JPH06349908A - ウエハ検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】ウエハ検査装置においてマクロ検査が行われる
ウエハの全数につき容易にすばやくウエハ裏面の検査を
行う事が出来るウエハ検査装置を提供することである。 【構成】複数のウエハを保持したウエハ保持体から所望
のウエハを取り出すとともに取り出されたウエハをウエ
ハ保持体中の所望の位置に返却するウエハ取り出し／返
却腕３０と、ウエハ取り出し／返却腕により取り出され
たウエハがマクロ検査の為に載置されるマクロテーブル
３２と、マクロテーブルのウエハの周縁部を保持し、ウ
エハの裏面を検査する為にウエハを裏返しまた元に戻す
ウエハ保持腕３６ａ，３６ｂ、揺動腕４０、及び揺動腕
中心軸４４と、を備えたことを特徴としている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、所定のパターンが形
成されたウエハを複数保持したウエハ保持体から所望の
ウエハを取り出し、ウエハのマクロ検査が行なわれた後
にウエハ保持体中の所望の位置にマクロ検査済のウエハ
を返却するウエハ検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】このようなウエハ検査装置は例えば特開
平１−２０７９４２号公報から既に知られいる。上記公
報でウエハ検査装置はミクロ検査の為の顕微鏡と共に組
み合わされて使用されており、ウエハ検査装置から顕微
鏡の検査台へと選択的にウエハを搬送する搬送手段を有
している。

【０００３】ウエハ検査装置はウエハの一面に形成され
ている所定のパターンを検査することを目的として使用
されているが、最近ウエハの裏面の検査も重要視されて
来ている。これは裏面にゴミや水分が付着していると、
ダイシングの際に断面に割れが生じたり、ダイシングの
後のチップを基板に接着する際に接着不良が生じ、製品
の不良率が大きくなるからである。

【０００４】従来では、ウエハの裏面の検査は、ウエハ
検査装置においてウエハの一面の所定のパターンのマク
ロ検査が終了した後、また必要に応じた顕微鏡でのミク
ロ検査が終了した後に、検査者がピンセット等の挟持器
具を使用してウエハを挟持しウエハを裏返すことにより
行われている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】このような検査者の手
によるウエハ裏面の検査作業は面倒な為、ウエハの全数
について行なわれておらず、所定の規定に従った抜き取
り検査や検査者の判断により任意に行なわれている。

【０００６】この発明はこのような事情の下でなされ、
この発明の主たる目的は、ウエハ検査装置においてマク
ロ検査が行われるウエハの全数につき容易にすばやくウ
エハ裏面の検査を行う事が出来るウエハ検査装置を提供
することである。

【０００７】またこの発明は、マクロ検査が行われるウ
エハの全数につき容易にすばやくウエハ裏面の検査を行
う事が出来るウエハ検査装置を直径が異なる複数種類の
ウエハに対して容易に素早く適合させる事ができる構成
を提供することを副次的な目的としている。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上述したこの発明の主た
る目的を達成する為に、この発明に従ったウエハ検査装
置は：複数のウエハを保持したウエハ保持体から所望の
ウエハを取り出すとともに、取り出されたウエハをウエ
ハ保持体中の所望の位置に返却するウエハ搬送手段と；
ウエハ搬送手段により取り出されたウエハがマクロ検査
の為に載置されるウエハ載置手段と；ウエハ載置手段上
のウエハの周縁部を保持し、ウエハの裏面を検査する為
にウエハを裏返し、また元に戻すウエハ裏返し手段と；
を備えたことを特徴としている。

【０００９】

【作用】このように構成されているこの発明に従ったウ
エハ検査装置では、複数のウエハを保持したウエハ保持
体からウエハ搬送手段により所望のウエハが取り出さ
れ、ウエハ搬送手段により取り出されたウエハはウエハ
載置手段に載置されマクロ検査される。ウエハ載置手段
上のウエハの周縁部はウエハ裏返し手段により裏返しさ
れ裏面を検査される。裏返しされたウエハは裏面の検査
終了の後にウエハ裏返し手段により元に戻され、次にウ
エハ搬送手段によりウエハ載置手段からウエハ保持体中
の所望の位置に返却される。

【００１０】

【実施例】以下、この発明の一実施例に従ったウエハ検
査装置を添付の図面を参照しながら詳細に説明する。

【００１１】図１には顕微鏡１０と組み合わされた上記
ウエハ検査装置１２の正面図が示されており、図２の
（Ａ）には図１のウエハ検査装置１２の平面図が示され
ており、図２の（Ｂ）には図１のウエハ検査装置１２の
右側面図が示されている。

【００１２】顕微鏡１０は、手動によりＸ軸方向及びＹ
軸方向に移動自在なＸＹテーブル群１０ａと、ＸＹテー
ブル群１０ａの上方で回転式台座に保持された複数の対
物レンズ群１０ｂと、対物レンズ群１０ｂのさらに上方
に位置した１対の接眼レンズ１０ｃと、を備えている。

【００１３】ＸＹテーブル群１０ａ中の上端に位置する
Ｘテーブル１０ａ´は対物レンズ群１０ｂの下方位置か
らウエハ検査装置１２の外装ハウジング１２ａの上面の
前端部右側領域まで進出することが出来る。図２の
（Ａ）には後者の場合のＸテーブル１０ａ´が２点鎖線
により描かれており、Ｘテーブル１０ａ´の左端に形成
されている細長い係合突起１１はウエハ検査装置１２の
外装ハウジング１２ａの上面の前端部右側領域に設置さ
れたＸテーブル受け１２ｂに係合する。Ｘテーブル受け
１２ｂには図示しない光学センサが設けられていて、Ｘ
テーブル１０ａ´の左端の係合突起１１の係合の有無を
感知する。

【００１４】ウエハ検査装置１２の外装ハウジング１２
ａの上面の後端部には、図２の（Ａ）に示す如く、左右
１対のエレベータ１４ａ，１４ｂが設置されている。エ
レベータ１４ａ，１４ｂの夫々は上下方向に延出した複
数の図示しない案内棒及びボール送りねじに支持されて
いて、図示しないボール送りねじを図示しないパルスモ
ータにより一方向または他方向に回転させることにより
上下方向に所望の距離だけ選択的に移動させることが出
来る。

【００１５】右側のエレベータ１４ａの上面には所定の
直径のウエハを複数枚保持したウエハ保持体１６ａが載
置され、左側のエレベータ１４ａの上面には右側のエレ
ベータ１４ａの上面に載置されたのと同じ種類のウエハ
保持体１６ｂが載置される。この実施例のウエハ検査装
置１２では、１対のエレベータ１４ａ，１４ｂにはもう
１つの所定の直径のウエハを複数枚保持したウエハ保持
体もまた同様に載置することが出来、１対のエレベータ
１４ａ，１４ｂの夫々の上面にはこれら２種類のウエハ
保持体を所定位置に着脱自在に保持する位置決め部材１
８ａ，１８ｂが設置されている。右側のエレベータ１４
ａの上面にはこの上面に載置されたウエハ保持体の種類
（即ち、このウエハ保持体中のウエハの直径）を検知す
る為のウエハ直径検知器２０ａ，２０ｂがさらに設置さ
れている。ウエハ直径検知器２０ａ，２０ｂは、例えば
光学センサにより構成されている。

【００１６】１対のエレベータ１４ａ，１４ｂ上のウエ
ハ保持体１６ａ，１６ｂの夫々は上下方向に所定の間隔
で配置された図示しない複数の水平棚を有しており、夫
々の棚には前縁に開口した大きな切り欠きが前縁から中
心部に向かい形成されていて、夫々の棚の上に所定のパ
ターンが形成されたウエハが載置されている。

【００１７】外装ハウジング１２ａ中で右側のエレベー
タ１４ａの手前には、Ｘ軸方向移動台座２２が配置され
ている。Ｘ軸方向移動台座２２は外装ハウジング１２ａ
の底壁上をＸ軸方向（左右方向）に延出したＸ軸方向案
内レール２４及びＸ軸方向ボール送りねじ２６上に支持
されていて、Ｘ軸方向ボール送りねじ２６が図示しない
パルスモータにより一方向または他方向に回転させるこ
とによりＸ軸方向に沿い右側のエレベータ１４ａの手前
の位置（図２の（Ａ）に実線で示す）と左側のエレベー
タ１４ｂの手前の位置との間で選択的に往復移動させる
ことが出来る。なお右側のエレベータ１４ａの手前の位
置がＸ軸方向移動台座２２の初期位置である。

【００１８】Ｘ軸方向移動台座２２の左縁部にはＹ軸方
向（前後方向）に延出したＹ軸方向案内部材２７が固定
されており、Ｙ軸方向案内部材２７上にはＹ軸方向移動
台座２８がＹ軸方向に移動自在に設置されている。Ｙ軸
方向移動台座２８はＹ軸方向案内部材２７の前端部と後
端部とに回転自在に支持されている図示しない１対の回
転プーリに掛け渡された図示しない動力伝達ベルトに結
合されていて、上記動力伝達ベルトが図示しないパルス
モータにより一方向または他方向に回転されることによ
りＹ軸方向に沿いＹ軸方向案内部材２７の後端部（図２
の（Ａ）に実線で示す）と前端部との間で選択的に往復
移動させることが出来る。

【００１９】Ｙ軸方向案内部材２７の後端部がＹ軸方向
移動台座２８の初期位置である。

【００２０】Ｙ軸方向移動台座２８上には所定の範囲内
で上下方向に移動自在にウエハ取り出し／返却腕３０が
取り付けられている。ウエハ取り出し／返却腕３０は図
示しない付勢手段により上端位置に保持されていて、図
示しないエアーシリンダに駆動されることにより下端位
置に移動される。

【００２１】ウエハ取り出し／返却腕３０は、Ｘ軸方向
移動台座２２の左縁部の後端領域からＸ軸方向移動台座
２２の上面の上方を左右方向略中間位置まで一旦水平に
延出した後に前方に向かい水平にＸ軸方向移動台座２２
の上面の前後方向略中間位置まで延出している。延出端
３０ａの平面形状は略半Ｕ字形をしており、ウエハ取り
出し／返却腕３０の内部にはＹ軸方向移動台座２８側の
基端部から延出端３０ａに向かい図示しない通気孔が形
成されていて、上記基端部は図示しない真空源に接続さ
れ延出端３０ａの上面には図示しない多数の吸着孔が開
口されている。上端位置にあるウエハ取り出し／返却腕
３０の延出端３０ａは、上端位置にある右側のエレベー
タ１４ａ上のウエハ保持体１６ａの最下段の水平棚の僅
かに下方と同じ高さ位置にある。

【００２２】よってウエハ検査装置１２の外装ハウジン
グ１２ａの前面に設けられているスタート釦３１がオン
されると、Ｘ軸方向移動台座２２が初期位置である右側
のエレベータ１４ａの手前に配置されている間にＹ軸方
向移動台座２８はＹ軸方向案内部材２７の前端まで移動
され、上端位置にあるウエハ取り出し／返却腕３０の延
出端３０ａは、上端位置にある右側のエレベータ１４ａ
上のウエハ保持体１６ａの最下段の水平棚の僅かに下方
に挿入される。

【００２３】右側のウエハ保持体１６ａは複数のウエハ
を保持しているので、ウエハ取り出し／返却腕３０の延
出端３０ａが右側のウエハ保持体１６ａの最下段の水平
棚の僅かに下方に挿入された後に右側のエレベータ１４
ａを複数の水平棚の相互間の距離分だけ下降させると、
最下段の水平棚の上のウエハはウエハ取り出し／返却腕
３０の延出端３０ａ上に掬い取られる。

【００２４】この後に図示しない真空源により延出端３
０ａの上面の図示しない多数の吸着孔を介して延出端３
０ａ上のウエハを吸着し、さらにＹ軸方向移動台座２８
をＹ軸方向案内部材２７の後端まで移動させると、ウエ
ハ取り出し／返却腕３０の延出端３０ａ上にウエハを吸
着させた状態で右側のウエハ保持体１６ａの最下段の水
平棚からウエハを取り出すことが出来る。

【００２５】後端位置のＹ軸方向移動台座２８のウエハ
取り出し／返却腕３０の略Ｃ字形状の延出端３０ａで囲
まれた空間の下方でＸ軸方向移動台座２２の上面には、
円形の平面形状を有したマクロテーブル３２が設置され
ている。

【００２６】マクロテーブル３２は所定の範囲内で上下
方向に移動自在であるが通常は自重により下端位置に配
置されている。マクロテーブル３２の上端面には前述の
図示しない真空源に接続された多数の吸着孔３２ａが放
射状に形成されている。

【００２７】Ｙ軸方向案内部材２７の後端位置に到着後
ウエハ取り出し／返却腕３０は、外装ハウジング１２ａ
の前面の停止時間設定スイッチ３３（図１）により予め
設定された停止時間の経過後に、前述の図示しないエア
シリンダにより前述の図示しない付勢手段の付勢力に抗
して上端位置から下端位置へと下降される。下端位置に
おいてウエハ取り出し／返却腕３０の延出端３０ａは下
端位置に配置されているマクロテーブル３２の上端面よ
りも下方に移動するので、上記下降により延出端３０ａ
上のウエハはマクロテーブル３２の上端面に載置され、
上記下降により前述の図示しない真空源から負圧が供給
されるマクロテーブル３２の上端面の吸着孔３２ａによ
り吸着される。

【００２８】この状態はウエハの待機状態であり、マク
ロテーブル３２はウエハの為の載置手段になっている。

【００２９】この間に外装ハウジング１２ａの前端部の
右隅に設けられているジョイステックレバー３４の上端
に設けられたマクロ検査スイッチ３４ａをオンにする
と、Ｘ軸方向移動台座２２に設けられた図示しないエア
シリンダによりマクロテーブル３２は上端位置まで移動
され、上端位置においてジョイステックレバー３４の操
作に従い３６０度の周方向範囲内の任意の周方向位置で
所定の傾斜角度の範囲内の任意の傾斜角度に傾斜させる
ことが出来る。

【００３０】マクロテーブル３２の上端面のウエハは吸
着孔３２ａから供給される負圧により上記上端面に吸着
されているので、ジョイステックレバー３４の操作によ
りマクロテーブル３２とともに傾斜しても上記上端面か
ら落下しない。

【００３１】傾斜したウエハは種々の角度から検査員が
上面のパターンを検査することを容易としている。

【００３２】ジョイステックレバー３４の上端のマクロ
検査スイッチ３４ａをオフにすると、マクロテーブル３
２は下端位置まで自重により復帰し待機状態となる。

【００３３】上記待機状態においてスタート釦３１がオ
ンされると、マクロテーブル３２は前述の図示しないエ
アシリンダにより上端位置まで移動されるがジョイステ
ックレバー３４により操作することは出来ず、ウエハの
水平状態を保っている。

【００３４】上端位置のマクロテーブル３２上で水平状
態を保っているウエハの左右両側でウエハと同じ高さ位
置には、Ｘ軸方向移動台座２２の上面上で右側のエレベ
ータ１４ａの近傍から上記上面に沿い後方に水平に延出
して来た１対のウエハ保持腕３６ａ，３６ｂが配置され
ている。

【００３５】図３の（Ａ）及び図４には、１対のウエハ
保持腕３６ａ，３６ｂ及びこれらの為の駆動手段の構造
の平面図と正面図が拡大されて示されており、この実施
例では１対のウエハ保持腕３６ａ，３６ｂ及びこれらの
為の駆動手段の構造がウエハ裏返し手段を構成してい
る。

【００３６】１対のウエハ保持腕３６ａ，３６ｂは上端
位置のマクロテーブル３２上で水平状態を保っているウ
エハの左右両側に位置している前端部に上記ウエハの周
縁と略同じ曲率を有した円弧状のウエハ保持部３８を有
しており、図３の（Ｂ）及び図３の（Ｃ）に示す如く、
ウエハ保持部３８の内周面にはウエハ溝３８ａが形成さ
れている。

【００３７】Ｘ軸方向移動台座２２の上面上で右側のエ
レベータ１４ａの近傍に位置した１対のウエハ保持腕３
６ａ，３６ｂの後端部は、Ｘ軸方向移動台座２２の上面
上の後端部の上方で左右方向に水平に延出した揺動腕４
０上の１対のウエハ保持腕台座４２ａ，４２ｂに着脱自
在に取り付けられている。

【００３８】揺動腕４０の左端部はＸ軸方向移動台座２
２の上面上で右側のエレベータ１４ａの左端部の近傍に
おいて前後方向に延出した揺動腕中心軸４４に固定され
ている。揺動腕中心軸４４は、図５の前後方向縦断面図
に示す如く、前後方向の両端部が前後方向に相互に平行
に離間した位置で上下方向に延出している１対の軸支持
板４６ａ，４６ｂに回転自在に支持されていて、１対の
軸支持板４６ａ，４６ｂの下端部はＸ軸方向移動台座２
２上に固定されている固定基板４８の上面に固定されて
いる。

【００３９】揺動腕４０の右端部は、図４に示す如く、
揺動腕４０の下方で左右方向に水平に延出しＸ軸方向移
動台座２２上に固定されていたもう１つの固定基板５０
の上面の右端部から上方に向かい突出した揺動腕支持ピ
ン５０ａにより支持されている。

【００４０】揺動腕中心軸４４には揺動腕４０の左端部
の後方（右側のエレベータ１４ａ側）に同心的に回転力
受け入れプーリ４４ａが固定されている。１対の軸支持
板４６ａ，４６ｂの下端部の近傍には１対の軸支持板４
６ａ，４６ｂ間を前後方向に水平に延出した駆動軸５２
が回転自在に支持されていて、駆動軸５２の後端部に形
成されている回転力伝達プーリ５２ａと揺動腕中心軸４
４の回転力受け入れプーリ４４ａとの間には動力伝達ベ
ルト５４が巻き掛けられている。

【００４１】駆動軸５２の前端部は固定基板４８の上面
で前方の軸支持板４６ａのさらに前方に配置されたパル
スモータ５６の出力軸５６ａにカップリング５８を介し
て同心的に連結されている。

【００４２】駆動軸５２の前端部には前方の軸支持板４
６ａの後方にもう１つの回転力伝達プーリ５２ｂが同心
的に形成されている。１対の軸支持板４６ａ，４６ｂの
高さ方向の中間部には１対の軸支持板４６ａ，４６ｂ間
を前後方向に水平に延出した回転中心軸６０の両端部が
固定されていて、回転中心軸６０上に回転自在に支持さ
れている回転角度測定プーリ６０ａともう１つの回転力
伝達プーリ５２ｂとの間にも動力伝達ベルト６２が巻き
掛けられている。

【００４３】回転角度測定プーリ６０ａの一方の側面に
は、図５及び図６の（Ａ）に示す如く、揺動腕中心軸４
４（即ち、揺動腕４０）の最大揺動範囲と所定の揺動角
度とを２個の光学センサ６４ａ，６４ｂを使用して規定
する為の揺動角度規制スリット板６６が同心的に固定さ
れている。

【００４４】揺動角度規制スリット板６６の外周縁部で
半径方向の外方には一方の光学センサ６４ａと協働して
最大揺動範囲を規制する為に周方向に大きく切り欠かれ
た最大揺動範囲規制切り欠き６６ａが形成され、揺動角
度規制スリット板６６の外周縁部で最大揺動範囲規制切
り欠き６６ａよりも半径方向の内方には所定の複数の揺
動角度を他方の光学センサ６４ｂと協働して規定する為
の複数の半径方向延出スリット６６ｂが周方向に所定の
間隔で形成されている。

【００４５】回転角度測定プーリ６０ａの他方の側面に
は、図５及び図６の（Ｂ）に示す如く、揺動腕中心軸４
４（即ち、揺動腕４０）の水平な初期位置を１個の光学
センサ６８を使用して検知する為の初期位置検知突起板
７０が同心的に固定されている。

【００４６】揺動腕４０上の１対のウエハ保持腕台座４
２ａ，４２ｂの夫々の上面には、図３の（Ａ）及び図４
に示す如く、１対の位置決めピン７２ａ，７２ｂが固定
されていて、１対のウエハ保持腕３６ａ，３６ｂの後端
部の夫々には対応するウエハ保持腕台座４２ａ，４２ｂ
の１対の位置決めピン７２ａ，７２ｂが挿入される１対
の位置決め孔７４ａ，７４ｂが形成されている。

【００４７】１対のウエハ保持腕台座４２ａ，４２ｂの
夫々の上面の１対の位置決めピン７２ａ，７２ｂに対し
て対応する１対のウエハ保持腕３６ａ，３６ｂの後端部
の夫々の１対の位置決めピン７２ａ，７２ｂが被嵌さ
れ、さらに大きな摘みの付いた摘み捩子７６（図３の
（Ａ））により、１対のウエハ保持腕台座４２ａ，４２
ｂの夫々の上面に対して１対のウエハ保持腕３６ａ，３
６ｂが何等特別な工具を使用することなく検査員の指先
のみで容易に着脱自在に取り付けられる。

【００４８】図３の（Ａ）には、上述したこの発明の一
実施例に従ったウエハ検査装置で検査されるより直径が
小さいもう１種類のウエハの外周縁部を保持する為のも
う１対のウエハ保持腕３６ａ´，３６ｂ´の後端部が１
対のウエハ保持腕台座４２ａ，４２ｂの夫々の上面に上
述した１対のウエハ保持腕３６ａ，３６ｂの後端部と同
様にして着脱自在に取り付けられている状態が２点鎖線
により示されており、もう１対のウエハ保持腕３６ａ
´，３６ｂ´は後端部を除き上述した１対のウエハ保持
腕３６ａ，３６ｂよりも相互により接近した位置に配置
されている。

【００４９】この位置の差異は、２つの図示しない光学
センサを使用して、１対のウエハ保持腕台座４２ａ，４
２ｂ上に取り付けられている１対のウエハ保持腕が直径
が大きなウエハ用の１対のウエハ保持腕３６ａ，３６ｂ
であるか直径が小さなウエハ用のもう１対のウエハ保持
腕３６ａ´，３６ｂ´であるかを検知（即ち、見分け
る）為に利用される。

【００５０】なお上述した２つの図示しない光学センサ
については、後述する説明において参照される別の図面
に描かれている。

【００５１】１対のウエハ保持腕台座４２ａ，４２ｂ
は、図４に示す如く、揺動腕４０の左右両端部の下面に
おいて水平状態で左右に延出した案内部材７８により、
揺動腕４０の左右両端部に対して左右方向に摺動自在に
取り付けられていて、１対のウエハ保持腕台座４２ａ，
４２ｂが揺動腕４０の左右両端部で相互に最も遠ざかっ
た場合には、１対のウエハ保持腕台座４２ａ，４２ｂに
固定されている１対のウエハ保持腕が直径が大きなウエ
ハ用の１対のウエハ保持腕３６ａ，３６ｂであっても直
径が小さなウエハ用のもう１対のウエハ保持腕３６ａ
´，３６ｂ´であっても、夫々の対が対応するウエハの
直径よりも大きく開く。

【００５２】揺動腕４０の下方に位置し揺動腕４０の右
端部を下方から支持している揺動腕支持ピン５０ａが固
定されているもう１つの固定基板５０は略コの字形状の
横断面を有しており、その下壁５０ｂと上壁５０ｃに１
対のウエハ保持腕台座駆動部材８０ａ、８０ｂが左右方
向に移動自在に支持されている。１対のウエハ保持腕台
座駆動部材８０ａ、８０ｂはもう１つの固定基板５０の
側壁５０ｄの左右両端部に回転自在に支持された１対の
プーリ８２ａ，８２ｂに掛け渡された動力伝達ベルト８
４の下辺部の右端と上辺部の左端とに固定されていて、
右側のウエハ保持腕台座駆動部材８０ａが上記側壁５０
ｄに形成された左右方向に細長い孔５０ｅを介して下壁
５０ｂに固定されているエアシリンダ８６の出力軸８６
ａに連結されている。

【００５３】エアシリンダ８６は通常は出力軸８６ａを
突出させており、これにより右側のウエハ保持腕台座駆
動部材８０ａはもう１つの固定基板５０の下壁５０ｂの
右端に配置され、動力伝達ベルト８４により右側のウエ
ハ保持腕台座駆動部材８０ａに連結されている左側のウ
エハ保持腕台座駆動部材８０ｂはもう１つの固定基板５
０の上壁５０ｃの左端に配置されている。

【００５４】１対のウエハ保持腕台座駆動部材８０ａ、
８０ｂの上端面からは１対の係合ピン８８が上方に向け
て突出しており、水平な揺動腕４０の左右両端部の１対
のウエハ保持腕台座４２ａ，４２ｂに形成されている係
合ピン８８よりもはるかに大きな挿入孔９０に挿入され
ている。図３の（Ａ）には右端部のウエハ保持腕台座４
２ａの挿入孔９０に挿入された係合ピン８８が示されて
おり、図４には左端部のウエハ保持腕台座４２ｂの挿入
孔９０に挿入された係合ピン８８が示されている。

【００５５】図４に示す如く、１対のウエハ保持腕台座
４２ａ，４２ｂの間には引っ張りコイルばね９２の両端
が掛け渡されていて、引っ張りコイルばね９２が１対の
ウエハ保持腕台座４２ａ，４２ｂを相互に接近させるよ
う付勢しているが、１対のウエハ保持腕台座駆動部材８
０ａ、８０ｂの係合ピン８８を介して１対のウエハ保持
腕台座４２ａ，４２ｂに負荷されているエアシリンダ８
６の駆動力により、１対のウエハ保持腕台座４２ａ，４
２ｂは揺動腕４０の左右両端部に保持されている。

【００５６】前述した如く待機状態においてスタート釦
３１がオンされ、前述の図示しないエアシリンダにより
上端位置まで移動されたマクロテーブル３２で水平状態
が保たれたウエハに対しては、図４のエアシリンダ８６
が駆動力の発生を停止させることにより１対のウエハ保
持腕台座４２ａ，４２ｂの間の引っ張りコイルばね９２
の付勢力により１対のウエハ保持腕台座４２ａ，４２ｂ
が揺動腕４０上で相互に等距離接近し、図７に示す如
く、上記ウエハ１００の外周縁を１対のウエハ保持腕３
６ａ，３６ｂのウエハ保持部３８の内周面のウエハ溝３
８ａにより挟持することが出来る。

【００５７】図４のエアシリンダ８６が駆動力の発生を
停止させてから１対のウエハ保持腕３６ａ，３６ｂのウ
エハ保持部３８のウエハ溝３８ａがウエハ１００の外周
縁を挟持するのに十分な所定の時間が経過すると、揺動
腕４０を上方に向けて回動させる為に図５のパルスモー
タ５６が所定の方向への出力軸５６ａの回転を開始す
る。

【００５８】パルスモータ５６の出力軸５６の回転は動
力伝達ベルト５４により揺動腕４０の回動の為の揺動腕
中心軸４４に伝達され、揺動腕４０は１対のウエハ保持
腕３６ａ，３６ｂによりウエハ１００を保持したままで
所定の回転角度まで、図８に示す如く、上方に向かい回
動する。この際、もう１つの固定基板５０上の１対のウ
エハ保持腕台座駆動部材８０ａ、８０ｂの係合ピン８８
から揺動腕４０の１対のウエハ保持腕台座４２ａ，４２
ｂの挿入孔９０は離脱する。

【００５９】揺動腕４０の所定の回転角度はウエハ検査
装置１２の外装ハウジング１２ａの前面の揺動腕回転角
度（裏面角度）設定スイッチ１０２（図１参照）により
所定の範囲内の複数の回転角位置のなかから設定するこ
とが可能である。なお上記所定の範囲は、図６の（Ａ）
の揺動角度規制スリット板６６の外周縁部の半径方向の
外方の最大揺動範囲規制切り欠き６６ａと一方の光学セ
ンサ６４ａと協働して規定された値であり、上記複数の
回転角位置は図６の（Ａ）の揺動角度規制スリット板６
６の外周縁部の半径方向の内方の複数の半径方向延出ス
リット６６ｂと他方の光学センサ６４ｂにより規定され
た値である。

【００６０】揺動腕４０は所定の回転角位置に所定の時
間停止され、その間に検査員がウエハの裏面の検査を行
う。上記所定の時間はウエハ検査装置１２の外装ハウジ
ング１２ａの前面の停止時間設定スイッチ３３により予
め設定された値である。

【００６１】所定の時間停止された後に揺動腕４０は図
７に示された水平な初期位置へと戻される。この際、揺
動腕４０の右端部はもう１つの固定基板５０上の揺動腕
支持ピン５０ａ上に載置され、また揺動腕４０の１対の
ウエハ保持腕台座４２ａ，４２ｂの挿入孔９０中にもう
１つの固定基板５０上の１対のウエハ保持腕台座駆動部
材８０ａ、８０ｂの係合ピン８８が挿入され、１対のウ
エハ保持腕台座４２ａ，４２ｂ上の１対のウエハ保持腕
３６ａ，３６ｂのウエハ保持部３８のウエハ溝３８ａに
より外周縁が保持されているウエハ１００は前述の図示
しないエアシリンダにより上端位置に保持されているマ
クロテーブル３２上に載置され吸着孔３２ａからの負圧
によりマクロテーブル３２上に吸着される。

【００６２】揺動腕４０の水平な初期位置への復帰は、
図６の（Ａ）の揺動角度規制スリット板６６の外周縁部
の半径方向の外方の最大揺動範囲規制切り欠き６６ａと
一方の光学センサ６４ａとの組み合わせ及び図６の
（Ｂ）の初期位置検知突起板７０と１個の光学センサ６
８との組み合わせにより検知される。

【００６３】初期位置への揺動腕４０の復帰が検知され
ると、もう１つの固定基板５０のエアシリンダ８６が出
力軸８６ａを押圧し、図４に示す如く、１対のウエハ保
持腕台座駆動部材８０ａ、８０ｂの係合ピン８８を介し
て揺動腕４０上の１対のウエハ保持腕台座４２ａ，４２
ｂを引っ張りコイルばね９２の付勢力に抗して揺動腕４
０の左右両端部に移動させる。

【００６４】１対のウエハ保持腕台座４２ａ，４２ｂの
この移動により、図７に示されたウエハ１００の外周縁
に対する１対のウエハ保持腕台座４２ａ，４２ｂ上の１
対のウエハ保持腕３６ａ，３６ｂのウエハ保持部３８の
ウエハ溝３８ａによる挟持が解除される。

【００６５】次にマクロテーブル３２は上端位置から下
端位置へとウエハを水平に保持した状態で下降され、下
端位置で前述した待機状態に復帰する。

【００６６】待機状態において、図２の（Ａ）に示す如
く、ウエハのミクロ検査の為に顕微鏡１０のＸテーブル
１０ａ´の左端に形成されている細長い係合突起１１が
ウエハ検査装置１２の外装ハウジング１２ａの上面の前
端部右側領域のＸテーブル受け１２ｂに係合されＸテー
ブル受け１２ｂの図示しない光学センサにより検知さ
れ、さらにウエハ検査装置１２の外装ハウジング１２ａ
の前面のスタート釦３１がオンされると、ウエハ検査装
置１２のＸ軸方向移動台座２２上で１対のウエハ保持腕
３６ａ，３６ｂの下方に設置されている合成樹脂製の１
対の芯出し部材１１０ａ，１１０ｂがマクロテーブル３
２の中心に向かい接近される。

【００６７】１対の芯出し部材１１０ａ，１１０ｂは、
図９の（Ａ）及び（Ｂ）に良く示されている如く、Ｘ軸
方向移動台座２２上のさらに別の基板１１２上でマクロ
テーブル３２を中心にして対称に配置された１対の芯出
し部材支持台座１１４ａ，１１４ｂ上に着脱自在に取り
付けられている。

【００６８】１対の芯出し部材支持台座１１４ａ，１１
４ｂは基板１１２上にマクロテーブル３２の中心に対し
て直径方向で相互に接近及び離間自在に保持されてい
て、図９の（Ｂ）及び図１０に良く示されている如く、
基板１１２の下面側でリンク機構１１６により相互に同
じ速度で同じ距離接近及び離間するよう連結されてお
り、基板１１２の下面側のエアシリンダ１１８により駆
動される。

【００６９】即ち、エアシリンダ１１８が出力軸１１８
ａを突出させると１対の芯出し部材支持台座１１４ａ，
１１４ｂは１対の芯出し部材１１０ａ，１１０ｂととも
にマクロテーブル３２に向かい相互に同じ速度で同じ距
離接近され、エアシリンダ１１８が出力軸１１８ａを引
っ込ませると１対の芯出し部材支持台座１１４ａ，１１
４ｂは１対の芯出し部材１１０ａ，１１０ｂとともにマ
クロテーブル３２から相互に同じ速度で同じ距離遠ざけ
られる。

【００７０】１対の芯出し部材支持台座１１４ａ，１１
４ｂの夫々の上面には、図９の（Ａ）に良く示されてい
る如く、１本の大径の固定用ピン１２０とその両側に２
本づつ配置された小径の位置決めピン１２２とが植設さ
れており、大径の固定用ピン１２０は、図９の（Ｂ）に
良く示されている如く、上端部の周面に環状の溝１２０
ａが形成されている。

【００７１】１対の芯出し部材支持台座１１４ａ，１１
４ｂの夫々はウエハ検査装置１２において検査される大
きな直径の方のウエハの外周縁と同じ曲率の内側面１２
４を有しており、１対の芯出し部材支持台座１１４ａ，
１１４ｂの夫々の上面の１本の大径の固定用ピン１２０
とその両側に２本づつ配置された小径の位置決めピン１
２２とが嵌合される１つの固定孔１２６ａ及びその両側
の４つの位置決め孔１２６ｂが１対の芯出し部材１１０
ａ，１１０ｂの夫々に形成されている。

【００７２】１つの固定孔１２６ａの内周面には、図９
の（Ｂ）によく示す如く、合成樹脂製の１対の芯出し部
材１１０ａ，１１０ｂの夫々に埋設された係合ピン１２
８の頭部が突出されていて、１つの固定孔１２６ａが固
定用ピン１２０に被嵌された時に係合ピン１２８の頭部
が固定用ピン１２０の周面の環状の溝１２０ａにクリッ
ク係合する。

【００７３】よって１対の芯出し部材１１０ａ，１１０
ｂは１対の芯出し部材支持台座１１４ａ，１１４ｂの上
面の所定の位置に特別な工具を用いることなく容易に着
脱自在で安定して取り付けることが出来る。

【００７４】ウエハ検査装置１２はさらに、図９の
（Ｃ）に示す如く、ウエハ検査装置１２において検査さ
れる小さな直径の方のウエハの外周縁と同じ曲率の内側
面１２４´を有したもう１対の芯出し部材１１０ａ´，
１１０ｂ´もまた備えており、１対の芯出し部材１１０
ａ，１１０ｂと同様に１対の芯出し部材支持台座１１４
ａ，１１４ｂの上面の所定の位置に着脱自在で安定して
取り付けられる為に１対の芯出し部材支持台座１１４
ａ，１１４ｂの夫々の上面の１本の大径の固定用ピン１
２０とその両側に２本づつ配置された小径の位置決めピ
ン１２２とが嵌合される１つの固定孔１２６ａ´及びそ
の両側の４つの位置決め孔１２６ｂ´が形成され、さら
には１つの固定孔１２６ａ´の内周面に頭部が僅かに突
出する係合ピン１２８´も埋設されている。

【００７５】図９の（Ｃ）では、小さな直径の方のウエ
ハの外周縁と同じ曲率の内側面１２４´を有したもう１
対の芯出し部材１１０ａ´，１１０ｂ´の片方と大きな
直径の方のウエハの外周縁と同じ曲率の内側面１２４を
有した１対の芯出し部材１１０ａ，１１０ｂの片方とが
並べて示されているが、これから明らかなように、小さ
な直径のウエハ用の片方の芯出し部材１１０ｂ´は大き
な直径のウエハ用の片方の芯出し部材１１０ｂよりも周
方向における長さが短い。そして大きな直径のウエハ用
の１対の芯出し部材１１０ａ，１１０ｂには小さな直径
のウエハ用の１対の芯出し部材１１０ａ´，１１０ｂ´
の周方向両端部の一方に対応した位置に光センサ非検知
開口１３０が形成されている。

【００７６】上記周方向における長さの異なりと光セン
サ非検知開口１３０とは、１対の芯出し部材支持台座１
１４ａ，１１４ｂの夫々の上に取り付けられている芯出
し部材が大きな直径のウエハ用の１対の芯出し部材１１
０ａ，１１０ｂの夫々であるか小さな直径のウエハ用の
１対の芯出し部材１１０ａ´，１１０ｂ´の夫々である
かを１対の光センサと組み合わされて検知する為に利用
される。

【００７７】上述した如き１対の光センサ１３２ａ，１
３２ｂは、図９の（Ａ）に示す如く、１対の芯出し部材
支持台座１１４ａ，１１４ｂの為の基板１１２の上面で
１対の芯出し部材支持台座１１４ａ，１１４ｂの夫々よ
りも外側に取り付けられている。

【００７８】１対の光センサ１３２ａ，１３２ｂは、１
対の芯出し部材支持台座１１４ａ，１１４ｂ上に取り付
けられる１対の芯出し部材１１０ａ，１１０ｂまたは１
１０ａ´，１１０ｂ´の夫々の周方向に相互に所定距離
離間している。

【００７９】１対の光センサ１３２ａ，１３２ｂの中で
周方向において外側（対応する芯出し部材支持台座１１
４ａまたは１１４ｂの上面の固定用ピン１２０から遠い
方）に位置するの光センサ１３２ａは、対応する芯出し
部材支持台座１１４ａまたは１１４ｂ上に大きな直径の
ウエハ用の対応する芯出し部材１１０ａまたは１１０ｂ
が取り付けられると、図９の（Ｃ）に良く示す如く、こ
の芯出し部材１１０ａまたは１１０ｂの外側面の周方向
外端部からの光反射を感知し、小さな直径のウエハ用の
芯出し部材１１０ａ´または１１０ｂ´が取り付けられ
ると、この芯出し部材１１０ａ´または１１０ｂ´の周
方向外端面よりも周方向の外方に位置しているので何等
の光反射も感知しない。

【００８０】また１対の光センサ１３２ａ，１３２ｂの
中で周方向において内側（対応する芯出し部材支持台座
１１４ａまたは１１４ｂの上面の固定用ピン１２０から
近い方）に位置するの光センサ１３２ｂは、対応する芯
出し部材支持台座１１４ａまたは１１４ｂ上に大きな直
径のウエハ用の対応する芯出し部材１１０ａまたは１１
０ｂが取り付けられると、図９の（Ｃ）に良く示す如
く、この芯出し部材１１０ａまたは１１０ｂの外側面の
周方向外端部に形成された光センサ非検知開口１３０に
より何等の光反射も感知出来ず、小さな直径のウエハ用
の芯出し部材１１０ａ´または１１０ｂ´が取り付けら
れると、この芯出し部材１１０ａ´または１１０ｂ´の
外側面の周方向外端部からの光反射を感知する。

【００８１】この実施例では、図２の（Ａ）に示す右側
のエレベータ１４ａに設置されたウエハ直径検知器２０
ａ，２０ｂが検知したウエハの直径と１対の光センサ１
３２ａ，１３２ｂが検知した芯出し部材１１０ａまたは
１１０ｂ、あるいは１１０ａ´または１１０ｂ´が対応
するウエハの直径とが一致しない場合、ウエハ検査装置
１２に設けられている図示しない警報器が警報を発する
とともに、１対の芯出し部材１１０ａ，１１０ｂまたは
１１０ａ´，１１０ｂ´の相互の接近を禁止する。

【００８２】待機状態において、前述した如くマクロテ
ーブル３２の中心に向かい接近された１対の芯出し部材
１１０ａ，１１０ｂは、マクロテーブル３２上のウエハ
の外周縁にウエハと同じ曲率を有した内側面を当接さ
せ、ウエハを挟持する。

【００８３】これによりウエハの中心がマクロテーブル
３２の中心に一致され、この後に１対の芯出し部材１１
０ａ，１１０ｂは基板１１２の下面側のエアシリンダ１
１８により相互に遠ざけられた元の位置まで復帰され
る。

【００８４】１対の芯出し部材１１０ａ，１１０ｂが元
の位置まで復帰されると、マクロテーブル３２は下端位
置のままで吸着孔３２ａの負圧によりウエハを水平に保
持した状態で図示しないパルスモータにより所定の方向
に所定の速度で回転を開始する。

【００８５】Ｘ軸方向移動台座２２上にはさらに、図９
の（Ａ）に示す如く、マクロテーブル３２の中心から所
定距離半径方向に離間した位置にオリフラ検知器１４０
が設置されている。オリフラ検知器１４０はこの実施例
において光学センサーにより構成されており、マクロテ
ーブル３２上に保持され上述した如く回転される２つの
直径のウエハのオリフラ（オリエンテーションフラッ
ト）の回転軌跡に対応した２つの位置の間でマクロテー
ブル３２の半径方向に選択的に移動自在である。

【００８６】オリフラ検知器１４０はＸ軸方向移動台座
２２上に固定されマクロテーブル３２の半径方向に延出
した案内部材１４２上に支持されていて、案内部材１４
２の為の固定台座１４２ａの上面には上記２つの位置に
対応したクリック受け部材１４２ｂが固定されている。
なお図９の（Ａ）には半径方向内側のクリック受け部材
１４２ｂのみが示されていて、半径方向外側のクリック
受け部材１４２ｂはオリフラ検知器１４０の保持体１４
０ａにより隠されている。保持体１４０ａはクリック受
け部材１４２ｂの上端面のクリック凹所にクリック係合
するクリック部材１４０ｂが固定されている。

【００８７】図１１の（Ａ）には、マクロテーブル３２
上に保持され上述した如く回転される２つの直径のウエ
ハ１００，１００´とこれらのオリフラの回転軌跡に対
応した２つの位置の間で移動自在なオリフラ検知器１４
０との位置関係が示されており、図１１の（Ｂ）には大
きな直径のウエハ１００のオリフラの検知の為に図１１
の（Ａ）において半径方向外側のクリック受け部材１４
２ｂにクリック部材１４０ｂがクリック係合されている
状態が横断面として示されている。

【００８８】クリック係合により上記２つの位置に選択
的に保持されるオリフラ検知器１４０は、上記２つの位
置に確実に保持されるとともに、上記２つの位置の間を
移動させた場合でも上記２つの位置で確実に停止させる
ことが出来るので、上記２つの位置の間の切り替え作業
を特別な工具を使用することなく容易に行うことが出来
る。

【００８９】この実施例ではオリフラ検知器１４０が、
図２の（Ａ）に示す如く水平な初期位置に配置されてい
る揺動腕４０上の左端部に配置されているウエハ保持腕
３６ｂまたは３６ｂ´の後方延出端の下方に位置してお
り、オリフラ検知器１４０の為の案内部材１４２の固定
台座１４２ａの上面にウエハ保持腕３６ｂまたは３６ｂ
´を見分ける為の１対の光センサ１４４ａ，１４４ｂが
固定されている。

【００９０】また、図９に示す如く、右側の芯出し部材
支持台座１１４ａの近傍にも、図２の（Ａ）に示す如く
水平な初期位置に配置されている揺動腕４０上の右端部
に配置されているウエハ保持腕３６ｂまたは３６ｂ´の
前方延出端の下方に位置している１対の光センサ１４４
ａ，１４４ｂが固定されている。この１対の光センサ１
４４ａ，１４４ｂもまたウエハ保持腕３６ｂまたは３６
ｂ´を見分ける為に使用される。

【００９１】外側の光センサ１４４ａは大きな直径のウ
エハ１００（図１１）の為のウエハ保持腕３６ｂの後方
延出端からの光反射を感知し、内側の光センサ１４４ｂ
は小さな直径のウエハ１００´（図１１）の為のウエハ
保持腕３６ｂ´の後方延出端からの光反射を感知する。

【００９２】これによりこの実施例では、図２の（Ａ）
に示す右側のエレベータ１４ａに設置されたウエハ直径
検知器２０ａ，２０ｂが検知したウエハの直径と２対の
光センサ１４４ａ，１４４ｂが検知した１対のウエハ保
持腕３６ｂまたは３６ｂ´がが対応するウエハの直径と
が一致しない場合、ウエハ検査装置１２に設けられてい
る図示しない警報器が警報を発するとともに、１対のウ
エハ保持腕３６ｂまたは３６ｂ´の相互の接近を禁止す
る。即ち、待機状態から上端位置へのマクロテーブル３
２の上昇と、１対のウエハ保持腕３６ｂまたは３６ｂ´
によるこれらに対応していないウエハの外周縁の挟持と
が禁止され、待機状態からウエハの裏面検査の為の１対
のウエハ保持腕３６ｂまたは３６ｂ´によるウエハの裏
返しを行うことが出来ない。

【００９３】マクロテーブル３２とともに所定の速度で
回転しているウエハのオリフラを上記ウエハのオリフラ
の回転軌跡に対応した位置に配置されているオリフラ検
知器１４０が検知してからマクロテーブル３２は所定の
回転角度位置で回転を停止させ、ウエハのオリフラを所
定の方向に向ける。この所定の方向は、ウエハ検査装置
１２の外装ハウジング１２ａの前面に配置されているオ
リフラ位置設定スイッチ１４６（図１）により設定する
ことが出来、この実施例の場合には、前後左右の４つの
方向を設定することが出来る。

【００９４】Ｘ軸方向移動台座２２上にはさらに、図２
の（Ａ）に示す如く、下端位置のマクロテーブル３２の
周囲でマクロテーブル３２の上端面より下方位置からウ
エハ検査装置１２の外装ハウジング１２ａの上面の前端
部右側領域のＸテーブル受け１２ｂに係合されている顕
微鏡１０のＸテーブル１０ａ´の左端部の下方位置へと
水平に延出されているウエハ顕微鏡搬送部材１５０が設
置されている。

【００９５】ウエハ顕微鏡搬送部材１５０の両端部は略
逆Ｃ字形の平面形状をしており、ウエハ顕微鏡搬送部材
１５０は長手方向の中央を中心に回転自在であるととも
に、下端位置のマクロテーブル３２の上端面より下方の
下端位置と上記マクロテーブル３２の上端面より上方の
上端位置との間で選択的に上下可能であり、通常は下端
位置に配置されている。

【００９６】マクロテーブル３２の回転が停止されウエ
ハのオリフラが所定の方向に向けられた後には、ウエハ
顕微鏡搬送部材１５０が下端位置から上端位置へと上昇
してマクロテーブル３２上からウエハを略逆Ｃ字形の一
端部で掬いあげる。次にウエハ顕微鏡搬送部材１５０は
１８０度所定の方向に回転し上記一端部上のウエハを顕
微鏡１０のＸテーブル１０ａ´の左端部の上方まで移動
させる。さらにウエハ顕微鏡搬送部材１５０は上端位置
から下端位置へと下降して、上記一端部上のウエハを顕
微鏡１０のＸテーブル１０ａ´の左端部上に載置され
る。

【００９７】この後、検査員はＸテーブル１０ａ´上の
ウエハを顕微鏡１０の対物レンズ群１０ｂの下方に移動
させて顕微鏡１０によるウエハのミクロ検査を行うこと
が出来る。

【００９８】ミクロ検査の終了後、顕微鏡１０のＸテー
ブル１０ａ´の左端に形成されている細長い係合突起１
１をウエハ検査装置１２の外装ハウジング１２ａの上面
の前端部右側領域のＸテーブル受け１２ｂに係合させ、
Ｘテーブル受け１２ｂの図示しない光学センサにより検
知させ、さらにウエハ検査装置１２の外装ハウジング１
２ａの前面のスタート釦３１をオンする。

【００９９】この場合には、ミクロ検査の為に待機状態
のマクロテーブル３２上から顕微鏡１０のＸテーブル１
０ａ´上へとウエハを移動させた前述の場合と同様に、
ウエハ顕微鏡搬送部材１５０が下端位置から上端位置へ
と上昇してＸテーブル１０ａ´上から略逆Ｃ字形状の一
端部でウエハを掬い上げ、さらに１８０度所定の方向に
回転した後に上端位置から下端位置へと下降することに
より、下端位置のマクロテーブル３２上にウエハを載置
させ、マクロテーブル３２を待機状態に戻す。

【０１００】待機状態でウエハ検査装置１２の外装ハウ
ジング１２ａの前面のスタート釦３１がオンされると、
Ｘ軸方向移動台座２２が左側のエレベータ１４ｂの前ま
で移動し、次にウエハ取り出し／返却腕３０が下端位置
から上端位置まで上昇して延出端３０ａによりマクロテ
ーブル３２からウエハを掬い上げる。ウエハ取り出し／
返却腕３０は延出端３０ａ上に前述した如く負圧により
ウエハを保持した状態で左側のエレベータ１４ｂ上の空
のウエハ保持体１６ｂ（図１参照）に向かい水平移動
し、延出端３０ａとウエハとを空のウエハ保持体１６ｂ
の下から１段目と２段目の棚の間に挿入する。そして左
側のエレベータ１４ｂがウエハ保持体１６ｂ中の複数の
棚の一段分上昇して下から１段目の棚で延出端３０ａ上
のウエハを掬い上げた後、ウエハ取り出し／返却腕３０
は図２の（Ａ）に実線で示す如き前端位置に復帰する。

【０１０１】以下、以上詳述したことが右側のエレベー
タ１４ａ上のウエハ保持体１６ａ中の複数の棚上の複数
のウエハの全てのマクロ検査及び選択的なミクロ検査が
終了し左側のエレベータ１４ｂ上のウエハ保持体１６ｂ
中の複数の棚上に移送されるまで夫々のウエハにつき順
次行われる。

【０１０２】右側のエレベータ１４ａ上のウエハ保持体
１６ａ中の複数の棚が空になり、左側のエレベータ１４
ｂ上のウエハ保持体１６ｂ中の複数の棚がウエハで満杯
になると、左右両側のエレベータ１４ａ，１４ｂは上端
位置まで移動する。そして、検査員により左側の検査済
みウエハで満杯のウエハ保持体１６ｂは左側のエレベー
タ１４ｂ上から取り除かれ、左側のエレベータ１４ｂ上
には右側のエレベータ１４ａ上の空のウエハ保持体１６
ａが載置される。また右側のエレベータ１４ａ上には未
検査のウエハで満杯の新たなウエハ保持体が載置され
る。

【０１０３】上述した実施例では、右側のエレベータ１
４ａ上のウエハ保持体１６ａ中の複数のウエハの全てが
検査の為に下から一段目の棚から順次取り出されていた
が、ウエハ検査装置１２の外装ハウジング１２ａの前面
のウエハ選択釦１５２により任意のウエハのみ指定して
検査を行なわせることが出来る。なおこの場合には、右
側のエレベータ１４ａ上のウエハ保持体１６ａ中の選択
された棚から検査の為に取り出されたウエハは、検査終
了の後に右側のエレベータ１４ａ上のウエハ保持体１６
ａ中の元の位置に戻される。

【０１０４】またさらに、右側のエレベータ１４ａ上の
ウエハ保持体１６ａ中の複数のウエハの全てを検査する
場合でも、最上段の棚のウエハから最下段の棚のウエハ
に向かい順次複数のウエハを取り出すことも出来る。

【０１０５】

【発明の効果】以上詳述した如くこの発明のウエハ検査
装置によれば、マクロ検査が行われるウエハの全数につ
き容易にすばやくウエハ裏面の検査を行う事が出来る。

【０１０６】また、マクロ検査が行われるウエハの全数
につき容易にすばやくウエハ裏面の検査を行う事が出来
るウエハ検査装置を直径が異なる複数種類のウエハに対
して容易に素早く適合させる事ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例に従ったウエハ検査装置を
顕微鏡と組み合わされた状態で示す正面図である。

【図２】（Ａ）は図１のウエハ検査装置の平面図であ
り、（Ｂ）は図１のウエハ検査装置の右側面図である。

【図３】（Ａ）は図１のウエハ検査装置においてウエハ
の裏返しの為に使用される１対のウエハ保持腕とその駆
動手段とをウエハを保持しない状態で拡大して示す平面
図であり、（Ｂ）は一方のウエハ保持腕のＩ−Ｉ線に従
った横断面図であり、（Ｃ）は他方のウエハ保持腕のＩ
Ｉ−ＩＩ線に従った横断面図である。

【図４】図３の（Ａ）の１対のウエハ保持腕とその接離
の為の接離駆動手段との拡大された正面図である。

【図５】図３の（Ａ）の１対のウエハ保持腕を支持した
揺動腕を揺動させる為の揺動駆動手段の拡大された断面
図である。

【図６】（Ａ）は図５の揺動駆動手段において揺動腕の
回転角度を検知する為の揺動腕回転角度検知手段を示す
上記揺動駆動手段の縦断面図であり、（Ｂ）は図５の揺
動駆動手段において揺動腕の水平な初期位置を検知する
為の初期位置検知手段を示す上記揺動駆動手段の縦断面
図である。

【図７】図４の１対のウエハ保持腕とその駆動手段とを
ウエハを保持した状態で拡大して示す平面図である。

【図８】図７においてウエハを保持した１対のウエハ保
持腕がそれを支持した揺動腕とともに接離駆動手段から
分離され所定の回転角度位置（裏面角度）まで回動され
た状態を示す拡大された正面図である。

【図９】（Ａ）は図１のウエハ検査装置においてマクロ
テーブル上のウエハの芯出しを行うウエハ芯出し手段と
マクロテーブル上のウエハのオリフラの位置を検知する
オリフラ検知器とを拡大して示す平面図であり、（Ｂ）
は（Ａ）のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った断面を示す断面図
であり、（Ｃ）は（Ａ）のウエハ芯出し手段において直
径が異なる２種類のウエハの為に使用される２種類の芯
出し部材及びこれらの種類を検知する光学的検知手段を
拡大して示す平面図である。

【図１０】図９の（Ａ）のウエハ芯出し手段の駆動の為
のエアシリンダ及びリンクを示す図９の（Ａ）のウエハ
芯出し手段の裏面図である。

【図１１】（Ａ）はマクロテーブル上の直径が異なる２
種類のウエハのオリフラを検知する為のオリフラ検知器
の構造を示す平面図であり、（Ｂ）は（Ａ）のＩＶ−Ｉ
Ｖ線に沿った断面図である。

【符号の説明】

１０…顕微鏡、１０ａ…ＸＹテーブル群、１０ａ´…Ｘ
テーブル、１０ｂ…対物レンズ群，１０ｃ…接眼レン
ズ、１１…係合突起、１２…ウエハ検査装置、１２ａ…
外装ハウジング、１２ｂ…Ｘテーブル受け、１４ａ，１
４ｂ…エレベータ、１６ａ，１６ｂ…ウエハ保持体、１
８ａ，１８ｂ…位置決め部材、２０ａ，２０ｂ…ウエハ
直径検知器、２２…Ｘ軸方向移動台座、２４…Ｘ軸方向
案内レール、２６…Ｘ軸方向ボール送りねじ、２７…Ｙ
軸方向案内部材、２８…Ｙ軸方向移動台座、３０…ウエ
ハ取り出し／返却腕、３０ａ…延出端、３１…スタート
釦、３２…マクロテーブル、３２ａ…吸着孔、３３…停
止時間設定スイッチ、３４…ジョイステックレバー、３
４ａ…マクロ検査スイッチ、３６ａ，３６ｂ，３６ａ
´，３６ｂ´…ウエハ保持腕、３８…ウエハ保持部、３
８ａ…ウエハ溝、４０…揺動腕、４２ａ，４２ｂ…ウエ
ハ保持腕台座、４４…揺動腕中心軸、４４ａ…回転力受
け入れプーリ、４６ａ，４６ｂ…軸支持板、４８…固定
基板、５０…固定基板、５０ａ…揺動腕支持ピン、５０
ｂ…下壁、５０ｃ…上壁、５０ｄ…側壁、５０ｅ…細長
い孔、５２…駆動軸、５２ａ，５２ｂ…回転力伝達プー
リ、５４…動力伝達ベルト、５６…パルスモータ、５６
ａ…出力軸、５８…カップリング、６０…回転中心軸、
６０ａ…回転角度測定プーリ、６２…動力伝達ベルト、
６４ａ，６４ｂ…光学センサ、６６…揺動角度規制スリ
ット板、６６ａ…最大揺動範囲規制切り欠き、６６ｂ…
半径方向延出スリット、６８…光学センサ、７０…初期
位置検知突起板、７２ａ，７２ｂ…位置決めピン、７４
ａ，７４ｂ…位置決め孔、７６…摘み捩子、７８…案内
部材、８０ａ、８０ｂ…ウエハ保持腕台座駆動部材、８
２ａ，８２ｂ…プーリ、８４…動力伝達ベルト、８６…
エアシリンダ、８６ａ…出力軸、８８…係合ピン、９０
…挿入孔、９２…引っ張りコイルばね、１００，１００
´…ウエハ、１０２…揺動腕回転角度（裏面角度）設定
スイッチ、１１０ａ，１１０ｂ，１１０ａ´，１１０ｂ
´…芯出し部材、１１２…基板、１１４ａ，１１４ｂ…
芯出し部材支持台座、１１６…リンク機構、１１８…エ
アシリンダ、１１８ａ…出力軸、１２０…固定用ピン、
１２０ａ…溝、１２２…位置決めピン、１２４，１２４
´…内側面、１２６ａ，１２６ａ´…固定孔、１２６ｂ
…位置決め孔、１２８，１２８´…係合ピン、１３０…
光センサ非検知開口、１３２ａ，１３２ｂ…光センサ、
１４０…オリフラ検知器、１４０ａ…保持体、１４０ｂ
…クリック部材、１４２…案内部材、１４２ａ…固定台
座、１４２ｂ…クリック受け部材、１４４ａ，１４４ｂ
…光センサ、１４６…オリフラ位置設定スイッチ、１５
０…ウエハ顕微鏡搬送部材、１５２…ウエハ選択釦。

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成６年９月８日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０００２

【補正方法】変更

【補正内容】

【０００２】

【従来の技術】このようなウエハ検査装置は例えば特開
平１−２０７９４２号公報から既に知られている。上記
公報でウエハ検査装置はミクロ検査の為の顕微鏡と共に
組み合わされて使用されており、ウエハ検査装置から顕
微鏡の検査台へと選択的にウエハを搬送する搬送手段を
有している。

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１４

【補正方法】変更

【補正内容】

【００１４】ウエハ検査装置１２の外装ハウジング１２
ａの上面の後端部には、図２の（Ａ）に示す如く、左右
１対のエレベータ１４ａ，１４ｂが設置されている。エ
レベータ１４ａ，１４ｂの夫々は上下方向に延出した図
示しない案内ガイド及び送りねじに支持されていて、図
示しない送りねじを図示しないモータにより一方向また
は他方向に回転させることにより上下方向に所望の距離
だけ選択的に移動させることが出来る。

【手続補正３】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１５

【補正方法】変更

【補正内容】

【００１５】エレベータ１４ａ，１４ｂの夫々の上面に
は所定の直径のウエハを複数枚保持したウエハ保持体１
６ａ，１６ｂが載置される。この実施例のウエハ検査装
置１２では、１対のエレベータ１４ａ，１４ｂにはもう
１つの所定の直径のウエハを複数枚保持したウエハ保持
体もまた同様に載置することが出来、１対のエレベータ
１４ａ，１４ｂの夫々の上面にはこれら２種類のウエハ
保持体を所定位置に着脱自在に保持する位置決め部材１
８ａ，１８ｂが設置されている。右側のエレベータ１４
ａの上面にはこの上面に載置されたウエハ保持体の種類
（即ち、このウエハ保持体中のウエハの直径）を検知す
る為のウエハ直径検知器２０ａ，２０ｂがさらに設置さ
れている。ウエハ直径検知器２０ａ，２０ｂは、例えば
光学センサにより構成されている。

【手続補正４】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１８

【補正方法】変更

【補正内容】

【００１８】Ｘ軸方向移動台座２２の左縁部にはＹ軸方
向（前後方向）に延出したＹ軸方向案内部材２７が固定
されており、Ｙ軸方向案内部材２７上にはＹ軸方向移動
台座２８がＹ軸方向に移動自在に設置されている。Ｙ軸
方向移動台座２８はＹ軸方向案内部材２７の前端部と後
端部とに回転自在に支持されている図示しない１対の回
転プーリに掛け渡された図示しない動力伝達ベルトに結
合されていて、上記動力伝達ベルトが図示しないモータ
により一方向または他方向に回転されることによりＹ軸
方向に沿いＹ軸方向案内部材２７の後端部（図２の
（Ａ）に実線で示す）と前端部との間で選択的に往復移
動させることが出来る。

【手続補正５】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００２６

【補正方法】変更

【補正内容】

【００２６】マクロテーブル３２は所定の範囲内で上下
方向に移動自在であるが通常は下端位置に配置されてい
る。マクロテーブル３２の上端面には前述の図示しない
真空源に接続された多数の吸着孔３２ａが放射状に形成
されている。

【手続補正６】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００２７

【補正方法】変更

【補正内容】

【００２７】Ｙ軸方向案内部材２７の後端位置に到着後
ウエハ取り出し／返却腕３０は、前述の図示しない付勢
手段の付勢力に抗して上端位置から下端位置へと下降さ
れる。下端位置においてウエハ取り出し／返却腕３０の
延出端３０ａは下端位置に配置されているマクロテーブ
ル３２の上端面よりも下方に移動するので、上記下降に
より延出端３０ａ上のウエハはマクロテーブル３２の上
端面に載置され、上記下降により前述の図示しない真空
源から負圧が供給されるマクロテーブル３２の上端面の
吸着孔３２ａにより吸着される。

【手続補正７】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００２９

【補正方法】変更

【補正内容】

【００２９】マクロテーブル３２は図示しないエアシリ
ンダにより上端位置まで移動され、上端位置においてジ
ョイステックレバー３４の操作に従い３６０度の周方向
範囲内の任意の周方向位置で所定の傾斜角度の範囲内の
任意の傾斜角度に傾斜させることが出来る。

【手続補正８】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００３２

【補正方法】変更

【補正内容】

【００３２】マクロテーブル３２は外装ハウジング１２
の全面の停止時間設定スイッチ３３（図１）により予め
設定された停止時間の経過後に、前述の図示しないエア
シリンダにより下端位置まで下降し待機状態となる。

【手続補正９】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００３３

【補正方法】変更

【補正内容】

【００３３】上記待機状態においてスタート釦３１がオ
ンされると、ウエハ取り出し／返却腕３０は前述の図示
しないエアシリンダ及び付勢手段の付勢力により上端位
置まで移動される。

【手続補正１０】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００３４

【補正方法】変更

【補正内容】

【００３４】上端位置のウエハ取り出し／返却腕３０の
延出端３０ａ上のウエハの左右両側でウエハと同じ高さ
位置には、右側のエレベータ１４ａの近傍から上記上面
に沿い後方に水平に延出して来た１対のウエハ保持腕３
６ａ，３６ｂが配置されている。

【手続補正１１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００３６

【補正方法】変更

【補正内容】

【００３６】１対のウエハ保持腕３６ａ，３６ｂは上端
位置のウエハ取り出し／返却腕３０の延出端３０ａ上の
ウエハの左右両側に位置している前端部に上記ウエハの
周縁と同じ曲率を有した円弧状のウエハ保持部３８を有
しており、図３の（Ｂ）及び図３の（Ｃ）に示す如く、
ウエハ保持部３８の内周面にはウエハ溝３８ａが形成さ
れている。ウエハ保持部３８の内周面に形成されたウエ
ハ溝３８ａは、前述の１対のエレベ−タ１４ａ，１４ｂ
上のウエハ保持体１６ａ，１６ｂの夫々の図示しない複
数の水平棚と同様の形状を有している。従ってウエハと
ウエハ溝３８ａとの接触は最小限に抑えることが出来
る。

【手続補正１２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００３７

【補正方法】変更

【補正内容】

【００３７】右側のエレベータ１４ａの近傍に位置した
１対のウエハ保持腕３６ａ，３６ｂの後端部は、左右方
向に水平に延出した揺動腕４０上の１対のウエハ保持腕
台座４２ａ，４２ｂに着脱自在に取り付けられている。

【手続補正１３】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００３８

【補正方法】変更

【補正内容】

【００３８】揺動腕４０の左端部はＸ軸方向移動台座２
２の上面上で右側のエレベータ１４ａの左端部の近傍に
おいて前後方向に延出した揺動腕中心軸４４に固定され
ている。揺動腕中心軸４４は、図５の前後方向縦断面図
に示す如く、前後方向の両端部が前後方向に相互に平行
に離間した位置で上下方向に延出している１対の軸支持
板４６ａ，４６ｂに回転自在に支持されていて、１対の
軸支持板４６ａ，４６ｂの下端部は固定基板４８の上面
に固定されている。

【手続補正１４】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００３９

【補正方法】変更

【補正内容】

【００３９】揺動腕４０の右端部は、図４に示す如く、
揺動腕４０の下方で左右方向に水平に延出したもう１つ
の固定基板５０の上面の右端部から上方に向かい突出し
た揺動腕支持ピン５０ａにより支持されている。

【手続補正１５】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００４１

【補正方法】変更

【補正内容】

【００４１】駆動軸５２の前端部は固定基板４８の上面
で前方の軸支持板４６ａのさらに前方に配置されたモー
タ５６の出力軸５６ａにカップリング５８を介して同心
的に連結されている。

【手続補正１６】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００５６

【補正方法】変更

【補正内容】

【００５６】前述した如く待機状態においてスタート釦
３１がオンされ、上端位置まで移動されたウエハ取り出
し／返却腕３０の延出端３０ａ上のウエハに対しては、
図４のエアシリンダ８６及び、１対のウエハ保持腕台座
４２ａ，４２ｂの間の引張コイルばね９２の付勢力によ
り１対のウエハ保持腕台座４２ａ，４２ｂが揺動腕４０
上で相互に等距離接近し、図７に示す如く、上記ウエハ
１００の外周縁を１対のウエハ保持腕３６ａ，３６ｂの
ウエハ保持部３８のウエハ溝３８ａにより挟持すること
が出来る。

【手続補正１７】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００５７

【補正方法】変更

【補正内容】

【００５７】上記ウエハ１００の外周縁を１対のウエハ
保持腕３６ａ，３６ｂのウエハ保持部３８の内周面のウ
エハ溝３８ａにて挟持したことを、例えば図示しない光
学センサ等で確認後に揺動腕４０を上方に向けて回動さ
せる為に図５のモータ５６が所定の方向への出力軸５６
ａの回転を開始する。

【手続補正１８】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００５８

【補正方法】変更

【補正内容】

【００５８】モータ５６の出力軸５６ａの回転は動力伝
達ベルト５４により揺動腕４０の回動の為の揺動腕中心
軸４４に伝達され、揺動腕４０は１対のウエハ保持腕３
６ａ，３６ｂによりウエハ１００を保持したままで所定
の回転角度まで、図８に示す如く、上方に向かい回動す
る。この際、もう１つの固定基板５０上の１対のウエハ
保持腕台座駆動部材８０ａ、８０ｂの係合ピン８８から
揺動腕４０の１対のウエハ保持腕台座４２ａ，４２ｂの
挿入孔９０は離脱する。

【手続補正１９】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００６１

【補正方法】変更

【補正内容】

【００６１】所定の時間停止された後に揺動腕４０は図
７に示された水平な初期位置へと戻される。この際、揺
動腕４０の右端部はもう１つの固定基板５０上の揺動腕
支持ピン５０ａ上に載置され、また揺動腕４０の１対の
ウエハ保持腕台座４２ａ，４２ｂの挿入孔９０中にもう
１つの固定基板５０上の１対のウエハ保持腕台座駆動部
材８０ａ、８０ｂの係合ピン８８が挿入され、１対のウ
エハ保持腕台座４２ａ，４２ｂ上の１対のウエハ保持腕
３６ａ，３６ｂのウエハ保持部３８のウエハ溝３８ａに
より外周縁が保持されているウエハ１００は上端位置で
待機しているウエハ取り出し／返却腕３０の延出端３０
ａ上に載置される。

【手続補正２０】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００６４

【補正方法】変更

【補正内容】

【００６４】１対のウエハ保持腕台座４２ａ，４２ｂの
この移動により、図７に示されたウエハ１００の外周縁
に対する１対のウエハ保持腕台座４２ａ，４２ｂ上の１
対のウエハ保持腕３６ａ，３６ｂのウエハ保持部３８の
ウエハ溝３８ａによる挟持が解除され、前記の延出端３
０ａ上に吸着される。

【手続補正２１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００６５

【補正方法】削除

【手続補正２２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００６６

【補正方法】変更

【補正内容】

【００６６】待機状態において、図２の（Ａ）に示す如
く、ウエハのミクロ検査の為に顕微鏡１０のＸテーブル
１０ａ´の左端に形成されている細長い係合突起１１が
ウエハ検査装置１２の外装ハウジング１２ａの上面の前
端部右側領域のＸテーブル受け１２ｂに係合されＸテー
ブル受け１２ｂの図示しない光学センサにより検知され
る。

【手続補正２３】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００６７

【補正方法】変更

【補正内容】

【００６７】１対の芯出し部材１１０ａ，１１０ｂは、
図９の（Ａ）及び（Ｂ）に良く示されている如く、基板
１１２上でマクロテーブル３２を中心にして対称に配置
された１対の芯出し部材支持台座１１４ａ，１１４ｂ上
に着脱自在に取り付けられている。

【手続補正２４】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００７１

【補正方法】変更

【補正内容】

【００７１】１対の芯出し部材１１０ａ，１１０ｂの夫
々はウエハ検査装置１２において検査される大きな直径
の方のウエハの外周縁と同じ曲率の内側面１２４を有し
ており、１対の芯出し部材支持台座１１４ａ，１１４ｂ
の夫々の上面の１本の大径の固定用ピン１２０とその両
側に２本づつ配置された小径の位置決めピン１２２とが
嵌合される１つの固定孔１２６ａ及びその両側の２つの
位置決め孔１２６ｂが１対の芯出し部材１１０ａ，１１
０ｂの夫々に形成されている。

【手続補正２５】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００７４

【補正方法】変更

【補正内容】

【００７４】ウエハ検査装置１２はさらに、図９の
（Ｃ）に示す如く、ウエハ検査装置１２において検査さ
れる小さな直径の方のウエハの外周縁と同じ曲率の内側
面１２４´を有したもう１対の芯出し部材１１０ａ´，
１１０ｂ´もまた備えており、１対の芯出し部材１１０
ａ，１１０ｂと同様に１対の芯出し部材支持台座１１４
ａ，１１４ｂの上面の所定の位置に着脱自在で安定して
取り付けられる為に１対の芯出し部材支持台座１１４
ａ，１１４ｂの夫々の上面の１本の大径の固定用ピン１
２０とその両側に１本づつ配置された小径の位置決めピ
ン１２２とが嵌合される１つの固定孔１２６ａ´及びそ
の両側の２つの位置決め孔１２６ｂ´が形成され、さら
には１つの固定孔１２６ａ´の内周面に頭部が僅かに突
出する係合ピン１２８´も埋設されている。

【手続補正２６】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００８５

【補正方法】変更

【補正内容】

【００８５】図９の（Ａ）に示す如く、マクロテーブル
３２の中心から所定距離半径方向に離間した位置にオリ
フラ検知器１４０が設置されている。オリフラ検知器１
４０はこの実施例において光学センサーにより構成され
ており、マクロテーブル３２上に保持され上述した如く
回転される２つの直径のウエハのオリフラ（オリエンテ
ーションフラット）の回転軌跡に対応した２つの位置の
間でマクロテーブル３２の半径方向に選択的に移動自在
である。

【手続補正２７】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００８６

【補正方法】変更

【補正内容】

【００８６】オリフラ検知器１４０はマクロテーブル３
２の半径方向に延出した案内部材１４２上に支持されて
いて、案内部材１４２の為の固定台座１４２ａの上面に
は上記２つの位置に対応したクリック受け部材１４２ｂ
が固定されている。なお図９の（Ａ）には半径方向内側
のクリック受け部材１４２ｂのみが示されていて、半径
方向外側のクリック受け部材１４２ｂはオリフラ検知器
１４０の保持体１４０ａにより隠されている。保持体１
４０ａはクリック受け部材１４２ｂの上端面のクリック
凹所にクリック係合するクリック部材１４０ｂが固定さ
れている。

【手続補正２８】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００９４

【補正方法】変更

【補正内容】

【００９４】図２の（Ａ）に示す如く、下端位置のマク
ロテーブル３２の周囲でマクロテーブル３２の上端面よ
り下方位置からウエハ検査装置１２の外装ハウジング１
２ａの上面の前端部右側領域のＸテーブル受け１２ｂに
係合されている顕微鏡１０のＸテーブル１０ａ´の左端
部の下方位置へと水平に延出されているウエハ顕微鏡搬
送部材１５０が設置されている。

【手続補正２９】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００９８

【補正方法】変更

【補正内容】

【００９８】ミクロ検査の終了後、顕微鏡１０のＸテー
ブル１０ａ´の左端に形成されている細長い係合突起１
１をウエハ検査装置１２の外装ハウジング１２ａの上面
の前端部右側領域のＸテーブル受け１２ｂに係合させ、
Ｘテーブル受け１２ｂの図示しない光学センサにより検
知させる。

【手続補正３０】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０１００

【補正方法】変更

【補正内容】

【０１００】ウエハ取り出し／返却腕３０が下端位置か
ら上端位置まで上昇して延出端３０ａによりマクロテー
ブル３２からウエハを掬い上げる。ウエハ取り出し／返
却腕３０は延出端３０ａ上に前述した如く負圧によりウ
エハを保持した状態でＸ軸方向移動台座２２が左側のエ
レベータ１４ｂの前まで移動し、さらに左側のエレベー
タ１４ｂ上の空のウエハ保持体１６ｂ（図１参照）に向
かい水平移動し、延出端３０ａとウエハとを空のウエハ
保持体１６ｂの１段目の水平棚の僅かに上方に挿入す
る。そして左側のエレベータ１４ｂがウエハ保持体１６
ｂ中の複数の棚の一段分上昇して下から１段目の棚で延
出端３０ａ上のウエハを掬い上げた後、ウエハ取り出し
／返却腕３０は図２の（Ａ）に実線で示す如き前端位置
に復帰する。

【手続補正３１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０１０２

【補正方法】削除

【手続補正３２】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図９

【補正方法】変更

【補正内容】

【図９】

フロントページの続き (72)発明者 茨木 秀文 東京都八王子市大和田町４−29−16 株式 会社オリンパスエンジニアリング内

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数のウエハを保持したウエハ保持体か
   ら所望のウエハを取り出すとともに、取り出されたウエ
   ハをウエハ保持体中の所望の位置に返却するウエハ搬送
   手段と；ウエハ搬送手段により取り出されたウエハがマ
   クロ検査の為に載置されるウエハ載置手段と；ウエハ載
   置手段上のウエハの周縁部を保持し、ウエハの裏面を検
   査する為にウエハを裏返し、また元に戻すウエハ裏返し
   手段と；を備えたことを特徴とするウエハ検査装置。
2. 【請求項２】 前記ウエハ裏返し手段は直径が異なる複
   数種類のウエハの周縁部を保持する複数種類のウエハ保
   持部材を有していて、複数種類のウエハ保持部材の夫々
   は摘み捩子により所定位置に着脱自在である、 ことを特徴とする請求項１に記載のウエハ検査装置。
3. 【請求項３】 前記ウエハ載置手段が自転可能であり、 前記ウエハ載置手段の回転中心から等距離の複数の位置
   から上記回転中心に向かい同時に同じ距離移動して前記
   ウエハ載置手段上のウエハの外周縁を押圧し上記回転中
   心に対するウエハの芯出しを行う複数のウエハ芯出し部
   材と、前記ウエハ載置手段上に載置されウエハ載置手段
   とともに自転するウエハのオリエンテーションフラット
   を検知するオリフラ検知器と、を有しており、 上記ウエハ芯出し部材は直径が異なる複数種類のウエハ
   の周縁部を保持する複数種類が用意され、夫々の種類の
   ウエハ芯出し部材はクリック結合により所定位置に着脱
   自在であり、 上記オリフラ検知器は前記ウエハ載置手段の回転中心に
   対して半径方向に相対的に移動自在であり、直径が異な
   る複数種類のウエハのオリエンテーションフラットに対
   応した上記半径方向の複数の所定の位置にクリック結合
   により選択的に停止する、 ことを特徴とする請求項２に記載のウエハ検査装置。
4. 【請求項４】 前記ウエハ搬送手段によりウエハが取り
   出される前記ウエハ保持体が保持しているウエハの直径
   を検知するウエハ直径検知手段と、 前記所定位置に着脱自在に設置されているウエハ保持部
   材の種類を検知するウエハ保持部材種類検知手段と、 前記所定位置に着脱自在に設置されているウエハ芯出し
   部材の種類を検知するウエハ芯出し部材種類検知手段
   と、 を備えており、 上記ウエハ直径検知手段が検知したウエハの直径と、上
   記ウエハ保持部材種類検知手段が検知したウエハ保持部
   材の種類が対応するウエハの直径と、上記ウエハ芯出し
   部材種類検知手段が検知したウエハ芯出し部材の種類が
   対応するウエハの直径と、が相互に一致しない場合に警
   報を発する、 ことを特徴とする請求項３に記載のウエハ検査装置．
5. 【請求項５】 前記ウエハ載置手段上のウエハをミクロ
   検査の為に選択的に顕微鏡に送り、ミクロ検査後のウエ
   ハを顕微鏡からウエハ載置手段上へと戻すウエハ顕微鏡
   搬送手段を備えた、ことを特徴とする請求項１乃至請求
   項４のいずれか１項に記載のウエハ検査装置。