JPH06334276A - 放電タイミング調整装置 - Google Patents
放電タイミング調整装置Info
- Publication number
- JPH06334276A JPH06334276A JP12115693A JP12115693A JPH06334276A JP H06334276 A JPH06334276 A JP H06334276A JP 12115693 A JP12115693 A JP 12115693A JP 12115693 A JP12115693 A JP 12115693A JP H06334276 A JPH06334276 A JP H06334276A
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- discharge
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- time
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Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明は、時刻測定範囲を広くしなくても高精
度に時刻測定ができて各レーザ出力装置の放電タイミン
グを調整する。 【構成】各レーザ出力装置(1,2,3) の各放電パルスをほ
ぼ同一タイミングに調整して放電時刻測定回路(4) に送
り、この放電時刻測定回路(4) により各レーザ出力装置
(1,2,3) での放電時刻を測定してこれら測定時刻に応じ
て各レーザ出力装置(1,2,3) に放電タイミング信号ｆ
1 、ｆ2 、ｆ3 を送出する。これにより、各レーザ出力
装置(1,2,3) のドリフトが大きくなっても放電パルスの
入射時刻が時刻測定範囲Ｔから外れることなく各レーザ
出力装置(1,2,3) の各放電タイミングを調整できる。
度に時刻測定ができて各レーザ出力装置の放電タイミン
グを調整する。 【構成】各レーザ出力装置(1,2,3) の各放電パルスをほ
ぼ同一タイミングに調整して放電時刻測定回路(4) に送
り、この放電時刻測定回路(4) により各レーザ出力装置
(1,2,3) での放電時刻を測定してこれら測定時刻に応じ
て各レーザ出力装置(1,2,3) に放電タイミング信号ｆ
1 、ｆ2 、ｆ3 を送出する。これにより、各レーザ出力
装置(1,2,3) のドリフトが大きくなっても放電パルスの
入射時刻が時刻測定範囲Ｔから外れることなく各レーザ
出力装置(1,2,3) の各放電タイミングを調整できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、多段直列に配置したレ
ーザ出力装置の各放電タイミングを調整して所定レベル
のレーザを出力させる放電タイミング調整装置に関す
る。
ーザ出力装置の各放電タイミングを調整して所定レベル
のレーザを出力させる放電タイミング調整装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】図４はレーザ出力装置を３段直列に配置
した場合の放電タイミング調整装置の構成図である。各
レーザ出力装置１、２、３は直列に配置され、レーザ出
力装置１から出力されたレーザＱ1 は次段のレーザ出力
装置２に入射し、このレーザ出力装置２から出力された
レーザＱ2 は最終段のレーザ出力装置３に入射し、この
レーザ出力装置３から増幅された所定レベルのレーザＱ
3 が出力されるようになっている。
した場合の放電タイミング調整装置の構成図である。各
レーザ出力装置１、２、３は直列に配置され、レーザ出
力装置１から出力されたレーザＱ1 は次段のレーザ出力
装置２に入射し、このレーザ出力装置２から出力された
レーザＱ2 は最終段のレーザ出力装置３に入射し、この
レーザ出力装置３から増幅された所定レベルのレーザＱ
3 が出力されるようになっている。
【０００３】従って、例えばレーザ出力装置２は、前段
のレーザ出力装置１からのレーザＱ1 が入射したタイミ
ングえ放電することが必要となる。しかるに、各レーザ
出力装置１、２、３の放電パルスはそれぞれ放電時刻測
定回路４に送られる。
のレーザ出力装置１からのレーザＱ1 が入射したタイミ
ングえ放電することが必要となる。しかるに、各レーザ
出力装置１、２、３の放電パルスはそれぞれ放電時刻測
定回路４に送られる。
【０００４】この放電時刻測定回路４は、図５に示すよ
うに時刻ｔ1 から時刻測定を開始して時刻ｔ2 で終了す
る時刻測定範囲Ｔが設定され、この時刻測定範囲Ｔ内に
放電パルスが入力した場合にその入射時刻を測定してそ
の測定時刻を各遅延回路５、６、７に送出するものとな
っている。
うに時刻ｔ1 から時刻測定を開始して時刻ｔ2 で終了す
る時刻測定範囲Ｔが設定され、この時刻測定範囲Ｔ内に
放電パルスが入力した場合にその入射時刻を測定してそ
の測定時刻を各遅延回路５、６、７に送出するものとな
っている。
【０００５】これら遅延回路５、６、７はそれぞれ測定
時刻を受けて各レーザ出力装置１、２、３での放電時刻
が所定タイミングとなるように各レーザ出力装置１、
２、３に放電タイミング信号ｆ1 、ｆ2 、ｆ3 を送出す
るものとなっている。なお、各レーザ出力装置１、２、
３は放電タイミング信号ｆ1 、ｆ2 、ｆ3 が入力してか
ら実際にレーザＱ1 ，Ｑ2 ，Ｑ3 が出力されるまでの時
間が周囲温度等の影響でドリフトする。そこで、各遅延
回路５、６、７は遅延設定時間を調整してドリフトを補
正している。
時刻を受けて各レーザ出力装置１、２、３での放電時刻
が所定タイミングとなるように各レーザ出力装置１、
２、３に放電タイミング信号ｆ1 、ｆ2 、ｆ3 を送出す
るものとなっている。なお、各レーザ出力装置１、２、
３は放電タイミング信号ｆ1 、ｆ2 、ｆ3 が入力してか
ら実際にレーザＱ1 ，Ｑ2 ，Ｑ3 が出力されるまでの時
間が周囲温度等の影響でドリフトする。そこで、各遅延
回路５、６、７は遅延設定時間を調整してドリフトを補
正している。
【０００６】又、各レーザ出力装置１、２、３から時刻
測定回路４への放電パルスの伝送はほぼ同一長さの各ケ
ーブルを用いているので、放電時刻測定回路４には放電
パルスが順次入力している。
測定回路４への放電パルスの伝送はほぼ同一長さの各ケ
ーブルを用いているので、放電時刻測定回路４には放電
パルスが順次入力している。
【０００７】ところで、放電時刻測定回路４には、上記
の如く時刻測定範囲にＴが設定されており、この時刻測
定範囲Ｔは高精度に測定する必要があるために広い時間
幅に設定できない。例えば、精度２５０psec 11ビット
として時刻測定範囲Ｔは約０．５μsec となる。
の如く時刻測定範囲にＴが設定されており、この時刻測
定範囲Ｔは高精度に測定する必要があるために広い時間
幅に設定できない。例えば、精度２５０psec 11ビット
として時刻測定範囲Ｔは約０．５μsec となる。
【０００８】このため、各レーザ出力装置１、２、３で
のドリフトが大きくなると図５に示すように放電パルス
が時刻測定範囲Ｔ内に入るタイミングの余裕Ｙが少なく
なり、最悪の場合放電パルスが時刻測定範囲Ｔに入らな
いことがある。このような場合、放電パルスの時刻測定
ができずにレーザ出力装置の放電タイミングを調整する
ことが全く不可能となる。特にレーザ出力装置１、２、
３の立ち上がり時にはドリフトが大きくなるので、放電
タイミングを調整することが難しくなる。
のドリフトが大きくなると図５に示すように放電パルス
が時刻測定範囲Ｔ内に入るタイミングの余裕Ｙが少なく
なり、最悪の場合放電パルスが時刻測定範囲Ｔに入らな
いことがある。このような場合、放電パルスの時刻測定
ができずにレーザ出力装置の放電タイミングを調整する
ことが全く不可能となる。特にレーザ出力装置１、２、
３の立ち上がり時にはドリフトが大きくなるので、放電
タイミングを調整することが難しくなる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】以上のように高精度に
時刻測定する必要があるため時刻測定範囲Ｔは広く設定
できず、このため各レーザ出力装置の放電タイミングを
調整することが困難となっている。
時刻測定する必要があるため時刻測定範囲Ｔは広く設定
できず、このため各レーザ出力装置の放電タイミングを
調整することが困難となっている。
【００１０】そこで本発明は、時刻測定範囲を広くしな
くても高精度に時刻測定ができて各レーザ出力装置の放
電タイミングを調整できる放電タイミング調整装置を提
供することを目的とする。
くても高精度に時刻測定ができて各レーザ出力装置の放
電タイミングを調整できる放電タイミング調整装置を提
供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明は、レーザ出力装
置を多段直列に配置してこれらレーザ出力装置の放電タ
イミングを調整して順次レーザを出力させて増幅し最終
段のレーザ出力装置から所定レベルのレーザを出力させ
る放電タイミング調整装置において、各レーザ出力装置
の各放電パルスを受けてこれら放電パルスをほぼ同一タ
イミングに調整して送出する放電パルス調整手段と、こ
の放電パルス調整手段によりタイミング調整された各放
電パルスを受けて各レーザ出力装置の放電時刻を測定す
る放電時刻測定手段と、この放電時刻測定手段により測
定された各放電時刻に応じて各レーザ出力装置に放電タ
イミング信号を送出する放電タイミング手段ととを備え
て上記目的を達成しようとする放電タイミング調整装置
である。
置を多段直列に配置してこれらレーザ出力装置の放電タ
イミングを調整して順次レーザを出力させて増幅し最終
段のレーザ出力装置から所定レベルのレーザを出力させ
る放電タイミング調整装置において、各レーザ出力装置
の各放電パルスを受けてこれら放電パルスをほぼ同一タ
イミングに調整して送出する放電パルス調整手段と、こ
の放電パルス調整手段によりタイミング調整された各放
電パルスを受けて各レーザ出力装置の放電時刻を測定す
る放電時刻測定手段と、この放電時刻測定手段により測
定された各放電時刻に応じて各レーザ出力装置に放電タ
イミング信号を送出する放電タイミング手段ととを備え
て上記目的を達成しようとする放電タイミング調整装置
である。
【００１２】
【作用】このような手段を備えたことにより、各レーザ
出力装置の各放電パルスは、放電パルス調整手段により
ほぼ同一タイミングに調整されて放電時刻測定手段に送
られ、この放電時刻測定手段により放電パルス調整手段
で調整された時間に基づいて各レーザ出力装置での放電
の時刻を測定する。そして、この測定された各放電時刻
に応じて放電タイミング手段により各レーザ出力装置に
放電タイミング信号が送出される。
出力装置の各放電パルスは、放電パルス調整手段により
ほぼ同一タイミングに調整されて放電時刻測定手段に送
られ、この放電時刻測定手段により放電パルス調整手段
で調整された時間に基づいて各レーザ出力装置での放電
の時刻を測定する。そして、この測定された各放電時刻
に応じて放電タイミング手段により各レーザ出力装置に
放電タイミング信号が送出される。
【００１３】
【実施例】以下、本発明の一実施例について図面を参照
して説明する。なお、図４と同一部分には同一符号を付
してある。図１は放電タイミング調整装置の構成図であ
る。この装置における各レーザ出力装置１、２と放電時
刻測定回路４との各間における放電パルスの伝送ケーブ
ルにはそれぞれ放電パルス遅延回路１０、１１が設けら
れている。
して説明する。なお、図４と同一部分には同一符号を付
してある。図１は放電タイミング調整装置の構成図であ
る。この装置における各レーザ出力装置１、２と放電時
刻測定回路４との各間における放電パルスの伝送ケーブ
ルにはそれぞれ放電パルス遅延回路１０、１１が設けら
れている。
【００１４】これら放電パルス遅延回路１０、１１は、
各レーザ出力装置１、２からの各放電パルスをそれぞれ
遅延して時刻測定回路４での入射時刻を時刻測定範囲Ｔ
のほぼ中間時刻となるように調整する機能を有するもの
である。
各レーザ出力装置１、２からの各放電パルスをそれぞれ
遅延して時刻測定回路４での入射時刻を時刻測定範囲Ｔ
のほぼ中間時刻となるように調整する機能を有するもの
である。
【００１５】又、放電時刻測定回路４は、各放電パルス
遅延回路１０、１１における設定遅延時間に基づいて各
レーザ出力装置１、２からの放電パルスの入射時にこれ
らレーザ出力装置１、２の放電時刻を求めてその測定時
間を各遅延回路５、６に送出する機能を有している。
遅延回路１０、１１における設定遅延時間に基づいて各
レーザ出力装置１、２からの放電パルスの入射時にこれ
らレーザ出力装置１、２の放電時刻を求めてその測定時
間を各遅延回路５、６に送出する機能を有している。
【００１６】なお、レーザ出力装置３と放電時刻測定回
路４との間には、放電パルス遅延回路が設けられていな
いが、これはレーザ出力装置３の放電パルスの時刻測定
回路４への入射時刻が時刻測定範囲Ｔの中間時刻に予め
設定されているからである。
路４との間には、放電パルス遅延回路が設けられていな
いが、これはレーザ出力装置３の放電パルスの時刻測定
回路４への入射時刻が時刻測定範囲Ｔの中間時刻に予め
設定されているからである。
【００１７】次に上記の如く構成された装置の作用につ
いて説明する。レーザ出力装置１から出力されたレーザ
Ｑ1 は、次段のレーザ出力装置２に入射し、このレーザ
出力装置２から出力されたレーザＱ2 は最終段のレーザ
出力装置３に入射し、そして最終段のレーザ出力装置３
から増幅された所定レベルのレーザＱ3 が出力される。
いて説明する。レーザ出力装置１から出力されたレーザ
Ｑ1 は、次段のレーザ出力装置２に入射し、このレーザ
出力装置２から出力されたレーザＱ2 は最終段のレーザ
出力装置３に入射し、そして最終段のレーザ出力装置３
から増幅された所定レベルのレーザＱ3 が出力される。
【００１８】このとき各レーザ出力装置１、２、３の放
電パルスはそれぞれ放電時刻測定回路４に送られ、この
うちレーザ出力装置１、２からの放電パルスはそれぞれ
放電パルス遅延回路１０、１１で遅延されて放電時刻測
定回路４に送られる。
電パルスはそれぞれ放電時刻測定回路４に送られ、この
うちレーザ出力装置１、２からの放電パルスはそれぞれ
放電パルス遅延回路１０、１１で遅延されて放電時刻測
定回路４に送られる。
【００１９】これら放電パルス遅延回路１０、１１は、
各レーザ出力装置１、２からの放電パルスを遅延するこ
とにより図２に示すように放電パルスの放電時刻測定回
路４での入射時刻が時刻測定範囲Ｔのほぼ中間時刻とな
る。
各レーザ出力装置１、２からの放電パルスを遅延するこ
とにより図２に示すように放電パルスの放電時刻測定回
路４での入射時刻が時刻測定範囲Ｔのほぼ中間時刻とな
る。
【００２０】この放電時刻測定回路４は、図５に示すよ
うに時刻ｔ1 から時刻測定を開始して各放電パルスが入
力した場合にその入射時刻を測定してその測定時刻を各
遅延回路５、６、７に送出する。この場合、放電時刻測
定回路４は、各放電パルス遅延回路１０、１１における
設定遅延時間に基づいて各レーザ出力装置１、２からの
放電パルスの入射時にこれらレーザ出力装置１、２の放
電時刻を求める。
うに時刻ｔ1 から時刻測定を開始して各放電パルスが入
力した場合にその入射時刻を測定してその測定時刻を各
遅延回路５、６、７に送出する。この場合、放電時刻測
定回路４は、各放電パルス遅延回路１０、１１における
設定遅延時間に基づいて各レーザ出力装置１、２からの
放電パルスの入射時にこれらレーザ出力装置１、２の放
電時刻を求める。
【００２１】そして、測定時刻が各遅延回路５、６、７
に送られると、これら遅延回路５、６、７は、それぞれ
測定時刻を受けて各レーザ出力装置１、２、３での放電
時刻が所定タイミングとなるように各レーザ出力装置
１、２、３に放電タイミング信号ｆ1 、ｆ2 、ｆ3 を送
出する。かくして、最終段のレーザ出力装置３からは、
所定レベルに増幅されたレーザＱ3 が出力される。
に送られると、これら遅延回路５、６、７は、それぞれ
測定時刻を受けて各レーザ出力装置１、２、３での放電
時刻が所定タイミングとなるように各レーザ出力装置
１、２、３に放電タイミング信号ｆ1 、ｆ2 、ｆ3 を送
出する。かくして、最終段のレーザ出力装置３からは、
所定レベルに増幅されたレーザＱ3 が出力される。
【００２２】このように上記一実施例においては、各レ
ーザ出力装置１、２、３の各放電パルスをほぼ同一タイ
ミングに調整して放電時刻測定回路４に送り、この放電
時刻測定回路４により各レーザ出力装置１、２、３での
放電時刻を測定してこれら測定時刻に応じて各レーザ出
力装置１、２、３に放電タイミング信号ｆ1 、ｆ2 、ｆ
3 を送出するようにしたので、放電時刻測定回路４に入
射する各放電パルスは時刻測定範囲Ｔのほぼ中間時刻に
できて放電パルスの時刻測定範囲Ｔにおける余裕時間を
時刻測定範囲Ｔの２分の１にできる。この余裕時間は時
刻測定範囲Ｔにおける最大の時間である。
ーザ出力装置１、２、３の各放電パルスをほぼ同一タイ
ミングに調整して放電時刻測定回路４に送り、この放電
時刻測定回路４により各レーザ出力装置１、２、３での
放電時刻を測定してこれら測定時刻に応じて各レーザ出
力装置１、２、３に放電タイミング信号ｆ1 、ｆ2 、ｆ
3 を送出するようにしたので、放電時刻測定回路４に入
射する各放電パルスは時刻測定範囲Ｔのほぼ中間時刻に
できて放電パルスの時刻測定範囲Ｔにおける余裕時間を
時刻測定範囲Ｔの２分の１にできる。この余裕時間は時
刻測定範囲Ｔにおける最大の時間である。
【００２３】従って、各レーザ出力装置１、２、３のド
リフトが大きくなっても放電パルスの入射時刻が時刻測
定範囲Ｔから外れることなく各レーザ出力装置１、２、
３の各放電タイミングを調整できる。特に各レーザ出力
装置１、２、３の立ち上がり時でドリフトが大きくても
各レーザ出力装置１、２、３の放電パルスを時刻測定範
囲Ｔ内に入れて放電タイミングを調整できる。
リフトが大きくなっても放電パルスの入射時刻が時刻測
定範囲Ｔから外れることなく各レーザ出力装置１、２、
３の各放電タイミングを調整できる。特に各レーザ出力
装置１、２、３の立ち上がり時でドリフトが大きくても
各レーザ出力装置１、２、３の放電パルスを時刻測定範
囲Ｔ内に入れて放電タイミングを調整できる。
【００２４】次に本発明の他の実施例について図３に示
す構成図を参照して説明する。この装置は、各レーザ出
力装置１、２と放電時刻測定回路４との各間における放
電パルスの伝送ケーブル２０、２１、２２の各長さを調
整して放電パルスの伝送に遅延を与えるようにしたもの
である。例えば、ｋ段目のレーザ出力装置のケーブルの
長さＬk は Ｌk ＝Ｌk-1 ＋ΔＬk に設定される。
す構成図を参照して説明する。この装置は、各レーザ出
力装置１、２と放電時刻測定回路４との各間における放
電パルスの伝送ケーブル２０、２１、２２の各長さを調
整して放電パルスの伝送に遅延を与えるようにしたもの
である。例えば、ｋ段目のレーザ出力装置のケーブルの
長さＬk は Ｌk ＝Ｌk-1 ＋ΔＬk に設定される。
【００２５】このような構成であれば、各レーザ出力装
置１、２、３の放電パルスは各ケーブル２０、２１、２
２により遅延されてほぼ同時に放電時刻測定回路４に入
射する。放電時刻測定回路４は、各放電パルスが入力し
た場合にその入射時刻を測定してその測定時刻を各遅延
回路５、６、７に送出する。
置１、２、３の放電パルスは各ケーブル２０、２１、２
２により遅延されてほぼ同時に放電時刻測定回路４に入
射する。放電時刻測定回路４は、各放電パルスが入力し
た場合にその入射時刻を測定してその測定時刻を各遅延
回路５、６、７に送出する。
【００２６】そして、測定時刻が各遅延回路５、６、７
に送られると、これら遅延回路５、６、７はそれぞれ測
定時刻を受けて各レーザ出力装置１、２、３での放電時
刻が所定タイミングとなるように各レーザ出力装置１、
２、３に放電タイミング信号ｆ1 、ｆ2 、ｆ3 を送出す
る。
に送られると、これら遅延回路５、６、７はそれぞれ測
定時刻を受けて各レーザ出力装置１、２、３での放電時
刻が所定タイミングとなるように各レーザ出力装置１、
２、３に放電タイミング信号ｆ1 、ｆ2 、ｆ3 を送出す
る。
【００２７】かくして、最終段のレーザ出力装置３から
は、所定レベルに増幅されたレーザＱ3 が出力される。
このように各放電パルスをケーブル２０、２１、２２の
長さを調整して遅延させても、上記一実施例と同様の効
果を奏することができる。そのうえ、時刻測定回路４を
最終段のレーザ出力装置３側に設置すれば、余分なケー
ブルを巻いておく必要がなく外観的にも良い。
は、所定レベルに増幅されたレーザＱ3 が出力される。
このように各放電パルスをケーブル２０、２１、２２の
長さを調整して遅延させても、上記一実施例と同様の効
果を奏することができる。そのうえ、時刻測定回路４を
最終段のレーザ出力装置３側に設置すれば、余分なケー
ブルを巻いておく必要がなく外観的にも良い。
【００２８】なお、本発明は上記一実施例に限定される
ものでなくその要旨を変更しない範囲で変形してもよ
い。例えば、各レーザ出力装置１、２、３から時刻測定
回路４へ送る各放電パルスの放電パルス調整手段として
は、ディレイラインを使用したりディスクリレベルを変
化させるものでも良い。
ものでなくその要旨を変更しない範囲で変形してもよ
い。例えば、各レーザ出力装置１、２、３から時刻測定
回路４へ送る各放電パルスの放電パルス調整手段として
は、ディレイラインを使用したりディスクリレベルを変
化させるものでも良い。
【００２９】
【発明の効果】以上詳記したように本発明によれば、時
刻測定範囲を広くしなくても高精度に時刻測定ができて
各レーザ出力装置の放電タイミングを調整できる放電タ
イミング調整装置を提供できる。
刻測定範囲を広くしなくても高精度に時刻測定ができて
各レーザ出力装置の放電タイミングを調整できる放電タ
イミング調整装置を提供できる。
【図１】本発明に係わる放電タイミング調整装置の一実
施例を示す構成図。
施例を示す構成図。
【図２】同装置における放電パルスの遅延作用を示す
図。
図。
【図３】本発明の他の実施例を示す構成図。
【図４】従来装置の構成図。
【図５】同装置の動作を説明するための図。
１〜３…レーザ出力装置、４…放電時刻測定回路、５〜
７…遅延回路、１０，１１…放電パルス遅延回路、２０
〜２２…ケーブル。
７…遅延回路、１０，１１…放電パルス遅延回路、２０
〜２２…ケーブル。
Claims (1)
- 【請求項１】 レーザ出力装置を多段直列に配置してこ
れらレーザ出力装置の放電タイミングを調整して順次レ
ーザを出力させて増幅し最終段の前記レーザ出力装置か
ら所定レベルのレーザを出力させる放電タイミング調整
装置において、 前記各レーザ出力装置の各放電パルスを受けてこれら放
電パルスをほぼ同一タイミングに調整して送出する放電
パルス調整手段と、 この放電パルス調整手段によりタイミング調整された各
放電パルスを受けて前記各レーザ出力装置の放電時刻を
測定する放電時刻測定手段と、 この放電時刻測定手段により測定された各放電時刻に応
じて前記各レーザ出力装置に放電タイミング信号を送出
する放電タイミング手段と、 を具備したことを特徴とする放電タイミング調整装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12115693A JP3253751B2 (ja) | 1993-05-24 | 1993-05-24 | 放電タイミング調整装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12115693A JP3253751B2 (ja) | 1993-05-24 | 1993-05-24 | 放電タイミング調整装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06334276A true JPH06334276A (ja) | 1994-12-02 |
| JP3253751B2 JP3253751B2 (ja) | 2002-02-04 |
Family
ID=14804243
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12115693A Expired - Lifetime JP3253751B2 (ja) | 1993-05-24 | 1993-05-24 | 放電タイミング調整装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3253751B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012204820A (ja) * | 2011-03-28 | 2012-10-22 | Gigaphoton Inc | レーザシステムおよびレーザ生成方法 |
| WO2018092281A1 (ja) * | 2016-11-18 | 2018-05-24 | ギガフォトン株式会社 | レーザ装置および極端紫外光生成装置 |
-
1993
- 1993-05-24 JP JP12115693A patent/JP3253751B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012204820A (ja) * | 2011-03-28 | 2012-10-22 | Gigaphoton Inc | レーザシステムおよびレーザ生成方法 |
| US9184555B2 (en) | 2011-03-28 | 2015-11-10 | Gigaphoton Inc. | Laser system and laser light generation method |
| WO2018092281A1 (ja) * | 2016-11-18 | 2018-05-24 | ギガフォトン株式会社 | レーザ装置および極端紫外光生成装置 |
| US10481422B2 (en) | 2016-11-18 | 2019-11-19 | Gigaphoton Inc. | Laser device and extreme ultraviolet light generation device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3253751B2 (ja) | 2002-02-04 |
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