JPH06331318A - 光学式外形測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 平行な光ビームをＣＣＤセンサで受光し物体
の形状を測定する測定装置において、投受光軸の位置ず
れを回転ずれと独立して検出すること。 【構成】 投光部１より得られる光ビームを受光部のＣ
ＣＤセンサ３で受光する。このときの全ての画素のうち
受光レベルのピーク位置をピーク値保持部１７で保持す
る。又ピークの位置をピーク位置保持部２２によって保
持する。そしてピークの位置を設定位置と比較すること
によって、光軸の回転ずれと独立して光軸の位置ずれの
みを検出できるようにしている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は１次元イメージセンサを
用いて物体の外形や位置決めを行うための光学式外形測
定装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来図１０（ａ）に示すように投光部１
から平行な光を受光部２の１次元受光センサであるＣＣ
Ｄセンサ３に向けて照射し、投受光部１，２の間に被測
定物を配置してその影をＣＣＤセンサ３に投影すること
より物体の寸法や外形を測定するようにした装置が知ら
れている。このような測定装置では、投受光部１，２の
投光軸Ｌと受光軸Ｘとを正確に合わせなければ物体の外
形を正しく測定することができない。そこで図１０
（ｂ）に受光部２の正面図を示すように、ハッチングで
示す１次元受光センサであるＣＣＤセンサ３の周囲に図
示のように光軸検出用の受光素子４ａ〜４ｄを配置し、
これらの受光素子４ａ〜４ｄの全てに光信号が所定レベ
ル以上入射した場合には、光軸のずれがないものと判別
するようにした装置が知られている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながらこのよう
な従来の装置においては、受光素子４ａ又は４ｂの受光
レベルが低下することによって図１１（ａ）に示すＹ軸
方向へのずれを検知でき、受光素子４ｃ又は４ｄのいず
れかに所定レベル以下の光が入射することにより、Ｚ軸
方向の位置ずれを検出することはできる。しかし図１１
（ｂ）に示すように投光軸の回転による回転ずれが生じ
ている場合もある。このような場合には投光軸ＬとＣＣ
Ｄセンサ３の中心とが図示のように一致している場合に
は、光軸検出用の受光素子４ａ〜４ｄでは回転ずれを検
出することができない。又図１１（ｃ）に示すようにＹ
軸方向への位置ずれとθ方向への回転ずれとが同時に生
じた場合にも、受光素子４ａ，４ｂに閾値レベル以上の
光が入射すれば、いずれの方向のずれも検出することが
できない。そのため位置ずれと回転ずれとが同時に生じ
ている場合にも光軸のずれがないと検出されてしまう恐
れがあるという欠点があった。又受光素子４ａ〜４ｄの
受光レベルの閾値を固定しているため、光源の劣化によ
って光量全体が減少した場合には、ずれを安定して検知
できなくなるという欠点もあった。

【０００４】本願の請求項１，２の発明はこのような従
来の問題点に鑑みてなされたものであって、光源の劣化
にかかわらず安定して光軸の位置ずれと回転ずれとを夫
々検出することができるようにすることを技術的課題と
する。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本願の請求項１の発明
は、平行な光ビームを投光する投光部と、投光部の光ビ
ームに対向して配置された１次元受光センサを含む受光
部と、受光部の１次元受光センサに得られる受光信号の
ピーク値を保持するピーク値保持手段と、受光部の１次
元受光センサに得られる受光信号のピーク値の受光位置
を保持するピーク位置保持手段と、投光部の光軸と受光
部の１次元受光センサの中心軸とが一致するときに１次
元受光センサの受光レベルがピークとなる受光位置を保
持する設定値保持手段と、ピーク位置保持手段と設定値
保持手段によって保持される受光位置との位置ずれに基
づいて位置ずれの大きさ及び方向を検出する比較手段
と、を具備することを特徴とするものである。

【０００６】本願の請求項２の発明は、平行な光ビーム
を投光する投光部と、投光部の光ビームに対向して配置
され所定範囲を受光するスリット及び該スリットの背後
に配置された１次元受光センサを含む受光部と、スリッ
トの端部近傍の対称な測定位置を保持する測定位置保持
手段と、測定位置保持手段によって保持された測定位置
での受光部より得られる受光レベルを保持する光強度保
持手段と、一対の光強度保持手段での光強度を比較する
ことによって回転ずれを検出する比較手段と、を具備す
ることを特徴とするものである。

【０００７】

【作用】このような特徴を有する本願の請求項１の発明
によれば、投受光部を対向させて配置しており、光軸の
位置ずれがない状態で１次元受光センサの受光信号のピ
ークを受光する位置を設定値保持手段によって保持して
いる。そして投光部より光を照射し受光部によって受光
したときに、１次元受光センサに得られる受光信号のピ
ーク値をピーク値保持手段によって保持し、そのピーク
値の受光位置をピーク位置保持手段に保持している。そ
うして走査を終えた後、設定した受光位置と受光時に得
られたピーク値の受光位置とを比較し、その位置ずれに
基づいて位置ずれの方向及び大きさを比較手段によって
検出するようにしている。こうすれば回転ずれの有無に
かかわらず位置ずれが検出できることとなる。

【０００８】又請求項２の発明では、１次元受光センサ
の前方に受光範囲を規定するスリットを設け、このスリ
ットを介して投光部からの光を受光している。そしてス
リットによって規定される測定範囲のわずかに内側又は
外側に一対の測定位置を設定し、この位置の受光レベル
を光強度保持手段によって保持する。そしてこの光強度
を比較することによってこれらがほぼ同一であれば位置
ずれなしとし、いずれか一方の光強度が他方に比べ大幅
に大きくなるときにその関係によって回転ずれを検出す
るようにしている。

【０００９】

【実施例】まず第１実施例による外形測定装置の光軸の
ずれの検出に用いている光強度分布と位置ずれとの関係
について説明する。図１は本実施例の全体構成を示すブ
ロック図、図２は光軸のずれと受光強度の関係を示す図
である。図１において投光部１は図示のように光源１１
と光源からの光を平行光とするレンズ１２から成り立っ
ている。レンズ１２より出射する光はその断面で光強度
の変化を見ると、図示のように光ビームの中心である中
心軸（以下投光軸という）Ｌにピークを有するガウス分
布となっている。しかるに図２（ａ）に示すように受光
軸Ｘに垂直な上下方向をＹ軸とすると、Ｙ方向にずれが
あれば投光軸ＬとＣＣＤセンサ３の測定中心軸（以下受
光軸という）Ｘとがずれる。図２（ａ）に示すように受
光軸Ｘに対して投光軸ＬがＹ軸の正方向にずれている場
合には、受光軸Ｘに対してピークが図示のようにＹ軸の
正方向にずれることとなる。投光軸Ｌと受光軸Ｘとが一
致していれば図２（ｂ）に示すように測定範囲中心と光
強度のピーク値とは一致する。又受光軸Ｘに対し投光軸
ＬがＹ軸の負方向にずれている場合には、図２（ｃ）に
示すようにピーク値もＹ軸の負方向にずれることとな
る。このように投受光軸の位置ずれとピーク値の位置ず
れとが対応しているため、これに基づいてＹ方向のずれ
を検出することができる。

【００１０】次に本実施例の詳細な構成について図１を
参照しつつ説明する。図１は本実施例の光学式外形測定
装置の全体構成を示すブロック図である。本図に示すよ
うに投光部１の光源１１からの光はレンズ１２を介して
平行な光ビームとして受光部側に照射される。受光部は
前面にスリット板１３を有し、その後方にＣＣＤセンサ
３が配置されている。ＣＣＤセンサ３からの出力はロー
パスフィルタ（ＬＰＦ）１４を介してＡ／Ｄ変換器１５
に与えられる。Ａ／Ｄ変換器１５は同期パルスが与えら
れる毎に入力信号をデジタル値に変換するものであっ
て、その出力は比較部１６及びピーク値保持部１７に与
えられる。ピーク値保持部１７は現在までのピーク値を
保持するピーク値保持手段であって、その出力は閾値と
して比較部１６に与えられる。比較部１６はピーク値と
Ａ／Ｄ変換器１５の変換値とを比較するものであり、Ａ
／Ｄ変換器１５の出力が大きくなれば比較信号を制御部
１８に出力する。さてこの光学式外形測定装置はクロッ
クパルス発生部１９を有しており、その出力は同期パル
ス発生部２０に与えられる。同期パルス発生部２０はこ
れを分周して各部に同期パルスを供給するものである。
カウンタ２１はこの同期パルスを計数するものであっ
て、その出力はピーク位置保持部２２に与えられてい
る。さて制御部１８は比較部１６からの信号に基づいて
ピーク値保持部１７にピーク値保持信号、ピーク位置保
持部２２にピーク位置の保持信号を出力するものであ
る。こうしてＣＣＤセンサ３の全ての位置についての走
査を完了すると、ピーク値がピーク値保持部１７に保持
され、その位置がピーク位置保持部２２に保持されるこ
ととなる。

【００１１】一方設定値保持部２３はＣＣＤセンサ３の
受光軸Ｘと投光器１の投光軸Ｌとが一致した場合のピー
ク値を与える位置を保持する設定値保持手段である。こ
の設定値は通常は図２（ｂ）に示すようにＣＣＤセンサ
３の受光の中心位置、即ちＹ＝y0となっており、これと
ピーク位置保持部２２での保持しているピーク位置が一
致しているかどうかが比較部２４によって比較される。
即ち比較部２４はピーク位置保持部と設定値保持部によ
って保持される受光位置との位置ずれに基づいて位置ず
れの大きさ及び方向を検出する比較手段である。そして
一致していない場合には図２（ａ），（ｃ）におけるＹ
方向への変位が出力部２５より出力される。こうすれば
図２に示すように投光軸ＬがＹ軸上で正方向又は負方向
のいずれにずれているか、又は一致しているかが判別さ
れることとなる。

【００１２】図１においてＡ／Ｄ変換器１５以降の各ブ
ロックはマイクロコンピュータを用いた演算処理によっ
ても実現することができる。図３は外形測定装置におい
て、ＣＰＵを用いて位置ずれ検知を行うようにした第２
実施例の構成を示すブロック図である。本図においてＡ
／Ｄ変換器１５の出力は信号加工回路３１に与えられ
る。信号加工回路３１には同期パルス発生部２０より同
期信号が与えられる毎に受信データを受信レベルＩと
し、同時に同期信号の計数出力を受信位置ｙとして出力
するものである。信号加工回路３１はＣＰＵ３２のバス
ラインに接続される。このバスラインには信号加工回路
３１より各同期パルス毎に得られるピーク値Ｉを保持す
るピーク値メモリ３３，そのピーク値の位置ｙを保持す
るピーク位置メモリ３４，正常な受光軸ＸのＣＣＤセン
サ３上の位置（y0）を保持する設定値保持手段である設
定値メモリ３５と、処理を行うプログラムを保持するプ
ログラムメモリ３６，及び出力状態を保持する出力メモ
リ３７が接続されている。

【００１３】次に本実施例の外形測定装置において、光
軸のずれ検出の処理について図４のフローチャートを参
照しつつ説明する。動作を開始すると、まずステップ４
１において初期化処理を行い、ピーク値メモリ３３の値
Ｐ，ピーク位置メモリ３４をリセットする。次いでステ
ップ４２に進み、信号加工回路３１より受信データ
（Ｉ，ｙ）をロードする。そしてピーク値メモリ３３の
ピーク値Ｐを読込み、ステップ４４において受信データ
ＩとＰとを比較する。Ｐが小さければＩが新たなピーク
値となるため、ステップ４５，４６においてこの受光レ
ベルをピーク値メモリ３３にストアし、そのときの位置
ｙをピーク位置メモリ３４にストアする。そしてステッ
プ４７に進んで、全ての画素について処理が終了したか
どうかをチェックし、終了していなければステップ４２
に戻って同様の処理を繰り返す。こうすれば走査終了の
時点でピーク値メモリ３３，ピーク位置メモリ３４にそ
の位置でのピーク値Ｐとピーク位置ｙが保持されること
となる。ここでＣＰＵ３２はステップ４２〜４５及び４
７において、ピーク値メモリ３３と共に受光部に得られ
る受光信号のピーク値を保持するピーク値保持手段を構
成しており、ステップ４２〜４４，４６，４７におい
て、ピーク位置メモリ３４と共に受光信号のピーク値の
受光位置を保持するピーク位置保持手段を構成してい
る。

【００１４】さてステップ４８に進んで正常な光軸での
ピーク位置y0を設定値メモリ３５より読込み（ステップ
４８）、ステップ４９に進んで設定されているピークの
位置y0と現在得られたピーク位置ｙからずれの方向及び
大きさを演算する。そうすれば図２に示すようにＹ方向
へのずれが演算できることとなる。こうして得られた結
果を出力メモリ３７にストアして処理を終える。こうす
れば第１実施例と同様に投光部１の投光軸Ｌと受光部の
受光軸Ｘとの軸Ｙ方向の位置ずれが検出できることとな
る。ここでＣＰＵ３２はステップ４８〜５０においてピ
ーク位置保持手段と設定値保持手段によって保持される
受光位置との位置ずれに基づいて位置ずれの大きさ及び
方向を検出する比較手段を構成している。

【００１５】さてこのような第１又は第２実施例による
位置ずれ検出の結果、位置ずれをなくするようにし、受
光レベルのピークとなる位置を所定y0となるように調整
した場合には、図５に示すようにＣＣＤセンサ３の中心
にピーク値が位置することとなる。図５（ａ）は回転ず
れがない場合であり、図５（ｂ）は回転ずれがある場合
を示している。このように回転ずれの有無にかかわら
ず、ピーク値の検出によって位置ずれが検出でき、この
位置ずれをなくするように調整することができる。

【００１６】次に投受光部の光軸の位置ずれと独立して
投受光軸の回動により回転ずれが生じる。この回転ずれ
を検出する原理について図６を参照しつつ説明する。ま
ずＣＣＤセンサ３の前方にはこれと平行に図６に示すよ
うにスリット板１３が設けられ、検知領域が規定されて
いる。図６はこのスリット板１３とＣＣＤセンサ３との
位置関係及び光軸の関係を示す図である。本部に示すよ
うに投光部１の投光軸ＬとＣＣＤセンサ３の受光軸Ｘと
の成す角度θがずれている場合には、ＣＣＤセンサ３の
所定範囲とは異なった位置に光が受光されることとな
る。従ってＣＣＤセンサ３の受光範囲のわずかに外側の
y0から対称な位置に夫々図６（ｂ）に示すように検出位
置y1，y2を設定する。このy1，y2を設定すれば、ＣＣＤ
センサ３の受光軸Ｘと投光軸Ｌとが図６（ｂ）に示すよ
うに一致していれば、受光位置y1，y2での受光強度レベ
ルはほとんど０に近く、ほぼ同一となっている。しかし
図６（ａ）に示すように受光軸Ｘに対し投光軸Ｌがθの
正方向にずれている場合には、受光位置y2での受光強度
はＩ（y2）はy1の受光強度Ｉ（y1）より大幅に大きくな
る。逆に図６（ｃ）に示すようにθが負方向にずれてい
た場合には、y1での受光強度Ｉ（y1）はy2での受光強度
Ｉ（y2）よりも大幅に大きくなる。従ってこのような受
光強度の関係に基づいて光軸の回転ずれが検出できるこ
ととなる。

【００１７】図７はこのような回転ずれを検出する機能
を有する第３実施例による外形測定装置の構成を示すブ
ロック図であり、前述した第１実施例と同一部分は同一
符号を付して詳細な説明を省略する。本実施例において
もＣＣＤセンサ３の出力はローパスフィルタ１４及びＡ
／Ｄ変換器１５に与えられ、デジタル値に変換される。
又この外形測定装置は第１実施例と同様にクロックパル
ス発生部１９及び同期パルス発生部２０を有しており、
同期パルスがＣＣＤセンサ３，Ａ／Ｄ変換器１５に与え
られる。さてＡ／Ｄ変換器１５の出力は光強度保持部６
１に与えられる。光強度保持部６１は測定位置指定部６
２の指定する測定位置、即ち図６に示すｙ軸上の位置y
1，y2においてＡ／Ｄ変換値が得られたときに、その受
光強度Ｉ（y1），Ｉ（y2）を保持するものである。同期
パルス発生部２０からは初期化パルスが同時に与えられ
ている。そして１回の走査が終了すれば同期パルス発生
部２０より走査終了パルスが比較部６３に与えられる。
比較部６３は光強度保持部６１に保持されている受光強
度Ｉ（y1），Ｉ（y2）の大小関係、即ち図６に示す
（ａ）〜（ｃ）のいずれかの状態を判別し、光軸のずれ
を出力部６４を介して外部に出力する比較手段である。

【００１８】図８はＡ／Ｄ変換器１５以降の処理をマイ
クロコンピュータを用いて行うようにした第４実施例を
示している。本実施例においてはＡ／Ｄ変換器１５の出
力は信号加工回路７１に与えられる。信号加工回路７１
は第２実施例と同様に受光位置及びそのレベルを出力す
るものであって、同期パルス発生部２０より同期パルス
が与えられている。さて信号加工回路７１の出力はＣＰ
Ｕ７２のバスラインに接続される。ＣＰＵ７２のバスラ
インには又測定位置y1，y2での受光強度Ｉ（y1），Ｉ
（y2）を保持する光強度メモリ７３、プログラムメモリ
７４、測定位置y1，y2を保持する測定位置メモリ７５、
及び出力メモリ７６が接続されている。測定位置メモリ
７５はスリットの端部近傍での測定位置y1，y2を保持す
る測定位置保持手段を構成している。

【００１９】次に本実施例の動作について図９のフロー
チャートを参照しつつ説明する。動作を開始するとまず
ステップ８１において初期化を行い、光強度メモリ７３
のデータをクリアする。そして測定位置メモリ７５に保
持されている測定位置データy1，y2をロードする。そし
てステップ８３に進んで信号加工回路７１より与えられ
る受信データをロードし、ステップ８４において測定位
置y1，y2かどうかをチェックする。測定位置y1，y2と一
致している場合には夫々光強度メモリ７３にストアし、
測定位置y1，y2でなければこの処理をすることなくステ
ップ８６に進んで走査が終了したかどうかをチェックす
る。終了していなければステップ８３に戻って同様の処
理を繰り返す。こうすればＣＣＤセンサ３の全ての画素
についての走査を終えれば、光強度メモリ７３には測定
位置y1，y2での光強度が保持されている。従ってステッ
プ８７においてこのデータをロードし、ステップ８８に
進んで測定位置の光強度の関係からずれの向きを演算す
る。即ちＩ（y1）≪Ｉ（y2）の場合はθが正、Ｉ（y1）
≒Ｉ（y2）なら回転ずれなし、Ｉ（y1）≫Ｉ（y2）なら
θが負とする。そしてステップ８９に進んで結果を出力
メモリ７６にストアして処理を終える。ここで光強度メ
モリ７３及びＣＰＵ７２のステップ８３〜８６におい
て、測定位置保持手段によって保持された測定位置での
受光レベルを保持する光強度保持手段を構成しており、
ＣＰＵ７２はステップ８７〜８９において一対の光強度
を比較することによって回転ずれを検出する比較手段を
構成している。

【００２０】このような処理によって光軸の回転ずれが
検出できることとなる。このような回転ずれの検出は例
え投光軸ＸにＹ方向のずれがあっても同様であり、図１
１（ｃ）に示すような状態の場合にも回転ずれθのみを
位置ずれとは独立して検出することができる。又こうし
て回転ずれが検出されれば、図５（ｂ）に示すように投
光部１又は受光部３の回転方向をずれをなくす方向に回
転させ、回転ずれをなくす。その後第１，第２実施例で
示したように投受光器の受光軸Ｘ又は投光軸Ｌを平行に
保ちつつ位置ずれをなくすように光軸に垂直に移動させ
ることによって位置ずれをなくすることができる。

【００２１】尚本実施例では測定位置y1, y2は図６
（ｂ）に示すように、投光軸Ｌと受光軸Ｘとが一致した
場合にＣＣＤセンサ３に得られる受光範囲のわずかに外
側の対称な位置に設定するようにしているが、これらを
いずれも測定範囲のわずかに内側の対称な位置に設定し
ておくことも可能である。この場合には光軸が一致した
ときに夫々の受光強度はいずれも所定値を越える高いレ
ベルでほぼ同一となる。又光軸の回転ずれがあれば第
３，第４実施例と同様にその受光レベルの差が大きくな
るため、同様にして光軸の回転ずれを検出することがで
きる。

【００２２】又前述した第１，第２実施例と第３，第４
実施例とは光学式外形測定装置に同時に適用するものと
する。こうすれば位置ずれと回転ずれとを夫々独立して
検出し、そのずれが修正できることとなる。

【００２３】

【発明の効果】以上詳細に説明したように本願の請求項
１の発明では、投光部と受光部の光軸の位置ずれのみを
光軸の回転ずれの有無にかかわらずに検出することがで
きる。又受光レベルのピーク値を夫々位置ずれの識別毎
に検出するようにしているため、投光部の光源が劣化し
光量全体が減少した場合にも、安定してずれを検出する
ことができるという効果が得られる。

【００２４】又請求項２の発明では、位置ずれとは独立
して投光部及び受光部間の光軸の回転ずれを検出するこ
とができる。又本実施例においても光源自体の光量が低
下しても回転ずれのみを確実に検出することができると
いう効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例による光学式外形測定装置
の全体構成を示すブロック図である。

【図２】本実施例の投受光軸の位置ずれと受光レベルの
変化を示す説明図である。

【図３】本発明の第２実施例による光学式外形測定装置
の構成を示すブロック図である。

【図４】本発明の第２実施例による光学式外形測定装置
の位置ずれ検出時の動作を示すフローチャートである。

【図５】投受光軸に位置ずれがない場合の回転ずれの有
無による受光強度の変化を示す図である。

【図６】本発明の光学式外形測定装置の回転ずれを生じ
たときの受光レベルの変化を示す説明図である。

【図７】本発明の第３実施例による光学式外形測定装置
の全体構成を示すブロック図である。

【図８】本発明の第４実施例による光学式外形測定装置
の構成を示すブロック図である。

【図９】本発明の第４実施例による光学式外形測定装置
の動作を示すフローチャートである。

【図１０】従来の光学式外形測定装置と光軸の位置ずれ
を示す概略図である。

【図１１】従来の外形測定装置を用いた位置ずれ及び回
転ずれの状態とこれらが同時に生じる場合の状態を示す
説明図である。

【符号の説明】

１ 投光部 ２ 受光部 ３ ＣＣＤセンサ １１ 光源 １２ レンズ １３ スリット １４ ローパスフィルタ １５ Ａ／Ｄ変換器 １６，２４，６３ 比較部 １７ ピーク値保持部 １８ 制御部 １９ クロックパルス発生部 ２０ 同期パルス発生部 ２１ カウンタ ２２ ピーク位置保持部 ２３ 設定値保持部 ２５，６４ 出力部 ３１，７１ 信号加工回路 ３２，７２ ＣＰＵ ３３ ピーク値メモリ ３４ ピーク位置メモリ ３５ 設定値メモリ ３６，７４ プログラムメモリ ３７，７６ 出力メモリ ６１ 光強度保持部 ６２ 測定位置指示部 ７３ 光強度メモリ ７５ 測定位置メモリ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 平行な光ビームを投光する投光部と、 前記投光部の光ビームに対向して配置された１次元受光
   センサを含む受光部と、 前記受光部の１次元受光センサに得られる受光信号のピ
   ーク値を保持するピーク値保持手段と、 前記受光部の１次元受光センサに得られる受光信号のピ
   ーク値の受光位置を保持するピーク位置保持手段と、 投光部の光軸と受光部の１次元受光センサの中心軸とが
   一致するときに１次元受光センサの受光レベルがピーク
   となる受光位置を保持する設定値保持手段と、 前記ピーク位置保持手段と設定値保持手段によって保持
   される受光位置との位置ずれに基づいて位置ずれの大き
   さ及び方向を検出する比較手段と、を具備することを特
   徴とする光学式外形測定装置。
2. 【請求項２】 平行な光ビームを投光する投光部と、 前記投光部の光ビームに対向して配置され所定範囲を受
   光するスリット及び該スリットの背後に配置された１次
   元受光センサを含む受光部と、 前記スリットの端部近傍の対称な測定位置を保持する測
   定位置保持手段と、 前記測定位置保持手段によって保持された測定位置での
   前記受光部より得られる受光レベルを保持する光強度保
   持手段と、 前記一対の光強度保持手段での光強度を比較することに
   よって回転ずれを検出する比較手段と、を具備すること
   を特徴とする光学式外形測定装置。