JPH063328A - センサ - Google Patents
センサInfo
- Publication number
- JPH063328A JPH063328A JP16597792A JP16597792A JPH063328A JP H063328 A JPH063328 A JP H063328A JP 16597792 A JP16597792 A JP 16597792A JP 16597792 A JP16597792 A JP 16597792A JP H063328 A JPH063328 A JP H063328A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensor
- gap
- magnetic
- rust
- iron
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 21
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 21
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 14
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims description 3
- JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N iron(III) oxide Inorganic materials O=[Fe]O[Fe]=O JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 9
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 abstract description 5
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 4
- 238000005304 joining Methods 0.000 abstract description 4
- OLSWFLMHTAXTNR-UHFFFAOYSA-N [C].[Ta].[Fe] Chemical compound [C].[Ta].[Fe] OLSWFLMHTAXTNR-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 3
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 abstract description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 2
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- XWHPIFXRKKHEKR-UHFFFAOYSA-N iron silicon Chemical compound [Si].[Fe] XWHPIFXRKKHEKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- 229910001339 C alloy Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 24
- 230000008859 change Effects 0.000 description 8
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 8
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 3
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 3
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 2
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 2
- -1 Iron-tantalum-carbon-silicon Chemical compound 0.000 description 1
- TZVJRPRFJIXRGV-UHFFFAOYSA-N [Cr].[Co].[Ta] Chemical compound [Cr].[Co].[Ta] TZVJRPRFJIXRGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YYXHRUSBEPGBCD-UHFFFAOYSA-N azanylidyneiron Chemical compound [N].[Fe] YYXHRUSBEPGBCD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZDVYABSQRRRIOJ-UHFFFAOYSA-N boron;iron Chemical compound [Fe]#B ZDVYABSQRRRIOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000001513 hot isostatic pressing Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- QMQXDJATSGGYDR-UHFFFAOYSA-N methylidyneiron Chemical compound [C].[Fe] QMQXDJATSGGYDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 150000003304 ruthenium compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 簡単な構造で、環境検出可能な素材からなる
金属膜を用いるとともに、モジュール化およびＩＣ化に
適したセンサを提供する。 【構成】 磁性素材により製せられた磁気コア１５にコ
イル１８を巻回させるとともに、露出状態としたギャッ
プ１３を形成し、当該ギャップ１３の相互に対向する対
向面１６，１６の少なくとも一方に環境検出可能な素材
からなる金属膜１７を形成することを特徴とする。
金属膜を用いるとともに、モジュール化およびＩＣ化に
適したセンサを提供する。 【構成】 磁性素材により製せられた磁気コア１５にコ
イル１８を巻回させるとともに、露出状態としたギャッ
プ１３を形成し、当該ギャップ１３の相互に対向する対
向面１６，１６の少なくとも一方に環境検出可能な素材
からなる金属膜１７を形成することを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、種々の工業量、例えば
温度、湿度等を電気信号に変換して取出す素子であるセ
ンサに係り、特に、環境検出可能な素材からなる金属膜
を用いたセンサに関する。
温度、湿度等を電気信号に変換して取出す素子であるセ
ンサに係り、特に、環境検出可能な素材からなる金属膜
を用いたセンサに関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、半導体等を適用した各種のセン
サ、例えば湿度センサ、各種ガスセンサ等が、種々の工
業目的に用いられている。これらのセンサは、半導体に
ガス等が接触あるいは吸着すると、その電気抵抗が変化
するという特性を利用したものである。
サ、例えば湿度センサ、各種ガスセンサ等が、種々の工
業目的に用いられている。これらのセンサは、半導体に
ガス等が接触あるいは吸着すると、その電気抵抗が変化
するという特性を利用したものである。
【０００３】また、近年において、厚膜磁性半導体をセ
ンサとして適用する種々の提案が成されている。この厚
膜磁性半導体は、フェライト粉末とルテニウム化合物と
の混合物の焼結体等を用いたものであり、その電気抵抗
は湿度とガス濃度に応答し、インダクタンスは温度に依
存するが湿度およびガスに依存しない特性を有してい
る。そして、このようなセンサは、磁気特性の変化を検
出することにより各種のセンサとされている。
ンサとして適用する種々の提案が成されている。この厚
膜磁性半導体は、フェライト粉末とルテニウム化合物と
の混合物の焼結体等を用いたものであり、その電気抵抗
は湿度とガス濃度に応答し、インダクタンスは温度に依
存するが湿度およびガスに依存しない特性を有してい
る。そして、このようなセンサは、磁気特性の変化を検
出することにより各種のセンサとされている。
【０００４】以下、このような従来からあるセンサを図
５および図６により説明する。
５および図６により説明する。
【０００５】図５は第１の従来のセンサの構成の要部を
示す斜視図であり、図６は第２の従来のセンサの構成の
要部を示す模式図である。
示す斜視図であり、図６は第２の従来のセンサの構成の
要部を示す模式図である。
【０００６】まず、第１の従来のセンサ１を図５につい
て説明すると、第１の従来のセンサ１は、適宜な素材に
より製せられた環状の基板２の径方向外側に厚膜磁性半
導体３が固着されて環状のセンサ本体４が形成されてい
る。そして、このセンサ本体４に巻線Ｎ01，Ｎ02が施さ
れている。
て説明すると、第１の従来のセンサ１は、適宜な素材に
より製せられた環状の基板２の径方向外側に厚膜磁性半
導体３が固着されて環状のセンサ本体４が形成されてい
る。そして、このセンサ本体４に巻線Ｎ01，Ｎ02が施さ
れている。
【０００７】このように形成されている第１の従来のセ
ンサ１は、巻線Ｎ01に励磁電圧Ｅ01を加え、厚膜磁性半
導体３の磁束を変化させ、Ｎ02に誘起する電圧Ｅ02を検
出するようになっている。
ンサ１は、巻線Ｎ01に励磁電圧Ｅ01を加え、厚膜磁性半
導体３の磁束を変化させ、Ｎ02に誘起する電圧Ｅ02を検
出するようになっている。
【０００８】また、第２の従来のセンサ１ａを図６につ
いて説明すると、第２の従来のセンサ１ａは、プレート
状の基板２ａの一方の表面に厚膜磁性半導体３ａが固着
されてセンサ本体４ａが形成されている。そして、セン
サ本体４ａの図中下部に適宜な交流磁界発生器５を、上
部に磁気ヘッド６を配置し、交流磁界発生器５により発
生させた磁束φを磁気ヘッド６で微少電圧に変換して読
取り、微少電圧を増幅器７により増幅させて検出するよ
うになっている。
いて説明すると、第２の従来のセンサ１ａは、プレート
状の基板２ａの一方の表面に厚膜磁性半導体３ａが固着
されてセンサ本体４ａが形成されている。そして、セン
サ本体４ａの図中下部に適宜な交流磁界発生器５を、上
部に磁気ヘッド６を配置し、交流磁界発生器５により発
生させた磁束φを磁気ヘッド６で微少電圧に変換して読
取り、微少電圧を増幅器７により増幅させて検出するよ
うになっている。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
た第１の従来のセンサ１においては、センサ本体４を環
状に形成するか、あるいは平板状に形成したセンサ本体
にヨーク等を付加させて閉磁路を形成させることが必要
となる。このため、形状が大きくなり、センサ１のモジ
ュール化およびＩＣ化に適さないという問題点があっ
た。
た第１の従来のセンサ１においては、センサ本体４を環
状に形成するか、あるいは平板状に形成したセンサ本体
にヨーク等を付加させて閉磁路を形成させることが必要
となる。このため、形状が大きくなり、センサ１のモジ
ュール化およびＩＣ化に適さないという問題点があっ
た。
【００１０】また、前述した第２の従来のセンサ１ａに
おいては、交流磁界発生器５により閉磁路を形成させ、
その磁束φを磁気ヘッド６で読取るようにされているの
で、応答感度が劣るという問題があった。
おいては、交流磁界発生器５により閉磁路を形成させ、
その磁束φを磁気ヘッド６で読取るようにされているの
で、応答感度が劣るという問題があった。
【００１１】本発明はこれらの点に鑑みてなされたもの
であり、前述した従来のものにおける問題点を克服し、
簡単な構造で、環境検出可能な素材からなる金属膜を用
いるとともに、モジュール化およびＩＣ化に適したセン
サを提供することを目的とする。
であり、前述した従来のものにおける問題点を克服し、
簡単な構造で、環境検出可能な素材からなる金属膜を用
いるとともに、モジュール化およびＩＣ化に適したセン
サを提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ため本発明のセンサは、磁性素材により製せられた磁気
コアにコイルを巻回させるとともに、露出状態としたギ
ャップを形成し、当該ギャップの相互に対向する対向面
の少なくとも一方に環境検出可能な素材からなる金属膜
を形成することを特徴としている。
ため本発明のセンサは、磁性素材により製せられた磁気
コアにコイルを巻回させるとともに、露出状態としたギ
ャップを形成し、当該ギャップの相互に対向する対向面
の少なくとも一方に環境検出可能な素材からなる金属膜
を形成することを特徴としている。
【００１３】
【作用】ところで、本発明のセンサは、本発明者らが永
年に亘り鋭意研究を行ってきた磁気ヘッドの研究の応用
である。
年に亘り鋭意研究を行ってきた磁気ヘッドの研究の応用
である。
【００１４】すなわち、例えばＭＩＧヘッドおよび薄膜
ヘッドのギャップの対向面に用いられる金属膜あるいは
磁性素材の研究において、磁気特性は非常に優れている
が錆易い素材、すなわち、環境状態を検出できる素材
（以下、環境検出可能な素材という）が数多く見いださ
れた。このような素材の特性と、磁気ヘッドの製造技術
とを有効に利用した物品として、種々のセンサを開発す
るに至った。
ヘッドのギャップの対向面に用いられる金属膜あるいは
磁性素材の研究において、磁気特性は非常に優れている
が錆易い素材、すなわち、環境状態を検出できる素材
（以下、環境検出可能な素材という）が数多く見いださ
れた。このような素材の特性と、磁気ヘッドの製造技術
とを有効に利用した物品として、種々のセンサを開発す
るに至った。
【００１５】すなわち、前述した構成からなる本発明の
センサによれば、露出状態としたギャップの対向面に形
成された環境検出可能な素材からなる金属膜が所定の環
境下に置かれると、例えば水、ガス等にさらされると、
金属膜の表面から劣化、酸化、腐食等が始まり、ギャッ
プ幅が変化し、このギャップ幅の変化に応じて磁気特性
が変化することによりセンサとすることができる。ま
た、センサは磁気ヘッドの形状とされるので、モジュー
ル化およびＩＣ化を簡単に行うことができる。
センサによれば、露出状態としたギャップの対向面に形
成された環境検出可能な素材からなる金属膜が所定の環
境下に置かれると、例えば水、ガス等にさらされると、
金属膜の表面から劣化、酸化、腐食等が始まり、ギャッ
プ幅が変化し、このギャップ幅の変化に応じて磁気特性
が変化することによりセンサとすることができる。ま
た、センサは磁気ヘッドの形状とされるので、モジュー
ル化およびＩＣ化を簡単に行うことができる。
【００１６】
【実施例】以下、本発明の実施例を図１から図４につい
て説明する。
て説明する。
【００１７】図１は本発明に係るセンサの一実施例の要
部を示す縦断面図である。
部を示す縦断面図である。
【００１８】図１に示すように、本実施例のセンサ８
は、磁気ヘッド９と、適宜な交流磁界発生器１０と、適
宜な増幅器１１により構成されている。
は、磁気ヘッド９と、適宜な交流磁界発生器１０と、適
宜な増幅器１１により構成されている。
【００１９】前記磁気ヘッド９は、熱間静水圧プレス処
理を施された多結晶Ｍｎ−Ｚｎフェライト等の焼結フェ
ライトからなる高密度フェライトで製せられた凹部を有
する２個の略コの字形状のコアブロック１２，１２を、
その凹部を相互に対向するようにして、所定のギャップ
１３を介してガラス等の適宜な接合部材１４により接合
されて磁気コア１５が形成されている。そして、この磁
気コア１５の相互に対向する対向面としてのギャップ面
１６，１６の表面には、環境検出可能な素材からなる金
属膜１７，１７が露出状態として形成されている。
理を施された多結晶Ｍｎ−Ｚｎフェライト等の焼結フェ
ライトからなる高密度フェライトで製せられた凹部を有
する２個の略コの字形状のコアブロック１２，１２を、
その凹部を相互に対向するようにして、所定のギャップ
１３を介してガラス等の適宜な接合部材１４により接合
されて磁気コア１５が形成されている。そして、この磁
気コア１５の相互に対向する対向面としてのギャップ面
１６，１６の表面には、環境検出可能な素材からなる金
属膜１７，１７が露出状態として形成されている。
【００２０】また、磁気コア１５の所望位置には適宜な
コイル１８が巻回されており、このコイル１８は増幅器
１１と接続されている。
コイル１８が巻回されており、このコイル１８は増幅器
１１と接続されている。
【００２１】また、前記磁気コア１５は図示しない磁気
記憶装置に用いられる磁気ヘッドと同様にセラミック
ス、樹脂等の適宜なケースに固着される。
記憶装置に用いられる磁気ヘッドと同様にセラミック
ス、樹脂等の適宜なケースに固着される。
【００２２】また、前記金属膜１７に用いられる環境検
出可能な素材について説明すると、この金属膜１７に用
いる素材には、例えば厚膜磁性半導体、環境に敏感な錆
易い金属、鉄−シリコン系結晶合金、鉄をベースとした
鉄−タンタル−カーボン系、鉄−窒素系、アモルファス
とした鉄−タンタル−カーボン系、鉄−ジルコム−ボロ
ン系、鉄−カーボン・鉄−ボロン系、アモルファスを結
晶化させた鉄−タンタル−カーボン−シリコン系、コバ
ルトをベースとしたコバルト−ジルコン−ボロン系、コ
バルト−クロム−タンタル系等を使用目的に応じて用い
ると良い。
出可能な素材について説明すると、この金属膜１７に用
いる素材には、例えば厚膜磁性半導体、環境に敏感な錆
易い金属、鉄−シリコン系結晶合金、鉄をベースとした
鉄−タンタル−カーボン系、鉄−窒素系、アモルファス
とした鉄−タンタル−カーボン系、鉄−ジルコム−ボロ
ン系、鉄−カーボン・鉄−ボロン系、アモルファスを結
晶化させた鉄−タンタル−カーボン−シリコン系、コバ
ルトをベースとしたコバルト−ジルコン−ボロン系、コ
バルト−クロム−タンタル系等を使用目的に応じて用い
ると良い。
【００２３】つぎに、前述した構成からなる本実施例の
作用について図２から図４に説明する。
作用について図２から図４に説明する。
【００２４】図２は本実施例のセンサのギャップ部分の
拡大縦断面図であり、図３はギャップ部分の環境による
変化状態を示す模式図であり、図４はギャップ幅の変化
にともなう磁気特性の変化を示す線図である。
拡大縦断面図であり、図３はギャップ部分の環境による
変化状態を示す模式図であり、図４はギャップ幅の変化
にともなう磁気特性の変化を示す線図である。
【００２５】図２に示すように、露出状態とされた所定
のギャップ幅Ｗ00を有する本実施例のセンサ８、例えば
錆センサ８は、所定の環境下に置かれると、相互に対向
する金属膜１７，１７の表面に、水分およびガス等が付
着し、金属膜１７，１７の表面から劣化、酸化、腐食等
が始まる。そして、時間の経過とともに、図３に示すよ
うに、金属膜１７，１７の表面の劣化部１９，１９が拡
大し、初期のギャップ幅Ｗ00が、図３に示すようにＷ10
へ次第に拡大する。このギャップ幅Ｗ00の変化にともな
いセンサ８の磁気特性、例えば出力と周波数との関係
が、図４に示すように、敏感に変化する。
のギャップ幅Ｗ00を有する本実施例のセンサ８、例えば
錆センサ８は、所定の環境下に置かれると、相互に対向
する金属膜１７，１７の表面に、水分およびガス等が付
着し、金属膜１７，１７の表面から劣化、酸化、腐食等
が始まる。そして、時間の経過とともに、図３に示すよ
うに、金属膜１７，１７の表面の劣化部１９，１９が拡
大し、初期のギャップ幅Ｗ00が、図３に示すようにＷ10
へ次第に拡大する。このギャップ幅Ｗ00の変化にともな
いセンサ８の磁気特性、例えば出力と周波数との関係
が、図４に示すように、敏感に変化する。
【００２６】従って、予め錆の程度と出力値との関係に
基づいて、出力値を規定することにより、錆が限界まで
達したことを検出する錆センサ８とすることができる。
そして、この錆の進行と環境状態の推移とを関連づける
ことにより、環境センサとして用いることができる。
基づいて、出力値を規定することにより、錆が限界まで
達したことを検出する錆センサ８とすることができる。
そして、この錆の進行と環境状態の推移とを関連づける
ことにより、環境センサとして用いることができる。
【００２７】なお、本実施例においては、各ギャップ面
１６にそれぞれ金属膜１７を形成したが、一方のギャッ
プ面１６のみに金属膜１７を形成してもよい。
１６にそれぞれ金属膜１７を形成したが、一方のギャッ
プ面１６のみに金属膜１７を形成してもよい。
【００２８】また、前記センサ８のように、環境の積分
値を測定するセンサ８の他に、金属膜１７，１７の表面
に吸着する水分、ガス等を、適宜な加熱手段を設けるこ
とにより、金属膜１７，１７の表面に付着し続けないよ
うに除去すると、連続測定と繰り返し使用とを可能とさ
せることができる。
値を測定するセンサ８の他に、金属膜１７，１７の表面
に吸着する水分、ガス等を、適宜な加熱手段を設けるこ
とにより、金属膜１７，１７の表面に付着し続けないよ
うに除去すると、連続測定と繰り返し使用とを可能とさ
せることができる。
【００２９】また、このようなセンサ８は、小型化、モ
ジュール化およびＩＣ化を簡単に行うことができる。
ジュール化およびＩＣ化を簡単に行うことができる。
【００３０】さらに、本実施例のセンサ８は、磁気ヘッ
ド９の一種であるＭＩＧヘッド、薄膜ヘッド等の製造工
程を用いることができ、製造技術および製造設備を共有
させ、開発投資および設備投資の負担を減少させ、簡
単、かつ、大量に製造することができるとともに、ＭＩ
Ｇヘッドあるいは薄膜ヘッドの製造において発生する不
合格品を再生利用することができる。
ド９の一種であるＭＩＧヘッド、薄膜ヘッド等の製造工
程を用いることができ、製造技術および製造設備を共有
させ、開発投資および設備投資の負担を減少させ、簡
単、かつ、大量に製造することができるとともに、ＭＩ
Ｇヘッドあるいは薄膜ヘッドの製造において発生する不
合格品を再生利用することができる。
【００３１】なお、本発明は、前記実施例に限定される
ものではなく、必要に応じて変更することができる。
ものではなく、必要に応じて変更することができる。
【００３２】
【発明の効果】以上説明したように本発明のセンサによ
れば、磁気ヘッドをセンサに適用することができるの
で、モジュール化およびＩＣ化を容易に図ることができ
るとともに、経済的負担を伴わずに、簡単に、大量生産
することができるという極めて優れた効果を奏する。
れば、磁気ヘッドをセンサに適用することができるの
で、モジュール化およびＩＣ化を容易に図ることができ
るとともに、経済的負担を伴わずに、簡単に、大量生産
することができるという極めて優れた効果を奏する。
【図１】本発明に係るセンサの一実施例の要部を示す縦
断面図
断面図
【図２】本実施例のセンサのギャップ部分の拡大縦断面
図
図
【図３】ギャップ部分の環境による変化状態を示す模式
図
図
【図４】ギャップ幅の変化にともなう磁気特性の変化を
示す線図
示す線図
【図５】第１の従来のセンサの構成の要部を示す斜視図
【図６】第２の従来のセンサの構成の要部を示す模式図
８ センサ ９ 磁気ヘッド １０ 交流磁界発生器 １１ 増幅器 １２ コアブロック １３ ギャップ １５ 磁気コア １６ ギャップ面 １７ 金属膜 １８ コイル
Claims (1)
- 【請求項１】 磁性素材により製せられた磁気コアにコ
イルを巻回させるとともに、露出状態としたギャップを
形成し、当該ギャップの相互に対向する対向面の少なく
とも一方に環境検出可能な素材からなる金属膜を形成す
ることを特徴とするセンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16597792A JPH063328A (ja) | 1992-06-24 | 1992-06-24 | センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16597792A JPH063328A (ja) | 1992-06-24 | 1992-06-24 | センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH063328A true JPH063328A (ja) | 1994-01-11 |
Family
ID=15822598
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16597792A Withdrawn JPH063328A (ja) | 1992-06-24 | 1992-06-24 | センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH063328A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5783051A (en) * | 1995-03-01 | 1998-07-21 | Shinko Pantec Co., Ltd. | Apparatus for producing hydrogen and oxygen |
| US5795450A (en) * | 1997-03-04 | 1998-08-18 | Shinko Pantec Co., Ltd. | Apparatus for producing hydrogen and oxygen |
| CN100441747C (zh) * | 2003-12-05 | 2008-12-10 | 山东东岳高分子材料有限公司 | 全氟离子交换溶合增强膜及其制备方法 |
-
1992
- 1992-06-24 JP JP16597792A patent/JPH063328A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5783051A (en) * | 1995-03-01 | 1998-07-21 | Shinko Pantec Co., Ltd. | Apparatus for producing hydrogen and oxygen |
| US5795450A (en) * | 1997-03-04 | 1998-08-18 | Shinko Pantec Co., Ltd. | Apparatus for producing hydrogen and oxygen |
| CN100441747C (zh) * | 2003-12-05 | 2008-12-10 | 山东东岳高分子材料有限公司 | 全氟离子交换溶合增强膜及其制备方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CA1225846A (en) | Torque sensor of the noncontact type | |
| JPS63109338A (ja) | 軸におけるトルクを非接触で間接的に電気式に測定する装置 | |
| US4412454A (en) | Pressure sensing unit for a pressure sensor | |
| US4899598A (en) | Apparatus for measuring torque applied to a shaft | |
| US4891992A (en) | Torque detecting apparatus | |
| JPH0861906A (ja) | 磁気式位置センサ | |
| AU2924189A (en) | Inductive coil structure | |
| US5323659A (en) | Multifunctional torque sensor | |
| US5936403A (en) | Weak-field magnetic field sensor having etched circuit coils | |
| JPH063328A (ja) | センサ | |
| US6270686B1 (en) | Method of making a weak-field magnetic field sensor having etched circuit coils | |
| JPS63297545A (ja) | トルクセンサ用被測定軸 | |
| JPH0618482A (ja) | センサ | |
| US4858818A (en) | Method of bonding a magnetostrictive sheet to a shaft | |
| JP2552683B2 (ja) | 電流センサー | |
| Ong et al. | Magnetically soft higher order harmonic stress and temperature sensors | |
| US4069714A (en) | Method for measuring physical data by magnetic means | |
| JP2003121419A (ja) | 透磁率測定方法 | |
| JPS62229038A (ja) | 応力測定装置 | |
| JP2641741B2 (ja) | 力学量センサ | |
| KR101419262B1 (ko) | 온도 센서와 그에 따른 원격 온도 센싱 방법 | |
| JPH0894728A (ja) | 磁界センサーと磁界センサーの製造方法 | |
| Hase et al. | Oil pressure sensor using amorphous magnetic alloy | |
| JPS6060516A (ja) | 多機能センサー | |
| JPS5813288Y2 (ja) | センサ− |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990831 |