過せず
吸収する性質があることに鑑み、石英ガラス製の炉芯管
としてＴ字型炉芯管７ｂを用い、シャフト（３ａ、３
ｂ）、被加熱試料（５ａ、５ｂ）及び溶融帯６を収納す
ると共に、溶融帯６近傍の所定範囲から窓８に至る経路
を包み込み、溶融帯６近傍の所定範囲で発する波長５μ
ｍ以上の赤外線が窓８に支障なく到達できるようにし、
また窓８の炉壁外面に波長５μｍ以上の赤外線をも透過
するサファイア等からなる保護板９ｂを設け、かつ、５
μｍ以上の特定波長に感度を有する検出器１０ｂを設け
たものである。
石英ガラスは一般に波長５μｍ以上の赤外線を透過せず
吸収する性質があることに鑑み、石英ガラス製の炉芯管
としてＴ字型炉芯管７ｂを用い、シャフト（３ａ、３
ｂ）、被加熱試料（５ａ、５ｂ）及び溶融帯６を収納す
ると共に、溶融帯６近傍の所定範囲から窓８に至る経路
を包み込み、溶融帯６近傍の所定範囲で発する波長５μ
ｍ以上の赤外線が窓８に支障なく到達できるようにし、
また窓８の炉壁外面に波長５μｍ以上の赤外線をも透過
するサファイア等からなる保護板９ｂを設け、かつ、５
μｍ以上の特定波長に感度を有する検出器１０ｂを設け
たものである。
【００１７】なお、図３に示す構成では、熱光源（２
ａ、２ｂ）の発する波長５μｍ以下の赤外線がＴ字型炉
芯管７ｂを通過し、検出器１０ｂに到達しても検出器１
０ｂは感知しないので、熱光源（２ａ、２ｂ）のバルブ
を形成する石英ガラスは、５μｍ以下の特定波長の赤外
線を吸収する材質からなるものであっても良く、また波
長５μｍ以上の赤外線を吸収する一般の材質からなるも
のであっても良い。
ａ、２ｂ）の発する波長５μｍ以下の赤外線がＴ字型炉
芯管７ｂを通過し、検出器１０ｂに到達しても検出器１
０ｂは感知しないので、熱光源（２ａ、２ｂ）のバルブ
を形成する石英ガラスは、５μｍ以下の特定波長の赤外
線を吸収する材質からなるものであっても良く、また波
長５μｍ以上の赤外線を吸収する一般の材質からなるも
のであっても良い。
【００１８】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、Ｔ字
型炉芯管を用いたイメージ炉では、波長５μｍ以上の赤
外線により非接触で被加熱試料や溶融帯の温度を正確に
計測できるが、近年、被加熱試料として人体に有毒なひ
素等のガスを発生する可能性のあるものが用いられてき
ており、かかる場合には被加熱試料を封入した密閉容器
を上側または下側の何れか一方のシャフトに取り付けて
Ｔ字型炉芯管内に配置し、その密閉容器内で試料を加熱
し溶融帯を形成する必要がある。
型炉芯管を用いたイメージ炉では、波長５μｍ以上の赤
外線により非接触で被加熱試料や溶融帯の温度を正確に
計測できるが、近年、被加熱試料として人体に有毒なひ
素等のガスを発生する可能性のあるものが用いられてき
ており、かかる場合には被加熱試料を封入した密閉容器
を上側または下側の何れか一方のシャフトに取り付けて
Ｔ字型炉芯管内に配置し、その密閉容器内で試料を加熱
し溶融帯を形成する必要がある。
【００１９】また、被加熱試料をＴ字型炉芯管内に設定
する方法として図３に示す場合の他に、シャフトを上側
または下側の何れか一方とする共に、被加熱試料を側端
面が開口した筒状の容器内に固定し、その筒状容器をそ
の１つのシャフトに取り付けてＴ字型炉芯管内に配置す
る方法がある。この場合にもその筒状容器内で試料を加
熱し溶融帯を形成することになる。
する方法として図３に示す場合の他に、シャフトを上側
または下側の何れか一方とする共に、被加熱試料を側端
面が開口した筒状の容器内に固定し、その筒状容器をそ
の１つのシャフトに取り付けてＴ字型炉芯管内に配置す
る方法がある。この場合にもその筒状容器内で試料を加
熱し溶融帯を形成することになる。
【００２０】しかし、従来では、かかる用途に用いる密
閉容器や筒状容器は炉芯管と同様の石英ガラスで形成す
るのが一般であるので、密閉容器や筒状容器内で加熱中
の試料や溶融帯の発する赤外線のうち波長５μｍ以上の
赤外線は、密閉容器や筒状容器で吸収され検出器に到達
できず、温度測定ができないという問題がある。その際
に、検出器として５μｍ以下の特定波長に感度を有する
ものを用いることも考えられるが、この場合には、熱光
源の発する赤外線も検出してしまうので、妥当でない。
閉容器や筒状容器は炉芯管と同様の石英ガラスで形成す
るのが一般であるので、密閉容器や筒状容器内で加熱中
の試料や溶融帯の発する赤外線のうち波長５μｍ以上の
赤外線は、密閉容器や筒状容器で吸収され検出器に到達
できず、温度測定ができないという問題がある。その際
に、検出器として５μｍ以下の特定波長に感度を有する
ものを用いることも考えられるが、この場合には、熱光
源の発する赤外線も検出してしまうので、妥当でない。
【００２１】本発明は、このような従来の問題に鑑みな
されたもので、その目的は、容器内で加熱溶融する試料
の温度を非接触で正確に計測できるイメージ炉を提供す
ることにある。
されたもので、その目的は、容器内で加熱溶融する試料
の温度を非接触で正確に計測できるイメージ炉を提供す
ることにある。
【００２２】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明のイメージ炉は次の如き構成を有する。即
ち、本発明のイメージ炉は、炉内面が第１焦点と第２焦
点を有する回転楕円反射鏡で構成される炉内部に； 前
記第１焦点近傍に設けられるハロゲンランプ等の熱光源
と； 前記第２焦点近傍に設けられ前記熱光源の発する
赤外線で加熱される被加熱試料と； 前記被加熱試料を
収納すると共に、当該被加熱試料の発する赤外線を前記
第２焦点近傍に対応して炉壁に開けられた窓に導くＴ字
型炉芯管と； を設け、前記窓から炉外に射出される赤
外線を波長５μｍ以上の赤外線に感応する温度検出器に
導入して前記被加熱試料の温度を測定するイメージ炉に
おいて； 前記Ｔ型炉芯管内に前記被加熱試料を設定す
る際に使用される透明容器は、波長５μｍ以上の赤外線
をも透過するサファイア等の材料で構成される；ことを
特徴とするものである。
め、本発明のイメージ炉は次の如き構成を有する。即
ち、本発明のイメージ炉は、炉内面が第１焦点と第２焦
点を有する回転楕円反射鏡で構成される炉内部に； 前
記第１焦点近傍に設けられるハロゲンランプ等の熱光源
と； 前記第２焦点近傍に設けられ前記熱光源の発する
赤外線で加熱される被加熱試料と； 前記被加熱試料を
収納すると共に、当該被加熱試料の発する赤外線を前記
第２焦点近傍に対応して炉壁に開けられた窓に導くＴ字
型炉芯管と； を設け、前記窓から炉外に射出される赤
外線を波長５μｍ以上の赤外線に感応する温度検出器に
導入して前記被加熱試料の温度を測定するイメージ炉に
おいて； 前記Ｔ型炉芯管内に前記被加熱試料を設定す
る際に使用される透明容器は、波長５μｍ以上の赤外線
をも透過するサファイア等の材料で構成される；ことを
特徴とするものである。
【００２３】
【作用】次に、前記の如くに構成される本発明のイメー
ジ炉の作用を説明する。本発明のイメージ炉では、Ｔ型
炉芯管内に被加熱試料を設定する密閉容器または筒状容
器である透明容器に、サファイア等の波長５μｍ以上の
赤外線をも透過する材料で形成したものを用いるように
してある。
ジ炉の作用を説明する。本発明のイメージ炉では、Ｔ型
炉芯管内に被加熱試料を設定する密閉容器または筒状容
器である透明容器に、サファイア等の波長５μｍ以上の
赤外線をも透過する材料で形成したものを用いるように
してある。
【００２４】従って、人体に有毒なガスを発生する試料
であっても支障なく、密閉容器内で加熱溶融する試料の
温度を非接触で正確に計測できることになる。
であっても支障なく、密閉容器内で加熱溶融する試料の
温度を非接触で正確に計測できることになる。
【００２５】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して説明
する。図１は、本発明の一実施例に係るイメージ炉を示
す。図３と同一構成部分には同一符号名称を付してあ
る。以下、本発明に係る部分を中心に説明する。
する。図１は、本発明の一実施例に係るイメージ炉を示
す。図３と同一構成部分には同一符号名称を付してあ
る。以下、本発明に係る部分を中心に説明する。
【００２６】図１において、シャフトは下側３ｂのみと
し、この下側シャフト３ｂの先端に下側ホルダ４ｂを介
して透明容器１２が取り付けられ、この透明容器１２内
に被加熱試料（５ａ、５ｂ）が固定配置される。
し、この下側シャフト３ｂの先端に下側ホルダ４ｂを介
して透明容器１２が取り付けられ、この透明容器１２内
に被加熱試料（５ａ、５ｂ）が固定配置される。
【００２７】透明容器１２は、波長５μｍ以上の赤外線
をも透過できる材料、例えばサファイアからなり、被加
熱試料（５ａ、５ｂ）を封入固定する密閉容器または被
加熱試料（５ａ、５ｂ）を単に固定する端面開口の筒状
容器である。
をも透過できる材料、例えばサファイアからなり、被加
熱試料（５ａ、５ｂ）を封入固定する密閉容器または被
加熱試料（５ａ、５ｂ）を単に固定する端面開口の筒状
容器である。
【００２８】斯くして、被加熱試料（５ａ、５ｂ）及び
溶融帯６の発する波長５μｍ以上の赤外線は、支障なく
透明容器１２を透過して検出器１０ｂに到達できるの
で、透明容器１２内で加熱溶融する試料の温度を被接触
で正確に測定できる。
溶融帯６の発する波長５μｍ以上の赤外線は、支障なく
透明容器１２を透過して検出器１０ｂに到達できるの
で、透明容器１２内で加熱溶融する試料の温度を被接触
で正確に測定できる。
【００２９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のイメージ
炉では、Ｔ型炉芯管内に被加熱試料を設定する密閉容器
または筒状容器である透明容器に、サファイア等の波長
５μｍ以上の赤外線をも透過する材料で形成したものを
用いるので、人体に有毒なガスを発生する試料であって
も支障なく、密閉容器内で加熱溶融する試料の温度を非
接触で正確に計測できる効果がある。また、試料を炉内
に挿入するシャフトを片側の１つのみとし、操作及び構
造の簡素化が図れる効果もある。
炉では、Ｔ型炉芯管内に被加熱試料を設定する密閉容器
または筒状容器である透明容器に、サファイア等の波長
５μｍ以上の赤外線をも透過する材料で形成したものを
用いるので、人体に有毒なガスを発生する試料であって
も支障なく、密閉容器内で加熱溶融する試料の温度を非
接触で正確に計測できる効果がある。また、試料を炉内
に挿入するシャフトを片側の１つのみとし、操作及び構
造の簡素化が図れる効果もある。
【図１】本発明の一実施例に係るイメージ炉を示し、Ａ
は横断面図、Ｂは縦断面図である。
は横断面図、Ｂは縦断面図である。
【図２】従来の単管の炉芯管を用いたイメージ炉を示
し、Ａは横断面図、Ｂは縦断面図である。
し、Ａは横断面図、Ｂは縦断面図である。
【図３】従来のＴ字型炉芯管を用いたイメージ炉を示
し、Ａは横断面図、Ｂは縦断面図である。
し、Ａは横断面図、Ｂは縦断面図である。
１ａ，１ｂ 回転楕円反射鏡 ２ａ，２ｂ 熱光源 ３ｂ 下側シャフト ４ｂ 下側試料ホルダ ５ａ 上側試料 ５ｂ 下側試料 ６ 溶融帯 ７ｂ Ｔ字型炉芯管 ８ 窓 ９ｂ 保護板 １０ｂ 検出器 １２ 透明容器
Claims (1)
- 【請求項１】 炉内面が第１焦点と第２焦点を有する回
転楕円反射鏡で構成される炉内部に； 前記第１焦点近
傍に設けられるハロゲンランプ等の熱光源と； 前記第
２焦点近傍に設けられ前記熱光源の発する赤外線で加熱
される被加熱試料と； 前記被加熱試料を収納すると共
に、当該被加熱試料の発する赤外線を前記第２焦点近傍
に対応して炉壁に開けられた窓に導くＴ字型炉芯管と；
を設け、前記窓から炉外に射出される赤外線を波長５
μｍ以上の赤外線に感応する温度検出器に導入して前記
被加熱試料の温度を測定するイメージ炉において； 前
記Ｔ型炉芯管内に前記被加熱試料を設定する際に使用さ
れる透明容器は、波長５μｍ以上の赤外線をも透過する
サファイア等の材料で構成される； ことを特徴とする
イメージ炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5136462A JP2601137B2 (ja) | 1993-05-14 | 1993-05-14 | イメージ炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5136462A JP2601137B2 (ja) | 1993-05-14 | 1993-05-14 | イメージ炉 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06321676A true JPH06321676A (ja) | 1994-11-22 |
| JP2601137B2 JP2601137B2 (ja) | 1997-04-16 |
Family
ID=15175683
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5136462A Expired - Lifetime JP2601137B2 (ja) | 1993-05-14 | 1993-05-14 | イメージ炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2601137B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011037640A (ja) * | 2009-08-06 | 2011-02-24 | Canon Machinery Inc | 単結晶育成装置及び単結晶育成方法 |
| KR101107113B1 (ko) * | 2009-10-13 | 2012-01-30 | 한국원자력연구원 | 수직형 열전도도 시험기용 시편 추락 방지를 위한 투명 시편 지지대 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS628145U (ja) * | 1985-07-01 | 1987-01-19 | ||
| JPH03164492A (ja) * | 1989-08-31 | 1991-07-16 | Nichiden Mach Ltd | 単結晶製造装置 |
-
1993
- 1993-05-14 JP JP5136462A patent/JP2601137B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS628145U (ja) * | 1985-07-01 | 1987-01-19 | ||
| JPH03164492A (ja) * | 1989-08-31 | 1991-07-16 | Nichiden Mach Ltd | 単結晶製造装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011037640A (ja) * | 2009-08-06 | 2011-02-24 | Canon Machinery Inc | 単結晶育成装置及び単結晶育成方法 |
| KR101107113B1 (ko) * | 2009-10-13 | 2012-01-30 | 한국원자력연구원 | 수직형 열전도도 시험기용 시편 추락 방지를 위한 투명 시편 지지대 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2601137B2 (ja) | 1997-04-16 |
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