JPH063578A - 焦点検出装置 - Google Patents
焦点検出装置Info
- Publication number
- JPH063578A JPH063578A JP15812592A JP15812592A JPH063578A JP H063578 A JPH063578 A JP H063578A JP 15812592 A JP15812592 A JP 15812592A JP 15812592 A JP15812592 A JP 15812592A JP H063578 A JPH063578 A JP H063578A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- focus detection
- light
- reflected light
- reflected
- subject
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 34
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 3
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 14
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 12
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 9
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 6
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Automatic Focus Adjustment (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明は、被検体の表面形状に影響されること
なく、高精度に合焦制御を行うことができる焦点検出装
置を提供する。 【構成】本発明は、レーザーダイオード２３から出射さ
れたレーザービームによって照明された被検体３９の表
面４１から反射した反射光を２分割受光素子４９に集光
させ、この２分割受光素子によって受光された光量に基
づいて焦点検出を行う焦点検出装置に設けられており、
被検体３９の表面４１から反射した反射光のうち、焦点
検出に有害な反射光のみを遮光する制限エッジ４５を備
える。
なく、高精度に合焦制御を行うことができる焦点検出装
置を提供する。 【構成】本発明は、レーザーダイオード２３から出射さ
れたレーザービームによって照明された被検体３９の表
面４１から反射した反射光を２分割受光素子４９に集光
させ、この２分割受光素子によって受光された光量に基
づいて焦点検出を行う焦点検出装置に設けられており、
被検体３９の表面４１から反射した反射光のうち、焦点
検出に有害な反射光のみを遮光する制限エッジ４５を備
える。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、顕微鏡あるいは光学測
定機等において、被検体に対して焦点合わせを行う焦点
検出装置に関する。
定機等において、被検体に対して焦点合わせを行う焦点
検出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の装置として、特開昭６０
−４２７２５号公報（以下、従来例と称する）に開示さ
れた焦点検出装置が知られている。図３には、従来例の
焦点検出装置の構成が概略的に示されている。
−４２７２５号公報（以下、従来例と称する）に開示さ
れた焦点検出装置が知られている。図３には、従来例の
焦点検出装置の構成が概略的に示されている。
【０００３】図３に示すように、レーザーダイオード
（ＬＤ）１から出射したレーザービームは、コリメータ
レンズ３を介して平行光束に規制された後、光路中に配
置された遮蔽板５によって、その半分の光束が遮光され
る。残り半分の光束は、集光レンズ７によって結像（中
間結像位置Ｐ）された後、偏光ビームスプリッタ９に照
射される。偏光ビームスプリッタ９によって反射された
レーザービームは、１／４波長板１１、結像レンズ１３
及び対物レンズ１５を介して被検体１７の表面１９に集
光される。
（ＬＤ）１から出射したレーザービームは、コリメータ
レンズ３を介して平行光束に規制された後、光路中に配
置された遮蔽板５によって、その半分の光束が遮光され
る。残り半分の光束は、集光レンズ７によって結像（中
間結像位置Ｐ）された後、偏光ビームスプリッタ９に照
射される。偏光ビームスプリッタ９によって反射された
レーザービームは、１／４波長板１１、結像レンズ１３
及び対物レンズ１５を介して被検体１７の表面１９に集
光される。
【０００４】被検体１７の表面１９から反射した反射光
は、再び、対物レンズ１５、結像レンズ１３及び１／４
波長板１１を介して偏光ビームスプリッタ９に照射され
る。このとき偏光ビームスプリッタ９に照射された反射
光の偏光方向は、１／４波長板１１によって最初の偏光
方向に対して９０°ずらされている。このため、反射光
は、偏光ビームスプリッタ９を透過して２分割受光素子
２１に結像する（結像位置Ｓで示す）。
は、再び、対物レンズ１５、結像レンズ１３及び１／４
波長板１１を介して偏光ビームスプリッタ９に照射され
る。このとき偏光ビームスプリッタ９に照射された反射
光の偏光方向は、１／４波長板１１によって最初の偏光
方向に対して９０°ずらされている。このため、反射光
は、偏光ビームスプリッタ９を透過して２分割受光素子
２１に結像する（結像位置Ｓで示す）。
【０００５】２分割受光素子２１は、２つの光電変換部
Ａ、Ｂを備えており、これら光電変換部Ａ、Ｂは、夫
々、受光した光量に対応した電圧信号を出力する機能を
有している。図４（ａ）には、図１に示された状態にお
いて、被検体１７の位置を横軸とし光電変換部Ａ、Ｂか
ら出力された電圧信号Ａ、Ｂの変化特性が示されてい
る。このような特性を有する電圧信号は、夫々対応する
検出機構（図示しない）に入力され、所定の演算が施さ
れて焦点検出信号が出力される。図４（ｂ）には、電圧
信号Ａ、Ｂに対して演算が施された結果得られた信号特
性が示されており、かかる信号特性から焦点検出信号が
得られる。
Ａ、Ｂを備えており、これら光電変換部Ａ、Ｂは、夫
々、受光した光量に対応した電圧信号を出力する機能を
有している。図４（ａ）には、図１に示された状態にお
いて、被検体１７の位置を横軸とし光電変換部Ａ、Ｂか
ら出力された電圧信号Ａ、Ｂの変化特性が示されてい
る。このような特性を有する電圧信号は、夫々対応する
検出機構（図示しない）に入力され、所定の演算が施さ
れて焦点検出信号が出力される。図４（ｂ）には、電圧
信号Ａ、Ｂに対して演算が施された結果得られた信号特
性が示されており、かかる信号特性から焦点検出信号が
得られる。
【０００６】具体的には、点線Ｃが（Ａ−Ｂ）／（Ａ＋
Ｂ）の演算結果から得られた信号特性を示し、実線Ｄが
（Ａ−Ｂ）の演算結果から得られた信号特性を示す。こ
れら２つの信号特性Ｃ、Ｄのゼロクロス信号に基づいて
焦点検出信号が得られ、この焦点検出信号から合焦位置
が算出される。
Ｂ）の演算結果から得られた信号特性を示し、実線Ｄが
（Ａ−Ｂ）の演算結果から得られた信号特性を示す。こ
れら２つの信号特性Ｃ、Ｄのゼロクロス信号に基づいて
焦点検出信号が得られ、この焦点検出信号から合焦位置
が算出される。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図５に
示すように、従来例の装置において、合焦動作時、被検
体１７の表面１９（図３参照）に集光させる集光スポッ
ト径は、回折限界まで絞られ非常に微小となる。このた
め、粗さやＩＣパターンのような微細構造を有する被検
体１７の表面１９にレーザービームを集光させた場合、
被検体１７の表面１９の粗さによる乱反射、ＩＣパター
ン等による回折、被検体１７の傾斜等によって、本来通
らない光路をたどる反射光（図中、矢印Ｑで示す反射
光）が発生することがある。なお、図５には、説明の都
合上、図３に示す装置の構成を簡略化して示してある。
示すように、従来例の装置において、合焦動作時、被検
体１７の表面１９（図３参照）に集光させる集光スポッ
ト径は、回折限界まで絞られ非常に微小となる。このた
め、粗さやＩＣパターンのような微細構造を有する被検
体１７の表面１９にレーザービームを集光させた場合、
被検体１７の表面１９の粗さによる乱反射、ＩＣパター
ン等による回折、被検体１７の傾斜等によって、本来通
らない光路をたどる反射光（図中、矢印Ｑで示す反射
光）が発生することがある。なお、図５には、説明の都
合上、図３に示す装置の構成を簡略化して示してある。
【０００８】図６（ａ）に示すように、かかる反射光が
発生すると、２分割受光素子２１の光電変換部Ａ、Ｂか
ら出力される電圧信号Ａ、Ｂに乱れが生じる。このこと
は、被検体１７の表面１９がミラー面である場合に出力
される電圧信号（図６（ａ）中、点線で示す電気信号）
と比べると明らかである。
発生すると、２分割受光素子２１の光電変換部Ａ、Ｂか
ら出力される電圧信号Ａ、Ｂに乱れが生じる。このこと
は、被検体１７の表面１９がミラー面である場合に出力
される電圧信号（図６（ａ）中、点線で示す電気信号）
と比べると明らかである。
【０００９】また、電圧信号Ａ、Ｂの乱れ（図６（ａ）
参照）は、焦点検出信号にも図６（ｂ）に示すような乱
れを引起こし、結果、符号ｃ、ｄで示すような擬合焦と
なる。
参照）は、焦点検出信号にも図６（ｂ）に示すような乱
れを引起こし、結果、符号ｃ、ｄで示すような擬合焦と
なる。
【００１０】本発明は、このような弊害を除去するため
になされ、その目的は、被検体の表面形状に影響される
ことなく、高精度に焦点検出を行うことができる焦点検
出装置を提供することにある。
になされ、その目的は、被検体の表面形状に影響される
ことなく、高精度に焦点検出を行うことができる焦点検
出装置を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明の焦点検出装置は、光源から出射され
た照明光によって照明された被検体の表面から反射した
反射光を分割受光素子に集光させ、この分割受光素子に
よって受光された光量に基づいて焦点検出を行う焦点検
出系と、この焦点検出系に設けられ、前記被検体の表面
から反射した反射光のうち、焦点検出に有害な反射光の
みを遮光する制限エッジとを備える。
るために、本発明の焦点検出装置は、光源から出射され
た照明光によって照明された被検体の表面から反射した
反射光を分割受光素子に集光させ、この分割受光素子に
よって受光された光量に基づいて焦点検出を行う焦点検
出系と、この焦点検出系に設けられ、前記被検体の表面
から反射した反射光のうち、焦点検出に有害な反射光の
みを遮光する制限エッジとを備える。
【００１２】
【作用】光源から出射された照明光は、焦点検出系を介
して被検体の表面に集光され、かかる表面から反射した
反射光は、制限エッジによって焦点検出に有害な反射光
のみが除去されて、分割受光素子に集光される。
して被検体の表面に集光され、かかる表面から反射した
反射光は、制限エッジによって焦点検出に有害な反射光
のみが除去されて、分割受光素子に集光される。
【００１３】
【実施例】以下、本発明の一実施例に係る焦点検出装置
について、図１を参照して説明する。図１には、本実施
例の焦点検出装置の構成が概略的に示されている。
について、図１を参照して説明する。図１には、本実施
例の焦点検出装置の構成が概略的に示されている。
【００１４】図１に示すように、レーザーダイオード
（ＬＤ）２３から出射したレーザービームは、第１のコ
リメータレンズ２５を介して平行光束に規制された後、
光路中に配置された遮蔽板２７によって、その半分の光
束が遮光される。残り半分の光束は、第１の集光レンズ
２９によって結像された後（中間結像位置Ｆで示す）、
偏光ビームスプリッタ３１に照射される。偏光ビームス
プリッタ３１によって反射されたレーザービームは、１
／４波長板３３、結像レンズ３５及び対物レンズ３７を
介して被検体３９の表面４１に集光される。
（ＬＤ）２３から出射したレーザービームは、第１のコ
リメータレンズ２５を介して平行光束に規制された後、
光路中に配置された遮蔽板２７によって、その半分の光
束が遮光される。残り半分の光束は、第１の集光レンズ
２９によって結像された後（中間結像位置Ｆで示す）、
偏光ビームスプリッタ３１に照射される。偏光ビームス
プリッタ３１によって反射されたレーザービームは、１
／４波長板３３、結像レンズ３５及び対物レンズ３７を
介して被検体３９の表面４１に集光される。
【００１５】被検体３９の表面４１から反射した反射光
は、再び、対物レンズ３７、結像レンズ３５及び１／４
波長板３３を介して偏光ビームスプリッタ３１に照射さ
れる。このとき偏光ビームスプリッタ３１に照射された
反射光の偏光方向は、１／４波長板３３によって最初の
偏光方向に対して９０°ずらされている。このため、反
射光は、偏光ビームスプリッタ３１を透過する。
は、再び、対物レンズ３７、結像レンズ３５及び１／４
波長板３３を介して偏光ビームスプリッタ３１に照射さ
れる。このとき偏光ビームスプリッタ３１に照射された
反射光の偏光方向は、１／４波長板３３によって最初の
偏光方向に対して９０°ずらされている。このため、反
射光は、偏光ビームスプリッタ３１を透過する。
【００１６】本実施例の焦点検出装置には、偏光ビーム
スプリッタ３１を透過した反射光が結像する位置（即
ち、中間結像位置Ｇ）を挟んで偏光ビームスプリッタ３
１と対面して第２のコリメータレンズ４３が配置されて
いる。従って、偏光ビームスプリッタ３１を透過した反
射光は、中間結像（符号Ｇで示す）した後、第２のコリ
メータレンズ４３を介して平行光束に規制される。
スプリッタ３１を透過した反射光が結像する位置（即
ち、中間結像位置Ｇ）を挟んで偏光ビームスプリッタ３
１と対面して第２のコリメータレンズ４３が配置されて
いる。従って、偏光ビームスプリッタ３１を透過した反
射光は、中間結像（符号Ｇで示す）した後、第２のコリ
メータレンズ４３を介して平行光束に規制される。
【００１７】第２のコリメータレンズ４３によって平行
光束に規制された反射光は、本来反射光の無い側の半分
の光束が制限エッジ４５によって遮光される。残り半分
の光束は、第２の集光レンズ４７を介して２分割受光素
子４９に結像される（結像位置Ｒ）。
光束に規制された反射光は、本来反射光の無い側の半分
の光束が制限エッジ４５によって遮光される。残り半分
の光束は、第２の集光レンズ４７を介して２分割受光素
子４９に結像される（結像位置Ｒ）。
【００１８】２分割受光素子４９は、２つの光電変換部
Ｊ、Ｋを備えており、これら光電変換部Ｊ、Ｋは、夫
々、受光した光量に対応した電圧信号を出力する機能を
有している。
Ｊ、Ｋを備えており、これら光電変換部Ｊ、Ｋは、夫
々、受光した光量に対応した電圧信号を出力する機能を
有している。
【００１９】これら光電変換部Ｊ、Ｋから出力された電
圧信号は、夫々、対応する演算機構に出力され、所定の
演算が施される。そして、かかる演算データを基に焦点
検出が行われる。
圧信号は、夫々、対応する演算機構に出力され、所定の
演算が施される。そして、かかる演算データを基に焦点
検出が行われる。
【００２０】このように、本実施例の焦点検出装置は、
第２のコリメータレンズ４３と第２の集光レンズ４７と
の間の光路中に、かかる光路を導光された反射光の半分
の光束を遮光するように、制限エッジ４５が配置されて
いるため、被検体３９の表面４１の粗さによる乱反射、
微細パターンによる回折、被体１７の傾斜等によって、
本来通らない光路をたどる反射光即ち焦点検出に有害な
ノイズ光（図中、矢印Ｎで示す）を遮光させることがで
きる。この結果、被検体３９の表面形状に影響されるこ
となく、Ｓ／Ｎ比の高い高精度な焦点検出を行うことが
できる。
第２のコリメータレンズ４３と第２の集光レンズ４７と
の間の光路中に、かかる光路を導光された反射光の半分
の光束を遮光するように、制限エッジ４５が配置されて
いるため、被検体３９の表面４１の粗さによる乱反射、
微細パターンによる回折、被体１７の傾斜等によって、
本来通らない光路をたどる反射光即ち焦点検出に有害な
ノイズ光（図中、矢印Ｎで示す）を遮光させることがで
きる。この結果、被検体３９の表面形状に影響されるこ
となく、Ｓ／Ｎ比の高い高精度な焦点検出を行うことが
できる。
【００２１】なお、本発明は、上述した実施例の構成に
限定されることはなく、請求の範囲内で種々変更するこ
とができ得る。例えば、図２に示すように、レーザーダ
イオード（ＬＤ）２３から出射したレーザービームを、
直接、第１の集光レンズ２９を介して変更ビームスプリ
ッタ３１に照射させるように構成することも可能であ
る。ただし、第２のコリメータレンズ４３と第２の集光
レンズ４７との間の光路中には、かかる光路を導光され
た反射光の半分の光束を遮光するように、制限エッジ４
５が配置されているため、たとえ光路中にノイズ光Ｎ
（図１参照）が混入したとしても、かかるノイズ光Ｎ
は、確実に制限エッジ４５で遮光することができるから
である。また、上述した実施例には、２分割受光素子４
９が適用されているが、例えば、ポジションセンサ（Ｐ
ＳＤ）を適用することも可能である。
限定されることはなく、請求の範囲内で種々変更するこ
とができ得る。例えば、図２に示すように、レーザーダ
イオード（ＬＤ）２３から出射したレーザービームを、
直接、第１の集光レンズ２９を介して変更ビームスプリ
ッタ３１に照射させるように構成することも可能であ
る。ただし、第２のコリメータレンズ４３と第２の集光
レンズ４７との間の光路中には、かかる光路を導光され
た反射光の半分の光束を遮光するように、制限エッジ４
５が配置されているため、たとえ光路中にノイズ光Ｎ
（図１参照）が混入したとしても、かかるノイズ光Ｎ
は、確実に制限エッジ４５で遮光することができるから
である。また、上述した実施例には、２分割受光素子４
９が適用されているが、例えば、ポジションセンサ（Ｐ
ＳＤ）を適用することも可能である。
【００２２】
【発明の効果】本発明の焦点検出装置は、焦点検出系の
光路中に制限エッジが配置されているため、被検体の表
面の粗さによる乱反射、微細パターンによる回折、被体
の傾斜等によって、本来通らない光路をたどる反射光即
ち焦点検出に有害なノイズ光を遮光させることができ
る。この結果、被検体の表面形状に影響されることな
く、Ｓ／Ｎ比の高い高精度な焦点検出を行うことができ
る。
光路中に制限エッジが配置されているため、被検体の表
面の粗さによる乱反射、微細パターンによる回折、被体
の傾斜等によって、本来通らない光路をたどる反射光即
ち焦点検出に有害なノイズ光を遮光させることができ
る。この結果、被検体の表面形状に影響されることな
く、Ｓ／Ｎ比の高い高精度な焦点検出を行うことができ
る。
【図１】本発明の一実施例に係る焦点検出装置の構成を
概略的に示す図。
概略的に示す図。
【図２】図１に示す装置の変形例を示す図。
【図３】従来の焦点検出装置の構成を概略的に示す図。
【図４】（ａ）は、図３に示す装置に適用された２分割
受光素子から出力された電気信号の変化特性を示す図、
（ｂ）は、電圧信号に対する演算の結果得られた信号特
性を示す図。
受光素子から出力された電気信号の変化特性を示す図、
（ｂ）は、電圧信号に対する演算の結果得られた信号特
性を示す図。
【図５】図３に示す装置において、本来通らない光路を
たどる反射光が発生した状態を示す図。
たどる反射光が発生した状態を示す図。
【図６】（ａ）は、図５に示す反射光によって、２分割
受光素子から出力される電圧信号に乱れが生じている状
態を示す図、（ｂ）は、電圧信号の乱れによって焦点検
出信号に乱れが引起こされた状態を示す図。
受光素子から出力される電圧信号に乱れが生じている状
態を示す図、（ｂ）は、電圧信号の乱れによって焦点検
出信号に乱れが引起こされた状態を示す図。
２３…レーザーダイオード、３９…被検体、４１…表
面、４５…制限エッジ、４９…２分割受光素子。
面、４５…制限エッジ、４９…２分割受光素子。
Claims (1)
- 【請求項１】 光源から出射された照明光によって照明
された被検体の表面から反射した反射光を分割受光素子
に集光させ、この分割受光素子によって受光された光量
に基づいて焦点検出を行う焦点検出系と、 この焦点検出系に設けられ、前記被検体の表面から反射
した反射光のうち、焦点検出に有害な反射光のみを遮光
する制限エッジと、を備えることを特徴とする焦点検出
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15812592A JPH063578A (ja) | 1992-06-17 | 1992-06-17 | 焦点検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15812592A JPH063578A (ja) | 1992-06-17 | 1992-06-17 | 焦点検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH063578A true JPH063578A (ja) | 1994-01-14 |
Family
ID=15664840
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15812592A Withdrawn JPH063578A (ja) | 1992-06-17 | 1992-06-17 | 焦点検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH063578A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5889276A (en) * | 1996-06-25 | 1999-03-30 | Nikon Corporation | Focus-detecting method and device having a light blocking member placed substantially at the conjugate image point of the pupil of the object lens |
| JP2010152408A (ja) * | 2010-04-05 | 2010-07-08 | Olympus Corp | フォーカス維持装置及び焦点検出装置 |
-
1992
- 1992-06-17 JP JP15812592A patent/JPH063578A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5889276A (en) * | 1996-06-25 | 1999-03-30 | Nikon Corporation | Focus-detecting method and device having a light blocking member placed substantially at the conjugate image point of the pupil of the object lens |
| JP2010152408A (ja) * | 2010-04-05 | 2010-07-08 | Olympus Corp | フォーカス維持装置及び焦点検出装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2603660B2 (ja) | 走査型顕微鏡 | |
| JP3126546B2 (ja) | 検査装置と検査方法、並びにこれを用いたシステム | |
| JP2512059B2 (ja) | 異物検出方法及びその装置 | |
| JP3282790B2 (ja) | 位相シフトマスクの欠陥検査装置 | |
| JPH0737269A (ja) | 光ピックアップ装置 | |
| JPH063578A (ja) | 焦点検出装置 | |
| US4647196A (en) | Surface flaw detection method | |
| JPH04244910A (ja) | 高さ検出装置 | |
| JP2605469B2 (ja) | 光ヘッド装置 | |
| JP3450660B2 (ja) | 対物レンズの傾き調整装置 | |
| JP3255703B2 (ja) | 焦点検出装置 | |
| JPH0961366A (ja) | 微分干渉顕微鏡及び該顕微鏡を用いた欠陥検査装置 | |
| JPS61242779A (ja) | レ−ザ加工装置におけるレ−ザ光の傾斜及び焦点を検出する方法 | |
| JP2544447B2 (ja) | 深さ測定方法および装置 | |
| JP2949179B2 (ja) | 非接触式形状測定装置及び形状測定法 | |
| JP2002311388A (ja) | 光学系 | |
| JPH0715366B2 (ja) | 物体位置検出光学装置 | |
| JPH1195114A (ja) | 走査型光学顕微鏡装置 | |
| JPH1090591A (ja) | 焦点検出装置 | |
| JP3542171B2 (ja) | 顕微鏡装置 | |
| JPH08304694A (ja) | 焦点検出装置 | |
| JPH0843717A (ja) | 焦点検出装置 | |
| EP0162973A1 (en) | Distance measuring device | |
| JPH07129977A (ja) | 光ピックアップ装置 | |
| JPH1090114A (ja) | レンズ評価装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990831 |