JPH06342109A - 光部品 - Google Patents
光部品Info
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- JPH06342109A JPH06342109A JP13201993A JP13201993A JPH06342109A JP H06342109 A JPH06342109 A JP H06342109A JP 13201993 A JP13201993 A JP 13201993A JP 13201993 A JP13201993 A JP 13201993A JP H06342109 A JPH06342109 A JP H06342109A
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- Japan
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- light
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 漏話レベルが極めて低い光部品を提供する。
【構成】 この光部品は、同一基板上に1本の主導波路
3aとその主導波路から分岐する1本の分岐導波路3b
が形成され、各導波路の分岐点4には、波長λ1の光を
透過し、かつ波長λ2 (λ2 ≠λ1 )の光は反射するフ
ィルタ(I)5が配置され、また、分岐導波路の所望個
所には、波長λ1 の光を阻止し、かつ波長λ2 (λ2 ≠
λ1 )の光は反射するフィルタ(II)7が配置されてい
る。
3aとその主導波路から分岐する1本の分岐導波路3b
が形成され、各導波路の分岐点4には、波長λ1の光を
透過し、かつ波長λ2 (λ2 ≠λ1 )の光は反射するフ
ィルタ(I)5が配置され、また、分岐導波路の所望個
所には、波長λ1 の光を阻止し、かつ波長λ2 (λ2 ≠
λ1 )の光は反射するフィルタ(II)7が配置されてい
る。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は光通信システムや光セン
サシステムに組込まれる光部品に関し、更に詳しくは、
漏話光レベルが極めて低い光部品に関する。
サシステムに組込まれる光部品に関し、更に詳しくは、
漏話光レベルが極めて低い光部品に関する。
【0002】
【従来の技術】光通信システムや光センサシステムにお
いては、その光線路に波長λ1 の通信光と例えば波長λ
2 (λ2 ≠λ1 )の監視光とを入射してシステムの障害
などがモニターされている。上記システムに組込まれる
光部品としては、例えば、図4で示したようなものが用
いられている。すなわち、例えばSi単結晶基板の上
に、火炎堆積法とホトリソグラフィーにより、石英ガラ
スのクラッド2を形成し、このクラッド2の中に同じく
石英ガラスから成る直線導波路3を埋込み、その直線導
波路3の長手方向に直交して例えば誘電体多層薄膜構造
の帯域通過型フィルタ10を配置したものである。
いては、その光線路に波長λ1 の通信光と例えば波長λ
2 (λ2 ≠λ1 )の監視光とを入射してシステムの障害
などがモニターされている。上記システムに組込まれる
光部品としては、例えば、図4で示したようなものが用
いられている。すなわち、例えばSi単結晶基板の上
に、火炎堆積法とホトリソグラフィーにより、石英ガラ
スのクラッド2を形成し、このクラッド2の中に同じく
石英ガラスから成る直線導波路3を埋込み、その直線導
波路3の長手方向に直交して例えば誘電体多層薄膜構造
の帯域通過型フィルタ10を配置したものである。
【0003】ここで、フィルタ10としては、波長λ1
の光を透過するが、しかし波長λ2(λ2 ≠λ1 )の光
は反射するものが用いられる。この光部品の一方の端面
には例えば入力用の光ファイバ6aが直線導波路3と光
軸を一致させて接続され、また他方の端面には例えば出
力用の光ファイバ6bが直線導波路3と光軸を一致させ
て接続される。
の光を透過するが、しかし波長λ2(λ2 ≠λ1 )の光
は反射するものが用いられる。この光部品の一方の端面
には例えば入力用の光ファイバ6aが直線導波路3と光
軸を一致させて接続され、また他方の端面には例えば出
力用の光ファイバ6bが直線導波路3と光軸を一致させ
て接続される。
【0004】この光部品においては、波長λ1 と波長λ
2 の光が、光ファイバ6aから直線導波路3に入射して
フィルタ10に到達すると、波長λ1 の光はフィルタ1
0を透過してそのまま光ファイバ6aを伝搬するが、波
長λ2 の光はフィルタ10で反射して再び光ファイバ6
aを伝搬して戻り光になる。
2 の光が、光ファイバ6aから直線導波路3に入射して
フィルタ10に到達すると、波長λ1 の光はフィルタ1
0を透過してそのまま光ファイバ6aを伝搬するが、波
長λ2 の光はフィルタ10で反射して再び光ファイバ6
aを伝搬して戻り光になる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、実際に
製造されているフィルタ、例えば上記した誘電体多層薄
膜構造の通過帯域型フィルタの場合、ある波長(この場
合はλ1 )の光が完全に透過するということは不可能で
あり、1%程度とわずかではあるが、必ず波長λ 1 の光
の反射を引き起こす。
製造されているフィルタ、例えば上記した誘電体多層薄
膜構造の通過帯域型フィルタの場合、ある波長(この場
合はλ1 )の光が完全に透過するということは不可能で
あり、1%程度とわずかではあるが、必ず波長λ 1 の光
の反射を引き起こす。
【0006】波長λ1 の光の上記したわずかな反射が起
こっても、現在の光通信システムにおいては、その光通
信の品質に悪影響を与える。そのため、上記したような
光部品においては、波長λ1 の光に関する反射光レベル
を0.1%程度以下、とくに望ましくは0.01%程度以下
に抑制することが強く求められている。
こっても、現在の光通信システムにおいては、その光通
信の品質に悪影響を与える。そのため、上記したような
光部品においては、波長λ1 の光に関する反射光レベル
を0.1%程度以下、とくに望ましくは0.01%程度以下
に抑制することが強く求められている。
【0007】本発明は上記した要請に応えるために開発
され、光通信システムに組込んだときの反射光レベルが
極めて低くなる光部品の提供を目的とする。
され、光通信システムに組込んだときの反射光レベルが
極めて低くなる光部品の提供を目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記した目的を達成する
ために、本発明においては、同一基板上に1本の主導波
路とその主導波路から分岐する1本の分岐導波路が形成
され、前記各導波路の分岐点には、波長λ1 の光を透過
し、かつ波長λ2 (λ2 ≠λ1 )の光は反射するフィル
タ(I)が配置され、また、前記分岐導波路の所望個所
には、波長λ1の光を阻止し、かつ波長λ2 (λ2 ≠λ
1 )の光は反射するフィルタ(II)が配置されているこ
とを特徴とする光部品(以下、第1の光部品という)が
提供され、また同一基板上に1本の主導波路とその主導
波路から分岐する1本の分岐導波路が形成され、前記各
導波路の分岐点には、波長λ1 の光を透過し、かつ波長
λ 2 (λ2 ≠λ1 )の光は反射するフィルタ(I)が配
置され、また、前記分岐導波路の所望個所には、波長λ
1 の光は反射し、かつ波長λ2 (λ2 ≠λ1 )の光を透
過するフィルタ(III)が前記分岐導波路の光軸方向に対
し斜めに配置され、更に、前記フィルタ(III)の後方に
は、波長λ2 の光を反射するミラーが前記分岐導波路の
光軸方向に対し直角に配置されていることを特徴とする
光部品(以下、第2の光部品という)が提供される。
ために、本発明においては、同一基板上に1本の主導波
路とその主導波路から分岐する1本の分岐導波路が形成
され、前記各導波路の分岐点には、波長λ1 の光を透過
し、かつ波長λ2 (λ2 ≠λ1 )の光は反射するフィル
タ(I)が配置され、また、前記分岐導波路の所望個所
には、波長λ1の光を阻止し、かつ波長λ2 (λ2 ≠λ
1 )の光は反射するフィルタ(II)が配置されているこ
とを特徴とする光部品(以下、第1の光部品という)が
提供され、また同一基板上に1本の主導波路とその主導
波路から分岐する1本の分岐導波路が形成され、前記各
導波路の分岐点には、波長λ1 の光を透過し、かつ波長
λ 2 (λ2 ≠λ1 )の光は反射するフィルタ(I)が配
置され、また、前記分岐導波路の所望個所には、波長λ
1 の光は反射し、かつ波長λ2 (λ2 ≠λ1 )の光を透
過するフィルタ(III)が前記分岐導波路の光軸方向に対
し斜めに配置され、更に、前記フィルタ(III)の後方に
は、波長λ2 の光を反射するミラーが前記分岐導波路の
光軸方向に対し直角に配置されていることを特徴とする
光部品(以下、第2の光部品という)が提供される。
【0009】
【作用】第1の光部品において、波長λ1 と波長λ2 の
光が入射側の主導波路を伝搬してきて分岐点に位置する
フィルタ(I)に到達すると、波長λ2 の光の大部分は
フィルタ(I)で反射して分岐導波路の方へ光路変更
し、一部の透過光は出射側の主導波路を伝搬する。そし
て、波長λ1 の光の大部分はフィルタ(I)を透過して
そのまま出射側の主導波路を伝搬し、一部の反射光は分
岐導波路の方へ伝搬していく。
光が入射側の主導波路を伝搬してきて分岐点に位置する
フィルタ(I)に到達すると、波長λ2 の光の大部分は
フィルタ(I)で反射して分岐導波路の方へ光路変更
し、一部の透過光は出射側の主導波路を伝搬する。そし
て、波長λ1 の光の大部分はフィルタ(I)を透過して
そのまま出射側の主導波路を伝搬し、一部の反射光は分
岐導波路の方へ伝搬していく。
【0010】これら分岐導波路を伝搬する光は、分岐導
波路に配置されているフィルタ(II)に到達すると、波
長λ2 の光はそこで反射されて再び分岐点のフィルタ
(I)まで戻り、そのフィルタ(I)で反射して再び入
射側の主導波路を戻っていくのでその光をモニターする
ことができる。一方、分岐導波路における波長λ1 の反
射光はフィルタ(II)に到達すると、そのフィルタ(I
I)の波長λ1 の光に対する阻止減衰量の分だけ分岐導
波路を戻り、フィルタ(I)に達し、そこで大半はフィ
ルタ(I)を透過し、残りは反射して再び分岐導波路を
伝搬する。
波路に配置されているフィルタ(II)に到達すると、波
長λ2 の光はそこで反射されて再び分岐点のフィルタ
(I)まで戻り、そのフィルタ(I)で反射して再び入
射側の主導波路を戻っていくのでその光をモニターする
ことができる。一方、分岐導波路における波長λ1 の反
射光はフィルタ(II)に到達すると、そのフィルタ(I
I)の波長λ1 の光に対する阻止減衰量の分だけ分岐導
波路を戻り、フィルタ(I)に達し、そこで大半はフィ
ルタ(I)を透過し、残りは反射して再び分岐導波路を
伝搬する。
【0011】したがって、第1の光部品においては、入
力側の主導波路でモニターされる波長λ1 の反射光のレ
ベルは、フィルタ(II)が存在しない場合よりも上記阻
止減衰量の分だけ低減し、その漏話レベルは低くなる。
一方、第2の光部品においても、波長λ2 の光は全てが
分岐導波路に光路変更し、また波長λ1 の光の一部は反
射光として分岐導波路を伝搬する。
力側の主導波路でモニターされる波長λ1 の反射光のレ
ベルは、フィルタ(II)が存在しない場合よりも上記阻
止減衰量の分だけ低減し、その漏話レベルは低くなる。
一方、第2の光部品においても、波長λ2 の光は全てが
分岐導波路に光路変更し、また波長λ1 の光の一部は反
射光として分岐導波路を伝搬する。
【0012】そして、両者の光はフィルタ(III)の位置
に到達し、波長λ2 の光はそのフィルタ(III)を透過す
るが、ミラーで反射され、再びフィルタ(III)を透過し
てフィルタ(I)に到達し、そこで反射して入射側の主
導波路を戻りモニターされる。一方、波長λ1 の反射光
はフィルタ(III)で反射される。そして、フィルタ(II
I)は分岐導波路の光軸方向に対して斜めに配置されてい
るので、フィルタ(III)で反射した波長λ1 の反射光は
分岐導波路を戻ることなく、分岐導波路を埋込んでいる
クラッド部分の方に放射され、そこで消滅する。すなわ
ち、フィルタ(I)で反射した波長λ1 の反射光は、入
力側の主導波路に戻ることが全くないため、漏話は事実
上ゼロになる。
に到達し、波長λ2 の光はそのフィルタ(III)を透過す
るが、ミラーで反射され、再びフィルタ(III)を透過し
てフィルタ(I)に到達し、そこで反射して入射側の主
導波路を戻りモニターされる。一方、波長λ1 の反射光
はフィルタ(III)で反射される。そして、フィルタ(II
I)は分岐導波路の光軸方向に対して斜めに配置されてい
るので、フィルタ(III)で反射した波長λ1 の反射光は
分岐導波路を戻ることなく、分岐導波路を埋込んでいる
クラッド部分の方に放射され、そこで消滅する。すなわ
ち、フィルタ(I)で反射した波長λ1 の反射光は、入
力側の主導波路に戻ることが全くないため、漏話は事実
上ゼロになる。
【0013】
実施例1 第1の光部品に入力側光ファイバと出力側光ファイバを
接続した概略平面図を図1に、また図1のII−II線に沿
う断面図を図2に示す。図2において、長さ20mm,幅
5mm,厚み1mmであるSi単結晶基板1の上に、SiO
2 から成り、厚み20μmの下部クラッド層2a,同じ
くSiO2 から成り、厚み20μmの上部クラッド層2
bが形成され、それらクラッドの中に、SiO2 −Ti
O2 から成り、路幅8μm,路高8μm,比屈折率差
Δ:0.25%の導波路コア3が埋設されている。なお、
これらのクラッド,導波路コアは火炎堆積法とドライエ
ッチング法を組合せて形成することができる。
接続した概略平面図を図1に、また図1のII−II線に沿
う断面図を図2に示す。図2において、長さ20mm,幅
5mm,厚み1mmであるSi単結晶基板1の上に、SiO
2 から成り、厚み20μmの下部クラッド層2a,同じ
くSiO2 から成り、厚み20μmの上部クラッド層2
bが形成され、それらクラッドの中に、SiO2 −Ti
O2 から成り、路幅8μm,路高8μm,比屈折率差
Δ:0.25%の導波路コア3が埋設されている。なお、
これらのクラッド,導波路コアは火炎堆積法とドライエ
ッチング法を組合せて形成することができる。
【0014】この導波路コア3の平面パターンは、図1
で示したように、基板の長手方向に直線的に延びる主導
波路3aと、その主導波路3aの途中の分岐点4から所
望の角度θをもって分岐する分岐導波路3bで構成され
ている。ここで角度θは、14°とした。分岐点4の位
置には、肉厚が20μmで、波長(λ1 )1.3μmの光
は透過できるが、波長(λ2 )1.55μmの光は反射す
る短波長域通過型の誘電体多層薄膜構造のフィルタ
(I)5が配置されている。このとき、フィルタ(I)
5は、主導波路3aの光軸方向に対し7°の傾きをもた
せて配置される。
で示したように、基板の長手方向に直線的に延びる主導
波路3aと、その主導波路3aの途中の分岐点4から所
望の角度θをもって分岐する分岐導波路3bで構成され
ている。ここで角度θは、14°とした。分岐点4の位
置には、肉厚が20μmで、波長(λ1 )1.3μmの光
は透過できるが、波長(λ2 )1.55μmの光は反射す
る短波長域通過型の誘電体多層薄膜構造のフィルタ
(I)5が配置されている。このとき、フィルタ(I)
5は、主導波路3aの光軸方向に対し7°の傾きをもた
せて配置される。
【0015】また、分岐導波路3bには、肉厚が20μ
mで、ガラス基板の一方の表面に、波長(λ2 )1.55
μmの光は反射しかつ波長(λ1 )1.3μmの光は透過
させる帯域阻止型の誘電体多層薄膜がフィルタ面として
形成され、また、裏面には、波長(λ1 )1.3μmの光
を減衰させる吸収体が形成されているフィルタ(II)7
が配置される。このフィルタ(II)7は、前記フィルタ
面が分岐導波路3bの光軸方向に対し直交して配置され
る。
mで、ガラス基板の一方の表面に、波長(λ2 )1.55
μmの光は反射しかつ波長(λ1 )1.3μmの光は透過
させる帯域阻止型の誘電体多層薄膜がフィルタ面として
形成され、また、裏面には、波長(λ1 )1.3μmの光
を減衰させる吸収体が形成されているフィルタ(II)7
が配置される。このフィルタ(II)7は、前記フィルタ
面が分岐導波路3bの光軸方向に対し直交して配置され
る。
【0016】これらのフィルタ(I),(II)に配置す
る場合には、それぞれの配置個所に例えばダイシングソ
ーを用いて所定幅と所定深さのスリットを刻設し、ここ
に上記フィルタ(I),(II)を挿入したのち光学接着
剤でこれらフィルタをスリット内に固定すればよい。主
導波路3aの両方の端面に、図1で示したように、1.3
μm零分散光ファイバ(標準単一モード光ファイバ)6
a,6bを、それぞれ、入力側光ファイバ、出力側光フ
ァイバとして接続した。
る場合には、それぞれの配置個所に例えばダイシングソ
ーを用いて所定幅と所定深さのスリットを刻設し、ここ
に上記フィルタ(I),(II)を挿入したのち光学接着
剤でこれらフィルタをスリット内に固定すればよい。主
導波路3aの両方の端面に、図1で示したように、1.3
μm零分散光ファイバ(標準単一モード光ファイバ)6
a,6bを、それぞれ、入力側光ファイバ、出力側光フ
ァイバとして接続した。
【0017】この光部品の場合、用いたフィルタ(I)
の透過光波長(λ1 =1.3μm)における漏話レベルは
−15dB,フィルタ(II)の阻止光波長(λ1 =1.3
μm)における減衰量は25dBであったので、損失を
無視しても、全体としては−40dB(0.01%)と極
めて低レベルであった。 実施例2 第2の光部品の概略平面図を図3に示す。この光部品
は、分岐導波路3bに、後述するフィルタ(III)とミラ
ーが配置されていることを除いては、他の部分は第1の
光部品と同じ構造になっている。
の透過光波長(λ1 =1.3μm)における漏話レベルは
−15dB,フィルタ(II)の阻止光波長(λ1 =1.3
μm)における減衰量は25dBであったので、損失を
無視しても、全体としては−40dB(0.01%)と極
めて低レベルであった。 実施例2 第2の光部品の概略平面図を図3に示す。この光部品
は、分岐導波路3bに、後述するフィルタ(III)とミラ
ーが配置されていることを除いては、他の部分は第1の
光部品と同じ構造になっている。
【0018】すなわち、分岐導波路3bの前方(分岐点
4側)の位置には、肉厚が20μmで、波長(λ1 )1.
3μmの光は反射し、波長(λ2 )1.55μmの光は透
過するフィルタ(III)8が配置されている。このとき、
フィルタ(III)8のフィルタ面は、分岐導波路3bの光
軸方向に対し、8°傾けて配置されている。分岐導波路
3bにおいて、このフィルタ(III)8の後方(分岐点4
と反対側)の位置には、波長1.55μmの光を反射する
ミラー9が、分岐導波路3bの光軸方向と直交して配置
されている。
4側)の位置には、肉厚が20μmで、波長(λ1 )1.
3μmの光は反射し、波長(λ2 )1.55μmの光は透
過するフィルタ(III)8が配置されている。このとき、
フィルタ(III)8のフィルタ面は、分岐導波路3bの光
軸方向に対し、8°傾けて配置されている。分岐導波路
3bにおいて、このフィルタ(III)8の後方(分岐点4
と反対側)の位置には、波長1.55μmの光を反射する
ミラー9が、分岐導波路3bの光軸方向と直交して配置
されている。
【0019】このミラー9は、分岐導波路3bに例えば
ダイシングソーで幅100μm程度のスリットを刻設
し、そこに、例えばAg/Crを蒸着して形成すること
ができる。この光部品の場合、用いたフィルタ(I)の
透過光波長(λ1 =1.3μm)における漏話レベルは−
15dB,フィルタ(III)の反射光波長(λ1 =1.3μ
m)における漏話レベルは−25dBであり、全体とし
ての漏話レベルは、損失を無視しても−40dB(0.0
1%)であり、極めて低いレベルであった。
ダイシングソーで幅100μm程度のスリットを刻設
し、そこに、例えばAg/Crを蒸着して形成すること
ができる。この光部品の場合、用いたフィルタ(I)の
透過光波長(λ1 =1.3μm)における漏話レベルは−
15dB,フィルタ(III)の反射光波長(λ1 =1.3μ
m)における漏話レベルは−25dBであり、全体とし
ての漏話レベルは、損失を無視しても−40dB(0.0
1%)であり、極めて低いレベルであった。
【0020】なお、第2の光部品においては、フィルタ
(III)の透過光波長を変えるためには、異なる設計の帯
域通過型のフィルタを用いるか、または、誘電体多層薄
膜構造のフィルタの場合、その透過率特性は光の入射角
度に応じて短波長側にシフトするという特性を有するこ
とを利用して、同一設計の帯域通過型フィルタを分岐導
波路に対する傾き角を変えて配置することによりフィル
タ(III)として用いてもよい。
(III)の透過光波長を変えるためには、異なる設計の帯
域通過型のフィルタを用いるか、または、誘電体多層薄
膜構造のフィルタの場合、その透過率特性は光の入射角
度に応じて短波長側にシフトするという特性を有するこ
とを利用して、同一設計の帯域通過型フィルタを分岐導
波路に対する傾き角を変えて配置することによりフィル
タ(III)として用いてもよい。
【0021】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明の
光部品では、通信光である波長λ1 の光の反射光レベル
が極めて低くなる。これは、主導波路の外に分岐導波路
を設け、その分岐導波路に上記フィルタ(II)または上
記したフィルタ(III)とミラーを配置したことがもたら
す効果である。
光部品では、通信光である波長λ1 の光の反射光レベル
が極めて低くなる。これは、主導波路の外に分岐導波路
を設け、その分岐導波路に上記フィルタ(II)または上
記したフィルタ(III)とミラーを配置したことがもたら
す効果である。
【0022】したがって、本発明の光部品は、これを光
通信システムに組込んだとき、漏話レベルが極めて低い
光部品になり、その工業的価値は極めて大である。
通信システムに組込んだとき、漏話レベルが極めて低い
光部品になり、その工業的価値は極めて大である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の光部品例を示す概略平面図であ
る。
る。
【図2】図1のII−II線に沿う断面図である。
【図3】本発明の第2の光部品例を示す概略平面図であ
る。
る。
【図4】従来の光部品例を示す概略平面図である。
1 基板(Si単結晶基板) 2a 下部クラッド層 2b 上部クラッド層 3 導波路コア 3a 主導波路 4 分岐点 5 フィルタ(I) 6a,6b 光ファイバ 7 フィルタ(II) 8 フィルタ(III) 9 ミラー
Claims (2)
- 【請求項1】 同一基板上に1本の主導波路とその主導
波路から分岐する1本の分岐導波路が形成され、前記各
導波路の分岐点には、波長λ1 の光を透過し、かつ波長
λ2 (λ2 ≠λ1 )の光は反射するフィルタ(I)が配
置され、また、前記分岐導波路の所望個所には、波長λ
1 の光を阻止し、かつ波長λ2 (λ2 ≠λ 1 )の光は反
射するフィルタ(II)が配置されていることを特徴とす
る光部品。 - 【請求項2】 同一基板上に1本の主導波路とその主導
波路から分岐する1本の分岐導波路が形成され、前記各
導波路の分岐点には、波長λ1 の光を透過し、かつ波長
λ2 (λ2 ≠λ1 )の光は反射するフィルタ(I)が配
置され、また、前記分岐導波路の所望個所には、波長λ
1 の光は反射し、かつ波長λ2 (λ2 ≠λ 1 )の光を透
過するフィルタ(III)が前記分岐導波路の光軸方向に対
し斜めに配置され、更に、前記フィルタ(III)の後方に
は、波長λ2 の光を反射するミラーが前記分岐導波路の
光軸方向に対し直角に配置されていることを特徴とする
光部品。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13201993A JPH06342109A (ja) | 1993-06-02 | 1993-06-02 | 光部品 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13201993A JPH06342109A (ja) | 1993-06-02 | 1993-06-02 | 光部品 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06342109A true JPH06342109A (ja) | 1994-12-13 |
Family
ID=15071625
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13201993A Pending JPH06342109A (ja) | 1993-06-02 | 1993-06-02 | 光部品 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06342109A (ja) |
-
1993
- 1993-06-02 JP JP13201993A patent/JPH06342109A/ja active Pending
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