JPH0635957U - 蛍光ｘ線分析用の試料ホルダ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 微小な試料の蛍光Ｘ線分析において、散乱Ｘ
線の発生を防止して、分析精度を向上させることができ
る試料ホルダを提供する。 【構成】 試料６を保持する試料保持部材３を線状また
は帯状の部材で構成する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は、粉状や微小なチップ状などの試料の分析に用いる蛍光Ｘ線分析用 の試料ホルダに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

蛍光Ｘ線分析装置は、試料に一次Ｘ線のような放射線を照射して、試料から発 生した蛍光Ｘ線を測定することにより、試料の元素分析を行う装置である。この 分析装置によって、試料を分析する場合には、一次Ｘ線の照射位置に試料を正し くセットするために、試料ホルダを用いる。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

ところで、試料が直径１ｍｍ程度の小さな金属片や、粉状である場合などは、 試料をポリプロピレン薄膜などに載せるのであるが、一次Ｘ線の照射スポットの 範囲が試料よりも大きくなるので、一次Ｘ線がポリプロピレン薄膜にも照射され る。このように、ポリプロピレン薄膜に一次Ｘ線が照射されると、該薄膜から散 乱Ｘ線が発生し、そのため、微弱な蛍光Ｘ線の検出が困難となる。したがって、 分析精度が低下する。

【０００４】 この考案は、上記従来の問題に鑑みてなされたもので、微小な試料の蛍光Ｘ線 分析において、散乱Ｘ線の発生を防止して、分析精度を向上させることができる 試料ホルダを提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

上記目的を達成するために、この考案は、上記試料を保持する線状または帯状 の試料保持部材と、この試料保持部材をホルダ本体に着脱自在に固定する固定具 とを備えている。

【０００６】

【作用】

この考案によれば、試料保持部材が線状または帯状であるから、一次Ｘ線が試 料保持部材に照射されても、この試料保持部材から発生する散乱Ｘ線が弱くなる 。

【０００７】

【実施例】

以下、この考案の一実施例を図１〜図３にしたがって説明する。 試料ホルダ１の説明に先だって、まず、蛍光Ｘ線分析装置の一例について説明 する。 図３において、Ｘ線管（放射線源）１０は、一次Ｘ線（放射線）Ｂ１を出射し て、試料６に一次Ｘ線Ｂ１を照射する。上記試料６に照射された一次Ｘ線Ｂ１は 、試料６の原子を励起して、その元素固有の蛍光Ｘ線Ｂ２を発生させる。試料６ からの蛍光Ｘ線Ｂ２は、視野制限スリット１１および第１のソーラスリット１２ を通過し、分光結晶１３に入射角θで入射し、ブラッグの式を満足する所定の波 長の蛍光Ｘ線Ｂ２のみが、入射角θと同一の回折角θで回折される。回折された 蛍光Ｘ線Ｂ２は、第２のソーラスリット１４を通過した後、Ｘ線検出器１５に入 射して検出される。この検出値に基づいて試料６の元素分析がなされる。

【０００８】 つぎに、試料ホルダ１について説明する。 図１において、試料ホルダ１には、ホルダ本体２に、たとえばワイヤのように 一次Ｘ線Ｂ１のスポットＰ（図２）の直径よりも細い線状の試料保持部材３が、 固定具４を介して着脱自在に固定されている。上記試料保持部材３には、粉状、 粒状またはチップ状の試料６が、たとえば接着剤により固定されている。なお、 上記試料保持部材３は、Ｘ線管１０（図３）のターゲット材（図示せず）と同一 の材質の純金属を用いるのが好ましく、たとえば、ロジウムやタングステンの単 一の金属で構成される。

【０００９】 上記固定具４は、ねじ５により、図２のように、ホルダ本体２の側面の上部に 固定されることにより試料保持部材３をホルダ本体２との間で挟持して試料保持 部材３をホルダ本体２に保持している。図１の上記ホルダ本体２は、その内側の 深さＤが、たとえば30ｍｍ程度に設定されているが、一般に20ｍｍ以上とするの が好ましい。ホルダ本体２は、底２ａを有していなくてもよいが、一次Ｘ線Ｂ１ が照射される方向に20ｍｍ以上の空間を設けるのが好ましい。なお、試料ホルダ １は、その位置決め段部１ａにおいて、分析装置の位置決め部材１６により位置 決めされる。

【００１０】 上記構成においては、一次Ｘ線Ｂ１の照射スポットＰ（図２）の方が、試料６ よりも大きくても、試料保持部材３が線材で構成されているので、試料保持部材 ３から散乱Ｘ線が発生しにくい。したがって、微弱な蛍光Ｘ線Ｂ２の検出が可能 になって、分析精度が向上する。

【００１１】 また、この実施例では、ホルダ本体２の深さＤが比較的深いので、このホルダ 本体２からの散乱Ｘ線がＸ線検出器１５（図３）に入射しにくいから、より一層 分析精度が向上する。

【００１２】 ところで、一次Ｘ線Ｂ１を受けた試料保持部材３からも蛍光Ｘ線Ｂ２が発生す るが、この蛍光Ｘ線Ｂ２が分析精度を低下させる場合がある。しかし、この実施 例では、Ｘ線管１０（図３）のターゲット材の元素と同一の元素で試料保持部材 ３を構成したので、試料保持部材３から発生する蛍光Ｘ線Ｂ２は、一次Ｘ線Ｂ１ と同様なスペクトルとなる。したがって、蛍光Ｘ線Ｂ２には、バックグラウンド となる成分が含まれていないので、やはり、分析精度が向上する。

【００１３】 なお、上記試料保持部材３は、この実施例のように単一の金属で構成してもよ いが、炭素，酸素および水素からなる高分子化合物の単糸で構成しても、この実 施例と同様な効果が得られる。また、上記試料保持部材３は、分析精度に支障の ない範囲で種々の金属線や繊維を用いてもよい。

【００１４】 ところで、上記実施例では、試料保持部材３を線状の部材で構成したが、試料保 持部材３は、一次Ｘ線Ｂ１のスポットＰ（図２）の直径よりも幅の狭い帯状の部 材で構成してもよい。また、上記実施例では、試料６を接着剤により試料保持部 材３に直接固着したが、試料６を回収する必要がある場合などは、図４のように 、試料６をポリプロピレンの薄膜７に包んで試料保持部材３に接着してもよい。

【００１５】

【考案の効果】

以上説明したように、この考案によれば、蛍光Ｘ線分析装置において、試料を 保持する線状または帯状の試料保持部材を、試料ホルダに着脱自在に設けたので 、散乱Ｘ線が発生しにくいから、微小な試料の分析精度が向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】この考案の一実施例を示す試料ホルダの断面図
である。

【図２】同平面図である。

【図３】この考案にかかる蛍光Ｘ線分析装置の概略構成
図である。

【図４】試料の固定方法の他の例を示す側面図である。

【符号の説明】

１…試料ホルダ、２…ホルダ本体、３…試料保持部材、
４…固定具、６…試料、Ｂ１…一次Ｘ線（放射線）、Ｂ
２…蛍光Ｘ線。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 試料に放射線を照射して試料から発生し
   た蛍光Ｘ線に基づいて試料の分析を行う蛍光Ｘ線分析用
   の試料ホルダにおいて、 上記試料を保持する線状または帯状の試料保持部材と、
   この試料保持部材をホルダ本体に着脱自在に固定する固
   定具とを備えた蛍光Ｘ線分析用の試料ホルダ。