JPH0634918A

JPH0634918A - 光軸制御装置

Info

Publication number: JPH0634918A
Application number: JP4186568A
Authority: JP
Inventors: Takao Morimoto; 隆夫森本
Original assignee: Ricoh Co Ltd
Current assignee: Ricoh Co Ltd
Priority date: 1992-07-14
Filing date: 1992-07-14
Publication date: 1994-02-10
Anticipated expiration: 2016-07-11
Also published as: JP3187538B2

Abstract

(57)【要約】【目的】安価な方法で確実にレーザ光軸変動を一定の
角度変動に補正して調整させることが可能な光軸制御装
置を提供する。【構成】コーナーキューブ１の出射光側の光路上に透
過光Ｔと反射光Ｋとに分離するダイクロイックミラープ
リズム２を配置させ、このダイクロイックミラープリズ
ム２により分離された一方の少光量側の光束の光路上に
その基準光軸ａが中心となるように４分割受光素子３を
配設し、ダイクロイックミラープリズム２により分離さ
れた他方の多光量側の光束の４分割受光素子３と共役な
光路長となる位置にミラー４を配置し、４分割受光素子
３の出力が常に０又は一定値となるようにコーナーキュ
ーブ１を２軸サーボ駆動させるコーナーキューブ駆動手
段を設けた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、レーザ光を用いた加工
又は計測装置等に用いられる光軸制御装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、コーナーキューブを備えた光軸制
御装置としては、例えば、「光軸制御装置」なるタイト
ルで実開平２−１４０６２７号公報に開示されているも
のがある。そこで、今、光軸制御装置の光軸調整光学系
の一例を図４に基づいて説明する。図示しないレーザ光
源から出射されたレーザ光を平行化レンズにより一点に
収束させた後平行光軸化し、この平行光軸化されたレー
ザ光の入射光軸ｂ（基準光軸ａ）をコーナーキューブ１
に入射させ、その出射光の一部をダイクロイックミラー
プリズム２により透過光Ｔと反射光Ｋとに分離し、その
透過光Ｔを４分割受光素子３に検出させ、これにより、
コーナーキューブ１を常に同一位置（基準光軸ａ）に入
射光軸ｂがくるようにＸ，Ｙの２軸方向に移動させるこ
とにより、露光用ビームとなる反射光Ｋの光軸制御を行
うものがある。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】従来の光軸制御におい
ては、固定のレンズ系で角度変動を伴うレーザ光軸変動
を平行光軸化していたが、レーザ光軸変動そのものは平
行に変動したり（軸ズレのみ）、角度変動の基点位置も
わずかにズレた状態となっている。このためレンズ系に
よる平行光軸化は完全ではなく、レンズ系の出射光はわ
ずかに傾きをもったりしていた。また、この場合、レン
ズを移動させ平行光軸化を保つこともできるが、レンズ
移動による誤差をなくすためにはレンズを３軸方向に移
動させなければならず、制御自体が困難で装置のコスト
高を招く結果となる。

【０００４】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明で
は、レーザ光源から出射されたレーザ光を平行光軸化し
た後、コーナーキューブに入射させ光軸ズレの調整を行
う光軸制御装置において、前記コーナーキューブの出射
光側の光路上に透過光と反射光とに分離するダイクロイ
ックミラープリズムを配置させ、このダイクロイックミ
ラープリズムにより分離された一方の少光量側の光束の
光路上にその基準光軸が中心となるように４分割受光素
子を配設し、前記ダイクロイックミラープリズムにより
分離された他方の多光量側の光束の前記４分割受光素子
と共役な光路長となる位置にミラーを配置し、前記４分
割受光素子の出力が常に０又は一定値となるように前記
コーナーキューブを２軸サーボ駆動させるコーナーキュ
ーブ駆動手段を設けた。

【０００５】請求項２記載の発明では、レーザ光源から
出射されたレーザ光を平行光軸化した後、コーナーキュ
ーブに入射させ光軸ズレの調整を行う光軸制御装置にお
いて、前記コーナーキューブの出射光側の光路上に透過
光と反射光とに分離するダイクロイックミラープリズム
を配置させ、このダイクロイックミラープリズムにより
分離された一方の少光量側の光束の光路上にその基準光
軸が中心となるように４分割受光素子を配設し、前記ダ
イクロイックミラープリズムにより分離された他方の多
光量側の光束に前記４分割受光素子と共役な光路長の収
束点をもたせ、前記４分割受光素子の出力が常に０又は
一定値となるように前記コーナーキューブを２軸サーボ
駆動させるコーナーキューブ駆動手段を設けた。

【０００６】請求項３記載の発明では、レーザ光源から
出射されたレーザ光を第一ミラーを介して平行化レンズ
系により平行光軸化し、この平行化された光を第一コー
ナーキューブに入射させ、その第一コーナーキューブか
らの出射光を第一ダイクロイックミラープリズムで分離
させ、この分離された一方の光束を第一４分割受光素子
で検出し光軸が一定となるように前記第一コーナーキュ
ーブを光軸に対して垂直面内で２軸駆動させ一定の光軸
を得る光軸制御装置において、前記平行化レンズ系の前
段の光路上に前記第一ミラーを通過した光束が導かれる
第二コーナーキューブを配置し、この第二コーナーキュ
ーブの出射光側の光路上に透過光と反射光とに分離する
第二ダイクロイックミラープリズムを配置し、この第二
ダイクロイックミラープリズムにより分離された一方の
少光量側の光束の光路上にその基準光軸が中心となるよ
うに第二４分割受光素子を配設し、前記第二ダイクロイ
ックミラープリズムにより分離された他方の多光量側の
光束の前記第二４分割受光素子と共役な光路長となる位
置でかつその多光量側の光束を前記平行化レンズ系に導
くように第二ミラーを配置し、前記第二４分割受光素子
の出力が常に０又は一定値となるように前記第二コーナ
ーキューブを２軸サーボ駆動させる第二コーナーキュー
ブ駆動手段を設けた。

【０００７】請求項４記載の発明では、レーザ光源から
出射されたレーザ光を第一ミラーを介して平行化レンズ
系により平行光軸化し、この平行化された光を第一コー
ナーキューブに入射させ、この第一コーナーキューブか
らの出射光を第一ダイクロイックミラープリズムで分離
させ、この分離された一方の光束を第一４分割受光素子
で検出し光軸が一定となるように前記第一コーナーキュ
ーブを光軸に対して垂直面内で２軸駆動させ一定の光軸
を得る光軸制御装置において、前記平行化レンズ系の前
段の光路上に前記第一ミラーを通過した光束が導かれる
第二コーナーキューブを配置し、この第二コーナーキュ
ーブの出射光側の光路上に透過光と反射光とに分離する
第二ダイクロイックミラープリズムを配置し、この第二
ダイクロイックミラープリズムにより分離された一方の
少光量側の光束の光路上にその基準光軸が中心となるよ
うに第二４分割受光素子を配設し、前記第二ダイクロイ
ックミラープリズムにより分離された他方の多光量側の
光束に前記第二４分割受光素子と共役な光路長の収束点
をもたせると共にその多光量側の光束を前記平行化レン
ズ系に導き、前記第二４分割受光素子の出力が常に０又
は一定値となるように前記第二コーナーキューブを２軸
サーボ駆動させる第二コーナーキューブ駆動手段を設け
た。

【０００８】請求項５記載の発明では、請求項１記載の
発明において、ダイクロイックミラープリズムと４分割
受光素子とミラーとは、ユニット化して構成され光軸方
向に移動自在な移動機構を備えるようにした。

【０００９】請求項６記載の発明では、請求項２記載の
発明において、４分割受光素子、又は、４分割受光素子
とダイクロイックミラープリズムとを光軸方向に移動調
整できる移動機構を備えるようにした。

【００１０】

【作用】請求項１記載の発明では、コーナーキューブを
２軸駆動させることにより、基準光軸上で光軸は常に合
致しどんな光軸の場合でも一点に収束させ、その収束点
に配置されたミラーで光束を反射させているため、同一
光路上での角度変換が可能となる。

【００１１】請求項２記載の発明では、反射用をミラー
を省略した構成で請求項１と同様な一点変動化を達成す
ることができ、これによりコーナーキューブを２回通過
させない分だけ光利用効率を高めることが可能となる。

【００１２】請求項３，４記載の発明では、収束点から
の変動光軸となっているため、固定レンズ系で平行光軸
化する場合の誤差がなくなり、光軸平行化をより改善さ
せることが可能となる。

【００１３】請求項５記載の発明では、基準位置を光軸
上の任意点に選ぶことができるため、固定のレンズ系の
調整が不要となり、また、４分割受光素子の基準位置も
電気的なバイアスにより任意に設定することが可能とな
る。

【００１４】請求項６記載の発明では、４分割受光素子
やダイクロイックミラー等のみの調整であるため、複雑
な移動機構が不要となる。

【００１５】

【実施例】請求項１記載の発明の一実施例を図１に基づ
いて説明する。本実施例では、図示しないレーザ光源か
ら出射されたレーザ光を平行光軸化した後、コーナーキ
ューブ１に入射させ光軸ズレの調整を行う光軸制御装置
において、以下に述べるような光学系を配設したもので
ある。

【００１６】レーザ光の基準光軸ａに対して前記コーナ
ーキューブ１の出射光側の光路上には、入射した光束を
透過光Ｔと反射光Ｋとに分離するダイクロイックミラー
プリズム２が配置されている。このダイクロイックミラ
ープリズム２により分離された一方の少光量側の光束、
例えば透過光Ｔの光路上には４分割受光素子３が配設さ
れている。この場合、レーザ光の基準光軸ａが４分割受
光素子３の中心位置と略一致するように配置されてい
る。図１（ｂ）は４分割受光素子３の構成を示すもので
あり、４分割された受光面Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄからなってい
る。

【００１７】また、前記ダイクロイックミラープリズム
２により分離された他方の多光量側の光束、ここでは反
射光Ｋの前記４分割受光素子３と共役な光路長となる位
置（収束点Ｐ）には、ミラー４が配置されている。これ
により、そのミラー４により反射された光は入射方向と
逆の経路を辿っていくことになる。

【００１８】さらに、ここでは、前記４分割受光素子３
の受光面Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄの出力値が常に０又は一定値と
なるように前記コーナーキューブ１を２軸（Ｘ，Ｙ）サ
ーボ駆動させる図示しないコーナーキューブ駆動手段が
設けられている。図１（ｂ）において、Ｘ軸方向への移
動量ΔＸは、ΔＸ＝（Ａ＋Ｄ）−（Ｂ＋Ｃ）により求め
られる。また、Ｙ軸方向への移動量ΔＹは、ΔＹ＝（Ａ
＋Ｂ）−（Ｃ＋Ｄ）により求められる。

【００１９】このような構成において、コーナーキュー
ブ駆動手段を用いて光軸制御を行う動作原理について説
明する。レーザ光（光軸ズレ、角度変動）を伴った入射
光軸ｂは、コーナーキューブ１に入射した後、変動角と
平行に出射し、４分割受光素子３には中心点よりズレた
位置に入射する。この時、４分割受光素子３の軸方向へ
の移動量ΔＸ，ΔＹの差分値が０となるように、コーナ
ーキューブ１を基準光軸ａに対して垂直方向のＸ，Ｙの
２軸方向に移動させることにより、基準光軸ａに収束点
Ｐで合致させることができる。一方、このような軸方向
への移動に伴いミラー４上でも入射光軸ｂは合致するた
め、反射光は収束点Ｐを基点とした光軸傾きになって元
の光路を逆方向に進行する。このようにしてレーザ光の
入射光軸ｂの変動は、常にミラー４の基準光軸ａと合致
する一点（収束点Ｐ）基点の傾き変動（軸ズレの場合は
基準光軸ａと一致）した光軸とすることができる。

【００２０】上述したように、コーナーキューブ１を２
軸移動させることにより、常に基準光軸ａ上で入射光軸
ｂは合致し、どんな光軸に対しても一点（収束点Ｐ）に
収束させその収束点Ｐをミラー４面で反射させているた
め、同一光路上での角度変換が可能となる。従って、こ
れにより安価な方法で確実にレーザ光軸変動を一定の角
度変動に補正して調整させることが可能な装置を提供す
ることができる。

【００２１】次に、請求項２記載の発明の一実施例を図
２に基づいて説明する。なお、請求項１記載の発明と同
一部分についての説明は省略し、その同一部分について
は同一符号を用いる。

【００２２】ここでは、前述した図１（ａ）のミラー４
を除去した構成としたものである。ただし、ここでも、
ダイクロイックミラープリズム２により反射された光束
すなわち反射光Ｋに４分割受光素子３と共役な光路長の
収束点Ｐをもたせるように設計している。このように２
軸方向の光軸調整を行うことにより、入射光軸ｂを基準
光軸ａ上の一点（収束点Ｐ）で収束させる調整を行うこ
とができ、これにより、コーナーキューブ１を２回通過
させない分だけ、光利用効率を向上させることができ
る。

【００２３】次に、請求項４記載の発明の一実施例を図
３に基づいて説明する。なお、請求項１，２記載の発明
と同一部分についての説明は省略し、その同一部分につ
いては同一符号を用いる。

【００２４】本実施例では、図示しないレーザ光源から
出射されたレーザ光を第一ミラー５，６を介して平行化
レンズ系７を構成する平行化レンズ８，９により平行光
軸化した後、この平行化された光を第一コーナーキュー
ブ１０に入射させ、その第一コーナーキューブ１０から
の出射光を第一ダイクロイックミラープリズム１１で分
離させ、この分離された一方の光束、ここでは透過光Ｔ
ａを第一４分割受光素子１２で検出し光軸が一定となる
ように前記第一コーナーキューブ１０を光軸に対して垂
直面内で２軸駆動させ一定の光軸を得る光軸制御装置に
おいて、以下に述べるような光学系を配設したものであ
る。

【００２５】前記平行化レンズ系７の前段の光路上に
は、前記第一ミラー５，６を通過した光束が導かれる第
二コーナーキューブ１が配置されている。この第二コー
ナーキューブ１の出射光側の光路上には、透過光Ｔと反
射光Ｋとに分離する第二ダイクロイックミラープリズム
２が配置されている。この第二ダイクロイックミラープ
リズム２により分離された一方の少光量側の光束である
透過光Ｔの光路上には、基準光軸ａが４分割受光面Ａ，
Ｂ，Ｃ，Ｄの中心となるように第二４分割受光素子３が
配設されている。前記第二ダイクロイックミラープリズ
ム３により分離された他方の多光量側の光束である反射
光Ｋは、前記第二４分割受光素子３と共役な光路長の収
束点Ｐをもつ共に、その反射光Ｋが前記平行化レンズ系
７に導かれるように配置されている。また、ここでは、
前記第二４分割受光素子３の出力が常に０又は一定値と
なるように前記第二コーナーキューブ１を２軸サーボ駆
動させる図示しない第二コーナーキューブ駆動手段（前
述したコーナーキューブ駆動手段と同じもの）が設けら
れている。

【００２６】このような構成において、入射光軸ｂの光
束を第一ミラー５，６を介して、第二コーナーキューブ
１に入射させ、その出射光を第二ダイクロイックミラー
プリズム２を介して第二４分割受光素子３に入射させ
る。これにより、前述した請求項１の実施例の場合と同
様な原理により、基準光軸ａに対して平行光軸化の調整
を行う。その後、その光軸調整された反射光Ｋを平行化
レンズ８，９を第一コーナーキューブ１０に入射させ、
その出射光を第一ダイクロイックミラープリズム１１に
導くことにより得られた透過光Ｋａを第一４分割受光素
子１２に検出させる。これにより、軸ズレ分を０にする
ようにコーナーキューブ１０をＸ，Ｙの２軸方向に移動
させることにより、第一ダイクロイックミラープリズム
１１からの出射光である反射光Ｋａを変動のない常に一
定の光軸にすることができる。従って、本実施例の場合
にも、安価な方法で確実にレーザ光軸変動を一定の角度
変動に補正して調整させることが可能な装置を提供する
ことができる。

【００２７】なお、本実施例は、前述した請求項２記載
の実施例と同様にミラー４（図１参照）を配置しない構
成となっているが、この他に、請求項３記載の発明のよ
うに第二ミラーを設けた構成としても同様な効果を得る
ことができる。ただし、第二ミラーとは前述した請求項
１記載の発明の実施例のミラー４と同じものであり、こ
こでは、その第二ミラーは第二ダイクロイックミラープ
リズム２により分離された他方の多光量側の透過光Ｋの
前記第二４分割受光素子３と共役な光路長となる位置で
かつその透過光Ｋを前記平行化レンズ系７に導くような
位置（図３の破線で示す位置１３）に配置される。

【００２８】また、前述した請求項１記載の発明の実施
例（図１参照）の中で、ダイクロイックミラープリズム
２と４分割受光素子３とミラー４とを、一体化して構成
し図示しない移動機構により光軸方向に移動自在な構成
としたり、また、４分割受光素子３又はダイクロイック
ミラープリズム２と４分割受光素子３とを図示しない移
動機構により光軸方向に移動調整できるような構成とし
てもよい。これにより、基点（収束点Ｐ）を任意の位置
に設定できるため、その後段のレンズ系を調整すること
なく平行光軸化することができる（請求項５，６に対応
する）。

【００２９】

【発明の効果】請求項１記載の発明は、レーザ光源から
出射されたレーザ光を平行光軸化した後、コーナーキュ
ーブに入射させ光軸ズレの調整を行う光軸制御装置にお
いて、前記コーナーキューブの出射光側の光路上に透過
光と反射光とに分離するダイクロイックミラープリズム
を配置させ、このダイクロイックミラープリズムにより
分離された一方の少光量側の光束の光路上にその基準光
軸が中心となるように４分割受光素子を配設し、前記ダ
イクロイックミラープリズムにより分離された他方の多
光量側の光束の前記４分割受光素子と共役な光路長とな
る位置にミラーを配置し、前記４分割受光素子の出力が
常に０又は一定値となるように前記コーナーキューブを
２軸サーボ駆動させるコーナーキューブ駆動手段を設け
たので、基準光軸上で光軸は常に合致しどんな光軸の場
合でも一点に収束させ、その収束点に配置されたミラー
で光束を反射させているため同一光路上での角度変換が
可能となり、これにより、安価な方法で確実にレーザ光
軸変動を一定の角度変動に補正して調整させることが可
能な装置を提供することができるものである。

【００３０】請求項２記載の発明は、レーザ光源から出
射されたレーザ光を平行光軸化した後、コーナーキュー
ブに入射させ光軸ズレの調整を行う光軸制御装置におい
て、前記コーナーキューブの出射光側の光路上に透過光
と反射光とに分離するダイクロイックミラープリズムを
配置させ、このダイクロイックミラープリズムにより分
離された一方の少光量側の光束の光路上にその基準光軸
が中心となるように４分割受光素子を配設し、前記ダイ
クロイックミラープリズムにより分離された他方の多光
量側の光束に前記４分割受光素子と共役な光路長の収束
点をもたせ、前記４分割受光素子の出力が常に０又は一
定値となるように前記コーナーキューブを２軸サーボ駆
動させるコーナーキューブ駆動手段を設けたので、反射
用をミラーを省略した構成で請求項１と同様な一点変動
化を達成することが可能となり、これによりコーナーキ
ューブを２回通過させない分だけ光利用効率を高めるこ
とができるものである。

【００３１】請求項３記載の発明は、レーザ光源から出
射されたレーザ光を第一ミラーを介して平行化レンズ系
により平行光軸化し、この平行化された光を第一コーナ
ーキューブに入射させ、その第一コーナーキューブから
の出射光を第一ダイクロイックミラープリズムで分離さ
せ、この分離された一方の光束を第一４分割受光素子で
検出し光軸が一定となるように前記第一コーナーキュー
ブを光軸に対して垂直面内で２軸駆動させ一定の光軸を
得る光軸制御装置において、前記平行化レンズ系の前段
の光路上に前記第一ミラーを通過した光束が導かれる第
二コーナーキューブを配置し、この第二コーナーキュー
ブの出射光側の光路上に透過光と反射光とに分離する第
二ダイクロイックミラープリズムを配置し、この第二ダ
イクロイックミラープリズムにより分離された一方の少
光量側の光束の光路上にその基準光軸が中心となるよう
に第二４分割受光素子を配設し、前記第二ダイクロイッ
クミラープリズムにより分離された他方の多光量側の光
束の前記第二４分割受光素子と共役な光路長となる位置
でかつその多光量側の光束を前記平行化レンズ系に導く
ように第二ミラーを配置し、前記第二４分割受光素子の
出力が常に０又は一定値となるように前記第二コーナー
キューブを２軸サーボ駆動させる第二コーナーキューブ
駆動手段を設けたので、収束点からの変動光軸となって
いるため、固定レンズ系で平行光軸化する場合の誤差が
なくなり、光軸平行化をより改善させることが可能とな
り、これにより光軸を一段と安定させることができるも
のである。

【００３２】請求項４記載の発明は、レーザ光源から出
射されたレーザ光を第一ミラーを介して平行化レンズ系
により平行光軸化し、この平行化された光を第一コーナ
ーキューブに入射させ、この第一コーナーキューブから
の出射光を第一ダイクロイックミラープリズムで分離さ
せ、この分離された一方の光束を第一４分割受光素子で
検出し光軸が一定となるように前記第一コーナーキュー
ブを光軸に対して垂直面内で２軸駆動させ一定の光軸を
得る光軸制御装置において、前記平行化レンズ系の前段
の光路上に前記第一ミラーを通過した光束が導かれる第
二コーナーキューブを配置し、この第二コーナーキュー
ブの出射光側の光路上に透過光と反射光とに分離する第
二ダイクロイックミラープリズムを配置し、この第二ダ
イクロイックミラープリズムにより分離された一方の少
光量側の光束の光路上にその基準光軸が中心となるよう
に第二４分割受光素子を配設し、前記第二ダイクロイッ
クミラープリズムにより分離された他方の多光量側の光
束に前記第二４分割受光素子と共役な光路長の収束点を
もたせると共にその多光量側の光束を前記平行化レンズ
系に導き、前記第二４分割受光素子の出力が常に０又は
一定値となるように前記第二コーナーキューブを２軸サ
ーボ駆動させる第二コーナーキューブ駆動手段を設けた
ので、収束点からの変動光軸となっているため、固定レ
ンズ系で平行光軸化する場合の誤差がなくなり、光軸平
行化をより改善させることが可能となり、これにより光
軸を一段と安定させることができるものである。

【００３３】請求項５記載の発明は、請求項１記載の発
明において、ダイクロイックミラープリズムと４分割受
光素子とミラーとは、ユニット化して構成され光軸方向
に移動自在な移動機構を備えるようにしたので、基準位
置を光軸上の任意点に選ぶことができるため、固定のレ
ンズ系の調整が不要となり、また、４分割受光素子の基
準位置も電気的なバイアスにより任意に設定することが
可能となり、光軸調整が容易にし精度を向上させること
ができるものである。

【００３４】請求項６記載の発明は、請求項２記載の発
明において、４分割受光素子、又は、４分割受光素子と
ダイクロイックミラープリズムとを光軸方向に移動調整
できる移動機構を備えるようにしたので、４分割受光素
子やダイクロイックミラー等のみの調整であるため、複
雑な移動機構が不要となり、安価な装置を提供すること
ができるものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）は請求項１記載の発明である光軸制御装
置の光軸調整機構を示す光路図、（ｂ）はその４分割受
光素子を示す正面図である。

【図２】請求項２記載の発明である光軸調整機構を示す
光路図である。

【図３】請求項４記載の発明である光軸調整機構を示す
光路図である。

【図４】従来の光軸調整機構を示す光路図である。

【符号の説明】

１コーナーキューブ（第二コーナーキュー
ブ）２ダイクロイックミラープリズム（第二ダ
イクロイックミラープリズム）３４分割受光素子（第二４分割受光素子）４ミラー（第二ミラー）５，６第一ミラー７平行化レンズ系１０第一コーナーキューブ１１第一ダイクロイックミラープリズム１２第一４分割受光素子

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】レーザ光源から出射されたレーザ光を平
行光軸化した後、コーナーキューブに入射させ光軸ズレ
の調整を行う光軸制御装置において、前記コーナーキュ
ーブの出射光側の光路上に透過光と反射光とに分離する
ダイクロイックミラープリズムを配置させ、このダイク
ロイックミラープリズムにより分離された一方の少光量
側の光束の光路上にその基準光軸が中心となるように４
分割受光素子を配設し、前記ダイクロイックミラープリ
ズムにより分離された他方の多光量側の光束の前記４分
割受光素子と共役な光路長となる位置にミラーを配置
し、前記４分割受光素子の出力が常に０又は一定値とな
るように前記コーナーキューブを２軸サーボ駆動させる
コーナーキューブ駆動手段を設けたことを特徴とする光
軸制御装置。
【請求項２】レーザ光源から出射されたレーザ光を平
行光軸化した後、コーナーキューブに入射させ光軸ズレ
の調整を行う光軸制御装置において、前記コーナーキュ
ーブの出射光側の光路上に透過光と反射光とに分離する
ダイクロイックミラープリズムを配置させ、このダイク
ロイックミラープリズムにより分離された一方の少光量
側の光束の光路上にその基準光軸が中心となるように４
分割受光素子を配設し、前記ダイクロイックミラープリ
ズムにより分離された他方の多光量側の光束に前記４分
割受光素子と共役な光路長の収束点をもたせ、前記４分
割受光素子の出力が常に０又は一定値となるように前記
コーナーキューブを２軸サーボ駆動させるコーナーキュ
ーブ駆動手段を設けたことを特徴とする光軸制御装置。
【請求項３】レーザ光源から出射されたレーザ光を第
一ミラーを介して平行化レンズ系により平行光軸化し、
この平行化された光を第一コーナーキューブに入射さ
せ、この第一コーナーキューブからの出射光を第一ダイ
クロイックミラープリズムで分離させ、この分離された
一方の光束を第一４分割受光素子で検出し光軸が一定と
なるように前記第一コーナーキューブを光軸に対して垂
直面内で２軸駆動させ一定の光軸を得る光軸制御装置に
おいて、前記平行化レンズ系の前段の光路上に前記第一
ミラーを通過した光束が導かれる第二コーナーキューブ
を配置し、この第二コーナーキューブの出射光側の光路
上に透過光と反射光とに分離する第二ダイクロイックミ
ラープリズムを配置し、この第二ダイクロイックミラー
プリズムにより分離された一方の少光量側の光束の光路
上にその基準光軸が中心となるように第二４分割受光素
子を配設し、前記第二ダイクロイックミラープリズムに
より分離された他方の多光量側の光束の前記第二４分割
受光素子と共役な光路長となる位置でかつその多光量側
の光束を前記平行化レンズ系に導くように第二ミラーを
配置し、前記第二４分割受光素子の出力が常に０又は一
定値となるように前記第二コーナーキューブを２軸サー
ボ駆動させる第二コーナーキューブ駆動手段を設けたこ
とを特徴とする光軸制御装置。
【請求項４】レーザ光源から出射されたレーザ光を第
一ミラーを介して平行化レンズ系により平行光軸化し、
この平行化された光を第一コーナーキューブに入射さ
せ、この第一コーナーキューブからの出射光を第一ダイ
クロイックミラープリズムで分離させ、この分離された
一方の光束を第一４分割受光素子で検出し光軸が一定と
なるように前記第一コーナーキューブを光軸に対して垂
直面内で２軸駆動させ一定の光軸を得る光軸制御装置に
おいて、前記平行化レンズ系の前段の光路上に前記第一
ミラーを通過した光束が導かれる第二コーナーキューブ
を配置し、この第二コーナーキューブの出射光側の光路
上に透過光と反射光とに分離する第二ダイクロイックミ
ラープリズムを配置し、この第二ダイクロイックミラー
プリズムにより分離された一方の少光量側の光束の光路
上にその基準光軸が中心となるように第二４分割受光素
子を配設し、前記第二ダイクロイックミラープリズムに
より分離された他方の多光量側の光束に前記第二４分割
受光素子と共役な光路長の収束点をもたせると共にその
多光量側の光束を前記平行化レンズ系に導き、前記第二
４分割受光素子の出力が常に０又は一定値となるように
前記第二コーナーキューブを２軸サーボ駆動させる第二
コーナーキューブ駆動手段を設けたことを特徴とする光
軸制御装置。
【請求項５】ダイクロイックミラープリズムと４分割
受光素子とミラーとは、ユニット化して構成され光軸方
向に移動自在な移動機構を備えたことを特徴とする請求
項１記載の光軸制御装置。
【請求項６】４分割受光素子、又は、４分割受光素子
とダイクロイックミラープリズムとを光軸方向に移動調
整できる移動機構を備えたことを特徴とする請求項２記
載の光軸制御装置。