JPH06340679A - 窒化チタンの金属有機前駆物質 - Google Patents
窒化チタンの金属有機前駆物質Info
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- JPH06340679A JPH06340679A JP5132098A JP13209893A JPH06340679A JP H06340679 A JPH06340679 A JP H06340679A JP 5132098 A JP5132098 A JP 5132098A JP 13209893 A JP13209893 A JP 13209893A JP H06340679 A JPH06340679 A JP H06340679A
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Landscapes
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 基体上に窒化チタンの被覆を形成するための
化学蒸着法、又はバルク窒化チタンを製造する熱分解法
で用いることができる金属有機前駆物質及びその製造方
法。 【構成】 式：［Ｃl2ＴｉＮＲ］2 （式中、Ｒは１〜約
１２個の炭素原子を有する一価のアルキル又はアリール
基である）により表わされる金属有機前駆物質。基体の
表面に窒化チタンの被覆を付着させる方法において、
式：［Ｃl2ＴｉＮＲ］2 （式中、Ｒは１〜約１２個の炭
素原子を有する一価のアルキル又はアリール基である）
の金属有機前駆物質を加熱してガス状前駆物質を形成
し、そして前記ガス状前駆物質を、基体表面上に窒化チ
タンの被覆を付着させるのに充分な温度の基体表面へ送
る、諸工程からなる窒化チタン被覆付着方法。
化学蒸着法、又はバルク窒化チタンを製造する熱分解法
で用いることができる金属有機前駆物質及びその製造方
法。 【構成】 式：［Ｃl2ＴｉＮＲ］2 （式中、Ｒは１〜約
１２個の炭素原子を有する一価のアルキル又はアリール
基である）により表わされる金属有機前駆物質。基体の
表面に窒化チタンの被覆を付着させる方法において、
式：［Ｃl2ＴｉＮＲ］2 （式中、Ｒは１〜約１２個の炭
素原子を有する一価のアルキル又はアリール基である）
の金属有機前駆物質を加熱してガス状前駆物質を形成
し、そして前記ガス状前駆物質を、基体表面上に窒化チ
タンの被覆を付着させるのに充分な温度の基体表面へ送
る、諸工程からなる窒化チタン被覆付着方法。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、一般に窒化物チタンの
金属有機前駆物質に関する。詳しくは、本発明は、窒化
チタンのための化学蒸着及び熱分解に有用な新規な金属
有機前駆物質及びそれらの製造方法に関する。本発明
は、また化学蒸着及び熱分解によって窒化チタンを製造
するための新規な方法にも関する。
金属有機前駆物質に関する。詳しくは、本発明は、窒化
チタンのための化学蒸着及び熱分解に有用な新規な金属
有機前駆物質及びそれらの製造方法に関する。本発明
は、また化学蒸着及び熱分解によって窒化チタンを製造
するための新規な方法にも関する。
【０００２】
【従来の技術】最近、窒化チタン、窒化バナジウム、炭
化珪素、窒化珪素等の如き高級材料を製造するのに金属
有機前駆物質が用いられてきた。これらの高級材料は、
例えば、大気圧化学蒸着（ＡＰＣＶＤ）、低圧化学蒸着
（ＬＰＣＶＤ）、プラズマ促進化学蒸着（ＰＥＣＶ
Ｄ）、レーザー誘導化学蒸着（ＬＣＶＤ）等の如きよく
知られた被覆方法により透明な嵌込み窓ガラス（ｇｌａ
ｚｉｎｇ）、例えばガラス、及び他の基体上に付着され
てきた。これらの高級材料が被覆された嵌込み窓ガラス
は、特に太陽及び赤外線輻射線の透過率を減少させる必
要がある自動車及び建築用途で特に有用である。
化珪素、窒化珪素等の如き高級材料を製造するのに金属
有機前駆物質が用いられてきた。これらの高級材料は、
例えば、大気圧化学蒸着（ＡＰＣＶＤ）、低圧化学蒸着
（ＬＰＣＶＤ）、プラズマ促進化学蒸着（ＰＥＣＶ
Ｄ）、レーザー誘導化学蒸着（ＬＣＶＤ）等の如きよく
知られた被覆方法により透明な嵌込み窓ガラス（ｇｌａ
ｚｉｎｇ）、例えばガラス、及び他の基体上に付着され
てきた。これらの高級材料が被覆された嵌込み窓ガラス
は、特に太陽及び赤外線輻射線の透過率を減少させる必
要がある自動車及び建築用途で特に有用である。
【０００３】窒化チタンは、例えば、高い融点（２，９
５０℃）、大きな硬度〔モース硬度で８〜９〕、優れた
強度、大きな電気伝導度、優れた太陽光及び赤外線反射
性、種々の腐食性雰囲気に対する非反応性の如き幾つか
の望ましい性質を有する特に有用な高級材料である。更
に、それは王水を除き、酸によって実質的な影響を受け
ないが、アルカリ化合物はその分解を起こすことがあ
る。
５０℃）、大きな硬度〔モース硬度で８〜９〕、優れた
強度、大きな電気伝導度、優れた太陽光及び赤外線反射
性、種々の腐食性雰囲気に対する非反応性の如き幾つか
の望ましい性質を有する特に有用な高級材料である。更
に、それは王水を除き、酸によって実質的な影響を受け
ないが、アルカリ化合物はその分解を起こすことがあ
る。
【０００４】窒化チタンを製造する従来の方法は、例え
ば、四塩化チタンの如きチタン源と、例えばアンモニア
の如き窒素源との高温反応を含む。そのような方法は、
ゴルドン（Ｇｏｒｄｏｎ）による米国特許第４，５３
５，０００号に記載されている。この化学蒸着法は、よ
く知られたフロート法ガラス製造方法により製造されつ
つあるガラス帯上に窒化チタンの膜を形成するのに用い
られてきた。
ば、四塩化チタンの如きチタン源と、例えばアンモニア
の如き窒素源との高温反応を含む。そのような方法は、
ゴルドン（Ｇｏｒｄｏｎ）による米国特許第４，５３
５，０００号に記載されている。この化学蒸着法は、よ
く知られたフロート法ガラス製造方法により製造されつ
つあるガラス帯上に窒化チタンの膜を形成するのに用い
られてきた。
【０００５】アンモニアとチタン ジアルキルアミドと
を反応させることにより形成された重合体前駆物質の熱
分解により窒化チタンを製造することは知られている。
ブラウン（Ｂｒｏｗｎ）Ｇ．Ｍ．及びマヤ（Ｍａｙａ）
Ｌ．による「金属窒化物前駆物質としてのチタン、ジル
コニウム及びニオブのジアルキルアミドのアンモニア分
解生成物」(Ammonolysis Products of the Dialkylamid
es of Titanium, Zirconium, and Niobium as Precurso
rs to Metal Nitrides), Journal of the American Cer
amic Society, Vo. 71 (1988) pp. 78-82 参照。特に、
例えばテトラキス（ジメチルアミド）チタンの如きチタ
ン ジアルキルアミドを液体無水アンモニアと反応させ
て、一般式Ｔｉ3(ＮＸ2)（ＮＨ2)2 Ｎ3 （式中、Ｘはア
ルキル基である）を有するイミド又はニトリド架橋重合
体前駆物質を形成する。然る後、その前駆物質をアンモ
ニア雰囲気中で熱分解して窒化チタンを製造する。熱分
解工程の最初の段階中に、ＮＨＸ2 及びＮＨ3 が遊離
し、ほぼＴｉ3 Ｎ4 の組成を有する化合物を形成する。
約７００℃〜８００℃の温度で更に窒素が遊離し、それ
によって部分的な結晶質窒化チタンが形成される。
を反応させることにより形成された重合体前駆物質の熱
分解により窒化チタンを製造することは知られている。
ブラウン（Ｂｒｏｗｎ）Ｇ．Ｍ．及びマヤ（Ｍａｙａ）
Ｌ．による「金属窒化物前駆物質としてのチタン、ジル
コニウム及びニオブのジアルキルアミドのアンモニア分
解生成物」(Ammonolysis Products of the Dialkylamid
es of Titanium, Zirconium, and Niobium as Precurso
rs to Metal Nitrides), Journal of the American Cer
amic Society, Vo. 71 (1988) pp. 78-82 参照。特に、
例えばテトラキス（ジメチルアミド）チタンの如きチタ
ン ジアルキルアミドを液体無水アンモニアと反応させ
て、一般式Ｔｉ3(ＮＸ2)（ＮＨ2)2 Ｎ3 （式中、Ｘはア
ルキル基である）を有するイミド又はニトリド架橋重合
体前駆物質を形成する。然る後、その前駆物質をアンモ
ニア雰囲気中で熱分解して窒化チタンを製造する。熱分
解工程の最初の段階中に、ＮＨＸ2 及びＮＨ3 が遊離
し、ほぼＴｉ3 Ｎ4 の組成を有する化合物を形成する。
約７００℃〜８００℃の温度で更に窒素が遊離し、それ
によって部分的な結晶質窒化チタンが形成される。
【０００６】また、テトラキス（ジメチルアミド）チタ
ンと、液体アンモニア又は第一アミンと反応させること
により形成された重合体前駆物質の熱分解により窒化チ
タンを製造することも知られている。セイファース（Ｓ
ｅｙｆｅｒｔｈ）Ｄ．及びミガナニ（Ｍｉｇａｎａｎ
ｉ）Ｇ．「プレセラミック重合体経路による窒化チタン
及び炭窒化チタンの製造」(The Preparation of Titani
um Nitride and Titanium Carbonitride by the Precer
amic Polymer Route), Gov. Rep. Announce. Index (U
S) Vol. 88 (1988) 827, 109.参照。この刊行物には、
テトラキス（ジメチルアミド）チタンがｎ−ブチルアミ
ンの如き第一アミンと反応して重合体前駆物質を形成
し、それをアンモニア流中で熱分解すると、かなり純粋
な窒化チタンを与えることが記載されている。熱分解は
約１，０００℃の温度で行われる。
ンと、液体アンモニア又は第一アミンと反応させること
により形成された重合体前駆物質の熱分解により窒化チ
タンを製造することも知られている。セイファース（Ｓ
ｅｙｆｅｒｔｈ）Ｄ．及びミガナニ（Ｍｉｇａｎａｎ
ｉ）Ｇ．「プレセラミック重合体経路による窒化チタン
及び炭窒化チタンの製造」(The Preparation of Titani
um Nitride and Titanium Carbonitride by the Precer
amic Polymer Route), Gov. Rep. Announce. Index (U
S) Vol. 88 (1988) 827, 109.参照。この刊行物には、
テトラキス（ジメチルアミド）チタンがｎ−ブチルアミ
ンの如き第一アミンと反応して重合体前駆物質を形成
し、それをアンモニア流中で熱分解すると、かなり純粋
な窒化チタンを与えることが記載されている。熱分解は
約１，０００℃の温度で行われる。
【０００７】コウデル（Ｃｏｗｄｅｌｌ）Ｒ．Ｔ．及び
ホウレス（Ｆｏｗｅｌｓ）Ｇ．Ｗ．「遷移金属のアミン
化合物。第VI部．塩化チタン（IV）と或る脂肪族アミン
との反応」（Amine Compounds of the Transition Meta
ls. Part VI. The Reactionof Titanium(IV) Cloride w
ith Some Aliphatic Amines), Journal of the Chemica
l Society (1960) 2522-2566 には、四塩化チタンと幾
つかの第一アミンとの反応が記載されている。この文献
には、アミノ塩基性塩化チタン、ＴｉＣｌ2(ＮＨＲ)2及
びそれらの対応するアルキルアミン錯体、ＴｉＣｌ2(Ｎ
ＨＲ)2．２ＮＨＲが形成されることが記載されている。
しかし、この文献はそのような化合物を用いて窒化チタ
ンを形成することができることについては示唆していな
い。
ホウレス（Ｆｏｗｅｌｓ）Ｇ．Ｗ．「遷移金属のアミン
化合物。第VI部．塩化チタン（IV）と或る脂肪族アミン
との反応」（Amine Compounds of the Transition Meta
ls. Part VI. The Reactionof Titanium(IV) Cloride w
ith Some Aliphatic Amines), Journal of the Chemica
l Society (1960) 2522-2566 には、四塩化チタンと幾
つかの第一アミンとの反応が記載されている。この文献
には、アミノ塩基性塩化チタン、ＴｉＣｌ2(ＮＨＲ)2及
びそれらの対応するアルキルアミン錯体、ＴｉＣｌ2(Ｎ
ＨＲ)2．２ＮＨＲが形成されることが記載されている。
しかし、この文献はそのような化合物を用いて窒化チタ
ンを形成することができることについては示唆していな
い。
【０００８】最後に、最近公告された米国特許出願Ｓｅ
ｒｉａｌ Ｎｏ．０７／６２５，１８０には、四ハロゲ
ン化チタンを少なくとも一種類のジシラザンと反応させ
て窒素含有金属有機前駆物質を形成し、然る後、それを
熱分解してバルク（ｂｕｌｋ）窒化チタンを形成するこ
とができることが記載されている。
ｒｉａｌ Ｎｏ．０７／６２５，１８０には、四ハロゲ
ン化チタンを少なくとも一種類のジシラザンと反応させ
て窒素含有金属有機前駆物質を形成し、然る後、それを
熱分解してバルク（ｂｕｌｋ）窒化チタンを形成するこ
とができることが記載されている。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】基体上に窒化チタンの
被覆を形成するための化学蒸着法、又はバルク窒化チタ
ンを製造するための熱分解法で単一源の前駆物質として
用いることができる、窒化チタンのための有機金属前駆
物質を製造できることが望ましいであろう。
被覆を形成するための化学蒸着法、又はバルク窒化チタ
ンを製造するための熱分解法で単一源の前駆物質として
用いることができる、窒化チタンのための有機金属前駆
物質を製造できることが望ましいであろう。
【００１０】上で述べた従来法は、本発明を指針として
収集し、調べたものに過ぎないことに注意しなければな
らない。そのような雑多な従来技術は、本発明によって
与えられる目的意識がなければ集めることはできず、そ
れら引用した従来技術を組合せて考慮しても本発明の教
示がなければ本発明を示唆するものと言うことはできな
い。
収集し、調べたものに過ぎないことに注意しなければな
らない。そのような雑多な従来技術は、本発明によって
与えられる目的意識がなければ集めることはできず、そ
れら引用した従来技術を組合せて考慮しても本発明の教
示がなければ本発明を示唆するものと言うことはできな
い。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明により、窒化チタ
ンのための新規な金属有機前駆物質が驚いたことに発見
された。二量体イミド錯体（ｃｏｍｐｌｅｘ）として特
徴付けられるその金属有機前駆物質は、一般に式： ［Ｃl2ＴｉＮＲ］2 （式中、Ｒは１〜約１２個の炭素原子を有する一価アル
キル又はアリール基である）の化合物である。更に、本
発明は、新規な金属有機前駆物質を製造する方法も含
む。
ンのための新規な金属有機前駆物質が驚いたことに発見
された。二量体イミド錯体（ｃｏｍｐｌｅｘ）として特
徴付けられるその金属有機前駆物質は、一般に式： ［Ｃl2ＴｉＮＲ］2 （式中、Ｒは１〜約１２個の炭素原子を有する一価アル
キル又はアリール基である）の化合物である。更に、本
発明は、新規な金属有機前駆物質を製造する方法も含
む。
【００１２】化学蒸着によって基体の表面に窒化チタン
を適用する方法も目的とする。本発明の方法の一つの態
様では、出発材料として新規な金属有機前駆物質を用い
る。その方法は、 Ａ） 式： ［Ｃl2ＴｉＮＲ］2 （式中、Ｒは１〜約１２個の炭素原子を有する一価のア
ルキル又はアリール基である）の金属有機前駆物質を加
熱してガス状前駆物質を形成し、そして Ｂ） 前記ガス状前駆物質を、基体表面上に窒化チタン
の被覆を付着させるのに充分な温度の基体表面へ送る、
工程を含む。
を適用する方法も目的とする。本発明の方法の一つの態
様では、出発材料として新規な金属有機前駆物質を用い
る。その方法は、 Ａ） 式： ［Ｃl2ＴｉＮＲ］2 （式中、Ｒは１〜約１２個の炭素原子を有する一価のア
ルキル又はアリール基である）の金属有機前駆物質を加
熱してガス状前駆物質を形成し、そして Ｂ） 前記ガス状前駆物質を、基体表面上に窒化チタン
の被覆を付着させるのに充分な温度の基体表面へ送る、
工程を含む。
【００１３】本発明の別の態様では、四ハロゲン化チタ
ン及び第一アミンを出発材料として用いる。その方法
は、 Ａ） 四ハロゲン化チタンと第一アルキル又はアリール
アミンとを接触させて金属有機中間体化合物を形成し、 Ｂ） 前記金属有機中間体化合物を、式： ［Ｃl2ＴｉＮＲ］2 （式中、Ｒは１〜約１２個の炭素原子を有する一価のア
ルキル又はアリール基である）の金属有機前駆物質を生
成するのに充分な温度及び時間加熱し、 Ｃ） 前記金属有機前駆物質を加熱してガス状前駆物質
を形成し、そして Ｄ） 前記ガス状前駆物質を、基体表面上に窒化チタン
の被覆を付着させるのに充分な温度の基体表面へ送る、
工程からなる。
ン及び第一アミンを出発材料として用いる。その方法
は、 Ａ） 四ハロゲン化チタンと第一アルキル又はアリール
アミンとを接触させて金属有機中間体化合物を形成し、 Ｂ） 前記金属有機中間体化合物を、式： ［Ｃl2ＴｉＮＲ］2 （式中、Ｒは１〜約１２個の炭素原子を有する一価のア
ルキル又はアリール基である）の金属有機前駆物質を生
成するのに充分な温度及び時間加熱し、 Ｃ） 前記金属有機前駆物質を加熱してガス状前駆物質
を形成し、そして Ｄ） 前記ガス状前駆物質を、基体表面上に窒化チタン
の被覆を付着させるのに充分な温度の基体表面へ送る、
工程からなる。
【００１４】最後に本発明は、バルク窒化チタンを製造
するのに有用であり、その方法は、 Ａ） 四ハロゲン化チタンと第一アルキル又はアリール
アミンとを接触させて金属有機中間体化合物を形成し、 Ｂ） 前記金属有機中間体化合物を、式： ［Ｃl2ＴｉＮＲ］2 （式中、Ｒは１〜約１２個の炭素原子を有する一価のア
ルキル又はアリール基である）の金属有機前駆物質を生
成するのに充分な温度及び時間加熱し、そして Ｃ） 前記金属有機前駆物質を、金属有機前駆物質を熱
分解するのに充分な温度及び圧力で加熱する、工程から
なる。
するのに有用であり、その方法は、 Ａ） 四ハロゲン化チタンと第一アルキル又はアリール
アミンとを接触させて金属有機中間体化合物を形成し、 Ｂ） 前記金属有機中間体化合物を、式： ［Ｃl2ＴｉＮＲ］2 （式中、Ｒは１〜約１２個の炭素原子を有する一価のア
ルキル又はアリール基である）の金属有機前駆物質を生
成するのに充分な温度及び時間加熱し、そして Ｃ） 前記金属有機前駆物質を、金属有機前駆物質を熱
分解するのに充分な温度及び圧力で加熱する、工程から
なる。
【００１５】本発明の新規な組成物及び方法は、特に窒
化チタン被覆太陽光調節自動車及び建築用嵌込み窓ガラ
スを製造するのに非常に適している。
化チタン被覆太陽光調節自動車及び建築用嵌込み窓ガラ
スを製造するのに非常に適している。
【００１６】〔好ましい態様についての詳細な記述〕本
発明は、化学蒸着又は熱分解法で用いられる、窒化チタ
ンのための新規な金属有機前駆物質及びその製造方法に
関する。更に、本発明は、化学蒸着により基体の表面に
窒化チタン被覆を適用する新規な方法、及びバルク窒化
チタンを製造する新規な方法に関する。
発明は、化学蒸着又は熱分解法で用いられる、窒化チタ
ンのための新規な金属有機前駆物質及びその製造方法に
関する。更に、本発明は、化学蒸着により基体の表面に
窒化チタン被覆を適用する新規な方法、及びバルク窒化
チタンを製造する新規な方法に関する。
【００１７】化学蒸着は、一般に加熱された基体の表面
上に金属、金属化合物、又は金属酸化物の被覆を、ガス
状前駆物質混合物をその表面に送って、その表面に隣接
して前記ガス状前駆物質混合物の化学反応を行わせ、そ
の上に被覆を生成させることにより形成することを含ん
でいる。そのような被覆は、よく知られたフロート法ガ
ラス製造法により製造されつつある熱いガラス帯の表面
に適用することができ、赤外線反射性太陽光調節自動車
及び建築用嵌込み窓ガラスを製造することができる。
上に金属、金属化合物、又は金属酸化物の被覆を、ガス
状前駆物質混合物をその表面に送って、その表面に隣接
して前記ガス状前駆物質混合物の化学反応を行わせ、そ
の上に被覆を生成させることにより形成することを含ん
でいる。そのような被覆は、よく知られたフロート法ガ
ラス製造法により製造されつつある熱いガラス帯の表面
に適用することができ、赤外線反射性太陽光調節自動車
及び建築用嵌込み窓ガラスを製造することができる。
【００１８】本発明は、加熱すると、窒化チタン被覆を
製造するための化学蒸着法で用いられるガス状前駆物質
を形成することができる金属有機前駆物質を含む。その
金属有機前駆物質は、一般式： ［Ｃl2ＴｉＮＲ］2 （式中、Ｒは１〜１２個の炭素原子を有する一価のアル
キル又はアリール基である）により表される二量体イミ
ド錯体である。同じ機能性及び有用性を有する、目的と
する同等の金属有機前駆物質の例には、［Ｃl2ＴｉＮ
（ｔ−ブチル）］2 、［Ｃl2ＴｉＮ（メチル）］2 、
［Ｃl2ＴｉＮ（イソプロピル）］2 、［Ｃl2ＴｉＮ（シ
クロヘキシル）］2 、［Ｃl2ＴｉＮ（フェニル）］2 、
等及びそれらの混合物が含まれるが、それらに必ずしも
限定されるものではない。好ましい金属有機前駆物質
は、加熱すると窒化チタンのためのガス状前駆物質を形
成することができるものであり、［Ｃl2ＴｉＮ（ｔ−ブ
チル）］2 又はテトラクロロジ−μ−ｔ−ブチルイミド
ジチタン（IV）である。
製造するための化学蒸着法で用いられるガス状前駆物質
を形成することができる金属有機前駆物質を含む。その
金属有機前駆物質は、一般式： ［Ｃl2ＴｉＮＲ］2 （式中、Ｒは１〜１２個の炭素原子を有する一価のアル
キル又はアリール基である）により表される二量体イミ
ド錯体である。同じ機能性及び有用性を有する、目的と
する同等の金属有機前駆物質の例には、［Ｃl2ＴｉＮ
（ｔ−ブチル）］2 、［Ｃl2ＴｉＮ（メチル）］2 、
［Ｃl2ＴｉＮ（イソプロピル）］2 、［Ｃl2ＴｉＮ（シ
クロヘキシル）］2 、［Ｃl2ＴｉＮ（フェニル）］2 、
等及びそれらの混合物が含まれるが、それらに必ずしも
限定されるものではない。好ましい金属有機前駆物質
は、加熱すると窒化チタンのためのガス状前駆物質を形
成することができるものであり、［Ｃl2ＴｉＮ（ｔ−ブ
チル）］2 又はテトラクロロジ−μ−ｔ−ブチルイミド
ジチタン（IV）である。
【００１９】本発明の金属有機前駆物質は、その金属有
機前駆物質を約２５℃〜約５００℃の温度に加熱するこ
とにより、基体表面上に窒化チタンを化学蒸着させるた
めのガス状前駆物質に転化させることができる。これら
の温度では、金属有機前駆物質は昇華し、ガス状前駆物
質を形成する。温度範囲は約１００℃〜約３００℃であ
るのが好ましい。金属有機前駆物質を加熱する工程は、
一般に約１０-9ｍｍＨｇ〜約７６０ｍｍＨｇの圧力で行
われる。圧力は約０．０１ｍｍＨｇ〜約０．１ｍｍＨｇ
であるのが好ましい。これらの温度及び圧力は広い範囲
に亙って変えることができ、ガス状前駆物質の形成を成
功させるのに明確な臨界性があるわけではない。
機前駆物質を約２５℃〜約５００℃の温度に加熱するこ
とにより、基体表面上に窒化チタンを化学蒸着させるた
めのガス状前駆物質に転化させることができる。これら
の温度では、金属有機前駆物質は昇華し、ガス状前駆物
質を形成する。温度範囲は約１００℃〜約３００℃であ
るのが好ましい。金属有機前駆物質を加熱する工程は、
一般に約１０-9ｍｍＨｇ〜約７６０ｍｍＨｇの圧力で行
われる。圧力は約０．０１ｍｍＨｇ〜約０．１ｍｍＨｇ
であるのが好ましい。これらの温度及び圧力は広い範囲
に亙って変えることができ、ガス状前駆物質の形成を成
功させるのに明確な臨界性があるわけではない。
【００２０】本発明の方法の好ましい態様として、窒化
チタンは、よく知られたフロート法ガラス製造方法で製
造されつつあるガラス帯の表面上に付着させる。この方
法はフロートタンク中でガラス基体を形成し、そのよう
にして形成された熱いガラス帯を前進させ続けて処理領
域に送り、そこでガス状前駆物質をそのガラス表面へ送
ることを含んでいる。ガス状前駆物質は窒素の如き不活
性キャリヤーガスによって処理領域へ送るのが便利であ
る。そのような化学蒸着反応物質流を熱いガラス帯の表
面へ送るための装置はよく知られており、本発明の一部
分を形成するものではない。
チタンは、よく知られたフロート法ガラス製造方法で製
造されつつあるガラス帯の表面上に付着させる。この方
法はフロートタンク中でガラス基体を形成し、そのよう
にして形成された熱いガラス帯を前進させ続けて処理領
域に送り、そこでガス状前駆物質をそのガラス表面へ送
ることを含んでいる。ガス状前駆物質は窒素の如き不活
性キャリヤーガスによって処理領域へ送るのが便利であ
る。そのような化学蒸着反応物質流を熱いガラス帯の表
面へ送るための装置はよく知られており、本発明の一部
分を形成するものではない。
【００２１】一般に、ガス状前駆物質は被覆すべき基体
の熱い表面と接触することにより加熱され、それにより
化学反応を起こしてその上に窒化チタンの被覆を付着す
る。この反応は実質的に瞬間的である。ガス状前駆物質
の反応温度は、一般に約１００℃〜約２，０００℃の範
囲にある。その温度は約３００℃〜約７００℃であるの
が好ましい。窒化チタンはこの方法により慣用的ソーダ
・石灰・シリカガラスの処理温度で容易に付着し、その
場合、ガラスの温度は約４００℃〜約７００℃の範囲に
ある。
の熱い表面と接触することにより加熱され、それにより
化学反応を起こしてその上に窒化チタンの被覆を付着す
る。この反応は実質的に瞬間的である。ガス状前駆物質
の反応温度は、一般に約１００℃〜約２，０００℃の範
囲にある。その温度は約３００℃〜約７００℃であるの
が好ましい。窒化チタンはこの方法により慣用的ソーダ
・石灰・シリカガラスの処理温度で容易に付着し、その
場合、ガラスの温度は約４００℃〜約７００℃の範囲に
ある。
【００２２】窒化金属被覆は、本発明の方法により基体
上に約２０Å〜約５０，０００Åの厚さに付着させるこ
とができる。太陽光調節自動車及び建築用嵌込み窓ガラ
スを製造するのに適した好ましい厚さ範囲は、約１００
Å〜約２，０００Åである。そのような被覆は、反応温
度に耐えることができるガラス、セラミック、石英、金
属等（それらに限定されるものではない）を含めた実質
的にどのような基体上にも付着させることができる。好
ましい基体は、フロート法ガラス製造設備により製造さ
れつつあるガラス帯である。そのガラスは、自動車又は
建築用嵌込み窓ガラスを製造するのに有用なものとして
工業的に一般に知られているどのような厚さのものでも
よい。好ましい被覆した嵌込み窓ガラスは、窒化チタン
の膜が表面に付着したガラスからなる。
上に約２０Å〜約５０，０００Åの厚さに付着させるこ
とができる。太陽光調節自動車及び建築用嵌込み窓ガラ
スを製造するのに適した好ましい厚さ範囲は、約１００
Å〜約２，０００Åである。そのような被覆は、反応温
度に耐えることができるガラス、セラミック、石英、金
属等（それらに限定されるものではない）を含めた実質
的にどのような基体上にも付着させることができる。好
ましい基体は、フロート法ガラス製造設備により製造さ
れつつあるガラス帯である。そのガラスは、自動車又は
建築用嵌込み窓ガラスを製造するのに有用なものとして
工業的に一般に知られているどのような厚さのものでも
よい。好ましい被覆した嵌込み窓ガラスは、窒化チタン
の膜が表面に付着したガラスからなる。
【００２３】別法として、本発明の金属有機前駆物質
は、熱分解によりバルク窒化チタンを製造するのに用い
ることができる。この場合、金属有機前駆物質は約３０
０℃〜約１，０００℃の温度へ約７６０ｍｍＨｇより大
きい圧力で加熱する。熱分解のための温度は約４００℃
〜約７００℃であるのが好ましい。この熱分解反応中、
配位しているアミン及び他の有機成分がその金属有機前
駆物質から遊離する。熱分解に必要な時間は、数分間か
ら数時間の範囲でよい。当業者には明らかなように、熱
分解反応に必要な温度、圧力、及び時間は、広い範囲に
亙って変えることができ、バルク窒化チタンの製造を成
功させるのに明確な限界を持つものではない。
は、熱分解によりバルク窒化チタンを製造するのに用い
ることができる。この場合、金属有機前駆物質は約３０
０℃〜約１，０００℃の温度へ約７６０ｍｍＨｇより大
きい圧力で加熱する。熱分解のための温度は約４００℃
〜約７００℃であるのが好ましい。この熱分解反応中、
配位しているアミン及び他の有機成分がその金属有機前
駆物質から遊離する。熱分解に必要な時間は、数分間か
ら数時間の範囲でよい。当業者には明らかなように、熱
分解反応に必要な温度、圧力、及び時間は、広い範囲に
亙って変えることができ、バルク窒化チタンの製造を成
功させるのに明確な限界を持つものではない。
【００２４】本発明の金属有機前駆物質は、四ハロゲン
化チタンと第一アルキル又はアリールアミンとを反応さ
せて金属有機中間体化合物を生成させ、然る後、その金
属有機中間体化合物を、一般式： ［Ｃl2ＴｉＮＲ］2 （式中、Ｒは１〜約１２個の炭素原子を有する一価のア
ルキル又はアリール基である）を有する金属有機前駆物
質を生成させるのに充分な温度及び時間加熱することに
より製造することができる。
化チタンと第一アルキル又はアリールアミンとを反応さ
せて金属有機中間体化合物を生成させ、然る後、その金
属有機中間体化合物を、一般式： ［Ｃl2ＴｉＮＲ］2 （式中、Ｒは１〜約１２個の炭素原子を有する一価のア
ルキル又はアリール基である）を有する金属有機前駆物
質を生成させるのに充分な温度及び時間加熱することに
より製造することができる。
【００２５】本発明による金属有機前駆物質を製造する
のに有用な四ハロゲン化チタンは化学分野の当業者によ
く知られており、ＴｉＣｌ4 、ＴｉＢｒ4 、及びＴｉＩ
4 が含まれる。好ましい四ハロゲン化チタンは、或る量
の二酸化チタン又はチタン含有鉱石を炭素と共に、それ
らの上に塩素ガス流を通過させながら加熱することによ
り製造することができる四塩化チタンである。四ハロゲ
ン化チタンの製造及び特性についての詳細な点は、カー
ク・オスマー(Kirk-Othmer）のコンサイス・エンサイク
ロペディア・オブ・ケミカル・テクノロジー（Concise
Encyclopedia of Chemical Technology)〔John Wiley &
Sons 、ニューヨーク（１９８５）〕第１１８５頁〜第
１１８６頁に一層完全に記載されている。
のに有用な四ハロゲン化チタンは化学分野の当業者によ
く知られており、ＴｉＣｌ4 、ＴｉＢｒ4 、及びＴｉＩ
4 が含まれる。好ましい四ハロゲン化チタンは、或る量
の二酸化チタン又はチタン含有鉱石を炭素と共に、それ
らの上に塩素ガス流を通過させながら加熱することによ
り製造することができる四塩化チタンである。四ハロゲ
ン化チタンの製造及び特性についての詳細な点は、カー
ク・オスマー(Kirk-Othmer）のコンサイス・エンサイク
ロペディア・オブ・ケミカル・テクノロジー（Concise
Encyclopedia of Chemical Technology)〔John Wiley &
Sons 、ニューヨーク（１９８５）〕第１１８５頁〜第
１１８６頁に一層完全に記載されている。
【００２６】本発明による金属有機前駆物質を製造する
のに有用な第一アルキル及びアリールアミンもよく知ら
れている。そのような第一アミンは、一般式： ＮＨ2 Ｒ （式中、Ｒは１〜約１２個の炭素原子を有する一価のア
ルキル又はアリール基である）により表される。同じ機
能性及び実用性を有する、考慮される同等の第一アミン
の例には、ｔ−ブチルアミン、メチルアミン、エチルア
ミン、ｎ−プロピルアミン、イソプロピルアミン、シク
ロヘキシルアミン、アニリン、ナフチルアミン等及びそ
れらの混合物が含まれるが、必ずしもそれらに限定され
るものではない。好ましい第一アミンはｔ−ブチルアミ
ンである。
のに有用な第一アルキル及びアリールアミンもよく知ら
れている。そのような第一アミンは、一般式： ＮＨ2 Ｒ （式中、Ｒは１〜約１２個の炭素原子を有する一価のア
ルキル又はアリール基である）により表される。同じ機
能性及び実用性を有する、考慮される同等の第一アミン
の例には、ｔ−ブチルアミン、メチルアミン、エチルア
ミン、ｎ−プロピルアミン、イソプロピルアミン、シク
ロヘキシルアミン、アニリン、ナフチルアミン等及びそ
れらの混合物が含まれるが、必ずしもそれらに限定され
るものではない。好ましい第一アミンはｔ−ブチルアミ
ンである。
【００２７】四ハロゲン化チタンと第一アルキル又はア
リールアミンとを一緒に接触させると、一般式： Ｃl2Ｔｉ（ＮＨＲ)2（ＮＨ2 Ｒ)x （式中、Ｒは１〜約１２個の炭素原子を有する一価のア
ルキル又はアリール基であり、x は０〜２の値である）
を有すると考えられる金属有機中間体化合物を形成す
る。四ハロゲン化チタンと第一アルキル又はアリールア
ミンは、任意に、例えばジクロロメタン、四塩化炭素、
トルエン、ベンゼン、ペンタン、ヘキサン等及びそれら
の混合物の如き溶媒の存在下で接触させてもよい。好ま
しい溶媒はジクロロメタンである。もし存在させた場合
には、その溶媒は反応混合物の約９９重量％までを占め
ていてもよい。四ハロゲン化チタンは第一アルキル又は
アリールアミンと実質的にどのような比率で接触させて
もよく、多かれ少なかれ効果的な量の生成物を生ずる結
果になる。四ハロゲン化チタンは、化学量論的に少なく
とも約６当量の第一アミンと接触させるのが好ましい。
反応は一般に約−１００℃〜約２００℃の広い温度範囲
に亙って行われる。温度は約−８０℃〜約２５℃である
のが好ましい。
リールアミンとを一緒に接触させると、一般式： Ｃl2Ｔｉ（ＮＨＲ)2（ＮＨ2 Ｒ)x （式中、Ｒは１〜約１２個の炭素原子を有する一価のア
ルキル又はアリール基であり、x は０〜２の値である）
を有すると考えられる金属有機中間体化合物を形成す
る。四ハロゲン化チタンと第一アルキル又はアリールア
ミンは、任意に、例えばジクロロメタン、四塩化炭素、
トルエン、ベンゼン、ペンタン、ヘキサン等及びそれら
の混合物の如き溶媒の存在下で接触させてもよい。好ま
しい溶媒はジクロロメタンである。もし存在させた場合
には、その溶媒は反応混合物の約９９重量％までを占め
ていてもよい。四ハロゲン化チタンは第一アルキル又は
アリールアミンと実質的にどのような比率で接触させて
もよく、多かれ少なかれ効果的な量の生成物を生ずる結
果になる。四ハロゲン化チタンは、化学量論的に少なく
とも約６当量の第一アミンと接触させるのが好ましい。
反応は一般に約−１００℃〜約２００℃の広い温度範囲
に亙って行われる。温度は約−８０℃〜約２５℃である
のが好ましい。
【００２８】金属有機中間体化合物の形成に必要な時間
は、数秒から数時間の広い範囲に亙って変えることがで
きる。温度、反応時間、及び反応物濃度は広い範囲に亙
って変えることができ、金属有機中間体化合物の製造を
成功させるのに明確な限界を持つものではないことは当
業者に明らかであろう。
は、数秒から数時間の広い範囲に亙って変えることがで
きる。温度、反応時間、及び反応物濃度は広い範囲に亙
って変えることができ、金属有機中間体化合物の製造を
成功させるのに明確な限界を持つものではないことは当
業者に明らかであろう。
【００２９】金属有機中間体化合物は、化学分野の当業
者によく知られた手段により反応混合物から分離し、更
に処理して一般式： ［Ｃl2ＴｉＮＲ］2 （式中、Ｒは１〜約１２個の炭素原子を有する一価のア
ルキル又はアリール基である）で表される本発明の金属
有機前駆物質を形成する。その金属有機中間体化合物
を、金属有機前駆物質を形成するのに充分な温度及び時
間加熱する。金属有機中間体化合物は、約１００℃〜約
５００℃の広い限界範囲内の温度に、約数分から数日間
の時間加熱することができる。温度範囲は約１８０℃〜
約３００℃であるのが好ましい。この加熱工程は、約１
０-9ｍｍＨｇ〜約７６０ｍｍＨｇの圧力で行うことがで
きる。圧力範囲は約０．０１ｍｍＨｇ〜約０．１ｍｍＨ
ｇであるのが好ましい。この加熱工程中、配位されてい
たアミン及び他の有機成分は金属有機中間体化合物から
遊離される。この加熱工程のための温度、圧力及び反応
時間は広い範囲に亙って変えることができ、本発明の金
属有機前駆物質の形成を成功させるのに明確な臨界性を
持つものではないことは当業者によって認められるであ
ろう。このやり方で製造された金属有機前駆物質は、上
で述べた化学蒸着により基体上に窒化チタンの被覆を付
着させるのに後で用いることができる。
者によく知られた手段により反応混合物から分離し、更
に処理して一般式： ［Ｃl2ＴｉＮＲ］2 （式中、Ｒは１〜約１２個の炭素原子を有する一価のア
ルキル又はアリール基である）で表される本発明の金属
有機前駆物質を形成する。その金属有機中間体化合物
を、金属有機前駆物質を形成するのに充分な温度及び時
間加熱する。金属有機中間体化合物は、約１００℃〜約
５００℃の広い限界範囲内の温度に、約数分から数日間
の時間加熱することができる。温度範囲は約１８０℃〜
約３００℃であるのが好ましい。この加熱工程は、約１
０-9ｍｍＨｇ〜約７６０ｍｍＨｇの圧力で行うことがで
きる。圧力範囲は約０．０１ｍｍＨｇ〜約０．１ｍｍＨ
ｇであるのが好ましい。この加熱工程中、配位されてい
たアミン及び他の有機成分は金属有機中間体化合物から
遊離される。この加熱工程のための温度、圧力及び反応
時間は広い範囲に亙って変えることができ、本発明の金
属有機前駆物質の形成を成功させるのに明確な臨界性を
持つものではないことは当業者によって認められるであ
ろう。このやり方で製造された金属有機前駆物質は、上
で述べた化学蒸着により基体上に窒化チタンの被覆を付
着させるのに後で用いることができる。
【００３０】
【実施例】四塩化チタンを化学量論的に約６当量のｔ−
ブチルアミンに、ジクロロメタン（混合物の約９０重量
％）の存在下で約−７８℃で大気圧下で添加し、約１／
４時間撹拌した。反応により橙色固体金属有機中間体化
合物をヘキサン抽出により生じた（収率約８５％）。
ブチルアミンに、ジクロロメタン（混合物の約９０重量
％）の存在下で約−７８℃で大気圧下で添加し、約１／
４時間撹拌した。反応により橙色固体金属有機中間体化
合物をヘキサン抽出により生じた（収率約８５％）。
【００３１】金属有機中間体化合物を約２５０℃に加熱
し、約１０-3ｍｍＨｇの圧力で約２時間維持し、それに
より金属有機前駆物質、［Ｃl2ＴｉＮ（ｔ−ブチル）］
2 を生成した。この物質は、約３８０原子質量単位の所
に質量分光分析ピークを有することが観察され、テトラ
クロロジ−μ−ｔ−ブチルイミドジチタン（IV）である
ことを示していた。
し、約１０-3ｍｍＨｇの圧力で約２時間維持し、それに
より金属有機前駆物質、［Ｃl2ＴｉＮ（ｔ−ブチル）］
2 を生成した。この物質は、約３８０原子質量単位の所
に質量分光分析ピークを有することが観察され、テトラ
クロロジ−μ−ｔ−ブチルイミドジチタン（IV）である
ことを示していた。
【００３２】金属有機前駆物質を約２５０℃の温度に約
１０-3ｍｍＨｇの圧力で加熱し、それによりガス状前駆
物質を生成させ、それを約５００℃の温度に維持したガ
ラスシートの表面に送った。金色の窒化チタン膜がガラ
スシート表面上に付着した。
１０-3ｍｍＨｇの圧力で加熱し、それによりガス状前駆
物質を生成させ、それを約５００℃の温度に維持したガ
ラスシートの表面に送った。金色の窒化チタン膜がガラ
スシート表面上に付着した。
【００３３】この例は、一般的又は特別に記述した反応
物及び（又は）ここに記載した反応条件を、前の例で用
いたものの代わりに置き換えて繰り返しても同様な成功
を収めることができる。例えば、イソブチル、３−ペン
チル、イソプロピル、及びｓｅｃ−ブチル、二量体イミ
ド錯体が製造されている。
物及び（又は）ここに記載した反応条件を、前の例で用
いたものの代わりに置き換えて繰り返しても同様な成功
を収めることができる。例えば、イソブチル、３−ペン
チル、イソプロピル、及びｓｅｃ−ブチル、二量体イミ
ド錯体が製造されている。
【００３４】上記記述から、当業者は容易に本発明の本
質的特徴を確かめることができ、本発明の本質及び範囲
から離れることなく、種々の用途及び条件に適合させる
ため本発明に種々の変化及び修正を加えることができ
る。
質的特徴を確かめることができ、本発明の本質及び範囲
から離れることなく、種々の用途及び条件に適合させる
ため本発明に種々の変化及び修正を加えることができ
る。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ジェームス ダブリュ．プロスシア アメリカ合衆国ミシガン州ディアボーン, グリンドリィ パーク 2223
Claims (55)
- 【請求項１】 式： ［Ｃl2ＴｉＮＲ］2 （式中、Ｒは１〜約１２個の炭素原子を有する一価のア
ルキル又はアリール基である）の金属有機前駆物質。 - 【請求項２】 Ｒがｔ−ブチルである請求項１に記載の
金属有機前駆物質。 - 【請求項３】 基体の表面に窒化チタンの被覆を付着さ
せる方法において、 Ａ） 式： ［Ｃl2ＴｉＮＲ］2 （式中、Ｒは１〜約１２個の炭素原子を有する一価のア
ルキル又はアリール基である）の金属有機前駆物質を加
熱してガス状前駆物質を形成し、そして Ｂ） 前記ガス状前駆物質を、基体の表面上に窒化チタ
ンの被覆を付着させるのに充分な温度の基体表面へ送
る、工程からなる窒化チタン被覆付着方法。 - 【請求項４】 Ｒがｔ−ブチルである請求項３に記載の
基体の表面上に窒化チタンの被覆を付着させる方法。 - 【請求項５】 金属有機前駆物質を約２５℃〜約５００
℃の温度に加熱する請求項３に記載の基体の表面上に窒
化チタンの被覆を付着させるための方法。 - 【請求項６】 工程Ａを約１０-9ｍｍＨｇ〜約７６０ｍ
ｍＨｇの圧力で行う請求項３に記載の基体の表面上に窒
化チタンの被覆を付着させる方法。 - 【請求項７】 ガス状前駆物質を、約１００℃〜約２，
０００℃の温度の基体表面へ送る請求項３に記載の基体
の表面上に窒化チタンの被覆を付着させる方法。 - 【請求項８】 基体の表面に窒化チタンの被覆を付着さ
せる方法において、 Ａ） 式： ［Ｃl2ＴｉＮＲ］2 （式中、Ｒは１〜約１２個の炭素原子を有する一価のア
ルキル又はアリール基である）の金属有機前駆物質を約
１００℃〜約３００℃の温度に約０．０１ｍｍＨｇ〜約
０．１ｍｍＨｇの圧力で加熱してガス状前駆物質を形成
し、そして Ｂ） 前記ガス状前駆物質を約３００℃〜約６００℃の
温度の基体表面へ送り、その上に窒化チタンの被覆を付
着させる、工程からなる窒化チタン被覆付着方法。 - 【請求項９】 Ｒがｔ−ブチルである請求項８に記載の
基体の表面上に窒化チタンの被覆を付着させる方法。 - 【請求項１０】 Ａ） 四ハロゲン化チタンと第一アル
キル又はアリールアミンとを接触させて金属有機中間体
化合物を形成し、そして Ｂ） 前記金属有機中間体化合物を、式： ［Ｃl2ＴｉＮＲ］2 （式中、Ｒは１〜約１２個の炭素原子を有する一価のア
ルキル又はアリール基である）の化合物を生成するのに
充分な温度及び時間加熱する、工程からなる金属有機前
駆物質の製造方法。 - 【請求項１１】 四ハロゲン化チタンが四塩化チタンで
ある請求項１０に記載の金属有機前駆物質製造方法。 - 【請求項１２】 第一アミンがｔ−ブチルアミンである
請求項１０に記載の金属有機前駆物質製造方法。 - 【請求項１３】 工程Ａを溶媒の存在下で行う請求項１
０に記載の金属有機前駆物質製造方法。 - 【請求項１４】 四ハロゲン化チタンを、化学量論的に
少なくとも約６当量の第一アミンと接触させる請求項１
０に記載の金属有機前駆物質製造方法。 - 【請求項１５】 四ハロゲン化チタンを第一アミンと約
−１００℃〜約２００℃の温度で接触させる請求項１０
に記載の金属有機前駆物質製造方法。 - 【請求項１６】 金属有機中間体化合物を約１００℃〜
約５００℃の温度に加熱する請求項１０に記載の金属有
機前駆物質製造方法。 - 【請求項１７】 工程Ｂを約１０-9ｍｍＨｇ〜約７６０
ｍｍＨｇの圧力で行う請求項１０に記載の金属有機前駆
物質製造方法。 - 【請求項１８】 Ａ） 四ハロゲン化チタンと、化学量
論的に少なくとも約６当量の第一アルキル又はアリール
アミンとを、任意に溶媒を存在させて、約−８０℃〜約
２５℃の温度で接触させて金属有機中間体化合物を形成
し、そして Ｂ） 前記金属有機中間体化合物を、約１８０℃〜約３
００℃の温度で約０．０１ｍｍＨｇ〜約０．１ｍｍＨｇ
の圧力で、式： ［Ｃl2ＴｉＮＲ］2 （式中、Ｒは１〜約１２個の炭素原子を有する一価のア
ルキル又はアリール基である）の金属有機前駆物質を生
成するのに充分な時間加熱する、工程からなる金属有機
前駆物質の製造方法。 - 【請求項１９】 四ハロゲン化チタンが四塩化チタンで
ある請求項１８に記載の金属有機前駆物質製造方法。 - 【請求項２０】 第一アミンがｔ−ブチルアミンである
請求項１８に記載の金属有機前駆物質製造方法。 - 【請求項２１】 基体の表面上に窒化チタンの被覆を付
着させる方法において Ａ） 四ハロゲン化チタンと第一アルキル又はアリール
アミンとを接触させて金属有機中間体化合物を形成し、 Ｂ） 前記金属有機中間体化合物を、式： ［Ｃl2ＴｉＮＲ］2 （式中、Ｒは１〜約１２個の炭素原子を有する一価のア
ルキル又はアリール基である）の金属有機前駆物質を生
成するのに充分な温度及び時間加熱し、 Ｃ） 前記金属有機前駆物質を加熱してガス状前駆物質
を形成し、そして Ｄ） 前記ガス状前駆物質を、基体表面上に窒化チタン
の被覆を付着させるのに充分な温度の基体表面へ送る、
工程からなる窒化チタン被覆付着方法。 - 【請求項２２】 四ハロゲン化チタンが四塩化チタンで
ある請求項２１に記載の基体の表面上に窒化チタンの被
覆を付着させる方法。 - 【請求項２３】 第一アミンがｔ−ブチルアミンである
請求項２１に記載の基体表面上に窒化チタンの被覆を付
着させる方法。 - 【請求項２４】 工程Ａを溶媒の存在下で行う請求項２
１に記載の基体の表面上に窒化チタンの被覆を付着させ
る方法。 - 【請求項２５】 四ハロゲン化チタンを、化学量論的に
少なくとも約６当量の第一アミンと接触させる請求項２
１に記載の基体の表面上に窒化チタンの被覆を付着させ
る方法。 - 【請求項２６】 四ハロゲン化チタンを第一アミンと約
−１００℃〜約２００℃の温度で接触させる請求項２１
に記載の基体の表面上に窒化チタンの被覆を付着させる
方法。 - 【請求項２７】 金属有機中間体化合物を約１００℃〜
約５００℃の温度に加熱する請求項２１に記載の基体の
表面上に窒化チタンの被覆を付着させる方法。 - 【請求項２８】 工程Ｂを約１０-9ｍｍＨｇ〜約７６０
ｍｍＨｇの圧力で行う請求項２１に記載の基体の表面上
に窒化チタンの被覆を付着させる方法。 - 【請求項２９】 Ｒがｔ−ブチルである請求項２１に記
載の基体の表面上に窒化チタンの被覆を付着させる方
法。 - 【請求項３０】 金属有機前駆物質を約２５℃〜約５０
０℃の温度に加熱する請求項２１に記載の基体の表面上
に窒化チタンの被覆を付着させる方法。 - 【請求項３１】 工程Ｃを約１０-9ｍｍＨｇ〜約７６０
ｍｍＨｇの圧力で行う請求項２１に記載の基体の表面上
に窒化チタンの被覆を付着させる方法。 - 【請求項３２】 ガス状前駆物質を、約１００℃〜約
２，０００℃の温度の基体表面へ送る請求項２１に記載
の基体の表面上に窒化チタンの被覆を付着させる方法。 - 【請求項３３】 基体の表面上に窒化チタンの被覆を付
着させる方法において、 Ａ） 四ハロゲン化チタンと、化学量論的に少なくとも
約６当量の第一アルキル又はアリールアミンと、任意に
溶媒を存在させて約−８０℃〜約２５℃の温度で接触さ
せて金属有機中間体化合物を形成し、 Ｂ） 前記金属有機中間体化合物を約１８０℃〜約３０
０℃の温度に約０．０１ｍｍＨｇ〜約０．１ｍｍＨｇの
圧力で、式： ［Ｃl2ＴｉＮＲ］2 （式中、Ｒは１〜約１２個の炭素原子を有する一価のア
ルキル又はアリール基である）の金属有機前駆物質を生
成するのに充分な時間加熱し、 Ｃ） 前記金属有機前駆物質を約１００℃〜約３００℃
の温度に約０．０１ｍｍＨｇ〜約０．１ｍｍＨｇの圧力
で加熱してガス状前駆物質を形成し、そして Ｄ） 前記ガス状前駆物質を、約３００℃〜約６００℃
の温度の基体表面へ送り、その上に窒化チタンの被覆を
付着させる、工程からなる窒化チタン被覆付着方法。 - 【請求項３４】 四ハロゲン化チタンが四塩化チタンで
ある請求項３３に記載の基体の表面上に窒化チタンの被
覆を付着させる方法。 - 【請求項３５】 第一アミンがｔ−ブチルアミンである
請求項３３に記載の基体表面上に窒化チタンの被覆を付
着させる方法。 - 【請求項３６】 式： ［Ｃl2ＴｉＮＲ］2 （式中、Ｒは１〜約１２個の炭素原子を有する一価のア
ルキル又はアリール基である）の金属有機前駆物質を、
その金属有機前駆物質を熱分解するのに充分な温度及び
圧力で加熱することからなるバルク窒化チタンの製造方
法。 - 【請求項３７】 Ｒがｔ−ブチルである請求項３６に記
載のバルク窒化チタンの製造方法。 - 【請求項３８】 金属有機前駆物質を約３００℃〜約
１，０００℃の温度に加熱する請求項３６に記載のバル
ク窒化チタンの製造方法。 - 【請求項３９】 熱分解を約７６０ｍｍＨｇより大きな
圧力で行う請求項３６に記載のバルク窒化チタンの製造
方法。 - 【請求項４０】 式： ［Ｃl2ＴｉＮＲ］2 （式中、Ｒは１〜約１２個の炭素原子を有する一価のア
ルキル又はアリール基である）の金属有機前駆物質を約
４００℃〜約７００℃の温度へ、約７６０ｍｍＨｇより
大きな圧力で加熱し、金属有機前駆物質を熱分解するこ
とからなるバルク窒化チタンの製造方法。 - 【請求項４１】 Ｒがｔ−ブチルである請求項４０に記
載のバルク窒化チタンの製造方法。 - 【請求項４２】 Ａ） 四ハロゲン化チタンと第一アル
キル又はアリールアミンとを接触させて金属有機中間体
化合物を形成し、 Ｂ） 前記金属有機中間体化合物を、式： ［Ｃl2ＴｉＮＲ］2 （式中、Ｒは１〜約１２個の炭素原子を有する一価のア
ルキル又はアリール基である）の金属有機前駆物質を生
成するのに充分な温度及び時間加熱し、そして Ｃ） 前記金属有機前駆物質を、その金属有機前駆物質
を熱分解するのに充分な温度及び圧力で加熱する、工程
からなるバルク窒化チタンの製造方法。 - 【請求項４３】 四ハロゲン化チタンが四塩化チタンで
ある請求項４２に記載のバルク窒化チタンの製造方法。 - 【請求項４４】 第一アミンがｔ−ブチルアミンである
請求項４２に記載のバルク窒化チタンの製造方法。 - 【請求項４５】 工程Ａを溶媒の存在下で行う請求項４
２に記載のバルク窒化チタンの製造方法。 - 【請求項４６】 四ハロゲン化チタンを、化学量論的に
少なくとも約６当量の第一アミンと接触させる請求項４
２に記載のバルク窒化チタンの製造方法。 - 【請求項４７】 四ハロゲン化チタンを第一アミンと約
−１００℃〜約２００℃の温度で接触させる請求項４２
に記載のバルク窒化チタンの製造方法。 - 【請求項４８】 金属有機中間体化合物を約１００℃〜
約５００℃の温度に加熱する請求項４２に記載のバルク
窒化チタンの製造方法。 - 【請求項４９】 工程Ｂを約１０-9ｍｍＨｇ〜約７６０
ｍｍＨｇの圧力で行う請求項４２に記載のバルク窒化チ
タンの製造方法。 - 【請求項５０】 Ｒがｔ−ブチルである請求項４２に記
載のバルク窒化チタンの製造方法。 - 【請求項５１】 金属有機前駆物質を約３００℃〜約
１，０００℃の温度に加熱する請求項４２に記載のバル
ク窒化チタンの製造方法。 - 【請求項５２】 工程Ｃを約７６０ｍｍＨｇより大きい
な圧力で行う請求項４２に記載バルク窒化チタンの製造
方法。 - 【請求項５３】 Ａ） 四ハロゲン化チタンと、化学量
論的に少なくとも約６当量の第一アルキル又はアリール
アミンと、任意に溶媒を存在させて、約−８０℃〜約２
５℃の温度で接触させて金属有機中間体化合物を形成
し、 Ｂ） 前記金属有機中間体化合物を約１８０℃〜約３０
０℃の温度に約０．０１ｍｍＨｇ〜約０．１ｍｍＨｇの
圧力で、式： ［Ｃl2ＴｉＮＲ］2 （式中、Ｒは１〜約１２個の炭素原子を有する一価のア
ルキル又はアリール基である）の金属有機前駆物質を生
成するのに充分な時間加熱し、そして Ｃ） 前記金属有機前駆物質を約４００℃〜約７００℃
の温度に約７６０ｍｍＨｇより大きな圧力で加熱して前
記金属有機前駆物質を熱分解する、工程からなるバルク
窒化チタンの製造方法。 - 【請求項５４】 四ハロゲン化チタンが四塩化チタンで
ある請求項５３に記載のバルク窒化チタンの製造方法。 - 【請求項５５】 第一アミンがｔ−ブチルアミンである
請求項５３に記載のバルク窒化チタンの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5132098A JPH06340679A (ja) | 1993-06-02 | 1993-06-02 | 窒化チタンの金属有機前駆物質 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5132098A JPH06340679A (ja) | 1993-06-02 | 1993-06-02 | 窒化チタンの金属有機前駆物質 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06340679A true JPH06340679A (ja) | 1994-12-13 |
Family
ID=15073430
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5132098A Pending JPH06340679A (ja) | 1993-06-02 | 1993-06-02 | 窒化チタンの金属有機前駆物質 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06340679A (ja) |
-
1993
- 1993-06-02 JP JP5132098A patent/JPH06340679A/ja active Pending
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| JPH0449483B2 (ja) | ||
| JPS6117910B2 (ja) |
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