JPH06328051A - 電子部品または精密部品類の洗浄装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 コンパクトで排水負荷の小さな洗浄装置を提
供すること。 【構成】 下記（ａ）〜（ｄ）を備えていることを特徴
とする電子部品または精密部品類の洗浄装置。 （ａ）洗浄対象物を洗浄する洗浄槽 （ｂ）加熱すると洗浄液層と水層とに分離する特性を有
する洗浄液を貯液する洗浄液貯槽 （ｃ）すすぎ液又はすすぎ液と洗浄液との混合液を貯液
するとともに、すすぎ液と洗浄液とを分離することが可
能なすすぎ液貯槽 （ｄ）上記洗浄槽と上記洗浄液貯槽との間で洗浄液の送
液と受液とを行う配管、及び上記洗浄槽とすすぎ液貯槽
との間ですすぎ液の送液と受液とを行う配管

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、電子部品又は精密部品
類の洗浄装置、詳しくは、油脂、機械油、切削油、グリ
ース、液晶又はフラックス等の汚染物質が付着した電子
部品又は精密部品類の洗浄装置に関する。

【０００２】

【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】従来、
精密部品又は治工具類等の固体表面に存在する、油脂、
機械油、切削油、グリース、液晶及びフラックス等の有
機物を主体とする汚れの除去には、ケロシン、ベンゼ
ン、キシレン等の炭化水素系溶剤；トリクロロエチレ
ン、テトラクロロエチレン等の塩素系溶剤；トリクロロ
トリフルオロエタン等のフロン系溶剤；界面活性剤やビ
ルダーを配合した水系の洗浄液等が使用されている。特
に電子、電気、機械等の部品には、その高洗浄性、難燃
性という特性をかして、フロン系溶剤又は、塩素系溶剤
が使用されてきた。

【０００３】しかしながら、上記塩素系溶剤及びフロン
系溶剤を用いる洗浄液は、安全性、毒性、環境汚染性な
どに大きな問題を有していることが明らかにされ、国際
レベルでその廃止が進められている。

【０００４】この様な背景から塩素系溶剤やフロン系溶
剤に替わる洗浄液として、テルペン系溶剤、炭化水素系
溶剤、アルコール系溶剤等の溶剤系代替洗液や界面活性
剤等を含有する水系の洗浄液が開発され、これらの洗浄
液を用いた洗浄方法は、通常洗浄対象物を洗浄液中に浸
漬すること又はシャワーノズルを用いて洗浄液を洗浄対
象物に噴射すること等による洗浄工程とこれらの洗浄工
程と同様にして実施されるすぎ工程とを有する。ここ
で、上記洗浄工程とは、洗浄対象物に付着した汚れを洗
浄剤により除去する工程であり、上記すすぎ工程とは、
洗浄対象物に付着した汚れと洗浄液とを除去する工程で
ある。

【０００５】上記の洗浄対象物を洗浄液中に浸漬するこ
とによる洗浄工程又はすすぎ工程において適用される洗
浄方法としては、超音波振動法、揺動法、液中シャワー
法及び液中回転法が挙げられる。また、シャワーノズル
を用いて洗浄液又はすすぎ液を洗浄物に噴射すること等
による洗浄工程又はすすぎ工程において適用される洗浄
方法としては、シャワーノズルとして回転ノズルを用い
る方法及び洗浄対象物を回転させながら洗浄液又はすす
ぎ液を洗浄対象物に噴射する方法などが挙げられる。

【０００６】上述の如く、水系洗浄剤の洗浄装置は、従
来のフロンを使用した洗浄装置に比べ、洗浄工程で付着
した洗浄剤をすすぐための、水によるすすぎ工程及び排
水処理工程が必要であり、従来の装置においてはこれら
の工程に対して別個の槽を必要としていたため、装置全
体が大きくなることが問題となっていた。

【０００７】従って、本発明の目的は、コンパクトで排
水負荷の小さな洗浄装置を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明は、下記（ａ）〜
（ｄ）を備えていることを特徴とする電子部品または精
密部品類の洗浄装置を提供することにより上記目的を達
成したものである。 （ａ）洗浄対象物を洗浄する洗浄槽 （ｂ）加熱すると洗浄液層と水層とに分離する特性を有
する洗浄液を貯液する洗浄液貯槽 （ｃ）すすぎ液又はすすぎ液と洗浄液との混合液を貯液
するとともに、すすぎ液と洗浄液とを分離することが可
能なすすぎ液貯槽 （ｄ）上記洗浄槽と上記洗浄液貯槽との間で洗浄液の送
液と受液とを行う配管、及び上記洗浄槽とすすぎ液貯槽
との間ですすぎ液の送液と受液とを行う配管

【０００９】

【作用】本発明の洗浄装置は、洗浄槽と、洗浄液貯槽及
びすすぎ液貯槽とが、配管を介して連結されている。そ
して、洗浄工程を行う際には、洗浄液貯槽から洗浄液槽
に洗浄液を供給し、洗浄を行った後、洗浄液を排出し、
次いで、すすぎ液貯槽から洗浄液槽にすすぎ液を供給
し、すすぎを行うことにより洗浄工程を行うことができ
る。即ち、本発明の洗浄装置は、一つの洗浄槽で洗浄及
びすすぎを行うことができる。また、すすぎ液と洗浄液
との混合液を、すすぎ液（水層）と汚れを含む洗浄液
（有機層）とに分離することにより、水層をすすぎ液と
して再利用することができる。

【００１０】

【実施例】以下、図面を参照して本発明を更に詳細に説
明する。図１は、本発明の洗浄装置の１実施例を示す概
略工程図であり、図２及び図３は、図１に示す洗浄装置
における洗浄槽の１例を示す概略図である。図１に示す
本実施例の洗浄装置１は、洗浄対象物を洗浄する洗浄槽
１０、加熱すると洗浄液層と水層とに分離する特性を有
する洗浄液を貯液する洗浄液貯槽２０、すすぎ液又はす
すぎ液と洗浄液との混合液を貯液するとともに、すすぎ
液と洗浄液とを分離することが可能なすすぎ液貯槽３
０、上記洗浄槽と上記洗浄液貯槽との間で洗浄液の送液
と受液とを行う配管４０、及び上記洗浄槽とすすぎ液貯
槽との間ですすぎ液の送液と受液とを行う配管４０を備
えている。

【００１１】詳細には、洗浄槽１は、特に限定されるも
のではないが、例えば下記（１）〜（６）に示す方式の
洗浄槽等が挙げられる。 （１）浸漬方式 洗浄液を満たした槽内に洗浄対象物を浸し、該洗浄対象
物を静置し又は揺動させて汚れを除去する方式。 （２）シャワー方式 槽内で洗浄液をノズルから洗浄対象物に向けて噴射し、
汚れを除去する方式。 （３）超音波方式 超音波の波動と、キャビテーションにより洗浄対象物に
付着した汚れを剥離分散させ洗浄する方式。 （４）液中シャワー方式 洗浄対象物を洗浄液中に浸漬させ、更に液中において設
置されているノズルから洗浄液を洗浄対象物に噴射し、
汚れを除去する方式。 （５）液中回転方式 図２に示すような、内部に、複数の洗浄対象物１６の保
持治具１１を装備した回転軸１５と、該保持治具１１の
回転面に対して略平行に挿入可能になしてある複数枚の
邪魔板１２と、上記回転軸１５を回転させる回転手段と
してのモーター１３とを具備する洗浄槽１０を用いる方
式であって、保持治具１１にセットした洗浄対象物１６
を液面１７より下方となるように槽１４の液中に浸漬さ
せ、モーター１３により保持治具１１を回転させること
により、洗浄対象物１６に付着した汚れを除去する方
式。 （６）気液交互接触方式 図３に示すような、内部に、複数の洗浄対象物１６の保
持治具１１を装備し且つ洗浄槽の液面１７に対して略水
平に配設した回転軸１５と、上記回転軸１５を回転させ
る回転手段としてのモーター１３とを具備する洗浄槽１
０を用いる方式であって、保持治具１１にセットした洗
浄対象物１６を半分液中に浸漬し、モーター１３で保持
治具１１を回転させることにより、洗浄対象物１６に付
着した汚れを除去する方式。

【００１２】また、本発明の洗浄装置においては、洗浄
対象物が、プリント基板等の板状のものである場合に
は、上記洗浄槽１として上記（５）又は（６）の方式の
洗浄槽を用いることが好ましい。

【００１３】本発明の洗浄装置に使用することができる
洗浄液としては、加熱すると洗浄液層と水層とに分離す
る特性を有する洗浄液であれば、特に限定はないが、動
植物から得られるｄ−リモネン等のテルペン類を有効成
分とするテルペン系溶剤、ケロシン、ベンゼン、キシレ
ン等の炭化水素を有効成分とする炭化水素系溶剤、イソ
プロピルアルコール、エチルアルコール、メチルアルコ
ール等の低級アルコールを有効成分とするアルコール系
溶剤等の溶剤系代替洗浄液、界面活性剤、及び水酸化ナ
トリウム、オルソケイ酸ナトリウム等のアルカリ剤を含
有する水系代替洗浄液あるいはこれらの希釈液があげら
れる。

【００１４】上記界面活性剤としては、アニオン性、カ
チオン性、両イオン性、非イオン性界面活性剤等が用い
られるが電子部品等の部材への影響を考慮すると非イオ
ン性界面活性剤が好ましく、例えばアルキルエーテル
型、アルキルアリルエーテル型、アルキルチオエーテル
型等のエーテル型；アルキルエステル型、ソルビタンア
ルキルエステル型等のエステル型；ポリオキシアルキレ
ンアルキルアミン等のアミンとの縮合型；ポリオキシア
ルキレンアルキルアマイド等のアミドとの縮合型；ポリ
オキシエチレンとポリオキシプロピレンをランダム又は
ブロック縮合させたプルロニック又はテトロニック型；
ポリエチレンイミン系等の界面活性剤が挙げられる。こ
れらのうち、特に炭素数４〜２２の炭化水素基を有する
ものが好ましい。

【００１５】上述のような非イオン性界面活性剤を含有
する洗浄液組成物は、これが混入したすすぎ洗い後のす
すぎ廃液が明瞭な曇点を示し、すすぎ廃液中の油状汚れ
及び洗浄液等の有機物を容易に分離除去することができ
るので排水処理の負荷が軽減され、排水処理性が特に良
好である。具体的には、非イオン性界面活性剤の曇点以
上の温度とすることにより、非イオン界面活性剤が水溶
性を失い、この結果、すすぎ排液中に可溶化していた油
性汚れを水中に保持できず、油性汚れをその比重の大小
により水に浮遊若しくは沈殿させることにより分離する
ことができ、また、非イオン性界面活性剤自身も水溶性
を失うので水中から容易に分離できる。

【００１６】また、上記水系代替洗浄液としては、界面
活性剤と、炭化水素化合物、難水溶性のアルキルエステ
ル類及びアルキルケトン類から選ばれる化合物とを含有
する洗浄液等も用いることができる。

【００１７】上記炭化水素化合物としては、例えば洗浄
又はリンス工程の温度で液状である炭素数６〜３０の直
鎖又は分岐鎖の飽和又は不飽和結合を有するパラフィン
類、オレフィン類、あるいは芳香族炭化水素、脂環式炭
化水素を含む炭化水素化合物が挙げられる。上記アルキ
ルエステル類としては、例えば、洗浄又はリンス工程の
温度で液状である炭素数６〜４０のモノエステル、ジエ
ステル、トリエステルが挙げられ、特に炭素数６〜１８
の高級脂肪酸と炭素数１〜１８のアルコールのエステ
ル；炭素数６〜１８の高級脂肪酸と炭素数２〜８のジオ
ール又はトリオールとのエステル；炭素数１〜１８のア
ルコールと炭素数２〜８のジカルボン酸又はトリカルボ
ン酸とのエステルが好ましい。また、上記アルキルケト
ン類としては、炭素数６〜４０のジアルキルケトンが好
ましい。

【００１８】本発明において用いられる洗浄液（洗浄液
組成物）としては、上記の成分のほか、必要に応じてビ
ルダー、キレート剤、防錆剤、消泡剤等を含有するもの
を使用することもでき、また、上記の様な化合物を用途
に応じて任意に２種以上組み合わせて使用してもよい。

【００１９】本発明において用いるすすぎ液としては、
上記洗浄液を次に示す方法で、すすぎ貯槽ですすぎ排液
中の有機物を油水分離した際の水層等を使用する。上記
の有機物の油水分離は、すすぎ洗い後のすすぎ排液を、
好ましくは２０〜１００℃、さらに好ましくは２０〜７
０℃に加熱又は冷却し、有機物を分離除去する処理であ
る。すすぎ排液を１００℃超に加熱するには、加圧等の
設備が必要となるため、実用上有益でなく、また、２０
℃未満にするには、夏場において冷却等の設備が必要と
なるため、実用上有益でないので好ましくない。

【００２０】上述のようにすすぎ液が循環使用できるこ
とにより、使用水量の低減、排水処理負荷の低減、排水
のクローズド化等が達成され、省資源、環境保全にも効
果が上げられる。

【００２１】また、本発明の洗浄装置において用いられ
る洗浄液貯槽及びすすぎ液貯槽としては、通常用いられ
ているものを特に制限されずに用いることができる。

【００２２】本発明の洗浄装置において用いられる配管
は、洗浄する際においては、洗浄操作前に洗浄液を洗浄
液貯槽から洗浄槽に送液し、洗浄操作終了後、洗浄液を
洗浄液貯槽に受液し、すすぎを行う際においては、すす
ぎ操作前にすすぎ液をすすぎ液貯槽から洗浄槽に送液
し、すすぎ操作終了後すすぎ液を元のすすぎ液貯槽に受
液するように、バルブや、ポンプが配置されたものであ
れば、特に限定されずに種々のものを用いることができ
る。また、上記配管の設置数は、特に制限されるもので
はなく、例えば、一つ（洗浄液及びすすぎ液の両方の送
液及び受液を行うもの）、二つ（洗浄液の送液及び受液
を行うものと、すすぎ液の送液及び受液を行うもの）、
四つ（洗浄液の送液を行うものと、洗浄液の受液を行う
ものと、すすぎ液の送液を行うものと、すすぎ液の受液
を行うもの）等とすることができる。

【００２３】また、本発明の洗浄装置による洗浄対象物
である電子部品又は精密部品類としては、電子部品又は
精密部品類の組立、加工又は洗浄時の保持に使用される
治工具（治具）等を包含する。

【００２４】上記電子部品としては、例えば、電算機及
びその周辺機器、家電機器、通信機器、ＯＡ機器、その
他電子応用機器等に用いられるプリント配線基板；ＩＣ
リードフレーム、抵抗器、コンデンサー、リレー等接点
部材に用いられるフープ材；ＯＡ機器、時計、電算機
器、玩具、家電機器等に用いられる液晶表示器（液晶表
示デバイス）；映像・音声記録／再生部品、その関連部
品等に用いられる磁気記録部品；シリコンやセラミック
スのウェハ等の半導体材料；水晶振動子等の電歪用部
品；ＣＤ、ＰＤ、複写機器、光記録機器等に用いられる
光電変換部品等が挙げられる。

【００２５】上記精密部品類としては、例えば、電機部
品、精密機械部品、樹脂加工部品、光学部品等が挙げら
れる。上記電機部品としては、例えば、ブラシ、ロー
タ、ステータ、ハウジング等の電動機部品；販売機や各
種機器に用いられる発券用部品；販売機、キャッシュデ
ィスペンサ等に用いられる貨幣検査用部品などが挙げら
れる。上記精密機械部品としては、例えば、精密駆動機
器、ビデオレコーダー等に用いられるベアリング；超硬
チップ等の加工用部品などが挙げられる。上記樹脂加工
部品としては、例えば、カメラ、自動車等に用いられる
精密樹脂加工部品などが挙げられる。更に、上記光学部
品としては、例えば、カメラ、眼鏡、光学機器等に用い
られるレンズ等が挙げられ、その他、上記精密部品とし
て、例えばメガネフレーム、時計ケース、時計ベルト等
が挙げられる。

【００２６】また、上記治工具類としては、上述の各種
部品例で示したような電子部品又は精密部品類の製造、
成形、加工、組立、仕上げ等を行う各種工程において取
り扱う治具、工具の他、これらの電子部品又は精密部品
類を取り扱う各種機器、その部品等が挙げられる。

【００２７】本発明においては、上述の電子部品又は精
密部品類の中で、特に、フラックスの残存したプリント
配線基板やガラス基板に付着した液晶等の洗浄時に好適
な性能を発揮する。尚、上記の電子部品又は精密部品類
は、これらの例に限定されるものではなく、組立加工工
程において各種の加工油やフラックス等の後の工程の妨
害物質、又は製品の特性を低下させる各種の油性汚染物
質が付着している電子部品又は精密部品類であれば良
い。

【００２８】更に、本発明においては、上記汚染物質
が、例えば、油脂、機械油、切削油、グリース、液晶、
ロジン系フラックス等の、主として有機成分の汚れであ
る場合に特に有効であり、これらに金属粉、無機物粉等
が混入した汚染物質であっても有効である。

【００２９】本発明においては、上述のように洗浄対象
物の形状には制限されないが、プリント配線基板のよう
な板状体に対して特に有効である。

【００３０】本発明の洗浄装置は、洗浄対象物を搬送、
液供給、洗浄、排出等の操作を行うがこの操作は自動で
も手動でも良い。自動の場合には、オペレーターによる
煩雑な操作が不要となる。本発明の洗浄装置には、洗浄
対象物に付着するすすぎ液を乾燥する乾燥装置を、更に
備えることにより、洗浄、すすぎ、乾燥を１台で行える
コンパクト化が達成できる。

【００３１】本発明は、図４〜図７に示す態様とした場
合に特に効果が高いものであるので、次に図４〜図７を
参照して更に具体的に説明する。図４は、本発明の洗浄
装置の１実施例を示す概略工程図であり、図５（ａ）
は、図４における洗浄槽の概略断面図であり、図５
（ｂ）は、図５（ａ）に示す洗浄槽の邪魔板を保持治具
に挿入した態様を示す平面図であり、図５（ｃ）はその
挿入前の態様を示す平面図である。また、図６は、図５
に示す洗浄槽における保持治具の１例を示す平面図であ
り、図７は、本発明の洗浄装置の他の例を示す概略工程
図である。

【００３２】図４に示す本実施例の洗浄装置１０１は、
洗浄対象物を洗浄する洗浄槽１１０、加熱すると洗浄液
層と水層とに分離する特性を有する洗浄液を貯液する洗
浄液貯槽１２０、すすぎ液又はすすぎ液と洗浄液との混
合液を貯液するとともに、すすぎ液と洗浄液とを分離す
ることが可能なすすぎ液貯槽１３０、上記洗浄槽と上記
洗浄液貯槽との間で洗浄液の送液を行う配管１４１、受
液を行う配管１４３、及び上記洗浄槽とすすぎ液貯槽と
の間ですすぎ液の送液を行う配管１４２、受液を行う配
管１４３を備えている。

【００３３】更に詳述すると、洗浄槽１１０と洗浄液貯
槽１２０とは、洗浄液送液ポンプ１６１が配されてお
り、洗浄槽１１０に洗浄液の送液を行う配管１４１と、
洗浄槽１１０から洗浄液の受液を行う配管１４３とによ
り連結されており、また、洗浄槽１１０とすすぎ液貯槽
１３０とは、すすぎ液送液ポンプ１６２が配されてお
り、洗浄槽１１０にすすぎ液の送液を行う配管１４２と
上記配管１４３とにより連結されている。また、上記洗
浄槽１１０には、温水を供給する開閉バルブ１７６を備
えた温水供給管１４７が配されている。

【００３４】また、洗浄槽１１０には、純水送液ポンプ
１６３が配された純水送液管１４４を介して純水供給貯
槽１５１が連結されており、該純水供給貯槽１５１は、
純水供給管１４５を介して水道水供給管１４６が配され
た純水製造装置１５２に連結されている。

【００３５】また、上記配管１４３には、洗浄液貯槽１
２０及びすすぎ液貯槽１３０への受液と、排液とを調節
するためのバルブ１７１、１７２、１７３及び１７４が
設けられている。更に、すすぎ液貯槽１３０には、分離
した洗浄液層を廃棄する排水バルブ１７５が配された排
水管１４８が設けられている。

【００３６】本実施例において用いている洗浄槽１１０
について詳細に説明すると、上記洗浄槽１１０は、図５
に示すように、洗浄対象物１０２の入出口を備えた槽１
１１と、該槽１１１内に配設され、複数の保持治具１１
２を装備した回転軸１１３と、該保持治具１１２，１１
２の間に該保持治具１１２の回転面に対して略平行に挿
入可能な複数枚の邪魔板１１４ａと、上記回転軸１１３
を回転させる回転手段であるモーター１１９とを具備す
る。尚、本実施例においては、上記回転軸１１３は上記
槽１１１内に鉛直に配されている。

【００３７】上記槽１１１には、その底部に該槽１１１
内の液相の排出孔１１５が設けられ、該排出孔１１５
は、先端に弁１１６を具備し、また、該槽１１１は、上
部に蓋１１７が装着できるようになしてある。上記槽１
１１の底部には、複数の保持治具１１２を装備した回転
軸１１３を回転させる軸受け１１８が設けられている。
上記軸受け１１８は、上記槽１１１の外部でモーター１
１９に接続されている。

【００３８】上記邪魔板１１４ａは、図５（ｃ）に示す
状態から、邪魔板回転軸１１４ｂを中心として回転移動
させることにより、図５（ｂ）に示すように上記保持治
具１１２，１１２間に挿入できるようになしてあり、洗
浄槽の蓋１１７を開けて保持治具１１２を装備した回転
軸１１３と共に洗浄対象物１０２の入出を行うことが可
能になっている。

【００３９】尚、本発明において用いることができる洗
浄装置としては、上述の例に限定されず、例えば、内部
に、複数の洗浄対象物保持治具を装備し且つ上記洗浄槽
における液面に対して略水平に配設した回転軸と、上記
回転軸を回転させる回転手段とを具備する洗浄槽を用い
ることもでき、また、必要に応じてシャワーノズル、超
音波発振装置、さらに乾燥用電熱器又は乾燥用熱風を導
入できるようなノズルを上記槽１１１内に設置してもよ
い。

【００４０】また、邪魔板１１４ａの挿入枚数は、図５
に示した洗浄装置においては保持治具１１２一枚あたり
に二枚であるが、一枚あるいは三枚以上挿入する形式で
あってもよく、必要に応じて枚数を増やすことが可能で
ある。

【００４１】また、本発明において用いることができる
上記洗浄対象物の保持治具は、上述のものには限定され
ず、例えば、図６に示すもの等を用いることができる。

【００４２】図６に示す洗浄対象物の保持治具１１２
は、回転軸１１３に直交させ且つ該回転軸１１３を貫通
させて該回転軸１１３に嵌装された保持板１１２ａと、
該保持板１１２ａの外部に設けられた洗浄対象物１０２
を保持する保持部１１２ｂとを具備している。尚、上記
保持板１１２ａは、上記回転軸１１３に実質的に直交し
ておればよく、多少の傾きがあってもよい。そして、該
保持部１１２ｂは、図６に示すように留め具１１２ｃ、
留め具固定棒１１２ｄ及び留め具固定ネジ１１２ｅを備
えており、該留め具１１２ｃ、該留め具固定棒１１２ｄ
及び該留め具固定ネジ１１２ｅにより洗浄対象物１０２
を保持するようになしてある。

【００４３】上記保持治具１１２は、上記回転軸１１３
の軸方向に、適宜な数を設けることができる。

【００４４】尚、上記留め具１１２ｃ及び上記保持板１
１２ａには、上記洗浄対象物１０２との接触部に、該洗
浄対象物１０２を安定状態に保持するために該洗浄対象
物１０２の形状に応じた凹部（図示せず）等を設けてあ
る。

【００４５】図６に示す保持治具１１２による場合、上
記洗浄対象物１０２は、上記留め具１１２ｃを上記回転
軸１１３の中心方向に移動させ、該留め具１１２ｃと上
記保持板１１２ａとの間に上記留め具固定ネジ１１２ｅ
で締めつけることにより両側から把持される。

【００４６】本実施例の洗浄装置を用いて洗浄を行うに
は、先ず、洗浄液貯槽１２０から送液ポンプ１６１で洗
浄槽１１０に洗浄液が送られ、モーター１１９が回転
し、洗浄対象物を回転させ、洗浄対象物に付着した汚れ
を洗浄する。

【００４７】洗浄終了後、洗浄液は配管１４３を通って
洗浄液貯槽１２０に回収される。次にすすぎ液がすすぎ
液貯槽１３０からすすぎ液送液ポンプ１６２により配管
１４２を通って洗浄槽１１０に送られる。そして、モー
ター１１９が回転し、洗浄対象物を回転させ、洗浄対象
物に付着した汚れ及び洗浄液を洗浄する。すすぎ終了
後、すすぎ液は、配管１４３を通って、すすぎ液貯槽１
３０に回収される。回収されたすすぎ液は、すすぎ液貯
槽１３０内で、液中の洗浄液分と汚れの混合した油層と
に分離され、分離された油層（廃油）は、排水管１４８
を通って廃棄される。また、油層を分離された洗浄液分
は、すすぎ液として再使用される。

【００４８】次いで、温水供給管１４７から温水を洗浄
槽１１０に送液し、上述のすすぎ液と同様にすすぎを行
う。すすいだ後の温水は、排液として、配管１４３を通
って洗浄装置外に排出される。最後に、純水貯槽１５１
から、純水を送液ポンプ１６３により純水送液管１４４
を介して洗浄槽１１０に送液し、すすぎを行い、すすぎ
終了後は上記温水と同様に排液として排出される。純水
は、水道水を水道水供給管１４６から純水製造装置１５
２に通して製造され、得られた純水は純水供給管１４５
を通って純水貯槽１５１に貯液される。本実施例の洗浄
装置１０１は、上述の操作が自動で行われる装置であ
る。

【００４９】上記洗浄槽１１０における洗浄について更
に詳述すると、回転軸１１３に装備された保持治具１１
２に洗浄対象物１０２を保持させると共に、邪魔板１１
４ａを図５（ｃ）の状態に移動させた後、該回転軸１１
３を軸受け１１８に接続固定し、該邪魔板１１４ａを図
５（ｂ）に示すように保持治具１１２，１１２間に挿入
して固定ネジ等（図示せず）により所定位置に固定し、
蓋１１７を閉じる。次に、槽１１１の底部の弁１１６を
開いて洗浄液を供給し、供給終了後、弁１１６を閉じ、
モーター１１９により軸受け１１８を駆動させ、回転軸
１１３及び洗浄対象物１０２を回転させることにより、
洗浄を実施する。洗浄終了後は、弁１１６を開き、排出
孔１１５から洗浄液を排出する。洗浄液排出後は、回転
の遠心力を利用して液切りを行うことができる。洗浄終
了後は、邪魔板１１４ａを再び図５（ｃ）の位置に移動
させ、蓋１１７を開けて回転軸１１３及び洗浄対象物１
０２を取り出すことができる。また、すすぎは、上記洗
浄と同様の操作により行うことができる。

【００５０】次に、図７に示す本発明の他の実施例につ
いて説明する。図７に示す洗浄装置は、図４に示す洗浄
装置に、更にすすぎ液と洗浄液との混合液から洗浄液を
分離する油水分離装置を配したものであり、詳しくは、
すすぎ液貯槽１３０に回収されたすすぎ液を送液ポンプ
１６４で油水分離装置１８０に通し、液中の洗浄液成分
と汚れとが混合した油層を分離し、水層（洗浄液分）を
すすぎ液貯槽１３０に戻して再使用し、油層は排液とし
て排出する油水分離システムを具備した洗浄装置であ
る。

【００５１】上述の如くして分離された有機物、例えば
非イオン性界面活性剤、炭化水素化合物及び油性の汚れ
成分等を上記すすぎ排液から除去する上述の油水分離装
置としては、静置分離槽、油水分離膜、遠心分離装置又
は液体サイクロン等を用いることができる。上述のよう
に有機物の分離を効率よく行うことにより、すすぎ排液
は清浄化され、排水負荷を大きく低下させることがで
き、また、清浄化されたすすぎ排液を再びすすぎ液とし
て再使用、即ち循環使用することも可能となる。この循
環使用にあたっては、必要により、すすぎ排液中の水溶
性イオンや界面活性剤等の有機物の除去のため、イオン
交換処理や活性炭による吸着処理又は膜分離等の処理を
行ってもよい。

【００５２】

【発明の効果】本発明の洗浄装置は、コンパクトで排水
負荷の小さなものであり、特に下記及びの如き効果
を奏する。 洗浄装置が油水分離装置を備えている場合には、すす
ぎ排水の有機物を大部分回収でき、洗浄液を分離したす
すぎ液を使用するため何回でも繰り返し使用することが
でき、系外へ濃厚な排水がでない。 洗浄槽が工程の数必要で無いので槽の数を少なくで
き、コンパクトなシステムで洗浄を行うことが可能なた
め、洗浄装置の設置スペースが小さくても使用すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明の洗浄装置の１実施例を示す概
略工程図である。

【図２】図２は、図１に示す洗浄装置における洗浄槽の
１例を示す概略図である。

【図３】図３は、図１に示す洗浄装置における洗浄槽の
１例を示す概略図である。

【図４】図４は、本発明の洗浄装置の１実施例を示す概
略工程図である。

【図５】図５（ａ）は、図４における洗浄槽の概略断面
図であり、図５（ｂ）は、図５（ａ）に示す洗浄槽の邪
魔板を保持治具に挿入した態様を示す平面図であり、図
５（ｃ）はその挿入前の態様を示す平面図である。

【図６】図６は、図５に示す洗浄槽における保持治具の
１例を示す平面図である。

【図７】図７は、本発明の洗浄装置の他の例を示す概略
工程図である。

【符号の説明】

１ 洗浄装置 １０ 洗浄槽 １１ 保持治具 １２ 邪魔板 １３ モーター １４ 槽 １５ 回転軸 １６ 洗浄対象物 １７ 液面 ２０ 洗浄液貯槽 ３０ すすぎ液貯槽 ４０ 配管

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 下記（ａ）〜（ｄ）を備えていることを
   特徴とする電子部品または精密部品類の洗浄装置。 （ａ）洗浄対象物を洗浄する洗浄槽 （ｂ）加熱すると洗浄液層と水層とに分離する特性を有
   する洗浄液を貯液する洗浄液貯槽 （ｃ）すすぎ液又はすすぎ液と洗浄液との混合液を貯液
   するとともに、すすぎ液と洗浄液とを分離することが可
   能なすすぎ液貯槽 （ｄ）上記洗浄槽と上記洗浄液貯槽との間で洗浄液の送
   液と受液とを行う配管、及び上記洗浄槽とすすぎ液貯槽
   との間ですすぎ液の送液と受液とを行う配管
2. 【請求項２】 更に、下記（ｅ）を備えていることを特
   徴とする請求項１記載の電子部品または精密部品類の洗
   浄装置。 （ｅ）すすぎ液と洗浄液との混合液から洗浄液を分離す
   る油水分離装置
3. 【請求項３】 上記洗浄槽が、その内部に、複数の洗浄
   対象物の保持治具を装備した回転軸と、該保持治具の回
   転面に対して略平行に挿入可能になしてある複数枚の邪
   魔板と、上記回転軸を回転させる回転手段とを具備する
   ことを特徴とする請求項１又は２記載の電子部品または
   精密部品類の洗浄装置。
4. 【請求項４】 上記洗浄槽が、その内部に、複数の洗浄
   対象物の保持治具を装備し且つ上記洗浄槽の液面に対し
   て略水平に配設した回転軸と、上記回転軸を回転させる
   回転手段とを具備することを特徴とする請求項１又は２
   記載の電子部品または精密部品類の洗浄装置。