JPH06340433A - 光学素子の成形方法 - Google Patents
光学素子の成形方法Info
- Publication number
- JPH06340433A JPH06340433A JP12929293A JP12929293A JPH06340433A JP H06340433 A JPH06340433 A JP H06340433A JP 12929293 A JP12929293 A JP 12929293A JP 12929293 A JP12929293 A JP 12929293A JP H06340433 A JPH06340433 A JP H06340433A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- preform
- molding
- mold
- optical element
- convex
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B11/00—Pressing molten glass or performed glass reheated to equivalent low viscosity without blowing
- C03B11/06—Construction of plunger or mould
- C03B11/08—Construction of plunger or mould for making solid articles, e.g. lenses
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B11/00—Pressing molten glass or performed glass reheated to equivalent low viscosity without blowing
- C03B11/005—Pressing under special atmospheres, e.g. inert, reactive, vacuum, clean
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2215/00—Press-moulding glass
- C03B2215/40—Product characteristics
- C03B2215/46—Lenses, e.g. bi-convex
- C03B2215/48—Convex-concave
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2215/00—Press-moulding glass
- C03B2215/66—Means for providing special atmospheres, e.g. reduced pressure, inert gas, reducing gas, clean room
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2215/00—Press-moulding glass
- C03B2215/72—Barrel presses or equivalent, e.g. of the ring mould type
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 成形品に窪みなどの欠陥を発生せず、押圧し
なくても良好な成形品を得ることのできる光学素子の成
形方法を提供すること。 【構成】 光学素子材料のプリフォーム6を加熱軟化さ
せて下型4と上型5の間で成形する光学素子の成形方法
において、凸型で成形される凹形状のプリフォーム面の
R(ただし、Rは曲率半径を表す)を、凸型R>プリフ
ォームRとし、凹型で成形される凸形状のプリフォーム
面のRを、凹型R<プリフォームRとし、下型4と胴型
3の組み立て、プリフォーム6のセット及び上型5のセ
ットを真空室9中で行うことを特徴とする光学素子の成
形方法である。
なくても良好な成形品を得ることのできる光学素子の成
形方法を提供すること。 【構成】 光学素子材料のプリフォーム6を加熱軟化さ
せて下型4と上型5の間で成形する光学素子の成形方法
において、凸型で成形される凹形状のプリフォーム面の
R(ただし、Rは曲率半径を表す)を、凸型R>プリフ
ォームRとし、凹型で成形される凸形状のプリフォーム
面のRを、凹型R<プリフォームRとし、下型4と胴型
3の組み立て、プリフォーム6のセット及び上型5のセ
ットを真空室9中で行うことを特徴とする光学素子の成
形方法である。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、上型と下型から成る一
対の成形型の間で光学素子材料を加熱軟化させ、成形す
ることからなる光学素子の成形方法に関する。
対の成形型の間で光学素子材料を加熱軟化させ、成形す
ることからなる光学素子の成形方法に関する。
【0002】
【従来技術及びその問題点】従来のガラスモールド法で
は、成形型とプリフォームの間で囲まれてしまう空間が
あると、成形型で押圧成形しても、その空間中の気体は
外へ漏れず、成形品に窪みを生じさせてしまった。そこ
で、凸型成形面に対面するプリフォーム面は凸又は平面
又は型の成形面の曲率半径(以下、Rと記す)より大き
いRを持つ凹面である必要があり、また、凹型に対して
は型Rより小さいRを持つ凸面である必要があり、プリ
フォーム形状に大きな制限を与えてしまい、光学素子の
体積を考えたときに、特に小さなRを持つ凹面型などの
場合に光学素子を設計できないこともあった。
は、成形型とプリフォームの間で囲まれてしまう空間が
あると、成形型で押圧成形しても、その空間中の気体は
外へ漏れず、成形品に窪みを生じさせてしまった。そこ
で、凸型成形面に対面するプリフォーム面は凸又は平面
又は型の成形面の曲率半径(以下、Rと記す)より大き
いRを持つ凹面である必要があり、また、凹型に対して
は型Rより小さいRを持つ凸面である必要があり、プリ
フォーム形状に大きな制限を与えてしまい、光学素子の
体積を考えたときに、特に小さなRを持つ凹面型などの
場合に光学素子を設計できないこともあった。
【0003】
【発明の目的】本発明は、前記従来技術の問題点を解消
し、成形品に窪みなどの欠陥を発生せず、押圧しなくて
も良好な成形品を得ることのできる光学素子の成形方法
を提供することを目的とする。
し、成形品に窪みなどの欠陥を発生せず、押圧しなくて
も良好な成形品を得ることのできる光学素子の成形方法
を提供することを目的とする。
【0004】
【発明の概要】本発明者らは、凸型で成形される凹形状
のプリフォーム面のRが、凸型R>プリフォームR、あ
るいは、凹型で成形される凸形状のプリフォーム面のR
が、凹型R<プリフォームRである場合でも、成形部材
及びプリフォームのセットを真空中で行えば、成形品に
おける窪みの発生を有効に防止できることを見出した。
本発明は、このような知見に基づいて完成したものであ
る。
のプリフォーム面のRが、凸型R>プリフォームR、あ
るいは、凹型で成形される凸形状のプリフォーム面のR
が、凹型R<プリフォームRである場合でも、成形部材
及びプリフォームのセットを真空中で行えば、成形品に
おける窪みの発生を有効に防止できることを見出した。
本発明は、このような知見に基づいて完成したものであ
る。
【0005】すなわち、本発明による光学素子の成形方
法は、光学素子材料のプリフォームを加熱軟化させて一
対の成形型の間で成形する光学素子の成形方法におい
て、凸型で成形される凹形状のプリフォーム面のRを、
凸型R>プリフォームRとし、凹型で成形される凸形状
のプリフォーム面のRを、凹型R<プリフォームRと
し、成形部材及びプリフォームのセットを真空中で行う
ことを特徴とする。
法は、光学素子材料のプリフォームを加熱軟化させて一
対の成形型の間で成形する光学素子の成形方法におい
て、凸型で成形される凹形状のプリフォーム面のRを、
凸型R>プリフォームRとし、凹型で成形される凸形状
のプリフォーム面のRを、凹型R<プリフォームRと
し、成形部材及びプリフォームのセットを真空中で行う
ことを特徴とする。
【0006】本発明の方法においては、前記のように凸
型で成形される凹形状のプリフォーム面のRが、凸型R
>プリフォームR、凹型で成形される凸形状のプリフォ
ーム面のRが、凹型R<プリフォームRとなるように、
プリフォームを作製し、成形型とプリフォーム面との間
に密閉空間を生じさせる。
型で成形される凹形状のプリフォーム面のRが、凸型R
>プリフォームR、凹型で成形される凸形状のプリフォ
ーム面のRが、凹型R<プリフォームRとなるように、
プリフォームを作製し、成形型とプリフォーム面との間
に密閉空間を生じさせる。
【0007】本発明の方法を実施するには、まず、胴型
と下型を組んだ下型の上に上記のようなプリフォームを
載せ、その上に上型を設置することから成る成形部材と
プリフォームのセットを真空中で行う。この真空は、一
般に、1×10-1Torr以下の圧力とするのが好ましい。
1×10-1Torrより高い圧力では、光学素子材料が成形
型表面に引っ張られる力が弱く、型形状が精密に転写さ
れない。その際、成形型表面とプリフォーム面で形成さ
れた密閉空間内の真空が漏れないように、上・下型間に
わずかな圧力(プリフォームを破損させない圧力)をか
けて締めつけた状態にするのが好ましい。
と下型を組んだ下型の上に上記のようなプリフォームを
載せ、その上に上型を設置することから成る成形部材と
プリフォームのセットを真空中で行う。この真空は、一
般に、1×10-1Torr以下の圧力とするのが好ましい。
1×10-1Torrより高い圧力では、光学素子材料が成形
型表面に引っ張られる力が弱く、型形状が精密に転写さ
れない。その際、成形型表面とプリフォーム面で形成さ
れた密閉空間内の真空が漏れないように、上・下型間に
わずかな圧力(プリフォームを破損させない圧力)をか
けて締めつけた状態にするのが好ましい。
【0008】次いで、プリフォームの加熱工程を行う
が、このとき上・下型間の締めつけをそのままの状態と
し、成形部材及びプリフォームのセット時の真空圧より
高い圧力で成形部材を加熱するのが好ましい。すなわ
ち、プリフォームをセットした成形部材ブロックを、密
閉空間内の圧力よりも高い圧力下に加熱するのが好まし
い。この状態で加熱すると、光学素子材料が軟化したと
きに、低圧域をなくすように光学素子材料が成形型表面
に引っ張られる力が働くため、押圧しなくてもそのまま
で成形が行われ、これを冷却後取り出すだけで成形品を
得ることができる。これにより大がかりな押圧機も不用
となる。もちろん、押圧成形を行うこともできる。
が、このとき上・下型間の締めつけをそのままの状態と
し、成形部材及びプリフォームのセット時の真空圧より
高い圧力で成形部材を加熱するのが好ましい。すなわ
ち、プリフォームをセットした成形部材ブロックを、密
閉空間内の圧力よりも高い圧力下に加熱するのが好まし
い。この状態で加熱すると、光学素子材料が軟化したと
きに、低圧域をなくすように光学素子材料が成形型表面
に引っ張られる力が働くため、押圧しなくてもそのまま
で成形が行われ、これを冷却後取り出すだけで成形品を
得ることができる。これにより大がかりな押圧機も不用
となる。もちろん、押圧成形を行うこともできる。
【0009】
【実施例】次に、図面を参照して本発明を実施例に基づ
いてさらに詳細に説明するが、本発明はこれによって制
限されるものではない。
いてさらに詳細に説明するが、本発明はこれによって制
限されるものではない。
【0010】図1は、プリフォームをセットした状態で
示す成形部材の断面図である。この型は、母材1である
超硬合金WCを超精密旋盤で所望の非球面に削ったの
ち、ダイヤモンドペースト研磨材を用いて表面粗さR
max =0.02μm以下になるよう研磨し、この母材表
面に耐酸化性及び耐濡れ性を目的として厚さ1μmの白
金膜2を形成させて作製したものである。この実施例で
は、下型としては、近似R12.0mmの非球面、上型
としてはR70mmの球面を用い、プリフォームとして
は、下型側が凸形状でR30mm、上型側が凹形状でR
30mmのレンズ状プリフォームを用いた。そのため、
上型とプリフォーム6との間に密閉空間11が生じ、下
型とプリフォーム6との間に密閉空間12が生じた。な
お、プリフォームの材料は、オハラ社製のF2ガラスで
ある。
示す成形部材の断面図である。この型は、母材1である
超硬合金WCを超精密旋盤で所望の非球面に削ったの
ち、ダイヤモンドペースト研磨材を用いて表面粗さR
max =0.02μm以下になるよう研磨し、この母材表
面に耐酸化性及び耐濡れ性を目的として厚さ1μmの白
金膜2を形成させて作製したものである。この実施例で
は、下型としては、近似R12.0mmの非球面、上型
としてはR70mmの球面を用い、プリフォームとして
は、下型側が凸形状でR30mm、上型側が凹形状でR
30mmのレンズ状プリフォームを用いた。そのため、
上型とプリフォーム6との間に密閉空間11が生じ、下
型とプリフォーム6との間に密閉空間12が生じた。な
お、プリフォームの材料は、オハラ社製のF2ガラスで
ある。
【0011】図2は、本発明における成形部材及びプリ
フォームのセット方法を示す工程図である。このセット
工程は、図2に示した真空室9内で左から矢印の方向に
進行する。真空室9内は、真空ポンプ10によって3×
10-3Torrの圧力にした。まず、胴型3と下型4を組ん
だ後、プリフォームホールド部材7で下型4上にプリフ
ォーム6をセットし、次いで、上型ホールド部材8で上
型5を胴型3内に挿入し、プリフォーム6に触れるまで
下降し、セットした。
フォームのセット方法を示す工程図である。このセット
工程は、図2に示した真空室9内で左から矢印の方向に
進行する。真空室9内は、真空ポンプ10によって3×
10-3Torrの圧力にした。まず、胴型3と下型4を組ん
だ後、プリフォームホールド部材7で下型4上にプリフ
ォーム6をセットし、次いで、上型ホールド部材8で上
型5を胴型3内に挿入し、プリフォーム6に触れるまで
下降し、セットした。
【0012】こうして上型、下型、胴型及びプリフォー
ムをセットしたとき、成形型の成形面とプリフォームの
表面との間に形成された密閉空間内の真空(減圧)が漏
れないように、上型と下型の間に僅かな締めつけ圧力を
かけるのが好ましい。この実施例では、上型と下型の間
に約10kgf/cm2 の圧力をかけた。この作業も真空
室9内で行った。
ムをセットしたとき、成形型の成形面とプリフォームの
表面との間に形成された密閉空間内の真空(減圧)が漏
れないように、上型と下型の間に僅かな締めつけ圧力を
かけるのが好ましい。この実施例では、上型と下型の間
に約10kgf/cm2 の圧力をかけた。この作業も真空
室9内で行った。
【0013】図3は、締めつけ部材により上下型を締め
つけた状態で上型、下型及び胴型からなる成形部材内に
プリフォームが保持されている成形部材ブロック13の
断面図である。使用した締めつけ部材は、上及び下の台
座14に支柱を設置したもので、その支柱は、スプリン
グ15の介在により分割され、スプリング15によって
引っ張られている。スプリングと支柱は、回転可能にな
っており、上部支柱と上部台座に設けたネジ部16によ
り上部支柱を上下させ、上型と下型との間の締めつけ力
を調節可能とした。なお、図3に示した締めつけ部材の
代わりに上型上に錘を設置してもよい。
つけた状態で上型、下型及び胴型からなる成形部材内に
プリフォームが保持されている成形部材ブロック13の
断面図である。使用した締めつけ部材は、上及び下の台
座14に支柱を設置したもので、その支柱は、スプリン
グ15の介在により分割され、スプリング15によって
引っ張られている。スプリングと支柱は、回転可能にな
っており、上部支柱と上部台座に設けたネジ部16によ
り上部支柱を上下させ、上型と下型との間の締めつけ力
を調節可能とした。なお、図3に示した締めつけ部材の
代わりに上型上に錘を設置してもよい。
【0014】次に、図4に示した加熱及び冷却工程(成
形工程)に移る。上記のように組み立てた成形部材ブロ
ック13を真空室9から取り出し、窒素ガス導入口17
から窒素ガスが導入された雰囲気密閉室18内に送り、
ヒータ19でプリフォーム材料の屈伏点より100℃近
く高い570℃まで加熱した。加熱時に、成形部材ブロ
ックを押圧してもよいが、該ブロック内の密閉空間とそ
の周囲の圧力差により低圧域をなくすように、光学素子
材料が成形型表面に引っ張られる力が働くため、押圧せ
ずにそのままで成形が行われる。その後、冷却ステージ
に送り冷却機構20によりガラス転移点以下である38
0℃まで冷却した。
形工程)に移る。上記のように組み立てた成形部材ブロ
ック13を真空室9から取り出し、窒素ガス導入口17
から窒素ガスが導入された雰囲気密閉室18内に送り、
ヒータ19でプリフォーム材料の屈伏点より100℃近
く高い570℃まで加熱した。加熱時に、成形部材ブロ
ックを押圧してもよいが、該ブロック内の密閉空間とそ
の周囲の圧力差により低圧域をなくすように、光学素子
材料が成形型表面に引っ張られる力が働くため、押圧せ
ずにそのままで成形が行われる。その後、冷却ステージ
に送り冷却機構20によりガラス転移点以下である38
0℃まで冷却した。
【0015】次いで、雰囲気密閉室18から取り出し、
締めつけ部材を取り外した後の成形部材の断面図を図5
に示す。型とプリフォームとの密閉空間と周囲の圧力差
により両者が密接し、成形されていた。取り出した成形
品レンズ21は、図6に示したように、型形状が精密に
転写され、窪みのない、きれいな非球面レンズであっ
た。
締めつけ部材を取り外した後の成形部材の断面図を図5
に示す。型とプリフォームとの密閉空間と周囲の圧力差
により両者が密接し、成形されていた。取り出した成形
品レンズ21は、図6に示したように、型形状が精密に
転写され、窪みのない、きれいな非球面レンズであっ
た。
【0016】
【発明の効果】本発明の方法によれば、従来使用できな
かった凸型で成形される凹形状のプリフォーム面のR
が、凸型R>プリフォームRであるか、又は凹型で成形
される凸形状のプリフォーム面のRが、凹型R<プリフ
ォームRである組合せを用いて、型形状が精密に転写さ
れ、窪み欠陥のない、きれいな光学素子を容易に得るこ
とができる。また、成形時に、押圧工程を省くことがで
きるため、大がかりな押圧機が不用となり、設備費が著
しく節減される。
かった凸型で成形される凹形状のプリフォーム面のR
が、凸型R>プリフォームRであるか、又は凹型で成形
される凸形状のプリフォーム面のRが、凹型R<プリフ
ォームRである組合せを用いて、型形状が精密に転写さ
れ、窪み欠陥のない、きれいな光学素子を容易に得るこ
とができる。また、成形時に、押圧工程を省くことがで
きるため、大がかりな押圧機が不用となり、設備費が著
しく節減される。
【図1】本発明の実施例においてプリフォームをセット
した状態で示す成形部材の断面図である。
した状態で示す成形部材の断面図である。
【図2】本発明の実施例における成形部材及びプリフォ
ームのセット方法を示す工程図である。
ームのセット方法を示す工程図である。
【図3】本発明の実施例における成形部材ブロックの断
面図である。
面図である。
【図4】本発明の実施例における成形工程を示す説明図
である。
である。
【図5】本発明の実施例における成形後の成形部材の断
面図である。
面図である。
【図6】本発明の実施例で成形されたレンズの断面図で
ある。
ある。
1 母材 2 白金膜 3 胴型 4 下型 5 上型 6 プリフォーム 7 プリフォームホールド部材 8 上型ホールド部材 9 真空室 10 真空ポンプ 11 密閉空間 12 密閉空間 13 成形部材ブロック 15 スプリング 16 ネジ部 18 雰囲気密閉室 19 ヒータ 20 冷却機構 21 成形品レンズ
Claims (4)
- 【請求項1】 光学素子材料のプリフォームを加熱軟化
させて一対の成形型の間で成形する光学素子の成形方法
において、凸型で成形される凹形状のプリフォーム面の
R(ただし、Rは曲率半径を表す)を、凸型R>プリフ
ォームRとし、凹型で成形される凸形状のプリフォーム
面のRを、凹型R<プリフォームRとし、成形部材及び
プリフォームのセットを真空中で行うことを特徴とする
光学素子の成形方法。 - 【請求項2】 真空を1×10-1Torr以下の圧力とする
請求項1記載の光学素子の成形方法。 - 【請求項3】 上型と下型との間を締めつけて、成形型
とプリフォームとの間に出来た密閉空間の真空を保持す
る請求項1又は2記載の光学素子の成形方法。 - 【請求項4】 上・下型間の締めつけをそのままの状態
とし、成形部材及びプリフォームのセット時の真空圧よ
り高い圧力で成形部材を加熱する請求項1、2又は3記
載の光学素子の成形方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12929293A JP3481968B2 (ja) | 1993-05-31 | 1993-05-31 | 光学素子の成形方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12929293A JP3481968B2 (ja) | 1993-05-31 | 1993-05-31 | 光学素子の成形方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06340433A true JPH06340433A (ja) | 1994-12-13 |
| JP3481968B2 JP3481968B2 (ja) | 2003-12-22 |
Family
ID=15005971
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12929293A Expired - Fee Related JP3481968B2 (ja) | 1993-05-31 | 1993-05-31 | 光学素子の成形方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3481968B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009280448A (ja) * | 2008-05-23 | 2009-12-03 | Olympus Corp | 光学素子の製造方法及びその製造装置 |
| US9388063B2 (en) | 2008-10-24 | 2016-07-12 | Naoyuki Fukumoto | Methods for manufacturing molded glass object and upper mold |
-
1993
- 1993-05-31 JP JP12929293A patent/JP3481968B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009280448A (ja) * | 2008-05-23 | 2009-12-03 | Olympus Corp | 光学素子の製造方法及びその製造装置 |
| US9388063B2 (en) | 2008-10-24 | 2016-07-12 | Naoyuki Fukumoto | Methods for manufacturing molded glass object and upper mold |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3481968B2 (ja) | 2003-12-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5623368A (en) | Process and apparatus for manufacturing networks of optical microlenses | |
| US6629435B2 (en) | Method of forming an optical glass element | |
| JPS6067118A (ja) | 光学素子の製造方法 | |
| JP3481968B2 (ja) | 光学素子の成形方法 | |
| CN1178199A (zh) | 光学元件的成型方法 | |
| JPH0250059B2 (ja) | ||
| JP2002029763A (ja) | ガラス光学素子の製造方法及びそれに用いるガラス光学素子用成形型 | |
| JP2621956B2 (ja) | 光学素子の成形方法 | |
| JP2934937B2 (ja) | ガラス光学素子の成形方法及びこの方法に用いられるプレス装置 | |
| KR100204927B1 (ko) | 광학유리의 성형장치 및 그 방법 | |
| JP2001010831A (ja) | ガラス光学素子用成形型及び該成形型を用いたガラス光学素子の製造方法 | |
| JPS63295448A (ja) | ガラスレンズの成形方法 | |
| JP2003063832A (ja) | 光学素子成形用型 | |
| JPH0692654A (ja) | ガラスレンズの成形方法 | |
| JPH0741327A (ja) | 光学素子成形方法 | |
| JP3879143B2 (ja) | レンズ素材の製造方法と成形レンズの製造方法およびレンズ素材の製造装置 | |
| JPH06345464A (ja) | 光学素子成形型およびその製造方法および光学素子成形方法 | |
| JP3153827B2 (ja) | 光学素子成形用型 | |
| JPH05319839A (ja) | 光学素子成形用型 | |
| JP2009096648A (ja) | レンズアレイの製造方法 | |
| JPH02196039A (ja) | ガラス光学素子の成形方法 | |
| JP2650975B2 (ja) | ガラス光学素子の成形方法 | |
| JPH0812352A (ja) | 光学素子の成形方法 | |
| JPS63319218A (ja) | 光学素子製造方法 | |
| JPS61261225A (ja) | 光学素子製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |