JPH0634113B2 - 放射線像変換パネル - Google Patents

放射線像変換パネル

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JPH0634113B2
JPH0634113B2 JP1155886A JP1155886A JPH0634113B2 JP H0634113 B2 JPH0634113 B2 JP H0634113B2 JP 1155886 A JP1155886 A JP 1155886A JP 1155886 A JP1155886 A JP 1155886A JP H0634113 B2 JPH0634113 B2 JP H0634113B2
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哲 荒川
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Description

【発明の詳細な説明】 [発明の分野] 本発明は、輝尽性蛍光体を利用する放射線像変換方法に
用いられる放射線像変換パネルに関するものである。
[発明の技術的背景] 放射線像を画像として得る方法として、従来より銀塩感
光材料からなる乳剤層を有する放射線写真フィルムと増
感紙との組合わせを用いる、いわゆる放射線写真法が利
用されている。最近、上記放射線写真法に代る方法の一
つとして、たとえば特開昭55−12145号公報など
に記載されているような、輝尽性蛍光体を用いる放射線
像変換方法が注目されるようになった。放射線像変換方
法は、輝尽性蛍光体を含有する放射線像変換パネル(蓄
積性蛍光体シート)を利用するもので、被写体を透過し
た放射線、あるいは被検体から発せられた放射線を該パ
ネルの輝尽性蛍光体に吸収させ、そののちに輝尽性蛍光
体を可視光線、赤外線などの電磁波(励起光)で時系列
的に励起することにより、該輝尽性蛍光体中に蓄積され
ている放射線エネルギーを蛍光(輝尽発光)として放出
させ、この蛍光を光電的に読み取って電気信号を得、得
られた電気信号を画像化するものである。
この放射線像変換方法によれば、従来の放射線写真法に
よる場合に比較して、はるかに少ない被曝線量で情報量
の豊富な放射線画像を得ることができるという利点があ
る。従って、この方法は、特に医療診断を目的とするX
線撮影等の直接医療放射線撮影において利用価値の非常
に高いものである。
放射線像変換方法に用いられる放射線像変換パネルは、
基本構造として、支持体とその片面に設けられた蛍光体
層とからなるものである。なお、蛍光体層の支持体とは
反対側の表面(支持体に面していない側の表面)には一
般に、高分子物質からなる透明な保護膜が設けられてい
て、蛍光体層を化学的な変質あるいは物理的な衝撃から
保護している。
蛍光体層は、輝尽性蛍光体とこれを分散状態で含有支持
する結合剤とからなるものであり、輝尽性蛍光体は、X
線などの放射線を吸収したのち、可視光線および赤外線
などの電磁波(励起光)の照射を受けると発光(輝尽発
光)を示す性質を有するものである。従って、被写体を
透過した、あるいは被検体から発せられた放射線は、そ
の放射線量に比例して放射線像変換パネルの蛍光体層に
吸収され、放射線像変換パネル上には被写体あるいは被
検体の放射線像が放射線エネルギーの蓄積像として形成
される。この蓄積像は、上記電磁波で時系列的に励起す
ることにより輝尽発光として放射させることができ、こ
の輝尽発光を光電的に読み取って電気信号に変換するこ
とにより放射線エネルギーの蓄積像を画像化することが
可能となる。
放射線像変換方法は上述のように非常に有利な画像形成
方法であるが、この方法に用いられる放射線像変換パネ
ルも従来の放射線写真法に用いられる増感紙と同様に、
高感度であって、かつ画質(鮮鋭度、粒状性など)の優
れた画像を与えるものであることが望まれる。特に、放
射線像変換方法を医療用放射線撮影に適用するに際して
は、人体の被曝線量を軽減させ、かつより多くの情報を
得る必要から、該方法に用いられる放射線像変換パネル
は感度ができるだけ高いことが望ましい。
放射線像変換パネルの感度は、基本的にはパネルに含有
される輝尽性蛍光体の輝尽発光量によって決まり、この
発光量は蛍光体自体の発光特性に依存するのみならず、
輝尽発光を生じさせるための励起光が充分な強度を有し
ない場合にはその強度によっても異なるものである。
放射線像変換方法において放射線像変換パネルの読出し
は、たとえば励起光としてレーザー光等を用いてパネル
表面を走査することにより行なわれているが、励起光の
一部はパネル中、特に蛍光体層中で散乱されたのち輝尽
性蛍光体を励起することなく再び該パネル表面から放出
されるために、蛍光体が十分に励起されず、従って励起
光の利用効率が必ずしも高いとは言えなかった。特に、
励起光の光源として出力の小さいレーザーを用いる場合
には、励起光の利用効率を高めてパネルの感度を向上さ
せることが望まれる。
[発明の要旨] 本発明は、感度の向上した放射線像変換パネルを提供す
ることをその目的とするものである。
上記の目的は、支持体、およびこの支持体上に輝尽性蛍
光体からなる蛍光体層を有する(但し、蛍光体層の上に
保護層を有しない)放射線像変換パネルにおいて、該蛍
光体層の支持体とは反対側の表面に、該輝尽性蛍光体の
励起波長における光透過率が0〜5°の範囲の光の入射
角度に対して70%以上であり、かつ該励起波長におけ
る光反射率が30°以上の光の入射角度に対して60%
以上である多層膜フィルタが設けられていることを特徴
とする本発明の放射線像変換パネルにより達成すること
ができる。
なお、本明細書において入射角度とは、入射面の垂線か
らの角度を意味する。従って、入射角度は0〜90°の
範囲をとりうる。
本発明は、放射線像変換パネルの蛍光体層上に励起波長
について入射角度依存性のある光透過率および光反射率
を有する多層膜フィルタを設けることにより、励起光の
利用効率を高めてパネルの感度の顕著な向上を実現する
ものである。
通常、放射線像変換パネルの読出しは、パネル表面(パ
ネルが支持体と蛍光体層とから構成されている場合には
蛍光体層の支持体が設けられている側とは反対側の表
面、さらに蛍光体層上に保護膜が設けられている場合に
は保護膜表面を意味する)から行なわれており、読出し
の際にレーザー光等の励起光はパネル表面にほぼ垂直に
照射される。それに対し、パネル中で散乱された励起光
は大部分が角度をもって入射方向とは逆方向のパネル表
面に向かう。
本発明の放射線像変換パネルにおいては、励起光の入射
角度が小さい(入射面に垂直に近い)場合には励起光を
透過し、逆に入射角度が大きい(斜め入射)場合には励
起光を透過しないで反射するような入射角度に依存した
透過および反射特性を有する多層膜フィルタが、蛍光体
層の表面に設けられている。この多層膜フィルタによ
り、パネル表面に照射された励起光は透過されるが、パ
ネル中で散乱されて角度をもった励起光は透過されるこ
となく該フィルタ表面で反射されて、再び蛍光体層に向
かうことになる。このために、パネル中で散乱された励
起光が輝尽性蛍光体の励起に寄与することなく外部に逸
脱するような励起光の損失を防ぐことができ、励起され
る輝尽性蛍光体に蓄積された情報(トラップされた電
子)の比率を高めることができる。換言すれば、励起光
をパネル内に閉じ込めることにより、蛍光体の輝尽発光
量を大幅に増大してパネルの感度を従来よりも顕著に高
めることができるものである。
またこれにより、強度の弱い励起光の照射であってもパ
ネル中の蛍光体の輝尽発光量を多く保つことができ、パ
ネルを高感度に維持することができる。特に、励起光の
光源が出力の小さなものである場合、あるいは読出しの
設定条件等から励起光の強度を高めることができない場
合において、放射線像変換パネルの励起光に対する利用
効率が増大することは大きな利点といえる。
従って、本発明のパネルを使用することによって励起光
源および読出し系についての制約を緩和することができ
るから、パネルの読出しに用いられる放射線像変換装置
について小型化、高速化などの改良が容易となり、ひい
ては放射線像変換方法の適用範囲を広げることが可能と
なる。
更に、多層膜フィルタを弗化マグネシウムなどの弗化物
を用いて蛍光体層の表面に設けた場合には、この多層膜
フィルタは比較的高い硬度を有するために保護膜として
の機能も有する。従って、多層膜フィルタは放射線像変
換パネルの防傷性を一段と向上させることができる。通
常、放射線像変換パネルから放出される蛍光の検出(即
ち、画像情報の読出し)は励起光の照射と同じ側から行
なわれており、従ってパネル表面の防傷性の向上により
パネル表面の傷による画質の劣化を防ぐことが可能とな
る。
[発明の構成] 以上述べたような好ましい特性を持った本発明の放射線
像変換パネルの具体的な態様を第1図に示す。
第1図は、本発明に係る放射線像変換パネルの層構成を
示す断面図である。第1図において、パネルは支持体1
および蛍光体層2からなり、多層膜フィルタ3は蛍光体
層の表面(支持体の設けられている側とは反対側の表
面)に設けられている。
ただし、本発明の放射線像変換パネルは上記第1図に示
した態様に限定されるものではなく、多層膜フィルタが
蛍光体層の支持体とは反対側の表面に設けられていれば
よく、たとえば、上記の支持体と蛍光体層との間には下
塗層、中間層等が設けられていてもよい。
本発明の放射線像変換パネルは、たとえば次に述べるよ
うな方法により製造することができる。
本発明において使用する支持体は、従来の放射線写真法
における増感紙の支持体として用いられている各種の材
料あるいは放射線像変換パネルの支持体として公知の各
種の材料から任意に選ぶことができる。そのような材料
の例としては、ガラス板、セルロースアセテート、ポリ
エステル、ポリエチレンテレフタレート、ポリアミド、
ポリイミド、トリアセテート、ポリカーボネート等のプ
ラスチック物質のフィルム、アルミニウム箔、アルミニ
ウム合金箔などの金属シート、通常の紙、バライタ紙、
レジンコート紙、二酸化チタンなどの顔料を含有するピ
グメント紙、ポリビニルアルコールなどをサイジングし
た紙などを挙げることができる。ただし、放射線像変換
パネルの情報記録材料としての特性および取扱いなどを
考慮した場合、本発明において特に好ましい支持体の材
料はプラスチックフィルムおよびガラス板である。この
プラスチックフィルムにはカーボンブラックなどの光吸
収性物質が練り込まれていてもよく、あるいは二酸化チ
タンなどの光反射性物質が練り込まれていてもよい。前
者は高鮮鋭度タイプの放射線像変換パネルに適した支持
体であり、後者は高感度タイプの放射線像変換パネルに
適した支持体である。
公知の放射線像変換パネルにおいては、支持体と蛍光体
層の結合を強化するため、あるいは放射線像変換パネル
としての感度もしくは画質(鮮鋭度、粒状性)を向上さ
せるために、蛍光体層が設けられる側の支持体表面にゼ
ラチンなどの高分子物質を塗布して接着性付与層とした
り、あるいは二酸化チタンなどの光反射性物質からなる
光反射層、もしくはカーボンブラックなどの光吸収性物
質からなる光吸収層を設けることも行なわれている。本
発明で用いられる支持体についても、これらの各種の層
を設けることができる。
さらに、特開昭58−200200号公報に記載されて
いるように、画像の鮮鋭度を向上させる目的で、支持体
の蛍光体層側の表面(支持体の蛍光体層側の表面に接着
性付与層、光反射層あるいは光吸収層などが設けられて
いる場合には、その表面を意味する)には微細な凹凸が
均質に形成されていてもよい。
次に、支持体の上には蛍光体層が形成される。蛍光体層
は、輝尽性蛍光体からなる層である。
輝尽性蛍光体は、先に述べたように放射線を照射した
後、励起光を照射すると輝尽発光を示す蛍光体である
が、実用的な面からは波長が400〜900nmの範囲に
ある励起光によって300〜500nmの波長範囲の輝尽
発光を示す蛍光体であることが望ましい。本発明の放射
線像変換パネルに用いられる輝尽性蛍光体の例として
は、 米国特許第3,859,527号明細書に記載されてい
るSrS:Ce,Sm、Srs:Eu,Sm、Th
:Er、およびLaS:Eu,Sm、 特開昭55−12142号公報に記載されているZn
S:Cu,Pb、BaO・xA:Eu(ただ
し、0.8≦x≦10)、および、MIIO・xSi
:A(ただし、MIIはMg、Ca、Sr、Zn、C
d、またはBaであり、AはCe、Tb、Eu、Tm、
Pb、T、Bi、またはMnであり、xは、0.5≦
x≦2.5である)、 特開昭55−12143号公報に記載されている(Ba
1-x-y,Mg,Ca)FX:aEu2+(ただし、X
はCおよびBrのうちの少なくとも一つであり、xお
よびyは、0<x+y≦0.6、かつxy≠0であり、
aは、10-6≦a≦5×10-2である)、 特開昭55−12144号公報に記載されているLnO
X:xA(ただし、LnはLa、Y、Gd、およびLu
のうちの少なくとも一つ、XはCおよびBrのうちの
少なくとも一つ、AはCeおよびTbのうちの少なくと
も一つ、そして、xは、0<x<0.1である)、 特開昭55−12145号公報に記載されている(Ba
1-x,M2+ )FX:yA(ただし、M2+はMg、C
a、Sr、Zn、およびCdのうち少なくとも一つ、X
はC、Br、およびIのうちの少なくとも一つ、Aは
Eu、Tb、Ce、Tm、Dy、Pr、Ho、Nd、Y
b、およびErのうちの少なくとも一つ、そしてxは、
0≦x≦0.6、yは、0≦y≦0.2である)、 特開昭55−160078号公報に記載されているMII
FX・xA:yLn[ただし、MIIはBa、Ca、S
r、Mg、Zn、およびCdのうちの少なくとも一種、
AはBeO、MgO、CaO、SrO、BaO、Zn
O、A、Y、La、In
SiO、TiO、ZrO、GeO、SnO
Nb、Ta、およびThOのうちの少な
くとも一種、LnはEu、Tb、Ce、Tm、Dy、P
r、Ho、Nd、Yb、Er、Sm、およびGdのうち
の少なくとも一種、XはC、Br、およびIのうちの
少なくとも一種であり、xおよびyはそれぞれ5×10
-5≦x≦0.5、および0<y≦0.2である]の組成
式で表わされる蛍光体、 特開昭56−116777号公報に記載されている(B
1-x,MII )F・aBaX:yEu,zA[た
だし、MIIはベリリウム、マグネシウム、カルシウム、
ストロンチウム、亜鉛、およびカドミウムのうち少なく
とも一種、Xは塩素、臭素、および沃素のうちの少なく
とも一種、Aはジルコニウムおよびスカンジウムのうち
の少なくとも一種であり、a、x、y、およびzはそれ
ぞれ0.5≦a≦1.25、0≦x≦1、10-6≦y≦
2×10-1、および0<z≦10-2である]の組成式で
表わされる蛍光体、 特開昭57−23673号公報に記載されている(Ba
1-x,MII )F・aBaX:yEu,zB[ただ
し、MIIはベリリウム、マグネシウム、カルシウム、ス
トロンチウム、亜鉛、およびカドミウムのうちの少なく
とも一種、Xは塩素、臭素、および沃素のうちの少なく
とも一種であり、a、x、y、およびzはそれぞれ0.
5≦a≦1.25、0≦x≦1、10-6≦y≦2×10
-1、および0<z≦2×10-1である]の組成式で表わ
される蛍光体、 特開昭57−23675号公報に記載されている(Ba
1-x,MII )F・aBaX:yEu,zA[ただ
し、MIIはベリリウム、マグネシウム、カルシウム、ス
トロンチウム、亜鉛、およびカドミウムのうちの少なく
とも一種、Xは塩素、臭素、および沃素のうちの少なく
とも一種であり、Aは砒素および硅素のうちの少なくと
も一種であり、a、x、y、およびzはそれぞれ0.5
≦a≦1.25、0≦x≦1、10-6≦y≦2×1
-1、および0<z≦5×10-1である]の組成式で表
わされる蛍光体、 特開昭58−69281号公報に記載されているMIII
OX:xCe[ただし、MIIIはPr、Nd、Pm、S
m、Eu、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、およ
びBiからなる群より選ばれる少なくとも一種の三価金
属であり、XはCおよびBrのうちのいずれか一方あ
るいはその両方であり、xは0<x<0.1である]の
組成式で表わされる蛍光体、 特開昭58−206678号公報に記載されているBa
1-xx/2x/2FX:yEu2+[ただし、MはLi、N
a、K、Rb、およびCsからなる群より選ばれる少な
くとも一種のアルカリ金属を表わし;Lは、Sc、Y、
La、Ce、Pr、Nd、Pm,Sm、Gd、Tb、D
y、Ho、Er、Tm、Yb、Lu、A、Ga、I
n、およびTからなる群より選ばれる少なくとも一種
の三価金属を表わし;Xは、C、Br、およびIから
なる群より選ばれる少なくとも一種のハロゲンを表わ
し;そして、xは10-2≦x≦0.5、yは0<y≦
0.1である]の組成式で表わされる蛍光体、 特開昭59−27980号公報に記載されているBaF
X・xA:yEu2+[ただし、Xは、C、Br、およ
びIからなる群より選ばれる少なくとも一種のハロゲン
であり;Aは、テトラフルオロホウ酸化合物の焼成物で
あり;そして、xは10-6≦x≦0.1、yは0<y≦
0.1である]の組成式で表わされる蛍光体、 特開昭59−47289号公報に記載されているBaF
X・xA:yEu2+[ただし、Xは、C、Br、およ
びIからなる群より選ばれる少なくとも一種のハロゲン
であり;Aは、ヘキサフルオロケイ酸、ヘキサフルオロ
チタン酸およびヘキサフルオロジルコニウム酸の一価も
しくは二価金属の塩からなるヘキサフルオロ化合物群よ
り選ばれる少なくとも一種の化合物の焼成物であり;そ
して、xは10-6≦x≦0.1、yは0<y≦0.1で
ある]の組成式で表わされる蛍光体、 特開昭59−56479号公報に記載されているBaF
X・xNaX′:aEu2+[ただし、XおよびX′は、
それぞれC、Br、およびIのうちの少なくとも一種
であり、xおよびaはそれぞれ0<x≦2、および0<
a≦0.2である]の組成式で表わされる蛍光体、 特開昭59−56480号公報に記載されているMII
X・xNaX′:yEu2+:zA[ただし、MIIは、B
a、Sr、およびCaからなる群より選ばれる少なくと
も一種のアルカリ土類金属であり;XおよびX′は、そ
れぞれC、Br、およびIからなる群より選ばれる少
なくとも一種のハロゲンであり;Aは、V、Cr、M
n、Fe、Co、およびNiより選ばれる少なくとも一
種の遷移金属であり;そして、xは0<x≦2、yは0
<y≦0.2、およびzは0<z≦10-2である]の組
成式で表わされる蛍光体、 特開昭59−75200号公報に記載されているMII
X・aMIX′:bM′IIX″・cMIII・x
A:yEu2+[ただし、MIIは、Ba、Sr、およびC
aからなる群より選ばれる少なくとも一種のアルカリ土
類金属であり;MはLi、Na、K、Rb、およびC
sからなる群より選ばれる少なくとも一種のアルカリ金
属であり;M′IIはBeおよびMgからなる群より選ば
れる少なくとも一種の二価金属であり;MIIIはA、
Ga、In、およびTからなる群より選ばれる少なく
とも一種の三価金属であり;Aは金属酸化物であり;Z
はC、Br、およびIからなる群より選ばれる少なく
とも一種のハロゲンであり;X′、X″、およびX
は、F、C、Br、およびIからなる群より選ばれる
少なくとも一種のハロゲンであり;そして、aは0≦a
≦2、bは0≦b≦10-2、cは0≦c≦10-2、かつ
a+b+c≧10-6であり;xは0<x≦0.5、yは
0<y≦0.2である]の組成式で表わされる蛍光体、 特開昭60−84381号公報に記載されているMII
・aMIIX′:xEu2+[ただし、MIIはBa、S
rおよびCaからなる群より選ばれる少なくとも一種の
アルカリ土類金属であり;XおよびX′はC、Brお
よびIからなる群より選ばれる少なくとも一種のハロゲ
ンであって、かつX≠X′であり;そしてaは0.1≦
a≦10.0、xは0<x≦0.2である]の組成式で
表わされる輝尽性蛍光体、 特開昭60−101173号公報に記載されているMII
FX・aMX′:xEu2+[ただし、MIIはBa、S
rおよびCaからなる群より選ばれる少なくとも一種の
アルカリ土類金属であり;MはRbおよびCsからな
る群より選ばれる少なくとも一種のアルカリ金属であ
り;XはC、BrおよびIからなる群より選ばれる少
なくとも一種のハロゲンであり;X′はF,C、Br
およびIからなる群より選ばれる少なくとも一種のハロ
ゲンであり;そしてaおよびxはそれぞれ0≦a≦4.
0および0<x≦0.2である]の組成式で表わされる
輝尽性蛍光体、 本出願人による特願昭60−70484号明細書に記載
されているMX:xBi[ただし、MはRbおよび
Csからなる群より選ばれる少なくとも一種のアルカリ
金属であり;XはC、BrおよびIからなる群より選
ばれる少なくとも一種のハロゲンであり;そしてxは0
<x≦0.2の範囲の数値である]の組成式で表わされ
る輝尽性蛍光体、 などを挙げることができる。
また、上記特開昭60−84381号公報に記載されて
いるMII・aMIIX′:xEu2+輝尽性蛍光体に
は、以下に示すような添加物がMII・aMIIX′
1モル当り以下の割合で含まれていてもよい。
特開昭60−166379号公報に記載されているbM
X″(ただし、MはRbおよびCsからなる群より
選ばれる少なくとも一種のアルカリ金属であり、X″は
F、C、BrおよびIからなる群より選ばれる少なく
とも一種のハロゲンであり、そしてbは0<b≦10.
0である);特開昭60−221483号公報に記載さ
れているbKX″・cMgX・dMIIIX′
(ただし、MIIIはSc、Y、La、GdおよびLu
からなる群より選ばれる少なくとも一種の三価金属であ
り、X″、XおよびX′はいずれもF、C、Br
およびIからなる群より選ばれる少なくとも一種のハロ
ゲンであり、そしてb、cおよびdはそれぞれ、0≦b
≦2.0、0≦c≦2.0、0≦d≦2.0であって、
かつ2×10-5≦b+c+dである);本出願人による
特願昭59−84356号明細書に記載されているyB
(ただし、yは2×10-4≦y≦2×10-1である);
特願昭59−84358号明細書に記載されているbA
(ただし、AはSiOおよびPからなる群より
選ばれる少なくとも一種の酸化物であり、そしてbは1
-4≦b≦2×10-1である);特願昭59−2404
52号明細書に記載されているbSiO(ただし、bは
0≦b≦3×10-2である);特願昭59−24045
4号明細書に記載されているbSnX″(ただし、
X″はF、C、BrおよびIからなる群より選ばれる
少なくとも一種のハロゲンであり、そしてbは0<b≦
10-3である);特願昭60−78033号明細書に記
載されているbCsX″・ccSnX(ただし、
X″およびXはそれぞれF、C、BrおよびIから
なる群より選ばれる少なくとも一種のハロゲンであり、
そしてbおよびcはそれぞれ、0<b≦10.0および
10-6≦c≦2×10-2である);および特願昭60−
78035号明細書に記載されているbCsX″・yL
3+(ただし、X″はF、C、BrおよびIからなる
群より選ばれる少なくとも一種のハロゲンであり、Ln
はSc、Y、Ce、Pr、Nd、Sm、Gd、Tb、D
y、Ho、Er,Tm、YbおよびLuからなる群より
選ばれる少なくとも一種の希土類元素であり、そしてb
およびyはそれぞれ、0<b≦10.0および10-6
y≦1.8×10-1である)。
上記の輝尽性蛍光体のうちで、二価ユーロピウム賦活ア
ルカリ土類金属ハロゲン化物系蛍光体および希土類元素
賦活希土類オキシハロゲン化物系蛍光体は高輝度の輝尽
発光を示すので特に好ましい。ただし、本発明に用いら
れる輝尽性蛍光体は上述の蛍光体に限られるものではな
く、放射線を照射したのちに励起光を照射した場合に輝
尽発光を示す蛍光体であればいかなるものであってもよ
い。
蛍光体層は、たとえば、上記輝尽性蛍光体を真空蒸着な
どの蒸着法により支持体上に形成することができる。
真空蒸着法は、第2図に示されるような真空蒸着装置を
用いて行なわれる。
第2図は、真空蒸着装置の代表例を示す構成図である。
第2図において、真空蒸着装置20は、真空蒸着を実行
する蒸着システム21を内蔵して装置本体部を構成する
真空容器22と、これを真空にするための排気システム
23とからなる。また、排気システム23は油拡散ポン
プ24、液体窒素冷却コールドトラップ25および油回
転ポンプ26からなる。そして排気システム23は、第
2図に示すように主バルブ(MV)及びバルブ(V
)で装置本体部に連結されてる。なお、蒸着システ
ム21には、蒸発源21aおよび基板加熱装置21bが
含まれている。
まず、輝尽性蛍光体の粉末を蒸着システム21に備えら
れている蒸発源21aであるモリブデンボートに導入す
る。また、被蒸着材料である基板(支持体)も蒸気シス
テム21の所定の位置に同時に装着する。そして、排気
システム23を駆動させて真空容器22内を所定の蒸気
圧(10-6Torr以下)に設定して蛍光体の蒸着を行な
う。
蒸着は、基板の温度を予め設定温度(たとえば、温度範
囲約25〜400℃)になるように加熱したのち排気シ
ステム23を駆動させ、また、モリブデンボートを加熱
させることにより行なわれる。蛍光体粉末の蒸着速度は
通常、約200〜4400Å/min.の範囲で行なわれ
る。
このようにして、基板上に輝尽性蛍光体からなる蒸着膜
が形成される。
上記蒸着法を実施するに際し、通常前もって、基板(支
持体)の洗浄が行なわれる。基板の洗浄は、一般に用い
られている方法を本発明においても利用することができ
る。例えば、超音波洗浄法、蒸気洗浄法、あるいはこれ
らを組み合わせた方法などを挙げることができる。ま
た、これらの方法において適宜洗剤、薬品、洗剤などを
用いてもよい。
なお、具体的に真空蒸着法による蛍光体層の形成は、ピ
ー.エフ.カルシアとエル.エッチ.ブリックスナー
(P.F.CARCIA AND L.H.BRIXNER)が行った方法(ELECTR
ONICS AND OPTICS,Thin Solid Film,115(1984)89-95)
を用いることにより行なうことができる。
蛍光体層(蒸着膜)の層厚は、目的とする放射線像変換
パネルの特性、蛍光体の種類などによって異なるが、通
常は10μm乃至500μmとする。ただし、この層厚
は20乃至250μmとするのが好ましい。
上記蒸着法により形成された蛍光体層の表面(支持体と
は反対側の表面)は優れた表面平滑性を有するため、後
述する多層膜フィルタの形成に際して極めて有利であ
る。また、従来のように結合剤を用いずに蛍光体層を形
成することができるため、励起光による単位体積当りの
発光量を高めることができ、全体に蛍光体層の層厚を薄
くできるとの利点がある。またこのことにより、感度の
低下を招くことなく画質を向上させることができる。
次に、蛍光体層の支持体に接する側とは反対側の表面に
は、本発明の特徴的な要件である多層膜フィルタが設け
られる。
本発明において多層膜フィルタは、蛍光体層に含まれる
輝尽性蛍光体を励起するための励起光の入射角度が0〜
5°の範囲にある場合に70%以上の光透過率を有し、
かつ励起光の入射角度が30°以上である場合に60%
以上の光反射率を有するものである。好ましくは、励起
光の入射角度が0〜5°の範囲にある場合に80%以上
の光透過率を有し、かつ励起光の入射角度が30°以上
である場合に70%以上の光反射率を有するものであ
る。すなわち、多層膜フィルタは、少なくとも輝尽性蛍
光体の励起波長領域に含まれる一つの波長に対してこの
ような角度依存の透過および反射特性を有している必要
がある。好ましくは、蛍光体の励起スペクトルのピーク
付近の波長に対して上記透過および反射特性を満足する
ものである。
一例として、市販の放射線像変換パネルには通常、二価
ユーロピウム賦活弗化ハロゲン化バリウム系蛍光体が使
用されており、励起光としてHe−Neレーザー光(波
長:633nm)が用いられている。従って、蛍光体層が
この輝尽性蛍光体を含有する場合には、多層膜フィルタ
は633nmの励起波長に対する光透過率が上記のような
角度依存性を有するものであればよい。
また通常、輝尽発光光の検出も蛍光体層側の表面(支持
体とは反対側の表面)から行なわれるから、パネルの感
度の点から、多層膜フィルタは蛍光体の輝尽発光波長に
おける光透過率が角度に関係なく高いのが好ましい。一
般に、入射角度が0〜40°の範囲にある場合に発光の
ピーク波長における透過率が60%以上であるのが好ま
しく、より好ましくは80%以上である。従って、上記
二価ユーロピウム賦活弗化ハロゲン化バリウム系蛍光体
については、約390nmのピーク波長に対して上記のよ
うな透過率を有することが望ましい。
多層膜フィルタは、透過スペクトルにおける透過帯の幅
が広いショートパスフィルタであってもよいし、あるい
は透過帯の幅が極めて狭いバンドパスフィルタであって
もよい。
本発明に用いられる多層膜フィルタの透過スペクトル、
反射スペクトルおよびその角度依存性の例を第3図〜第
6図にそれぞれ示す。
第3図は、ショートパスフィルタの入射角度0°、30
°および45°それぞれにおける透過スペクトルであ
る。
第4図は、ショートパスフィルタについて390nmおよ
び633nmにおける入射角度と透過率との関係および入
射角度と反射率との関係をそれぞれ示すグラフである。
第4図において、633nmは上記二価ユーロピウム賦活
弗化ハロゲン化バリウム系蛍光体の励起波長に相当し、
390nmは輝尽発光のピーク波長に相当する。
第5図は、バンドパスフィルタの入射角度0°における
透過スペクトルである。
第6図は、バンドパスフィルタについて390nmおよび
633nmにおける入射角度と透過率との関係および入射
角度と反射率との関係をそれぞれ示すグラフである。
多層膜フィルタは、屈折率の異なる二種以上の物質が光
の波長の1/4程度の厚さで逐次積層されたものである。
多層膜フィルタには公知の光学薄膜に使用されている各
種の物質を用いることができるが、具体的にはSi
、MgFなどの低屈折率物質およびTiO、Z
rO、ZnSなどの高屈折率物質を挙げることができ
る。
多層膜フィルタは、たとえば上記物質からなる薄膜を真
空蒸着、スパッタリング、イオンプレーティングなどの
方法によって、蛍光体層の表面に数層から数十層に積層
して形成することにより設けることができる。特に、蛍
光体層の表面に多層膜フィルタを真空蒸着法により形成
するには、蛍光体層も上述のように真空蒸着法によって
形成されているのが都合がよい。蛍光体層が蒸着層であ
ることにより、蛍光体層表面の平滑性を高めることがで
きる。また、蛍光体層および多層膜フィルタを蒸着法に
より、同一真空系内で連続して形成することができるた
め、パネルの製造工程を簡略化できるとの利点がある。
また、多層膜フィルタの製造に際して、使用する物質
(屈折率)および各層の膜厚を制御することにより、使
用される輝尽性蛍光体に合わせて上記の特性を有する種
々のフィルタを得ることができる。一般に、多層膜フィ
ルタ全体の膜厚は約0.1乃至10μmの範囲にある。
上記物質から形成された多層膜フィルタ自体には、比較
的高い硬度が備えられるため、蛍光体層を物理的および
化学的に保護する保護膜としての機能をも有する。
本発明の放射線像変換パネルは、特開昭55−1464
47号公報に記載されているように、同様の目的でその
蛍光体層中に白色粉体が分散されていてもよい。
次に本発明の実施例および比較例を記載する。ただし、
これらの各例は本発明を制限するものではない。
[実施例1] 透明なガラス板(支持体、厚み:1mm)上にアルミニウ
ムを真空蒸着することにより、アルミニウム蒸着層を約
2μmの層厚で形成した。
次いで、ガラス板のアルミニウム蒸着層の上に、粉末状
の二価ユーロピウム賦活弗化塩化バリウム蛍光体(Ba
FC:0.001Eu+2)を蒸着することにより、蛍光体
層の蒸着膜を形成した。蒸着操作は、まず、真空容器内
(蒸気圧約2×10-7Torr)のモリブデンボートに上記
蛍光体粉末を導入して、加熱して行なった。一方、被蒸
着材料であるガラス板も、その表面(アルミニウム蒸着
層の表面)を予め超音波洗浄などを施すことにより洗浄
したのち、該装置に装着して単色石英灯を用い加熱(加
熱温度250℃)した。
このようにしてガラス板のアルミニウム蒸着層の上に3
0μmの層厚を有する蛍光体層を形成した。
次に、上記蛍光体層上に真空蒸着することにより、多層
膜フィルタ(ショートパスフィルタ)を形成した。
多層膜フィルタは、真空容器内の蛍光体層が設けられた
ガラス板を約350℃に加熱し、TiOおよびSiO
を膜厚を制御しながら交互に繰り返し真空蒸着するこ
とにより、蛍光体層上に約2μm(合計20層)の総膜
厚で作成した。
得られた多層膜フィルタは第4図にそれぞれ示した透過
および反射特性を有するショートパスフィルタであっ
た。
このようにして、支持体、アルミニウム蒸着層、蛍光体
層および多層膜フィルタから構成された放射線像変換パ
ネルを製造した。
[実施例2] 実施例1において、蛍光体層の上に真空蒸着することに
より、第6図にそれぞれ示した透過および反射特性を有
する多層膜フィルタ(バンドパスフィルタ)を約2μm
の膜厚で設けること以外は、実施例1の方法と同様の操
作を行なうことにより、支持体、アルミニウム蒸着層、
蛍光体層および多層膜フィルタから構成された放射線像
変換パネルを製造した。
[比較例1] 実施例1において、多層膜フィルタを設けないこと以外
は実施例1の方法と同様の操作を行なうことにより、支
持体、アルミニウム蒸着層および蛍光体層から構成され
た放射線像変換パネルを製造した。
次に、各放射線像変換パネルについて、以下の感度試験
を行なうことにより評価を行なった。
(1)感度試験 放射線像変換パネルに、管電圧80KVpのX線を照射し
たのち、He−Neレーザー光(波長:633nm)で励
起した感度を測定した。
得られた結果を第1表にまとめて示す。
第1表に示された結果から明らかなように、本発明に係
る多層膜フィルタが設けられた放射線像変換パネル(実
施例1および2)は、公知の多層膜フィルタが設けられ
ていない放射線像変換パネル(比較例1)と比較して、
感度が著しく向上した。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明に係る放射線像変換パネルの態様を示
す断面図である。 1:支持体、2:蛍光体層、3:多層膜フィルタ 第2図は、本発明に用いた真空蒸着装置の構成図であ
る。 20:真空蒸着装置、 21:蒸着システム、 21a:蒸発源、 21b:基板加熱装置 22:真空容器 23:排気システム、 24:油拡散ポンプ、 25:液体窒素冷却コールドトラップ、 26:油回転ポンプ、 MV:主バルブ、V、V:バルブ、 第3図は、本発明に用いられるショートパスフィルタの
例について入射角度0°、30°および45°それぞれ
における透過スペクトルを示す図である。 第4図は、上記ショートパスフィルタについて390nm
および633nmにおける透過率および反射率の角度依存
性を示すグラフである。 第5図は、本発明に用いられるバンドパスフィルタの例
について入射角度0°における透過スペクトルを示す図
である。 第6図は、上記バンドパスフィルタについて390nmお
よび633nmにおける透過率および反射率の角度依存性
を示すグラフである。
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭62−63929(JP,A) 特開 昭62−169095(JP,A) 特開 昭62−169096(JP,A) 特開 昭62−169098(JP,A) 特開 昭62−169099(JP,A) 特開 昭62−169100(JP,A) 特開 昭62−182700(JP,A)

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】支持体、およびこの支持体上に輝尽性蛍光
    体からなる蛍光体層を有し、蛍光体層上に保護膜を持た
    ない放射線像変換パネルにおいて、該蛍光体層の支持体
    とは反対側の表面に、該輝尽性蛍光体の励起波長におけ
    る光透過率が0〜5°の範囲の光の入射角度に対して7
    0%以上であり、かつ該励起波長における光反射率が3
    0°以上の光の入射角度に対して60%以上である多層
    膜フィルタが設けられていることを特徴とする放射線像
    変換パネル。
  2. 【請求項2】上記多層膜フィルタの輝尽性蛍光体の励起
    波長における光透過率が0〜5°の範囲の光の入射角度
    に対して80%以上であり、かつ該励起波長における光
    反射率が30°以上の光の入射角度に対して70%以上
    である特許請求の範囲第1項記載の放射線像変換パネ
    ル。
  3. 【請求項3】上記多層膜フィルタの輝尽性蛍光体の輝尽
    発光波長における光透過率が0〜40°の範囲の光の入
    射角度に対して60%以上である特許請求の範囲第1項
    記載の放射線像変換パネル。
  4. 【請求項4】上記多層膜フィルタの輝尽性蛍光体の輝尽
    発光波長における光透過率が0〜40°の範囲の光の入
    射角度に対して80%以上である特許請求の範囲第3項
    記載の放射線像変換パネル。
  5. 【請求項5】上記多層膜フィルタがショートパスフィル
    タもしくはバンドパスフィルタである特許請求の範囲第
    1項記載の放射線像変換パネル。
  6. 【請求項6】上記多層膜フィルタが、SiOおよびM
    gFからなる群より選ばれる少なくとも一種の低屈折
    率物質と、TiO、ZrOおよびZnSからなる群
    より選ばれる少なくとも一種の高屈折率物質からなる特
    許請求の範囲第1項記載の放射線像変換パネル。
  7. 【請求項7】上記多層膜フィルタが真空蒸着により形成
    されたものである特許請求の範囲第1項記載の放射線像
    変換パネル。
  8. 【請求項8】上記輝尽性蛍光体の励起波長が400〜9
    00nmの範囲にある特許請求の範囲第1項記載の放射
    線像変換パネル。
  9. 【請求項9】上記輝尽性蛍光体が二価ユーロピウム賦活
    ハロゲン化物系蛍光体である特許請求の範囲第8項記載
    の放射線像変換パネル。
  10. 【請求項10】上記二価ユーロピウム賦活ハロゲン化物
    系蛍光体が二価ユーロピウム賦活弗化ハロゲン化物系蛍
    光体である特許請求の範囲第9項記載の放射線像変換パ
    ネル。
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