JPH06344333A - スライシングマシンのワーク支持装置 - Google Patents
スライシングマシンのワーク支持装置Info
- Publication number
- JPH06344333A JPH06344333A JP13562793A JP13562793A JPH06344333A JP H06344333 A JPH06344333 A JP H06344333A JP 13562793 A JP13562793 A JP 13562793A JP 13562793 A JP13562793 A JP 13562793A JP H06344333 A JPH06344333 A JP H06344333A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- work
- air spring
- slicing machine
- axis direction
- axis
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D57/00—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00
- B23D57/003—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts
- B23D57/0046—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts of devices for feeding, conveying or clamping work
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 防振効果の高いワーク支持装置を提供する。
【構成】 ワークヘッド１６に片持ち支持された半導体
インゴットよりなるワーク１７を、Ｚ軸方向へ順次送り
ながら、Ｚ軸と直交するＸ軸方向へワーク１７を移動さ
せて、カッタブレード３２で切断するスライシングマシ
ンにおいて、上記ワーク１７の先端側を、空気ばね２１
により防振ローラ２５を介して下方より弾性支持すると
共に、上記空気ばね２１へ供給するエア圧を、ワーク先
端のたわみに応じて制御するようにしたもので、空気ば
ね２１によって高い防振効果が得られる。
インゴットよりなるワーク１７を、Ｚ軸方向へ順次送り
ながら、Ｚ軸と直交するＸ軸方向へワーク１７を移動さ
せて、カッタブレード３２で切断するスライシングマシ
ンにおいて、上記ワーク１７の先端側を、空気ばね２１
により防振ローラ２５を介して下方より弾性支持すると
共に、上記空気ばね２１へ供給するエア圧を、ワーク先
端のたわみに応じて制御するようにしたもので、空気ば
ね２１によって高い防振効果が得られる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は半導体インゴットをス
ライスするスライシングマシンのワーク支持装置に関す
る。
ライスするスライシングマシンのワーク支持装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来この種の装置として、例えば実開平
１−１２５６０６号公報や、実開平２−９７００５号公
報に記載されたものが公知である。前者の支持装置は金
属ばねを使用してワークを弾性的に支持するようになっ
ており、後者の支持装置は流体圧シリンダを使用してワ
ークを支持する構造となっている。
１−１２５６０６号公報や、実開平２−９７００５号公
報に記載されたものが公知である。前者の支持装置は金
属ばねを使用してワークを弾性的に支持するようになっ
ており、後者の支持装置は流体圧シリンダを使用してワ
ークを支持する構造となっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし金属ばねを使用
してワークを支持するようにした支持装置では、防振効
果が余り期待できないと共に、ワークのだれに対して支
持力を精度よく制御できないなどの不具合があった。ま
た流体圧シリンダでワークを支持するようにした支持装
置では、ワークを支持する部分に防振機能を有しないこ
とから、防振効果が期待できないと共に、ワークを軸方
向へ送り出す際、流体圧シリンダの下降及び上昇を行う
ため、段取りに時間がかかって生産性が悪いなどの不具
合があった。この発明はかかる不具合を改善するために
なされたもので、防振効果の高いスライシングマシンの
ワーク支持装置を提供することを目的とするものであ
る。
してワークを支持するようにした支持装置では、防振効
果が余り期待できないと共に、ワークのだれに対して支
持力を精度よく制御できないなどの不具合があった。ま
た流体圧シリンダでワークを支持するようにした支持装
置では、ワークを支持する部分に防振機能を有しないこ
とから、防振効果が期待できないと共に、ワークを軸方
向へ送り出す際、流体圧シリンダの下降及び上昇を行う
ため、段取りに時間がかかって生産性が悪いなどの不具
合があった。この発明はかかる不具合を改善するために
なされたもので、防振効果の高いスライシングマシンの
ワーク支持装置を提供することを目的とするものであ
る。
【０００４】
【課題を解決するための手段】この発明は上記目的を達
成するために、ワークヘッドに片持ち支持された半導体
インゴットよりなるワークを、Ｚ軸方向へ順次送りなが
ら、Ｚ軸と直交するＸ軸方向へワークを移動させて、カ
ッタブレードで切断するスライシングマシンにおいて、
上記ワークの先端側を、空気ばねにより防振ローラを介
して下方より弾性支持すると共に、上記空気ばねへ供給
するエア圧を、ワーク先端のたわみに応じて制御するよ
うにしたものである。
成するために、ワークヘッドに片持ち支持された半導体
インゴットよりなるワークを、Ｚ軸方向へ順次送りなが
ら、Ｚ軸と直交するＸ軸方向へワークを移動させて、カ
ッタブレードで切断するスライシングマシンにおいて、
上記ワークの先端側を、空気ばねにより防振ローラを介
して下方より弾性支持すると共に、上記空気ばねへ供給
するエア圧を、ワーク先端のたわみに応じて制御するよ
うにしたものである。
【０００５】
【作 用】上記構成により、切断中発生する振動を効
率よく低減できると共に、たわみ０の状態でワークを切
断することができるため、精度の高い切断加工が行え
る。
率よく低減できると共に、たわみ０の状態でワークを切
断することができるため、精度の高い切断加工が行え
る。
【０００６】
【実 施 例】この発明の一実施例を図面を参照して詳
述する。図１及び図２において１はスライシングマシン
のベッドで、このベッド１上にＸ軸方向に布設されたレ
ール２上に移動基台３が移動自在に支承されており、移
動基台３上に旋回台４が設けられている。上記旋回台４
は一端がピン５により移動基台３に枢支されていて、ピ
ン５を中心に任意な角度に回動できるようになっている
と共に、長孔４ａ内に挿通された固定ねじ６をハンドル
６ａにより締付けることにより、移動基台３に対して任
意な角度に固定できるようになっている。
述する。図１及び図２において１はスライシングマシン
のベッドで、このベッド１上にＸ軸方向に布設されたレ
ール２上に移動基台３が移動自在に支承されており、移
動基台３上に旋回台４が設けられている。上記旋回台４
は一端がピン５により移動基台３に枢支されていて、ピ
ン５を中心に任意な角度に回動できるようになっている
と共に、長孔４ａ内に挿通された固定ねじ６をハンドル
６ａにより締付けることにより、移動基台３に対して任
意な角度に固定できるようになっている。
【０００７】また上記旋回台４の上方には、ワークテー
ブル８が設けられている。上記ワークテーブル８の一端
側下部は、水平軸９により上記旋回台３に支承されてい
て、他端側の下部に設けられた傾斜角調整ねじ１０をハ
ンドル１０ａにより回転することにより、水平軸９を中
心にワークテーブル８が任意な角度に傾斜できるように
なっている。
ブル８が設けられている。上記ワークテーブル８の一端
側下部は、水平軸９により上記旋回台３に支承されてい
て、他端側の下部に設けられた傾斜角調整ねじ１０をハ
ンドル１０ａにより回転することにより、水平軸９を中
心にワークテーブル８が任意な角度に傾斜できるように
なっている。
【０００８】一方上記ワークテーブル８には、上記Ｘ軸
と直交するＺ軸方向にガイドレール１２が布設されてい
て、このガイドレール１２にスライド１３が移動自在に
支承されている。上記スライド１３はＺ軸モータ１４に
より回転されるボールねじ軸１５を介してＺ軸方向へ割
出し移動できるようになっているとと共に、スライド１
３上にワークヘッド１６が設置されていて、このワーク
ヘッド１６に半導体インゴットよりなるワーク１７の一
端がワーク取付け治具１８を介して取付けられている。
と直交するＺ軸方向にガイドレール１２が布設されてい
て、このガイドレール１２にスライド１３が移動自在に
支承されている。上記スライド１３はＺ軸モータ１４に
より回転されるボールねじ軸１５を介してＺ軸方向へ割
出し移動できるようになっているとと共に、スライド１
３上にワークヘッド１６が設置されていて、このワーク
ヘッド１６に半導体インゴットよりなるワーク１７の一
端がワーク取付け治具１８を介して取付けられている。
【０００９】また上記ワークテーブル８の水平軸９側に
は、ワーク１７の他端側を下方より支持する支持装置本
体２０が設置されている。上記本体２０は図３ないし図
７に示すように、中心部に空気ばね２１を有していて、
この空気ばね２１の両側に一対のリフトシリンダ２２
と、一対のガイド杆２３が設けられている。上記リフト
シリンダ２２より上方へ突出されたピストン杆２２ａの
上端とガイド杆２３の上端には支持板２４が固着されて
いて、この支持板２４の前側上部に水平方向にゴムロー
ラよりなる防振ローラ２５が回転自在に支承されてい
る。上記防振ローラ２５は、ワーク１７の位置が上下及
び左右方向に変化してもこれに対応できるようＸ軸方向
に長く形成されていて、片持ちでワークヘッド１６に一
端側が取付けられたワーク１７の他端側を下方より支持
するようになっている。
は、ワーク１７の他端側を下方より支持する支持装置本
体２０が設置されている。上記本体２０は図３ないし図
７に示すように、中心部に空気ばね２１を有していて、
この空気ばね２１の両側に一対のリフトシリンダ２２
と、一対のガイド杆２３が設けられている。上記リフト
シリンダ２２より上方へ突出されたピストン杆２２ａの
上端とガイド杆２３の上端には支持板２４が固着されて
いて、この支持板２４の前側上部に水平方向にゴムロー
ラよりなる防振ローラ２５が回転自在に支承されてい
る。上記防振ローラ２５は、ワーク１７の位置が上下及
び左右方向に変化してもこれに対応できるようＸ軸方向
に長く形成されていて、片持ちでワークヘッド１６に一
端側が取付けられたワーク１７の他端側を下方より支持
するようになっている。
【００１０】そして上記リフトシリンダ２２のロッド側
及び空気ばね２１にはエア源２７よりエアが供給できる
ようになっている。エア源２７からのエアはレギュレー
タ２８により一定圧に調圧された後、電磁弁２９により
リフトシリンダ２２のロッド側及び空気ばね２１へ供給
できるようになっている。空気ばね２１側へ供給された
エアは、電磁減圧弁３０により減圧された後、ガイド杆
２３内に形成された通路２３ａ及び支持板２４内の通路
２４ａ内を経て空気ばね２１内へ供給されるようになっ
ている。なお図中３２は高速回転するカッタブレード
で、中心部に開口された円孔３２ａの内周面に、ワーク
１７を切断するカッタ３２ｂが設けられている。また３
３はガイト杆２３の下降端を検出する検出器である。
及び空気ばね２１にはエア源２７よりエアが供給できる
ようになっている。エア源２７からのエアはレギュレー
タ２８により一定圧に調圧された後、電磁弁２９により
リフトシリンダ２２のロッド側及び空気ばね２１へ供給
できるようになっている。空気ばね２１側へ供給された
エアは、電磁減圧弁３０により減圧された後、ガイド杆
２３内に形成された通路２３ａ及び支持板２４内の通路
２４ａ内を経て空気ばね２１内へ供給されるようになっ
ている。なお図中３２は高速回転するカッタブレード
で、中心部に開口された円孔３２ａの内周面に、ワーク
１７を切断するカッタ３２ｂが設けられている。また３
３はガイト杆２３の下降端を検出する検出器である。
【００１１】次に作用を説明すると、ワーク１７を切断
するに当って、まずＺ軸の原点位置Ｚｏにあるワークヘ
ッド１６に、ワーク取付け治具１８を介してワーク１７
の一端を取付け、次にＺ軸サーボモータ１４によりスラ
イド１３をカッタブレード３２方向へ移動させて切断位
置を割出す。切断位置の割出しが完了したら、電磁弁２
９をポジション２９ａに切換えて空気ばね２１にエアを
送り、空気ばね２１により支持板２４を上昇させて、防
振ローラ２５によりワーク１７の他端側を下方より支持
する。そしてこの状態で高速回転しているカッタブレー
ド３２に向ってワーク１７をＸ軸方向へ移動させてワー
ク１７のスライスを行うもので、切断中は防振ローラ２
５を介してワーク１７の切断側端部が空気ばね２１によ
り支持されるため、切断中発生する振動は空気ばね２１
により吸収減衰される。
するに当って、まずＺ軸の原点位置Ｚｏにあるワークヘ
ッド１６に、ワーク取付け治具１８を介してワーク１７
の一端を取付け、次にＺ軸サーボモータ１４によりスラ
イド１３をカッタブレード３２方向へ移動させて切断位
置を割出す。切断位置の割出しが完了したら、電磁弁２
９をポジション２９ａに切換えて空気ばね２１にエアを
送り、空気ばね２１により支持板２４を上昇させて、防
振ローラ２５によりワーク１７の他端側を下方より支持
する。そしてこの状態で高速回転しているカッタブレー
ド３２に向ってワーク１７をＸ軸方向へ移動させてワー
ク１７のスライスを行うもので、切断中は防振ローラ２
５を介してワーク１７の切断側端部が空気ばね２１によ
り支持されるため、切断中発生する振動は空気ばね２１
により吸収減衰される。
【００１２】またワーク１７の切断初期には、ワーク１
７の長さが長いため、片持ちされたワーク１７の他端側
は図８の曲線Ｆに示すようにたわみ、切断が進んで短く
なる（Ｌ1 〜Ｌ3)とたわみ量も減少する。このたわみを
吸収するために、切断開始前に、ワーク１７先端のたわ
みが０になる支持力を算出し、この支持力に見合ったエ
アを電磁減圧弁３０を介して空気ばね２１へ供給する。
ワーク１７の切断が進み、ワーク１７の長さが短くなる
のに従い、ワーク１７のＺ軸位置または切断枚数を計数
して、この計数値に応じて電磁減圧弁３０を階段状に制
御することにより、空気ばね２１へ供給するエア圧を図
８の曲線Ｇに示すように減少させる。これによってワー
ク１７の先端を常にたわみ０の位置に支持することがで
きるため、たわみのない状態でワーク１７の切断を行う
ことができる。
７の長さが長いため、片持ちされたワーク１７の他端側
は図８の曲線Ｆに示すようにたわみ、切断が進んで短く
なる（Ｌ1 〜Ｌ3)とたわみ量も減少する。このたわみを
吸収するために、切断開始前に、ワーク１７先端のたわ
みが０になる支持力を算出し、この支持力に見合ったエ
アを電磁減圧弁３０を介して空気ばね２１へ供給する。
ワーク１７の切断が進み、ワーク１７の長さが短くなる
のに従い、ワーク１７のＺ軸位置または切断枚数を計数
して、この計数値に応じて電磁減圧弁３０を階段状に制
御することにより、空気ばね２１へ供給するエア圧を図
８の曲線Ｇに示すように減少させる。これによってワー
ク１７の先端を常にたわみ０の位置に支持することがで
きるため、たわみのない状態でワーク１７の切断を行う
ことができる。
【００１３】
【発明の効果】この発明は以上詳述したように、片持ち
支持されたワークの先端側を、空気ばねにより防振ロー
ラを介して弾性支持するようにしたことから、切断中発
生する振動を効率よく低減でき、これによって精度の高
い切断が可能になる。また空気ばねへ供給するエアを、
ワークのたわみに応じて制御するようにしたことから、
ワークの先端を常にたわみ０の状態で切断することがで
き、これによって平面度が高く、かつそりのない品質の
安定した製品が得られるようになる。
支持されたワークの先端側を、空気ばねにより防振ロー
ラを介して弾性支持するようにしたことから、切断中発
生する振動を効率よく低減でき、これによって精度の高
い切断が可能になる。また空気ばねへ供給するエアを、
ワークのたわみに応じて制御するようにしたことから、
ワークの先端を常にたわみ０の状態で切断することがで
き、これによって平面度が高く、かつそりのない品質の
安定した製品が得られるようになる。
【図１】この発明の一実施例になるワーク支持装置の設
けられたスライシングマシンの縦断面図である。
けられたスライシングマシンの縦断面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線方向からの矢視図である。
【図３】図１のＢ方向からの矢視図である。
【図４】図３のＣ−Ｃ線に沿う断面図である。
【図５】図４のＤ方向からの矢視図である。
【図６】図５のＥ−Ｅ線に沿う断面図である。
【図７】この発明の一実施例になるワーク支持装置の回
路図である。
路図である。
【図８】この発明の一実施例になるワーク支持装置の作
用を示す線図である。
用を示す線図である。
１６…ワークヘッド、１７…ワーク、２１…空気ばね、
２５…防振ローラ、３２…カッタブレード。
２５…防振ローラ、３２…カッタブレード。
Claims (1)
- 【請求項１】 ワークヘッド１６に片持ち支持された半
導体インゴットよりなるワーク１７を、Ｚ軸方向へ順次
送りながら、Ｚ軸と直交するＸ軸方向へワーク１７を移
動させて、カッタブレード３２で切断するスライシング
マシンにおいて、上記ワーク１７の先端側を、空気ばね
２１により防振ローラ２５を介して下方より弾性支持す
ると共に、上記空気ばね２１へ供給するエア圧を、ワー
ク先端のたわみに応じて制御することを特徴とするスラ
イシングマシンのワーク支持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13562793A JPH06344333A (ja) | 1993-06-07 | 1993-06-07 | スライシングマシンのワーク支持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13562793A JPH06344333A (ja) | 1993-06-07 | 1993-06-07 | スライシングマシンのワーク支持装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06344333A true JPH06344333A (ja) | 1994-12-20 |
Family
ID=15156229
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13562793A Pending JPH06344333A (ja) | 1993-06-07 | 1993-06-07 | スライシングマシンのワーク支持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06344333A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101885085A (zh) * | 2010-06-07 | 2010-11-17 | 谢展鹏 | 内圆切片机及其柔性自动进给装置 |
| CN108527694A (zh) * | 2018-04-10 | 2018-09-14 | 绍兴文理学院 | 一种光伏设备组件制造用的钻孔装置 |
| CN110435014A (zh) * | 2019-07-25 | 2019-11-12 | 桂林电子科技大学 | 绳锯机的绳锯调节装置 |
-
1993
- 1993-06-07 JP JP13562793A patent/JPH06344333A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101885085A (zh) * | 2010-06-07 | 2010-11-17 | 谢展鹏 | 内圆切片机及其柔性自动进给装置 |
| CN108527694A (zh) * | 2018-04-10 | 2018-09-14 | 绍兴文理学院 | 一种光伏设备组件制造用的钻孔装置 |
| CN110435014A (zh) * | 2019-07-25 | 2019-11-12 | 桂林电子科技大学 | 绳锯机的绳锯调节装置 |
| CN110435014B (zh) * | 2019-07-25 | 2021-12-07 | 桂林康华科技有限公司 | 绳锯机的绳锯调节装置 |
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