JPH0633104A - 傾斜組成を有する無歪合金体及びその製造法 - Google Patents

傾斜組成を有する無歪合金体及びその製造法

Info

Publication number
JPH0633104A
JPH0633104A JP18966392A JP18966392A JPH0633104A JP H0633104 A JPH0633104 A JP H0633104A JP 18966392 A JP18966392 A JP 18966392A JP 18966392 A JP18966392 A JP 18966392A JP H0633104 A JPH0633104 A JP H0633104A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
powder
infiltration
material powder
layer
melting point
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP18966392A
Other languages
English (en)
Inventor
Yasunao Kai
安直 甲斐
Chiaki Yamazaki
千秋 山崎
Tadashi Okabe
正 岡部
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Tungsten Co Ltd
Original Assignee
Nippon Tungsten Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Tungsten Co Ltd filed Critical Nippon Tungsten Co Ltd
Priority to JP18966392A priority Critical patent/JPH0633104A/ja
Publication of JPH0633104A publication Critical patent/JPH0633104A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Powder Metallurgy (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 核融合装置その他のエネルギー機器のダイバ
ータ板のような熱膨張係数の異なる材料の傾斜組成を有
し、且つ、剥離もなく、焼結体の反り等の発生のない合
金体及びそれを安価に製造できる手法の提供。 【構成】 粒子径の異なるW、Moなどの高融点の母材
粉末と、配合比を変えたCu、Ag、Alなどの低融点
材料の溶浸材料粉末との混合粉末を積層充填し、加圧成
形したのち、溶浸材料粉末の溶融点以上の温度に加熱し
て焼結と溶浸を行なうもので、配合粉末の量を調整する
ことによって、各層の組成勾配を調節し、熱膨張係数を
段階的に変化させた熱膨張調整部材を簡単に製造でき
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、核融合装置その他のエ
ネルギー機器のダイバータ板のように熱膨張係数の異な
る材料の傾斜組成を有する合金体及びその合金体を粉末
冶金法によって製造する方法に関する。
【0002】
【従来の技術】核融合装置のダイバータ板は、核融合炉
におけるプラズマからの高い熱負荷と高粒子負荷を受け
るために、スパッターリング防止とディスラプション時
の溶融防止のための保護材とそれを冷却するための吸熱
材との二層の積層板からなる。かかる構造を有する積層
板として、従来、特開平1−312015号公報,特開
平2−142683号公報,特開平4−83779号公
報等に開示されているものがある。
【0003】その中、粉末冶金による製造方法として
は、特開平1−312015号公報に保護材と吸熱材と
の接合部に、熱膨張係数が異なる粉末材料の混合比を変
えて粉末冶金法によって複合化した複数種類のビレット
から得た薄板状の複合材を、熱膨張係数の大小順に重ね
て配置し高温加圧状態で一体化して、傾斜勾配の組成部
分を形成するものが開示されている。
【0004】しかしながら、この接合部の構成材がろう
材からなるため、接合部にスキが発生しやすく、また、
銅の融点より低い温度での接合のため、十分な接合状態
を得ることができない。
【0005】また、耐熱金属材料第123委員会研究報
告 vol.32 No.1 には、W−Cu傾斜材料の製造法と
して、それぞれ、粒度の異なるW粉末の積層体を成形
し、焼結したのち、カプセルフリーの熱間静水圧プレス
(HIP)処理を行い、Cuの溶浸を行なうことが開示
されている。
【0006】この焼結溶浸法によって、接合部のスキは
生じ難くなるが、各層の焼結時の収縮率が違うために反
りが生じ、この収縮率の差が大きくなると層間剥離,ク
ラックが生じ易くなり、そのコントロールが難しい。ま
た、HIPの使用により製造コストが高くなるという問
題もある。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、HI
Pを用いることなく比較的簡単な手法で傾斜勾配組成を
有する合金体を焼結溶浸法によって製造する方法を提供
することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明は、型内に母材粉
末と溶浸材料粉末の混合粉末を、溶浸材料粉末の順次増
量した配合とした層を積層して加圧成形したのち、この
成形体上に前記混合粉末中の溶浸材料粉末と同一の溶浸
材料を載置して同溶浸材料の溶融点以上に加熱焼結する
ことを特徴とする。
【0009】また、型内に母材粉末と溶浸材料粉末の混
合粉末を、その配合割合を順次変化させて積層するに際
して、型底に母材のみからなる焼結板を配置することに
よって、最下層が母材で、最上段が溶浸材のみからな
り、その途中の合金配分が順次変化した合金体を得るこ
とができる。この型底に配置する母材を積層混合粉末中
に埋設した状態、それも、端部を楔状とした母材を埋設
することによって、接合状態に優れた傾斜合金体を得る
ことができる。
【0010】上記成形体に溶浸処理を施すに際して、成
形体を予め焼結を行うこともできる。
【0011】なお、母材粉末と溶浸材料粉末はお互いに
固溶がほとんどなく、かつ融点が溶浸材料粉末より母材
粉末の方がはるかに高いことが条件で、これらの条件を
満足する粉末としては、母材粉末としてW,Moなど、
溶浸材料粉末としてCu,Ag,Alなどが挙げられ
る。
【0012】
【作用】母材粉末と溶浸材料粉末を加圧成形の際に機械
的に予備的に接合し、さらに、溶浸により溶浸材が成形
体全体に行き渡り、各積層面が接合された状態になり、
各層間の結合状態は十分なものとなる。
【0013】得られた合金体の一方端面に溶浸材のみの
層が簡単に、しかも、合金層と密着した状態で得られる
ので、本発明をダイバータ材の製造に適用した場合、熱
吸収材としての溶浸材が格別の処理工程を経ることなし
に形成できる。
【0014】粒子径の異なる母材粉末と配合比を変化さ
せることができるので、焼結時あるいは溶浸時における
積層加圧成形体の収縮率が同じで、さらに、積層体の組
成も加圧成形時にコントロールできる。そのため、反り
などの異常変形が生じず、層間剥離,クラックが生じ難
い。
【0015】
【実施例】本発明の保護部材としてWを母材とし、ま
た、吸熱材としてCuを溶浸材とした傾斜勾配組成を有
し、平面が25mm×25mm、高さが30mmの熱膨
張調整材料(ダイバータ材)を作成した。なお、使用し
たCu粉末は全て325メッシュ以下のものを使用し
た。
【0016】まず、予備試験によって、W粉末の粒子径
とCu粉末の配合量との関連での成形体の収縮率を確認
した。
【0017】表1は、W粉末とCu粉末との混合粉末の
200MPaでの加圧成形体を1350℃で焼結した際
の収縮率(%)を示す。
【0018】
【表1】 また、図1はこれらの混合粉末におけるCu粉末の配合
量と、プレス圧が200MPaでの圧粉体の密度との関
係を示す。同図から、圧粉体の密度はW粉末の粒径が大
きくなるほど大になる傾向を示し、且つ、同一粒子のも
のでもCu配合量が大きくなる程低下する。しかしなが
ら、これらの傾向は一義的なものではないことが分か
る。
【0019】この表1と図1とから、W粉末とCu粉末
との混合粉末の各形成層の組成において、溶浸後の組成
が目的の傾斜組成となり、且つ、最も収縮率が低く、W
粒子の平均径のものを選択して使用した。
【0020】図2は本発明を実施した工程図を示す。
【0021】図2(a)は、型枠1内に1.5mm厚で
両端を舟の舳先状に形成したWの母材焼結板2(この形
状を楔状と呼ぶ)を同図のように載置した上に、それぞ
れ、2.5mm厚に表2に示す配合割合の4層からなる
混合粉末層3を積層した状態を示す。
【0022】
【表2】 ついで、図2(a)の状態から、型枠1内に積層した混
合粉末層3を通常の機械的プレスによって、溶浸後所定
の銅量となる密度の成形体4を得た(図2(b))。
【0023】そして、型枠1から成形体4を取り出し、
還元性雰囲気中で1000〜1400℃に1時間焼結
し、予備焼結体5を得た(図2(c))。
【0024】さらに、この焼結体5を溶浸治具6中に装
入し、その上面に溶浸に必要な量に熱吸収材を成形する
に足るCu塊の溶浸材7を載置して(図2の(d))、
還元性雰囲気中で1100℃〜1400℃で1時間加熱
して、Cuを焼結体5中に溶浸し、溶浸体8を得た(図
2(e))。
【0025】さらに、この溶浸体8を不活性ガス雰囲気
中(窒素雰囲気中でも可)で1100〜1400℃に加
熱してガス抜きを行った(図2(f))。
【0026】その結果、図2(g)に示す溶浸材を部分
的に残した傾斜合金体9を得た。
【0027】この傾斜合金体中のCuの分布の程度を図
3に示した。
【0028】この傾斜合金体9は表2の右欄に示す傾斜
勾配組成を有するものであった。
【0029】この傾斜合金体9は各層の接合性がよく、
また、成形体の形状変形もなかった。さらに、最高温度
1000℃、最低温度400℃の熱サイクル10回の試
験において損傷が認められず、エネルギー機器のダイバ
ータの用途としてきわめて優れたものであった。表3に
熱サイクル試験の条件を示す。
【0030】比較のため非還元性雰囲気中で溶浸したも
のは、接合が不十分であった。
【0031】また、第2層以上を収縮率が4%を超える
ものにすると、第2層が割れた。
【0032】また、第1層のW焼結体を角状平板にする
と、接合は不十分であった。第1層の楔状W焼結体を第
2層がしめつけるような状態(図2(a))にセットす
ることにより、溶浸後、しめつけ効果により第1層と第
2層とが十分に接合したものと考えられる。
【0033】
【表3】
【0034】
【発明の効果】本発明によって以下の効果を奏すること
ができる。
【0035】(1)母材焼結板の接合と同時に溶浸材の
溶浸による各層の接合を行なうことができ製造効率がよ
い。
【0036】(2)母材粉末と溶浸材料粉末との配合
比、及び母材粉末の粒径を種々変化させることによっ
て、目的の組成の合金を任意に調整できる。
【0037】(3)製造工程に格別の制御を要すること
はなく、また、コスト高になるHIPの使用もないの
で、比較的簡単に低コストで組成勾配を有する合金体を
製造できる。
【0038】(4)母材粉末と溶浸材料粉末との配合
比、及び母材粉末の粒径を種々変化させることによっ
て、全収縮率が同じで、組成の違う合金が製造できる。
【0039】(5)母材焼結板と傾斜組成体が溶浸材料
によって接合されているため、熱吸収材の融点近くまで
の加熱に耐えられる。
【0040】(6)溶浸によって熱吸収材も同時に形成
でき、製造効率がよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】 W−Cu混合粉末の積層を用いて傾斜勾配合
金体を製造するに際してのW粉末粒度と混合Cu粉末の
配合量との、圧粉体の密度への影響を示す図である。
【図2】 本発明の実施例としての工程図を示す。
【図3】 積層粉末体中の各層のCuの分布と、焼結溶
浸処理後の傾斜組成金属体中のCuの分布の程度を示す
図である。
【符号の説明】
1:型枠 2:W母材焼結板 3:混合粉末層 4:成形体 5:予備焼結体 6:溶浸治具 7:溶浸材 8:溶浸体 9:傾斜合金体

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 段階的に組成が順次変化するほぼ無歪の
    合金体。
  2. 【請求項2】 型内に、母材粉末と溶浸材料粉末の混合
    粉末を、溶浸材料粉末の順次増量した配合とした層とし
    て、しかも、各層の収縮率がほぼ同一になるように選出
    して積層し、この積層体を加圧成形したのち、この成形
    体上に前記混合粉末中の溶浸材料粉末と同一の溶浸材料
    を載置して還元性雰囲気中で同溶浸材料の溶融点以上に
    加熱焼結溶浸する傾斜組成を有する合金体の製造法。
  3. 【請求項3】 楔状の母材板材を配置した型内に、母材
    粉末と溶浸材料粉末の混合粉末を、その溶浸材料粉末の
    配合量を順次増量した層として、しかもその各層の収縮
    率が4%未満となるように選出して積層し、この積層体
    を加圧成形したのち、この成形体上に前記混合粉末中の
    溶浸材料粉末と同一の溶浸材料を載置して還元性雰囲気
    中で同溶浸材料の溶融点以上に加熱焼結溶浸する傾斜組
    成を有する合金体の製造法。
JP18966392A 1992-07-16 1992-07-16 傾斜組成を有する無歪合金体及びその製造法 Pending JPH0633104A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18966392A JPH0633104A (ja) 1992-07-16 1992-07-16 傾斜組成を有する無歪合金体及びその製造法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18966392A JPH0633104A (ja) 1992-07-16 1992-07-16 傾斜組成を有する無歪合金体及びその製造法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0633104A true JPH0633104A (ja) 1994-02-08

Family

ID=16245096

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP18966392A Pending JPH0633104A (ja) 1992-07-16 1992-07-16 傾斜組成を有する無歪合金体及びその製造法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0633104A (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6436550B2 (en) * 1996-08-23 2002-08-20 Injex Corporation Sintered compact and method of producing the same
JP2003007940A (ja) * 2001-06-25 2003-01-10 Kyocera Corp 放熱部材および半導体素子収納用パッケージ
CN107363258A (zh) * 2017-06-28 2017-11-21 常州市雄泰纺织品有限公司 一种高致密性钨铜功能梯度材料的制备方法
CN110449579A (zh) * 2019-07-18 2019-11-15 太原理工大学 一种可控降解锌镁梯度材料的制备方法
CN119614931A (zh) * 2025-01-06 2025-03-14 辽宁材料实验室 一种高通量组元梯度变化铜基材料及其制备方法和应用

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6436550B2 (en) * 1996-08-23 2002-08-20 Injex Corporation Sintered compact and method of producing the same
JP2003007940A (ja) * 2001-06-25 2003-01-10 Kyocera Corp 放熱部材および半導体素子収納用パッケージ
CN107363258A (zh) * 2017-06-28 2017-11-21 常州市雄泰纺织品有限公司 一种高致密性钨铜功能梯度材料的制备方法
CN110449579A (zh) * 2019-07-18 2019-11-15 太原理工大学 一种可控降解锌镁梯度材料的制备方法
CN110449579B (zh) * 2019-07-18 2022-02-01 太原理工大学 一种可控降解锌镁梯度材料的制备方法
CN119614931A (zh) * 2025-01-06 2025-03-14 辽宁材料实验室 一种高通量组元梯度变化铜基材料及其制备方法和应用

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI633637B (zh) 放熱板及其製造方法、以及具備其的半導體封裝與半導體模組
JP3660069B2 (ja) 金属コンポーネントを自由造形製作する方法
CN1031415C (zh) 形成压块的方法
JP4304749B2 (ja) 半導体装置用部材の製造方法
CN100353536C (zh) 半导体散热衬底及其生产方法和组件
JPH06268117A (ja) 半導体装置用放熱基板およびその製造方法
JPH0633104A (ja) 傾斜組成を有する無歪合金体及びその製造法
JP4615312B2 (ja) 複合材料、その製造方法およびそれを用いた部材
CN116765391B (zh) 一种钼铜复合材料零件毛坯的制备方法
JP3600350B2 (ja) 傾斜機能材料及びその製造方法
US6821313B2 (en) Reduced temperature and pressure powder metallurgy process for consolidating rhenium alloys
CN116571749A (zh) 一种三明治结构复合材料及其制备方法
JP4244210B2 (ja) アルミニウム−セラミックス複合体及びその製造方法
JP3737072B2 (ja) アルミニウム−炭化珪素質複合体とその製造方法
JP2000323619A (ja) セラミックを用いた半導体装置用部材及びその製造方法
JP7825790B1 (ja) 複合材料、放熱板、半導体パッケージ、および複合材料の製造方法
US7270782B2 (en) Reduced temperature and pressure powder metallurgy process for consolidating rhenium alloys
KR100329831B1 (ko) Ti/Al6061스퍼터링타겟조립체접합방법및접합장치
CN116656992B (zh) 一种金属铝基氧化铝-碳化硅复合材料及其制备方法
US20250136519A1 (en) Methods of forming bonded articles including similar or dissimilar materials and related articles
JPH0878578A (ja) 放熱基板用材料及びその製造方法
JP2912211B2 (ja) 半導体基板材料およびその製造法
CN118996195A (zh) 铜-金刚石复合基材及其制备方法和应用
JP2004052040A (ja) 圧密化焼結体の製造方法および圧密化焼結体
WO2024181224A1 (ja) セラミックス板、包装体、セラミックス板の製造方法、モジュールおよび電気・電子製品

Legal Events

Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20010406