JPH063408A - Ｉｃ試験用治具 - Google Patents
Ｉｃ試験用治具Info
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- JPH063408A JPH063408A JP4188702A JP18870292A JPH063408A JP H063408 A JPH063408 A JP H063408A JP 4188702 A JP4188702 A JP 4188702A JP 18870292 A JP18870292 A JP 18870292A JP H063408 A JPH063408 A JP H063408A
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- jig
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- 239000002826 coolant Substances 0.000 claims abstract description 11
- 239000000110 cooling liquid Substances 0.000 claims description 47
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 claims description 7
- 239000013589 supplement Substances 0.000 abstract 2
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 5
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Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ＩＣの試験に当たり、冷却水の供給を適宜切
り換えることができる治具を提供すること。 【構成】 ＩＣ６を所定試験位置にセットしてこれを固
定するＩＣ固定手段３が軸方向移動可能に設けられてい
る。このＩＣ固定手段３がＩＣ６を固定した位置におい
ては、冷却水循環路Ａが開放されてＩＣ６側に冷却水が
流れるようになっている一方、ＩＣ固定手段３がＩＣ６
より離反した上方位置にあるときに、冷却水迂回路Ｂが
開放されてＩＣ６側への冷却水の供給が停止されるよう
になっている。
り換えることができる治具を提供すること。 【構成】 ＩＣ６を所定試験位置にセットしてこれを固
定するＩＣ固定手段３が軸方向移動可能に設けられてい
る。このＩＣ固定手段３がＩＣ６を固定した位置におい
ては、冷却水循環路Ａが開放されてＩＣ６側に冷却水が
流れるようになっている一方、ＩＣ固定手段３がＩＣ６
より離反した上方位置にあるときに、冷却水迂回路Ｂが
開放されてＩＣ６側への冷却水の供給が停止されるよう
になっている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＩＣと試験機とを電気
的に接続して用いるＩＣ試験用治具に係り、とくに、Ｉ
Ｃ冷却液の循環路と迂回路とを備えたＩＣ試験用治具に
関する。
的に接続して用いるＩＣ試験用治具に係り、とくに、Ｉ
Ｃ冷却液の循環路と迂回路とを備えたＩＣ試験用治具に
関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のＩＣ試験用治具は、ＩＣと試験機
とを電気的に接続する接続装置として構成され、外部よ
り冷却液を循環させるための冷却装置が治具にパイプで
接続されており、ＩＣを治具に設置した後、冷却装置の
スイッチを操作して冷却液を循環させ、これによって試
験時におけるＩＣの冷却を行うものとされていた。
とを電気的に接続する接続装置として構成され、外部よ
り冷却液を循環させるための冷却装置が治具にパイプで
接続されており、ＩＣを治具に設置した後、冷却装置の
スイッチを操作して冷却液を循環させ、これによって試
験時におけるＩＣの冷却を行うものとされていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来のＩＣ試験用治具にあっては、冷却液の循環作業
を怠った場合に、ＩＣに異常発熱を惹起せしめてＩＣを
破壊する他、治具そのものをも破壊してしまうという不
都合があった。
た従来のＩＣ試験用治具にあっては、冷却液の循環作業
を怠った場合に、ＩＣに異常発熱を惹起せしめてＩＣを
破壊する他、治具そのものをも破壊してしまうという不
都合があった。
【０００４】
【発明の目的】本発明は、かかる従来例の不都合を改善
し、とくに、ＩＣを所定試験位置にて固定した際に、冷
却液がＩＣに与えられるようにしてＩＣ並びに治具を有
効に保護することができるＩＣ試験用治具を提供するこ
とを、その目的とするものである。
し、とくに、ＩＣを所定試験位置にて固定した際に、冷
却液がＩＣに与えられるようにしてＩＣ並びに治具を有
効に保護することができるＩＣ試験用治具を提供するこ
とを、その目的とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、ＩＣと試験機
とを電気的に接続して所定の試験を行うＩＣ試験用治具
において、前記ＩＣを固定するＩＣ固定手段を軸方向移
動可能に設けるとともに、このＩＣ固定手段の移動によ
り切換られる冷却液循環路および冷却液迂回路を設け、
前記固定手段がＩＣを固定した状態で冷却液循環路が開
放される一方、固定手段がＩＣより離反した所定位置で
冷却液迂回路が開放されるという構成を採っている。こ
れによって前述の目的を達成しようとするものである。
とを電気的に接続して所定の試験を行うＩＣ試験用治具
において、前記ＩＣを固定するＩＣ固定手段を軸方向移
動可能に設けるとともに、このＩＣ固定手段の移動によ
り切換られる冷却液循環路および冷却液迂回路を設け、
前記固定手段がＩＣを固定した状態で冷却液循環路が開
放される一方、固定手段がＩＣより離反した所定位置で
冷却液迂回路が開放されるという構成を採っている。こ
れによって前述の目的を達成しようとするものである。
【０００６】なお、前記ＩＣの近傍位置には、冷却液循
環状態を視認することができる確認手段が必要により設
けられ、また、固定手段がＩＣより離反した位置で固定
手段の軸方向移動を規制するロック機構が設けられてい
る。
環状態を視認することができる確認手段が必要により設
けられ、また、固定手段がＩＣより離反した位置で固定
手段の軸方向移動を規制するロック機構が設けられてい
る。
【０００７】
【作用】ＩＣ固定手段がＩＣを所定検査位置に固定した
状態においては、冷却液循環路が開放されてＩＣの冷却
が行われるようになっており、ＩＣ固定手段をＩＣより
離反させた状態においては、冷却液循環路が閉塞される
一方、冷却液迂回路が開放される。従って、治具に冷却
液を常時供給するように冷却装置を設定しておくことに
よって、ＩＣ固定手段でＩＣを固定した際に、常に冷却
液がＩＣ側に供給されることとなる。
状態においては、冷却液循環路が開放されてＩＣの冷却
が行われるようになっており、ＩＣ固定手段をＩＣより
離反させた状態においては、冷却液循環路が閉塞される
一方、冷却液迂回路が開放される。従って、治具に冷却
液を常時供給するように冷却装置を設定しておくことに
よって、ＩＣ固定手段でＩＣを固定した際に、常に冷却
液がＩＣ側に供給されることとなる。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。
する。
【０００９】図１には、本発明の第１の実施例が示され
ている。この図において、本実施例にかかる治具は、冷
却液をＩＣ６側に流す冷却液循環路Ａと、ＩＣ６を迂回
して冷却液を排出する冷却液迂回路Ｂとを備えて構成さ
れている。
ている。この図において、本実施例にかかる治具は、冷
却液をＩＣ６側に流す冷却液循環路Ａと、ＩＣ６を迂回
して冷却液を排出する冷却液迂回路Ｂとを備えて構成さ
れている。
【００１０】これを更に詳述すると、冷却液循環路Ａ
は、ＩＣ６に対して軸方向に移動可能に設けられたＩＣ
固定手段としての固定棒３に形成された通路１と、この
通路１と所定間隔を隔てて形成された通路４と、これら
通路１、４間を連通させるための通路１９とを備えて構
成されている。また、通路１は、ＩＣ６上に被せられる
上蓋５の上端に形成された冷却液注入口２１と連通され
ている。従って、固定棒３が図１の状態より押し下げら
れて、ＩＣ６に当接してＩＣを固定した状態で通路１、
１９、４が相互に連通して冷却液注入口２１からの冷却
液をＩＣ６側に流すことができるようになっている。
は、ＩＣ６に対して軸方向に移動可能に設けられたＩＣ
固定手段としての固定棒３に形成された通路１と、この
通路１と所定間隔を隔てて形成された通路４と、これら
通路１、４間を連通させるための通路１９とを備えて構
成されている。また、通路１は、ＩＣ６上に被せられる
上蓋５の上端に形成された冷却液注入口２１と連通され
ている。従って、固定棒３が図１の状態より押し下げら
れて、ＩＣ６に当接してＩＣを固定した状態で通路１、
１９、４が相互に連通して冷却液注入口２１からの冷却
液をＩＣ６側に流すことができるようになっている。
【００１１】固定棒３の一側には、上蓋５に形成された
穴５Ａを貫通する押し下げレバー２が突設されており、
この押し下げレバー２を操作することで固定棒３の軸方
向移動が行われるようになっている。
穴５Ａを貫通する押し下げレバー２が突設されており、
この押し下げレバー２を操作することで固定棒３の軸方
向移動が行われるようになっている。
【００１２】冷却液迂回路Ｂは、上蓋５の側壁部分に形
成された孔５Ｂに一端が連結された迂回通路管２０を含
み構成されており、この迂回通路管２０の他端は、ＩＣ
固定設置台８に形成された冷却液排出路１８に連結され
ている。従って、固定棒３が図１に示す位置にあるとき
には、通路１、迂回通路管２０および冷却液排出路１８
は相互に連通され、これにより、冷却液注入口２１から
の冷却液はＩＣ６側に流れることなく、冷却液排出路１
８より排出され、図示しない冷却装置に流されるように
なっている。
成された孔５Ｂに一端が連結された迂回通路管２０を含
み構成されており、この迂回通路管２０の他端は、ＩＣ
固定設置台８に形成された冷却液排出路１８に連結され
ている。従って、固定棒３が図１に示す位置にあるとき
には、通路１、迂回通路管２０および冷却液排出路１８
は相互に連通され、これにより、冷却液注入口２１から
の冷却液はＩＣ６側に流れることなく、冷却液排出路１
８より排出され、図示しない冷却装置に流されるように
なっている。
【００１３】ＩＣ６は、ＩＣ端子７とＩＣ端子接続ピン
プローブ９とが電気的に接続されるように固定棒３で押
圧されるようになっており、ＩＣ端子接続ピンプローブ
９は、ＩＣ端子接続ピンプローブ−プリント配線接続部
１３を介してプリント基盤１２のプリント配線１４と接
続されるようになっている。また、治具の下方に位置す
る試験機２６の上端より突出されている治具−試験機接
続ピンプローブ１６は、試験機２６からの信号をパッド
１７に伝えるようになっており、固定ねじ１０によりね
じ通し穴１１を通ってねじ止め穴１５に螺着することに
よりパッド１７と電気的に接続される。
プローブ９とが電気的に接続されるように固定棒３で押
圧されるようになっており、ＩＣ端子接続ピンプローブ
９は、ＩＣ端子接続ピンプローブ−プリント配線接続部
１３を介してプリント基盤１２のプリント配線１４と接
続されるようになっている。また、治具の下方に位置す
る試験機２６の上端より突出されている治具−試験機接
続ピンプローブ１６は、試験機２６からの信号をパッド
１７に伝えるようになっており、固定ねじ１０によりね
じ通し穴１１を通ってねじ止め穴１５に螺着することに
よりパッド１７と電気的に接続される。
【００１４】以上の構成において、押し下げレバー２を
押し下げたときには、ＩＣ６が検査位置に固定されると
同時に、冷却液循環路Ａが開放されて所定の冷却が行わ
れつつ、冷却液排出路１８より排出される一方、押し下
げレバー２を上方に押し上げたときには、冷却液循環路
Ａが閉塞されると同時に冷却液迂回路Ｂが開放され、Ｉ
Ｃ６側に冷却液は流れることなく冷却液排出路１８より
排出されることとなる。
押し下げたときには、ＩＣ６が検査位置に固定されると
同時に、冷却液循環路Ａが開放されて所定の冷却が行わ
れつつ、冷却液排出路１８より排出される一方、押し下
げレバー２を上方に押し上げたときには、冷却液循環路
Ａが閉塞されると同時に冷却液迂回路Ｂが開放され、Ｉ
Ｃ６側に冷却液は流れることなく冷却液排出路１８より
排出されることとなる。
【００１５】本実施例の以上の構成によると、ＩＣ６を
取り出す場合でも、冷却液の循環を止めることなく行え
ることとなり、オペレータが冷却液を流す所定の作業を
忘れるという一般的要因を一掃することができ、冷却液
の流し忘れによるＩＣの異常発熱を防止できるととも
に、治具の破壊原因をも有効に防止することができると
いう効果がある。
取り出す場合でも、冷却液の循環を止めることなく行え
ることとなり、オペレータが冷却液を流す所定の作業を
忘れるという一般的要因を一掃することができ、冷却液
の流し忘れによるＩＣの異常発熱を防止できるととも
に、治具の破壊原因をも有効に防止することができると
いう効果がある。
【００１６】次に、本発明の第２の実施例を図２に基づ
いて説明する。この第２の実施例は、上蓋５に冷却液の
流通状態を感知するための感知装置２４が設けられ、信
号線２３を介して確認手段としてのランプ２２と電気的
に接続された点に特徴を有するものである。すなわち、
冷却液がＩＣ６側に流れているときには、感知装置２４
から所定の信号が発せられ、これによってランプ２２が
点灯して、外部より冷却液の流通状態が容易に視認でき
るようになっている。
いて説明する。この第２の実施例は、上蓋５に冷却液の
流通状態を感知するための感知装置２４が設けられ、信
号線２３を介して確認手段としてのランプ２２と電気的
に接続された点に特徴を有するものである。すなわち、
冷却液がＩＣ６側に流れているときには、感知装置２４
から所定の信号が発せられ、これによってランプ２２が
点灯して、外部より冷却液の流通状態が容易に視認でき
るようになっている。
【００１７】従って、このような第２の実施例によれ
ば、前記第１の実施例で得られる効果の他に、常に外部
から冷却液の流通状態が解るので、ランプ２２の点灯如
何によって異常が発生しているかどうかの判断ができ、
異常が認められた際の保守、点検を行う上で極めて有利
であるという効果が付加できる。
ば、前記第１の実施例で得られる効果の他に、常に外部
から冷却液の流通状態が解るので、ランプ２２の点灯如
何によって異常が発生しているかどうかの判断ができ、
異常が認められた際の保守、点検を行う上で極めて有利
であるという効果が付加できる。
【００１８】なお、確認手段としては、図２に示される
構成の他に、図３に示されるように、上蓋５の一部に確
認手段としての窓２５を設けるという構成であってもよ
い。このように、窓２５を介して直接的に流通状態を確
認するように構成すれば、第２の実施例と略同様の効果
を期待することができる。
構成の他に、図３に示されるように、上蓋５の一部に確
認手段としての窓２５を設けるという構成であってもよ
い。このように、窓２５を介して直接的に流通状態を確
認するように構成すれば、第２の実施例と略同様の効果
を期待することができる。
【００１９】図４および図５は、ＩＣ固定棒にロック機
構が設けられた場合の第３の実施例を示している。図４
は図１を上方から見た要部平面図であり、図５は、その
側面図を示している。このロック機構は、冷却液迂回路
Ｂが開放されて当該冷却液迂回路Ｂに冷却液が流れてい
る際の圧力で、ＩＣ固定棒３が押し下げられることを防
止する作用をするようになっている。すなわち、上蓋５
の穴５Ａの上端側に周方向に沿って延長するスリット５
Ｃを設け、冷却液迂回路Ｂを開放するときに、押し下げ
レバー２がスリット５Ｃ内に位置され、これによって、
冷却水の圧力で、ＩＣ固定棒３の自然下降が阻止される
ようになっている。
構が設けられた場合の第３の実施例を示している。図４
は図１を上方から見た要部平面図であり、図５は、その
側面図を示している。このロック機構は、冷却液迂回路
Ｂが開放されて当該冷却液迂回路Ｂに冷却液が流れてい
る際の圧力で、ＩＣ固定棒３が押し下げられることを防
止する作用をするようになっている。すなわち、上蓋５
の穴５Ａの上端側に周方向に沿って延長するスリット５
Ｃを設け、冷却液迂回路Ｂを開放するときに、押し下げ
レバー２がスリット５Ｃ内に位置され、これによって、
冷却水の圧力で、ＩＣ固定棒３の自然下降が阻止される
ようになっている。
【００２０】このような実施例によれば、冷却水の圧力
によるＩＣ固定棒３の誤動作が有効に回避されるという
効果を更に付加することができる。
によるＩＣ固定棒３の誤動作が有効に回避されるという
効果を更に付加することができる。
【００２１】
【発明の効果】本発明は、以上のように構成され、か
つ、作用するので、これによると、ＩＣを所定試験位置
に固定すると同時に冷却液循環路を開放させるととも
に、ＩＣ固定手段をＩＣより離反させた位置で冷却液迂
回路が開放される構成としたから、常時冷却水を供給す
るように設定しておけば、ＩＣの交換に際して冷却水の
供給を停止させる必要がないから、従来のような冷却水
の流し忘れ要因を一掃することができ、これによってＩ
Ｃの異常加熱を防ぐことができるという効果がある。ま
た、冷却水の流通状態を確認する手段を設けたことによ
って、外部よりチェック可能となり、異常発生時の保
守、点検が迅速に行えるという効果の他、ロック機構に
よってＩＣ固定棒３の自然下降も阻止できるという、従
来にない優れた効果を奏するＩＣ検査用治具を提供する
ことができる。
つ、作用するので、これによると、ＩＣを所定試験位置
に固定すると同時に冷却液循環路を開放させるととも
に、ＩＣ固定手段をＩＣより離反させた位置で冷却液迂
回路が開放される構成としたから、常時冷却水を供給す
るように設定しておけば、ＩＣの交換に際して冷却水の
供給を停止させる必要がないから、従来のような冷却水
の流し忘れ要因を一掃することができ、これによってＩ
Ｃの異常加熱を防ぐことができるという効果がある。ま
た、冷却水の流通状態を確認する手段を設けたことによ
って、外部よりチェック可能となり、異常発生時の保
守、点検が迅速に行えるという効果の他、ロック機構に
よってＩＣ固定棒３の自然下降も阻止できるという、従
来にない優れた効果を奏するＩＣ検査用治具を提供する
ことができる。
【図１】本発明の第１の実施例を示す断面図である。
【図２】本発明の第２の実施例を示す断面図である。
【図３】図２の変形例を示す断面図である。
【図４】本発明の第３の実施例におけるロック機構を説
明するための平面図である。
明するための平面図である。
【図５】図４の側面図である。
Ａ 冷却水循環路 Ｂ 冷却水迂回路 ３ ＩＣ固定手段としてのＩＣ固定棒 ５Ｃ ロック機構を構成するスリット ６ ＩＣ ２２ 確認手段を構成するランプ ２５ 確認手段を構成する窓 ２６ 試験機
Claims (3)
- 【請求項１】 ＩＣと試験機とを電気的に接続して所定
の試験を行うＩＣ試験用治具において、前記ＩＣを固定
するＩＣ固定手段を軸方向移動可能に設けるとともに、
このＩＣ固定手段の移動により切換られる冷却液循環路
および冷却液迂回路を設け、前記固定手段がＩＣを固定
した状態で冷却液循環路が開放される一方、固定手段が
ＩＣより離反した所定位置で冷却液迂回路が開放される
ことを特徴とするＩＣ試験用治具。 - 【請求項２】 前記ＩＣの近傍位置には、冷却液循環路
に冷却液が流通しているかどうかを外部より視認可能な
確認手段が設けられていることを特徴とする前記請求項
１記載のＩＣ試験用治具。 - 【請求項３】 前記固定手段がＩＣより離反した所定位
置で当該固定手段の軸方向移動を規制するロック機構が
設けられていることを特徴とする前記請求項１記載のＩ
Ｃ試験用治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4188702A JPH063408A (ja) | 1992-06-23 | 1992-06-23 | Ｉｃ試験用治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4188702A JPH063408A (ja) | 1992-06-23 | 1992-06-23 | Ｉｃ試験用治具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH063408A true JPH063408A (ja) | 1994-01-11 |
Family
ID=16228321
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4188702A Withdrawn JPH063408A (ja) | 1992-06-23 | 1992-06-23 | Ｉｃ試験用治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH063408A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9446336B2 (en) | 2013-02-06 | 2016-09-20 | Kx Technologies Llc | Dual cartridge filter stabilizer |
| CN112180236A (zh) * | 2020-09-23 | 2021-01-05 | 肖谷林 | 一种用于集成电路板电子元件的检测装置 |
| US11243136B2 (en) | 2017-02-22 | 2022-02-08 | Mitsubishi Heavy Industries Machinery Systems, Ltd. | Rotating body load measuring device |
-
1992
- 1992-06-23 JP JP4188702A patent/JPH063408A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9446336B2 (en) | 2013-02-06 | 2016-09-20 | Kx Technologies Llc | Dual cartridge filter stabilizer |
| US11243136B2 (en) | 2017-02-22 | 2022-02-08 | Mitsubishi Heavy Industries Machinery Systems, Ltd. | Rotating body load measuring device |
| CN112180236A (zh) * | 2020-09-23 | 2021-01-05 | 肖谷林 | 一种用于集成电路板电子元件的检测装置 |
| CN112180236B (zh) * | 2020-09-23 | 2023-08-29 | 深圳市比邻芯科技有限责任公司 | 一种用于集成电路板电子元件的检测装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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