JPH06350018A - リードフレームへのフィルム貼付け方法 - Google Patents
リードフレームへのフィルム貼付け方法Info
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- JPH06350018A JPH06350018A JP16600093A JP16600093A JPH06350018A JP H06350018 A JPH06350018 A JP H06350018A JP 16600093 A JP16600093 A JP 16600093A JP 16600093 A JP16600093 A JP 16600093A JP H06350018 A JPH06350018 A JP H06350018A
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- Japan
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- film
- lead frame
- die
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- Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、煩雑な作業を行わずにフィルムの
貼付け位置精度を大幅に向上させることを目的とする。 【構成】 本発明のリードフレームへのフィルム貼付け
方法は、リードフレーム6に接着性フィルムを貼着する
とき、リードフレーム6を接着性フィルム7のずれを防
ぐ微小な距離Cをダイ2との間に有して位置させるよう
にしている。
貼付け位置精度を大幅に向上させることを目的とする。 【構成】 本発明のリードフレームへのフィルム貼付け
方法は、リードフレーム6に接着性フィルムを貼着する
とき、リードフレーム6を接着性フィルム7のずれを防
ぐ微小な距離Cをダイ2との間に有して位置させるよう
にしている。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は絶縁性または導電性の接
着性フィルムをリードフレームに貼付けるリードフレー
ムへのフィルム貼付け方法に関し、特に、フィルム貼付
け位置精度を大幅に向上させたリードフレームへのフィ
ルム貼付け方法に関する。
着性フィルムをリードフレームに貼付けるリードフレー
ムへのフィルム貼付け方法に関し、特に、フィルム貼付
け位置精度を大幅に向上させたリードフレームへのフィ
ルム貼付け方法に関する。
【0002】
【従来の技術】高密度実装を可能にしたCOL(Chip o
n Lead)やLOC(Lead on Chip)構造のリードフレー
ムには、予め半導体チップ搭載用に高耐熱ポリイミド系
フィルムの片面又は両面に接着剤(熱可塑性及び熱硬化
性接着剤等)が塗布された接着剤付フィルムを貼り付
け、プレハブリードフレームとして実用化されているも
のがある。
n Lead)やLOC(Lead on Chip)構造のリードフレー
ムには、予め半導体チップ搭載用に高耐熱ポリイミド系
フィルムの片面又は両面に接着剤(熱可塑性及び熱硬化
性接着剤等)が塗布された接着剤付フィルムを貼り付
け、プレハブリードフレームとして実用化されているも
のがある。
【0003】このようなリードフレームにおいて、接着
剤付フィルムを貼付ける場合には、例えば、図4に示す
ようなフィルム貼付け装置が使用されている。このフィ
ルム貼付け装置は、ダイ2と共働してフィルム7を所定
の形状に打抜き剪断する昇降自在の打抜きパンチ1と、
下死点まで下降した打抜きパンチ1と共働してフィルム
7とリードフレーム6を打抜きパンチ1の圧下力で挟み
込むと共にリードフレーム6を所定の温度まで加熱する
ヒータブロック5と、打抜きパンチ1の昇降をガイドす
るストリッパ3と、打抜きパンチ1の下降時にリードフ
レーム6のパイロットホール10に差し込まれて、リー
ドフレーム6の搬送位置、すなわち、フィルム貼付け位
置を調節するパイロットピン11を備えている。
剤付フィルムを貼付ける場合には、例えば、図4に示す
ようなフィルム貼付け装置が使用されている。このフィ
ルム貼付け装置は、ダイ2と共働してフィルム7を所定
の形状に打抜き剪断する昇降自在の打抜きパンチ1と、
下死点まで下降した打抜きパンチ1と共働してフィルム
7とリードフレーム6を打抜きパンチ1の圧下力で挟み
込むと共にリードフレーム6を所定の温度まで加熱する
ヒータブロック5と、打抜きパンチ1の昇降をガイドす
るストリッパ3と、打抜きパンチ1の下降時にリードフ
レーム6のパイロットホール10に差し込まれて、リー
ドフレーム6の搬送位置、すなわち、フィルム貼付け位
置を調節するパイロットピン11を備えている。
【0004】このフィルム貼付け装置は、まず、図5に
示すように、打抜きパンチ1を下降させてフィルム7を
所定の形状に打ち抜くと共に、パイロットピン11をリ
ードフレーム6のパイロットホール10に差し込んで、
リードフレーム6の位置決めを行い、続いて、図6に示
すように、打ち抜いたフィルム7をその下のリードフレ
ーム6と共にヒータブロック5に押し付けて挟み込むこ
とにより、リードフレーム6の所定の位置にフィルム7
を熱圧着により貼付けることができる。
示すように、打抜きパンチ1を下降させてフィルム7を
所定の形状に打ち抜くと共に、パイロットピン11をリ
ードフレーム6のパイロットホール10に差し込んで、
リードフレーム6の位置決めを行い、続いて、図6に示
すように、打ち抜いたフィルム7をその下のリードフレ
ーム6と共にヒータブロック5に押し付けて挟み込むこ
とにより、リードフレーム6の所定の位置にフィルム7
を熱圧着により貼付けることができる。
【0005】また、フィルム7の打抜き時、打抜きパン
チ1で打ち抜かれたフィルム7は、一般に、図7に示す
ように、打抜きパンチ1の先端面(或いは、ダイ2の開
口面積)より20〜30μmだけ大きく打ち抜かれるた
め、図8に示すように、打抜きパンチ1がダイ2から突
出すると、フィルム7は横方向へズレてしまい、リード
フレーム6の所定の位置へ貼付けることができなくな
る。このため、打抜パンチ1の先端に複数設けた吸着孔
(外径0.5mm程度)4で打ち抜いたフィルム7を吸
着固定して、フィルム7の横ズレを低減するようにして
いる。
チ1で打ち抜かれたフィルム7は、一般に、図7に示す
ように、打抜きパンチ1の先端面(或いは、ダイ2の開
口面積)より20〜30μmだけ大きく打ち抜かれるた
め、図8に示すように、打抜きパンチ1がダイ2から突
出すると、フィルム7は横方向へズレてしまい、リード
フレーム6の所定の位置へ貼付けることができなくな
る。このため、打抜パンチ1の先端に複数設けた吸着孔
(外径0.5mm程度)4で打ち抜いたフィルム7を吸
着固定して、フィルム7の横ズレを低減するようにして
いる。
【0006】しかし、上記のように吸着孔でフィルムを
吸着固定してリードフレームにフィルムを貼付けても、
フィルムのズレを低減するだけであり、ユーザーが要求
する±0.1mmのフィルム貼付け位置精度を満足する
ことは困難である。また、パンチの先端はフィルムの貼
付けを行うため、そこに穴があるとフィルム貼着時にこ
の穴の部分に圧力が加わらなくなる。このため、その部
分が未接着となるばかりでなく、接着層に圧力の不均一
部ができるため、フィルムの接着層に押しすぎ剥がれ、
つまり、接着時に穴の内側の接着層において急激に軟化
した接着剤が流動し、流動中に硬化してこの部分に真空
の空隙ができる。この押しすぎ剥がれはパッケージを樹
脂封止した後も残存する場合があり、この空隙に水分が
吸収するとパッケージクラックに至るため製造時に防止
しなければならない。
吸着固定してリードフレームにフィルムを貼付けても、
フィルムのズレを低減するだけであり、ユーザーが要求
する±0.1mmのフィルム貼付け位置精度を満足する
ことは困難である。また、パンチの先端はフィルムの貼
付けを行うため、そこに穴があるとフィルム貼着時にこ
の穴の部分に圧力が加わらなくなる。このため、その部
分が未接着となるばかりでなく、接着層に圧力の不均一
部ができるため、フィルムの接着層に押しすぎ剥がれ、
つまり、接着時に穴の内側の接着層において急激に軟化
した接着剤が流動し、流動中に硬化してこの部分に真空
の空隙ができる。この押しすぎ剥がれはパッケージを樹
脂封止した後も残存する場合があり、この空隙に水分が
吸収するとパッケージクラックに至るため製造時に防止
しなければならない。
【0007】そこで、この対策として貼付けたフィルム
のパンチ先端面の穴の部分を再度圧着する方法が考えら
れる。
のパンチ先端面の穴の部分を再度圧着する方法が考えら
れる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のリード
フレームへのフィルム貼付け方法によると、打抜きパン
チの先端面に設けられた吸着穴でフィルムを吸着固定し
ているため、前述したように、フィルムのパンチ先端面
の穴の部分を再度圧着する必要があり、工数が増加し、
作業性の低下やコストアップを招くという不都合があ
る。
フレームへのフィルム貼付け方法によると、打抜きパン
チの先端面に設けられた吸着穴でフィルムを吸着固定し
ているため、前述したように、フィルムのパンチ先端面
の穴の部分を再度圧着する必要があり、工数が増加し、
作業性の低下やコストアップを招くという不都合があ
る。
【0009】また、ヒータブロックとダイの隙間をでき
るだけ少なくすれば、フィルムのズレを極力低減できる
が、この場合、金型やリードフレームに必要以上の熱を
加えることになり、リードフレームのパターンが熱膨張
によって変形してしまい、それにフィルムを貼付ける
と、常温状態に戻ったときにフィルムがズレて貼付けら
れることになる。
るだけ少なくすれば、フィルムのズレを極力低減できる
が、この場合、金型やリードフレームに必要以上の熱を
加えることになり、リードフレームのパターンが熱膨張
によって変形してしまい、それにフィルムを貼付ける
と、常温状態に戻ったときにフィルムがズレて貼付けら
れることになる。
【0010】従って、本発明の目的は煩雑な作業を行わ
ずにフィルムの貼付け位置精度を大幅に向上させること
ができるリードフレームへのフィルム貼付け方法を提供
することである。
ずにフィルムの貼付け位置精度を大幅に向上させること
ができるリードフレームへのフィルム貼付け方法を提供
することである。
【0011】
【課題を解決するための手段】本発明は上記問題点に鑑
み、煩雑な作業を行わずにフィルムの貼付け位置精度を
大幅に向上させるため、リードフレームに接着性フィル
ムを貼着するとき、リードフレームが接着性フィルムの
ずれを防ぐ微小な距離をダイとの間に有して位置したリ
ードフレームへのフィルム貼付け方法を提供するもので
ある。
み、煩雑な作業を行わずにフィルムの貼付け位置精度を
大幅に向上させるため、リードフレームに接着性フィル
ムを貼着するとき、リードフレームが接着性フィルムの
ずれを防ぐ微小な距離をダイとの間に有して位置したリ
ードフレームへのフィルム貼付け方法を提供するもので
ある。
【0012】上記リードフレームは、ヒータを昇降させ
るシリンダー機構等のアクチュエータによって微小な距
離の位置に配置させられる。また、上記微小な距離は、
接着性フィルムの厚さの1/3〜1.3倍にすることが
好ましい。
るシリンダー機構等のアクチュエータによって微小な距
離の位置に配置させられる。また、上記微小な距離は、
接着性フィルムの厚さの1/3〜1.3倍にすることが
好ましい。
【0013】
【実施例】以下、本発明のリードフレームへのフィルム
貼付け方法について添付図面を参照しながら詳細に説明
する。
貼付け方法について添付図面を参照しながら詳細に説明
する。
【0014】図1には、本発明に適用されるリードフレ
ームへのフィルム貼付け装置が示されている。この図に
おいて、図4と同一の部分には同一の引用数字を付した
ので重複する説明は省略する。
ームへのフィルム貼付け装置が示されている。この図に
おいて、図4と同一の部分には同一の引用数字を付した
ので重複する説明は省略する。
【0015】このリードフレームへのフィルム貼付け装
置は、ヒータブロック5を昇降させるエアシリンダー等
のアクチュエータ9を有して構成されている。
置は、ヒータブロック5を昇降させるエアシリンダー等
のアクチュエータ9を有して構成されている。
【0016】アクチュエータ9は、リードフレーム6へ
フィルム7を貼着するとき、すなわち、打抜きパンチ1
が下降する直前に、図2に示すように、ヒータブロック
5を上昇させ、その上に位置するリードフレーム6をダ
イ2の下方に僅かな距離Cをもって配置させるように構
成されている。ここで、距離Cはフィルム7の厚さの1
/3〜1倍(実際には打ち抜かれたフィルム7は下側に
撓みが出るので1.3倍程度まで可)の範囲が好まし
く、距離Cがこの範囲にあれは、パイロットピン11を
パイロットホール10に容易に挿入することができ(パ
イロットピン11の先端のテーパ形状に対してリードフ
レームが追従して動く)、且つ、リードフレーム6への
フィルム貼付け位置精度を高めることができる。
フィルム7を貼着するとき、すなわち、打抜きパンチ1
が下降する直前に、図2に示すように、ヒータブロック
5を上昇させ、その上に位置するリードフレーム6をダ
イ2の下方に僅かな距離Cをもって配置させるように構
成されている。ここで、距離Cはフィルム7の厚さの1
/3〜1倍(実際には打ち抜かれたフィルム7は下側に
撓みが出るので1.3倍程度まで可)の範囲が好まし
く、距離Cがこの範囲にあれは、パイロットピン11を
パイロットホール10に容易に挿入することができ(パ
イロットピン11の先端のテーパ形状に対してリードフ
レームが追従して動く)、且つ、リードフレーム6への
フィルム貼付け位置精度を高めることができる。
【0017】ダイ2とリードフレーム6の間の距離Cを
フィルム7の厚さの1/3〜1.3倍の範囲にする理由
は、このダイ2とリードフレーム6との距離をできるだ
け小さくした方が貼付け位置精度を高められるが、距離
Cをフィルム厚の1/3倍以下に設定すると、パイロッ
トピン11で位置を規制するとき、リードフレーム6が
動き難いため、パイロットホール10を損傷するばかり
でなく、ずれた位置にフィルムを貼付けることになり、
また、距離Cをフィルム厚の1.3倍以上に設定する
と、ダイ2から横方向にフィルム7が飛び出して所定の
位置にフィルム7を貼付けることができないからであ
る。
フィルム7の厚さの1/3〜1.3倍の範囲にする理由
は、このダイ2とリードフレーム6との距離をできるだ
け小さくした方が貼付け位置精度を高められるが、距離
Cをフィルム厚の1/3倍以下に設定すると、パイロッ
トピン11で位置を規制するとき、リードフレーム6が
動き難いため、パイロットホール10を損傷するばかり
でなく、ずれた位置にフィルムを貼付けることになり、
また、距離Cをフィルム厚の1.3倍以上に設定する
と、ダイ2から横方向にフィルム7が飛び出して所定の
位置にフィルム7を貼付けることができないからであ
る。
【0018】以下、本発明のリードフレームへのフィル
ム貼付け方法を説明する。まず、打抜きパンチ1の下降
に先立ち、図2に示すように、アクチュエータ9でヒー
タブロック5を上昇させ、これによってリードフレーム
6を持ち上げて、リードフレーム6をダイ2の下方に距
離Cをもって配置させる。そして、打抜きパンチ1を下
降させると、打抜きパンチ1はダイ2と共働してフィル
ム7を所定の形状に打抜き剪断した後、図3に示すよう
に、打ち抜いたフィルム7とダイ2の下方に距離Cをも
って配置されたリードフレーム6をアクチュエータ9で
上昇させられたヒータブロック5に押し付けて挟み込む
ことにより、リードフレーム6の所定の位置に熱圧着に
よりフィルム7を貼着する。
ム貼付け方法を説明する。まず、打抜きパンチ1の下降
に先立ち、図2に示すように、アクチュエータ9でヒー
タブロック5を上昇させ、これによってリードフレーム
6を持ち上げて、リードフレーム6をダイ2の下方に距
離Cをもって配置させる。そして、打抜きパンチ1を下
降させると、打抜きパンチ1はダイ2と共働してフィル
ム7を所定の形状に打抜き剪断した後、図3に示すよう
に、打ち抜いたフィルム7とダイ2の下方に距離Cをも
って配置されたリードフレーム6をアクチュエータ9で
上昇させられたヒータブロック5に押し付けて挟み込む
ことにより、リードフレーム6の所定の位置に熱圧着に
よりフィルム7を貼着する。
【0019】このようにリードフレーム6をダイ2の下
方に距離Cをもって配置し、その位置レベルでフィルム
7の貼付けを行うと、リードフレーム6に対する打抜き
パンチ1の貼付け位置がダイ2をガイドとして位置決め
されるため、リードフレーム6へのフィルム7の貼付け
位置精度を高めることができる。具体的には、ズレの標
準偏差を0.015以下にすることができ、量産を行っ
た場合(±4σ)を考慮しても±0.075を確保で
き、従来の±0.1に比べて位置精度を大幅に向上させ
ることができる。
方に距離Cをもって配置し、その位置レベルでフィルム
7の貼付けを行うと、リードフレーム6に対する打抜き
パンチ1の貼付け位置がダイ2をガイドとして位置決め
されるため、リードフレーム6へのフィルム7の貼付け
位置精度を高めることができる。具体的には、ズレの標
準偏差を0.015以下にすることができ、量産を行っ
た場合(±4σ)を考慮しても±0.075を確保で
き、従来の±0.1に比べて位置精度を大幅に向上させ
ることができる。
【0020】また、ヒータブロック5はダイと離れて待
機しており、必要なときのみリードフレーム6に接触し
て加熱するようになっているため、ダイ2を通しての熱
放散が少なくなり、打抜きパンチ1やダイ2への熱影響
を少なくすることができ、且つ、リードフレーム6のイ
ンナーパターンの熱膨張による貼付け位置のズレを防ぐ
ことができる。更に、熱源も貼付け時のみ使用するため
省エネに有効である。
機しており、必要なときのみリードフレーム6に接触し
て加熱するようになっているため、ダイ2を通しての熱
放散が少なくなり、打抜きパンチ1やダイ2への熱影響
を少なくすることができ、且つ、リードフレーム6のイ
ンナーパターンの熱膨張による貼付け位置のズレを防ぐ
ことができる。更に、熱源も貼付け時のみ使用するため
省エネに有効である。
【0021】更に、打抜きパンチ1の先端面に複数の吸
引孔を設ける必要がないため、装置に煩雑な加工を施す
必要がなくなると共に、穴の部分を再圧着しなくても良
くなる。従って、工数の増加を抑制して、作業性の向
上,及びコストダウンを図ることができる。
引孔を設ける必要がないため、装置に煩雑な加工を施す
必要がなくなると共に、穴の部分を再圧着しなくても良
くなる。従って、工数の増加を抑制して、作業性の向
上,及びコストダウンを図ることができる。
【0022】尚、フィルム7に塗布された接着剤は熱可
塑性接着剤であり、健全な接着を行うためには所定の圧
力,温度,及び時間が必要となる。本発明はアクチュエ
ータ9でヒータブロック5を昇降させるようになってい
るため、アクチュエータ9の圧力,及び作動時間を制御
することによって接着状態を制御することができる。ま
た、これに限定せずにヒータブロック5の作動をカム,
リンク等の機構を用いて下死点を制御しても同様な効果
を得ることができる。
塑性接着剤であり、健全な接着を行うためには所定の圧
力,温度,及び時間が必要となる。本発明はアクチュエ
ータ9でヒータブロック5を昇降させるようになってい
るため、アクチュエータ9の圧力,及び作動時間を制御
することによって接着状態を制御することができる。ま
た、これに限定せずにヒータブロック5の作動をカム,
リンク等の機構を用いて下死点を制御しても同様な効果
を得ることができる。
【0023】また、本発明はLOC/COL構造のリー
ドフレームへのフィルム貼付け限定するものではなく、
リード固定用テープの貼付けにも適用することができ
る。
ドフレームへのフィルム貼付け限定するものではなく、
リード固定用テープの貼付けにも適用することができ
る。
【0024】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のリードフ
レームへのフィルム貼付け方法によると、リードフレー
ムに接着性フィルムを貼着するとき、リードフレームを
接着性フィルムのずれを防ぐ微小な距離をダイとの間に
有して位置させるようにしたため、煩雑な作業を行わず
にフィルムの貼付け位置精度を大幅に向上させることが
できる。
レームへのフィルム貼付け方法によると、リードフレー
ムに接着性フィルムを貼着するとき、リードフレームを
接着性フィルムのずれを防ぐ微小な距離をダイとの間に
有して位置させるようにしたため、煩雑な作業を行わず
にフィルムの貼付け位置精度を大幅に向上させることが
できる。
【図1】本発明に適用されるフィルム貼付け装置を示す
断面図。
断面図。
【図2】本発明の一実施例を示す断面図。
【図3】本発明の一実施例を示す断面図。
【図4】従来のフィルム貼付け方法に適用されるフィル
ム貼付け装置を示す断面図。
ム貼付け装置を示す断面図。
【図5】従来のフィルム貼付け方法を示す断面図。
【図6】従来のフィルム貼付け方法を示す断面図。
【図7】従来のフィルム貼付け方法におけるフィルム打
抜き時の状態を示す断面図。
抜き時の状態を示す断面図。
【図8】従来のフィルム貼付け方法におけるフィルム打
抜き後の状態を示す断面図。
抜き後の状態を示す断面図。
1 打抜きパンチ 2 ダイ 3 ストリッパ 4 吸引
孔 5 ヒータブロック 6 リー
ドフレーム 7 フィルム 9 アク
チュエータ 10 パイロットホール 11 パイ
ロットピン
孔 5 ヒータブロック 6 リー
ドフレーム 7 フィルム 9 アク
チュエータ 10 パイロットホール 11 パイ
ロットピン
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 佐々木 敏 茨城県土浦市木田余町3550番地 日立電線 株式会社システムマテリアル研究所内 (72)発明者 高坂 博之 茨城県日立市助川町3丁目1番1号 日立 電線株式会社電線工場内
Claims (3)
- 【請求項1】 打抜きパンチでダイ上に位置する絶縁性
または導電性の接着性フィルムを所定の形状に打ち抜い
て、前記ダイの下方に位置するヒータ上のリードフレー
ムの所定の位置に貼着するリードフレームへのフィルム
貼付け方法において、 前記リードフレームに前記接着性フィルムを貼着すると
き、前記リードフレームを前記接着性フィルムのずれを
防ぐ微小な距離を前記ダイとの間に有して位置させるこ
とを特徴とするリードフレームへのフィルム貼付け方
法。 - 【請求項2】 前記リードフレームは、前記ヒータを昇
降させるシリンダー機構等のアクチュエータによって前
記微小な距離の位置に配置させられる請求項1のリード
フレームへのフィルム貼付け方法。 - 【請求項3】 前記微小な距離は、前記接着性フィルム
の厚さの1/3〜1.3倍である請求項1,或いは2の
リードフレームへのフィルム貼付け方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5166000A JP3028997B2 (ja) | 1993-06-11 | 1993-06-11 | リードフレームへのフィルム貼付け方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5166000A JP3028997B2 (ja) | 1993-06-11 | 1993-06-11 | リードフレームへのフィルム貼付け方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06350018A true JPH06350018A (ja) | 1994-12-22 |
| JP3028997B2 JP3028997B2 (ja) | 2000-04-04 |
Family
ID=15823022
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5166000A Expired - Fee Related JP3028997B2 (ja) | 1993-06-11 | 1993-06-11 | リードフレームへのフィルム貼付け方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3028997B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015040066A (ja) * | 2013-08-23 | 2015-03-02 | 千代田インテグレ株式会社 | 複数部材の貼付方法及び貼付装置 |
| JP2021009931A (ja) * | 2019-07-01 | 2021-01-28 | 株式会社 ベアック | 貼り付け装置及び貼り付け方法 |
-
1993
- 1993-06-11 JP JP5166000A patent/JP3028997B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015040066A (ja) * | 2013-08-23 | 2015-03-02 | 千代田インテグレ株式会社 | 複数部材の貼付方法及び貼付装置 |
| JP2021009931A (ja) * | 2019-07-01 | 2021-01-28 | 株式会社 ベアック | 貼り付け装置及び貼り付け方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3028997B2 (ja) | 2000-04-04 |
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