JPH0634572A - 細線の微細欠陥検査装置 - Google Patents
細線の微細欠陥検査装置Info
- Publication number
- JPH0634572A JPH0634572A JP4186744A JP18674492A JPH0634572A JP H0634572 A JPH0634572 A JP H0634572A JP 4186744 A JP4186744 A JP 4186744A JP 18674492 A JP18674492 A JP 18674492A JP H0634572 A JPH0634572 A JP H0634572A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measured
- laser light
- light
- fine
- diffraction pattern
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Closed-Circuit Television Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 装置の簡素化と処理時間の短縮化をはかり、
被測定物の全長にわたり微細欠陥を簡単に検査する。 【構成】 レーザー光源２からレーザー光が出射され走
査照射光学系のポリゴンミラー９，レンズ群３により、
一定の長さの細線の被測定物１の全長にわたり照射す
る。レーザー光は被測定物により散乱され、この時の０
次回折光は遮光板６で遮光される。そして被測定物によ
り散乱されたレーザー光は集光レンズ４によりテレビカ
メラ５の撮像面に画像の回折パターンとして縮小結像さ
れる。この散乱光による画像の回折パターンを映像信号
として画像認識装置８で処理され、モニターテレビ７に
送られ、欠陥が検出される。
被測定物の全長にわたり微細欠陥を簡単に検査する。 【構成】 レーザー光源２からレーザー光が出射され走
査照射光学系のポリゴンミラー９，レンズ群３により、
一定の長さの細線の被測定物１の全長にわたり照射す
る。レーザー光は被測定物により散乱され、この時の０
次回折光は遮光板６で遮光される。そして被測定物によ
り散乱されたレーザー光は集光レンズ４によりテレビカ
メラ５の撮像面に画像の回折パターンとして縮小結像さ
れる。この散乱光による画像の回折パターンを映像信号
として画像認識装置８で処理され、モニターテレビ７に
送られ、欠陥が検出される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光学的手段を使用した
外観検査装置等における細線の微細欠陥検査装置に関す
るものである。
外観検査装置等における細線の微細欠陥検査装置に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】図３は従来の細線の微細欠陥検査装置の
ブロック構成例図を示し、同図において、被測定物１は
一定の長さの細線である。光源部はレーザー光源２とレ
ンズ群３で構成される。検出部は集光レンズ４とテレビ
カメラ５と遮光板６で構成される。この遮光板６は０次
回折光を遮断するものである。処理部はモニターテレビ
７と画像認識装置８で構成される。以上のように構成さ
れた細線の微細欠陥検査装置について、以下その動作を
のべる。
ブロック構成例図を示し、同図において、被測定物１は
一定の長さの細線である。光源部はレーザー光源２とレ
ンズ群３で構成される。検出部は集光レンズ４とテレビ
カメラ５と遮光板６で構成される。この遮光板６は０次
回折光を遮断するものである。処理部はモニターテレビ
７と画像認識装置８で構成される。以上のように構成さ
れた細線の微細欠陥検査装置について、以下その動作を
のべる。
【０００３】レーザー光源２からレーザー光が出射され
レンズ群３を透過後、被測定物１の径より大である光束
を持つレーザー光に変換され、被測定物１に照射され
る。前記レーザー光は、被測定物１により散乱され、集
光レンズ４によりテレビカメラ５は撮像面に画面の回折
パターンとして縮小結像される。この時、０次回折光は
遮光板６で遮光される。
レンズ群３を透過後、被測定物１の径より大である光束
を持つレーザー光に変換され、被測定物１に照射され
る。前記レーザー光は、被測定物１により散乱され、集
光レンズ４によりテレビカメラ５は撮像面に画面の回折
パターンとして縮小結像される。この時、０次回折光は
遮光板６で遮光される。
【０００４】散乱光による画像の回折パターンは、映像
信号として画像認識装置８に送信され、モニターテレビ
７に送信される。散乱光による画像の回折パターンは、
被測定物１の微細な欠陥により乱れ、この乱れを、画像
認識装置８により認識し、欠陥を検出する。
信号として画像認識装置８に送信され、モニターテレビ
７に送信される。散乱光による画像の回折パターンは、
被測定物１の微細な欠陥により乱れ、この乱れを、画像
認識装置８により認識し、欠陥を検出する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来の構成では、被測定物である一定の長さの細線の一
部分の欠陥しか測定できず、細線全体を測定するために
は、レーザー光照射系全体を移動させる必要があり、こ
のため装置が煩雑になっていた。また、被測定物である
細線のどの位置に欠陥があるかどうかは、画像認識装置
に依らねばならず、二次元の解析が必要となるため、そ
の処理に時間がかかっていた。
従来の構成では、被測定物である一定の長さの細線の一
部分の欠陥しか測定できず、細線全体を測定するために
は、レーザー光照射系全体を移動させる必要があり、こ
のため装置が煩雑になっていた。また、被測定物である
細線のどの位置に欠陥があるかどうかは、画像認識装置
に依らねばならず、二次元の解析が必要となるため、そ
の処理に時間がかかっていた。
【０００６】本発明は上記従来の欠点を解決するもので
あり、装置の簡素化と処理時間の短縮化をはかり、被測
定物の細線の全長にわたり微細欠陥を簡単に検査できる
ことを目的とする。
あり、装置の簡素化と処理時間の短縮化をはかり、被測
定物の細線の全長にわたり微細欠陥を簡単に検査できる
ことを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明の第１の発明は、レーザー光を一定の長さの
細線でなる被測定物の全長にわたり走査する機構と、被
測定物を通過した散乱光以外のレーザー光を遮光する遮
光板と、散乱光による回折パターンの乱れを検出する光
学系と、この回折パターンの乱れを認識し細線の欠陥を
検出する画像認識装置を備える。
に、本発明の第１の発明は、レーザー光を一定の長さの
細線でなる被測定物の全長にわたり走査する機構と、被
測定物を通過した散乱光以外のレーザー光を遮光する遮
光板と、散乱光による回折パターンの乱れを検出する光
学系と、この回折パターンの乱れを認識し細線の欠陥を
検出する画像認識装置を備える。
【０００８】また、本発明の第２の発明は、一定の長さ
の細線でなる被測定物を通過した散乱光以外のレーザー
光を遮光する遮光板と、散乱光を前記被測定物に垂直方
向に収束させる光学系と、散乱光による回折パターンの
乱れを検出する一次元のセンサーと、この一次元センサ
ーの信号から細線の欠陥を検出処理するセンサー信号処
理部を備える。
の細線でなる被測定物を通過した散乱光以外のレーザー
光を遮光する遮光板と、散乱光を前記被測定物に垂直方
向に収束させる光学系と、散乱光による回折パターンの
乱れを検出する一次元のセンサーと、この一次元センサ
ーの信号から細線の欠陥を検出処理するセンサー信号処
理部を備える。
【０００９】
【作用】本発明の第１の発明によれば、被測定物の全長
にわたりレーザー光を走査する機構があるため、装置が
簡単になり、走査位置から被測定物の欠陥の位置の情報
を得ることができる。また、レーザー光照射光学系全体
を移動させる必要がないために、測定の高速化をはかる
ことができる。
にわたりレーザー光を走査する機構があるため、装置が
簡単になり、走査位置から被測定物の欠陥の位置の情報
を得ることができる。また、レーザー光照射光学系全体
を移動させる必要がないために、測定の高速化をはかる
ことができる。
【００１０】また、本発明の第２の発明によれば、被測
定物である一定長さの細線の垂直方向に散乱光を収束さ
せる光学系があるため、その散乱光による回折パターン
が検出部において細線に対して垂直方向に一次元に分布
し、一次元のセンサーで測定ができる。このため、装置
が簡素化され、画像解析装置により二次元の画像解析が
不要となるため、測定の高速化をはかることができる。
定物である一定長さの細線の垂直方向に散乱光を収束さ
せる光学系があるため、その散乱光による回折パターン
が検出部において細線に対して垂直方向に一次元に分布
し、一次元のセンサーで測定ができる。このため、装置
が簡素化され、画像解析装置により二次元の画像解析が
不要となるため、測定の高速化をはかることができる。
【００１１】
【実施例】図１は本発明の第１の発明の一実施例におけ
る細線の微細欠陥検査装置のブロック構成図である。
る細線の微細欠陥検査装置のブロック構成図である。
【００１２】同図において、１は被測定物としての一定
の長さの細線、光源部はレーザー光源２である。走査照
射光学系はポリゴンミラー９などの走査系とレンズ群３
で構成される。検出部は集光レンズ４とテレビカメラ５
と遮光板６で構成される。この遮光板６は０次回折光を
遮断するものである。処理部はモニターテレビ７と画像
認識装置８で構成される。以上のように構成された細線
の微細欠陥検査装置について、以下その動作をのべる。
の長さの細線、光源部はレーザー光源２である。走査照
射光学系はポリゴンミラー９などの走査系とレンズ群３
で構成される。検出部は集光レンズ４とテレビカメラ５
と遮光板６で構成される。この遮光板６は０次回折光を
遮断するものである。処理部はモニターテレビ７と画像
認識装置８で構成される。以上のように構成された細線
の微細欠陥検査装置について、以下その動作をのべる。
【００１３】レーザー光源２からレーザー光が出射さ
れ、走査照射光学系である走査系のポリゴンミラー９と
レンズ群３を透過後、被測定物１の全長にわたり走査照
射される。前記レーザー光は、被測定物１により散乱さ
れ、集光レンズ４によりテレビカメラ５の撮像面に画面
の回折パターンとして縮小結像される。この時、回折０
次回折光は、遮光板６で遮光される。
れ、走査照射光学系である走査系のポリゴンミラー９と
レンズ群３を透過後、被測定物１の全長にわたり走査照
射される。前記レーザー光は、被測定物１により散乱さ
れ、集光レンズ４によりテレビカメラ５の撮像面に画面
の回折パターンとして縮小結像される。この時、回折０
次回折光は、遮光板６で遮光される。
【００１４】散乱光による画像の回折パターンは、映像
信号として画像認識装置８と、モニターテレビ７に送信
される。散乱光による画像の回折パターンは、被測定物
１の微細な欠陥により乱れ、この乱れを画像認識装置８
により認識し、欠陥を検出する。
信号として画像認識装置８と、モニターテレビ７に送信
される。散乱光による画像の回折パターンは、被測定物
１の微細な欠陥により乱れ、この乱れを画像認識装置８
により認識し、欠陥を検出する。
【００１５】以上のように本実施例によれば、レーザー
光を被測定物の全長にわたり走査する構成であるため、
装置が簡素になり、レーザー光の走査位置から被測定物
の全長にわたり欠陥の位置の情報を得ることができる。
また、レーザー光照射光学系全体を移動させる必要がな
いために、測定の高速化をはかることができる。
光を被測定物の全長にわたり走査する構成であるため、
装置が簡素になり、レーザー光の走査位置から被測定物
の全長にわたり欠陥の位置の情報を得ることができる。
また、レーザー光照射光学系全体を移動させる必要がな
いために、測定の高速化をはかることができる。
【００１６】図２は本発明の第２の発明の一実施例にお
ける細線の微細欠陥検査装置のブロック構成図である。
ける細線の微細欠陥検査装置のブロック構成図である。
【００１７】同図において、１は被測定物としての一定
の長さの細線である。光源部はレーザー光源２とレンズ
群３で構成される。被測定物からの散乱光を該被測定物
の垂直方向に収束させる光学系はシリンドリカルレンズ
10である。検出部は一次元センサー11と遮光板６で構成
される。この遮光板６は０次回折光を遮断するものであ
る。処理部はセンサー信号処理部12と処理結果の表示部
13で構成される。以上のように構成された細線の微細欠
陥検査装置について、以下その動作をのべる。
の長さの細線である。光源部はレーザー光源２とレンズ
群３で構成される。被測定物からの散乱光を該被測定物
の垂直方向に収束させる光学系はシリンドリカルレンズ
10である。検出部は一次元センサー11と遮光板６で構成
される。この遮光板６は０次回折光を遮断するものであ
る。処理部はセンサー信号処理部12と処理結果の表示部
13で構成される。以上のように構成された細線の微細欠
陥検査装置について、以下その動作をのべる。
【００１８】レーザー光源２からレーザー光が出射さ
れ、レンズ群３を透過後、被測定物１に照射される。前
記レーザー光は被測定物１により散乱し、シリンドリカ
ルレンズ10によって被測定物の垂直方向の一次元センサ
ー11に集束される。この時、０次回折光は遮光板６で遮
光される。
れ、レンズ群３を透過後、被測定物１に照射される。前
記レーザー光は被測定物１により散乱し、シリンドリカ
ルレンズ10によって被測定物の垂直方向の一次元センサ
ー11に集束される。この時、０次回折光は遮光板６で遮
光される。
【００１９】散乱光による回折パターンは、被測定物の
微細な欠陥により乱れ、この乱れを一次元センサー11の
信号から、センサー信号処理部12によって測定し、その
処理結果を表示部13で表示する。
微細な欠陥により乱れ、この乱れを一次元センサー11の
信号から、センサー信号処理部12によって測定し、その
処理結果を表示部13で表示する。
【００２０】以上のように本実施例によれば、被測定物
である一定長さの細線の垂直方向に散乱光を収束させる
光学系があるため、その散乱光による回折パターンが検
出部において細線に対して垂直方向に一次元に分布し、
一次元のセンサーで測定ができる。このため装置が簡素
化され、画像解析装置による二次元の画像解析が不要と
なるため、測定の高速化をはかることができる。
である一定長さの細線の垂直方向に散乱光を収束させる
光学系があるため、その散乱光による回折パターンが検
出部において細線に対して垂直方向に一次元に分布し、
一次元のセンサーで測定ができる。このため装置が簡素
化され、画像解析装置による二次元の画像解析が不要と
なるため、測定の高速化をはかることができる。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように第１の発明によれ
ば、レーザー光を一定の長さの細線である被測定物の全
長にわたり走査する機構があるため、装置が簡素にな
り、走査位置から細線の欠陥の位置の情報を得ることが
できる。また、レーザー光照射光学系全体を移動させる
必要がないために、測定の高速化を計ることができる。
ば、レーザー光を一定の長さの細線である被測定物の全
長にわたり走査する機構があるため、装置が簡素にな
り、走査位置から細線の欠陥の位置の情報を得ることが
できる。また、レーザー光照射光学系全体を移動させる
必要がないために、測定の高速化を計ることができる。
【００２２】また、第２の発明によれば、被測定物であ
る一定の長さの細線の垂直方向に散乱を収束させる光学
系があるため、その散乱光による回折パターンが検出部
において細線に対して垂直方向に一次元に分布し、一次
元のセンサーで測定ができる。このため、装置が簡素化
され、画像解析装置による二次元の画像解析が不要とな
るため、測定の高速化をはかることができる。
る一定の長さの細線の垂直方向に散乱を収束させる光学
系があるため、その散乱光による回折パターンが検出部
において細線に対して垂直方向に一次元に分布し、一次
元のセンサーで測定ができる。このため、装置が簡素化
され、画像解析装置による二次元の画像解析が不要とな
るため、測定の高速化をはかることができる。
【図１】本発明の第１の発明の一実施例における細線の
微細欠陥検査装置のブロック構成図である。
微細欠陥検査装置のブロック構成図である。
【図２】本発明の第２の発明の一実施例における線線の
微細欠陥検査装置のブロック構成図である。
微細欠陥検査装置のブロック構成図である。
【図３】従来の線線の微細欠陥検査装置のブロック構成
図である。
図である。
１…被測定物、 ２…レーザー光源、 ３…レンズ群、
４…集光レンズ、 ５…テレビカメラ、 ６…遮光
板、 ７…モニターテレビ、 ８…画像認識装置、９…
ポリゴンミラー、 10…シリンドリカルレンズ、 11…
一次元センサー、12…センサー信号処理部、 13…表示
部。
４…集光レンズ、 ５…テレビカメラ、 ６…遮光
板、 ７…モニターテレビ、 ８…画像認識装置、９…
ポリゴンミラー、 10…シリンドリカルレンズ、 11…
一次元センサー、12…センサー信号処理部、 13…表示
部。
Claims (2)
- 【請求項１】 一定の長さ細線でなる被測定物にレーザ
ー光を照射することにより形成される回折パターンを観
測する細線の微細欠陥検査装置において、レーザー光を
前記被測定物の全長にわたり走査する機構と、前記被測
定物を通過した散乱光以外のレーザー光を遮光する遮光
板と、散乱光による回折パターンの乱れを検出する光学
系と、この回折パターンの乱れを認識し細線の欠陥を検
出する画像認識装置を備えたことを特徴とする細線の微
細欠陥検査装置。 - 【請求項２】 一定の長さ細線でなる被測定物にレーザ
ー光を照射することにより形成される回折パターンを観
測する細線の微細欠陥検査装置において、前記被測定物
を通過した散乱光以外のレーザー光を遮光する遮光板
と、散乱光を前記被測定物の垂直方向に収束させる光学
系と、散乱光による回折パターンの乱れを検出する一次
元のセンサーと、この一次元センサーの信号から細線の
欠陥を検出処理するセンサー信号処理部を備えたことを
特徴とする細線の微細欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4186744A JPH0634572A (ja) | 1992-07-14 | 1992-07-14 | 細線の微細欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4186744A JPH0634572A (ja) | 1992-07-14 | 1992-07-14 | 細線の微細欠陥検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0634572A true JPH0634572A (ja) | 1994-02-08 |
Family
ID=16193891
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4186744A Pending JPH0634572A (ja) | 1992-07-14 | 1992-07-14 | 細線の微細欠陥検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0634572A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112730235A (zh) * | 2020-12-18 | 2021-04-30 | 南京大学 | 一种基于光学衍射的动态细线突结自动化检测装置和方法 |
-
1992
- 1992-07-14 JP JP4186744A patent/JPH0634572A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112730235A (zh) * | 2020-12-18 | 2021-04-30 | 南京大学 | 一种基于光学衍射的动态细线突结自动化检测装置和方法 |
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