JPH06342124A - レーザビーム反射装置 - Google Patents
レーザビーム反射装置Info
- Publication number
- JPH06342124A JPH06342124A JP5130605A JP13060593A JPH06342124A JP H06342124 A JPH06342124 A JP H06342124A JP 5130605 A JP5130605 A JP 5130605A JP 13060593 A JP13060593 A JP 13060593A JP H06342124 A JPH06342124 A JP H06342124A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser beam
- support shaft
- mirror support
- reflecting mirror
- power laser
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- Pending
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- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 高出力レーザビームに対応できるレーザビー
ム反射装置を提供する。 【構成】 高出力レーザビーム８の光路の近傍に回転自
在に設けた反射ミラー支持軸１１と、該反射ミラー支持
軸１１に取り付けられ且つ反射ミラー支持軸１１が所定
位置に回動した際に前記の高出力レーザビーム８を反射
する反射ミラー１２と、前記反射ミラー支持軸１１を回
転させる駆動装置１０とよりなる構成としている。 【効果】 高出力レーザビーム８を間欠的に遮ぎる反射
ミラー１２は、長時間高出力レーザビーム８に曝されな
いので、熱変形、熱損傷を起こさない。
ム反射装置を提供する。 【構成】 高出力レーザビーム８の光路の近傍に回転自
在に設けた反射ミラー支持軸１１と、該反射ミラー支持
軸１１に取り付けられ且つ反射ミラー支持軸１１が所定
位置に回動した際に前記の高出力レーザビーム８を反射
する反射ミラー１２と、前記反射ミラー支持軸１１を回
転させる駆動装置１０とよりなる構成としている。 【効果】 高出力レーザビーム８を間欠的に遮ぎる反射
ミラー１２は、長時間高出力レーザビーム８に曝されな
いので、熱変形、熱損傷を起こさない。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はレーザビーム反射装置に
関するものである。
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、レーザビームの出力、波型、コヒ
ーレンシー等を計測する際には、図４に示すように、レ
ーザ発振器２から発振されるレーザビーム１の光路上に
ビームスプリッタ３を設け、該ビームスプリッタ３によ
って目的物に照射すべきレーザビーム１の一部を分岐さ
せるようにしている。
ーレンシー等を計測する際には、図４に示すように、レ
ーザ発振器２から発振されるレーザビーム１の光路上に
ビームスプリッタ３を設け、該ビームスプリッタ３によ
って目的物に照射すべきレーザビーム１の一部を分岐さ
せるようにしている。
【０００３】ビームスプリッタ３はジンクセレン（Ｚｎ
Ｓｅ）等のレーザビーム１が透過可能な物質よりなる鏡
母材４の一面に、入射するレーザビーム１の大部分が透
過し且つ残りの一部が反射するように誘電体コーティン
グなどの半透過コーティング層５を形成した構成を有し
ており、このビームスプリッタ３により反射するレーザ
ビーム１の一部を検出機器６へ入射させるようにして、
レーザビーム１の出力、波型、コヒーレンシー等の計測
をしている。
Ｓｅ）等のレーザビーム１が透過可能な物質よりなる鏡
母材４の一面に、入射するレーザビーム１の大部分が透
過し且つ残りの一部が反射するように誘電体コーティン
グなどの半透過コーティング層５を形成した構成を有し
ており、このビームスプリッタ３により反射するレーザ
ビーム１の一部を検出機器６へ入射させるようにして、
レーザビーム１の出力、波型、コヒーレンシー等の計測
をしている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述の
レーザビーム反射装置では、レーザビーム１の出力が大
きくなると、ビームスプリッタ３に入射するレーザビー
ム１による熱損傷が半透過コーティング層に生じたり、
さらには鏡母材に熱変形が発生することがある。
レーザビーム反射装置では、レーザビーム１の出力が大
きくなると、ビームスプリッタ３に入射するレーザビー
ム１による熱損傷が半透過コーティング層に生じたり、
さらには鏡母材に熱変形が発生することがある。
【０００５】また、レーザビーム１の出力、波型、コヒ
ーレンシー等の複数の計測を行なうためには、レーザビ
ーム１の光路上に複数のビームスプリッタ３を設ける必
要があるが、このように複数のビームスプリッタ３をレ
ーザビーム１の光路上に設けると、目的物へ照射すべき
レーザビーム１が歪むため、レーザビームを種々の用途
に使用しながら、ビームの計測を行なうことが困難であ
るという問題がある。
ーレンシー等の複数の計測を行なうためには、レーザビ
ーム１の光路上に複数のビームスプリッタ３を設ける必
要があるが、このように複数のビームスプリッタ３をレ
ーザビーム１の光路上に設けると、目的物へ照射すべき
レーザビーム１が歪むため、レーザビームを種々の用途
に使用しながら、ビームの計測を行なうことが困難であ
るという問題がある。
【０００６】本発明は、前述の実情に鑑み、高出力のレ
ーザビームに対応し、しかもレーザビームを種々の用途
に使用しながらビームを計測することができるレーザビ
ーム反射装置を提供することを目的としてなしたもので
ある。
ーザビームに対応し、しかもレーザビームを種々の用途
に使用しながらビームを計測することができるレーザビ
ーム反射装置を提供することを目的としてなしたもので
ある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】第１の発明は、レーザビ
ームの光路の近傍に回転自在に設けた反射ミラー支持軸
と、該反射ミラー支持軸に取り付けられ且つ反射ミラー
支持軸が所定位置に回動した際に前記のレーザビームの
一部を反射する反射ミラーと、前記反射ミラー支持軸を
回転させる駆動装置とにより構成し、第２の発明は、第
１の発明の反射ミラー支持軸に複数の反射ミラーを、反
射ミラー支持軸が所定位置に回動した際に前記のレーザ
ビームの一部をそれぞれ個別に反射するように取り付け
た構成としている。
ームの光路の近傍に回転自在に設けた反射ミラー支持軸
と、該反射ミラー支持軸に取り付けられ且つ反射ミラー
支持軸が所定位置に回動した際に前記のレーザビームの
一部を反射する反射ミラーと、前記反射ミラー支持軸を
回転させる駆動装置とにより構成し、第２の発明は、第
１の発明の反射ミラー支持軸に複数の反射ミラーを、反
射ミラー支持軸が所定位置に回動した際に前記のレーザ
ビームの一部をそれぞれ個別に反射するように取り付け
た構成としている。
【０００８】
【作用】従って、第１の発明では、駆動装置を作動する
と反射ミラー支持軸が回転し、該反射ミラー支持軸に取
り付けられている反射ミラーがレーザビームの光路を遮
ぎり、反射ミラー支持軸の１回転毎にレーザビームを１
回反射する。
と反射ミラー支持軸が回転し、該反射ミラー支持軸に取
り付けられている反射ミラーがレーザビームの光路を遮
ぎり、反射ミラー支持軸の１回転毎にレーザビームを１
回反射する。
【０００９】また、第２の発明では、駆動装置を作動す
ると反射ミラー支持軸が回転し、該反射ミラー支持軸に
取り付けられている複数の反射ミラーがレーザビームの
光路を遮ぎり、反射ミラー支持軸の１回転毎に各反射ミ
ラーがそれぞれレーザビームを１回反射する。
ると反射ミラー支持軸が回転し、該反射ミラー支持軸に
取り付けられている複数の反射ミラーがレーザビームの
光路を遮ぎり、反射ミラー支持軸の１回転毎に各反射ミ
ラーがそれぞれレーザビームを１回反射する。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照しつつ説
明する。
明する。
【００１１】図１は第１の発明のレーザビーム反射装置
の一実施例の概念図であり、レーザ発振器７から発振さ
れる高出力レーザビーム８の光路上に、所定の角度を以
て相対する２枚の反射鏡体９，９を設け、前記の高出力
レーザビーム８をＺ形に屈折させるように配設し、該反
射鏡体９，９の間の高出力レーザビーム８の光路の近傍
に、駆動装置１０により駆動されて回転し、且つ前記高
出力レーザビーム８の光路に対して所定の角度をなす方
向へ延びる反射ミラー支持軸１１を設け、該反射ミラー
支持軸１１に取り付けられ且つ該支持軸１１が所定位置
に回動した際に前記の高出力レーザビーム８の光路を遮
ぎって高出力レーザビーム８の一部を反射させる反射ミ
ラー１２を設けている。
の一実施例の概念図であり、レーザ発振器７から発振さ
れる高出力レーザビーム８の光路上に、所定の角度を以
て相対する２枚の反射鏡体９，９を設け、前記の高出力
レーザビーム８をＺ形に屈折させるように配設し、該反
射鏡体９，９の間の高出力レーザビーム８の光路の近傍
に、駆動装置１０により駆動されて回転し、且つ前記高
出力レーザビーム８の光路に対して所定の角度をなす方
向へ延びる反射ミラー支持軸１１を設け、該反射ミラー
支持軸１１に取り付けられ且つ該支持軸１１が所定位置
に回動した際に前記の高出力レーザビーム８の光路を遮
ぎって高出力レーザビーム８の一部を反射させる反射ミ
ラー１２を設けている。
【００１２】而して、前記の反射ミラー１２によって図
示していない目的物へ照射すべき高出力レーザビームの
一部を分岐して検出機器１３へ入射させることができる
ように形成している。
示していない目的物へ照射すべき高出力レーザビームの
一部を分岐して検出機器１３へ入射させることができる
ように形成している。
【００１３】駆動装置１０により反射ミラー支持軸１１
を駆動し、該反射ミラー支持軸１１に取り付けた反射ミ
ラー１２を所定の速度で回転させると、反射ミラー１２
が一定の時間的間隔を置いて高出力レーザビーム８の光
路を遮ぎり、その都度高出力レーザビーム８の一部を検
出機器１３に対して反射し、該検出機器１３に高出力レ
ーザビーム８の一部を入射させることにより、検出機器
１３によって高出力レーザビーム８の出力、波型、コヒ
ーレンシー等を計測する。
を駆動し、該反射ミラー支持軸１１に取り付けた反射ミ
ラー１２を所定の速度で回転させると、反射ミラー１２
が一定の時間的間隔を置いて高出力レーザビーム８の光
路を遮ぎり、その都度高出力レーザビーム８の一部を検
出機器１３に対して反射し、該検出機器１３に高出力レ
ーザビーム８の一部を入射させることにより、検出機器
１３によって高出力レーザビーム８の出力、波型、コヒ
ーレンシー等を計測する。
【００１４】本実施例においては、反射ミラー１２が高
出力レーザビーム８の光路を間欠的に遮ぎり高出力レー
ザビーム８中に長時間曝されることがないため、高出力
レーザビーム８の出力が大きくなっても入射する高出力
レーザビーム８によって反射ミラー１２に熱変形や熱損
傷が生じない。
出力レーザビーム８の光路を間欠的に遮ぎり高出力レー
ザビーム８中に長時間曝されることがないため、高出力
レーザビーム８の出力が大きくなっても入射する高出力
レーザビーム８によって反射ミラー１２に熱変形や熱損
傷が生じない。
【００１５】図２及び図３は、第２の発明のレーザビー
ム反射装置の一実施例の概念図であり、図中、図１と同
じものには同じ符号を付してある。
ム反射装置の一実施例の概念図であり、図中、図１と同
じものには同じ符号を付してある。
【００１６】レーザ発振器７から発振される高出力レー
ザビーム８の光路上に、所定の角度を以て相対する２枚
の反射鏡体９，９を設け、前記の高出力レーザビーム８
をＺ形に屈折させるように配設し、該反射鏡体９，９の
間の高出力レーザビーム８の光路の近傍に、駆動装置１
０により駆動されて回転し、且つ前記高出力レーザビー
ム８の光路に対して所定の角度をなす方向へ延びる反射
ミラー支持軸１１を設け、該反射ミラー支持軸１１に取
り付けられ、且つ反射ミラー支持軸１１が所定位置に回
動した際に前記の高出力レーザビーム８の光路を遮ぎっ
て高出力レーザビーム８を反射させる３個の反射ミラー
１４，１５，１６を設けている。
ザビーム８の光路上に、所定の角度を以て相対する２枚
の反射鏡体９，９を設け、前記の高出力レーザビーム８
をＺ形に屈折させるように配設し、該反射鏡体９，９の
間の高出力レーザビーム８の光路の近傍に、駆動装置１
０により駆動されて回転し、且つ前記高出力レーザビー
ム８の光路に対して所定の角度をなす方向へ延びる反射
ミラー支持軸１１を設け、該反射ミラー支持軸１１に取
り付けられ、且つ反射ミラー支持軸１１が所定位置に回
動した際に前記の高出力レーザビーム８の光路を遮ぎっ
て高出力レーザビーム８を反射させる３個の反射ミラー
１４，１５，１６を設けている。
【００１７】而して、前記の反射ミラー１４，１５，１
６によって図示していない目的物へ照射すべき高出力レ
ーザビームの一部を分岐して各種の検出機器１７，１
８，１９へ入射させることができるように形成してい
る。
６によって図示していない目的物へ照射すべき高出力レ
ーザビームの一部を分岐して各種の検出機器１７，１
８，１９へ入射させることができるように形成してい
る。
【００１８】駆動装置１０により反射ミラー支持軸１１
を駆動し、該反射ミラー支持軸１１に取り付けた３個の
反射ミラー１４，１５，１６を所定の速度で回転させる
と、各反射ミラー１４，１５，１６が一定の時間的間隔
を置いて高出力レーザビーム８の光路を遮ぎり、その都
度高出力レーザビーム８の一部を各検出機器１７，１
８，１９方向へ反射し、該各検出機器１７，１８，１９
に対して高出力レーザビーム８の一部を入射させること
により、各検出機器１７，１８，１９によって高出力レ
ーザビーム８の出力、波型、コヒーレンシー等を同時に
計測する。
を駆動し、該反射ミラー支持軸１１に取り付けた３個の
反射ミラー１４，１５，１６を所定の速度で回転させる
と、各反射ミラー１４，１５，１６が一定の時間的間隔
を置いて高出力レーザビーム８の光路を遮ぎり、その都
度高出力レーザビーム８の一部を各検出機器１７，１
８，１９方向へ反射し、該各検出機器１７，１８，１９
に対して高出力レーザビーム８の一部を入射させること
により、各検出機器１７，１８，１９によって高出力レ
ーザビーム８の出力、波型、コヒーレンシー等を同時に
計測する。
【００１９】前記によれば、高出力レーザビーム８の光
路を間欠的に遮ぎり得る３個の反射ミラー１４，１５，
１６を各検出機器１７，１８，１９の方向へ向けて設け
たので、各反射ミラー１４，１５，１６が高出力レーザ
ビーム８中に長時間曝されることがないため、高出力レ
ーザビーム８の出力が大きくなっても入射する高出力レ
ーザビーム８によって各反射ミラー１４，１５，１６に
熱変形や熱損傷が生じることがなく、そのうえ、各反射
ミラー１４，１５，１６に相対する各検出機器１７，１
８，１９により種々のビームパラメーターを同時に計測
できる。
路を間欠的に遮ぎり得る３個の反射ミラー１４，１５，
１６を各検出機器１７，１８，１９の方向へ向けて設け
たので、各反射ミラー１４，１５，１６が高出力レーザ
ビーム８中に長時間曝されることがないため、高出力レ
ーザビーム８の出力が大きくなっても入射する高出力レ
ーザビーム８によって各反射ミラー１４，１５，１６に
熱変形や熱損傷が生じることがなく、そのうえ、各反射
ミラー１４，１５，１６に相対する各検出機器１７，１
８，１９により種々のビームパラメーターを同時に計測
できる。
【００２０】なお、前述の実施例においては、高出力レ
ーザビーム８の光路中に２個の反射鏡体９，９を配設し
て高出力レーザビーム８をＺ形に屈折させた場合につい
て説明したが、必ずしも高出力レーザビーム８をＺ形に
屈折させる必要のないこと、その他、本発明の要旨を逸
脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論
である。
ーザビーム８の光路中に２個の反射鏡体９，９を配設し
て高出力レーザビーム８をＺ形に屈折させた場合につい
て説明したが、必ずしも高出力レーザビーム８をＺ形に
屈折させる必要のないこと、その他、本発明の要旨を逸
脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論
である。
【００２１】
【発明の効果】本発明のレーザビーム反射装置によれ
ば、下記のごとき種々の優れた効果を奏し得る。
ば、下記のごとき種々の優れた効果を奏し得る。
【００２２】Ｉ）第１の発明では、反射ミラーが高出力
レーザビーム中に長時間曝されることがないため、高出
力レーザビームの出力が大きくなっても入射する高出力
レーザビームによって反射ミラーに熱変形や熱損傷が生
じない。
レーザビーム中に長時間曝されることがないため、高出
力レーザビームの出力が大きくなっても入射する高出力
レーザビームによって反射ミラーに熱変形や熱損傷が生
じない。
【００２３】ＩＩ）第２の発明では、第１の発明の効果
と同様に各反射ミラーに熱変形や熱損傷が生ぜず、その
うえ、複数のビームパラメーターを同時に計測すること
ができる。
と同様に各反射ミラーに熱変形や熱損傷が生ぜず、その
うえ、複数のビームパラメーターを同時に計測すること
ができる。
【図１】第１の発明のレーザビーム反射装置の一実施例
の概念図である。
の概念図である。
【図２】第２の発明のレーザビーム反射装置の一実施例
の概念図である。
の概念図である。
【図３】図２のＩＩＩ−ＩＩＩ矢視図である。
【図４】従来のレーザビーム反射装置の一例の概念図で
ある。
ある。
８ 高出力レーザビーム（レーザビーム） １０ 駆動装置 １１ 反射ミラー支持軸 １２ 反射ミラー １４ 反射ミラー １５ 反射ミラー １６ 反射ミラー
Claims (2)
- 【請求項１】 レーザビームの光路の近傍に回転自在に
設けた反射ミラー支持軸と、該反射ミラー支持軸に取り
付けられ且つ反射ミラー支持軸が所定位置に回動した際
に前記のレーザビームの一部を反射する反射ミラーと、
前記反射ミラー支持軸を回転させる駆動装置とよりなる
ことを特徴とするレーザビーム反射装置。 - 【請求項２】 レーザビームの光路の近傍に回転自在に
設けた反射ミラー支持軸と、該反射ミラー支持軸に、反
射ミラー支持軸が所定位置に回動した際に前記のレーザ
ビームの一部をそれぞれ個別に反射するように取り付け
た複数の反射ミラーと、前記反射ミラー支持軸を回転さ
せる駆動装置とよりなることを特徴とするレーザビーム
反射装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5130605A JPH06342124A (ja) | 1993-06-01 | 1993-06-01 | レーザビーム反射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5130605A JPH06342124A (ja) | 1993-06-01 | 1993-06-01 | レーザビーム反射装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06342124A true JPH06342124A (ja) | 1994-12-13 |
Family
ID=15038213
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5130605A Pending JPH06342124A (ja) | 1993-06-01 | 1993-06-01 | レーザビーム反射装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06342124A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2602398C2 (ru) * | 2015-01-12 | 2016-11-20 | Максим Яковлевич Афанасьев | Лазерный блок |
| JP2018066851A (ja) * | 2016-10-19 | 2018-04-26 | ファナック株式会社 | ビーム分岐装置 |
-
1993
- 1993-06-01 JP JP5130605A patent/JPH06342124A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2602398C2 (ru) * | 2015-01-12 | 2016-11-20 | Максим Яковлевич Афанасьев | Лазерный блок |
| JP2018066851A (ja) * | 2016-10-19 | 2018-04-26 | ファナック株式会社 | ビーム分岐装置 |
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